JP2003301779A - 電磁振動型ダイヤフラムポンプ - Google Patents
電磁振動型ダイヤフラムポンプInfo
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- F05B2210/12—Kind or type gaseous, i.e. compressible
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 中圧（５０〜１００Ｋｐａ程度）を発生させ
ることができる電磁振動型ダイヤフラムポンプを提供す
る。 【解決手段】 フレーム内に対向して配置されている電
磁石を有する電磁石部と、該電磁石部内に支持され、磁
石を備えている振動子と、該振動子の両端部に順次連結
される円盤状の大径ダイヤフラムおよび小径ダイヤフラ
ムと、前記電磁石部の両端部に固定される、前記大径ダ
イヤフラムと小径ダイヤフラムのポンプケーシング部と
からなり、該左右のポンプケーシング部が大径ダイヤフ
ラムおよび小径ダイヤフラムのそれぞれに対応するポン
プ室を有している。
ることができる電磁振動型ダイヤフラムポンプを提供す
る。 【解決手段】 フレーム内に対向して配置されている電
磁石を有する電磁石部と、該電磁石部内に支持され、磁
石を備えている振動子と、該振動子の両端部に順次連結
される円盤状の大径ダイヤフラムおよび小径ダイヤフラ
ムと、前記電磁石部の両端部に固定される、前記大径ダ
イヤフラムと小径ダイヤフラムのポンプケーシング部と
からなり、該左右のポンプケーシング部が大径ダイヤフ
ラムおよび小径ダイヤフラムのそれぞれに対応するポン
プ室を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電磁振動型ダイヤフ
ラムポンプに関する。さらに詳しくは、主として室内用
エアマットやエアベッドへのエアの吸排、養魚用水槽や
家庭浄化槽などにおける酸素補給、または公害監視にお
ける検査ガスのサンプリングなどに利用される電磁振動
型ダイヤフラムポンプに関する。
ラムポンプに関する。さらに詳しくは、主として室内用
エアマットやエアベッドへのエアの吸排、養魚用水槽や
家庭浄化槽などにおける酸素補給、または公害監視にお
ける検査ガスのサンプリングなどに利用される電磁振動
型ダイヤフラムポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、電磁石と磁石との磁気的相互
作用に基づく、該磁石を備えた振動子の振動を利用して
流体を吸引、吐出する電磁振動型ポンプとして、たとえ
ば図２８に示されるようなダイヤフラム式のポンプがあ
る。
作用に基づく、該磁石を備えた振動子の振動を利用して
流体を吸引、吐出する電磁振動型ポンプとして、たとえ
ば図２８に示されるようなダイヤフラム式のポンプがあ
る。
【０００３】このポンプは、フレーム１５０内に対向し
て配置されている鉄心１５１ａと捲線コイル部１５１ｂ
とからる電磁石１５１ｃを有する電磁石部１５１と、該
電磁石のあいだの空隙部に配置される、磁石１５２を備
えた振動子１５３と、該振動子１５３の両端に連結され
たダイヤフラム１５４と、前記電磁石部の両端部にそれ
ぞれ固定されたポンプケーシング部１５５とから構成さ
れている。
て配置されている鉄心１５１ａと捲線コイル部１５１ｂ
とからる電磁石１５１ｃを有する電磁石部１５１と、該
電磁石のあいだの空隙部に配置される、磁石１５２を備
えた振動子１５３と、該振動子１５３の両端に連結され
たダイヤフラム１５４と、前記電磁石部の両端部にそれ
ぞれ固定されたポンプケーシング部１５５とから構成さ
れている。
【０００４】かかるポンプでは、前記振動子１５３の左
右振動により、吸入口１５６から吸入された空気は、前
記電磁石部１５１の吸入タンク部１５７に一旦貯えられ
たのち、ポンプケーシング部１５５の吸引室１５８、ポ
ンプ室（圧縮室）１５９および吐出室１６０を経由し、
ついで吐出タンク部１６１に一旦貯えられたのち、吐出
口１６２から吐出される。
右振動により、吸入口１５６から吸入された空気は、前
記電磁石部１５１の吸入タンク部１５７に一旦貯えられ
たのち、ポンプケーシング部１５５の吸引室１５８、ポ
ンプ室（圧縮室）１５９および吐出室１６０を経由し、
ついで吐出タンク部１６１に一旦貯えられたのち、吐出
口１６２から吐出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ダイヤフラムポンプ構造では、中圧（５０〜１００Ｋｐ
ａ程度）を発生させるのがむずかしいという課題があ
る。
ダイヤフラムポンプ構造では、中圧（５０〜１００Ｋｐ
ａ程度）を発生させるのがむずかしいという課題があ
る。
【０００６】これに対し、ピストン式ポンプは中圧を発
生することができるが、ピストンの摩耗があるため、ダ
イヤフラムポンプより寿命が短いとともに、効率が低い
という問題がある。
生することができるが、ピストンの摩耗があるため、ダ
イヤフラムポンプより寿命が短いとともに、効率が低い
という問題がある。
【０００７】本発明は、叙上の事情に鑑み、中圧（５０
〜１００Ｋｐａ程度）を発生させることができる電磁振
動型ダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。
〜１００Ｋｐａ程度）を発生させることができる電磁振
動型ダイヤフラムポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の電磁振動型ダイ
ヤフラムポンプは、フレーム内に対向して配置されてい
る電磁石を有する電磁石部と、該電磁石部内に支持さ
れ、磁石を備えている振動子と、該振動子の両端部に順
次連結される円盤状の大径ダイヤフラムおよび小径ダイ
ヤフラムと、前記電磁石部の両端部に固定される、前記
大径ダイヤフラムと小径ダイヤフラムのポンプケーシン
グ部とからなり、該左右のポンプケーシング部が大径ダ
イヤフラムおよび小径ダイヤフラムのそれぞれに対応す
るポンプ室を有してなることを特徴とする。
ヤフラムポンプは、フレーム内に対向して配置されてい
る電磁石を有する電磁石部と、該電磁石部内に支持さ
れ、磁石を備えている振動子と、該振動子の両端部に順
次連結される円盤状の大径ダイヤフラムおよび小径ダイ
ヤフラムと、前記電磁石部の両端部に固定される、前記
大径ダイヤフラムと小径ダイヤフラムのポンプケーシン
グ部とからなり、該左右のポンプケーシング部が大径ダ
イヤフラムおよび小径ダイヤフラムのそれぞれに対応す
るポンプ室を有してなることを特徴とする。
【０００９】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記ポンプケーシング部が、大径ダイヤフラム
用ポンプケーシングと小径ダイヤフラム用ポンプケーシ
ングとからなり、該大径ダイヤフラム用ポンプケーシン
グのポンプ室と小径ダイヤフラム用ポンプケーシングの
ポンプ室とが隣接するとともに、小径ダイヤフラムで仕
切られているのが好ましい。
ンプは、前記ポンプケーシング部が、大径ダイヤフラム
用ポンプケーシングと小径ダイヤフラム用ポンプケーシ
ングとからなり、該大径ダイヤフラム用ポンプケーシン
グのポンプ室と小径ダイヤフラム用ポンプケーシングの
ポンプ室とが隣接するとともに、小径ダイヤフラムで仕
切られているのが好ましい。
【００１０】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、左側の大径ダイヤフラムのポンプ室で発生した
低圧の空気を右側の小径ダイヤフラムのポンプ室に導く
とともに、右側の大径ダイヤフラムポンプのポンプ室で
発生した低圧の空気を左側の小径ダイヤフラムのポンプ
室に導くことにより、ポンプ作用で中圧の空気を発生さ
せるべく、空気回路としては２回路の２段圧縮にされて
いるのが好ましい。
ンプは、左側の大径ダイヤフラムのポンプ室で発生した
低圧の空気を右側の小径ダイヤフラムのポンプ室に導く
とともに、右側の大径ダイヤフラムポンプのポンプ室で
発生した低圧の空気を左側の小径ダイヤフラムのポンプ
室に導くことにより、ポンプ作用で中圧の空気を発生さ
せるべく、空気回路としては２回路の２段圧縮にされて
いるのが好ましい。
【００１１】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、左右の大径ダイヤフラムのポンプ室を接続する
とともに、左右の小径ダイヤフラムのポンプ室を接続す
ることにより、ポンプ作用で中圧の空気を発生させるべ
く、空気回路として１回路の４段圧縮にされているのが
好ましい。
ンプは、左右の大径ダイヤフラムのポンプ室を接続する
とともに、左右の小径ダイヤフラムのポンプ室を接続す
ることにより、ポンプ作用で中圧の空気を発生させるべ
く、空気回路として１回路の４段圧縮にされているのが
好ましい。
【００１２】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記フレームが前記電磁石の外表面にモールド
された樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室に繋
がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タンク部と
第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラムを取り
付けるリング状溝が同時成形されているのが好ましい。
ンプは、前記フレームが前記電磁石の外表面にモールド
された樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室に繋
がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タンク部と
第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラムを取り
付けるリング状溝が同時成形されているのが好ましい。
【００１３】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記左右のポンプ室間が通気管により接続され
ているのが好ましい。
ンプは、前記左右のポンプ室間が通気管により接続され
ているのが好ましい。
【００１４】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記フレームが前記電磁石の外表面にモールド
された樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室に繋
がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タンク部と
第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラムを取り
付けるリング状溝が同時成形されており、前記左右の大
径ダイヤフラム用ポンプケーシングのポンプ室に繋が
る、吸引室と第１通気用タンク部および吐出室と第２通
気用タンク部がフレームおよび大径ダイヤフラム用ポン
プケーシングに形成される通路により連通するととも
に、前記左右の小径ダイヤフラム用ポンプケーシングの
ポンプ室に連通する、吐出室と第１通気用タンク部およ
び吸引室と第２通気用タンク部が大径ダイヤフラムおよ
び小径ダイヤフラム用ポンプケーシングに形成される通
路により連通しているのが好ましい。
ンプは、前記フレームが前記電磁石の外表面にモールド
された樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室に繋
がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タンク部と
第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラムを取り
付けるリング状溝が同時成形されており、前記左右の大
径ダイヤフラム用ポンプケーシングのポンプ室に繋が
る、吸引室と第１通気用タンク部および吐出室と第２通
気用タンク部がフレームおよび大径ダイヤフラム用ポン
プケーシングに形成される通路により連通するととも
に、前記左右の小径ダイヤフラム用ポンプケーシングの
ポンプ室に連通する、吐出室と第１通気用タンク部およ
び吸引室と第２通気用タンク部が大径ダイヤフラムおよ
び小径ダイヤフラム用ポンプケーシングに形成される通
路により連通しているのが好ましい。
【００１５】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記第１通気用タンク部が仕切部により分離さ
れているのが好ましい。
ンプは、前記第１通気用タンク部が仕切部により分離さ
れているのが好ましい。
【００１６】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記電磁石部と大径ダイヤフラムにより密閉さ
れる密閉空間に連通する連通孔が前記第２通気用タンク
部に形成されており、該連通孔を通して前記大径ダイヤ
フラムで発生した圧力を該大径ダイヤフラムに背圧とし
て印加するのが好ましい。
ンプは、前記電磁石部と大径ダイヤフラムにより密閉さ
れる密閉空間に連通する連通孔が前記第２通気用タンク
部に形成されており、該連通孔を通して前記大径ダイヤ
フラムで発生した圧力を該大径ダイヤフラムに背圧とし
て印加するのが好ましい。
【００１７】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記左右のポンプケーシング部における小径ダ
イヤフラムのポンプ部を少なくとも２個備えており、多
段圧縮とされているのが好ましい。
ンプは、前記左右のポンプケーシング部における小径ダ
イヤフラムのポンプ部を少なくとも２個備えており、多
段圧縮とされているのが好ましい。
【００１８】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記電磁石が、対向して配置される一対の鉄心
および該鉄心の内周凹部に組み込まれる捲線コイル部か
らなるのが好ましい。
ンプは、前記電磁石が、対向して配置される一対の鉄心
および該鉄心の内周凹部に組み込まれる捲線コイル部か
らなるのが好ましい。
【００１９】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記電磁石が、対向して配置される一対の小径
鉄心、該一対の小径鉄心とは直交する位置に配置される
一対の大径鉄心および該大径鉄心の内周凹部に組み込ま
れる捲線コイル部からなるのが好ましい。
ンプは、前記電磁石が、対向して配置される一対の小径
鉄心、該一対の小径鉄心とは直交する位置に配置される
一対の大径鉄心および該大径鉄心の内周凹部に組み込ま
れる捲線コイル部からなるのが好ましい。
【００２０】また、本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記振動子の磁石の数が４個であって、両端部
の２個の磁石の幅寸法が中央部の２個の磁石の幅寸法の
約１／２であり、前記鉄心がＥ形であり、かつ前記磁石
と対向するセンターポール部および２つのサイドポール
部の極幅寸法がともにほぼ同寸法であるのが好ましい。
ンプは、前記振動子の磁石の数が４個であって、両端部
の２個の磁石の幅寸法が中央部の２個の磁石の幅寸法の
約１／２であり、前記鉄心がＥ形であり、かつ前記磁石
と対向するセンターポール部および２つのサイドポール
部の極幅寸法がともにほぼ同寸法であるのが好ましい。
【００２１】さらに本発明の電磁振動型ダイヤフラムポ
ンプは、前記小径ダイヤフラムがコルゲーション形ダイ
ヤフラムであるのが好ましい。
ンプは、前記小径ダイヤフラムがコルゲーション形ダイ
ヤフラムであるのが好ましい。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて、本発
明の電磁振動型ダイヤフラムポンプを説明する。
明の電磁振動型ダイヤフラムポンプを説明する。
【００２３】実施の形態１
図１〜３に示されるように、本発明の実施の形態１にか
かわる電磁振動型ダイヤフラムポンプは、ポンプ本体カ
バー１、電磁石部２、振動子３、該振動子３の両端部に
順次連結される円盤状の大径ダイヤフラム４と小径ダイ
ヤフラム５および前記電磁石部２の両端部に固定され
る、該大径ダイヤフラム４と小径ダイヤフラム５のポン
プケーシング部６から構成されている。前記電磁石部２
としては、本発明において、とくに限定されるものでは
なく、本実施の形態１では、Ｅ型鉄心とこれに巻き回さ
れる捲線コイル部からなる一対の電磁石７をフレーム８
内に対向して配置されるものを用いている。前記振動子
２は、電磁石部１内の空隙部に挿入されており、所定の
間隔を置いて配置される、２個の平板状磁石、フェライ
ト磁石または稀土類磁石などの磁石９を保持板１０に保
持したものである。この振動子２は、保持板１０の端部
ねじ部に保持金具類１１、１２により前記ダイヤフラム
４、５に固着され、電磁石部１内に支持されている。本
実施の形態１にかかわるポンプは、外観のデザイン上、
ポンプ本体全体を覆い、騒音を遮断するためにポンプ本
体カバー１が装着されているが、該カバー１は性能面に
関係がないので、省くこともできる。なお、１ａは前記
フレーム８に固着された段付きクッションであり、これ
によりポンプ部の振動を吸収するようにしている。
かわる電磁振動型ダイヤフラムポンプは、ポンプ本体カ
バー１、電磁石部２、振動子３、該振動子３の両端部に
順次連結される円盤状の大径ダイヤフラム４と小径ダイ
ヤフラム５および前記電磁石部２の両端部に固定され
る、該大径ダイヤフラム４と小径ダイヤフラム５のポン
プケーシング部６から構成されている。前記電磁石部２
としては、本発明において、とくに限定されるものでは
なく、本実施の形態１では、Ｅ型鉄心とこれに巻き回さ
れる捲線コイル部からなる一対の電磁石７をフレーム８
内に対向して配置されるものを用いている。前記振動子
２は、電磁石部１内の空隙部に挿入されており、所定の
間隔を置いて配置される、２個の平板状磁石、フェライ
ト磁石または稀土類磁石などの磁石９を保持板１０に保
持したものである。この振動子２は、保持板１０の端部
ねじ部に保持金具類１１、１２により前記ダイヤフラム
４、５に固着され、電磁石部１内に支持されている。本
実施の形態１にかかわるポンプは、外観のデザイン上、
ポンプ本体全体を覆い、騒音を遮断するためにポンプ本
体カバー１が装着されているが、該カバー１は性能面に
関係がないので、省くこともできる。なお、１ａは前記
フレーム８に固着された段付きクッションであり、これ
によりポンプ部の振動を吸収するようにしている。
【００２４】本実施の形態１では、前記電磁石７が通電
され、振動子２が左右方向に移動すると、左右のダイヤ
フラム４、５が左右に動作し、空気吸入と空気圧縮の作
用をする。
され、振動子２が左右方向に移動すると、左右のダイヤ
フラム４、５が左右に動作し、空気吸入と空気圧縮の作
用をする。
【００２５】前記左右のポンプケーシング部６は、前記
大径ダイヤフラム４用ポンプケーシング１３ａおよび小
径ダイヤフラム５用ポンプケーシング１３ｂと、それぞ
れのポンプケーシング１３ａ、１３ｂ内に形成される吸
引室１４ａ、１４ｂ、吐出室１５ａ、１５ｂおよび左側
のポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、右側のポンプ室ＬＰＲ、Ｍ
ＰＲからなるポンプ部とからなり、ポンプケーシング１
３ａのポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬとポンプケーシング１３
ｂのポンプ室ＬＰＲ、ＭＰＲとが隣接するとともに、小
径ダイヤフラム５で仕切られている。また、前記吸引室
１４ａ、１４ｂは、前記ポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰ
Ｒ、ＭＰＲと連通するために、吸入口１６ａと吸入弁１
６ｂを、前記吐出室１５ａ、１５ｂは吐出口１７ａと吐
出弁１７ｂをそれぞれ備えている。また、大径ダイヤフ
ラム４の外径部は、前記フレーム８に固定されるダイヤ
フラム台１８とポンプケーシング１３ａにより挟着され
て支持されている。また、前記小径ダイヤフラム５の外
径部は、前記ポンプケーシング１３ａに形成されるダイ
ヤフラム台部１９にスペーサ２０を介してポンプケーシ
ング１３ｂにより挟着されて支持されている。前記吸引
室１４ａ、１４ｂおよび吐出室１５ａ、１５ｂには、そ
れぞれ吸引部２１ａ、２１ｂおよび吐出部２２ａ、２２
ｂが設けられている。そして、左側の吐出部２２ａと右
側の吸引部２１ｂとが通気管（チューブ）２３により接
続されているとともに、左側の吸引部２１ｂと吐出部２
２ａとが通気管２４により接続されている。本実施の形
態１では、通気管２３、２４の接続がしやすいように、
ポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰＲ、ＭＰＲの吸入弁１６
ｂと吐出弁１７ｂは、各ポンプ室の上部および底部（下
部）（図２の紙面上下部）には取り付けられず、水平方
向、すなわちポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲの前部と背部およ
びポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲの側部に取り付けられてい
る。これにより、ポンプ高さを低くすることができる。
大径ダイヤフラム４用ポンプケーシング１３ａおよび小
径ダイヤフラム５用ポンプケーシング１３ｂと、それぞ
れのポンプケーシング１３ａ、１３ｂ内に形成される吸
引室１４ａ、１４ｂ、吐出室１５ａ、１５ｂおよび左側
のポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、右側のポンプ室ＬＰＲ、Ｍ
ＰＲからなるポンプ部とからなり、ポンプケーシング１
３ａのポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬとポンプケーシング１３
ｂのポンプ室ＬＰＲ、ＭＰＲとが隣接するとともに、小
径ダイヤフラム５で仕切られている。また、前記吸引室
１４ａ、１４ｂは、前記ポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰ
Ｒ、ＭＰＲと連通するために、吸入口１６ａと吸入弁１
６ｂを、前記吐出室１５ａ、１５ｂは吐出口１７ａと吐
出弁１７ｂをそれぞれ備えている。また、大径ダイヤフ
ラム４の外径部は、前記フレーム８に固定されるダイヤ
フラム台１８とポンプケーシング１３ａにより挟着され
て支持されている。また、前記小径ダイヤフラム５の外
径部は、前記ポンプケーシング１３ａに形成されるダイ
ヤフラム台部１９にスペーサ２０を介してポンプケーシ
ング１３ｂにより挟着されて支持されている。前記吸引
室１４ａ、１４ｂおよび吐出室１５ａ、１５ｂには、そ
れぞれ吸引部２１ａ、２１ｂおよび吐出部２２ａ、２２
ｂが設けられている。そして、左側の吐出部２２ａと右
側の吸引部２１ｂとが通気管（チューブ）２３により接
続されているとともに、左側の吸引部２１ｂと吐出部２
２ａとが通気管２４により接続されている。本実施の形
態１では、通気管２３、２４の接続がしやすいように、
ポンプ室ＬＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰＲ、ＭＰＲの吸入弁１６
ｂと吐出弁１７ｂは、各ポンプ室の上部および底部（下
部）（図２の紙面上下部）には取り付けられず、水平方
向、すなわちポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲの前部と背部およ
びポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲの側部に取り付けられてい
る。これにより、ポンプ高さを低くすることができる。
【００２６】前記大径ダイヤフラム４により形成される
ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲでは、低圧が発生し、小径ダイ
ヤフラム５により形成されるポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲで
は、中圧が発生する。
ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲでは、低圧が発生し、小径ダイ
ヤフラム５により形成されるポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲで
は、中圧が発生する。
【００２７】したがって、本実施の形態１にかかわる電
磁振動型ダイヤフラムポンプは、図１および図４〜５に
示されるように、低圧を発生する２個のポンプ室ＬＰ
Ｌ、ＬＰＲと、これと接続される２個の中圧のポンプ室
ＭＰＬ、ＭＰＲとからなり、左側の大径ダイヤフラム４
のポンプ室ＬＰＬ（低圧ポンプ室）で発生した低圧の空
気を右側の小径ダイヤフラム５のポンプ室ＭＰＲ（中圧
ポンプ室）に導き、右側の大径ダイヤフラムポンプ４の
ポンプ室ＬＰＲ（低圧ポンプ室）で発生した低圧の空気
を左側の小径ダイヤフラム５のポンプ室ＭＰＬ（中圧ポ
ンプ室）に導き、ポンプ作用で中圧の空気を発生するよ
うに構成される、空気回路としては２回路とした２段圧
縮方式のポンプである。
磁振動型ダイヤフラムポンプは、図１および図４〜５に
示されるように、低圧を発生する２個のポンプ室ＬＰ
Ｌ、ＬＰＲと、これと接続される２個の中圧のポンプ室
ＭＰＬ、ＭＰＲとからなり、左側の大径ダイヤフラム４
のポンプ室ＬＰＬ（低圧ポンプ室）で発生した低圧の空
気を右側の小径ダイヤフラム５のポンプ室ＭＰＲ（中圧
ポンプ室）に導き、右側の大径ダイヤフラムポンプ４の
ポンプ室ＬＰＲ（低圧ポンプ室）で発生した低圧の空気
を左側の小径ダイヤフラム５のポンプ室ＭＰＬ（中圧ポ
ンプ室）に導き、ポンプ作用で中圧の空気を発生するよ
うに構成される、空気回路としては２回路とした２段圧
縮方式のポンプである。
【００２８】たとえば図１および図６（ａ）に示される
ように、電磁石７が通電され、まず振動子２が右方向に
移動すると、左側のダイヤフラム４、５が右側に動作
し、吸引部２１ａから大気がポンプ室ＬＰＬに吸入され
る（の空気の流れ）。このときのポンプ室ＬＰＬの圧
力は０（ゼロ）である。ついで振動子２が左方向に移動
すると、左側のダイヤフラム４、５の左側動作によりポ
ンプ室ＬＰＬで圧縮された空気（圧力２０ｋＰａ）は通
気管２３から吸引室１４ｂを経由してポンプ室ＭＰＲに
導かれる。ついで振動子２が右方向に移動して、右側の
ダイヤフラム４、５が右側に動作することにより、ポン
プ室ＭＰＲの空気はさらに圧縮されて圧力９８ｋＰａの
圧縮空気として吐出部２２ｂから吐出される。このとき
のポンプ室ＭＰＬの吸入空気およびポンプ室ＬＰＲの圧
縮空気は、ともに圧力２０ｋＰａである。
ように、電磁石７が通電され、まず振動子２が右方向に
移動すると、左側のダイヤフラム４、５が右側に動作
し、吸引部２１ａから大気がポンプ室ＬＰＬに吸入され
る（の空気の流れ）。このときのポンプ室ＬＰＬの圧
力は０（ゼロ）である。ついで振動子２が左方向に移動
すると、左側のダイヤフラム４、５の左側動作によりポ
ンプ室ＬＰＬで圧縮された空気（圧力２０ｋＰａ）は通
気管２３から吸引室１４ｂを経由してポンプ室ＭＰＲに
導かれる。ついで振動子２が右方向に移動して、右側の
ダイヤフラム４、５が右側に動作することにより、ポン
プ室ＭＰＲの空気はさらに圧縮されて圧力９８ｋＰａの
圧縮空気として吐出部２２ｂから吐出される。このとき
のポンプ室ＭＰＬの吸入空気およびポンプ室ＬＰＲの圧
縮空気は、ともに圧力２０ｋＰａである。
【００２９】つぎに図１および図６（ｂ）に示されるよ
うに、電磁石７が通電され、まず振動子２が左方向に移
動すると、右側のダイヤフラム４、５が左側に動作し、
吸引部２１ａから大気がポンプ室ＬＰＲに吸入される
（の空気の流れ）。このときのポンプ室ＬＰＲの圧力
は０（ゼロ）である。ついで振動子２が右方向に移動す
ると、右側のダイヤフラム４、５の右側動作によりポン
プ室ＬＰＲで圧縮された空気（圧力２０ｋＰａ）は通気
管２４から吸引室１４ｂを経由してポンプ室ＭＰＬに導
かれる。ついで振動子２が左方向に移動して、左側のダ
イヤフラム４、５が左側に動作することにより、ポンプ
室ＭＰＬの空気はさらに圧縮されて圧力９８ｋＰａの圧
縮空気として吐出部２２ｂから吐出される。このときの
ポンプ室ＬＰＬの圧縮空気およびポンプ室ＭＰＲの吸入
空気は、ともに圧力２０ｋＰａである。
うに、電磁石７が通電され、まず振動子２が左方向に移
動すると、右側のダイヤフラム４、５が左側に動作し、
吸引部２１ａから大気がポンプ室ＬＰＲに吸入される
（の空気の流れ）。このときのポンプ室ＬＰＲの圧力
は０（ゼロ）である。ついで振動子２が右方向に移動す
ると、右側のダイヤフラム４、５の右側動作によりポン
プ室ＬＰＲで圧縮された空気（圧力２０ｋＰａ）は通気
管２４から吸引室１４ｂを経由してポンプ室ＭＰＬに導
かれる。ついで振動子２が左方向に移動して、左側のダ
イヤフラム４、５が左側に動作することにより、ポンプ
室ＭＰＬの空気はさらに圧縮されて圧力９８ｋＰａの圧
縮空気として吐出部２２ｂから吐出される。このときの
ポンプ室ＬＰＬの圧縮空気およびポンプ室ＭＰＲの吸入
空気は、ともに圧力２０ｋＰａである。
【００３０】このように、左右各ポンプ部は直列に接続
されることにより、協調して作動することから、大気は
二段圧縮された状態となり、交互に圧搾空気を吐出す
る。また、左右交互に吐出するため、振動バランスは保
たれている。
されることにより、協調して作動することから、大気は
二段圧縮された状態となり、交互に圧搾空気を吐出す
る。また、左右交互に吐出するため、振動バランスは保
たれている。
【００３１】なお、図７に示されるように、左右のポン
プ部間の接続を変更して、片側ポンプ部同士、すなわち
ポンプ室ＬＰＬとポンプ室ＭＰＬ、ポンプ室ＬＰＲとポ
ンプ室ＭＰＲをそれぞれ接続することにより、圧力は出
せるが、流量が半減する。
プ部間の接続を変更して、片側ポンプ部同士、すなわち
ポンプ室ＬＰＬとポンプ室ＭＰＬ、ポンプ室ＬＰＲとポ
ンプ室ＭＰＲをそれぞれ接続することにより、圧力は出
せるが、流量が半減する。
【００３２】実施例１、２
つぎに通電電圧ＡＣ１２０Ｖおよび周波数５０Ｈｚ、６
０Ｈｚにおけるポンプの流量―圧力特性について説明す
る。まず低圧側ポンプ室と中圧側ポンプ室を直列に接続
した本実施の形態１にかかわるポンプについて流量Ｑと
圧力Ｈの関係を調べた。その結果を図８に示す。図８に
おいて、曲線Ｃ１は５０Ｈｚの特性（実施例１）であ
り、曲線Ｃ２は６０Ｈｚの特性（実施例２）である。つ
いで左右の低圧側ポンプ室と左右の中圧側ポンプ室につ
いて、通気管を並列状態、すなわち図１において、通気
管２３の一端（右端部）を吸引部２１ｂから外してポン
プ室ＬＰＲの吸引部２１ａに接続する状態に配管した低
圧側ポンプと通気管２４の一端（右端部）を吐出部２２
ａから外してポンプ室ＭＰＲの吐出部２２ｂに接続する
とともに、通気管２４の他端（左端部）を吸引部２１ｂ
から外してポンプ室ＭＰＬの吐出部２２ｂに接続する状
態に配管した中圧側ポンプについて流量Ｑと圧力Ｈの関
係を調べた。その結果を図８に示す。図８において、曲
線Ｃ３は低圧側ポンプの５０Ｈｚの特性であり、曲線Ｃ
４は低圧側ポンプの６０Ｈｚの特性である。また、曲線
Ｃ５は中圧側ポンプの５０Ｈｚの特性であり、曲線Ｃ６
は中圧側ポンプの６０Ｈｚの特性である。図８から、本
実施の形態１にかかわるポンプは、明らかに低圧側ポン
プの圧力と中圧側ポンプの圧力が重畳されて、中圧が発
生していることがわかる。
０Ｈｚにおけるポンプの流量―圧力特性について説明す
る。まず低圧側ポンプ室と中圧側ポンプ室を直列に接続
した本実施の形態１にかかわるポンプについて流量Ｑと
圧力Ｈの関係を調べた。その結果を図８に示す。図８に
おいて、曲線Ｃ１は５０Ｈｚの特性（実施例１）であ
り、曲線Ｃ２は６０Ｈｚの特性（実施例２）である。つ
いで左右の低圧側ポンプ室と左右の中圧側ポンプ室につ
いて、通気管を並列状態、すなわち図１において、通気
管２３の一端（右端部）を吸引部２１ｂから外してポン
プ室ＬＰＲの吸引部２１ａに接続する状態に配管した低
圧側ポンプと通気管２４の一端（右端部）を吐出部２２
ａから外してポンプ室ＭＰＲの吐出部２２ｂに接続する
とともに、通気管２４の他端（左端部）を吸引部２１ｂ
から外してポンプ室ＭＰＬの吐出部２２ｂに接続する状
態に配管した中圧側ポンプについて流量Ｑと圧力Ｈの関
係を調べた。その結果を図８に示す。図８において、曲
線Ｃ３は低圧側ポンプの５０Ｈｚの特性であり、曲線Ｃ
４は低圧側ポンプの６０Ｈｚの特性である。また、曲線
Ｃ５は中圧側ポンプの５０Ｈｚの特性であり、曲線Ｃ６
は中圧側ポンプの６０Ｈｚの特性である。図８から、本
実施の形態１にかかわるポンプは、明らかに低圧側ポン
プの圧力と中圧側ポンプの圧力が重畳されて、中圧が発
生していることがわかる。
【００３３】実施の形態２
前記実施の形態１では、空気回路が２段圧縮の２回路に
なるように構成されているが、本実施の形態２では、左
右のポンプ部間の接続をすべて直列とし、空気回路が４
段圧縮の１回路とされている。すなわち図９に示される
ように、（大気）→ＬＰＬ→ＬＰＲ→ＭＰＬ→ＭＰＲ→
（中圧空気）または図１０に示されるように、（大気）
→ＬＰＬ→ＬＰＲ→ＭＰＲ→ＭＰＬ→（中圧空気）とす
ることにより、４段圧縮となり、前記実施の形態１にか
かわるポンプの２倍の圧力を発生させることができる。
ただし、流量は約１／２となる。このように、左右のポ
ンプ部間の接続を変更（配管の組替え）することによっ
て、圧力と流量（ポンプ特性）の切り替えができる。
なるように構成されているが、本実施の形態２では、左
右のポンプ部間の接続をすべて直列とし、空気回路が４
段圧縮の１回路とされている。すなわち図９に示される
ように、（大気）→ＬＰＬ→ＬＰＲ→ＭＰＬ→ＭＰＲ→
（中圧空気）または図１０に示されるように、（大気）
→ＬＰＬ→ＬＰＲ→ＭＰＲ→ＭＰＬ→（中圧空気）とす
ることにより、４段圧縮となり、前記実施の形態１にか
かわるポンプの２倍の圧力を発生させることができる。
ただし、流量は約１／２となる。このように、左右のポ
ンプ部間の接続を変更（配管の組替え）することによっ
て、圧力と流量（ポンプ特性）の切り替えができる。
【００３４】なお、前記左右のポンプ部間の接続とし
て、図９に示される接続は、図１０に示される接続に比
べ左右の推力（負荷）のバランスがわるく、振動の中心
点が電磁石の中央からずれるため、図１０に示される接
続の方が好ましい。
て、図９に示される接続は、図１０に示される接続に比
べ左右の推力（負荷）のバランスがわるく、振動の中心
点が電磁石の中央からずれるため、図１０に示される接
続の方が好ましい。
【００３５】実施例３、４
つぎに図１０の接続で通電電圧ＡＣ１３０Ｖおよび周波
数５０Ｈｚ、６０Ｈｚにおけるポンプの流量―圧力特性
について説明する。図１１に示されるように、本実施の
形態２にかかわる直列接続のポンプの曲線ＣＣ３（５０
Ｈｚ）、ＣＣ４（６０Ｈｚ）の流量―圧力特性（実施例
３、４）は、並列接続のポンプ（前記実施例１、２とは
測定時の電圧が異なるポンプ）の曲線ＣＣ１（５０Ｈ
ｚ）、ＣＣ２（６０Ｈｚ）よりも圧力が約２倍に向上し
ており、流量は約１／２となっている。
数５０Ｈｚ、６０Ｈｚにおけるポンプの流量―圧力特性
について説明する。図１１に示されるように、本実施の
形態２にかかわる直列接続のポンプの曲線ＣＣ３（５０
Ｈｚ）、ＣＣ４（６０Ｈｚ）の流量―圧力特性（実施例
３、４）は、並列接続のポンプ（前記実施例１、２とは
測定時の電圧が異なるポンプ）の曲線ＣＣ１（５０Ｈ
ｚ）、ＣＣ２（６０Ｈｚ）よりも圧力が約２倍に向上し
ており、流量は約１／２となっている。
【００３６】実施の形態３
本実施の形態３では、図１２〜１３に示されるように、
電磁石部３１が、対向して配置される一対のＥ型鉄心３
２および該鉄心３２の内周凹部に組み込まれる捲線コイ
ル部３３からなる電磁石３４と、前記一対のＥ型鉄心３
２の内周部に配置される四角管状の鉄心保持具（中子）
３５と、前記電磁石３４の外表面にモールドされた樹脂
成形体であるフレーム３６とから構成されている。前記
鉄心保持具３５の材質としては、モールド時の１５０度
位の熱に耐えられる耐熱性樹脂またはアルミニウムなど
の非磁性体金属などを用いることができる。また、前記
フレーム３６の材質としては、成形材料である耐熱性で
低収縮率のＢＭＣ（バルクモールドコンパウンド）が望
ましく、たとえば不飽和ポリエステル系のＢＭＣなどを
用いることができる。このフレーム３６には、左右のポ
ンプケーシング１３ａに接続される吸引通気管３８ａと
吐出通気管３９ａおよび左右のポンプケーシング１３ｂ
に接続される吸引通気管３８ｂと吐出通気管３９ｂによ
り、左右の低圧側ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲおよび中圧側
ポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲに繋がる第１通気用タンク部４
０と第２通気用タンク部４１および大径ダイヤフラム４
を取り付けるリング状溝４２が同時成形されている。こ
の吸引通気管３８ａ、３８ｂおよび吐出通気管３９ａ、
３９ｂは、前記実施の形態１と同様に左右のポンプ部と
第１および第２通気用タンク部４０、４１との接続を考
慮して、配置してある。なお、前記第１通気用タンク部
４０は、一室の空間部とすることができるが、本実施の
形態３では、仕切部４３により吸引タンク部４０ａと吐
出タンク部４０ｂに分離されて（仕切られて）いる。ま
た、この吸引タンク部４０ａと吐出タンク部４０ｂに
は、それぞれに連通する吸引口４４ａおよび吐出口４４
ｂを有する蓋４５が固着されている。前記第２通気用タ
ンク部４１には、密閉蓋４６が固着されているととも
に、前記鉄心保持具３５を貫通し、前記電磁石部３１と
大径ダイヤフラム４により密閉される密閉空間Ｓに連通
する連通孔（細孔）４７が形成されている。この連通孔
４７の孔径は、本発明において、とくに限定されるもの
ではなく、ポンプ出力などにより適宜選定することがで
きるが、たとえば約２〜４ｍｍとすることができる。ま
た、連通孔４７の形成位置もとくに限定されるものでは
なく、第２通気用タンク部４１内の適宜の位置に選定す
ることができる。
電磁石部３１が、対向して配置される一対のＥ型鉄心３
２および該鉄心３２の内周凹部に組み込まれる捲線コイ
ル部３３からなる電磁石３４と、前記一対のＥ型鉄心３
２の内周部に配置される四角管状の鉄心保持具（中子）
３５と、前記電磁石３４の外表面にモールドされた樹脂
成形体であるフレーム３６とから構成されている。前記
鉄心保持具３５の材質としては、モールド時の１５０度
位の熱に耐えられる耐熱性樹脂またはアルミニウムなど
の非磁性体金属などを用いることができる。また、前記
フレーム３６の材質としては、成形材料である耐熱性で
低収縮率のＢＭＣ（バルクモールドコンパウンド）が望
ましく、たとえば不飽和ポリエステル系のＢＭＣなどを
用いることができる。このフレーム３６には、左右のポ
ンプケーシング１３ａに接続される吸引通気管３８ａと
吐出通気管３９ａおよび左右のポンプケーシング１３ｂ
に接続される吸引通気管３８ｂと吐出通気管３９ｂによ
り、左右の低圧側ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲおよび中圧側
ポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲに繋がる第１通気用タンク部４
０と第２通気用タンク部４１および大径ダイヤフラム４
を取り付けるリング状溝４２が同時成形されている。こ
の吸引通気管３８ａ、３８ｂおよび吐出通気管３９ａ、
３９ｂは、前記実施の形態１と同様に左右のポンプ部と
第１および第２通気用タンク部４０、４１との接続を考
慮して、配置してある。なお、前記第１通気用タンク部
４０は、一室の空間部とすることができるが、本実施の
形態３では、仕切部４３により吸引タンク部４０ａと吐
出タンク部４０ｂに分離されて（仕切られて）いる。ま
た、この吸引タンク部４０ａと吐出タンク部４０ｂに
は、それぞれに連通する吸引口４４ａおよび吐出口４４
ｂを有する蓋４５が固着されている。前記第２通気用タ
ンク部４１には、密閉蓋４６が固着されているととも
に、前記鉄心保持具３５を貫通し、前記電磁石部３１と
大径ダイヤフラム４により密閉される密閉空間Ｓに連通
する連通孔（細孔）４７が形成されている。この連通孔
４７の孔径は、本発明において、とくに限定されるもの
ではなく、ポンプ出力などにより適宜選定することがで
きるが、たとえば約２〜４ｍｍとすることができる。ま
た、連通孔４７の形成位置もとくに限定されるものでは
なく、第２通気用タンク部４１内の適宜の位置に選定す
ることができる。
【００３７】本実施の形態３では、フレームが樹脂成形
体であるので、機械加工がほとんどないとともに、ダイ
ヤフラム台の部品が減るため、部品コストおよび組立コ
ストを低減させることができる。また、樹脂成形体であ
るため、低騒音であるとともに、２重絶縁による安全性
を向上させることもできる。
体であるので、機械加工がほとんどないとともに、ダイ
ヤフラム台の部品が減るため、部品コストおよび組立コ
ストを低減させることができる。また、樹脂成形体であ
るため、低騒音であるとともに、２重絶縁による安全性
を向上させることもできる。
【００３８】本実施の形態３では、第２通気用タンク部
４１と密閉空間Ｓとは連通孔４７で繋がっているので、
ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲで発生した圧力（空気圧）はポ
ンプ室ＭＰＲ、ＭＰＬに伝達されるとともに、この圧力
が連通孔４７を通して前記密閉空間Ｓに分岐されて、前
記大径ダイヤフラム４に背圧として加えられる。
４１と密閉空間Ｓとは連通孔４７で繋がっているので、
ポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲで発生した圧力（空気圧）はポ
ンプ室ＭＰＲ、ＭＰＬに伝達されるとともに、この圧力
が連通孔４７を通して前記密閉空間Ｓに分岐されて、前
記大径ダイヤフラム４に背圧として加えられる。
【００３９】このため、大径ダイヤフラム４の左右両側
面に掛かる圧力は、略同一（差圧＝０）になる。これは
丁度電気回路における負帰還のような働きをし、大径ダ
イヤフラム４に掛かる応力は減少する。通常大径ダイヤ
フラム４は、弾性変形可能なゴムであるので、ゴム自体
の非線形性質が大径ダイヤフラム４のバネ特性に反映さ
れることから、大径ダイヤフラム４の片側（ポンプ室
側）のみに圧力が掛かると、バネ定数の非直線性を大き
くする。これにより、背圧を加えない場合、大径ダイヤ
フラム４のバネ特性が非線形であるため、異常現象であ
る非線形振動が発生するが、本実施の形態３では、前記
背圧を大径ダイヤフラム４に加えることにより、異常現
象である非線形振動を抑制し、安定した運転を行なうこ
とができる。
面に掛かる圧力は、略同一（差圧＝０）になる。これは
丁度電気回路における負帰還のような働きをし、大径ダ
イヤフラム４に掛かる応力は減少する。通常大径ダイヤ
フラム４は、弾性変形可能なゴムであるので、ゴム自体
の非線形性質が大径ダイヤフラム４のバネ特性に反映さ
れることから、大径ダイヤフラム４の片側（ポンプ室
側）のみに圧力が掛かると、バネ定数の非直線性を大き
くする。これにより、背圧を加えない場合、大径ダイヤ
フラム４のバネ特性が非線形であるため、異常現象であ
る非線形振動が発生するが、本実施の形態３では、前記
背圧を大径ダイヤフラム４に加えることにより、異常現
象である非線形振動を抑制し、安定した運転を行なうこ
とができる。
【００４０】なお、本実施の形態３では、フレームが樹
脂成形体にされているが、本発明においては、これに限
定されるものではなく、アルミニウムダイカストまたは
押出し加工により成形された成形体とすることもでき
る。
脂成形体にされているが、本発明においては、これに限
定されるものではなく、アルミニウムダイカストまたは
押出し加工により成形された成形体とすることもでき
る。
【００４１】また、本実施の形態３では、一対のＥ型鉄
心（主鉄心）および捲線コイル部から構成される２次元
形電磁石を用いているが、本発明においては、これに限
定されるものではなく、図１４に示されるように、対向
して配置される一対のＥ型小径鉄心（補助鉄心）５１、
該一対のＥ型小径鉄心５１とは直交する位置に配置され
る一対のＥ型大径鉄心（主鉄心）５２および該Ｅ型大径
鉄心５２の内周凹部５２ａに組み込まれる捲線コイル部
（図示せず）からなる電磁石５３を用いることができ
る。かかる電磁石５３を用いる場合、振動子５４の磁石
形状は立方体となる。すなわち磁石５５は、シャフト５
６に直接取り付けられた外形形状が四角（角柱タイプ）
にされている。そして一対の磁石５５のうち、一方の磁
石５５が周方向の４箇所にＮ極とＳ極の極性が交互に極
異方性磁極に着磁され、もう一方の磁石５５の極性が対
向する磁石５５とは逆に周方向の４箇所にＳ極とＮ極の
極性が交互に極異方性磁極に着磁されている。
心（主鉄心）および捲線コイル部から構成される２次元
形電磁石を用いているが、本発明においては、これに限
定されるものではなく、図１４に示されるように、対向
して配置される一対のＥ型小径鉄心（補助鉄心）５１、
該一対のＥ型小径鉄心５１とは直交する位置に配置され
る一対のＥ型大径鉄心（主鉄心）５２および該Ｅ型大径
鉄心５２の内周凹部５２ａに組み込まれる捲線コイル部
（図示せず）からなる電磁石５３を用いることができ
る。かかる電磁石５３を用いる場合、振動子５４の磁石
形状は立方体となる。すなわち磁石５５は、シャフト５
６に直接取り付けられた外形形状が四角（角柱タイプ）
にされている。そして一対の磁石５５のうち、一方の磁
石５５が周方向の４箇所にＮ極とＳ極の極性が交互に極
異方性磁極に着磁され、もう一方の磁石５５の極性が対
向する磁石５５とは逆に周方向の４箇所にＳ極とＮ極の
極性が交互に極異方性磁極に着磁されている。
【００４２】また、たとえばポンプ室ＬＰＬの大径ダイ
ヤフラム４の一部が疲労などで破損すると、ポンプ室Ｌ
ＰＬの圧力が漏れ、前記密閉空間Ｓの空気圧力が増大す
る。このため、前記電磁石部３１と大径ダイヤフラム４
によって密閉される密閉空間Ｓに連通する第２の連通孔
（図示せず）をフレーム３６に形成するとともに、該第
２の連通孔を通して前記密閉空間Ｓの圧力上昇により作
動し、大径ダイヤフラム４の破損を検出することができ
る、センサやスイッチなどのダイヤフラム式圧力検知手
段をフレーム３６に内蔵することもできる。この検知手
段としては、たとえば第２の連通孔を通して検出ダイヤ
フラムが押されたのち、接点スイッチが変形して短絡を
行なうものを用いることができる。
ヤフラム４の一部が疲労などで破損すると、ポンプ室Ｌ
ＰＬの圧力が漏れ、前記密閉空間Ｓの空気圧力が増大す
る。このため、前記電磁石部３１と大径ダイヤフラム４
によって密閉される密閉空間Ｓに連通する第２の連通孔
（図示せず）をフレーム３６に形成するとともに、該第
２の連通孔を通して前記密閉空間Ｓの圧力上昇により作
動し、大径ダイヤフラム４の破損を検出することができ
る、センサやスイッチなどのダイヤフラム式圧力検知手
段をフレーム３６に内蔵することもできる。この検知手
段としては、たとえば第２の連通孔を通して検出ダイヤ
フラムが押されたのち、接点スイッチが変形して短絡を
行なうものを用いることができる。
【００４３】さらに、本実施の形態３では、大径ダイヤ
フラム４に背圧が加えられるように、連通孔４７を形成
しているが、振動の振幅を狭めて、バネ定数の変化を押
さえたポンプ運動を行なう場合、この連通孔４７を省く
こともできる。この場合、前記第２通気用タンク部の空
間を省き、すなわち第２通気用タンク部を樹脂で満たし
て空間をなくすことにより、当該フレーム樹脂部に左右
のポンプ部からの２本の通気管を接続させるための２個
の通気用貫通部を形成するだけでよい。
フラム４に背圧が加えられるように、連通孔４７を形成
しているが、振動の振幅を狭めて、バネ定数の変化を押
さえたポンプ運動を行なう場合、この連通孔４７を省く
こともできる。この場合、前記第２通気用タンク部の空
間を省き、すなわち第２通気用タンク部を樹脂で満たし
て空間をなくすことにより、当該フレーム樹脂部に左右
のポンプ部からの２本の通気管を接続させるための２個
の通気用貫通部を形成するだけでよい。
【００４４】実施の形態４
これまでの実施の形態では、ポンプ室は低圧側と中圧側
とからなり、低圧側のダイヤフラム台やダイヤフラムの
取付け溝は電磁石部側に設けられている。また、低圧ポ
ンプ室と中圧ポンプ室とは中圧用の小径ダイヤフラムで
仕切られている。また、各ダイヤフラムは振動子の端部
に強固に取付けられており、両ポンプ室間の漏れは最小
限に押さえられている。
とからなり、低圧側のダイヤフラム台やダイヤフラムの
取付け溝は電磁石部側に設けられている。また、低圧ポ
ンプ室と中圧ポンプ室とは中圧用の小径ダイヤフラムで
仕切られている。また、各ダイヤフラムは振動子の端部
に強固に取付けられており、両ポンプ室間の漏れは最小
限に押さえられている。
【００４５】この低圧側の大径ダイヤフラムは円盤形で
あり、振動子を支持できる弾性的強度を必要とするが、
中圧側の小径ダイヤフラムは振動子への支持力はそれほ
ど必要ではなく、ストロークが長く取れることが必要で
ある。この中圧側ダイヤフラムの径寸法により、特性を
自由に変更できるが、たとえば図１５に示されるよう
に、ストロークを長く取れるように弾性変形が可能な波
状（Ｓ字状）のコルゲート部６１が形成されたコルゲー
ション形ダイヤフラム６２を用いるのが好ましい。
あり、振動子を支持できる弾性的強度を必要とするが、
中圧側の小径ダイヤフラムは振動子への支持力はそれほ
ど必要ではなく、ストロークが長く取れることが必要で
ある。この中圧側ダイヤフラムの径寸法により、特性を
自由に変更できるが、たとえば図１５に示されるよう
に、ストロークを長く取れるように弾性変形が可能な波
状（Ｓ字状）のコルゲート部６１が形成されたコルゲー
ション形ダイヤフラム６２を用いるのが好ましい。
【００４６】実施の形態５
これまでの実施の形態は、各ポンプケーシングと通気用
タンク部は通気管で接続されているが、本発明において
は、通気管を省き配管を省略することができる。すなわ
ち本実施の形態５では、図１６〜２３に示されるよう
に、フレーム６５ａが前記電磁石３２の外表面にモール
ドされた樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室Ｌ
ＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰＲ、ＭＰＲに繋がる、吸引口６６ａ
と吐出口６６ｂに連通する第１通気用タンク部６７と第
２通気用タンク部６８および前記大径ダイヤフラム４を
取り付けるリング状溝６９が同時成形されている。この
第１通気用タンク部６７には、前記吸引口６６ａと吐出
口６６ｂを有する蓋６６が取り付けられるとともに、第
２通気用タンク部６８には、蓋７０が取り付けられてい
る。前記左右の大径ダイヤフラム用ポンプケーシング７
１ａのポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲに繋がる、吸引室７２ａ
と第１通気用タンク部６７および吐出室７２ｂと第２通
気用タンク部６８がフレーム６５ａおよびポンプケーシ
ング７１ａにそれぞれ形成される通路７３、７４により
連通している。また、左右の小径ダイヤフラム用ポンプ
ケーシング７１ｂのポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲに繋がる、
吐出室７５ｂと第１通気用タンク部６７および吸引室７
５ａと第２通気用タンク部６８がフレーム６５ａおよび
ポンプケーシング７１ａ、７１ｂに形成される通路７
３、７４、７６により連通している。また、ポンプケー
シング７１ｂの吸引室お７５ａよび吐出室７５ｂを塞ぐ
パッキン７７とポンプケーシング７１ａ、７１ｂを覆う
カバー７８が取り付けられている。
タンク部は通気管で接続されているが、本発明において
は、通気管を省き配管を省略することができる。すなわ
ち本実施の形態５では、図１６〜２３に示されるよう
に、フレーム６５ａが前記電磁石３２の外表面にモール
ドされた樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ室Ｌ
ＰＬ、ＭＰＬ、ＬＰＲ、ＭＰＲに繋がる、吸引口６６ａ
と吐出口６６ｂに連通する第１通気用タンク部６７と第
２通気用タンク部６８および前記大径ダイヤフラム４を
取り付けるリング状溝６９が同時成形されている。この
第１通気用タンク部６７には、前記吸引口６６ａと吐出
口６６ｂを有する蓋６６が取り付けられるとともに、第
２通気用タンク部６８には、蓋７０が取り付けられてい
る。前記左右の大径ダイヤフラム用ポンプケーシング７
１ａのポンプ室ＬＰＬ、ＬＰＲに繋がる、吸引室７２ａ
と第１通気用タンク部６７および吐出室７２ｂと第２通
気用タンク部６８がフレーム６５ａおよびポンプケーシ
ング７１ａにそれぞれ形成される通路７３、７４により
連通している。また、左右の小径ダイヤフラム用ポンプ
ケーシング７１ｂのポンプ室ＭＰＬ、ＭＰＲに繋がる、
吐出室７５ｂと第１通気用タンク部６７および吸引室７
５ａと第２通気用タンク部６８がフレーム６５ａおよび
ポンプケーシング７１ａ、７１ｂに形成される通路７
３、７４、７６により連通している。また、ポンプケー
シング７１ｂの吸引室お７５ａよび吐出室７５ｂを塞ぐ
パッキン７７とポンプケーシング７１ａ、７１ｂを覆う
カバー７８が取り付けられている。
【００４７】本実施の形態５におけるポンプケーシング
７１ａには、フレーム６５ａとポンプケーシング７１ｂ
との通路の位置決めのために、前記通路７４の両端部に
フレーム６５ａの通路７３およびポンプケーシング７１
ｂの吸引室７５ａと吐出室７５ｂに繋がるように通路７
６に差し込められる貫通パイプ部７９が形成されてい
る。なお、空気漏れを防止するため、該貫通パイプ部７
９の外周基部にＯリングやパッキンなどを取り付けるの
が好ましい。
７１ａには、フレーム６５ａとポンプケーシング７１ｂ
との通路の位置決めのために、前記通路７４の両端部に
フレーム６５ａの通路７３およびポンプケーシング７１
ｂの吸引室７５ａと吐出室７５ｂに繋がるように通路７
６に差し込められる貫通パイプ部７９が形成されてい
る。なお、空気漏れを防止するため、該貫通パイプ部７
９の外周基部にＯリングやパッキンなどを取り付けるの
が好ましい。
【００４８】本実施の形態５は、第１通気タンク部およ
び第２通気用タンク部に直接左右のポンプ室に連通する
通路を形成しているので、該タンク部の深さを浅くで
き、ポンプ高さの寸法を小さくすることができる。
び第２通気用タンク部に直接左右のポンプ室に連通する
通路を形成しているので、該タンク部の深さを浅くで
き、ポンプ高さの寸法を小さくすることができる。
【００４９】なお、本実施の形態５では、第１通気用タ
ンク部６７が仕切部８０により吸引タンク部６７ａと吐
出タンク部６７ｂに分離されているが、本発明において
は、この仕切部８０を省くこともできる。
ンク部６７が仕切部８０により吸引タンク部６７ａと吐
出タンク部６７ｂに分離されているが、本発明において
は、この仕切部８０を省くこともできる。
【００５０】また、前記電磁石部６５と大径ダイヤフラ
ム４により密閉される密閉空間Ｓに連通する連通孔６５
ｃが前記第２通気用タンク部６８に形成されており、該
連通孔６５ｃを通して前記大径ダイヤフラム４で発生し
た圧力を該大径ダイヤフラム４に背圧として加えるよう
にしているが、本発明においては、この連通孔６５ｃを
省くこともできる。
ム４により密閉される密閉空間Ｓに連通する連通孔６５
ｃが前記第２通気用タンク部６８に形成されており、該
連通孔６５ｃを通して前記大径ダイヤフラム４で発生し
た圧力を該大径ダイヤフラム４に背圧として加えるよう
にしているが、本発明においては、この連通孔６５ｃを
省くこともできる。
【００５１】実施の形態６
これまでの実施の形態では、２段圧縮や４段圧縮により
中圧を発生させるようにしているが、本発明において
は、振動子の磁束を増加し、推力を増大させることによ
り、圧力を増大させることができる。本実施の形態６で
は、図２４に示されるように、振動子８１の一対の磁石
８２の両側にそれぞれ１個の磁石８２を増やして、計４
個に増加した場合、該４個の磁石８２と一対のＥ型鉄心
８３および捲線コイル部８４からなる電磁石８５とで構
成する磁気回路を１回路から２回路に増加させている。
すなわち前記Ｅ型鉄心８３のサイドポール部（側極）８
３ａの極幅寸法は中央のセンターポール部（主極）８３
ｂの極幅寸法とほぼ同寸法とされ、４個の磁石８２のう
ち、両端部の磁石８２の幅寸法は中央部の磁石８２の幅
寸法の１／２とされている。これは、中央部の２つの磁
石８２と異なり、両端部の磁石８２は、中央部の磁石の
幅寸法の１／２に相当する部分が磁路の形成にあづかる
ためである（たとえば振動子が左に寄ったとき、最右側
の磁石８２は磁路を形成し、最左側の磁石は磁路を形成
しない。振動子が右に寄ったとき、最左側の磁石８２は
磁路を形成し、最右側の磁石は磁路を形成しない。すな
わち中央部の磁石８２は振動子の左右移動に際し、常に
磁石の幅の両側が磁路形成に関与しているのに対し、両
端左右の磁石は１／２幅（片側寸法）のみが磁路形成に
関与しているためである）。これにより、磁気回路は２
回路に構成される。
中圧を発生させるようにしているが、本発明において
は、振動子の磁束を増加し、推力を増大させることによ
り、圧力を増大させることができる。本実施の形態６で
は、図２４に示されるように、振動子８１の一対の磁石
８２の両側にそれぞれ１個の磁石８２を増やして、計４
個に増加した場合、該４個の磁石８２と一対のＥ型鉄心
８３および捲線コイル部８４からなる電磁石８５とで構
成する磁気回路を１回路から２回路に増加させている。
すなわち前記Ｅ型鉄心８３のサイドポール部（側極）８
３ａの極幅寸法は中央のセンターポール部（主極）８３
ｂの極幅寸法とほぼ同寸法とされ、４個の磁石８２のう
ち、両端部の磁石８２の幅寸法は中央部の磁石８２の幅
寸法の１／２とされている。これは、中央部の２つの磁
石８２と異なり、両端部の磁石８２は、中央部の磁石の
幅寸法の１／２に相当する部分が磁路の形成にあづかる
ためである（たとえば振動子が左に寄ったとき、最右側
の磁石８２は磁路を形成し、最左側の磁石は磁路を形成
しない。振動子が右に寄ったとき、最左側の磁石８２は
磁路を形成し、最右側の磁石は磁路を形成しない。すな
わち中央部の磁石８２は振動子の左右移動に際し、常に
磁石の幅の両側が磁路形成に関与しているのに対し、両
端左右の磁石は１／２幅（片側寸法）のみが磁路形成に
関与しているためである）。これにより、磁気回路は２
回路に構成される。
【００５２】つぎに本実施の形態６にかかわるポンプの
流量−圧力特性について説明する。図２５に示されるよ
うに、本実施の形態６にかかわるポンプの曲線ＣＤ１
（５０Ｈｚ）、ＣＤ２（６０Ｈｚ）は並列接続であっ
て、それぞれ５０Ｈｚ、６０Ｈｚで１３０Ｖ通電時の特
性である（実施例５、６）。比較のため、すでに説明し
た実施の形態１にかかわるポンプの曲線Ｃ１、Ｃ２（実
施例１、２）の特性を併記する。図２５から、本実施の
形態６にかかわるポンプでは、明かに側極磁石の効果が
現れ、圧力が磁石量にほぼ比例して増加しており、並列
接続で圧力１００ｋＰａ時、流量が５０／６０Ｈｚでそ
れぞれ６、８Ｌ／ｍｉｎが得られている。また、流量６
〜８Ｌ／ｍｉｎの範囲で側極なしのポンプに比し、１．
３〜１．６倍圧力が増大している。また、実施の形態２
の直列接続のデータでは、１００ｋＰａ時の流量が５０
／６０Ｈｚでそれぞれ４．０／５．５Ｌ／ｍｉｎである
ので、同等以上の性能が得られており、１００ｋＰａ以
下の圧力範囲では流量も多く優れている。
流量−圧力特性について説明する。図２５に示されるよ
うに、本実施の形態６にかかわるポンプの曲線ＣＤ１
（５０Ｈｚ）、ＣＤ２（６０Ｈｚ）は並列接続であっ
て、それぞれ５０Ｈｚ、６０Ｈｚで１３０Ｖ通電時の特
性である（実施例５、６）。比較のため、すでに説明し
た実施の形態１にかかわるポンプの曲線Ｃ１、Ｃ２（実
施例１、２）の特性を併記する。図２５から、本実施の
形態６にかかわるポンプでは、明かに側極磁石の効果が
現れ、圧力が磁石量にほぼ比例して増加しており、並列
接続で圧力１００ｋＰａ時、流量が５０／６０Ｈｚでそ
れぞれ６、８Ｌ／ｍｉｎが得られている。また、流量６
〜８Ｌ／ｍｉｎの範囲で側極なしのポンプに比し、１．
３〜１．６倍圧力が増大している。また、実施の形態２
の直列接続のデータでは、１００ｋＰａ時の流量が５０
／６０Ｈｚでそれぞれ４．０／５．５Ｌ／ｍｉｎである
ので、同等以上の性能が得られており、１００ｋＰａ以
下の圧力範囲では流量も多く優れている。
【００５３】電磁石と振動子の形状、寸法の僅かな変更
で実施の形態１では得られなかった特性が得られてい
る。なお、磁石材質（性能）や組合せを変更することに
より、特性の変更ができる。たとえば中央部側の磁石材
質と外側の磁石材質の変更や厚さの変更で希望とする特
性を出すこともできる。たとえば磁石材質を変更し、空
隙の寸法を変更した一例を説明する。図２６に示される
ように、本実施の形態６における電磁石と磁石におい
て、まず磁石の材質を３５ＭＧＯｅからエネルギー積の
高い材質４６ＭＧＯｅに変更するとともに、電磁石と磁
石とのあいだの空隙の寸法を（片側＋１ｍｍ）に変更し
たポンプの流量−圧力特性を調べた。図２６において、
ポンプの曲線ＣＥ１、ＣＥ２は並列接続であり、ポンプ
の曲線ＣＦ１、ＣＦ２は直列接続であって、それぞれ５
０Ｈｚ、６０Ｈｚで１３０Ｖ通電時の特性である（実施
例７、８、９、１０）。図２６から、実施例７、８の並
列接続のポンプは、空隙の影響（拡大）もあって、１０
０ｋＰａ時の流量は増大していないが、実施例９、１０
の直列接続のポンプでは、前記実施の形態２におけるポ
ンプの曲線ＣＣ１、ＣＣ２の１．５倍以上向上してい
る。
で実施の形態１では得られなかった特性が得られてい
る。なお、磁石材質（性能）や組合せを変更することに
より、特性の変更ができる。たとえば中央部側の磁石材
質と外側の磁石材質の変更や厚さの変更で希望とする特
性を出すこともできる。たとえば磁石材質を変更し、空
隙の寸法を変更した一例を説明する。図２６に示される
ように、本実施の形態６における電磁石と磁石におい
て、まず磁石の材質を３５ＭＧＯｅからエネルギー積の
高い材質４６ＭＧＯｅに変更するとともに、電磁石と磁
石とのあいだの空隙の寸法を（片側＋１ｍｍ）に変更し
たポンプの流量−圧力特性を調べた。図２６において、
ポンプの曲線ＣＥ１、ＣＥ２は並列接続であり、ポンプ
の曲線ＣＦ１、ＣＦ２は直列接続であって、それぞれ５
０Ｈｚ、６０Ｈｚで１３０Ｖ通電時の特性である（実施
例７、８、９、１０）。図２６から、実施例７、８の並
列接続のポンプは、空隙の影響（拡大）もあって、１０
０ｋＰａ時の流量は増大していないが、実施例９、１０
の直列接続のポンプでは、前記実施の形態２におけるポ
ンプの曲線ＣＣ１、ＣＣ２の１．５倍以上向上してい
る。
【００５４】なお、本実施の形態６では、２次元形電磁
石を用いているが、本発明においては、これに限定され
るものではなく、３次元形電磁石（一対のＥ型小径鉄
心、一対のＥ型大径鉄心および捲線コイル部からなる電
磁石）を用いることができる。かかる３次元形電磁石を
用いる場合、振動子の磁石形状は立方体となる。
石を用いているが、本発明においては、これに限定され
るものではなく、３次元形電磁石（一対のＥ型小径鉄
心、一対のＥ型大径鉄心および捲線コイル部からなる電
磁石）を用いることができる。かかる３次元形電磁石を
用いる場合、振動子の磁石形状は立方体となる。
【００５５】実施の形態７
前記実施の形態１、５にかかわるポンプは、２段圧縮方
式のポンプであり、実施の形態２にかかわるポンプは、
左右のポンプ部間の接続を全て直列とした４段圧縮方式
のポンプにされている。かかる圧縮の段数は、本発明に
おいては、これら以外の多段とすることができる。たと
えば小径ダイヤフラムの数を増やして（小径ダイヤフラ
ムのポンプ部の増加により）、圧縮の段数を増やすこと
ができる。たとえば図２７に示されるように、中圧用ポ
ンプ室ＮＰＬ、ＮＰＲを追加することにより、圧縮は３
段となり３段圧縮方式のポンプを得ることができる。ま
たは左右のポンプ部間を全て直列に接続して６段として
６段圧縮方式のポンプを得ることができる。ただし、内
部構造および寸法の制限から鑑み、実用上は２段または
４段程度が好ましい。
式のポンプであり、実施の形態２にかかわるポンプは、
左右のポンプ部間の接続を全て直列とした４段圧縮方式
のポンプにされている。かかる圧縮の段数は、本発明に
おいては、これら以外の多段とすることができる。たと
えば小径ダイヤフラムの数を増やして（小径ダイヤフラ
ムのポンプ部の増加により）、圧縮の段数を増やすこと
ができる。たとえば図２７に示されるように、中圧用ポ
ンプ室ＮＰＬ、ＮＰＲを追加することにより、圧縮は３
段となり３段圧縮方式のポンプを得ることができる。ま
たは左右のポンプ部間を全て直列に接続して６段として
６段圧縮方式のポンプを得ることができる。ただし、内
部構造および寸法の制限から鑑み、実用上は２段または
４段程度が好ましい。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
中圧（５０〜１００Ｋｐａ程度）を発生させることがで
きる。
中圧（５０〜１００Ｋｐａ程度）を発生させることがで
きる。
【００５７】また、ピストン式ポンプと比較して、摩擦
がないので、効率がよく、ポンプが長寿命となる。そし
て、ダイヤフラムはピストンよりストロークが短いた
め、電磁石の体積が小さく、ピストン式ポンプよりポン
プが小型になる。
がないので、効率がよく、ポンプが長寿命となる。そし
て、ダイヤフラムはピストンよりストロークが短いた
め、電磁石の体積が小さく、ピストン式ポンプよりポン
プが小型になる。
【図１】本発明の実施の形態１にかかわる電磁振動型ダ
イヤフラムポンプを示す部分切欠き横断面図である。
イヤフラムポンプを示す部分切欠き横断面図である。
【図２】図１のポンプの背面図である。
【図３】図１のポンプの右側面図である。
【図４】図１のポンプの概略図である。
【図５】図１の左右のポンプ室の接続を説明する模式図
である。
である。
【図６】図１のポンプの動作を説明する模式図である。
【図７】左右のポンプ室の接続の他の例を説明する模式
図である。
図である。
【図８】図１のポンプ、低圧側ポンプ室および中圧側ポ
ンプ室の流量―圧力特性を示す図である。
ンプ室の流量―圧力特性を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２にかかわる電磁振動型ダ
イヤフラムポンプの４段圧縮を示す概略図である。
イヤフラムポンプの４段圧縮を示す概略図である。
【図１０】実施の形態２の他の４段圧縮を示す概略図で
ある。
ある。
【図１１】図１０の直列接続のポンプの曲線ＣＣ３（５
０Ｈｚ）、ＣＣ４（６０Ｈｚ）および並列接続のポンプ
（実施例１、２とは測定時の電圧が異なるポンプ）の曲
線ＣＣ１（５０Ｈｚ）、ＣＣ２（６０Ｈｚ）の流量―圧
力特性を示す図である。
０Ｈｚ）、ＣＣ４（６０Ｈｚ）および並列接続のポンプ
（実施例１、２とは測定時の電圧が異なるポンプ）の曲
線ＣＣ１（５０Ｈｚ）、ＣＣ２（６０Ｈｚ）の流量―圧
力特性を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態３にかかわる電磁振動型
ダイヤフラムポンプを示す図１３のＡ−Ａ線断面図であ
る。
ダイヤフラムポンプを示す図１３のＡ−Ａ線断面図であ
る。
【図１３】図１２のポンプの横断面図である。
【図１４】３次元形電磁石を示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施の形態４にかかわる電磁振動型
ダイヤフラムポンプのコルゲート付ダイヤフラムを示す
断面図である。
ダイヤフラムポンプのコルゲート付ダイヤフラムを示す
断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態５にかかわる電磁振動型
ダイヤフラムポンプを示す横断面である。
ダイヤフラムポンプを示す横断面である。
【図１７】図１６の縦断面図である。
【図１８】図１６のＢ−Ｂ断面図である。
【図１９】図１６のＣ−Ｃ断面図である。
【図２０】図１６の低圧用ポンプケーシングの右側面図
である。
である。
【図２１】図２０のＤ―Ｄ線断面図である。
【図２２】図１６の中圧用ポンプケーシングの右側面図
である。
である。
【図２３】図２２のＥ−Ｅ線断面図である。
【図２４】実施の形態６にかかわるポンプ内の電磁石と
振動子を示す図である。
振動子を示す図である。
【図２５】図２４のポンプの流量―圧力特性を示す図で
ある。
ある。
【図２６】図２４のポンプにおいて、磁石材質と空隙を
変更したときの流量―圧力特性を示す図である。
変更したときの流量―圧力特性を示す図である。
【図２７】本発明の実施の形態７にかかわる電磁振動型
ダイヤフラムポンプを示す概略面である。
ダイヤフラムポンプを示す概略面である。
【図２８】従来の電磁振動型ダイヤフラムポンプの一例
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
１ ポンプ本体カバー
２ 電磁石部
３ 振動子
４ 大径ダイヤフラム
５ 小径ダイヤフラム
６ ポンプケーシング部
７ 電磁石
８ フレーム
９ 磁石
１０ 保持板
１１、１２ 保持金具類
１３ａ、１３ｂ ポンプケーシング
１４ａ、１４ｂ 吸引室
１５ａ、１５ｂ 吐出室
２３、２４ 通気管（チューブ）
ＬＰＲ、ＬＰＬ ポンプ室（低圧ポンプ室）
ＭＰＬ、ＭＰＲ ポンプ室（中圧ポンプ室）
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3H077 AA12 CC02 CC09 CC18 DD05
DD12 EE23 EE36 FF03 FF06
FF14 FF21 FF32
Claims (14)
- 【請求項１】 フレーム内に対向して配置されている電
磁石を有する電磁石部と、該電磁石部内に支持され、磁
石を備えている振動子と、該振動子の両端部に順次連結
される円盤状の大径ダイヤフラムおよび小径ダイヤフラ
ムと、前記電磁石部の両端部に固定される、前記大径ダ
イヤフラムと小径ダイヤフラムのポンプケーシング部と
からなり、該左右のポンプケーシング部が大径ダイヤフ
ラムおよび小径ダイヤフラムのそれぞれに対応するポン
プ室を有してなる電磁振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項２】 前記ポンプケーシング部が、大径ダイヤ
フラム用ポンプケーシングと小径ダイヤフラム用ポンプ
ケーシングとからなり、該大径ダイヤフラム用ポンプケ
ーシングのポンプ室と小径ダイヤフラム用ポンプケーシ
ングのポンプ室とが隣接するとともに、小径ダイヤフラ
ムで仕切られてなる請求項１記載の電磁振動型ダイヤフ
ラムポンプ。 - 【請求項３】 左側の大径ダイヤフラムのポンプ室で発
生した低圧の空気を右側の小径ダイヤフラムのポンプ室
に導くとともに、右側の大径ダイヤフラムポンプのポン
プ室で発生した低圧の空気を左側の小径ダイヤフラムの
ポンプ室に導くことにより、ポンプ作用で中圧の空気を
発生させるべく、空気回路としては２回路の２段圧縮に
されてなる請求項１または２記載の電磁振動型ダイヤフ
ラムポンプ。 - 【請求項４】 左右の大径ダイヤフラムのポンプ室を接
続するとともに、左右の小径ダイヤフラムのポンプ室を
接続することにより、ポンプ作用で中圧の空気を発生さ
せるべく、空気回路として１回路の４段圧縮にされてな
る請求項１または２記載の電磁振動型ダイヤフラムポン
プ。 - 【請求項５】 前記フレームが前記電磁石の外表面にモ
ールドされた樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ
室に繋がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タン
ク部と第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラム
を取り付けるリング状溝が同時成形されている請求項
１、２、３または４記載の電磁振動型ダイヤフラムポン
プ。 - 【請求項６】 前記左右のポンプ室間が通気管により接
続されてなる請求項１、２、３、４または５記載の電磁
振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項７】 前記フレームが前記電磁石の外表面にモ
ールドされた樹脂成形体であるとともに、左右のポンプ
室に繋がる、吸引口と吐出口に連通する第１通気用タン
ク部と第２通気用タンク部および前記大径ダイヤフラム
を取り付けるリング状溝が同時成形されており、前記左
右の大径ダイヤフラム用ポンプケーシングのポンプ室に
繋がる、吸引室と第１通気用タンク部および吐出室と第
２通気用タンク部がフレームおよび大径ダイヤフラム用
ポンプケーシングに形成される通路により連通するとと
もに、前記左右の小径ダイヤフラム用ポンプケーシング
のポンプ室に連通する、吐出室と第１通気用タンク部お
よび吸引室と第２通気用タンク部が大径ダイヤフラムお
よび小径ダイヤフラム用ポンプケーシングに形成される
通路により連通してなる請求項１、２または３記載の電
磁振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項８】 前記第１通気用タンク部が仕切部により
分離されてなる請求項５、６または７記載の電磁振動型
ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項９】 前記電磁石部と大径ダイヤフラムにより
密閉される密閉空間に連通する連通孔が前記第２通気用
タンク部に形成されており、該連通孔を通して前記大径
ダイヤフラムで発生した圧力を該大径ダイヤフラムに背
圧として印加する請求項５、６、７または８記載の電磁
振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項１０】 前記左右のポンプケーシング部におけ
る小径ダイヤフラムのポンプ部を少なくとも２個備えて
おり、多段圧縮とされてなる請求項１または２記載の電
磁振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項１１】 前記電磁石が、対向して配置される一
対の鉄心および該鉄心の内周凹部に組み込まれる捲線コ
イル部からなる請求項１、２、３、４、５、６、７、
８、９または１０記載の電磁振動型ダイヤフラムポン
プ。 - 【請求項１２】 前記電磁石が、対向して配置される一
対の小径鉄心、該一対の小径鉄心とは直交する位置に配
置される一対の大径鉄心および該大径鉄心の内周凹部に
組み込まれる捲線コイル部からなる請求項１、２、３、
４、５、６、７、８、９または１０記載の電磁振動型ダ
イヤフラムポンプ。 - 【請求項１３】 前記振動子の磁石の数が４個であっ
て、両端部の２個の磁石の幅寸法が中央部の２個の磁石
の幅寸法の約１／２であり、前記鉄心がＥ形であり、か
つ前記磁石と対向するセンターポール部および２つのサ
イドポール部の極幅寸法がともにほぼ同寸法である請求
項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１ま
たは１２記載の電磁振動型ダイヤフラムポンプ。 - 【請求項１４】 前記小径ダイヤフラムがコルゲーショ
ン形ダイヤフラムである請求項１、２、３、４、５、
６、７、８、９、１０、１１、１２または１３記載の電
磁振動型ダイヤフラムポンプ。
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