JP2003295180A - 半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

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JP2003295180A JP2002099744A JP2002099744A JP2003295180A JP 2003295180 A JP2003295180 A JP 2003295180A JP 2002099744 A JP2002099744 A JP 2002099744A JP 2002099744 A JP2002099744 A JP 2002099744A JP 2003295180 A JP2003295180 A JP 2003295180A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】セルカラーフィルタが多面付けされたワーク基
板を処理して半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィ
ルタを作製する際各セルカラーフィルタ上に発生する放
射状のスジ状ムラを低減できる半透過型カラー液晶表示
装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】ガラス基板11上にブラックマトリクス2
1、ブラック枠22を形成し、ブラックマトリクス21
間の所定位置に透明パターン層31及び透明層32を形
成する。赤色感光性レジストをスピンナー等により塗布
し、赤色感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連
のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21
間に透過領域の着色画素41t及び反射領域の着色画素
41rよりなる赤色画素41Rを形成し、順次緑色画素
41G及び青色着色画素41B、透明電極51を形成し
て、半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタを得
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半透過型カラー液
晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に
関し、特に、多面付けワーク基板を用いてカラーフィル
タを作製する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの
製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示装置としては、大きく分
けてカラー液晶パネルの主として後方からの照明光によ
ってカラー表示を行う透過型カラー液晶表示装置とカラ
ー液晶パネルの主として前面からの照明光でカラー表示
を行う反射型カラー液晶表示装置とがある。
【0003】透過型カラー液晶表示装置は薄型、軽量
で、明るく、解像性に優れたカラー表示が可能であり、
ノートパソコン等の情報端末のカラー表示装置装置とし
てかなり普及している。透過型カラー液晶表示装置はカ
ラー液晶パネルの照明用として後方に光源を備えている
ため、この光源の電力消費により電池で駆動する携帯情
報端末では使用時間が限られていた。
【0004】反射型カラー液晶表示装置は光源を備えて
いないため、電池の寿命を延ばすことができることから
携帯情報端末のカラー表示として期待されているが、屋
外等の非常に明るい環境下ではよく見えるが、室内等で
は明るさ、コントラスト等でカラー表示品質がもう一つ
という感がある。
【0005】上記、透過型と反射型を兼ね備えたカラー
液晶表示装置として半透過型カラー液晶表示装置が開発
されており、屋外及び屋内でも一定以上のカラー表示品
質を発揮できるため、モバイル機器等のカラー表示装置
として期待されている商品である。
【0006】図3は、半透過型カラー液晶表示装置の一
例を示す模式構成部分断面図である。半透過型カラー液
晶表示装置300は、図3に示すように、セルカラーフ
ィルタ60とTFT基板70との間に液晶81を封入し
てカラー液晶パネルを構成したもので、セルカラーフィ
ルタ60はガラス基板11上にブラックマトリクス2
1、透明パターン層31、着色画素41及び透明電極5
1を、TFT基板70はTFT基板上に透明電極71及
び反射電極72をそれぞれ形成したものである。
【0007】半透過型カラー液晶表示装置300は、着
色画素及びTFT基板の1画素内に透過領域と反射領域
を設けて透過型と反射型を兼ね備えた半透過型カラー液
晶表示装置を具現化したもので、着色画素41は、透明
パターン層31を設けたことで生じる着色画素の膜の大
小により着色画素の色濃度を制御し、膜厚が厚いため高
い濃度を有する透過領域の着色画素41tと膜厚が薄い
ため低い濃度を有する反射領域の着色画素41rより構
成されている。一方、TFT基板60側では、透過領域
の着色画素41Tに対応する位置に透明電極71を、反
射領域の着色画素41Rに対応する位置には反射電極7
2を設けている。これによりセルカラーフィルタ60側
から入射した光は反射電極72で反射されて反射領域の
着色画素41Rを経由して観察者に認識される。すなは
ち、着色画素41T領域では反射型カラー液晶表示装置
を構成する。一方、TFT基板70側から入射した光は
透明電極71、透過領域の着色画素41Tを経由して観
察者に認識されるため、着色画素41R領域では透過型
カラー液晶表示装置を構成している。ここで、カラーフ
ィルタの製造にあっては、生産効率を向上させるため、
1枚のワーク基板にカラーフィルタを多面付けして作製
した後個々のカラーフィルタ、もしくは、表示装置に断
裁する方法が主流となっている。
【0008】以下、ガラス基板からなるワーク基板にセ
ルカラーフィルタを多面付けして作製する従来の半透過
型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法につ
いて説明する。なお、セルカラーフィルタとは、1台の
表示装置に組み込まれる1枚のカラーフィルタをいう。
図4(a)は、ガラス基板11に従来の半透過型カラー
液晶表示装置用セルカラーフィルタ60が多面付けされ
たワーク基板200の模式平面図を、図4(b)は、図
4(a)の模式平面図をB−B’線で切断したセルカラ
ーフィルタ60の模式構成部分断面図を、図5(a)〜
(f)は、従来の半透過型カラー液晶表示装置用カラー
フィルタの製造方法の一例を示すセルカラーフィルタの
模式構成部分断面図をそれぞれ示す。
【0009】まず、ガラス基板11上にスパッタリング
等にてクロム薄膜を形成し、クロム薄膜をパターニング
処理してブラックマトリクス21及び画素領域の外枠を
囲むブラック枠22を形成する(図5(a)参照)。こ
のブラックマトリクス21は、カラー液晶表示を行う際
表示品位のコントラスト向上、不要な部位への光入射を
防止するため、各色の着色画素間に設けられる。
【0010】次に、ブラックマトリクス21及びブラッ
ク枠22が形成されたガラス基板11上に感光性透明樹
脂溶液をスピンナーにて塗布し、感光性透明樹脂層を形
成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理
を行って、ブラックマトリクス21間の所定位置に透明
パターン層31を形成する(図5(b)参照)。この透
明パターン層31は、ブラックマトリクス21間に透過
領域及び反射領域の着色画素の膜厚を制御し、濃度の異
なる着色画素領域を簡易に形成するために設けれれてい
るものであって、透明パターン層31上に形成される着
色画素膜厚と透明パターン層31両側に形成される着色
画素膜厚を変えて、1画素の着色画素濃度を変えるため
に形成される。透明パターン層31の膜厚はカラーフィ
ルタの種類等により異なるが、2〜3.5μm厚程度が
一般的である。
【0011】次に、ブラックマトリクス21及び透明パ
ターン層31が形成されたガラス基板11上に赤色顔料
を感光性樹脂に分散した赤色感光性レジストをスピンナ
ー等により塗布し、赤色感光層を形成し、パターン露
光、現像等の一連のパターニング処理を行って、ガラス
基板11上のブラックマトリクス21間の所定位置に赤
色着色画素41Rを形成する(図5(c)参照)。ここ
で、赤色着色画素41Rは、透明パターン層31の両側
に形成された濃度の高い透過領域の着色画素41tと、
透明パターン層31上部に形成された濃度の低い反射領
域の着色画素41rとで構成されている。
【0012】次に、ブラックマトリクス21、透明パタ
ーン層31及び赤色着色画素41Rが形成されたガラス
基板11上に緑色顔料を感光性樹脂に分散した緑色感光
性レジストをスピンナー等により塗布し、緑色感光層を
形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処
理を行って、ガラス基板11上のブラックマトリクス2
1間の所定位置に緑色着色画素41Gを形成する(図5
(d)参照)。
【0013】次に、ブラックマトリクス21、透明パタ
ーン層31、赤色着色画素41R及び緑色着色画素41
Gが形成されたガラス基板11上に青色顔料を感光性樹
脂に分散した青色感光性レジストをスピンナー等により
塗布し、青色感光層を形成し、パターン露光、現像等の
一連のパターニング処理を行って、ガラス基板11上の
所定位置のブラックマトリクス21間に青色着色画素4
1Bを形成する(図5(e)参照)。
【0014】最後に、ガラス基板11上の赤色着色画素
41R、緑色着色画素41G及び青色着色画素41B上
に、スパッタリング等により酸化インジウム薄膜からな
る透明電極51を形成して、ガラス基板11に半透過型
カラー液晶表示装置用セルカラーフィルタ60が多面付
けされたワーク基板200を得る。
【0015】図6に、ガラス基板11上に半透過型カラ
ー液晶表示装置用セルカラーフィルタ60が多面付けさ
れたワーク基板200の表面状態を模式的に示す模式平
面図を示す。図6に示すように、上記、多面付け法で作
製したセルカラーフィルタ60の表面には放射状のスジ
状ムラ91が発生する。このスジ状ムラ91は、上記カ
ラーフィルタ製造工程で赤色、緑色、青色の各着色感光
性レジストを塗布する際に発生するもので、今回のよう
な透明パターン層31を形成した後に各着色感光性レジ
ストを塗布する際にセルカラーフィルタのコーナーから
スジ状の塗布ムラが発生し易い。これは、透明パターン
層31の膜厚が2〜3.5μmと着色レジスト層の膜厚
1〜1.5μmに対して厚いため、スピンコートのよう
な回転塗布で中央に滴下した各着色感光性レジストを基
板周辺部に塗り広げる場合透明パターン層31が障壁に
なり均一なコーティングができず、塗布ムラが発生する
と想定される。また、着色画素が形成された領域を囲む
ブラック枠が形成されていると、このブラック枠の厚み
が障壁となり、塗り広げられたレジストがブラック枠を
乗り越える際に不均一に広がりムラが発生することも想
定される。この塗布ムラは、カラー液晶表示パネルの表
示品位の低下をもたらし、カラーフィルタの生産収率を
押し下げる要因となり、問題である。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑み考案されたものであり、セルカラーフィルタが多
面付けされたワーク基板を処理して半透過型カラー液晶
表示装置用カラーフィルタを作製する際各セルカラーフ
ィルタ上に発生する放射状のスジ状ムラを低減できる半
透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明において上記課題
を解決するために、まず請求項1においては、少なくと
もブラック枠、ブラックマトリクス、透明パターン層及
び赤色、緑色、青色等の着色画素からなるセルカラーフ
ィルタが多面付けされたワーク基板を処理して半透過型
液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法であっ
て、前記透明パターン層を形成する際面付けされた各前
記セルカラーフィルタの外枠を構成しているブラック枠
間の少なくとも隣接する領域に透明層を設けて、着色画
素形成以降の処理を行い、カラーフィルタを作製するこ
とを特徴とする半透過型カラー液晶表示装置用カラーフ
ィルタの製造方法としたものである。
【0018】また、請求項2においては、少なくともブ
ラック枠、ブラックマトリクス、透明パターン層及び赤
色、緑色、青色等の着色画素からなるセルカラーフィル
タが多面付けされたワーク基板を処理して半透過型液晶
表示装置用カラーフィルタを製造する方法であって、前
記透明パターン層を形成する際面付けされた各前記セル
カラーフィルタの外枠を構成しているブラック枠間の少
なくとも隣接する領域にパターン状の透明層を設けて、
着色画素形成以降の処理を行い、カラーフィルタを作製
することを特徴とする半透過型カラー液晶表示装置用カ
ラーフィルタの製造方法としたものである。
【0019】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図面を用いて説明する。図1(a)は、本発明に係わる
半透過型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方
法にて作製された半透過型カラー液晶表示装置用セルカ
ラーフィルタが多面付けされたワーク基板100の模式
平面図を、図1(b)は、図1(a)の模式平面図をA
−A’線で切断したワーク基板100の模式構成部分断
面図である。本発明に係わる半透過型カラー液晶表示装
置用カラーフィルタの製造方法は、図1(a)に示すよ
うに、ガラス基板11上に多面付けされたセルカラーフ
ィルタ50内の所定位置に透明パターン層31を形成す
る際にセルカラーフィルタ50の隣接するブラック枠2
2間に透明層32を同時に形成している。その後各色の
着色画素を形成していくものである。これにより、セル
カラーフィルタ50間では透明パターン層31の形成に
より、障壁段差が少なくなり、スピンコートのような回
転塗布で中央に滴下した各着色感光性レジストをガラス
基板周辺部に塗り広げる際着色感光性レジストがブラッ
ク枠を乗り越えるのが容易となり、レジストが均一に広
がるようにしたものである。透明層21はパターン状の
透明パターン層31を隣接するブラック枠22間に配置
しても良いし、隣接するブラック枠22間を埋め尽くす
ようなベタ状のパターンであっても良い。
【0020】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明す
る。図2(a)〜(f)は、本発明に係わる半透過型カ
ラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施
例を示す模式構成部分断面図である。まず、基板サイズ
360×465mm、板厚0.7mmのガラス基板11
上にスパッタリング等により0.17μm厚のクロム薄
膜を形成し、クロム薄膜を公知のパターニングプロセス
にてパターン化し、ガラス基板11の所定位置に6μm
幅のブラックマトリクス21及び2mm幅のブラック枠
22を形成した(図2(a)参照)。ここで、ブラック
マトリクス21は、カラー液晶表示を行った際の表示品
位のコントラスト向上、不要な部位への光入射を防止す
るため、各色の着色画素間に設けるのが一般的である。
ブラック枠22はセルカラーフィルタ50の外周辺部に
設けられており、セルカラーフィルタ50の外周有効部
を構成している。
【0021】次に、ブラックマトリクス21及びブラッ
ク枠22が形成されたワーク基板11上に感光性透明樹
脂溶液をスピンコーターにより塗布し、予備乾燥して感
光性透明樹脂層を形成し、パターン露光、現像等の一連
のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21
間に3.5μm厚の透明パターン層31を、セルカラー
フィルタ50の隣接するブラック枠22間に3.5μm
厚の透明層32を形成した。
【0022】次に、ブラックマトリクス21、ブラック
枠22、透明パターン層31及び透明層32が形成され
たガラス基板11上に赤色顔料を感光性樹脂に分散した
赤色感光性レジストをスピンナーにより塗布し、赤色感
光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニ
ング処理を行って、ガラス基板11上のブラックマトリ
クス21間の所定位置に赤色着色画素41Rを形成した
(図2(c)参照)。ここで、赤色着色画素41Rは、
透明パターン層31の両側に形成された濃度の高い透過
領域の膜厚1.0μmの赤色画素41t、透明パターン
層31上部に形成された画素濃度の低い反射領域の膜厚
0.5μmの赤色画素41rより構成されている。さら
に、透明層32上にも赤色感光層は形成されるが、パタ
ーン露光されないため、透明層32上の赤色感光層は現
像処理で除去され、透明層32上には赤色感光層は残ら
ない。
【0023】次に、ブラックマトリクス21、ブラック
枠22、透明パターン層31、透明層32及び赤色着色
画素41Rが形成されたガラス基板11上に緑色顔料を
感光性樹脂に分散した緑色感光性レジストをスピンナー
等により塗布し、緑色感光層を形成し、パターン露光、
現像等の一連のパターニング処理を行って、ガラス基板
11上のブラックマトリクス21間の所定位置に、透明
パターン層31の両側に形成された濃度の高い透過領域
の膜厚1μmの緑色画素41t、透明パターン層31上
部に形成された濃度の低い反射領域の膜厚0.5μmの
緑色画素41rよりなる緑色着色画素41Gを形成した
(図2(d)参照)。
【0024】次に、ブラックマトリクス21、ブラック
枠22、透明パターン層31、透明層32、赤色着色画
素41R及び緑色着色画素41Gが形成されたガラス基
板11上に青色顔料を感光性樹脂に分散した青色感光性
レジストをスピンナー等により塗布し、青色感光層を形
成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理
を行って、ガラス基板11上のブラックマトリクス21
間の所定位置に、透明パターン層31の両側に形成され
た濃度の高い透過領域の膜厚 μmの青色画素41
t、透明パターン層31上部に形成された濃度の低い反
射領域の膜厚 μmの青色画素41rよりなる青色着
色画素41Bを形成した(図2(e)参照)。
【0025】最後に、ガラス基板11上の赤色着色画素
41R、緑色着色画素41G及び青色着色画素41B上
に、スパッタリング等により酸化インジウム薄膜からな
る透明電極51を形成して、ガラス基板11に半透過型
カラー液晶表示装置用セルカラーフィルタ50が多面付
けされたワーク基板100を得た(図2(f)及び図1
(a)参照)。
【0026】上記製造方法にて得られた半透過型カラー
液晶表示装置用セルカラーフィルタが多面付けされたワ
ーク基板100の表面観察を行った結果放射状のスジ状
ムラは大幅に低減されており、ブラック枠間に透明層を
設けて着色感光性レジスト塗布することにより、各セル
カラーフィルタ50に発生する放射状のスジ状ムラを低
減できることが確認された。以上、本発明の実施例につ
き説明したが、これに限定されるものでなく、本発明の
主旨に基づき種々の変形を行っても構わない。例えば、
ブラック枠、ブラックマトリクスは黒色樹脂で形成する
ことであっても構わない。
【0027】
【発明の効果】本発明に係わる半透過型カラー液晶表示
装置用カラーフィルタの製造方法にてカラーフィルタを
作製することにより、カラーフィルタ表面に発生する放
射状のスジ状ムラを大幅に低減でき、表示品位に優れた
カラー液晶表示パネルが得られる半透過型カラー液晶表
示装置用カラーフィルタを提供できる。また、半透過型
カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造収率を向上
させることができ、優れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明に係わる半透過型カラー液晶
表示装置用カラーフィルタの製造方法にて作製された半
透過型カラー液晶表示装置用セルカラーフィルタが多面
付けされたワーク基板の一例を示す模式平面図である。
(b)は、(a)をA−A’線で切断したワーク基板の
模式構成部分断面図である。
【図2】(a)〜(f)は、本発明に係わる半透過型カ
ラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施
例を示す模式構成部分断面図である。
【図3】従来の半透過型カラー液晶表示装置の一例を示
す模式構成部分断面図である。
【図4】(a)は、従来の半透過型カラー液晶表示装置
用セルカラーフィルタが多面付けされたワーク基板の一
例を示す模式平面図である。(b)は、(a)をB−
B’線で切断したワーク基板の模式構成部分断面図であ
る。
【図5】(a)〜(f)は、従来の半透過型カラー液晶
表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す模式
構成部分断面図である。
【図6】従来の半透過型カラー液晶表示装置用セルカラ
ーフィルタが多面付けされたワーク基板の表面状態を模
式的に示す説明図である。
【符号の説明】
11……ガラス基板 21……ブラックマトリクス 22……ブラック枠 31……透明パターン層 32……透明層 41R……赤色着色画素 41G……緑色着色画素 41B……青色着色画素 41t……透過領域の着色画素 41r……反射領域の着色画素 50、60……セルカラーフィルタ 51……透明電極 70……TFT基板 71……透明電極 72……反射電極 81……液晶 91……スジ状ムラ 100、200……ワーク基板 300……半透過型カラー液晶表示装置
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/00 338 G09F 9/00 338 9/30 349 9/30 349B 9/35 9/35 Fターム(参考) 2H048 BA02 BA11 BA45 BB02 BB22 BB28 BB44 2H091 FA02Y FA15Y FA34Y FD03 FD04 FD23 GA03 LA13 LA16 2H092 GA13 JB07 JB52 NA01 5C094 AA03 AA42 AA46 BA43 CA19 CA24 EA07 EB02 ED03 ED15 FA02 FB01 HA08 5G435 AA01 BB12 CC09 CC12 FF03 FF13 GG12 HH02 KK05 LL06 LL07 LL08

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくともブラック枠、ブラックマトリク
    ス、透明パターン層及び赤色、緑色、青色等の着色画素
    からなるセルカラーフィルタが多面付けされたワーク基
    板を処理して半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを
    製造する方法であって、前記透明パターン層を形成する
    際面付けされた各前記セルカラーフィルタの外枠を構成
    しているブラック枠間の少なくとも隣接する領域に透明
    層を設けて、着色画素形成以降の処理を行い、カラーフ
    ィルタを作製することを特徴とする半透過型カラー液晶
    表示装置用カラーフィルタの製造方法。
  2. 【請求項2】少なくともブラック枠、ブラックマトリク
    ス、透明パターン層及び赤色、緑色、青色等の着色画素
    からなるセルカラーフィルタが多面付けされたワーク基
    板を処理して半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを
    製造する方法であって、前記透明パターン層を形成する
    際面付けされた各前記セルカラーフィルタの外枠を構成
    しているブラック枠間の少なくとも隣接する領域にパタ
    ーン状の透明層を設けて、着色画素形成以降の処理を行
    い、カラーフィルタを作製することを特徴とする半透過
    型カラー液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
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