JP2003260611A - 傾斜孔加工方法 - Google Patents

傾斜孔加工方法

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JP2003260611A
JP2003260611A JP2002062938A JP2002062938A JP2003260611A JP 2003260611 A JP2003260611 A JP 2003260611A JP 2002062938 A JP2002062938 A JP 2002062938A JP 2002062938 A JP2002062938 A JP 2002062938A JP 2003260611 A JP2003260611 A JP 2003260611A
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hole
angle
drilling
drill
processing
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JP2002062938A
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English (en)
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Muneo Furuse
宗雄 古瀬
Mitsuru Suehiro
満 末廣
Hiroshi Kanekiyo
寛 兼清
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被加工材の表面に対して、傾斜した中心軸を
有する傾斜穴加工を行う際に、任意の傾斜角度を設定し
て、位置決め精度良く容易に孔あけ加工することが出来
る方法。 【解決手段】 傾斜した孔をあける被加工材料に対し、
半球状もしくは必要とされる傾斜角度の2倍の頂角に設
定したドリルを用いて予備加工穴をあける。これによ
り、予備加工孔の法線上に実際の傾斜孔をあけるドリル
の加工軸を設定する事が出来るため、精度良く効率的に
加工することが可能となる。その結果、被加工材料に傾
斜した孔をあけるという目的は達成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は板材に傾斜した孔加
工を施す方法に係り、特にプラズマエッチング装置等に
用いるシャワープレート等のプロセスガスを供給する孔
加工を施す際に、精度良く穿孔する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の穿孔方法に関しては、定盤付き穿
孔機を使用する場合はその定盤を被加工材に固定し、定
盤上に設けた錐を降下させて被加工材に垂直孔を穿孔す
るようになっている。また、錐は定盤上で所定の角度に
傾斜させて固定することが可能であり、例えば垂直方向
に対して任意の角度に設定し、傾斜させた状態で下降さ
せることにより、被加工材は所定の角度の傾斜孔を穿設
する事が可能である。また、この定盤付き穿孔機で用い
る事が出来る錐として、実願平5−61941号で開示
されるようなものがある。これは、錐の先端にケガキ刃
と中央突部を設け、中央部を長めに形成しておき、傾斜
孔を穿孔する際に、最初に中央突部が被加工材の表面に
突き立った後にケガキ刃が被加工材の表面に当たって
も、中央の突部が既に被加工材に侵入しているため錐の
進行方向はずれないというものである。このような穿孔
機で傾斜孔を穿孔する場合、被加工材料が硬いものであ
れば中央突部被加工材表面を滑り穿孔が困難もしくは位
置ずれが発生する。
【0003】また、特開平8−323704号公報に記
載のされる方法もある。これは被加工材に対して垂直に
配置した錐で被加工材に垂直孔をあけ、次に錐を傾斜さ
せて穿孔し傾斜孔を穿孔するというものである。この場
合、傾斜孔の角度を精度良くするために垂直にあける孔
の深さを調整するというものである。このような穿孔方
法で傾斜孔を穿孔する場合、垂直にあける孔の深さも制
御しなければならない。また、穿孔機の中央突部の磨耗
等により傾斜孔加工を精度良く行う事は困難である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、穿孔
機の中央突部が硬く磨耗等起こさない事が前提であっ
た。また、被加工材にあける孔の角度を変更する際は、
垂直孔の深さから変更しなければならず、穿孔の角度を
常に一定とする事は困難である。
【0005】本発明の目的は、被加工材に任意の傾斜角
度で容易に穿孔する方法を提供することにあり、穿孔機
の錐の状態如何にかかわらず、常に安定した傾斜角度も
しくは任意の傾斜角度で被加工材に穿孔することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は、被加工材に
任意の角度で穿孔する孔の位置に、傾斜角度決め用の半
球状の孔をあけることで、位置決め用孔の法線は被加工
材の加工面に対して任意の角度となり、孔加工用の錐は
被加工材表面に垂直に入射することにより達成される。
【0007】被加工材料の加工表面に対して任意の角度
を有する孔を精度良く穿孔する場合、穿孔に使用する錐
は被加工材の加工表面に対して垂直に入射させなければ
ならない。穿孔に使用する錐を、被加工材の加工表面に
対して任意の角度に設定して孔をあける場合は、錐の移
動方向を任意の角度に設定するか、被加工材の加工表面
を水平に対して任意の角度に傾ける方法がある。これら
の方法において、穿孔に使用する錐を被加工材の加工表
面に対して垂直に入射させるためには、被加工材の加工
表面を加工して穿孔に使用する錐の入射角度を垂直にす
る必要がある。
【0008】被加工材の加工表面に予め円錐状の位置決
め孔を施す際に、位置決め孔が円錐状の場合は、被加工
材に加工する任意の角度をθと設定した時、円錐の頂角
を2θとする。これにより、穿孔に使用する錐を被加工
材の加工面に対して垂直に入射する事が可能となり、加
工面に対して任意の角度を制度良く穿孔するという目的
は達成される。
【0009】また、被加工材の加工表面に予め半球状の
位置決め孔を施す際に、位置決め孔が半球状の場合は、
被加工材に加工する任意の角度をθと設定した時、半球
表面の一定の位置における法線が被加工材の加工表面に
対して任意の角度θとなる。これにより、穿孔に使用す
る錐を被加工材の加工面に対して垂直に入射する事が可
能となり、加工面に対して任意の角度を制度良く穿孔す
るという目的は達成される。
【0010】被加工材の加工表面に施す位置決め孔の形
状を半球状とすれば、被加工材の加工表面に対して任意
の角度に加工するように設定しても対応可能である。そ
の結果、被加工材に各種角度を変化させて穿孔する場合
においても、加工に使用する錐の加工表面に侵入する角
度を変化するのみで対応する事が可能であるため、加工
表面上で異なる角度に穿孔し孔をあけることが可能とな
る。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明は、被加工材の加工表面に
対して任意の角度に設定して孔をあける孔あけ加工をを
施す方法に関するものであり、任意の場所に任意の角度
に設定した孔をあけるのに有効な方法に関するもにであ
る。特に、被加工材に対して任意の角度の孔あけ加工を
施す際に、指定した位置に予備加工を施すことで、精度
良く行うことができる。
【0012】また、このような加工方法を用いることで
任意の角度に設定して孔をあける場合、孔あけ加工に用
いるドリルの被加工材の加工表面に対する進入角度は、
垂直(法線上)に設定することが可能となる。その結
果、被加工材の加工表面にドリルが接触した際、位置ず
れを起こすことはなくなる。特に、予備加工を半円状に
行った場合は、被加工材の加工表面に対する進入角度を
決めると、半円状の加工表面における法線は1本のみで
ある。従って、孔あけ加工等を行うドリルは位置ずれを
起こすことがない。
【0013】さらに、上記孔あけ加工を施す予備加工孔
が円錐形状とし、孔の板材に対する傾斜角度θとした場
合、円錐形状の頂角をθ×2とすることで孔あけに用い
るドリルの被加工材の加工表面に対する進入角度は、垂
直(法線上)に設定することが可能となる。その結果、
位置ずれを起こすこともなくなる。また、円錐形状の斜
面を2段に分けることでより位置ずれを起こさないよう
にすることも可能である。
【0014】これらの処理を施した後に、孔あけ加工を
施した材料表面を研磨あるいはエッチングにより平坦化
することで、予備加工跡を除去することが可能である。
【0015】以下、本発明の一実施例を図1、図2、図
3及び図4により説明する。
【0016】図1は本発明の傾斜孔加工方法を示すもの
であり、この場合被加工材1の任意の位置に位置決めに
使用する予備加工孔処理を施す。この実施例において予
備加工孔a4は半球状であり、例えば先端を球面加工し
た予備加工ドリルa3により加工を施す。この予備加工
孔a4は垂直方向に加工するため、通常と同じ加工方法
で行うことができる。被加工材1に任意の傾斜角度θを
有する孔を空ける場合、図2に示すように、この予備加
工孔a4の空間上の中心位置からθの傾斜角度を設定し
た加工軸を考慮し、この加工軸上を孔加工ドリル2が移
動し、傾斜孔加工出来るようにする。なお、傾斜孔加工
を行う場合最終的に得られる孔径を考慮した予備加工孔
ドリルa2を使用する必要がある。これにより、孔加工
ドリル2は被加工材1に対してθの角度を持つ、半球状
の予備加工孔の法線上を動くことになる。その結果、孔
加工ドリル2は被加工材1に対して孔加工を行う際に、
入射する中心軸が垂直に入射することなり、容易に任意
の角度に設定した傾斜加工孔5を目的とした材料に対し
て空けることが可能となる。
【0017】図3は場合、被加工材1の任意の位置に位
置決めに使用する予備加工処理を施す。この実施例にお
いて予備加工孔は円錐状であるり、例えば加工後に得ら
れる傾斜孔の角度をθとすると、先端の角度を2θとし
た予備加工孔ドリルb6にて予備加工孔b7を加工す
る。この予備加工は、穴加工を施す被加工材1に対し、
垂直方向に予備加工孔ドリルb6で加工するため、通常
と同じ加工方法で行うことができる。さらに、被加工材
1に任意の傾斜角度θを有する孔を空ける場合、図4に
示すように、この予備加工孔b7に対して孔加工ドリル
2が移動する加工軸は予備加工孔b7の面に対して垂直
に設定する事が出来る。なお、傾斜孔加工を行う場合最
終的に得られる孔径を考慮した孔加工ドリル2を使用す
る必要がある。これにより、孔加工ドリル2は被加工材
1に対してθの角度を持つ、半球状の予備加工孔の法線
上を動くことになる。その結果、孔加工ドリル2は被加
工材1に対して孔加工を行う孔加工ドリル2の入射する
中心軸が垂直に入射することなり、容易に任意の角度に
設定した傾斜加工孔5を目的とした材料に対して空ける
ことが可能となる。
【0018】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば被加
工材料に対して位置決め精度良く、任意の角度に設定し
た傾斜孔を加工することが可能となる。これにより、傾
斜した孔を簡単にあける事が可能となり、多数の傾斜し
た穴をあける際も、効率良く作業する事が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例である予備加工孔の加工
図の断面図。
【図2】本発明の第1の実施例である傾斜孔加工の加工
図の断面図。
【図3】本発明の第2の実施例である予備加工孔の加工
図の断面図。
【図4】本発明の第2の実施例である傾斜孔加工の加工
図の断面図。
【符号の説明】
1 被加工材料 2 孔加工ドリル 3 予備加工ドリルa 4 予備加工孔a 5 傾斜加工孔 6 予備加工ドリルb 7 予備加工孔b
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 末廣 満 山口県下松市東豊井794番地 株式会社日 立ハイテクノロジーズ設計・製造統括本部 笠戸事業所内 (72)発明者 兼清 寛 山口県下松市東豊井794番地 株式会社日 立ハイテクノロジーズ設計・製造統括本部 笠戸事業所内 Fターム(参考) 3C036 AA22

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 厚さを有する板材に傾斜した孔加工を施
    す際に、孔あけ部に位置決めに用いる半円状の孔加工を
    施し、次に孔あけ用の加工治具を板材に対して傾斜して
    取りつけ、板材に穿孔する事を特徴とする傾斜孔の穿孔
    方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の傾斜孔の穿孔において、
    厚さを有する板材に傾斜した孔加工を施す際に、孔加工
    部に位置決めに用いる半球状の孔をあける。その後、孔
    あけ加工を行う板材を加工治具に対して任意の角度に傾
    斜して固定し、板材に穿孔する事を特徴とする傾斜孔の
    穿孔方法。
  3. 【請求項3】 請求項1及び2記載の傾斜孔の穿孔にお
    いて、位置決めに用いる孔の形状を円錐形状とし、孔の
    板材に対する傾斜角度θとした場合、円錐形状の頂角を
    θ×2としたことを特徴とする傾斜孔の穿孔方法。
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