JP2003298276A - 防振型磁気シールドクリーンルームとその施工法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パネル構造を採用して装置基礎を定着するこ
とで、クリーン精度、磁気シールド性能及び防振性能を
確保できる防振型磁気シールドクリーンルームとその施
工法を提供する。 【解決手段】 本発明による防振型磁気シールドクリー
ンルーム１は、レベル調整モルタル１２を打設した設置
基礎１３の上に設置されており、少なくとも片面に磁性
材１７を貼設した基板材１０を積層して成る底版１５と
コンクリート床２０、少なくとも片面に磁性材２３を貼
設したパネル材１１を積層して成る側壁２と、少なくと
も片面に磁性材２３を貼設したパネル材１１を積層して
成る天井部４と、天井部から吊り下げられるＵＬＰＡフ
ィルター７２と、コンクリート床に防振して設置する装
置基礎及び通気開口に磁性ハニカムを装備して成る磁性
材製通還気ダクト５で構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーン機能と共
に装備装置に対する防振と磁気シールドの性能特性を満
たす防振型磁気シールドクリーンルームとその施工法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からのクリーンルームは、ＩＣやＬ
ＳＩを製造する半導体工場や手術室に代表される各種の
医療室において、半導体の製造における品質面からの信
頼性と安定性の確保や医療室における無菌室化のために
採用されており、壁面や天井における吹出方式の空調と
高性能フィルター（ＨＥＰＡ）の採用によって、クラス
３以上の清浄度を確保している。

【０００３】特に、最近の病院等では、人命にも影響を
与える身近な重要問題として各種ＭＥ機器に対する電磁
波シールド対策が急務の課題になっていることから、ク
リーンルーム外から手術室等で使用するＭＥ機器に対し
て電磁波ノイズが影響を与えないようにしたり、内部の
ＭＥ機器が発生する放射ノイズがクリーンルーム外に漏
洩することで、生態情報の伝達に障害を発生させように
電磁波シールドすることも検討されている。

【０００４】同様に、半導体の製造においては、性能の
向上が望まれる方向として電子ビームを使用しながら半
導体に描画を施してゆく電子ビーム描画装置等の採用が
行われ、この他の施設にあっても電子ビーム描画装置や
電子顕微鏡等の採用が多くなっている。

【０００５】これらの装置にあっては、既存の建家に対
しての設置を可能にすると共に、微少な磁気であっても
電子ビーム等の動静に影響を与えることに対処して、ク
リーン度を確保しながら交流磁界に対しては１／１００
以上の磁気シールド性能と地磁気等の直流磁界に対して
も１／５０以上の磁気シールド性能を確保することや装
置に対する微量な振動を防止することが要求されてい
る。従って、最近のクリーンルームに対して以下のよう
な要求を強くしている。

【０００６】 磁気シールドルーム自体をコンパクト
にして省スペース化を図る。 工場での製作を多くし、施工現場での作業を少なく
する。 構造の自立を確立して、振動の影響を受けないよう
にする。 磁性材に対する衝撃を低減してシールド性能の劣化
を回避する。 現地での施工前に磁気シールド性能を確認する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上の要望
に鑑みて所定の性能特性を確保するために提案するもの
であり、パネル構造を採用して装置基礎を定着すること
で、クリーン精度、磁気シールド性能及び防振性能を確
保できる防振型磁気シールドクリーンルームとその施工
法を提供している。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明による防振型磁気
シールドクリーンルームは、基本的に、レベル調整モル
タルを打設した設置基礎の上に設置されるクリーンルー
ムであり、少なくとも片面に磁性材を貼設した基板材を
積層して成る底版と、底版の上に載置されるコンクリー
ト床と、少なくとも片面に磁性材を貼設したパネル材を
積層して成る側壁と、少なくとも片面に磁性材を貼設し
たパネル材を積層して成る天井部と、天井部から所定の
間隔を保って吊り下げられるＵＬＰＡフィルターと、コ
ンクリート床に防振して設置する装置基礎及び通気開口
に磁性ハニカムを装備して成る磁性材製通還気ダクトか
ら構成されており、具体的には、装置基礎を、コンクリ
ート床と底版とを貫通して設置基礎に定着したり、装置
基礎を、工場製作した基礎をコンクリート床と底版との
貫通孔を通じてクリーンルームの設置基礎に固着して構
成しており、底版における基板材の積層を、磁性材、基
板材、磁性材、基板材及び磁性材から構成し、側壁にお
けるパネル材の積層を、磁性材、パネル材、磁性材、パ
ネル材及び磁性材から構成したり、天井部におけるパネ
ル材の積層を、磁性材、パネル材、空隙、磁性材、パネ
ル材及び磁性材から構成することを特徴としている。

【０００９】又、本発明による防振型磁気シールドクリ
ーンルームの施工法は、上記防振型磁気シールドクリー
ンルームの施工法であって、クリーンルーム設置基礎の
所定位置に非磁性筋を植設して置き、次いで貫通孔が形
成されたコンクリート床と底版とを設置して該貫通孔に
グラウトモルタルを充填し、しかる後に別途に製作して
置いた装置基礎を設置基礎に充填されたグラウトモルタ
ル上に配置し、グラウトモルタルを位置調整した後に充
填して装置基礎を固着している。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明による防振型磁気シールド
クリーンルームは、レベル調整モルタルを打設した設置
基礎の上に設置されるクリーンルームであり、少なくと
も片面に磁性材を貼設した基板材を積層して成る底版
と、底版の上に載置されるコンクリート床と、少なくと
も片面に磁性材を貼設したパネル材を積層して成る側壁
と、少なくとも片面に磁性材を貼設したパネル材を積層
して成る天井部と、天井部から所定の間隔を保って吊り
下げられるＵＬＰＡフィルターと、コンクリート床に防
振して設置する装置基礎及び通気開口に磁性ハニカムを
装備して成る磁性材製通還気ダクトから構成されてい
る。

【００１１】これによって、本発明による防振型磁気シ
ールドクリーンルームは、パネル構造を採用して装置基
礎を定着することによって、クリーン精度、磁気シール
ド性能及び防振性能を確保している。以下に、本発明に
よる防振型磁気シールドクリーンルームの実施の形態を
図面に基づいて詳細に説明する。

【００１２】図１は、本実施の形態で示す防振型磁気シ
ールドクリーンルームの斜視図である。

【００１３】本実施の形態におけるクリーンルーム１
は、詳細を後述するが、防振型であって全体を磁気シー
ルドしている。このために、クリーンルーム１の躯体２
は、Ｈ型鋼３を適宜に適用しながら磁気シールド性能を
付加したパネル構造にすることでスペース化を図ってお
り、天井部４に通気開口に磁性ハニカムを装備した空調
ダクト５を配置することで、クリーンルーム１の磁気シ
ールド性能を確保しながらそのクリーン度を確保してい
る。

【００１４】又、敢えて図示していないが、クリーンル
ーム１の床版は、磁気シールド性能を付加しながら建家
の設置基礎の上に設置されており、その上には、コンク
リート床を載置するように構成しているので、所定の装
置振動条件が確保されている。

【００１５】図２は、図１で斜視したクリーンルーム１
を（２）−（２）矢視したクリーンルーム床面の平面図
であり、磁気シールド性能を付加したクリーンルームの
躯体内に設置されているコンクリート床、装置基礎及び
各通還ダクトの実施の形態を示している。

【００１６】本実施の形態でのコンクリート床６は、上
述したように、クリーンルーム１の床版の上に載置され
ているが、クリーンルーム内に装備される装置を設置す
るための装置基礎７、７’は、建家の設置基礎の上に直
接固着されていると共にコンクリート床６とも結合され
ている。

【００１７】本実施の形態の装置基礎７、７’は、以上
のように構成されることによって、クリーンルーム内に
装備される電子ビーム描画装置や電子顕微鏡等の装置に
対して、コンクリート床６のような重量を加算すること
によってさらに高レベルな装置振動条件を確保すること
を可能にしており、従来のような金属製の装置基礎や除
振装置では期待できない防振効果を遺憾なく発揮できる
ものである。

【００１８】尚、本実施の形態では、空調ダクトの他に
装備する各装置に結合される各ダクトが図示のように床
面に配列されている。各ダクトの構造については追って
詳述するが、還気側ダクト８は、クリーンルーム内の３
隅に配置して在り、還気側ダクト９は、クリーンルーム
内の両側に配置することで各装置に対応できるように適
宜に設定してある。

【００１９】次に、クリーンルーム１の躯体２について
詳細に説明する。図３は、図１で斜視したクリーンルー
ム１を（３）−（３）矢視したクリーンルーム躯体の断
面図であり、磁気シールド性能を付加したパネル構造の
床版、側壁及び天井部の実施の形態を示している。

【００２０】本実施の形態におけるクリーンルーム１の
躯体２は、全体的に、躯体を構成している基板材１０、
パネル材１１とこれらを磁気シールドするための磁性材
とで多層構造に構成されているものであり、床版、側壁
及び天井部の各実施の形態は、それぞれに、以下のよう
に構成されている。

【００２１】先ず、クリーンルーム１の底版についてそ
の構成を説明する。本実施の形態におけるクリーンルー
ム１は、レベル調整モルタル１２を打設することで水平
度を確立させた設置基礎１３の上に設置されており、ス
テンレス製のホールインアンカー１４で固定されてい
る。

【００２２】本実施の形態における床版１５は、絶縁用
の塩化ビニール板１６の上にパーマロイの磁気シールド
材１７をパーマロイの接ぎ材１８で一体に接合して敷設
しており、しかる後に、２層の塩化ビニール製基板材１
０、１０をその間にパーマロイの接ぎ材１８で一体にし
たパーマロイの磁気シールド材１７を挟んで配置し、そ
の上に同じくパーマロイの接ぎ材１８で一体にしたパー
マロイの磁気シールド材１７を貼設して多層構造に構成
している。

【００２３】又、上記床版１５の上には、磁気シールド
材１７の保護もしくは仕上げ用にステンレス等の非磁性
金属板１９を配置しながらコンクリート床２０が載置さ
れており、これによって、クリーンルーム１の内部にお
ける床面２１を形成しているが、コンクリート床２０の
構成は、コンクリート床に非磁性金属板１９を貼設しな
いで、上記床版の上に非磁性金属板１９を敷設してから
コンクリートを打設し、しかる後に、非磁性金属板１９
をコンクリートの上に敷設することでも同様に形成でき
るものであり、いずれの施工でも実施可能である。

【００２４】本実施の形態における側壁２２は、１層目
を市販のパネル板１１の両面にパーマロイの磁気シール
ド材２３を貼設して構成し、外方の２層目を市販されて
いるパネル板１１の外方片面にパーマロイの磁気シール
ド材２３を貼設して構成しており、両層の間には、厚め
のアルミ製スペーサ２４を介在させて所定の間隙を保持
している。

【００２５】そして、１層目の内面には、薄いアルミ製
のスペーサ２５を配置してアルミアルマイトクリア仕上
げ材２６を貼設すると共に、２層目の外面には、薄いア
ルミ製のスペーサ２５を配置して帯電防止用に焼付塗装
したアルミ製の仕上げ材２７を貼設して多層構造に構成
している。

【００２６】床版１５と側壁２２との接合部は、図示の
ようにステンレス製のアングル材２８、２９を配置し
て、側壁２２を挟み込むようにしながらステンレス製の
ボルト３０で堅固に形成すると同時に、床版１５と側壁
２２とをステンレス製のアンカーボルト３１で前述した
ステンレス製のホールインアンカー１４と共に設置基礎
１３の上に固定している。

【００２７】天井部３２のパネル構造は、基本的に側壁
２２と同一であり、内方の１層目を市販のパネル板１１
の両面にパーマロイの磁気シールド材２３を貼設して構
成し、外方の２層目を市販されているパネル板１１の外
方片面にパーマロイの磁気シールド材２３を貼設して構
成している。

【００２８】そして、各パネル板１１間の相互接合は、
図示のように相互間に凹凸形状３３を形成して嵌合させ
ながら相互の接合面を帯板３４によって封鎖すること
で、その気密性能と磁気シールド性能とを確立してい
る。

【００２９】以上のように、天井部３２の実施の形態
は、側壁２２と共にパネル構造を構成するものである
が、平面形状の荷重を支えるためにＨ型鋼３３を適宜に
配置しており、Ｈ型鋼３３と各パネル板１１とを相互に
結合する必要性から、ステンレス製のボルト・ナット３
５を施工するためにその間の間隙３３を側壁２２の間隙
よりも大きくしている。又、接合面の隙間を封鎖してい
る帯板３４は、隙間を跨ぐように打ち込まれているビス
３７によって側壁２２と天井部３２の表面に密着されて
いる。

【００３０】クリーンルーム１の躯体２に配置される内
面のＨ型鋼３３は、図３を（４）矢視した図４に示され
るように、側壁２２の壁面に配備された補強Ｈ鋼取付ブ
ラケット３６で支持されており、上述した天井部３２の
１層目をフランジに固着することで下方から支えてい
る。一方、外面のＨ型鋼３８は、内面のＨ型鋼３３と同
様の位置において側壁２２の上端面に掛け渡されてお
り、同じく図４に示されるように、上述した天井部３２
の２層目をＨ型鋼３８のフランジ３９に固着することで
上方から吊り支えている。

【００３１】そして、天井部４に配置されている空調ダ
クト５は、通気開口に磁性ハニカムを装備しており、天
井部４を構成している１層目の磁気シールド材を貼設し
たパネル板１１と相俟って、開口部に磁路を形成するこ
とでクリーンルーム１の磁気シールド性能を保持してい
る。

【００３２】空調ダクト５からの通気は、クリーンルー
ムとしての機能を確立するために、ＵＬＰＡフィルター
７２を従来と同様に天井部４に配置している。ＵＬＰＡ
フィルター７２の支持機構７３は、天井部４からの吊り
ボルト７４によって保持されるシステムフレーム７５か
ら構成されており、システムフレーム７５とＵＬＰＡフ
ィルター７２、システムフレーム７５と側壁２２との間
にはバックアップ材７６、７７とシーリング７８、７９
を配置することで機密性能を確立している。

【００３３】尚、本実施の形態では、吊りボルト７４を
ステンレス製にし、システムフレーム７５をアルミ押出
し型材で構成することによって、磁気シールド性能の確
立を図っており、従来におけるクリーンルームとの差異
を示している。

【００３４】上述したように、クリーンルーム１におい
て内部に装備する電子ビーム描画装置及び電子顕微鏡等
は、微量な振動による影響も防止する必要があるため
に、本実施の形態では、振動防止の対策を確実に実施し
ている。

【００３５】図５は、平面図（ａ）と図２の平面図を
（５）−（５）矢視した装置基礎７の実施の形態を示
し、平面図（ａ）を（ｂ）−（ｂ）矢視した断面図
（ｂ）及び平面図（ａ）を（ｃ）−（ｃ）矢視した断面
図（ｃ）である。

【００３６】本実施の形態での装置基礎７は、コンクリ
ート土台４０とその上に配置されるステンレス製の基礎
盤４１から構成されており、工場等において別途に製作
されている。

【００３７】コンクリート土台４０には、複数本のＨ型
鋼４２が上面に埋設されており、複数個の中空開口４３
が均等に配列されていると共に４隅にレベル調整ボルト
用の貫通孔４４が設けられている。

【００３８】又、基礎盤４１には、中空開口４３にグラ
ウトモルタルを充填するための充填口４５と４隅に配置
されたレベル調整ボルトの取付孔４６が設けられてお
り、基礎盤４１は、コンクリート土台４０とＨ型鋼４２
とに一体に固着されている。

【００３９】装置基礎７は、レベル調整ボルト４７によ
って調整されながら設置基礎１３の上に直接設置されて
おり、これによって、高レベルな装置振動条件を確保し
ている。そして、クリーンルーム１の底版１５に対する
装置基礎７の設定は、レベル調整ボルト４７の調整に追
従しながら、ステンレス製の装置基礎固定金物４８を調
整することで行われる。

【００４０】しかして、本発明による防振型磁気シール
ドクリーンルームの施工法は、上記クリーンルーム１の
施工法であって、クリーンルーム設置基礎の所定位置に
非磁性筋を植設して置き、次いで貫通孔が形成されたコ
ンクリート床と底版とを設置して貫通孔にグラウトモル
タルを充填し、しかる後に、別途に製作して置いた装置
基礎を、設置基礎上に充填された上記グラウトモルタル
の上に配置し、位置調整した後にグラウトモルタルを充
填して装置基礎を固着している。以下に、本発明による
施工法の実施の形態を図５に基づいて具体的に説明す
る。

【００４１】実施の形態である設置基礎１３への装置基
礎７の設置は、設置基礎１３にアラミド等の非磁性筋４
９を植設して置き、次いでクリーンルーム１を設置基礎
１３のレベル調整モルタル１２の上に設置し、クリーン
ルーム１の底版１５に形成したモルタル充填開口５０に
非磁性筋４９を挿通した後に、グラウトモルタルをモル
タル充填開口５０に充填して非磁性筋４９をクリーンル
ーム１の底版１５に固定する。しかして、この際に、設
置基礎１３に設置したレベル調整ボルト４７も底版１５
の開口５１に挿通させることで、設置基礎１３に対する
装置基礎７の設置準備が完了する。

【００４２】次いで、装置基礎７は、その中空開口４３
を非磁性筋４９に設定しながら、レベル調整ボルト４７
の上に配置して位置とレベルを調整し、位置設定とレベ
ル調整とが完了に至ると、充填口４５からグラウトモル
タルを注入することで中空開口４３及び装置基礎７の下
部をグラウトモルタルで充填しており、これによって、
装置基礎７は設置基礎１３に直接設置されることにな
る。

【００４３】上記実施の形態では、装置基礎７をクリー
ンルーム１内に載置したコンクリート床２０に形成した
開口部に挿入することによって設置することになるが、
この他の実施形態によっては、製造コストや施工効率を
更に向上させることが可能である。

【００４４】図６は、他の実施形態を示す平面図（ａ）
と、平面図（ａ）を（ｂ）−（ｂ）矢視した断面図
（ｂ）と平面図（ａ）を（ｃ）−（ｃ）矢視した断面図
（ｃ）である。

【００４５】本実施の形態では、装置基礎７が工場等で
の別途製造を可能にすることを有効に活用するものであ
り、図示で明らかなように上記実施の形態におけるコン
クリート床２０を廃止してその床面をフリーアクセス５
２で構成するものである。

【００４６】これによって、設置基礎１３に対する装置
基礎７の設置は、コンクリート床２０のような作業に障
害物を与えるものが排除されていることで、その設置か
ら位置調整が容易であり、グラウトモルタルの充填にあ
っては型枠の配備からモルタルの注入及び型枠の脱型ま
で広範な現場で円滑に施工できるものである。

【００４７】クリーンルーム１の天井部３２に配備され
ている空調ダクト５は、図７のように構成されることで
磁気シールド性能を確立している。

【００４８】図７は、空調ダクト５の正面図（ａ）と正
面図（ａ）を（ｂ）−（ｂ）矢視した断面図（ｂ）であ
る。

【００４９】本実施の形態における空調ダクト５は、矩
形状の開口５３を図示のようにＬ字型に形成しており、
全体をパーマロイ等の磁性材で構成している。空調ダク
ト５の垂直部５４にあっては、クリーンルーム１の天井
部３２に結合する下端部５５にパーマロイ等の磁性材で
構成されるハニカム材５６を装備して開口部に磁路を形
成しており、空調ダクト５の水平部５７にあっては、垂
直部５４に連絡している連結部分５８にも同様のハニカ
ム材５６を装備して開口部に磁路を形成している。

【００５０】そして、空調ダクト５におけるＬ字型の長
さは、望ましくは開口５３の対角を３倍以上の数値に選
定することが妥当であるが、構造上からＬ字型の長さを
確保することができない場合には、磁性ハニカムを開口
部に配置することでこれをカバーすることもできる。

【００５１】以上の構成によって、空調ダクト５におけ
る磁気シールド性能は、高精度に確保されるものであ
り、床版と側壁及び天井部とも相俟って開口部に磁路を
形成することでクリーンルーム１の磁気シールド性能が
保持されることになる。

【００５２】図８は、図２の平面図を（８）−（８）矢
視した空調ダクト８、９の部分断面図である。

【００５３】本実施の形態における通気側ダクト８は、
クリーンルーム１の床版１５から設置基礎１３側を貫通
して伸長している下部部分５９と床版１５の上部にコン
クリート床２０を貫通して配置される上部部分６０とか
ら構成されている。

【００５４】下部部分５９は、床版１５の下側にパーマ
ロイ等の磁性材で構成する矩形開口６１を形成している
が、その内部には、クリーンルーム１の床版１５を形成
している磁気シールド多層構造に結合させて、同構造の
薄い磁気シールド多層構造６２が図示のような段階状に
配備されている。一方、上部部分６０は、床版１５の上
に配置されており、ステンレス等の非磁性材で構成する
矩形開口６３を形成している。

【００５５】下部部分５９と上部部分６０とを結合して
いる床版１５の上部開口部６４には、パーマロイ等の磁
性材で構成されるハニカム材６５を装備することで、床
版１５と同列の開口部において磁路を形成しており、全
体としてクリーンルーム１の磁気シールド性能を確立し
ている。

【００５６】又、本実施の形態における還気側ダクト９
は、クリーンルーム１の床版１５から設置基礎１３側を
貫通して伸長している下部部分６６と床版１５の上部に
コンクリート床２０を貫通する上部部分６７とから構成
されている。

【００５７】下部部分６６は、床版１５の下側にパーマ
ロイ等の磁性材で構成する矩形開口６８を形成してお
り、その内部には、クリーンルーム１の床版１５を形成
している磁気シールド多層構造に結合している同構造の
薄い磁気シールド多層構造６９が図示のような段階状に
配備されている。又、上部部分６７は、ステンレス等の
非磁性材で構成する矩形開口７０をコンクリート床２０
内に形成しており、その上面にはステンレス製のグレー
チング７１を嵌着している。

【００５８】パーマロイ等の磁性材で構成する下部部分
６６とステンレス等の非磁性材で構成する上部部分６７
とを結合している床版１５の上部開口部６８には、パー
マロイ等の磁性材で構成されるハニカム材６９を装備し
ており、これらの構成によって床版１５と同列の開口部
において磁路を形成しており、全体としてクリーンルー
ム１の磁気シールド性能を確立している以上の実施の形
態で説明したように、本発明による防振型磁気シールド
クリーンルームとその施工法は構成されているので、躯
体にパネル構造を採用すると共に、電子ビーム描画装置
や電子顕微鏡等の装置を装備するための装置基礎を、設
置基礎の上に直接定着することによって、クリーンルー
ムとしてのクリーン精度に加えて、磁気シールド性能及
び防振性能を高レベルで確保している。

【００５９】以上、本発明による防振型磁気シールドク
リーンルームとその施工法を、上記実施の形態に基づい
て詳細に説明したが、本発明は、これらの実施の形態に
何ら限定されるものでなく、発明の主旨を逸脱しない範
囲において各種の変更が可能であることは当然のことで
ある。

【００６０】

【発明の効果】本発明による防振型磁気シールドクリー
ンルームは、レベル調整モルタルを打設した設置基礎の
上に設置されるクリーンルームであり、少なくとも片面
に磁性材を貼設した基板材を積層して成る底版と、底版
の上に載置され両面に非磁性金属板を貼設して成るコン
クリート床と、少なくとも片面に磁性材を貼設したパネ
ル材を積層して成る側壁と、少なくとも片面に磁性材を
貼設したパネル材を積層して成る天井部と、天井部から
所定の間隔を保って吊り下げられるＵＬＰＡフィルター
と、コンクリート床に防振して設置する装置基礎及び通
気開口に磁性ハニカムを装備して成る磁性材製通還気ダ
クトから構成されているので、クリーン精度、磁気シー
ルド性能及び防振性能を高レベルで確保しながら、以下
の効果を発揮している。

【００６１】 パネル構造の採用で、磁気シールドル
ーム自体をコンパクトにして省スペース化を図れる。 工場で躯体や装置基礎等の製作を多くして、施工現
場での作業を少なくできる。 装置基礎を設置基礎の上に直接設置して、微量な振
動にも影響を受けないようにできる。 磁性材の移動を少なくして衝撃を低減することで磁
気シールド性能の劣化を回避できる。 工場で予め製作できるので、事前に磁気シールド性
能を確認することができる。

【００６２】又、本発明による防振型磁気シールドクリ
ーンルームの施工法は、上記防振型磁気シールドクリー
ンルームの施工法であって、クリーンルーム設置基礎の
所定位置に非磁性筋を植設して置き、次いで貫通孔が形
成されたコンクリート床と底版とを設置して該貫通孔に
グラウトモルタルを充填し、しかる後に別途に製作して
置いた装置基礎を設置基礎に充填されたグラウトモルタ
ル上に配置し、グラウトモルタルを位置調整した後に充
填して装置基礎を固着しているので、装置基礎を設置基
礎に直接設置する作業を容易にすることでクリーン精
度、磁気シールド性能及び防振性能を高レベルで確保し
ながら、施工効率の向上と費用の低減を図れる効果を発
揮している。

【図面の簡単な説明】

【 図１】本発明による防振型磁気シールドクリーンル
ームの実施の形態を示す斜視図

【 図２】本発明による防振型磁気シールドクリーンル
ームの床面を示す平断面図

【 図３】本発明による防振型磁気シールドクリーンル
ームの床版、側壁及び天井部を示す縦断面図

【 図４】天井部を示す実施の形態の縦断面図

【 図５】装置基礎を示す実施の形態図

【 図６】装置基礎を示す他の実施の形態図

【 図７】空調ダクトを示す実施の形態図

【 図８】内装装置への通気、還気ダクトを示す実施の
形態図

【符号の説明】

１ クリーンルーム、 ２ 躯体、 ３ Ｈ型鋼、 ４
天井部、５ 空調ダクト、 ６ コンクリート床、
７、７’ 装置基礎、８、９ 還気側ダクト、 １０
基盤材、 １１ パネル材、１２ レベル調整モルタ
ル、 １３ 設置基礎、１４ ホールインアンカー、
１５ 床版、 １６ 塩化ビニール板、１７、２３ 磁
気シールド材、 １８ 接ぎ材、 １９ 非磁性金属
板、２０ コンクリート床、 ２１ 床面、 ２２ 側
壁、２４、２５ スペーサ、 ２６ アルミアルマイト
クリア仕上げ材、２７ 焼付塗装アルミ仕上げ材、 ２
８、２９ アングル材、３０ ボルト、 ３１ アンカ
ーボルト、 ３２ 天井部、３３ 凹凸形状、 ３４
帯板、 ３５ ボルト・ナット、３６ 補強Ｈ鋼取付ブ
ラケット、 ３７ ビス、 ３８ Ｈ型鋼、３９ フラ
ンジ、 ４０ コンクリート土台、 ４１ 基礎盤、４
２ Ｈ型鋼、 ４３ 中空開口、 ４４ 貫通孔、 ４
５ 充填口、４６ 取付孔、 ４７ レベル調整ボル
ト、 ４８ 固定金物、４９ 非磁性筋、 ５０ モル
タル充填開口、 ５１ 開口、５２ フリーアクセス、
５３ 開口、 ５４ 垂直部、５５、６６ 下端部、
５６、６５ ハニカム材、 ５７ 水平部、５８ 連
結部分、 ５９ 下部部分、 ６０、６７ 上部部分、
６１、６３、６８、７０ 矩形開口、 ６２、６９ 磁
気シールド多層構造、６４ 上部開口部、 ７１ グレ
ーチング、 ７２ ＵＬＰＡフィルター、７３ 支持機
構、 ７４ 吊りボルト、 ７５ システムフレーム、
７６、７７ バックアップ材、 ７８、７９ シーリン
グ材、

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤井 剛 東京都港区海岸二丁目２番６号 ＹＳ海岸 ビル 株式会社テクネット内 Ｆターム(参考） 2E001 DH01 DH23 FA34 FA35 FA41 5E321 AA42 BB21 BB53 CC16 GG07 GH10

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レベル調整モルタルを打設した設置基礎
   の上に設置されるクリーンルームであって、少なくとも
   片面に磁性材を貼設した基板材を積層して成る底版、該
   底版の上に載置されるコンクリート床、少なくとも片面
   に磁性材を貼設したパネル材を積層して成る側壁、少な
   くとも片面に磁性材を貼設したパネル材を積層して成る
   天井部、該天井部から所定の間隔を保って吊り下げられ
   るＵＬＰＡフィルター、該コンクリート床に防振して設
   置する装置基礎及び通気開口に磁性ハニカムを装備して
   成る磁性材製通還気ダクトから構成される防振型磁気シ
   ールドクリーンルーム。
2. 【請求項２】 装置基礎が、コンクリート床と底版とを
   貫通して設置基礎に定着されることを特徴とする請求項
   １に記載の防振型磁気シールドクリーンルーム。
3. 【請求項３】 装置基礎が、工場製作した基礎をコンク
   リート床と底版との貫通孔を通じてクリーンルームの設
   置基礎に固着して構成されることを特徴とする請求項２
   に記載の防振型磁気シールドクリーンルーム。
4. 【請求項４】 底版における基板材の積層が、磁性材、
   基板材、磁性材、基板材及び磁性材から構成されること
   を特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の防振型
   磁気シールドクリーンルーム。
5. 【請求項５】 側壁におけるパネル材の積層が、磁性
   材、パネル材、磁性材、パネル材及び磁性材から構成さ
   れることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載
   の防振型磁気シールドクリーンルーム。
6. 【請求項６】 天井部におけるパネル材の積層が、磁性
   材、パネル材、空隙、磁性材、パネル材及び磁性材から
   構成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか
   に記載の防振型磁気シールドクリーンルーム。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の防振
   型磁気シールドクリーンルームの施工法であって、クリ
   ーンルーム設置基礎の所定位置に非磁性筋を植設して置
   き、次いで貫通孔が形成されたコンクリート床と底版と
   を設置して該貫通孔にグラウトモルタルを充填し、しか
   る後に別途に製作して置いた装置基礎を設置基礎に充填
   されたグラウトモルタル上に配置し、グラウトモルタル
   を位置調整した後に充填して装置基礎を固着する防振型
   磁気シールドクリーンルームの施工法。