JP2009168791A - 回路の検査環境を検査するための検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置の底部に位置し、IC回路のような被検査部材を固定するためにスロットは検査ボード上に設置し、且つ被検査部材は前記検査ボードと電気接続する。また、無線信号の受信のためアンテナを検査ボード上で且つスロットに近接した位置に設置して、検査環境で過量のノイズが回路の検査に影響するか否かを監視測定する。
【選択図】図1
Description
またRF回路の製造工程では、量産する前にまず製造ライン環境の検査作業を行う様クライアントが要求するが、その理由は製造ライン環境がよくRF信号に妨害されて検査装置が検査する際に判断ミスを起こすからである。
つまり有効コード(Pass-bin)が無効コード(Fail-bin)に変わってしまったり、或いは無効コードが有効コードに変わってしまったりして検査ミスが起きる可能性があるからである。
従って、通常製造ラインで量産する前に、無線信号器材の使用、又はその他高周波部材検査に影響する条件を規制するのである。
然しながら、一般の環境検査は自動検査設備(auto testing equipment,ATE)室内の反射や乱反射などの電波妨害に対してエリア内の防護はするが、被検査部材間のRFノイズ妨害に対しては有効な検知方法がない。
このように過量のRFノイズの有無を確実に検知することができないことから、ピン検査の判断ミスに大いに影響する。
換言すると、上記の環境検査方式はRFノイズの妨害を極力抑えるだけで、真のシミュレーションを行って検査中の装置がその環境妨害を受ける影響の程度を知る由もないのである。
図1は本発明のIC回路の検査環境に使用する検査装置の概略図を示している。
検査ボード102は検査装置100の底部に位置し、検査ボード102を通じて前記検査装置100はコンピュータや表示スクリーンのような周辺機器と電気接続する。
各スロット104は被検査部材を固定するのに用い、被検査部材を検査ボード102に電気接続させることができる。
アンテナ106は検査ボード102上に取り付け、またアンテナ106のアースターミナルは検査ボード102のアースターミナルに電気接続する。
前記アンテナ106の載置位置は検査ボード102上のどの位置でもよいが、好ましい実施例では、前記アンテナ106をスロット104に近接する位置に取り付ける。スロット104に近接する位置に前記アンテナ106を取り付ける目的は無線信号を受信するためであり、検査環境付近の無線信号が強すぎてIC回路の設計を電波妨害していないかどうかを監視測定する。
前記検査ボード108は検査ボード102を載置するのに用いる。
前記検査装置100は好ましくはRFIC回路の検査環境のシミュレーション関連に用いるが、前記検査装置100はまたその他に信号妨害を受けるIC回路を検査するのにも用いられる。
前記検査装置100は検査機台上に設置されるが、検査機台はオートメーションなので、検査装置100を異なる位置に配置して異なる検査を行うことができる。
前記周波数スペクトラム・アナライザーは検査ボード102に電気接続し、アンテナ106が受信した無線信号を検査ボード102に伝送して、さらに周波数スペクトラム・アナライザー110に伝送して解析を行い、無線信号の強度や特性など、さらには無線信号がIC回路の検査を妨害しているか否かを分析する。
図2Aで示すように、前記アンテナは従来タイプ逆F型アンテナ(conventional wire element inverted F antenna)202である。
前記従来タイプ逆F型アンテナ202は信号伝送ターミナル2022とアースターミナル2024からなる。
信号伝送ターミナル2022はアンテナが受信した無線信号をコンピュータや周波数スペクトラム・アナライザーのような周辺装置に伝送してさらなる信号の分析を行い、またアースターミナル2024は検査装置の検査ボード(図示せず)のアースターミナルと電気接続する。
前記平面タイプ逆F型アンテナ204も信号伝送ターミナル2042とアースターミナル2044からなる。
信号伝送ターミナル2042は同様にアンテナが受信した無線信号をコンピュータや周波数スペクトラム・アナライザーのような周辺装置に伝送してさらなる信号の分析を行う。
またアンテナのアースターミナル2044は検査ボード102のアースターミナル2044と電気接続する。
上記のアンテナは同様に本発明の無線信号を検知する目的を達するが、使用面では図2Bの平面タイプ逆F型アンテナ204の指向性が良好であり、平面タイプ逆F型アンテナ204のアンテナの放射パターンがあまりアース面に影響されないことから、良好な放射パターンで放射することができる。
図3で示すように、被検査部材(図示せず)が検査装置100のスロット104上に載置されていない場合、アンテナ106はまず検査装置100が製造ライン周囲の無線信号をスキャンして、無線信号があるエリアにおいて強度になり過ぎて被検査部材の検査時の精度を妨害していないかどうかを調べる。
検査の結果、無線信号の電波妨害がそれほどでなければ、被検査部材を検査装置のスロット104上に載置して部材の検査を行うことができる。
このとき、アンテナ106は検査装置100付近の無線信号を引続き検知する、というのも被検査部材を検査する際、携帯電話を掛けたり、又はノートパソコンやPDA(個人用携帯情報端末)のようなその他の無線信号を伝送したり受信したりする装置を使用したりして、被検査部材の検査が妨害される可能性もあるからである。
また、前記端末機は周波数スペクトラム・アナライザー110の分析結果を判断することができる検査プログラムを含み、検査を引続き行うことが可能か、又は周辺環境を検査する必要があるか否かを決定して、疑わしい無線信号の発生源を取り除いてさらに検査を行う。
図4で示すように、前記方法は工程402でアンテナを検査ボードに載置し、検査環境周辺の無線信号を検査するのに用いることを含む。
工程404では前記アンテナにより無線信号を受信する。
また、工程406では検査プログラム又は周波数スペクトラム・アナライザーを使用して前記アンテナから伝送される無線信号を分析する。
上記の方法によるアンテナは、そのアースターミナルが検査ボードのアースターミナルに電気接続して、前記検査環境付近の無線ネットワーク、又はコードレス電話から発せられる通信信号ノイズを検知するのに用いる。
アンテナはスロットに近接して載置し、また前記スロットは検査しようとするIC回路を載置するためのものである。
周波数スペクトラム・アナライザーはアンテナから伝送される無線信号を分析するのに用いる。
本方法によるアンテナは、薄型アンテナ又は平面アンテナ及びその組合せ方式のうちの何れか一つを選択することができる。前記アンテナは平面タイプ逆F型アンテナのような逆F型アンテナでもよい。前記方法は好ましくはRFIC回路の検査に用いる。
102 検査ボード
104 スロット
106 アンテナ
108 テスターヘッド
110 周波数スペクトラム・アナライザー
202 従来タイプ逆F型アンテナ
2022 信号伝送ターミナル
2024 アースターミナル
204 平面タイプ逆F型アンテナ
2042 信号伝送ターミナル
2044 アースターミナル
206 ICタイプ逆F型アンテナ
402−406 工程
Claims (5)
- 検査ボードと、
被検査部材を固定するために前記検査ボード上に設置し、且つ前記被検査部材を前記検査ボードに電気接続させるスロットと、
無線信号を受信するために前記検査ボード上に設置し、且つ前記スロットに近接するアンテナからなる、
回路の検査環境に用いる検査装置。 - 前記検査装置はさらに周波数スペクトラム・アナライザー、検査プログラム及びその組合せ方式の内の何れか一つを含み、前記アンテナから伝送される無線信号を分析することを特徴とする、請求項1に記載した検査装置。
- アンテナを検査ボード上に載置し、
前記アンテナにより無線信号を受信し、検査プログラム、周波数スペクトラム・アナライザーのうちの何れか一つを選択して前記アンテナから伝送される無線信号を分析することを含む、
回路の検査環境に用いる検査方法。 - 前記アンテナは前記検査環境付近の無線ネットワークやコードレス電話から発せられる複数個の無線信号ノイズを検知するためのものであることを特徴とする、請求項3に記載した検査方法。
- 前記アンテナはスロットに近接して載置し、前記スロットは検査しようとする前記IC回路に用いることを特徴とする、請求項3に記載する検査方法。
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