JP2003297551A - 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル - Google Patents

有機エレクトロルミネッセンス表示パネル

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JP2003297551A
JP2003297551A JP2002094880A JP2002094880A JP2003297551A JP 2003297551 A JP2003297551 A JP 2003297551A JP 2002094880 A JP2002094880 A JP 2002094880A JP 2002094880 A JP2002094880 A JP 2002094880A JP 2003297551 A JP2003297551 A JP 2003297551A
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organic
film
inorganic barrier
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Tatsuya Yoshizawa
達矢 吉澤
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/871Self-supporting sealing arrangements
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/87Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K59/873Encapsulations

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水分による発光特性が劣化しにくい有機エレ
クトロルミネッセンス素子及び有機エレクトロルミネッ
センス表示パネルを提供する。 【解決手段】 順に積層された、第1表示電極、有機化
合物からなる発光層を含む1以上の有機機能層、及び第
2表示電極、からなる1以上の有機エレクトロルミネッ
センス素子と、有機エレクトロルミネッセンス素子を担
持しかつ有機エレクトロルミネッセンス素子に面する側
の表面に樹脂材料を含有する支持基板と、からなる有機
エレクトロルミネッセンス表示パネルであって、少なく
とも有機エレクトロルミネッセンス素子及び支持基板の
間に、支持基板の表面を覆う無機バリア膜を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電流の注入によっ
て発光するエレクトロルミネッセンスを呈する有機化合
物材料からなる発光層を含む1以上の薄膜(以下、有機
機能層という)を備えた有機エレクトロルミネッセンス
素子(以下、有機EL素子という)に関し、特に、基材
が樹脂から構成されたり、又は基材は無機物であっても
その有機EL素子に面する表面に少なくとも樹脂材料を
含有する層や膜を備えた支持基板上に1以上の有機EL
素子が形成された有機エレクトロルミネッセンス表示パ
ネル(以下、有機EL表示パネルという)に関する。
【0002】
【従来の技術】有機EL素子は、基本的には有機機能層
を陽極及び陰極で挟んだ形態で、両電極から注入された
電子と正孔が再結合時に形成される励起子が励起状態か
ら基底状態に戻り光を生じさせる。例えば、透明基板上
に、陽極の透明電極と、有機機能層と、陰極の金属電極
とが順次積層して有機EL素子は構成され、透明基板側
から発光を得る。有機機能層は、発光層の単一層、ある
いは有機正孔輸送層、発光層及び有機電子輸送層の3層
構造、又は有機正孔輸送層及び発光層の2層構造、さら
にこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入層やキャ
リアブロック層を挿入した積層体である。
【0003】有機EL表示パネルとして、例えばマトリ
クス表示タイプのものや、所定発光パターンを有するも
のが知られている。さらに、有機EL表示パネル自体を
可撓性とすべく、その支持基板に合成樹脂、プラスチッ
クフィルムなどの樹脂基板を用いることが提案されてい
る。また、複数の発光色(例えば、赤、青、緑)の発光
部分を平面に配置する有機EL表示パネルの多色化の提
案もなされている。多色化方法としては、特定発光色ご
とに有機材料を選択して有機EL素子をそれぞれ構成す
る方法に加え、有機EL素子を色変換膜上に形成して、
有機EL素子からの所定色発光を色変換膜が受光して分
解又は変換して、色変換膜がそれぞれ異なる色の発光さ
せる方法がある。色変換膜には、例えばカラーフィルタ
や、色変換層いわゆるCCM(Color Chang
ing Method)層がある。色変換層は所定基材
表面上に所定蛍光材料部を配置させその上に樹脂材料
(樹脂膜)を被覆して形成される。樹脂膜はオーバーコ
ート膜として有機EL素子形成用の平坦化及び保護膜の
ために設けられている。いずれの色変換膜を備えた基板
(色変換基板)も、有機EL素子に面する側の表面に樹
脂材料を含有するが、支持基板として用いられ得る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、有機E
L素子と色変換基板との間においては、製造上不可避の
熱処理により、蛍光材料部やその上の樹脂膜から水蒸
気、酸素などのいわゆるアウトガスが発生し、これらが
素子内に拡散し、その結果、有機EL素子を劣化させて
いた。有機EL素子は、一般に大気に晒されるなど、水
分、酸素などのガス、その他の使用環境中のある種の分
子の影響を受けて劣化し易い、特に有機EL素子の電極
と有機機能層の界面では特性劣化が顕著であり、発光し
ない部分いわゆるダークスポットが生じる問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、水
分などによる発光特性が劣化しにくい有機EL素子及び
有機EL表示パネルを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルは、順に積層された、第1表
示電極、有機化合物からなる発光層を含む1以上の有機
機能層、及び第2表示電極、からなる1以上の有機エレ
クトロルミネッセンス素子と、前記有機エレクトロルミ
ネッセンス素子を担持しかつ前記有機エレクトロルミネ
ッセンス素子に面する側の表面に樹脂材料を含有する支
持基板と、からなる有機エレクトロルミネッセンス表示
パネルであって、少なくとも前記有機エレクトロルミネ
ッセンス素子及び前記支持基板の間に、前記支持基板の
表面を覆う無機バリア膜を有することを特徴とする。
【0007】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記支持基板は色変換膜を備えた
色変換基板を含むことを特徴とする。本発明の有機エレ
クトロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記支持
基板における前記有機エレクトロルミネッセンス素子に
接触する表面の裏側の表面を覆う第2の無機バリア膜を
含むことを特徴とする。
【0008】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記無機バリア膜が前記色変換膜
の端面を覆うことを特徴とする。本発明の有機エレクト
ロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記無機バリ
ア膜は窒化酸化シリコンからなることを特徴とする。本
発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルにおい
ては、前記無機バリア膜は、窒素/酸素の比率が0.1
3〜2.88である窒化酸化シリコンからなることを特
徴とする。
【0009】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記無機バリア膜はスパッタ法に
より成膜されたことを特徴とする。本発明の有機エレク
トロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記有機エ
レクトロルミネッセンス素子に接触して全体を背面から
覆う封止膜を有することを特徴とする。
【0010】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記封止膜は無機パッシベーショ
ン膜であり、前記有機エレクトロルミネッセンス素子全
体は前記無機バリア膜及び前記封止膜により気密的に覆
われていることを特徴とする。本発明の有機エレクトロ
ルミネッセンス表示パネルにおいては、前記支持基板の
表面は樹脂膜を含み、前記樹脂膜の端面が前記無機バリ
ア膜に覆われかつ前記封止膜が前記無機バリア膜に接す
る領域内部に封じ込まれていることを特徴とする。
【0011】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記支持基板に固定されかつ前記
有機エレクトロルミネッセンス素子全体を背面から覆う
封止缶と、前記封止缶内部に充填される不活性材料と、
を有することを特徴とする。本発明の有機エレクトロル
ミネッセンス表示パネルにおいては、前記封止缶はその
内壁にガス捕捉剤を備えたことを特徴とする。
【0012】本発明の有機エレクトロルミネッセンス表
示パネルにおいては、前記有機エレクトロルミネッセン
ス素子全体は前記無機バリア膜及び前記封止缶により気
密的に覆われていることを特徴とする。本発明の有機エ
レクトロルミネッセンス表示パネルにおいては、前記支
持基板の表面は樹脂膜を含み、前記樹脂膜の端面は、前
記無機バリア膜に覆われかつ前記封止缶が前記無機バリ
ア膜に接する領域内部に、封じ込まれていることを特徴
とする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に、本発明による実施の形態
例を図面を参照しつつ説明する。図1に示すように、実
施形態の有機EL素子は、例えば窒化酸化シリコンから
なる防湿性を有する無機バリア膜12で覆われた樹脂膜
9を備えた色変換基板10の上に形成される。有機EL
素子は、該無機バリア膜12上に、第1表示電極13
(透明電極の陽極)、有機化合物からなる発光層を含む
1以上の有機機能層14、及び第2表示電極15(金属
電極の陰極)が順に積層されてなる。また、有機EL素
子は、色変換基板10に対して接着剤により固定され、
基板とともに有機EL素子を封止するガス捕捉剤16a
を内壁に備えたガス不透過性の封止缶16を備えてい
る。封止缶16内部空間に例えば乾燥窒素(N2)など
の不活性材料が封入される。
【0014】無機バリア膜の窒化酸化シリコンは、防湿
性を維持するために、窒素/酸素の比率が0.13〜
2.88であることが好ましい。これ以上であると、膜
の残留応力が高くなり、以下であると有機EL素子の有
機機能層への水分など侵入を十分防げなくなる。例え
ば、有機EL素子の各々は、色変換基板10上にインジ
ウム錫酸化物(ITO)からなる透明電極(第1表示電
極)13を蒸着法又はスパッタ法により成膜する。その
上に、銅フタロシアニンからなる正孔注入層、TPD
(トリフェニルアミン誘導体)からなる正孔輸送層、A
lq3(アルミキレート錯体)からなる発光層、Li2
(酸化リチウム)からなる電子注入層を順次、蒸着して
有機機能層14を形成する。さらに、この上に蒸着によ
って、Alからなる金属電極(第2表示電極)15を透
明電極13の電極パターンと対向するように成膜する。
【0015】無機バリア膜に覆われた色変換基板の表面
は、少なくとも有機EL素子に接触する表面、有機EL
素子間の表面、有機EL素子周囲の表面、有機EL素子
に接触する表面の裏側の表面を含むことが好ましい。水
分などの有機機能層への侵入を防止するためである。本
発明では、色変換基板上に有機EL素子を作製する場
合、素子の保存性向上に不可欠な防湿用バリア膜に窒化
酸化シリコン膜を用いたことにより、有機EL素子にと
っても十分な防湿性を有する色変換基板を得ることがで
きる。
【0016】図1に示すように、第1の実施形態では、
樹脂膜9を備えた色変換基板10の当該樹脂膜面上に無
機バリア膜12が形成されている。図2に示す第2の実
施形態は、色変換基板10において有機EL素子に接触
する表面の裏側の表面を覆う第2無機バリア膜12aを
含む以外、第1の実施形態と同じであり、色変換基板1
0の両面に無機バリア膜12、12aが形成されてい
る。色変換基板の両面を無機バリア膜で覆うことによ
り、色変換基板10の反りを防止できる。
【0017】図3に示す第3の実施形態は、色変換基板
10の樹脂膜9の端面9aが無機バリア膜12に覆われ
かつ封止缶16に囲まれた領域内部に封じ込まれていて
外気に曝されない構造とする以外、第1の実施形態と同
じであり、樹脂膜9の端面9aからの水分などの侵入が
阻止される。図4に示す第4の実施形態は、色変換基板
10の樹脂膜9の端面9aが無機バリア膜12に覆われ
かつ封止缶16に囲まれた領域内部に封じ込まれていて
外気に曝されない構造とする以外、第2の実施形態と同
じであり、樹脂膜9の端面9aからの水分などの侵入が
阻止される。
【0018】図5に示す第5の実施形態では、ガス捕捉
剤付きの封止缶を、素子全体に密着して包み込む封止膜
26に換えた以外は、第1の実施形態と同じである。有
機EL素子は、その第2表示電極15の背面から全体を
覆う封止膜26を有する。有機EL素子の背面から覆う
封止膜26は無機パッシベーション膜である。また、樹
脂からなる封止膜を当該無機パッシベーション膜上に設
け多層化してもよい。また、樹脂封止膜最表面上に無機
物からなる無機パッシベーション膜を再度設けることも
できる。無機パッシベーション膜は上記の窒化酸化シリ
コン、窒化シリコンなどの窒化物、或いは酸化物又は炭
素などの無機物からなる。封止膜を構成する樹脂として
は、フッ素系やシリコン系の樹脂、その他、フォトレジ
スト、ポリイミドなど合成樹脂が用いられる。
【0019】図6に示す第6の実施形態では、ガス捕捉
剤付きの封止缶を、素子全体に密着して包み込む封止膜
26に換えた以外は、第2の実施形態と同じである。図
7に示す第7の実施形態では、ガス捕捉剤付きの封止缶
を、素子全体に密着して包み込む封止膜26に換えた以
外は、第3の実施形態と同じである。図8に示す第8の
実施形態では、ガス捕捉剤付きの封止缶を、素子全体に
密着して包み込む封止膜26に換えた以外は、第4の実
施形態と同じである。
【0020】本発明に用いられる支持基板又は色変換基
板の基材は、可視領域の光の透過率が50%以上で、平
滑な基板が好ましい。具体的には、ガラス板、高分子化
合物板などが挙げられる。ガラス板としては、特にソー
ダ石灰ガラス、バリウム・ストロンチウム含有ガラス、
鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス、
バリウムホウケイ酸ガラス、石英などである。また、高
分子化合物板としては、ポリカーボネート、アクリル、
ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルファイ
ド、ポリサルフォンなどである。特に、ガラス板が外気
をほぼ完全に遮断できるので、第1、3、5、7の実施
形態において好ましく用いられる。高分子化合物板では
第2、4、6、8の実施形態において好ましく用いられ
る。
【0021】本発明に用いる色変換基板は、1以上の所
定蛍光材料部が所定基材表面上に平面的に分離配置さ
れ、各所定蛍光材料部は有機EL素子の位置に対応して
配置される。本発明に用いられる色変換膜は発光部材の
光を分解または遮蔽して色調整するカラーフィルタでも
よい。また、色変換基板では、各所定蛍光材料部間に、
有機EL素子の発光及び各所定蛍光材料部からの光を遮
断して、コントラストを向上させ、視野角依存性を低減
するために、遮光層(ブラックマトリックス)を配置す
ることができる。
【0022】所定蛍光材料部としては、例えば、蛍光色
素および樹脂、または蛍光色素のみからなり、蛍光色素
および樹脂からなるものは蛍光色素を顔料樹脂またはバ
インダー樹脂中に分散させた固体である。具体的な蛍光
色素について、近紫外光からは紫色の有機EL素子の発
光から青色発光に変換する蛍光色素としては、1、4−
ビス(2−メチルスチリル)ベンゼン、トランス−4、
4’−ジフェニルスチルベン、7−ヒドロキシ−4−メ
チルクマリンがある。
【0023】青色、青緑色または白色発光部材の発光か
ら緑色発光に変換する蛍光色素としては、2、3、5、
6−1H、4H−テトラヒドロ−8−トリフロルメチル
キノリジノ(9、9a、1−gh)クマリン、3−
(2’−ベンゾチアゾリル)−7−ジエチルアミノクマ
リン、3−(2’−ベンズイミダゾリル)−7−N、N
−ジエチルアミノクマリンがある。
【0024】青色〜緑色までの発光部材の発光から橙色
〜赤色までの発光に変換する蛍光色素については、4−
ジシアノメチレン−2−メチル−6−(p−ジメチルア
ミノスチルリル)−4H−ピラン、1−エチル−2−
(4−(p−ジメチルアミノフェニル)−1、3−ブタ
ジエニル)−ピリジニウム−パークロレートがある。ま
た、かかる蛍光色素をポリメタクリル酸エステル、ポリ
塩化ビニル、塩化ビニル酢酸ビニル共重合体、アルキッ
ド樹脂、芳香族スルホンアミド樹脂、ユリア樹脂、メラ
ミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂などの顔料樹脂中にあ
らかじめ練りこんで顔料化したものでもよい。
【0025】バインダー樹脂としては、透明な材料、例
えば、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリレート、
ポリカーボネート、ポリビニルアルコール、ポリビニル
ピロリドン、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシ
メチルセルロースがある。図9は他の実施形態の、複数
の有機EL素子を備えた有機EL表示パネルの部分拡大
背面図である。有機EL表示パネルは、図に示すよう
に、封止膜26で全体が被覆され色変換基板10上にマ
トリクス状に配置された複数の有機EL素子を備えてい
る。透明電極層を含む行電極13(陽極の第1表示電
極)と、有機機能層と、該行電極に交差する金属電極層
を含む列電極15(陰極の第2表示電極)が窒化酸化シ
リコン膜上に順次積層されて構成されている。行電極
は、各々が帯状に形成されるとともに、所定の間隔をお
いて互いに平行となるように配列されており、列電極も
同様である。このように、マトリクス表示タイプの表示
パネルは、複数の行と列の電極の交差点に形成された複
数の有機EL素子の発光画素からなる画像表示配列を有
している。第1表示電極13は、島状の透明電極を水平
方向に電気的に接続する金属バスラインから構成でき
る。有機EL表示パネルは色変換基板10の窒化酸化シ
リコン膜上の有機EL素子の間に設けられた複数の隔壁
7を備えている。第2表示電極15及び隔壁7の上には
封止膜26が形成されている。有機機能層材料を選択し
て適宜積層して各々が赤R、緑G及び青Bの発光部を構
成することもできる。
【0026】このパネルの有機EL素子の各々は、色変
換基板10上に順に積層された、第1表示電極13、有
機化合物からなる発光層を含む1以上の有機機能層1
4、及び第2表示電極15、からなる。隔壁7は、色変
換基板から突出するように有機EL素子の間に設けられ
ている。さらに、有機EL表示パネルは、有機EL素子
と同様に、隔壁7を背面から覆う封止膜26の一部とし
て無機パッシベーション膜や有機樹脂の封止膜の多層膜
を設けることができる。この樹脂封止膜最表面上に無機
物からなる無機パッシベーション膜を再度設けることも
できる。
【0027】上述した例においては、水分などの遮断を
行なうための無機バリア膜製法として、スパッタ法を用
いたが、これに限られることはなく、プラズマCVD
(Chemical Vapor Depositio
n)法、真空蒸着法などの気相成長法も適用可能であ
る。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、樹脂材料を含有する支
持基板の樹脂表面を無機バリア膜で被覆する構成とした
ので、素子外部からの酸素、水分、カラーフィルタや色
変換基板からのアウトガスの侵入に伴う素子の劣化を抑
制でき、信頼性の高い有機EL素子及び有機ELディス
プレイを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による実施形態の有機EL素子を示す概
略拡大断面図。
【図2】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図3】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図4】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図5】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図6】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図7】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図8】本発明による他の実施形態の有機EL素子を示
す概略拡大断面図。
【図9】本発明による他の実施形態の有機EL表示パネ
ルを示す概略拡大部分背面図。
【符号の説明】
9 樹脂膜 9a 端面 10 色変換基板 12 無機バリア膜 12a 第2無機バリア膜 13 第1表示電極(透明電極の陽極) 14 有機機能層(発光層) 15 第2表示電極(金属電極の陰極) 16a ガス捕捉剤 16 封止缶 26 封止膜

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 順に積層された、第1表示電極、有機化
    合物からなる発光層を含む1以上の有機機能層、及び第
    2表示電極、からなる1以上の有機エレクトロルミネッ
    センス素子と、前記有機エレクトロルミネッセンス素子
    を担持しかつ前記有機エレクトロルミネッセンス素子に
    面する側の表面に樹脂材料を含有する支持基板と、から
    なる有機エレクトロルミネッセンス表示パネルであっ
    て、少なくとも前記有機エレクトロルミネッセンス素子
    及び前記支持基板の間に、前記支持基板の表面を覆う無
    機バリア膜を有することを特徴とする有機エレクトロル
    ミネッセンス表示パネル。
  2. 【請求項2】 前記支持基板は色変換膜を備えた色変換
    基板を含むことを特徴とする請求項1記載の有機エレク
    トロルミネッセンス表示パネル。
  3. 【請求項3】 前記支持基板における前記有機エレクト
    ロルミネッセンス素子に接触する表面の裏側の表面を覆
    う第2の無機バリア膜を含むことを特徴とする請求項1
    又は2記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
    ル。
  4. 【請求項4】 前記無機バリア膜が前記色変換膜の端面
    を覆うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1記載
    の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  5. 【請求項5】 前記無機バリア膜は窒化酸化シリコンか
    らなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1記載
    の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  6. 【請求項6】 前記無機バリア膜は、窒素/酸素の比率
    が0.13〜2.88である窒化酸化シリコンからなる
    ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1記載の有機
    エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  7. 【請求項7】 前記無機バリア膜はスパッタ法により成
    膜されたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1記
    載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  8. 【請求項8】 前記有機エレクトロルミネッセンス素子
    に接触して全体を背面から覆う封止膜を有することを特
    徴とする請求項1〜7のいずれか1記載の有機エレクト
    ロルミネッセンス表示パネル。
  9. 【請求項9】 前記封止膜は無機パッシベーション膜で
    あり、前記有機エレクトロルミネッセンス素子全体は前
    記無機バリア膜及び前記封止膜により気密的に覆われて
    いることを特徴とする請求項8記載の有機エレクトロル
    ミネッセンス表示パネル。
  10. 【請求項10】 前記支持基板の表面は樹脂膜を含み、
    前記樹脂膜の端面が前記無機バリア膜に覆われかつ前記
    封止膜が前記無機バリア膜に接する領域内部に封じ込ま
    れていることを特徴とする請求項9記載の有機エレクト
    ロルミネッセンス表示パネル。
  11. 【請求項11】 前記支持基板に固定されかつ前記有機
    エレクトロルミネッセンス素子全体を背面から覆う封止
    缶と、前記封止缶内部に充填される不活性材料と、を有
    することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1記載の
    有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  12. 【請求項12】 前記封止缶はその内壁にガス捕捉剤を
    備えたことを特徴とする請求項11記載の有機エレクト
    ロルミネッセンス表示パネル。
  13. 【請求項13】 前記有機エレクトロルミネッセンス素
    子全体は前記無機バリア膜及び前記封止缶により気密的
    に覆われていることを特徴とする請求項11又は12記
    載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
  14. 【請求項14】 前記支持基板の表面は樹脂膜を含み、
    前記樹脂膜の端面は、前記無機バリア膜に覆われかつ前
    記封止缶が前記無機バリア膜に接する領域内部に、封じ
    込まれていることを特徴とする請求項11〜13のいず
    れか1記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネ
    ル。
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