JP2003222994A - カバーフィルムの巻取方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 支持フィルム、感光性樹脂及びカバーフィル
ムよりなる感光性ドライフィルムレジストよりカバーフ
ィルムをスムーズに巻取る方法を目的とする。 【解決手段】 巻付コアに巻き付けられている感光性ド
ライフィルムレジストからカバーフィルムを巻取コアに
巻き取るカバーフィルムの巻取方法に於て、巻付コア側
と巻取コア側との駆動部にギアと摩擦部材を介在させ
て、巻付コアに巻取る方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性ドライフィ
ルムレジストを、プリント配線版に使用される銅張り積
層板、リードフレーム用金属板、プラズマディスプレイ
用ガラス板等の基板にラミネートする際に剥離したカバ
ーフィルムを巻き取る方法及び装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板等を製造するための感
光性ドライフィルムレジストは、支持フィルムに感光性
樹脂組成物の層が形成されると共に、該感光性樹脂組成
物がカバーフィルムによって保護されており、支持フィ
ルムが外周側に、かつカバーフィルムが内周側になるよ
うにして巻付コアに巻きつけられている。そして感光性
ドライフィルムレジストを巻付コアから繰出してカバー
フィルムを剥離させ、露出した感光性樹脂組成物を基板
にラミネートし、同時に剥離したカバーフィルムを巻取
コアに巻き取っている。

【０００３】上記の如く、感光性ドライフィルムレジス
トを基板にラミネートする際に、カバーフィルムのみを
確実に剥離させるため、カバーフィルムと感光性樹脂組
成物の接着強度は、支持フィルムと感光性樹脂組成物と
の接着強度よりも小さいことが必須である。このため、
支持フィルムとしてはポリエチレンテレフタレート（Ｐ
ＥＴ）フィルムを使用するのが一般的であり、カバーフ
ィルムとしては低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）フィル
ムを使用するのが一般的である。このような支持フィル
ム、カバーフィルムを使用することによって、確実に、
かつ安定してカバーフィルムを剥離させることが出来
る。

【０００４】感光性ドライフィルムレジストから剥離し
たカバーフィルムを巻取コアに巻き取る際に必要な力は
一般的に、特別な駆動源を設けることなく感光性ドライ
フィルムレジストを繰り出す際の力を利用している。即
ち、感光性ドライフィルムレジストを巻き付けた巻付コ
ア或いは巻付コアを支持する軸を直接或いは間接的（例
えば繰り出される感光性ドライフィルムレジストを介し
て）に駆動し得るように構成し、この巻付コア或いは軸
の上方に巻取コアを配置すると共に該巻取コアを昇降可
能に構成し、巻付コアに巻き付けられている感光性ドラ
イフィルムレジストの外周面に剥離したカバーフィルム
を接触させることで、摩擦力を作用させ、この摩擦力に
よってカバーフィルムを巻取コアに巻き取らせている。
このような駆動方式は、サーフェスドライブ方式と呼ば
れている。

【０００５】本来、感光性ドライフィルムレジストから
剥離された後のカバーフィルムの巻取りにおいては、巻
付コアに巻き付けられた感光性ドライフィルムレジスト
の外径の変化、巻取コアに巻き取られたカバーフィルム
の外径の変化に関わらず、感光性ドライフィルムレジス
トの繰出速度とカバーフィルムの巻取速度は等しくなら
なければならない。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の如く、感光性ド
ライフィルムレジストを基板にラミネートする際に剥離
したカバーフィルムを巻付コアに巻き付けた感光性ドラ
イフィルムレジストに接触させたときの摩擦力によって
剥離したカバーフィルムを巻取コアに巻き取るサーフェ
スドライブ方式では、感光性ドライフィルムレジストに
対する剥離したカバーフィルムの接触状態が均一である
保証がない。感光性ドライフィルムレジストと剥離した
カバーフィルムの接触が不均一である場合、カバーフィ
ルムとドライフィルムレジストとの間での滑りやカバー
フィルムの幅方向で不均一な摩擦力が作用することとな
り、この結果、シワや弛みが生じるという問題がある。

【０００７】特に、カバーフィルムの厚さが不均一であ
ったり、剥離したカバーフィルムに蛇行が生じたりした
場合、感光性ドライフィルムレジストと剥離したカバー
フィルムの接触部位に於ける摩擦力が均一にならなくな
り、円滑な巻き取りが不可能となる。この場合、巻取コ
アに巻き取られたカバーフィルムに皺や弛みが生じて更
に円滑な巻き取りが出来なくなるという問題がある。

【０００８】上記の如く巻取コアに巻き取られたカバー
フィルムに皺や弛みが生じたとき、この影響を受けて巻
付コアから繰り出された感光性ドライフィルムレジスト
に皺や弛みが生じ、この結果、ラミネートされた感光性
樹脂組成物と基板表面との間に気泡が発生して不良にな
り、収率が低下するという問題が生じる。

【０００９】一方、プリント配線基板等は高密度化、高
解像度化に向かってカバーフィルムの表面の平滑性、透
明性が重視されるようになってきている。この結果、Ｌ
ＤＰＥフィルムでは平滑性に劣るという問題点が指摘さ
れ、これに代わるものとしてポリプロピレン（ＰＰ）フ
ィルムやＰＥＴフィルムを採用するようになっている。
しかし、これらのフィルムではＬＤＰＥフィルムに比較
して滑り性が良く、サーフェスドライブ方式でカバーフ
ィルムを巻き取った場合、接触部位に横滑り等が生じて
カバーフィルムや支持フィルムに皺や弛みが発生する事
があり、これらの皺や弛みに起因して基板表面と感光性
樹脂組成物との間に気泡が発生して不良になるという問
題が生じる事がある。

【００１０】このため、サーフェスドライブ方式ではな
く、カバーフィルムの巻取コアを独立して駆動させ、感
光性ドライフィルムレジストに接触させずに巻き取る方
法も一部で実施されている。

【００１１】巻取コアに駆動力を付与する手段として
は、巻取コアを装着する駆動軸を設け、この駆動軸の回
転をトルクモーターによって制御し得るように構成して
おくことで、巻付コアから繰り出される感光性ドライフ
ィルムレジストから剥離されたカバーフィルムに一定の
張力を付与しながら巻き取るように制御することが可能
である。

【００１２】しかしこの方法によると、サーフェスドラ
イブ方式に比較して新たに巻取コアを装着する駆動軸の
回転を制御する機構を設ける必要があり、価格の上昇と
制御系統が複雑になってしまう欠点がある。もともと、
感光性ドライフィルムレジストから剥離されたカバーフ
ィルムは廃棄されるものであり、巻取りの精度や巻きの
強さなどが要求されるものではないため、カバーフィル
ムの巻取りはより簡単な機構で経済的な負担が少ないこ
とが好ましい。

【００１３】本件特許出願は、前記の問題点を解決する
ために、感光性ドライフィルムレジストを巻き付けた巻
付コア又は該巻付コアを支持する軸に取付けた摩擦部材
をカバーフィルムを巻き取る巻取コアに接触させて、感
光性ドライフィルムレジストを繰り出す際の前記巻付コ
ア又は軸の回転を前記摩擦部材を介して巻取コアに伝達
して巻き取る方法を開発し、既に特許出願をしている
（特願２００１‐２０８８９０号）。

【００１４】本件特許出願人が出願した前述の発明は、
巻付コア側に取付けられた摩擦部材を巻取コアに接触さ
せて、巻取コアを回転させながらカバーフィルムを巻き
取る方法であるので、全体の構成が簡単であって、安価
に実施することが出来る等の多くの特徴を有している
が、ただ、摩擦部材を巻取コアに接触させるので、この
部分に塵埃が発生したり或は巻取コアの回転速度が変る
等の弱冠の不都合が生ずる心配もあった。

【００１５】本発明の目的は、感光性ドライフィルムレ
ジストを基板にラミネートするに際し、剥離したカバー
フィルムを円滑に巻き取ることが出来る巻取方法と装置
を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係るカバーフィルムの巻取方法は、感光性ド
ライフィルムレジストを基板にラミネートする際に感光
性ドライフィルムレジストから剥離したカバーフィルム
を巻き取る巻取方法であって、感光性ドライフィルムレ
ジストの繰出しによって発生するドライフィルムの巻付
コアの回転運動を中間に配置したギヤ等の伝達装置と摩
擦部材を介して伝達されて回転する巻取コアに前記カバ
ーフィルムを巻取る方法に関するものである。

【００１７】上記カバーフィルムの巻取方法では、感光
性ドライフィルムレジスト（以下「ＤＦＲ」という）か
ら剥離させたカバーフィルムを巻き取る巻取コアをＤＦ
Ｒに接触させることなく巻き取るので、巻付コアに巻き
付けられているＤＦＲに対し剥離したカバーフィルムか
ら余分な力が作用することがない。このため、ＤＦＲに
は繰出方向以外の方向の力が作用することがなく、該Ｄ
ＦＲは巻付コアから均等に繰り出され、基板に対して良
好なラミネートを実施することが出来る。

【００１８】従って、カバーフィルムに偏肉が生じてい
たり、蛇行が生じた場合であっても、この偏肉や蛇行が
巻付コアに巻き付けられているＤＦＲの繰り出しに悪影
響を与えることがない。

【００１９】上記巻取方法に於いて、ＤＦＲを巻き付け
た巻付コア又は該巻付コアを支持する軸から軸の回転を
巻取コア又は該巻取コアを支持する軸に伝達するギヤ等
の伝達装置の中間部分に摩擦部材を配置して、該摩擦部
材を介して巻取コアに回転を伝達して巻き取る。

【００２０】上記巻取方法では、巻取コア又は該巻取コ
アを支持する軸に、伝達装置と摩擦部材を介して巻付コ
ア或いは巻付コアを支持する軸の回転が伝達されるた
め、巻取コアをＤＦＲに接触させることなく巻取コアに
カバーフィルムを巻き取ることが出来る。

【００２１】上記巻取方法に於いて、基板にＤＦＲをラ
ミネートすると共にカバーフィルムを巻き取るに際し、
前記摩擦部材部分で必ず滑りを発生させながら軸の回転
を伝達することを特徴とするものである。

【００２２】上記巻取方法では、駆動を伝達するギヤの
比率等により、巻付コアに巻かれたＤＦＲの外周の速度
よりも巻取コアの外周の速度が速くなるように設定して
いる。ただし、基板にＤＦＲをラミネートすると共にカ
バーフィルムを巻き取る際には、繰り出されるＤＦＲの
速度と巻き取られるカバーフィルムの速度は同じである
ため、巻取コアの速度差は前記摩擦部材の滑りによって
吸収される。これにより剥離されたカバーフィルムには
常に張力が作用することとなり、弛みを生じることなく
巻取コアに巻き取ることが出来る。

【００２３】また、本発明に係る装置は、一対の伝達装
置と摩擦部材とこの摩擦部材の摩擦抵抗を調節し得る圧
縮バネを有するすべりクラッチを、感光性ドライフィル
ムレジストの巻付コア側に設けた駆動装置と、カバーフ
ィルムの巻取コア側に設けた駆動装置との間に介在させ
て構成したカバーフィルムの巻取装置である。

【００２４】前述の本発明に係る方法及び装置に於て
は、いずれもギヤやベルト等の伝達装置と摩擦部材とを
巻付コア側と巻取コア側の駆動装置間に介在させること
によって、巻付コア側の回転を巻取コア側に伝達するの
で、回転をスムーズに伝達することが出来、かつ摩擦部
材による塵埃の発生の問題も解決することが出来る。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明に係るカバーフィルムの巻
取方法は、ＤＦＲを基板にラミネートするに際し、ＤＦ
Ｒから剥離したカバーフィルムを巻取コアに巻き取るに
当たって、巻付コアに巻き付けたＤＦＲと剥離したカバ
ーフィルムを巻き取る巻取コアを互いに接触させないよ
うにしたものであり、これにより、巻取コアに巻き取ら
れたカバーフィルムが巻付コアに巻き付けられたＤＦＲ
に周方向以外の力を作用させることに起因して発生する
皺や弛み等をなくして、良好なラミネートを行えるよう
にしたものである。

【００２６】本発明の巻取方法では、巻付コアに巻き付
けたＤＦＲの外周面と、巻取コアに巻き取られたカバー
フィルムの外周面とを互いに離隔させている。従って、
巻取コアにＤＦＲから剥離したカバーフィルムを巻き取
る際に、該カバーフィルムに偏肉が生じていたり蛇行が
生じているような場合であっても、この偏肉や蛇行が巻
取コアから繰り出されるＤＦＲに対して余計な方向の力
を作用させることがなく、ＤＦＲの安定した繰り出しを
実現すると共に安定したラミネートを実現することが可
能である。

【００２７】上記の如く、巻取コアに巻き取られるカバ
ーフィルムが巻付コアに巻き付けられたＤＦＲの外周面
のカバーフィルムから離隔しているため、巻取コアによ
るカバーフィルムの巻き取りを行なうのに必要な力はＤ
ＦＲからは付与されない。このため、ラミネートの進行
に伴ってＤＦＲから剥離したカバーフィルムを巻き取る
際に必要な力を巻取コアに付与することが必要になる。

【００２８】このため、本発明では、ＤＦＲを巻き付け
た巻付コア又は該巻付コアを支持する軸の回転をギヤを
介して巻取コア又は該巻取コアを支持する軸に伝達し、
剥離したカバーフィルムを巻き取っている。このギヤ
は、新しいＤＦＲを巻き付けた巻付コアの外周の速度に
対し巻取コアの外周の速度が大きくなるように減速比を
設定する。

【００２９】摩擦部材は、該ギヤによる軸の回転運動伝
達機構の中間部分に配置され、２枚のギヤの間でその接
触抵抗のみで回転を伝達する。従って、巻取コアに巻き
取られる剥離したカバーフィルムに過大な抵抗が作用し
ているとき、摩擦部材と該摩擦部材に接触しているギヤ
との間で滑りが生じる。

【００３０】本発明において、ギヤは、新しいＤＦＲを
巻き付けた巻付コアの外周の速度に対し巻取コアの外周
の速度が大きくなるように減速比が設定されている。Ｄ
ＦＲの繰り出しに伴って、巻付コアの外径は小さくなる
ため、巻付コア或いは巻付コアを支持する軸の回転数
は、ＤＦＲの繰り出し速度が略一定の場合、次第に増加
していく。即ち、ＤＦＲ繰り出しの進行に伴って巻取コ
ア或いは巻取コアを支持する軸の回転数も増加しようと
する。

【００３１】一方、剥離したカバーフィルムを巻き取る
巻取コアは、ＤＦＲの繰り出しに伴ってその外径が徐々
に増加するため、ＤＦＲの繰り出し速度が略一定の場合
少ない回転数でカバーフィルムを巻き取れるようにな
る。

【００３２】従って、新しいＤＦＲを巻き付けた巻付コ
アを装着した状態でも巻付コア或いは巻付コアを支持す
る軸に付与される回転数はカバーフィルムを巻き取るた
めに必要な回転数よりも大きいが、ＤＦＲの繰り出しに
伴って、巻付コア或いは巻付コアを支持する軸に付与さ
れる回転数はカバーフィルムを巻き取るために必要な回
転数よりもさらに大きくなる。

【００３３】本発明に於いてこの回転数の差は全て、回
転運動を伝達するギヤの中間部に配置した摩擦部材と該
摩擦部材に接触しているギヤとの間での滑りによって吸
収される。摩擦部材と該摩擦部材に接触しているギヤと
の間で滑りが発生していることで、ＤＦＲから剥離して
巻取コアに巻き取られるカバーフィルムには適度な張力
が作用することとなり、この張力の作用によって弛みを
発生させることなく、巻取コアにカバーフィルムを巻き
取ることが可能となる。

【００３４】以下、本発明に係るカバーフィルムの巻取
方法の好ましい実施例について図を用いて説明する。図
１は本発明の巻取方法を模式的に説明する斜視図であ
る。図２は本発明の巻取方法を模式的に説明するギヤに
よる駆動伝達部の正面図である。図３はＤＦＲの構成を
説明する断面図である。

【００３５】先ず、図３によりＤＦＲの構成について説
明する。ＤＦＲ１は、支持フィルム１ａの片面に感光性
樹脂組成物層１ｂが形成され、更に、感光性樹脂組成物
層１ｂの表面がカバーフィルム１ｃによって覆われてい
る。このＤＦＲ１は予め設定された幅を持つ長尺状に形
成され、支持フィルム１ａが内周側に、カバーフィルム
１ｃが外周側になるように巻付コア１１（図１、２参
照）に巻き付けられている。

【００３６】そして図１に示すようにＤＦＲ１が基板２
にラミネートされる際には、そのカバーフィルム１ｃを
剥離させて感光性樹脂組成物層１ｂを露出させ、露出し
た感光性樹脂組成物層１ｂを基板２の表面に対向させて
熱圧着される。この状態では、支持フィルム１ａが感光
性樹脂組成物層１ｂを覆うことで保護することが可能で
ある。

【００３７】次に図１、２により本発明の巻取方法を実
行する好ましい巻取装置の例について説明する。一般
に、基板２には表裏両面に同時にラミネートされる場合
が多い。しかし、説明が煩雑になるため、以下、基板２
の一方の面にＤＦＲ１をラミネートする場合について説
明する。

【００３８】ＤＦＲ１を巻き付けた巻付コア１１は直接
或いは巻付軸１２に支持されて図示しないフレームに回
転可能に取り付けられている。ＤＦＲ１は巻付コア１１
の長手方向略中央に巻き付けられている。

【００３９】ＤＦＲ１の繰出し方向の下流側にカバーフ
ィルム剥離ロール４、ガイドロール５が配置されてお
り、カバーフィルム剥離ロール４に於いて、ＤＦＲ１か
らカバーフィルム１ｃが剥離され、その後、ＤＦＲ１の
支持フィルム１ａと感光性樹脂組成物層１ｂはガイドロ
ール５を経てラミネートローラー３に向かい、移送され
てきた基板２に対向して熱圧着され、これによりＤＦＲ
１の感光性樹脂組成物層１ｂが基板２にラミネートされ
る。

【００４０】カバーフィルム剥離ロール４でＤＦＲ１か
ら剥離したカバーフィルム１ｃは、巻取コア１６方向に
移送されて該巻取コア１６に巻き取られる。巻取コア１
６は直接或いは巻取軸１７に支持されて図示しないフレ
ームに回転可能に、さらにその位置は巻取コア１６がＤ
ＦＲ１に接触しないように十分に巻付軸１２から離れた
位置に取り付けられている。

【００４１】巻取コア１６は巻取軸１７に取り付けられ
たギヤ１７ａ、巻付軸１２に取り付けられたギヤ１２
ａ、およびそれらの中間に位置するすべりクラッチ２０
のギヤ１３、１５により、巻付軸１２の回転運動が巻取
軸１７に伝達されるようにしており、それぞれのギヤ１
７ａ、１２ａ、１３、１５の歯数は、ＤＦＲ１の外周速
に対し、巻取コア１６の外周速が速くなるように設定し
ている。

【００４２】中間に配置されたすべりクラッチ２０のギ
ヤ１３、１５は同一の軸１９上にそれぞれ回転可能に配
置され、ギヤ１３、１５の間には摩擦部材１４が挟みこ
まれて、ギヤ１３、１５および摩擦部材１４の間の摩擦
抵抗によってのみ回転運動が伝達されるようにしてあ
る。ギヤ１３、１５および摩擦部材１４の間の摩擦抵抗
の強さは、すべりクラッチ２０の軸１９に設けた圧縮バ
ネ１８によるギヤ１３のギヤ１５方向への押付け力を変
えることによって調整することが出来る。

【００４３】ＤＦＲ１が繰出されることによって発生し
た巻付軸１２の回転運動は、上記のギヤ１２ａ、１３、
１５、１７ａを介して巻取軸１７に伝達される。この
時、巻取コア１６の外周の速度は繰出されるＤＦＲ１の
線速よりも速く回転するようにギヤ比が設定されている
が、実際には繰出されるＤＦＲ１の長さと巻き取られる
カバーフィルム１ｃの長さは等しいため、巻取軸１７は
伝達される回転数よりも遅い速度で回転する。

【００４４】この回転数の差を吸収するために、ギヤ１
３、１５および摩擦部材１４の間で滑りが発生する。こ
のため、カバーフィルム剥離ロール４で剥離された後、
巻取コア１６に巻き取られるまでのカバーフィルム１ｃ
には、滑り量に応じた張力が作用することとなる。上記
実施例に於ては、ギヤによる伝達装置について説明した
が、ギヤの代りにベルトによる伝達装置を用いることが
可能である。

【００４５】カバーフィルム１ｃに張力が作用し、緊張
した状態に保つことで、巻取コア１６に巻き取られる際
に皺や弛みが生じることなく、円滑に且つ安定した状態
で巻き取ることが可能となる。従って、巻付コア１１に
巻き付けられたＤＦＲ１、及び巻付コア１１から繰出さ
れたＤＦＲ１に繰出方向以外の方向の力が作用すること
なく、ＤＦＲ１の感光性樹脂組成物層１ｂを基板２にラ
ミネートする際に、皺や弛みが発生することがない。

【００４６】巻取コア１６の巻取軸１７に設けたギヤ１
７ａと巻付コア１１の巻取軸１２に設けたギヤ１２ａと
の間にギヤ１３、１５及び摩擦部材１４を有するすべり
クラッチ２０を介在させ、巻付軸１２の回転を巻取軸１
７に伝達するようにしたので、カバーフィルム１ｃを巻
取る巻取軸１７の回転を確実にすることが出来、かつ巻
付軸１２の回転を巻取軸１７に伝達する前記すべりクラ
ッチ２０は、ＤＦＲ１より離れた位置に配置されている
ので、従来の如く摩擦部材がＤＦＲ１に直接接触するこ
とがなく、従ってこの部分に塵埃を発生させる心配がな
い。また、すべりクラッチ２０に設けられた摩擦部材１
４の摩擦抵抗の強さは、同軸上に取付けられた圧縮バネ
１８による調節により簡単に実施することが出来る。

【００４７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明に係る
カバーフィルムの巻取方法及び装置では、ＤＦＲから剥
離したカバーフィルムを巻き取る際に、該カバーフィル
ムが巻き取られる巻取コアが巻付コアに巻き付けられて
いるＤＦＲと接触することがないので、このＤＦＲに繰
出方向以外の方向の作用させることがない。このため、
カバーフィルムの厚さが不均一であるような場合でも、
これに影響を受けることなく安定した繰出しを実現し
て、円滑なラミネートを行うことが出来る等の効果を有
している。

【００４８】また、巻付軸に取り付けられたＤＦＲの繰
出しによる回転運動をギヤ等の伝達装置を介して伝達し
て巻取軸を回転させるため、簡単な機構で、安価に巻付
コアに巻き付けられたＤＦＲと巻取コアとの非接触を実
現することが出来る。また、剥離したカバーフィルムの
巻取りを、該カバーフィルムの摩擦係数の値に影響され
ることなく実施することが出来る。このため、カバーフ
ィルムとして摩擦係数の小さいフィルム、即ち滑りやす
いフィルムでも使用することが可能となる。

【００４９】巻取コアの外周の速度が繰出されるＤＦＲ
の線速よりも速く回転するようにギヤ比を設定し、かつ
中間の摩擦部材部位で滑りを発生させることで巻取コア
に巻き取られる剥離したカバーフィルムには常に適度な
張力が作用することとなり、皺や弛みを生じることなく
巻取コアにカバーフィルムを巻き取ることが出来る。こ
のため、ＤＦＲにも皺や弛みが発生せず、円滑なラミネ
ートを実現することが出来、かつ最終製品となるプリン
ト配線基板の品質を向上させると共に不良率を低減して
収率の向上をはかることが出来る効果を有している。更
に、前述のように、ギヤ等の伝達装置と摩擦部材とを夫
々ＤＦＲを巻付けた巻付コアと離れた位置で、しかも巻
付コア側と巻取コア側の駆動部とに介在させたので、塵
埃が発生する心配もない等の効果も有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の巻取方法を模式的に説明する斜視図で
ある。

【図２】本発明の巻取方法を模式的に説明する駆動伝達
部分の正面図である。

【図３】ＤＦＲの構成を説明する断面図である。

【符号の説明】

１ ＤＦＲ １ａ 支持フィルム １ｂ 感光性樹脂組成物層 １ｃ カバーフィルム ２ 基板 ３ ラミネートロール ４ カバーフィルム剥離ロール ５ ガイドロール １１ 巻付コア １２ 巻付軸 １３ ギヤ １４ 摩擦部材 １５ ギヤ １６ 巻取コア １７ 巻取軸 １８ 圧縮バネ １９ 軸 ２０ すべりクラッチ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AB11 EA08 3F055 AA05 BA20 BA23 BA25 DA04 5E314 AA27 BB02 CC02 CC15 FF01 GG24 5E339 CC01 CD01 CE11 CF07 CF16 CF17 DD04 GG10

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性ドライフィルムレジストを基板に
   ラミネートする際に感光性ドライフィルムから剥離した
   カバーフィルムを巻き取る巻取方法であって、感光性ド
   ライフィルムレジストからカバーフィルムを剥離させた
   後、該カバーフィルムを、感光性ドライフィルムレジス
   トの繰出しによって発生する感光性ドライフィルムレジ
   ストの巻付コアの回転運動を中間に配置したギヤ或はベ
   ルト等の伝達装置及び摩擦部材を介して伝達されて回転
   する巻取コアに巻き取ることを特徴とするカバーフィル
   ムの巻取り方法。
2. 【請求項２】 前記基板に感光性ドライフィルムレジス
   トをラミネートすると共にカバーフィルムを巻取コアに
   巻き取るに際し、巻付コアに装着された感光性ドライフ
   ィルムレジストの繰出し速度に対して巻取コアの周速が
   速くなるように減速比を設定し、常に前記摩擦部材の部
   分で、滑りを発生させながら巻き取ることを特徴とする
   請求項１に記載したカバーフィルムの巻取方法。
3. 【請求項３】 一対のギヤ或はベルト等よりなる伝達装
   置と摩擦部材とこの摩擦部材の摩擦抵抗を調節し得る圧
   縮バネを有するすべりクラッチを、感光性ドライフィル
   ムレジストの巻付コア側に設けた駆動装置と、カバーフ
   ィルムの巻取コア側に設けた駆動装置との間に介在させ
   て構成することを特徴とするカバーフィルムの巻取装
   置。