JP2003272248A - 光ディスク原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法 - Google Patents
光ディスク原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法Info
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- JP2003272248A JP2003272248A JP2002077012A JP2002077012A JP2003272248A JP 2003272248 A JP2003272248 A JP 2003272248A JP 2002077012 A JP2002077012 A JP 2002077012A JP 2002077012 A JP2002077012 A JP 2002077012A JP 2003272248 A JP2003272248 A JP 2003272248A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非同期回転振れを高精度で検出し、光ディス
ク原盤上の半径方向のビーム照射位置を変化させ、ビー
ム照射軌跡のトラックピッチを高精度で安定させる。 【解決手段】 非同期回転振れ量検出部１９ａは、ター
ンテーブル１０に非接触で配置された回転振れ検出セン
サー１７により、ターンテーブル１０の回転振れ量を検
出するアンプ３０・Ａ／Ｄ変換器３１と、ＳＰモータ１
４の回転角度を検出するエンコーダ１５と、アンプ３０
・Ａ／Ｄ変換器３１とエンコーダ１５の検出値からター
ンテーブル１０の同期回転振れ量を演算するマイクロコ
ントローラ３２と、同期回転振れ量を基に回転振れ検出
センサー１７の位置を変位させる圧電素子１８と、を備
える。
ク原盤上の半径方向のビーム照射位置を変化させ、ビー
ム照射軌跡のトラックピッチを高精度で安定させる。 【解決手段】 非同期回転振れ量検出部１９ａは、ター
ンテーブル１０に非接触で配置された回転振れ検出セン
サー１７により、ターンテーブル１０の回転振れ量を検
出するアンプ３０・Ａ／Ｄ変換器３１と、ＳＰモータ１
４の回転角度を検出するエンコーダ１５と、アンプ３０
・Ａ／Ｄ変換器３１とエンコーダ１５の検出値からター
ンテーブル１０の同期回転振れ量を演算するマイクロコ
ントローラ３２と、同期回転振れ量を基に回転振れ検出
センサー１７の位置を変位させる圧電素子１８と、を備
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスク原盤に
記録用ビームを照射する光ディスク原盤露光装置および
非同期回転振れ量検出方法に関する。
記録用ビームを照射する光ディスク原盤露光装置および
非同期回転振れ量検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】昨今の情報技術の進歩に伴い、メディア
情報を大容量に記録する媒体として、コンパクトディス
ク（ＣＤ）やデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、レー
ザディスク（ＬＤ）などに代表されるような光ディスク
が普及している。これらの光ディスクは、音楽情報や映
像情報が、ピットの長さをパラメータとする信号に変換
して記録される。それぞれの情報ピットは、情報記録面
において一定の幅を有し、長手方向がディスクの中心に
対して螺旋状あるいは同心円状に沿って配列するように
形成されて情報トラックを構成する。
情報を大容量に記録する媒体として、コンパクトディス
ク（ＣＤ）やデジタルビデオディスク（ＤＶＤ）、レー
ザディスク（ＬＤ）などに代表されるような光ディスク
が普及している。これらの光ディスクは、音楽情報や映
像情報が、ピットの長さをパラメータとする信号に変換
して記録される。それぞれの情報ピットは、情報記録面
において一定の幅を有し、長手方向がディスクの中心に
対して螺旋状あるいは同心円状に沿って配列するように
形成されて情報トラックを構成する。
【０００３】ところで、このような光ディスクは、光デ
ィスク原盤露光（記録）装置により情報ピットを光ディ
スク原盤に記録し、記録された原盤からディスクスタン
パを形成し、このディスクスタンパを用いてポリカーボ
ネイト樹脂などを加熱プレス加工あるいは射出成形し、
ピットが原盤から転写されて形成された記録層上を金属
蒸着処理した後、透光性基板などが積層されて形成され
る。
ィスク原盤露光（記録）装置により情報ピットを光ディ
スク原盤に記録し、記録された原盤からディスクスタン
パを形成し、このディスクスタンパを用いてポリカーボ
ネイト樹脂などを加熱プレス加工あるいは射出成形し、
ピットが原盤から転写されて形成された記録層上を金属
蒸着処理した後、透光性基板などが積層されて形成され
る。
【０００４】しかし、光ディスク原盤露光（記録）装置
では、ターンテーブル（光ディスク原盤）の回転中に、
その半径方向に振れる現象が生じる。この振れにはター
ンテーブルの回転角の位置によって振れの大きさが決ま
る同期振れと、ターンテーブルの回転角の位置とは無関
係で非規則な量の非同期振れとがある。この非周期的に
現れる振れは、ＮＲＲＯ（ｎｏｎ−ｒｅｐｅａｔａｂｌ
ｅ ｒｕｎｏｕｔ）とも呼ばれる。この非同期振れの発
生は、ターンテーブルのスピンドルモータの軸受（ボー
ルベアリングなど）、周辺支承部、軸真円度、予圧構造
の不完全さや振動などに起因している。このように露光
記録時に非同期振れが生じるとトラックピッチの精度に
悪影響を及ぼし所望のトラックピッチが得られなくな
り、不良原盤が製造されることになる。このため、この
非同期振れを検出し、露光位置を調整する装置が、知ら
れている。
では、ターンテーブル（光ディスク原盤）の回転中に、
その半径方向に振れる現象が生じる。この振れにはター
ンテーブルの回転角の位置によって振れの大きさが決ま
る同期振れと、ターンテーブルの回転角の位置とは無関
係で非規則な量の非同期振れとがある。この非周期的に
現れる振れは、ＮＲＲＯ（ｎｏｎ−ｒｅｐｅａｔａｂｌ
ｅ ｒｕｎｏｕｔ）とも呼ばれる。この非同期振れの発
生は、ターンテーブルのスピンドルモータの軸受（ボー
ルベアリングなど）、周辺支承部、軸真円度、予圧構造
の不完全さや振動などに起因している。このように露光
記録時に非同期振れが生じるとトラックピッチの精度に
悪影響を及ぼし所望のトラックピッチが得られなくな
り、不良原盤が製造されることになる。このため、この
非同期振れを検出し、露光位置を調整する装置が、知ら
れている。
【０００５】光ディスク原盤に露光ビームを照射して記
録信号を記録する光ディスク原盤露光（記録）装置に関
連する参考技術文献として、たとえば特開平９−１９０
６５１号公報、特開２０００−２０９６４号公報が開示
されている。この特開平９−１９０６５１号公報の「光
ディスク原盤露光装置および非同期振れ量補正装置」に
は、ターンテーブルの回転振れ（同期、非同期回転振
れ）信号から、あらかじめ測定した回転振れ量の平均値
（同期回転振れ量）信号を減算し、非同期回転振れ信号
のみを出力することが開示されている。また、特開２０
００−２０９６４号公報の「光ディスク原盤記録装置」
には、回転シャフトの回転方向の角度位置と光ディスク
原盤の記録面に平行な方向の回転シャフトの変位とを検
出し、角度位置と変位とに基づいて回転シャフトの基準
位置からの現在角度位置における現在偏倚を算出し、現
在偏倚にしたがって照射スポット位置を調整することが
開示されている。
録信号を記録する光ディスク原盤露光（記録）装置に関
連する参考技術文献として、たとえば特開平９−１９０
６５１号公報、特開２０００−２０９６４号公報が開示
されている。この特開平９−１９０６５１号公報の「光
ディスク原盤露光装置および非同期振れ量補正装置」に
は、ターンテーブルの回転振れ（同期、非同期回転振
れ）信号から、あらかじめ測定した回転振れ量の平均値
（同期回転振れ量）信号を減算し、非同期回転振れ信号
のみを出力することが開示されている。また、特開２０
００−２０９６４号公報の「光ディスク原盤記録装置」
には、回転シャフトの回転方向の角度位置と光ディスク
原盤の記録面に平行な方向の回転シャフトの変位とを検
出し、角度位置と変位とに基づいて回転シャフトの基準
位置からの現在角度位置における現在偏倚を算出し、現
在偏倚にしたがって照射スポット位置を調整することが
開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記に
示されるような従来の光ディスク原盤露光（記録）装置
にあっては、非同期回転振れ量は同期回転振れ量として
非常に小さい値なので、非同期回転振れ量の検出精度を
高くすることができない。たとえば、センサーによる回
転振れ量の検出精度を検出ＦＳ（フルスケール）１０μ
ｍ、分解能１０ｎｍ（ＦＳの１／１０００）とすると、
非同期回転振れ量は同期回転振れ量と比較して非常に小
さく同期回転振れの１％以下と考えられる。ここで、同
期回転振れが５μｍなら非同期回転振れは５０ｎｍ以下
であり、分解能１０ｎｍでは精度よく非同期回転振れを
測定することができない。
示されるような従来の光ディスク原盤露光（記録）装置
にあっては、非同期回転振れ量は同期回転振れ量として
非常に小さい値なので、非同期回転振れ量の検出精度を
高くすることができない。たとえば、センサーによる回
転振れ量の検出精度を検出ＦＳ（フルスケール）１０μ
ｍ、分解能１０ｎｍ（ＦＳの１／１０００）とすると、
非同期回転振れ量は同期回転振れ量と比較して非常に小
さく同期回転振れの１％以下と考えられる。ここで、同
期回転振れが５μｍなら非同期回転振れは５０ｎｍ以下
であり、分解能１０ｎｍでは精度よく非同期回転振れを
測定することができない。
【０００７】そこで、回転振れ量の検出精度を検出ＦＳ
（フルスケール）１μｍ、分解能１ｎｍ（ＦＳの１／１
０００）として分解能を上げても回転振れが検出ＦＳ
（フルスケール）１μｍを超えてしまう。このように、
同期回転振れ量と比較して非常に小さい非同期回転振れ
を検出することができないため、スパイラル状のビーム
照射軌跡のトラックピッチを高精度に安定させることが
できないという問題点があった。
（フルスケール）１μｍ、分解能１ｎｍ（ＦＳの１／１
０００）として分解能を上げても回転振れが検出ＦＳ
（フルスケール）１μｍを超えてしまう。このように、
同期回転振れ量と比較して非常に小さい非同期回転振れ
を検出することができないため、スパイラル状のビーム
照射軌跡のトラックピッチを高精度に安定させることが
できないという問題点があった。
【０００８】本発明は、上記に鑑みてなされたものであ
って、非同期回転振れを高精度で検出し、ビーム照射位
置制御手段で露光ビーム発生器を制御し、光ディスク原
盤上の半径方向のビーム照射位置を変化させることによ
り、スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチを
高精度で安定させることを目的とする。
って、非同期回転振れを高精度で検出し、ビーム照射位
置制御手段で露光ビーム発生器を制御し、光ディスク原
盤上の半径方向のビーム照射位置を変化させることによ
り、スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチを
高精度で安定させることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１にかかる光ディスク原盤露光装置にあっ
ては、ターンテーブルの半径方向への非同期回転振れ量
を検出する非同期回転振れ量検出手段と、前記非同期回
転振れ量検出手段からの信号に基づいて前記光ディスク
原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整するビー
ム照射位置調整手段と、前記ターンテーブルを回転させ
るテーブル回転手段と、前記ターンテーブルを水平方向
に横移動するテーブル移動手段と、前記テーブル回転手
段と前記テーブル移動手段を協調させてＣＡＶ制御を行
なう協調制御手段と、を具備し、前記ターンテーブル上
に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照射し、所定の
情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記
非同期回転振れ量検出手段は、前記ターンテーブルに対
して非接触で配置されたセンサーにより、前記ターンテ
ーブルの回転振れ量を検出する第１検出手段と、前記テ
ーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段と前記第２検出手段の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算手段
と、前記演算手段で求められた同期回転振れ量にしたが
って前記第１検出手段における前記センサーの位置を変
位させる変位手段と、を備えたものである。
めに、請求項１にかかる光ディスク原盤露光装置にあっ
ては、ターンテーブルの半径方向への非同期回転振れ量
を検出する非同期回転振れ量検出手段と、前記非同期回
転振れ量検出手段からの信号に基づいて前記光ディスク
原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整するビー
ム照射位置調整手段と、前記ターンテーブルを回転させ
るテーブル回転手段と、前記ターンテーブルを水平方向
に横移動するテーブル移動手段と、前記テーブル回転手
段と前記テーブル移動手段を協調させてＣＡＶ制御を行
なう協調制御手段と、を具備し、前記ターンテーブル上
に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照射し、所定の
情報を記録する光ディスク原盤露光装置において、前記
非同期回転振れ量検出手段は、前記ターンテーブルに対
して非接触で配置されたセンサーにより、前記ターンテ
ーブルの回転振れ量を検出する第１検出手段と、前記テ
ーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手段と、
前記第１検出手段と前記第２検出手段の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算手段
と、前記演算手段で求められた同期回転振れ量にしたが
って前記第１検出手段における前記センサーの位置を変
位させる変位手段と、を備えたものである。
【００１０】この発明によれば、ＣＡＶ露光前に、第１
検出手段においてセンサーにより回転角度毎にターンテ
ーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出手段でタ
ーンテーブルの回転角度を検出し、第１検出手段と第２
検出手段からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出手
段のセンサーの位置を変位することにより、センサーか
ら小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビ
ーム照射位置制御手段に供給し、ビーム照射位置を微調
整することが可能になる。
検出手段においてセンサーにより回転角度毎にターンテ
ーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出手段でタ
ーンテーブルの回転角度を検出し、第１検出手段と第２
検出手段からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出手
段のセンサーの位置を変位することにより、センサーか
ら小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビ
ーム照射位置制御手段に供給し、ビーム照射位置を微調
整することが可能になる。
【００１１】また、請求項２にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記演算手段は、前記第１検出手段
および前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テー
ブル回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブル
の半径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積さ
れたデータを平均化して前記テーブル回転手段の各回転
角度位置における前記ターンテーブルの半径方向への回
転振れ量の基準値を求めるものである。
光装置にあっては、前記演算手段は、前記第１検出手段
および前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テー
ブル回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブル
の半径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積さ
れたデータを平均化して前記テーブル回転手段の各回転
角度位置における前記ターンテーブルの半径方向への回
転振れ量の基準値を求めるものである。
【００１２】この発明によれば、請求項１において、原
盤露光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転
角度毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、
第２検出手段でターンテーブルの回転角度を検出してデ
ータの蓄積を行なったのちこれらの平均値を算出し、回
転振れ量の基準値を求めることにより、原盤セット後に
おいて、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同期
させて第１検出手段のセンサーの位置を制御することが
可能になる。
盤露光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転
角度毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、
第２検出手段でターンテーブルの回転角度を検出してデ
ータの蓄積を行なったのちこれらの平均値を算出し、回
転振れ量の基準値を求めることにより、原盤セット後に
おいて、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同期
させて第１検出手段のセンサーの位置を制御することが
可能になる。
【００１３】また、請求項３にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、非同期回転振れ量は、前記テーブル
回転手段の各回転角度位置における前記ターンテーブル
の半径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と
同期して出力し、前記第１検出手段における前記センサ
ーの位置を変位させる前記変位手段を制御して検出され
るものである。
光装置にあっては、非同期回転振れ量は、前記テーブル
回転手段の各回転角度位置における前記ターンテーブル
の半径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と
同期して出力し、前記第１検出手段における前記センサ
ーの位置を変位させる前記変位手段を制御して検出され
るものである。
【００１４】この発明によれば、請求項１において、原
盤セット後に、回転振れ量の基準値をターンテーブルの
回転角度に同期させて第１検出手段のセンサーの位置を
制御することにより、センサーとそのアンプを介した信
号から小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号
をビーム照射位置制御手段に供給することが可能にな
る。
盤セット後に、回転振れ量の基準値をターンテーブルの
回転角度に同期させて第１検出手段のセンサーの位置を
制御することにより、センサーとそのアンプを介した信
号から小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号
をビーム照射位置制御手段に供給することが可能にな
る。
【００１５】また、請求項４にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、ターンテーブルの半径方向への非同
期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出手段と、
前記非同期回転振れ量検出手段からの信号に基づいて前
記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を
調整するビーム照射位置調整手段と、前記ターンテーブ
ルを回転させるテーブル回転手段と、前記ターンテーブ
ルを水平方向に横移動するテーブル移動手段と、前記テ
ーブル回転手段と前記テーブル移動手段を協調させてＣ
ＬＶ制御を行なう協調制御手段と、を具備し、前記ター
ンテーブル上に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照
射し、所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置に
おいて、前記非同期回転振れ量検出手段は、前記ターン
テーブルに対して非接触で配置された第１のセンサーに
より、前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する第１
検出手段と、前記テーブル回転手段の回転角度を検出す
る第２検出手段と、前記ターンテーブルに対して非接触
で配置された第２のセンサーにより、前記第１検出手段
から所定角度変位して配置された前記ターンテーブルの
回転振れ量を検出する第３検出手段と、前記第１検出手
段と前記第２検出手段の検出値から前記ターンテーブル
の同期回転振れ量を演算する演算手段と、前記演算手段
で求められた同期回転振れ量にしたがって前記第３検出
手段における前記第２のセンサーの位置を変位させる変
位手段と、を備えたものである。
光装置にあっては、ターンテーブルの半径方向への非同
期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出手段と、
前記非同期回転振れ量検出手段からの信号に基づいて前
記光ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を
調整するビーム照射位置調整手段と、前記ターンテーブ
ルを回転させるテーブル回転手段と、前記ターンテーブ
ルを水平方向に横移動するテーブル移動手段と、前記テ
ーブル回転手段と前記テーブル移動手段を協調させてＣ
ＬＶ制御を行なう協調制御手段と、を具備し、前記ター
ンテーブル上に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照
射し、所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置に
おいて、前記非同期回転振れ量検出手段は、前記ターン
テーブルに対して非接触で配置された第１のセンサーに
より、前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する第１
検出手段と、前記テーブル回転手段の回転角度を検出す
る第２検出手段と、前記ターンテーブルに対して非接触
で配置された第２のセンサーにより、前記第１検出手段
から所定角度変位して配置された前記ターンテーブルの
回転振れ量を検出する第３検出手段と、前記第１検出手
段と前記第２検出手段の検出値から前記ターンテーブル
の同期回転振れ量を演算する演算手段と、前記演算手段
で求められた同期回転振れ量にしたがって前記第３検出
手段における前記第２のセンサーの位置を変位させる変
位手段と、を備えたものである。
【００１６】この発明によれば、ＣＬＶ露光時に、第１
検出手段においてターンテーブルに対して非接触で配置
された第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を
検出し、第２検出手段でテーブル回転手段の回転角度を
検出し、さらに第３検出手段においてターンテーブルに
対して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出
手段から所定角度変位して配置されたターンテーブルの
回転振れ量を検出し、演算手段が第１検出手段と第２検
出手段の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を
演算し、変位手段がその同期回転振れ量にしたがって第
３検出手段における第２のセンサーの位置を変位させる
ことにより、第２のセンサーから小さな非同期回転振れ
信号が取得され、この信号をビーム照射位置制御手段に
供給し、ビーム照射位置を微調整することが可能にな
る。
検出手段においてターンテーブルに対して非接触で配置
された第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を
検出し、第２検出手段でテーブル回転手段の回転角度を
検出し、さらに第３検出手段においてターンテーブルに
対して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出
手段から所定角度変位して配置されたターンテーブルの
回転振れ量を検出し、演算手段が第１検出手段と第２検
出手段の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を
演算し、変位手段がその同期回転振れ量にしたがって第
３検出手段における第２のセンサーの位置を変位させる
ことにより、第２のセンサーから小さな非同期回転振れ
信号が取得され、この信号をビーム照射位置制御手段に
供給し、ビーム照射位置を微調整することが可能にな
る。
【００１７】また、請求項５にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、前記演算手段は、前記第１検出手段
および前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テー
ブル回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブル
の半径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積さ
れたデータを移動平均化して前記テーブル回転手段の各
回転角度位置における前記ターンテーブルの半径方向へ
の回転振れ量の基準値を求めるものである。
光装置にあっては、前記演算手段は、前記第１検出手段
および前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テー
ブル回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブル
の半径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積さ
れたデータを移動平均化して前記テーブル回転手段の各
回転角度位置における前記ターンテーブルの半径方向へ
の回転振れ量の基準値を求めるものである。
【００１８】この発明によれば、請求項４において、第
１検出手段と第３検出手段はターンテーブルに対して非
接触に第１、第２のセンサーが配置され、第１検出手段
と第２検出手段で各回転角度位置でのターンテーブルの
半径方向の振れ量を検出して蓄積し、これらの移動平均
値を求め、これを回転振れ量の基準値とすることによ
り、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同期させ
て第３検出手段の第２のセンサーの位置を制御すること
が可能になる。
１検出手段と第３検出手段はターンテーブルに対して非
接触に第１、第２のセンサーが配置され、第１検出手段
と第２検出手段で各回転角度位置でのターンテーブルの
半径方向の振れ量を検出して蓄積し、これらの移動平均
値を求め、これを回転振れ量の基準値とすることによ
り、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同期させ
て第３検出手段の第２のセンサーの位置を制御すること
が可能になる。
【００１９】また、請求項６にかかる光ディスク原盤露
光装置にあっては、非同期回転振れ量は、前記テーブル
回転手段の各回転角度位置における前記ターンテーブル
の半径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と
同期して出力し、前記第３検出手段における前記第２の
センサーの位置を変位させる前記変位手段を制御して検
出されるものである。
光装置にあっては、非同期回転振れ量は、前記テーブル
回転手段の各回転角度位置における前記ターンテーブル
の半径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と
同期して出力し、前記第３検出手段における前記第２の
センサーの位置を変位させる前記変位手段を制御して検
出されるものである。
【００２０】この発明によれば、請求項４において、各
回転角度位置でのターンテーブルの半径方向への同期回
転振れ量を、ターンテーブルを回転させるモータの回転
角度を検出する第２検出手段と同期させて出力し、第３
検出手段の第２のセンサーを変位させる変位手段を制御
することにより、センサーとそのアンプを介した信号か
ら小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビ
ーム照射位置制御手段に供給することが可能になる。
回転角度位置でのターンテーブルの半径方向への同期回
転振れ量を、ターンテーブルを回転させるモータの回転
角度を検出する第２検出手段と同期させて出力し、第３
検出手段の第２のセンサーを変位させる変位手段を制御
することにより、センサーとそのアンプを介した信号か
ら小さな非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビ
ーム照射位置制御手段に供給することが可能になる。
【００２１】また、請求項７にかかる非同期回転振れ量
検出方法にあっては、ターンテーブルの半径方向への非
同期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法に
おいて、前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転
手段と、前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテ
ーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブ
ル移動手段を協調させてＣＡＶ制御を行なう協調制御手
段と、を具備し、前記ターンテーブルに対して非接触で
配置されたセンサーにより、前記ターンテーブルの回転
振れ量を検出する第１検出工程と、前記テーブル回転手
段の回転角度を検出する第２検出工程と、前記第１検出
工程と前記第２検出工程の検出値から前記ターンテーブ
ルの同期回転振れ量を演算する演算工程と、前記演算工
程で求められた同期回転振れ量にしたがって前記第１検
出工程における前記センサーの位置を変位させる変位工
程と、を含むものである。
検出方法にあっては、ターンテーブルの半径方向への非
同期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法に
おいて、前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転
手段と、前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテ
ーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブ
ル移動手段を協調させてＣＡＶ制御を行なう協調制御手
段と、を具備し、前記ターンテーブルに対して非接触で
配置されたセンサーにより、前記ターンテーブルの回転
振れ量を検出する第１検出工程と、前記テーブル回転手
段の回転角度を検出する第２検出工程と、前記第１検出
工程と前記第２検出工程の検出値から前記ターンテーブ
ルの同期回転振れ量を演算する演算工程と、前記演算工
程で求められた同期回転振れ量にしたがって前記第１検
出工程における前記センサーの位置を変位させる変位工
程と、を含むものである。
【００２２】この発明によれば、ＣＡＶ露光前に、第１
検出工程においてセンサーにより回転角度毎にターンテ
ーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出工程でタ
ーンテーブルの回転角度を検出し、第１検出工程と第２
検出工程からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出工
程のセンサーの位置を変位することにより、センサーか
ら小さな非同期回転振れ信号が取得される。
検出工程においてセンサーにより回転角度毎にターンテ
ーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出工程でタ
ーンテーブルの回転角度を検出し、第１検出工程と第２
検出工程からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出工
程のセンサーの位置を変位することにより、センサーか
ら小さな非同期回転振れ信号が取得される。
【００２３】また、請求項８にかかる非同期回転振れ量
検出方法にあっては、ターンテーブルの半径方向への非
同期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法に
おいて、前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転
手段と、前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテ
ーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブ
ル移動手段を協調させてＣＬＶ制御を行なう協調制御手
段と、を具備し、前記ターンテーブルに対して非接触で
配置された第１のセンサーにより、前記ターンテーブル
の回転振れ量を検出する第１検出工程と、前記テーブル
回転手段の回転角度を検出する第２検出工程と、前記タ
ーンテーブルに対して非接触で配置された第２のセンサ
ーにより、前記第１検出工程から所定角度変位して配置
された前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する第３
検出工程と、前記第１検出工程と前記第２検出工程の検
出値から前記ターンテーブルの同期回転振れ量を演算す
る演算工程と、前記演算工程で求められた同期回転振れ
量にしたがって前記第３検出工程における前記第２のセ
ンサーの位置を変位させる変位工程と、を含むものであ
る。
検出方法にあっては、ターンテーブルの半径方向への非
同期回転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法に
おいて、前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転
手段と、前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテ
ーブル移動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブ
ル移動手段を協調させてＣＬＶ制御を行なう協調制御手
段と、を具備し、前記ターンテーブルに対して非接触で
配置された第１のセンサーにより、前記ターンテーブル
の回転振れ量を検出する第１検出工程と、前記テーブル
回転手段の回転角度を検出する第２検出工程と、前記タ
ーンテーブルに対して非接触で配置された第２のセンサ
ーにより、前記第１検出工程から所定角度変位して配置
された前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する第３
検出工程と、前記第１検出工程と前記第２検出工程の検
出値から前記ターンテーブルの同期回転振れ量を演算す
る演算工程と、前記演算工程で求められた同期回転振れ
量にしたがって前記第３検出工程における前記第２のセ
ンサーの位置を変位させる変位工程と、を含むものであ
る。
【００２４】この発明によれば、ＣＬＶ露光時に、第１
検出工程においてターンテーブルに対して非接触で配置
された第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を
検出し、第２検出工程でテーブル回転手段の回転角度を
検出し、さらに第３検出工程においてターンテーブルに
対して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出
工程から所定角度変位して配置されたターンテーブルの
回転振れ量を検出し、演算工程が第１検出工程と第２検
出工程の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を
演算し、変位工程においてその同期回転振れ量にしたが
って第３検出工程における第２のセンサーの位置を変位
させることにより、第２のセンサーから小さな非同期回
転振れ信号が取得される。
検出工程においてターンテーブルに対して非接触で配置
された第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を
検出し、第２検出工程でテーブル回転手段の回転角度を
検出し、さらに第３検出工程においてターンテーブルに
対して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出
工程から所定角度変位して配置されたターンテーブルの
回転振れ量を検出し、演算工程が第１検出工程と第２検
出工程の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を
演算し、変位工程においてその同期回転振れ量にしたが
って第３検出工程における第２のセンサーの位置を変位
させることにより、第２のセンサーから小さな非同期回
転振れ信号が取得される。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる光ディスク
原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法の好適な
実施の形態について添付図面を参照し、詳細に説明す
る。なお、本発明はこの実施の形態に限定されるもので
はない。
原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法の好適な
実施の形態について添付図面を参照し、詳細に説明す
る。なお、本発明はこの実施の形態に限定されるもので
はない。
【００２６】図１は、本発明の実施の形態にかかる光デ
ィスク原盤露光装置の構成を示す説明図である。図にお
いて、符号１０は円筒状のターンテーブル、符号１１は
光ディスク原盤、符号１２はターンテーブル１０を左右
に移動するＳＬテーブル、符号１３はＳＬテーブル１２
の駆動源となるＳＬモータ、符号１４はターンテーブル
１０を回転駆動するＳＰモータ（スピンドルモータ）、
符号１５はＳＰモータ１４軸に設けられたロータリー・
エンコーダ、符号１６はＳＰモータ１４およびＳＬモー
タ１３を協調制御するＳＰ／ＳＬモータ協調制御部、符
号１７はターンテーブル１０の側面に向けて非接触で設
けられた回転振れ検出センサー、符号１８は回転振れ検
出センサー１７が先端に固定され、回転振れ検出センサ
ー１７を微動調整するための圧電素子、符号１９ａ（１
９ｂ）は後述する非同期回転振れ検出部、符号２０は露
光ビーム発生器によるビーム位置を制御するビーム照射
位置制御部、符号２１は光ディスク原盤に露光ビームを
照射する露光ビーム発生器である。
ィスク原盤露光装置の構成を示す説明図である。図にお
いて、符号１０は円筒状のターンテーブル、符号１１は
光ディスク原盤、符号１２はターンテーブル１０を左右
に移動するＳＬテーブル、符号１３はＳＬテーブル１２
の駆動源となるＳＬモータ、符号１４はターンテーブル
１０を回転駆動するＳＰモータ（スピンドルモータ）、
符号１５はＳＰモータ１４軸に設けられたロータリー・
エンコーダ、符号１６はＳＰモータ１４およびＳＬモー
タ１３を協調制御するＳＰ／ＳＬモータ協調制御部、符
号１７はターンテーブル１０の側面に向けて非接触で設
けられた回転振れ検出センサー、符号１８は回転振れ検
出センサー１７が先端に固定され、回転振れ検出センサ
ー１７を微動調整するための圧電素子、符号１９ａ（１
９ｂ）は後述する非同期回転振れ検出部、符号２０は露
光ビーム発生器によるビーム位置を制御するビーム照射
位置制御部、符号２１は光ディスク原盤に露光ビームを
照射する露光ビーム発生器である。
【００２７】ＳＬテーブル１２はＳＬモータ１３で駆動
され左右に移動する。ＳＬテーブル１２に搭載されたタ
ーンテーブル１０はＳＰモータ１４で回転駆動されるの
で回転しながら左右に移動する。ＳＬモータ１３および
ＳＰモータ１４はＳＰ／ＳＬモータ協調制御部１６によ
り制御される。
され左右に移動する。ＳＬテーブル１２に搭載されたタ
ーンテーブル１０はＳＰモータ１４で回転駆動されるの
で回転しながら左右に移動する。ＳＬモータ１３および
ＳＰモータ１４はＳＰ／ＳＬモータ協調制御部１６によ
り制御される。
【００２８】ターンテーブル１０に搭載して保持された
光ディスク原盤１１上には露光ビーム発生器２１から露
光ビームが照射されているので、ターンテーブル１０の
回転および左右移動により、光ディスク原盤１１にはス
パイラル状のビーム照射軌跡を描くことができる。
光ディスク原盤１１上には露光ビーム発生器２１から露
光ビームが照射されているので、ターンテーブル１０の
回転および左右移動により、光ディスク原盤１１にはス
パイラル状のビーム照射軌跡を描くことができる。
【００２９】ターンテーブル１０は、ＳＰ／ＳＬモータ
協調制御部１６でＳＬモータ１３およびＳＰモータ１４
を協調動作させ、光ディスク原盤１１上の露光ビーム照
射位置で線速が一定になるＣＬＶ（ｃｏｎｓｔａｎｔ
ｌｉｎｅａｒ ｖｅｌｏｃｉｔｙ）制御、または角速度
一定となるＣＡＶ（ｃｏｎｓｔａｎｔ ａｎｇｕｌａｒ
ｖｅｌｏｃｉｔｙ）制御が可能に構成されている。上
記ＣＬＶ制御では、光ディスク原盤１１の内周側から露
光ビーム照射を開始した場合、露光ビーム照射が外周側
に向かうにしたがってターンテーブル１０の回転数およ
びターンテーブルの移動速度が次第に低下するように、
ＳＰモータ１４、ＳＬモータ１３の制御が行なわれる。
協調制御部１６でＳＬモータ１３およびＳＰモータ１４
を協調動作させ、光ディスク原盤１１上の露光ビーム照
射位置で線速が一定になるＣＬＶ（ｃｏｎｓｔａｎｔ
ｌｉｎｅａｒ ｖｅｌｏｃｉｔｙ）制御、または角速度
一定となるＣＡＶ（ｃｏｎｓｔａｎｔ ａｎｇｕｌａｒ
ｖｅｌｏｃｉｔｙ）制御が可能に構成されている。上
記ＣＬＶ制御では、光ディスク原盤１１の内周側から露
光ビーム照射を開始した場合、露光ビーム照射が外周側
に向かうにしたがってターンテーブル１０の回転数およ
びターンテーブルの移動速度が次第に低下するように、
ＳＰモータ１４、ＳＬモータ１３の制御が行なわれる。
【００３０】これらのＣＡＶ、ＣＬＶ制御結果から得ら
れる光ディスク原盤１１上のスパイラル状のビーム軌跡
はトラックピッチ一定になるはずである。しかし、ター
ンテーブル１０（光ディスク原盤１１）の半径方向の回
転振れには、ターンテーブル１０（光ディスク原盤１
１）の回転角の位置によって決まる同期振れと、ターン
テーブル１０（光ディスク原盤１１）の回転角の位置に
は無関係でランダムな振れ量で発生する非同期回転振れ
がある。ターンテーブル１０に非同期回転振れがあると
スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチが変動
することになる。特に、ＣＬＶ制御においては、ターン
テーブル１０の回転数変化に伴って同期、非同期回転振
れも変化する。
れる光ディスク原盤１１上のスパイラル状のビーム軌跡
はトラックピッチ一定になるはずである。しかし、ター
ンテーブル１０（光ディスク原盤１１）の半径方向の回
転振れには、ターンテーブル１０（光ディスク原盤１
１）の回転角の位置によって決まる同期振れと、ターン
テーブル１０（光ディスク原盤１１）の回転角の位置に
は無関係でランダムな振れ量で発生する非同期回転振れ
がある。ターンテーブル１０に非同期回転振れがあると
スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッチが変動
することになる。特に、ＣＬＶ制御においては、ターン
テーブル１０の回転数変化に伴って同期、非同期回転振
れも変化する。
【００３１】そこで、この実施の形態では、ターンテー
ブル１０の回転振れ検出センサー１７と圧電素子１８と
非同期回転振れ検出部１９ａ（１９ｂ）により非同期回
転振れを高精度に検出し、ビーム照射位置制御部２０で
露光ビーム発生器２１を制御し、光ディスク原盤１１上
の半径方向の露光ビーム照射位置を変化させることによ
り、スパイラル状の露光ビーム照射軌跡のトラックピッ
チを高精度に安定させる。以下、具体例を詳細に説明す
る。
ブル１０の回転振れ検出センサー１７と圧電素子１８と
非同期回転振れ検出部１９ａ（１９ｂ）により非同期回
転振れを高精度に検出し、ビーム照射位置制御部２０で
露光ビーム発生器２１を制御し、光ディスク原盤１１上
の半径方向の露光ビーム照射位置を変化させることによ
り、スパイラル状の露光ビーム照射軌跡のトラックピッ
チを高精度に安定させる。以下、具体例を詳細に説明す
る。
【００３２】（非同期回転振れ検出部１９ａの構成、動
作例）まず、非同期回転振れ検出部１９ａの具体的な構
成および動作について説明する。図２は、本発明の実施
の形態にかかる非同期回転振れ検出部１９の構成例を示
すブロック図である。図において、符号３０はセンサ１
７の出力を電気信号に変換（増幅）するアンプ、符号３
１はアンプ３０からの出力信号をデジタル信号に変換す
るＡ／Ｄ変換器、符号３２は後述する演算や制御を行な
うマイクロコントローラ、符号３３はマイクロコントロ
ーラ３４の制御時にワーキングメモリとして用いられる
ＲＡＭ、符号３４は圧電素子１８への微動駆動用信号を
生成するＤ／Ａ変換器、符号３５はＤ／Ａ変換器３４か
らの駆動信号により圧電素子１８を駆動するドライバー
である。
作例）まず、非同期回転振れ検出部１９ａの具体的な構
成および動作について説明する。図２は、本発明の実施
の形態にかかる非同期回転振れ検出部１９の構成例を示
すブロック図である。図において、符号３０はセンサ１
７の出力を電気信号に変換（増幅）するアンプ、符号３
１はアンプ３０からの出力信号をデジタル信号に変換す
るＡ／Ｄ変換器、符号３２は後述する演算や制御を行な
うマイクロコントローラ、符号３３はマイクロコントロ
ーラ３４の制御時にワーキングメモリとして用いられる
ＲＡＭ、符号３４は圧電素子１８への微動駆動用信号を
生成するＤ／Ａ変換器、符号３５はＤ／Ａ変換器３４か
らの駆動信号により圧電素子１８を駆動するドライバー
である。
【００３３】図２において、ターンテーブル１０はＳＰ
モータ１４とＳＬモータ（不図示）とＳＰ／ＳＬモータ
協調制御部１６でＣＡＶ（角速度一定モード）駆動され
る。ＳＰモータ１４に直結したロータリー・エンコーダ
１５はターンテーブル１０の回転角度位置信号（ＲＥ
Ａ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）を出力する。非接触
の回転振れ検出センサー１７はターンテーブル側面の回
転振れを検出する。回転振れ検出センサー１７の出力は
アンプ３０により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３
１によりデジタル信号に変換される。このデジタル信号
はマイクロコントローラ３２に送られる。マイクロコン
トローラ３２ではこのデジタル信号を、回転角度位置信
号（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモ
リーへ記憶し、演算を行なう。
モータ１４とＳＬモータ（不図示）とＳＰ／ＳＬモータ
協調制御部１６でＣＡＶ（角速度一定モード）駆動され
る。ＳＰモータ１４に直結したロータリー・エンコーダ
１５はターンテーブル１０の回転角度位置信号（ＲＥ
Ａ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）を出力する。非接触
の回転振れ検出センサー１７はターンテーブル側面の回
転振れを検出する。回転振れ検出センサー１７の出力は
アンプ３０により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３
１によりデジタル信号に変換される。このデジタル信号
はマイクロコントローラ３２に送られる。マイクロコン
トローラ３２ではこのデジタル信号を、回転角度位置信
号（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモ
リーへ記憶し、演算を行なう。
【００３４】また、メモリーに記憶されたデータをＤ／
Ａ変換器３４に回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準
位置信号（ＴＥＺ）と同期させて出力する。このＤ／Ａ
変換された信号はドライバー３５を介して圧電素子１８
を制御し、圧電素子１８に固定された回転振れ検出セン
サー１７を変位させる。
Ａ変換器３４に回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準
位置信号（ＴＥＺ）と同期させて出力する。このＤ／Ａ
変換された信号はドライバー３５を介して圧電素子１８
を制御し、圧電素子１８に固定された回転振れ検出セン
サー１７を変位させる。
【００３５】ここで、この図２に示す非同期回転振れ検
出部１９ａの一連の動作について図３に示すフローチャ
ートを参照し、説明する。光ディスク原盤１１に露光を
行なう前にターンテーブル１０の回転角度毎にターンテ
ーブル１０の半径方向への回転振れ量を回転振れ検出セ
ンサー１７によって検出する（ステップＳ１１）。この
検出値はアンプ３０で電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換
器３１でデジタル量に変換され、回転角度位置信号（Ｒ
ＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモリー
（ＲＡＭ３３）に蓄積される。
出部１９ａの一連の動作について図３に示すフローチャ
ートを参照し、説明する。光ディスク原盤１１に露光を
行なう前にターンテーブル１０の回転角度毎にターンテ
ーブル１０の半径方向への回転振れ量を回転振れ検出セ
ンサー１７によって検出する（ステップＳ１１）。この
検出値はアンプ３０で電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換
器３１でデジタル量に変換され、回転角度位置信号（Ｒ
ＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモリー
（ＲＡＭ３３）に蓄積される。
【００３６】すなわち、ターンテーブル１０がＳＰモー
タ１４により回転する毎に、ターンテーブル１０の回転
角度毎のターンテーブル１０の半径方向への振れ量がメ
モリー（ＲＡＭ３３）に蓄積されていく（ステップＳ１
２）。この蓄積された複数の回転振れ量の値からターン
テーブル１０の回転角度毎の回転振れ量平均値を求め、
その平均値を同期回転振れ基準値としてメモリー（ＲＡ
Ｍ３３）に格納する（ステップＳ１３）。
タ１４により回転する毎に、ターンテーブル１０の回転
角度毎のターンテーブル１０の半径方向への振れ量がメ
モリー（ＲＡＭ３３）に蓄積されていく（ステップＳ１
２）。この蓄積された複数の回転振れ量の値からターン
テーブル１０の回転角度毎の回転振れ量平均値を求め、
その平均値を同期回転振れ基準値としてメモリー（ＲＡ
Ｍ３３）に格納する（ステップＳ１３）。
【００３７】続いて、光ディスク原盤１１に露光が始ま
ると上記同期振れ基準値のデジタルデータがターンテー
ブル１０の回転角度に同期してＤ／Ａ変換器３４に加え
られ（ステップＳ１４）、Ｄ／Ａ変換器３４はドライバ
ー３５を介して圧電素子１８を制御し、圧電素子１８の
先端に固定された回転振れ検出センサー１７を変位させ
る（ステップＳ１５）。ここで、回転振れ検出センサー
１７は、ターンテーブル１０の同期回転振れと同期した
動きをする。
ると上記同期振れ基準値のデジタルデータがターンテー
ブル１０の回転角度に同期してＤ／Ａ変換器３４に加え
られ（ステップＳ１４）、Ｄ／Ａ変換器３４はドライバ
ー３５を介して圧電素子１８を制御し、圧電素子１８の
先端に固定された回転振れ検出センサー１７を変位させ
る（ステップＳ１５）。ここで、回転振れ検出センサー
１７は、ターンテーブル１０の同期回転振れと同期した
動きをする。
【００３８】その結果、回転振れ検出センサー１７とア
ンプ３０を介した非同期振れ信号を取得する（ステップ
Ｓ１６）。すなわち、この信号は小さな非同期振れ信号
のみとなり、アンプ３０の検出ＦＳ（フルスケール）値
を回転振れ検出時よりも極めて小さくすることができ
る。したがって、設定ゲインを大きくしたアンプ３０を
介して回転振れ検出センサー１７の出力を得ると、その
信号は高精度に検出された非同期回転振れ信号となる。
この信号をビーム照射位置制御部２０に送る（ステップ
Ｓ１７）。
ンプ３０を介した非同期振れ信号を取得する（ステップ
Ｓ１６）。すなわち、この信号は小さな非同期振れ信号
のみとなり、アンプ３０の検出ＦＳ（フルスケール）値
を回転振れ検出時よりも極めて小さくすることができ
る。したがって、設定ゲインを大きくしたアンプ３０を
介して回転振れ検出センサー１７の出力を得ると、その
信号は高精度に検出された非同期回転振れ信号となる。
この信号をビーム照射位置制御部２０に送る（ステップ
Ｓ１７）。
【００３９】上記における各信号の状態を図４に示す。
図４（ａ）は回転角度毎のターンテーブル１０の半径方
向への回転振れを示し、（ｂ）は回転振れの平均値から
の信号で制御された回転振れ検出センサー１７の変位を
示し、（ｃ）は回転振れ検出センサー１７とアンプ３０
で検出させる設定ゲインを大きくする前の非同期回転振
れを示している。
図４（ａ）は回転角度毎のターンテーブル１０の半径方
向への回転振れを示し、（ｂ）は回転振れの平均値から
の信号で制御された回転振れ検出センサー１７の変位を
示し、（ｃ）は回転振れ検出センサー１７とアンプ３０
で検出させる設定ゲインを大きくする前の非同期回転振
れを示している。
【００４０】したがって、ＣＡＶ露光時に同期回転振れ
を回転振れの平均値から求め、露光開始後はターンテー
ブル１０の同期振れと同期してターンテーブル１０の回
転振れ検出センサー１７を変位させて非同期振れを高精
度で検出することができ、ビーム照射位置制御部２０が
この非同期振れを基にビーム照射位置を調整するので、
正確なトラックピッチの記録が実現する。
を回転振れの平均値から求め、露光開始後はターンテー
ブル１０の同期振れと同期してターンテーブル１０の回
転振れ検出センサー１７を変位させて非同期振れを高精
度で検出することができ、ビーム照射位置制御部２０が
この非同期振れを基にビーム照射位置を調整するので、
正確なトラックピッチの記録が実現する。
【００４１】（非同期回転振れ検出部１９ｂの構成、動
作例）つぎに、非同期回転振れ検出部１９ｂの具体的な
構成および動作について説明する。図５は、本発明の実
施の形態にかかる非同期回転振れ検出部１９ｂの構成例
を示すブロック図である。この非同期回転振れ検出部１
９ｂは、前述した非同期回転振れ検出部１９ａ（図２参
照）の構成に対し、ターンテーブル１０の回転振れ量を
検出する回転振れ検出センサーが２つ設けられている。
すなわち、回転振れ検出センサー１７の他に、回転振れ
検出センサー４０を配置し、回転振れ検出センサー４０
側に圧電素子４１、アンプ４２を設けた構成となってい
る。なお、図５における他の構成要素およびその機能
は、前述と同様であるので、図２と同一符号を付してあ
る。
作例）つぎに、非同期回転振れ検出部１９ｂの具体的な
構成および動作について説明する。図５は、本発明の実
施の形態にかかる非同期回転振れ検出部１９ｂの構成例
を示すブロック図である。この非同期回転振れ検出部１
９ｂは、前述した非同期回転振れ検出部１９ａ（図２参
照）の構成に対し、ターンテーブル１０の回転振れ量を
検出する回転振れ検出センサーが２つ設けられている。
すなわち、回転振れ検出センサー１７の他に、回転振れ
検出センサー４０を配置し、回転振れ検出センサー４０
側に圧電素子４１、アンプ４２を設けた構成となってい
る。なお、図５における他の構成要素およびその機能
は、前述と同様であるので、図２と同一符号を付してあ
る。
【００４２】図５において、ターンテーブル１０はＳＰ
モータ１４とＳＬモータ（不図示）とＳＰ／ＳＬモータ
協調制御部１６でＣＬＶ（線速一定モード）駆動され
る。ＳＰモータ１４に直結したロータリー・エンコーダ
１５はターンテーブル１０の回転角度位置信号（ＲＥ
Ａ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）を出力する。非接触
の回転振れ検出センサー１７はターンテーブル側面の回
転振れを検出する。回転振れ検出センサー１７の出力は
アンプ３０により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３
１によりデジタル信号に変換される。このデジタル信号
はマイクロコントローラ３２に送られる。マイクロコン
トローラ３２ではこのデジタル信号を、回転角度位置信
号（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモ
リーへ記憶し、演算を行なう。
モータ１４とＳＬモータ（不図示）とＳＰ／ＳＬモータ
協調制御部１６でＣＬＶ（線速一定モード）駆動され
る。ＳＰモータ１４に直結したロータリー・エンコーダ
１５はターンテーブル１０の回転角度位置信号（ＲＥ
Ａ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）を出力する。非接触
の回転振れ検出センサー１７はターンテーブル側面の回
転振れを検出する。回転振れ検出センサー１７の出力は
アンプ３０により電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３
１によりデジタル信号に変換される。このデジタル信号
はマイクロコントローラ３２に送られる。マイクロコン
トローラ３２ではこのデジタル信号を、回転角度位置信
号（ＲＥＡ）、回転基準位置信号（ＴＥＺ）と共にメモ
リーへ記憶し、演算を行なう。
【００４３】また、メモリー（ＲＡＭ３３）に記憶され
たデータをＤ／Ａ変換器３４に対し、ロータリ・エンコ
ーダ１５からの回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準
位置信号（ＴＥＺ）と同期させて出力する。このＤ／Ａ
変換された信号はドライバー３５を介して圧電素子４１
を制御し、圧電素子４１の先端に固定された回転振れ検
出センサー４０を変位させる。
たデータをＤ／Ａ変換器３４に対し、ロータリ・エンコ
ーダ１５からの回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準
位置信号（ＴＥＺ）と同期させて出力する。このＤ／Ａ
変換された信号はドライバー３５を介して圧電素子４１
を制御し、圧電素子４１の先端に固定された回転振れ検
出センサー４０を変位させる。
【００４４】つぎに、この図５に示す非同期回転振れ検
出部１９ｂの一連の動作について図６に示すフローチャ
ートを参照し、説明する。光ディスク原盤１１がターン
テーブル１０にセット（チャッキング）され、ターンテ
ーブル１０の回転角度毎にターンテーブル１０の半径方
向への回転振れ量が回転振れ検出センサー１７によって
検出する（ステップＳ２１）。この検出値はアンプ３０
で電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３１でデジタル量
に変換され、回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準位
置信号（ＴＥＺ）と共にメモリー（ＲＡＭ３３）に蓄積
される。
出部１９ｂの一連の動作について図６に示すフローチャ
ートを参照し、説明する。光ディスク原盤１１がターン
テーブル１０にセット（チャッキング）され、ターンテ
ーブル１０の回転角度毎にターンテーブル１０の半径方
向への回転振れ量が回転振れ検出センサー１７によって
検出する（ステップＳ２１）。この検出値はアンプ３０
で電気信号に変換され、Ａ／Ｄ変換器３１でデジタル量
に変換され、回転角度位置信号（ＲＥＡ）、回転基準位
置信号（ＴＥＺ）と共にメモリー（ＲＡＭ３３）に蓄積
される。
【００４５】すなわち、ＣＬＶ駆動によるターンテーブ
ル１０の回転数の変化に伴って、ターンテーブル１０が
回転する毎に、ターンテーブル１０の回転角度毎のター
ンテーブル１０の半径方向への振れ量がメモリー（ＲＡ
Ｍ３３）に蓄積されていく（ステップＳ２２）。この蓄
積された複数の回転振れ量の値からターンテーブル１０
の回転角度毎の回転振れ移動平均値を求め、その移動平
均値を同期回転振れ基準値としてメモリー（ＲＡＭ３
３）に格納する（ステップＳ２３）。なお、ターンテー
ブル１０の１回転の回転角度毎に半径方向への回転振れ
の量がメモリー（ＲＡＭ３３）に追加され、回転振れ移
動平均値の基準値は常に新しい値に更新される。
ル１０の回転数の変化に伴って、ターンテーブル１０が
回転する毎に、ターンテーブル１０の回転角度毎のター
ンテーブル１０の半径方向への振れ量がメモリー（ＲＡ
Ｍ３３）に蓄積されていく（ステップＳ２２）。この蓄
積された複数の回転振れ量の値からターンテーブル１０
の回転角度毎の回転振れ移動平均値を求め、その移動平
均値を同期回転振れ基準値としてメモリー（ＲＡＭ３
３）に格納する（ステップＳ２３）。なお、ターンテー
ブル１０の１回転の回転角度毎に半径方向への回転振れ
の量がメモリー（ＲＡＭ３３）に追加され、回転振れ移
動平均値の基準値は常に新しい値に更新される。
【００４６】続いて、上記同期振れ基準値のデジタルデ
ータがターンテーブル１０の回転角度に同期してＤ／Ａ
変換器３４に加えられ（ステップＳ２４）、Ｄ／Ａ変換
器３４はドライバー３５を介して圧電素子４１を制御
し、圧電素子４１の先端に固定された回転振れ検出セン
サー４０を変位させる（ステップＳ２５）。ここで、回
転振れ検出センサー４０は、ターンテーブル１０の同期
回転振れと同期した動きをする。
ータがターンテーブル１０の回転角度に同期してＤ／Ａ
変換器３４に加えられ（ステップＳ２４）、Ｄ／Ａ変換
器３４はドライバー３５を介して圧電素子４１を制御
し、圧電素子４１の先端に固定された回転振れ検出セン
サー４０を変位させる（ステップＳ２５）。ここで、回
転振れ検出センサー４０は、ターンテーブル１０の同期
回転振れと同期した動きをする。
【００４７】その結果、回転振れ検出センサー４０とア
ンプ４２を介した非同期振れ信号を取得する（ステップ
Ｓ２６）。すなわち、この信号は小さな非同期振れ信号
のみとなり、アンプ４２の検出ＦＳ（フルスケール）値
はアンプ３０より極めて小さくなる。したがって、設定
ゲインを大きくしたアンプ４２を介して回転振れ検出セ
ンサー４０の出力を得ると、その信号は高精度に検出さ
れた非同期回転振れ信号となる。そして、この信号をビ
ーム照射位置制御部２０に送る（ステップＳ２７）。
ンプ４２を介した非同期振れ信号を取得する（ステップ
Ｓ２６）。すなわち、この信号は小さな非同期振れ信号
のみとなり、アンプ４２の検出ＦＳ（フルスケール）値
はアンプ３０より極めて小さくなる。したがって、設定
ゲインを大きくしたアンプ４２を介して回転振れ検出セ
ンサー４０の出力を得ると、その信号は高精度に検出さ
れた非同期回転振れ信号となる。そして、この信号をビ
ーム照射位置制御部２０に送る（ステップＳ２７）。
【００４８】したがって、ＣＬＶ露光時に同期回転振れ
を回転振れの移動平均値から求め、露光中にターンテー
ブル１０の同期振れと同期してターンテーブル１０の回
転振れ検出センサー４０を変位させて非同期振れを高精
度で検出することができ、ビーム照射位置制御部２０が
この非同期振れを基にビーム照射位置を調整するので、
正確なトラックピッチの記録が実現する。
を回転振れの移動平均値から求め、露光中にターンテー
ブル１０の同期振れと同期してターンテーブル１０の回
転振れ検出センサー４０を変位させて非同期振れを高精
度で検出することができ、ビーム照射位置制御部２０が
この非同期振れを基にビーム照射位置を調整するので、
正確なトラックピッチの記録が実現する。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる光
ディスク原盤露光装置（請求項１）によれば、ＣＡＶ露
光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転角度
毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２
検出手段でターンテーブルの回転角度を検出し、第１検
出手段と第２検出手段からターンテーブルの同期回転振
れ量を演算し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で
第１検出手段のセンサーの位置を変位することにより、
センサーから非同期回転振れ信号が高精度で取得され、
この信号をビーム照射位置制御手段に供給するので、光
ディスク原盤上の半径方向のビーム照射位置が正確に調
整され、スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッ
チを高精度で安定させることができる。
ディスク原盤露光装置（請求項１）によれば、ＣＡＶ露
光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転角度
毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２
検出手段でターンテーブルの回転角度を検出し、第１検
出手段と第２検出手段からターンテーブルの同期回転振
れ量を演算し、原盤セット後に、この同期回転振れ量で
第１検出手段のセンサーの位置を変位することにより、
センサーから非同期回転振れ信号が高精度で取得され、
この信号をビーム照射位置制御手段に供給するので、光
ディスク原盤上の半径方向のビーム照射位置が正確に調
整され、スパイラル状のビーム照射軌跡のトラックピッ
チを高精度で安定させることができる。
【００５０】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項２）によれば、請求項１において、原盤露
光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転角度
毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２
検出手段でターンテーブルの回転角度を検出してデータ
の蓄積を行なったのちこれらの平均値を算出することに
より、回転振れ量の基準値を求めるため、原盤セット後
において、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同
期させて第１検出手段のセンサーの位置を制御すること
ができる。
装置（請求項２）によれば、請求項１において、原盤露
光前に、第１検出手段においてセンサーにより回転角度
毎にターンテーブルの半径方向の振れ量を検出し、第２
検出手段でターンテーブルの回転角度を検出してデータ
の蓄積を行なったのちこれらの平均値を算出することに
より、回転振れ量の基準値を求めるため、原盤セット後
において、上記基準値をターンテーブルの回転角度に同
期させて第１検出手段のセンサーの位置を制御すること
ができる。
【００５１】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項３）によれば、請求項１において、原盤セ
ット後に、回転振れ量の基準値をターンテーブルの回転
角度に同期させて第１検出手段のセンサーの位置を制御
するため、センサーとそのアンプを介した信号から高精
度の非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビーム
照射位置制御手段に供給することができる。
装置（請求項３）によれば、請求項１において、原盤セ
ット後に、回転振れ量の基準値をターンテーブルの回転
角度に同期させて第１検出手段のセンサーの位置を制御
するため、センサーとそのアンプを介した信号から高精
度の非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビーム
照射位置制御手段に供給することができる。
【００５２】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項４）によれば、ＣＬＶ露光時に、第１検出
手段においてターンテーブルに対して非接触で配置され
た第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を検出
し、第２検出手段でテーブル回転手段の回転角度を検出
し、さらに第３検出手段においてターンテーブルに対し
て非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出手段
から所定角度変位して配置されたターンテーブルの回転
振れ量を検出し、演算手段が第１検出手段と第２検出手
段の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、変位手段がその同期回転振れ量にしたがって第３検
出手段における第２のセンサーの位置を変位させること
により、第２のセンサーから非同期回転振れ信号が高精
度で取得され、この信号をビーム照射位置制御手段に供
給するので、光ディスク原盤上の半径方向のビーム照射
位置が正確に調整され、スパイラル状のビーム照射軌跡
のトラックピッチを高精度で安定させることができる。
装置（請求項４）によれば、ＣＬＶ露光時に、第１検出
手段においてターンテーブルに対して非接触で配置され
た第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を検出
し、第２検出手段でテーブル回転手段の回転角度を検出
し、さらに第３検出手段においてターンテーブルに対し
て非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出手段
から所定角度変位して配置されたターンテーブルの回転
振れ量を検出し、演算手段が第１検出手段と第２検出手
段の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を演算
し、変位手段がその同期回転振れ量にしたがって第３検
出手段における第２のセンサーの位置を変位させること
により、第２のセンサーから非同期回転振れ信号が高精
度で取得され、この信号をビーム照射位置制御手段に供
給するので、光ディスク原盤上の半径方向のビーム照射
位置が正確に調整され、スパイラル状のビーム照射軌跡
のトラックピッチを高精度で安定させることができる。
【００５３】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項５）によれば、請求項４において、第１検
出手段と第３検出手段はターンテーブルに対して非接触
に第１、第２のセンサーが配置され、第１検出手段と第
２検出手段で各回転角度位置でのターンテーブルの半径
方向の振れ量を検出して蓄積し、これらの移動平均値を
求め、これを回転振れ量の基準値とするので、上記基準
値をターンテーブルの回転角度に同期させて第３検出手
段の第２のセンサーの位置を制御することができる。
装置（請求項５）によれば、請求項４において、第１検
出手段と第３検出手段はターンテーブルに対して非接触
に第１、第２のセンサーが配置され、第１検出手段と第
２検出手段で各回転角度位置でのターンテーブルの半径
方向の振れ量を検出して蓄積し、これらの移動平均値を
求め、これを回転振れ量の基準値とするので、上記基準
値をターンテーブルの回転角度に同期させて第３検出手
段の第２のセンサーの位置を制御することができる。
【００５４】また、本発明にかかる光ディスク原盤露光
装置（請求項６）によれば、請求項４において、各回転
角度位置でのターンテーブルの半径方向への同期回転振
れ量を、ターンテーブルを回転させるモータの回転角度
を検出する第２検出手段と同期させて出力し、第３検出
手段の第２のセンサーを変位させる変位手段を制御する
ので、センサーとそのアンプを介した信号から高精度の
非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビーム照射
位置制御手段に供給することができる。
装置（請求項６）によれば、請求項４において、各回転
角度位置でのターンテーブルの半径方向への同期回転振
れ量を、ターンテーブルを回転させるモータの回転角度
を検出する第２検出手段と同期させて出力し、第３検出
手段の第２のセンサーを変位させる変位手段を制御する
ので、センサーとそのアンプを介した信号から高精度の
非同期回転振れ信号が取得され、この信号をビーム照射
位置制御手段に供給することができる。
【００５５】また、本発明にかかる非同期回転振れ量検
出方法（請求項７）によれば、ＣＡＶ露光前に、第１検
出工程においてセンサーにより回転角度毎にターンテー
ブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出工程でター
ンテーブルの回転角度を検出し、第１検出工程と第２検
出工程からターンテーブルの同期回転振れ量を演算し、
原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出工程の
センサーの位置を変位するため、センサーから非同期回
転振れ信号を高精度で取得することができる。
出方法（請求項７）によれば、ＣＡＶ露光前に、第１検
出工程においてセンサーにより回転角度毎にターンテー
ブルの半径方向の振れ量を検出し、第２検出工程でター
ンテーブルの回転角度を検出し、第１検出工程と第２検
出工程からターンテーブルの同期回転振れ量を演算し、
原盤セット後に、この同期回転振れ量で第１検出工程の
センサーの位置を変位するため、センサーから非同期回
転振れ信号を高精度で取得することができる。
【００５６】また、本発明にかかる非同期回転振れ量検
出方法（請求項８）によれば、ＣＬＶ露光時に、第１検
出工程においてターンテーブルに対して非接触で配置さ
れた第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を検
出し、第２検出工程でテーブル回転手段の回転角度を検
出し、さらに第３検出工程においてターンテーブルに対
して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出工
程から所定角度変位して配置されたターンテーブルの回
転振れ量を検出し、演算工程が第１検出工程と第２検出
工程の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を演
算し、変位工程がその同期回転振れ量にしたがって第３
検出工程における第２のセンサーの位置を変位させるた
め、第２のセンサーから非同期回転振れ信号を高精度で
取得することができる。
出方法（請求項８）によれば、ＣＬＶ露光時に、第１検
出工程においてターンテーブルに対して非接触で配置さ
れた第１のセンサーでターンテーブルの回転振れ量を検
出し、第２検出工程でテーブル回転手段の回転角度を検
出し、さらに第３検出工程においてターンテーブルに対
して非接触で配置された第２のセンサーで、第１検出工
程から所定角度変位して配置されたターンテーブルの回
転振れ量を検出し、演算工程が第１検出工程と第２検出
工程の検出値からターンテーブルの同期回転振れ量を演
算し、変位工程がその同期回転振れ量にしたがって第３
検出工程における第２のセンサーの位置を変位させるた
め、第２のセンサーから非同期回転振れ信号を高精度で
取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる光ディスク原盤露
光装置の構成を示す説明図である。
光装置の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる非同期回転振れ検
出部１９ａの構成例を示すブロック図である。
出部１９ａの構成例を示すブロック図である。
【図３】図２おける非同期回転振れ検出部１９ａの一連
の動作を示すフローチャートである。
の動作を示すフローチャートである。
【図４】ターンテーブル１回転時におけるターンテーブ
ル回転振れ、回転振れ検出センサー変位、非同期回転信
号それぞれの状態を示す出力波形図である。
ル回転振れ、回転振れ検出センサー変位、非同期回転信
号それぞれの状態を示す出力波形図である。
【図５】本発明の実施の形態にかかる非同期回転振れ検
出部１９ｂの構成例を示すブロック図である。
出部１９ｂの構成例を示すブロック図である。
【図６】図５の非同期回転振れ検出部１９ｂの一連の動
作を示すフローチャートである。
作を示すフローチャートである。
１０ ターンテーブル
１１ 光ディスク原盤
１２ ＳＬテーブル
１３ ＳＬモータ
１４ ＳＰモータ
１５ ロータリー・エンコーダ
１６ ＳＰ／ＳＬモータ協調制御部
１７，４０ 回転振れ検出センサー
１８，４１ 圧電素子
１９ａ，１９ｂ 非同期回転振れ検出部
２０ ビーム照射位置制御部
２１ 露光ビーム発生器
３０，４２ アンプ
３１ Ａ／Ｄ変換器
３２ マイクロコントローラ
３３ ＲＡＭ
３４ Ｄ／Ａ変換器
３５ ドライバー
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ１１Ｂ 7/095 Ｇ１１Ｂ 7/095 Ａ ５Ｄ１２１
// Ｇ１１Ｂ 19/20 19/20 Ｊ
Ｆターム(参考） 2F069 AA21 AA83 BB40 CC07 GG04
NN08
2G064 AA12 AB10
5D090 AA01 BB01 CC01 CC16 DD03
FF02 FF50 KK09 LL07
5D109 DA05
5D118 AA19 BA01 BB09 BF03 CB02
CB03 CD03 CD12
5D121 BB21 BB38 BB40
Claims (8)
- 【請求項１】 ターンテーブルの半径方向への非同期回
転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出手段と、前記
非同期回転振れ量検出手段からの信号に基づいて前記光
ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整
するビーム照射位置調整手段と、前記ターンテーブルを
回転させるテーブル回転手段と、前記ターンテーブルを
水平方向に横移動するテーブル移動手段と、前記テーブ
ル回転手段と前記テーブル移動手段を協調させてＣＡＶ
制御を行なう協調制御手段と、を具備し、前記ターンテ
ーブル上に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照射
し、所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置にお
いて、 前記非同期回転振れ量検出手段は、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
ーにより、前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する
第１検出手段と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手
段と、 前記第１検出手段と前記第２検出手段の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算手段
と、 前記演算手段で求められた同期回転振れ量にしたがって
前記第１検出手段における前記センサーの位置を変位さ
せる変位手段と、 を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項２】 前記演算手段は、前記第１検出手段およ
び前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テーブル
回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブルの半
径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積された
データを平均化して前記テーブル回転手段の各回転角度
位置における前記ターンテーブルの半径方向への回転振
れ量の基準値を求めることを特徴とする請求項１に記載
の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項３】 非同期回転振れ量は、前記テーブル回転
手段の各回転角度位置における前記ターンテーブルの半
径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と同期
して出力し、前記第１検出手段における前記センサーの
位置を変位させる前記変位手段を制御して検出されるこ
とを特徴とする請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
置。 - 【請求項４】 ターンテーブルの半径方向への非同期回
転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出手段と、前記
非同期回転振れ量検出手段からの信号に基づいて前記光
ディスク原盤に照射される露光ビームの照射位置を調整
するビーム照射位置調整手段と、前記ターンテーブルを
回転させるテーブル回転手段と、前記ターンテーブルを
水平方向に横移動するテーブル移動手段と、前記テーブ
ル回転手段と前記テーブル移動手段を協調させてＣＬＶ
制御を行なう協調制御手段と、を具備し、前記ターンテ
ーブル上に光ディスク原盤を載せて露光ビームを照射
し、所定の情報を記録する光ディスク原盤露光装置にお
いて、 前記非同期回転振れ量検出手段は、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置された第１の
センサーにより、前記ターンテーブルの回転振れ量を検
出する第１検出手段と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出手
段と、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置された第２の
センサーにより、前記第１検出手段から所定角度変位し
て配置された前記ターンテーブルの回転振れ量を検出す
る第３検出手段と、 前記第１検出手段と前記第２検出手段の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算手段
と、 前記演算手段で求められた同期回転振れ量にしたがって
前記第３検出手段における前記第２のセンサーの位置を
変位させる変位手段と、 を備えたことを特徴とする光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項５】 前記演算手段は、前記第１検出手段およ
び前記第２検出手段の検出値にしたがって前記テーブル
回転手段の各回転角度位置での前記ターンテーブルの半
径方向への回転振れ量を求めて蓄積し、当該蓄積された
データを移動平均化して前記テーブル回転手段の各回転
角度位置における前記ターンテーブルの半径方向への回
転振れ量の基準値を求めることを特徴とする請求項４に
記載の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項６】 非同期回転振れ量は、前記テーブル回転
手段の各回転角度位置における前記ターンテーブルの半
径方向への同期回転振れ量を、前記第２検出手段と同期
して出力し、前記第３検出手段における前記第２のセン
サーの位置を変位させる前記変位手段を制御して検出さ
れることを特徴とする請求項４に記載の光ディスク原盤
露光装置。 - 【請求項７】 ターンテーブルの半径方向への非同期回
転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法におい
て、 前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転手段と、
前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテーブル移
動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブル移動手
段を協調させてＣＡＶ制御を行なう協調制御手段と、を
具備し、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置されたセンサ
ーにより、前記ターンテーブルの回転振れ量を検出する
第１検出工程と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出工
程と、 前記第１検出工程と前記第２検出工程の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算工程
と、 前記演算工程で求められた同期回転振れ量にしたがって
前記第１検出工程における前記センサーの位置を変位さ
せる変位工程と、 を含むことを特徴とする非同期回転振れ量検出方法。 - 【請求項８】 ターンテーブルの半径方向への非同期回
転振れ量を検出する非同期回転振れ量検出方法におい
て、 前記ターンテーブルを回転させるテーブル回転手段と、
前記ターンテーブルを水平方向に横移動するテーブル移
動手段と、前記テーブル回転手段と前記テーブル移動手
段を協調させてＣＬＶ制御を行なう協調制御手段と、を
具備し、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置された第１の
センサーにより、前記ターンテーブルの回転振れ量を検
出する第１検出工程と、 前記テーブル回転手段の回転角度を検出する第２検出工
程と、 前記ターンテーブルに対して非接触で配置された第２の
センサーにより、前記第１検出工程から所定角度変位し
て配置された前記ターンテーブルの回転振れ量を検出す
る第３検出工程と、 前記第１検出工程と前記第２検出工程の検出値から前記
ターンテーブルの同期回転振れ量を演算する演算工程
と、 前記演算工程で求められた同期回転振れ量にしたがって
前記第３検出工程における前記第２のセンサーの位置を
変位させる変位工程と、 を含むことを特徴とする非同期回転振れ量検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002077012A JP4102580B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 光ディスク原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002077012A JP4102580B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 光ディスク原盤露光装置および非同期回転振れ量検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003272248A true JP2003272248A (ja) | 2003-09-26 |
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ID=29205564
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|---|---|
| JP (1) | JP4102580B2 (ja) |
Cited By (3)
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