JP2003341050A - インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 - Google Patents

インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 偏平なインクジェットプリンタヘッドの熱硬
化性接着剤による接合の結果の湾曲歪みを矯正しつつ、
フィルタも同時に設ける。 【解決手段】 前面に列状に配置された複数個のノズル
と、前記各ノズル毎の圧力室とそれらに連通するインク
流通路とを有するキャビティユニット９の背面に、前記
各圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有し、インク
を噴射させる板状の圧電アクチュエータ２０を熱硬化性
接着剤にて接合すると同時に、キャビティユニットの背
面に、圧電アクチュエータ２０の外周を囲む枠状の合成
樹脂製のシート部５２と金属部材５１とからなる歪み矯
正部材を同じ接着剤にて接合する。また、シート部５２
には、キャビティユニット９の背面に開口する供給孔１
９ａを覆うようにするフィルタ５５が予め形成されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電式等の偏平な
インクジェットプリンタヘッドの構成及びその製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】先行技術のオンディマンド型のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、本出願人は先に、特開
２００１−２４６７４４号公報や特開２００２−３６５
４５号公報等に開示したように、圧力室を備えたベース
プレートに対してマニホールドを備えた複数枚のマニホ
ールドプレートを隣接積層し、その下側のマニホールド
プレートの下面にノズルプレートを配置し、前記各プレ
ートを接着剤を介して積層固定してキャビティユニット
を構成し、このキャビティユニットにおけるベースプレ
ートの上面に、その各圧力室の箇所に対応した位置に対
面するように圧電素子を組み込んだ板状の偏平な圧電ア
クチュエータを接着固定したものを提案した。
【０００３】このように構成すると、圧電アクチュエー
タとキャビティユニットとが平面視の面積内で重なった
位置に配置できるからインクジェットヘッドをコンパク
トにできるという効果があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
構成では、キャビティユニットは、金属板等からなる複
数枚のプレートを積層しており、他方、圧電アクチュエ
ータはセラミックス材料のシート材を複数枚積層したも
のであり、両者を接着固定するときに、両者間にエポキ
シ樹脂等の熱硬化性接着剤を介挿して加熱すると、キャ
ビティユニットのほうが大きく膨張する。その状態で圧
電アクチュエータをキャビティユニットの背面に接着固
定し、その後、前記接着剤樹脂の固化後に冷却すると、
線膨張係数の小さい圧電アクチュエータが貼り付けられ
たキャビティの背面側の収縮が抑制される一方、キャビ
ティユニットの下面（ノズル側）側の収縮量が大きいの
で、前記ノズル側が凹状（逆にいうと圧電アクチュエー
タ側で凸状）に湾曲変形し、特にその凹状の湾曲はキャ
ビティユニットの長手方向、つまりノズル列方向に著し
く現れるから、インクの噴射方向が前記湾曲した前面と
直交する方向となるので、用紙などに形成された画像品
質が劣る等の問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題を解消したイン
クジェットプリンタヘッドを提供することを技術的課題
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を達成す
るため、請求項１に記載の発明のインクジェットプリン
タヘッドは、前面に列状に配置された複数個のノズル
と、前記各ノズル毎の圧力室とそれらに連通するインク
流通路とを有するキャビティユニットと、前記各圧力室
毎に選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを噴射さ
せる板状のアクチュエータとを積層させてなるインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティユニッ
トの前記アクチュエータとの接合面側には、前記キャビ
ティユニットの少なくとも長手方向に沿って前記アクチ
ュエータの少なくとも両側を囲むように歪み矯正部材を
接合したことを特徴とするものである。
【０００７】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記
歪み矯正部材は、前記アクチュエータの全周を囲む枠状
をなすことを特徴とするものである。
【０００８】そして、請求項３に記載の発明は、請求項
１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドにお
いて、前記歪み矯正部材は、前記キャビティユニットと
ほぼ同じ線膨張係数を有するか、前記アクチュエータに
対する前記キャビティユニットの線膨張係数の差よりも
前記アクチュエータに対して大きな線膨張係数の差を有
することを特徴とするものである。
【０００９】請求項４に記載の発明は、請求項１または
２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前
記歪み矯正部材は、金属部材と合成樹脂材との複合材料
であることを特徴とするものである。
【００１０】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記歪み矯
正部材における合成樹脂材のシート部を、前記前記キャ
ビティユニットの背面側に接合し、且つ前記シート部に
は、前記キャビティユニットの背面側に開口するインク
供給孔を覆うためのフィルタ部が形成されていることを
特徴とするものである。
【００１１】請求項６に記載の発明は、請求項２に記載
のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記歪み矯
正部材における背面側の金属部材には、前記アクチュエ
ータの背面に接合するフラットケーブルのため段部が形
成されているものである。
【００１２】そして、請求項７に記載の発明のインクジ
ェットプリンタヘッドの製造方法は、前面に列状に配置
された複数個のノズルと、前記各ノズル毎の圧力室とそ
れらに連通するインク流通路とを有するキャビティユニ
ットと、前記各圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を
有し、インクを吐出させる板状のアクチュエータとを積
層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記キャビティユニットの圧力室が存在する面に、前記
アクチュエータと、そのアクチュエータの少なくとも両
側を含み、且つ前記キャビティユニットの少なくとも長
手方向に沿って延びる歪み矯正部材とを、熱硬化性接着
剤により同時に接合することを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。図１〜図５は、本発明の圧電式イン
クジェットプリンタヘッドの第１実施形態を示す。これ
らの図において、キャビティユニット９に対して接合さ
れるプレート型の圧電アクチュエータ２０の外周を囲む
ようにして、後述する枠状の歪み矯正部材５０がキャビ
ティユニット９の背面に接着剤により接合されるもので
ある。そして、圧電アクチュエータ２０の上面には、外
部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブ
ル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、キ
ャビティユニット９の下面側に開口されたノズル１５か
ら下向きにインクが噴射するものとする。
【００１４】前記キャビティユニット９は、図２〜図５
に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレー
ト１０、二枚のマニホールドプレート１１、１２、スペ
ーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い
板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であ
り、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１０を
除き、各プレート１２、１３、１４は、ステンレス鋼板
製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記
ノズルプレート１０には、微小径（実施形態では２５μ
ｍ程度）のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプ
レート１０における第１の方向（長辺方向）に沿って２
列の千鳥状配列に設けられている。即ち、ノズルプレー
ト１０の前記第１の方向に延びる２つの平行状の基準線
１０ａ、１０ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状
配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二
枚のマニホールドプレート１１、１２には、外部のイン
ク供給源からのインクを溜めた後、後述するような各圧
力室１６にインクを供給するためのインク流通路として
のマニホールド室１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の
列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、
ノズルプレート１０に対面する下側のマニホールドプレ
ート１１におけるマニホールド１２ｂは、当該マニホー
ルドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成
されている（図３及び図４参照）。このマニホールド１
２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対
する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される
構造になっている。
【００１５】また、前記ベースプレート１４には、その
長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する
第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多
数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左
右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定す
ると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端流路１６
ａは前記右側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記
長手中心線より右側の圧力室１６の先端流路１６ａは前
記左側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の
圧力室１６の先端流路１６ａが交互に配置されているの
で、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に
延びるように交互に配置されていることになる。
【００１６】また、前記各ノズル１５に対応する圧力室
１６と、後述する圧電アクチュエータ２０における圧電
素子の活性部とは各プレートの平面視において上下に重
なり対応する位置となるように配列され、前記各圧力室
１６は前記第１の方向と交差（直交）する方向に延びる
ように形成されて、圧力室１６の列は前記第１の方向に
沿って延びる。
【００１７】この各圧力室１６の先端流路１６ａは、前
記ノズルプレート１０における前記千鳥状配列のノズル
１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールド
プレート１１、１２に同じく千鳥状配列にて穿設されて
いるインク流路（液体通路）としての微小径の連通孔１
７、１７、１７を介して連通している。一方、前記各圧
力室１６の他端は、断面積の小さいインク流路としての
細長い絞り部１６ｄを介して直径が大きい他端流路１６
ｂに接続されており、他端流路１６ｂは、前記スペーサ
プレート１３における左右両側部位に穿設された液体通
路としての貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプ
レート１１、１２におけるマニホールド１２ａ、１２ｂ
に連通している。なお、前記他端流路１６ｂ及び細長の
絞り部１６ｄは、図３及び図４に示すように、ベースプ
レート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成され
ているものであり、前記他端流路１６ｂの直径は前記貫
通孔１８の直径とほぼ等しく形成する。絞り部１６ｄは
圧電アクチュエータ２０が駆動されたときに、圧力室１
６からマニホールド１２ａ，１２ｂへ向かうインクの流
れを制限するため、圧力室１６よりも断面が小さくなっ
ている。
【００１８】さらに、各圧力室１６の長手方向に中途部
には、ベースプレート１４の板厚の半分程度の連設部１
６ｃを設けることにより、多数並設された圧力室１６の
側壁の剛性の低下を防止する。
【００１９】また、スペーサプレート１３の一端に穿設
された供給孔１９ｂは、前記マニホールド１２ａに連通
すると共に、最上層のベースプレート１４の一端部に穿
設された供給孔１９ａにも連通している。
【００２０】次に、歪み矯正部材５０の構成について説
明すると、図１、図４及び図５は第１実施形態を示し、
平面視略四角形の枠状の歪み矯正部材５０は、厚さ寸法
の大きい金属製（ステンレス鋼等）の金属部材５１と、
その下面に接着剤を介して接合させたポリイミド製等の
薄い厚さの合成樹脂製のシート部５２とからなる複合部
材である。
【００２１】そして、前記第１実施形態では、複合部材
としての歪み矯正部材５０の線膨張係数は、全体とし
て、金属製のキャビティユニット９の線膨張係数と略等
しくなるように設定されている。なお、圧電アクチュエ
ータ２０は焼成したセラミックス材からなるので、圧電
アクチュエータ２０の線膨張係数は金属製のキャビティ
ユニット９のそれよりもはるかに小さいものとする。
【００２２】また、歪み矯正部材５０は平面視略矩形状
の大穴５３を有する枠状であり、上側の金属部材５１の
一側部には、供給穴１９ａと対応する位置において、上
下方向に貫通する小判型の供給孔５４が形成されてい
る。同じく前記シート部５２の一側部には、前記供給孔
５４に連通する個所に、フィルタ部５５が形成されてい
る。なお、前記合成樹脂製のシート部５２にフィルタ部
５５を一体的に形成するには、プラズマ加工、レーザ加
工等で、シート部５２の板厚方向に貫通する微小径の孔
を多数個穿設するのである。
【００２３】これにより、図示しないインク供給源（イ
ンクタンク）から供給穴５４に流入したインクは、フィ
ルタ部５５で異物を除去され、供給孔１９ａ，１９ｂを
介して前記左右両マニホールド１２ａ，１２ａ内に流入
する。さらに、この各インク通路１２ａから前記各貫通
孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、
この各圧力室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該
圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成にな
っている（図３及び図６参照）。
【００２４】なお、供給穴５４は、左右両マニホールド
１２ａ，１２ｂに同じ色のインクを供給するために２つ
の供給穴１９ａに対応した小判型になっているが、左右
両マニホールド１２ａ，１２ｂに別の色のインクを供給
するために、２つの供給穴１９ａにそれぞれ対応して２
個設けることもできる。
【００２５】一方、前記各圧電アクチュエータ２０は、
特開平３−２７４１５９号公報に記載のものとほぼ同様
の公知の構造であり、図４に示すように、１枚の厚さが
３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（４
〜１０枚）の圧電シート２１とその最上層のトップシー
ト２２とを積層した構造である。そして、最下段の圧電
シート２１とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シー
ト２１の上面（広幅面）には、前記キャビティユニット
９における各圧力室１６に対応した箇所ごとに細幅の個
別電極（図示せず）が圧電シート２１の長辺方向に沿っ
て列状に形成される。
【００２６】下から偶数番目の圧電シート２１の表面に
は、コモン電極（図示せず）が印刷形成され、個別電極
と平面視で重複する位置に配置されている。
【００２７】トップシート２２の表面（上面）には、前
記各個別電極に対応する表面電極３１と、コモン電極に
対応する表面電極３１とが設けられている。そして、前
記各表面電極３１と、それらにそれぞれ対応する上下位
置の個別電極とが上下方向に連通する電気的スルーホー
ルを介して互いに接続されている。同様にして、トップ
シート２２における表面電極３１と、それに対応する下
層の圧電シート２１におけるコモン電極の引き出し部と
が、電気的スルーホールを介して互いに電気的に導通で
きるように接続されている。
【００２８】なお、圧電アクチュエータ２０の製造方法
としては、圧電シートであるセラミックス基板の表面
に、個別電極、コモン電極並びに表面電極はそれぞれ、
銀−パラジゥムペースト等の導電性ペーストをスクリー
ン印刷形成し、積層したのち焼成して形成するものであ
る。
【００２９】そして、前記歪み矯正部材５０における金
属部材５１とシート部５２とを予めエポキシ樹脂等の熱
硬化性接着剤を塗着し、加熱することにより、一体化さ
せておき、次いで、前記の構成のプレート型の圧電アク
チュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広
幅面）全体に、エポキシ樹脂等の熱硬化性接着剤を塗着
する一方、前記歪み矯正部材５０におけるシート部５２
の下面にも前記熱硬化性接着剤を塗着し、圧電アクチュ
エータ２０を前記歪み矯正部材５０における大穴５３内
に配置した状態で、両者をキャビティユニット９の背面
に重ねて押圧状態のまま加熱して、接着固定する。これ
により、キャビティユニット９の背面のうち外周側に
は、枠状の歪み矯正部材５０が固定され、その枠内に圧
電アクチュエータ２０が固定される。このとき、第１実
施形態では、歪み矯正部材５０の全体の厚さ寸法Ｔ１
を、圧電アクチュエータ２０の厚さ寸法より若干薄くな
るように設定しておく（図４参照）ことにより、後に、
圧電アクチュエータ２０の背面（上面）にフレキシブル
フラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、こ
のフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配
線パタ一ン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１
に電気的に接合されるとき、当該フレキシブルフラット
ケーブル４０が歪み矯正部材５０の個所を越えて外側に
延びるときに、フレキシブルフラットケーブル４０を平
坦状のままにでき、前記電気的接合部を確実にならしめ
ることができる。
【００３０】そして、従来では、圧電アクチュエータ２
０側の剛性がキャビティユニット９の剛性より少なく、
且つ圧電アクチュエータ２０の線膨張係数がキャビティ
ユニット９の線膨張係数よりも小さいが故に、キャビテ
ィユニット９のノズル噴射面側で凹状に湾曲していた
が、本実施形態では、歪み矯正部材５０における金属部
材５１の線膨張係数とキャビティユニット９（金属製）
の線膨張係数と略同じものを使用し、キャビティユニッ
ト９の背面側（圧電アクチュエータ２０との接合側）
に、前記歪み矯正部材５０を添設することで、圧電アク
チュエータ２０と歪み矯正部材５０との合計の剛性（断
面係数）及び圧電アクチュエータ２０と歪み矯正部材５
０との合成した線膨張係数がキャビティユニット９の剛
性（断面係数）及び線膨張係数に近づくように設定すれ
ば、前記接着作業時の部材の加熱冷却に伴う膨張・伸縮
量は、キャビティユニット９側と、圧電アクチュエータ
２０と歪み矯正部材５０との合成側とで差が小さくで
き、キャビティユニット９のノズル噴射面側での湾曲歪
みが矯正され、印字（画像形成）品質が悪化しないとい
う効果を奏する。
【００３１】なお、線膨張係数が歪み矯正部材５０で最
も大きく、キャビティユニット９の線膨張係数が次に大
きく、圧電アクチュエータ２０で最小となる組み合わせ
であっても、温度変化によるこれら３者の接合したもの
全体の歪みを無くするまたは少なくするように矯正でき
る。さらに、他の材質のアクチュエータの線膨張係数が
最も大きく、次にキャビティユニット９であり、キャビ
ティユニット９の線膨張係数が最も小さいという組み合
わせであっても同様に歪み矯正が可能である。
【００３２】なお、前記の構成において、圧電アクチュ
エータ２０における表面電極３０、３１を介して全個別
電極とコモン電極との間に分極用の高電圧を印加するこ
とで、各個別電極とコモン電極との間に挟まれた圧電シ
ート２１の部分を分極処理する。これにより、各個別電
極とコモン電極との間に挟まれた圧電シート２１の部分
を活性部とする。そして、任意の表面電極３９と表面電
極４０とを介して個別電極３６とコモン電極３７との間
に駆動電圧を印加して、対応する活性部に分極方向と平
行な電界を発生させると、その活性部が積層方向に伸長
し、対応する圧力室１６の内容積が縮小され、この圧力
室１６内のインクが、ノズル１６から液滴状に噴出し
て、所定の印字が行われる。
【００３３】図６及び図７に示す変形例では、前記歪み
矯正部材５０における金属部材５１の上面側の一側に段
部５６を切欠き形成したものであり、歪み矯正部材５０
の大穴５３内に位置する圧電アクチュエータ２０の上面
に貼着したフレキシブルフラットケーブル４０の下面が
前記段部５６より上位置になり、且つ、そのフレキシブ
ルフラットケーブル４９の上面は、前記歪み矯正部材５
０の他の部分の上面より低い位置になるように構成され
ているものである（図６及び図７参照）。
【００３４】その他の構成は、第１実施形態（図１〜図
５）と同じであるので同じ部品（構成）については同じ
符号を付して詳細な説明は省略する。この変形例によれ
ば、フレキシブルフラットケーブル４０を平面状にした
まま歪み矯正部材５０の外側に延びるように配置でき
る。
【００３５】本発明の他の実施形態として、図示しない
が、キャビティユニット９の背面側に貼着された圧電ア
クチュエータ２０の一対の長辺と平行状に、当該キャビ
ティユニット９の背面に直線棒状の歪み矯正部材を接着
剤にて固定しても、キャビティユニット９のノズル噴射
面側での湾曲歪みを矯正することができる。
【００３６】前記各実施形態において、キャビティ９の
背面に対する圧電アクチュエータ２０の接着と歪み矯正
部材５０との接着とを、熱硬化性接着剤により同時に行
えば、インクジェットプリンタヘッドの組み立て作業が
至極簡単になるという効果を奏する。また、歪み矯正部
材５０は前記金属部材または合成樹脂部材のみによる単
一部材であっても良い。
【００３７】なお、キャビティユニット９、アクチュエ
ータ、歪み矯正部材５０の各部材の材質は、本発明の効
果を有するように任意に選択することができる。上記実
施の形態におけるシート部５２は薄い金属材料であって
もよい。
【００３８】
【発明の作用・効果】以上に説明したように、請求項１
に記載の発明のインクジェットプリンタヘッドは、前面
に列状に配置された複数個のノズルと、前記各ノズル毎
の圧力室とそれらに連通するインク流通路とを有するキ
ャビティユニットと、前記各圧力室毎に選択的に駆動可
能な活性部を有し、インクを噴射させる板状のアクチュ
エータとを積層させてなるインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、前記キャビティユニットの前記アクチュエ
ータとの接合面側には、前記キャビティユニットの少な
くとも長手方向に沿って前記アクチュエータの少なくと
も両側を囲むように歪み矯正部材を接合したことを特徴
とするものである。
【００３９】このように構成することより、偏平なイン
クジェットプリンタヘッドでありながら、各部品の接合
に伴う歪みを矯正できて、インクジェットの噴射方向を
正しくし、印字品質を良好に維持できるインクジェット
プリンタヘッドを提供することができる効果を奏する。
【００４０】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記
歪み矯正部材は、前記アクチュエータの全周を囲む枠状
をなすことを特徴とするものであるから、歪み矯正部材
の剛性を高いものにして、歪み矯正効果を向上させるこ
とができ、且つ歪み矯正部材にてアクチュエータの外周
を保護する機能も合わせて有することになる。
【００４１】そして、請求項３に記載の発明は、請求項
１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドにお
いて、前記歪み矯正部材は、前記キャビティユニットと
ほぼ同じ線膨張係数を有するか、前記アクチュエータに
対する前記キャビティユニットの線膨張係数の差よりも
前記アクチュエータに対して大きな線膨張係数の差を有
することを特徴とするものであり、キャビティユニット
とアクチュエータと歪み矯正部材との３者の材質の選択
により、線膨張係数を種々に選択して、歪み矯正にとっ
て最も好ましい組み合わせを設定すれば良い。
【００４２】請求項４に記載の発明は、請求項１または
２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前
記歪み矯正部材は、金属部材と合成樹脂材との複合材料
を採用した場合には、合成樹脂材をキャビティユニット
の背面側に接着することにより接着性能が向上し得る。
【００４３】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記歪み矯
正部材における合成樹脂材のシート部を、前記前記キャ
ビティユニットの背面側に接合し、且つ前記シート部に
は、前記キャビティユニットの背面側に開口するインク
供給孔を覆うためのフィルタ部が形成されていることを
特徴とするものである。このように合成樹脂材のシート
部にフィルタを予め形成しておけば、別途フィルタのみ
を添設する手間が省け、且つフィルタがキャビティユニ
ットの背面に近い位置に配置できるから、フィルタとキ
ャビティユニットにおけるインク流路との間に空気が溜
まる空間を無くする（少なくする）ことができ、インク
詰まりを防止できるという効果を奏する。
【００４４】請求項６に記載の発明は、請求項２に記載
のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記歪み矯
正部材における背面側の金属部材には、前記アクチュエ
ータの背面に接合するフラットケーブルのため段部が形
成されているものである。
【００４５】このように構成すれば、フラットケーブル
をアクチュエータの背面に接合した状態でそのまま平面
状にて外側に延ばすことができ、フラットケーブルとア
クチュエータとの両者の電気的接点の接合を確実にする
ことができるという効果を奏する。
【００４６】そして、請求項７に記載の発明のインクジ
ェットプリンタヘッドの製造方法は、前面に列状に配置
された複数個のノズルと、前記各ノズル毎の圧力室とそ
れらに連通するインク流通路とを有するキャビティユニ
ットと、前記各圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を
有し、インクを吐出させる板状のアクチュエータとを積
層させてなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記キャビティユニットの圧力室が存在する面に、前記
アクチュエータと、そのアクチュエータの少なくとも両
側を含み、且つ前記キャビティユニットの少なくとも長
手方向に沿って延びる歪み矯正部材とを、熱硬化性接着
剤により同時に接合することを特徴とするものである。
このような製造方法を採用すれば、上記のように各部品
の接合に伴う歪みを矯正して印字品質の良いインクジェ
ットプリンタヘッドの製造工程を少なくし、製造コスト
を低減できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態による圧電式インクジェ
ットプリンタヘッド信品を示す分解斜視図である。
【図２】 キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】 キャビティユニットの部分的拡大斜視図であ
る。
【図４】 図１のIV−IV線矢視拡大断面図である。
【図５】 図１のＶ−Ｖ線矢視拡大側断面図である。
【図６】 変形例を示す斜視図である。
【図７】 図６のVII −VII 線矢視拡大側断面図であ
る。
【符号の説明】
９ キャビティユニット １０ ノズルプレート １１、１２ マニホールドプレート １２ａ、１２ｂ マニホールド １３ スペーサプレート １４ ベースプレート １５ ノズル １６ 圧力室 ２０ 圧電アクチュエータ ３０，３１ 表面電極 ４０ フレキシブルフラットケーブル ５０ 歪み矯正部材 ５１ 金属部材 ５２ シート部 ５３ 大穴 ５４ 取付け孔 ５５ フィルタ ５６ 段部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 前面に列状に配置された複数個のノズル
    と、前記各ノズル毎の圧力室とそれらに連通するインク
    流通路とを有するキャビティユニットと、前記各圧力室
    毎に選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを噴射さ
    せる板状のアクチュエータとを積層させてなるインクジ
    ェットプリンタヘッドにおいて、 前記キャビティユニットの前記アクチュエータとの接合
    面側には、前記キャビティユニットの少なくとも長手方
    向に沿って前記アクチュエータの少なくとも両側を囲む
    ように歪み矯正部材を接合したことを特徴とするインク
    ジェットプリンタヘッド。
  2. 【請求項２】 前記歪み矯正部材は、前記アクチュエー
    タの全周を囲む枠状をなすことを特徴とする請求項１に
    記載のインクジェットプリンタヘッド。
  3. 【請求項３】 前記歪み矯正部材は、前記キャビティユ
    ニットとほぼ同じ線膨張係数を有するか、前記アクチュ
    エータに対する前記キャビティユニットの線膨張係数の
    差よりも前記アクチュエータに対して大きな線膨張係数
    の差を有することを特徴とする請求項１または２に記載
    のインクジェットプリンタヘッド。
  4. 【請求項４】 前記歪み矯正部材は、金属部材と合成樹
    脂材との複合材料であることを特徴とする請求項１また
    は２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
  5. 【請求項５】 前記歪み矯正部材における合成樹脂材の
    シート部を、前記前記キャビティユニットの背面側に接
    合し、且つ前記シート部には、前記キャビティユニット
    の背面側に開口するインク供給孔を覆うためのフィルタ
    部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の
    インクジェットプリンタヘッド。
  6. 【請求項６】 前記歪み矯正部材における背面側の金属
    部材には、前記アクチュエータの背面に接合するフラッ
    トケーブルのため段部が形成されていることを特徴とす
    る請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
  7. 【請求項７】 前面に列状に配置された複数個のノズル
    と、前記各ノズル毎の圧力室とそれらに連通するインク
    流通路とを有するキャビティユニットと、前記各圧力室
    毎に選択的に駆動可能な活性部を有し、インクを吐出さ
    せる板状のアクチュエータとを積層させてなるインクジ
    ェットプリンタヘッドにおいて、 前記キャビティユニットの圧力室が存在する面に、前記
    アクチュエータと、そのアクチュエータの少なくとも両
    側を含み、且つ前記キャビティユニットの少なくとも長
    手方向に沿って延びる歪み矯正部材とを、熱硬化性接着
    剤により同時に接合することを特徴とするインクジェッ
    トプリンタヘッドの製造方法。
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