JP2003206441A - 絶縁膜用コーティングワニス、及びこれを用いた絶縁膜並びに半導体装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体用途において、優れた耐熱性を維持
し、高い機械強度を、低誘電率化を可能とする絶縁膜用
コーティングワニス、及びこれを用いて作製した微細孔
を有する絶縁膜を提供する。 【解決手段】 （１）一般式（Ａ）で表わされる繰り返
し単位を有するポリアミドと該ポリアミド構造中のカル
ボキシ基、アミノ基又はヒドロキシ基と反応し得る置換
基を有する反応性オリゴマ−とを反応させて得られた共
重合体、（２）少なくとも１個のアセチレン基を含む官
能基を有するアセチレン化合物、および（３）有機溶
媒、を必須成分とすることを特徴とする絶縁膜用コーテ
ィングワニス。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁膜用コーティ
ングワニスおよび絶縁膜並びに半導体装置に関するもの
である、更に詳しくは、半導体用の層間絶縁膜、保護
膜、多層回路の層間絶縁膜、フレキシブル銅張板のカバ
ーコート、ソルダーレジスト膜、液晶配向膜などの用途
に好適で、電気特性、熱特性、機械特性に優れた、絶縁
膜用コーティングワニスおよびそれを用いて得られる絶
縁膜並びに前記絶縁膜を用いた半導体装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体用材料には、必要とされる特性に
応じて、無機材料、有機材料などが、様々な部分で用い
られている。例えば、半導体用の層間絶縁膜としては、
化学気相法で作製した二酸化シリコン等の無機酸化膜が
使用されている。しかしながら、近年の半導体の高速
化、高性能化に伴い、上記のような無機酸化膜では、比
誘電率が高いことが問題となっている。この改良手段の
一つとして、有機材料の適用が検討されている。

【０００３】半導体用途の有機材料としては、耐熱性、
電気特性、機械特性などに優れたポリイミド樹脂が挙げ
られ、ソルダーレジスト、カバーレイ、液晶配向膜など
に用いられている。しかしながら、一般にポリイミド樹
脂はイミド環にカルボニル基を２個有していることか
ら、吸水性、電気特性に問題がある。これらの問題に対
して、フッ素あるいはフッ素含有基を有機高分子内に導
入することにより、吸水性、電気特性を改良することが
試みられており、実用化されているものもある。また、
ポリイミド樹脂に比べて、耐熱性、吸水性、電気特性に
関して、より優れた性能を示すポリベンゾオキサゾール
樹脂があり、様々な分野への適用が試みられている。例
えば、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジヒドロキシビ
フェニルとテレフタル酸からなる構造を有するもの、
２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）
ヘキサフルオロプロパンとテレフタル酸からなる構造を
有するポリベンゾオキサゾール樹脂等がある。

【０００４】しかし、さらに厳しい耐熱性、機械特性、
電気特性、吸水性等の向上を要求されている先端分野で
は、このような要求全てを満足する材料は、未だ得られ
ていないのが現状である。つまり、優れた耐熱性を示す
が、誘電率等の電気特性は十分ではない、また、フッ素
導入により電気特性は向上するものの、耐熱性の低下を
招くといった不具合が発生している。特に、半導体用層
間絶縁膜として有機材料を適用する場合、無機材料に匹
敵する耐熱性、機械特性、吸水性を要求され、そこで主
鎖骨格に架橋基を導入することによりガラス転移温度や
熱分解温度を飛躍的に向上させることができたが（例え
ば、特許文献１参照。）、その上で更なる低誘電率化が
求められている。

【０００５】このような高性能化の要求に対して、無機
材料である無機酸化膜の膜中に微細孔を開けることによ
り、低密度化を図り、比誘電率を低減させる方法が検討
されている。空気の比誘電率は１であり、膜中に空気を
導入して比誘電率を下げることは、Scheuerleinらの約
２０μｍの平均孔径を有する発泡重合体を生成させる方
法から類推される（例えば、特許文献２参照。）。しか
しながら、空気を膜中に導入することによって効果的な
絶縁体にするためには、膜厚がサブマイクロメーターオ
ーダーで、平均化された比誘電率を有する必要があり、
そして膜自体の機械特性も、各工程に耐え得るものでな
ければならい。このような問題を克服する無機材料が、
未だ得られていないのが現状である。

【０００６】一方、有機材料においては、サブマイクロ
メーターオーダーの微細孔を得る技術については、Hedr
ickらのブロックコポリマーからサブマイクロメーター
オーダーの微細孔を有する樹脂を生成させることが開示
されている（例えば、特許文献３参照。）。ブロックコ
ポリマーがサブマイクロメーターオーダーで相分離する
ことや、天井温度の低いポリマー類が容易に分解するこ
とも、高分子化学の分野では、一般に良く知られている
ことである。しかしながら、比誘電率のみならず、機械
特性、電気特性、耐吸水性、耐熱性を満足させながら、
微細孔を有する樹脂組成物を得るために、既に、樹脂、
ブロック化技術、熱分解性成分を組み合わせる検討を進
めてきているが（例えば、特許文献４参照。）、その選
択が非常に限定され、すべての特性を満足できるものは
得られていない。

【０００７】

【特許文献１】特開２００２−１６７４３５号公報（第
７−１１頁）

【特許文献２】米国特許第３,８８３,４５２号公報（第
２−７欄）

【特許文献３】米国特許第５,７７６,９９０号公報（第
２−４欄）

【特許文献４】特開２００２−２２２８０９号公報（第
３−４頁）

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体用途
において、優れた耐熱性を維持し、機械強度を向上さ
せ、低誘電率化を可能とする絶縁膜用コーティングワニ
ス、及びこれを用いて作製した微細孔を有する絶縁膜並
びに前記絶縁膜を用いた半導体装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記のよ
うな従来の問題点に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、特定
構造のポリアミドと反応性オリゴマ−とを反応させてな
る共重合体、アセチレン化合物、及び有機溶媒からなる
コーティングワニスから作製した微細孔を有する絶縁膜
が、本発明の目的を満たし得ることを見出し、さらに検
討を進めて、本発明を完成するに至った。即ち本発明
は、（１）一般式（Ａ）で表わされる繰り返し単位を有
するポリアミドと反応性オリゴマーとを反応させた共重
合体、（２）少なくとも１個のアセチレン基を含む官能
基を有するアセチレン化合物、および（３）有機溶媒、
を必須成分とすることを特徴とする絶縁膜用コーティン
グワニスであり、また、該コーティングワニスを塗布・
乾燥して有機溶媒を除去し、あるいは、さらに加熱処理
して縮合反応及び架橋反応させて得られるポリベンゾオ
キサゾールからなり、且つ、微細孔を有する絶縁膜であ
り、更には、前記絶縁膜を用いた半導体装置である。

【００１０】

【化９】

【００１１】[式中、ｍ及びｎは、ｍ＞０，ｎ≧０，２
≦ｍ＋ｎ≦１０００，及び０.０５≦ｍ／（ｍ＋ｎ）≦
１の関係を満たす整数である。また、Ｒ₁〜Ｒ₄は、水素
原子又は一価の有機基であり、Ｘは、式（Ｃ）で表され
る基の中から選ばれる四価の基、Ｙ₁は、式（Ｄ），式
(Ｅ)，式（Ｆ），及び式（Ｇ）で表される基の中から選
ばれる少なくとも１つの二価の基を表す。Ｙ₂は、式
（Ｈ）で表される基の中から選ばれる二価の基を表す。
また、一般式（Ａ）において繰り返し単位の配列は、ブ
ロック的であってもランダム的であっても構わない。]

【００１２】

【化１０】

【００１３】

【化１１】

【００１４】

【化１２】

【００１５】

【化１３】

【００１６】

【化１４】

【００１７】

【化１５】

【００１８】

【化１６】

【００１９】[式（Ｃ）及び式（Ｈ）中のＸ₁は、式
（Ｉ）で表される基の中から選ばれる二価の基を示す。
式（Ｅ）中のＲは、ナフタレン基、フェニル基、又はア
ルキル基を示す。また、式（Ｃ）〜式（Ｉ）で表される
基における、ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、エ
チル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソ
ブチル基、ｔ−ブチル基、フッ素原子、及びトリフルオ
ロメチル基からなる群より選ばれる、少なくとも１個の
基で置換されていても良い。]

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明は、必須成分であるポリア
ミド樹脂の構造を表す一般式（Ａ）中の、ポリアミドユ
ニットの主鎖中に、加熱により架橋するエチニル、フェ
ニルエチニル、アルキルエチニル、ビフェニレン、及び
内部アセチレンの少なくとも１種の骨格を導入し、アミ
ド基の閉環反応によるポリベンゾオキサゾールへの変換
と共に、エチニル、フェニルエチニル、アルキルエチニ
ル、ビフェニレン、内部アセチレン骨格の架橋反応を、
アセチレン化合物を架橋剤として反応させ、樹脂構造を
３次元化させることにより、高い耐熱性、及び機械強
度、を有する樹脂を得ることができる。そして、オリゴ
マーを、樹脂の加熱時において熱分解させ、揮散せしめ
ることにより、ポリベンゾオキサゾール樹脂の樹脂膜中
に微細孔を形成させ、耐熱性と機械特性と電気特性を両
立させた多孔質絶縁膜を得ることを、発明の骨子とする
ものである。

【００２１】本発明において、一般式（Ａ）で表される
ポリアミドユニットを有するポリアミドは、前記式
（Ｃ）に表された基の中から選ばれる四価の基を有す
る、ビスアミノフェノール化合物の少なくとも１種と、
式（Ｄ）〜式（Ｇ）に表された基の中から選ばれる二価
の基を有する、ジカルボン酸の少なくとも１種とを用い
て、あるいはジカルボン酸として、前記ジカルボン酸と
式（Ｈ）に表された基の中から選ばれる二価の基を有す
るジカルボン酸とを併用し、従来の酸クロリド法、活性
化エステル法、ポリリン酸やジシクロヘキシルカルボジ
イミド等の脱水縮合剤の存在下での縮合反応等の方法に
より得ることが出来る。

【００２２】また、このエチニル、フェニルエチニル、
アルキルエチニル、ビフェニレン、及び内部アセチレン
の少なくとも１種の骨格を有するポリアミドに、前記式
（Ｃ）に表された基の中から選ばれる四価の基を有する
ビスアミノフェノール化合物の少なくとも１種と、式
（Ｈ）に表された基の中から選ばれる二価の基を有する
ジカルボン酸の少なくとも１種とを用いて、上記と同様
に作製したポリアミドを組み合わせて、相互侵入網目構
造とすることによっても、同様に高耐熱性の樹脂を得る
ことが可能である。

【００２３】本発明で用いる、少なくとも１個のアセチ
レン基を含む官能基を有するアセチレン化合物として
は、官能基にアセチレン基を含む化合物であれば良い
が、ベンゼン、ナフタレン、ビフェニル、ジフェニルエ
ーテル、ジフェニルスルホン、２，２−ジフェニルプロ
パン、２，２−ジフェニルトリフルオロプロパン、シク
ロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ジベンジルベンゼ
ン、ジフェノキシベンゼンまたはビナフチル骨格とする
ものが、好ましい。これら、少なくとも１個のアセチレ
ン基を含む官能基を有するアセチレン化合物の例として
は、エチニルベンゼン、フェニルエチニルベンゼン、１
−エチニルナフタレン、１−フェニルエチニルナフタレ
ン、２−エチニル−ナフタレン、２−フェニルエチニル
−ナフタレン、２−エチニルビフェニル、２−フェニル
エチニルビフェニル、３−エチニルビフェニル、３−フ
ェニルエチニルビフェニル、１，２−ジエチニルベンゼ
ン、１，２−ビス（フェニルエチニル）ベンゼン、１，
３−ジエチニルベンゼン、１，３−ビス（フェニルエチ
ニル）ベンゼン、１，４−ジエチニルベンゼン、１，４
−ビス（フェニルエチニル）ベンゼン、１，２−ジエチ
ニルナフタレン、１，２−ビス（フェニルエチニル）ナ
フタレン、１，３−ジエチニルナフタレン、１，３−ビ
ス（フェニルエチニル）ナフタレン、１，４−ジエチニ
ルナフタレン、１，４−ビス（フェニルエチニル）ナフ
タレン、１，５−ジエチニルナフタレン、１，５−ビス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，６−ジエチニル
ナフタレン、１，６−ビス（フェニルエチニル）ナフタ
レン、１，７−ジエチニルナフタレン、１，７−ビス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，８−ジエチニル
ナフタレン、１，８−ビス（フェニルエチニル）ナフタ
レン、２，３−ジエチニルナフタレン、２，３−ビス
（フェニルエチニル）ナフタレン、２，５−ジエチニル
ナフタレン、２，５−ビス（フェニルエチニル）ナフタ
レン、２，６−ジエチニルナフタレン、２，６−ビス
（フェニルエチニル）ナフタレン、２，２’−ジエチニ
ルビフェニル、２，２’−ビス（フェニルエチニル）ビ
フェニル、２，３’−ジエチニルビフェニル、２，３’
−ビス（フェニルエチニル）ビフェニル、２，４’−ジ
エチニルビフェニル、２，４’−ビス（フェニルエチニ
ル）ビフェニル、３，３’−ジエチニルビフェニル、
３，３’−ビス（フェニルエチニル）ビフェニル、３，
４’−ジエチニルビフェニル、３，４’−ビス（フェニ
ルエチニル）ビフェニル、４，４’−ジエチニルビフェ
ニル、４，４’−ビス（フェニルエチニル）ビフェニ
ル、１，２，３−トリエチニルベンゼン、１，２，３−
トリス（フェニルエチニル）ベンゼン、１，２，４−ト
リエチニルベンゼン、１，２，４−トリス（フェニルエ
チニル）ベンゼン、１，２，５−トリエチニルベンゼ
ン、１，２，５−トリス（フェニルエチニル）ベンゼ
ン、１，３，５−トリエチニルベンゼン、１，３，５−
トリス（フェニルエチニル）ベンゼン、１，２，３，４
−テトラエチニルベンゼン、１，２，３，４−テトラキ
ス（フェニルエチニル）ベンゼン、１，２，３，５−テ
トラエチニルベンゼン、１，２，３，５−テトラキス
（フェニルエチニル）ベンゼン、１，２，４，５−テト
ラエチニルベンゼン、１，２，４，５−テトラキス（フ
ェニルエチニル）ベンゼン、１，２，３−トリエチニル
ナフタレン、１，２，３−トリス（フェニルエチニル）
ナフタレン、１，２，４−トリエチニルナフタレン、
１，２，４−トリス（フェニルエチニル）ナフタレン、
１，２，５−トリエチニルナフタレン、１，２，５−ト
リス（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，６−ト
リエチニルナフタレン、１，２，６−トリス（フェニル
エチニル）ナフタレン、１，２，７−トリエチニルナフ
タレン、１，２，７−トリス（フェニルエチニル）ナフ
タレン、１，２，８−トリエチニルナフタレン、１，
２，８−トリス（フェニルエチニル）ナフタレン、１，
３，４−トリエチニルナフタレン、１，３，４−トリス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，５−トリエ
チニルナフタレン、１，３，５−トリス（フェニルエチ
ニル）ナフタレン、１，３，６−トリエチニルナフタレ
ン、１，３，６−トリス（フェニルエチニル）ナフタレ
ン、１，３，７−トリエチニルナフタレン、１，３，７
−トリス（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，８
−トリエチニルナフタレン、１，３，８−トリス（フェ
ニルエチニル）ナフタレン、１，４，５−トリエチニル
ナフタレン、１，４，５−トリス（フェニルエチニル）
ナフタレン、１，４，６−トリエチニルナフタレン、
１，４，６−トリス（フェニルエチニル）ナフタレン、
１，６，７−トリエチニルナフタレン、１，６，７−ト
リス（フェニルエチニル）ナフタレン、２，３，６−ト
リエチニルナフタレン、２，３，６−トリス（フェニル
エチニル）ナフタレン、１，２，３，４−テトラエチニ
ルナフタレン、１，２，３，４−テトラキス（フェニル
エチニル）ナフタレン、１，２，３，５−テトラエチニ
ルナフタレン、１，２，３，５−テトラキス（フェニル
エチニル）ナフタレン、１，２，３，６−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，３，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，３，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，３，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，３，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，４，５−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，４，５−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，４，６−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，４，６−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，４，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，４，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，４，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，４，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，５，６−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，５，６−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，５，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，５，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，５，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，５，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，６，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，６，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，６，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，６，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，２，７，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，２，７，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，５，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，３，５，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，５，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，３，５，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，６，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，３，６，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，３，６，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，３，６，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，４，５，８−テ
トラエチニルナフタレン、１，４，５，８−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、１，４，６，７−テ
トラエチニルナフタレン、１，４，６，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、２，３，６，７−テ
トラエチニルナフタレン、２，３，６，７−テトラキス
（フェニルエチニル）ナフタレン、２，２’，３，３’
−テトラエチニルビフェニル、２，２’，３，３’−テ
トラキス（フェニルエチニル）ビフェニル、２，２’，
４，４’−テトラエチニルビフェニル、２，２’，４，
４’−テトラキス（フェニルエチニル）ビフェニル、
２，２’，５，５’−テトラエチニルビフェニル、２，
２’，５，５’−テトラキス（フェニルエチニル）ビフ
ェニル、２，２’，６，６’−テトラエチニルビフェニ
ル、２，２’，６，６’−テトラキス（フェニルエチニ
ル）ビフェニル、３，３’，４，４’−テトラエチニル
ビフェニル、３，３’，４，４’−テトラキス（フェニ
ルエチニル）ビフェニル、３，３’，５，５’−テトラ
エチニルビフェニル、３，３’，５，５’−テトラキス
（フェニルエチニル）ビフェニル、２，２’−ジメトキ
シ−３，３’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジメトキシ−３，３’−ビス（フェニルエチ
ニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ
−４，４’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，
２’−ジメトキシ−４，４’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ−
５，５’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，
２’−ジメトキシ−５，５’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ−
６，６’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，
２’−ジメトキシ−６，６’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ−
７，７’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，
２’−ジメトキシ−７，７’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ−
８，８’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，
２’−ジメトキシ−８，８’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ−
５，５’，６，６’−テトラエチニル−[１，１’]ビナ
フチル、２，２’−ジメトキシ−５，５’，６，６’−
テトラキス（フェニルエチニル）−[１，１’]ビナフチ
ル、２，２’−ジメトキシ−５，５’，７，７’−テト
ラエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメト
キシ−５，５’，７，７’−テトラキス（フェニルエチ
ニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメトキシ
−５，５’，８，８’−テトラエチニル−[１，１’]ビ
ナフチル、２，２’−ジメトキシ−５，５’，８，８’
−テトラキス（フェニルエチニル）−[１，１’]ビナフ
チル、２，２’−ジメトキシ−６，６’，７，７’−テ
トラエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジメ
トキシ−６，６’，７，７’−テトラキス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−３，３’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−３，３’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−４，４’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−５，５’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−５，５’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−６，６’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−６，６’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−７，７’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−７，７’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−８，８’−ジエチニル−[１，１’]ビナフチル、
２，２’−ジヒドロキシ−８，８’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロ
キシ−５，５’，６，６’−テトラエチニル−[１，
１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロキシ−５，
５’，６，６’−テトラキス（フェニルエチニル）−
[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロキシ−５，
５’，７，７’−テトラエチニル−[１，１’]ビナフチ
ル、２，２’−ジヒドロキシ−５，５’，７，７’−テ
トラキス（フェニルエチニル）−[１，１’]ビナフチ
ル、２，２’−ジヒドロキシ−５，５’，８，８’−テ
トラエチニル−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒ
ドロキシ−５，５’，８，８’−テトラキス（フェニル
エチニル）−[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジヒド
ロキシ−６，６’，７，７’−テトラエチニル−[１，
１’]ビナフチル、２，２’−ジヒドロキシ−６，
６’，７，７’−テトラキス（フェニルエチニル）−
[１，１’]ビナフチル、２，２’−ジエチニル−[１，
１’]ビナフチル、３，３’−ジエチニル−[１，１’]
ビナフチル、３，３’−ビス（フェニルエチニル）−
[１，１’]ビナフチル、４，４’−ジエチニル−[１，
１’]ビナフチル、４，４’−ビス（フェニルエチニ
ル）−[１，１’]ビナフチル、５，５’−ジエチニル−
[１，１’]ビナフチル、５，５’−ビス（フェニルエチ
ニル）−[１，１’]ビナフチル、６，６’−ジエチニル
−[１，１’]ビナフチル、６，６’−ビス（フェニルエ
チニル）−[１，１’]ビナフチル、７，７’−ジエチニ
ル−[１，１’]ビナフチル、７，７’−ビス（フェニル
エチニル）−[１，１’]ビナフチル、８，８’−ジエチ
ニル−[１，１’]ビナフチル、８，８’−ビス（フェニ
ルエチニル）−[１，１’]ビナフチル、５，５’，６，
６’−テトラエチニル−[１，１’]ビナフチル、５，
５’，６，６’−テトラキス（フェニルエチニル）−
[１，１’]ビナフチル、５，５’，７，７’−テトラエ
チニル−[１，１’]ビナフチル、５，５’，７，７’−
テトラキス（フェニルエチニル）−[１，１’]ビナフチ
ル、５，５’，８，８’−テトラエチニル−[１，１’]
ビナフチル、５，５’，８，８’−テトラキス（フェニ
ルエチニル）−[１，１’]ビナフチル、６，６’，７，
７’−テトラエチニル−[１，１’]ビナフチル、６，
６’，７，７’−テトラキス（フェニルエチニル）−
[１，１’]ビナフチル、２，２’−ビス（２−エチニル
フェニル）プロパン、２，２’−ビス（２−フェニルエ
チニルフェニル）プロパン、２，２’−ビス（３−エチ
ニルフェニル）プロパン、２，２’−ビス（３−フェニ
ルエチニルフェニル）プロパン、２，２’−ビス（４−
エチニルフェニル）プロパン、２，２’−ビス（４−フ
ェニルエチニルフェニル）プロパン、エチニルシクロヘ
キサン、フェニルエチニルシクロヘキサン等が挙げられ
るが、これらに限定されるものではない。これらは単独
で用いてもよく、また２種類以上組み合わせて使用して
もよい。

【００２４】本発明で用いる、式（Ｃ）で表される四価
の基を有するビスアミノフェノール化合物としては、
２,４−ジアミノレゾルシノール、４,６−ジアミノレゾ
ルシノール、２,２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキ
シフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビス
（４−アミノ−３−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオ
ロプロパン、２,２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキ
シフェニル）プロパン、２,２−ビス（４−アミノ−３
−ヒドロキシフェニル）プロパン、３,３’−ジアミノ
−４,４ ’−ジヒドロキシジフェニルスルホン、４,
４’−ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシジフェニルス
ルホン、３,３’−ジアミノ−４,４’−ジヒドロキシビ
フェニル、４,４’−ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシ
ビフェニル、９,９−ビス（４−（（４−アミノ−３−
ヒドロキシ）フェノキシ）フェニル）フルオレン、９,
９−ビス（４−（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェ
ノキシ）フェニル）フルオレン、９,９−ビス（（４−
アミノ−３−ヒドロキシ）フェニル））フルオレン、
９,９−ビス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニ
ル））フルオレン、３,３’−ジアミノ−４,４’−ジヒ
ドロキシジフェニルエーテル、４,４’−ジアミノ−３,
３’−ジヒドロキシフェニルエーテル、２,２−ビス
（３−アミノ−４−ヒドロキシ−２−トリフルオロメチ
ルフェニル）プロパン、２,２−ビス（４−アミノ−３
−ヒドロキシ−２−トリフルオロメチルフェニル）プロ
パン、２,２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシ−５
−トリフルオロメチルフェニル）プロパン、２,２−ビ
ス（４−アミノ−３−ヒドロキシ−５−トリフルオロメ
チルフェニル）プロパン、２,２−ビス（３−アミノ−
４−ヒドロキシ−６−トリフルオロメチルフェニル）プ
ロパン、２,２−ビス（４−アミノ−３−ヒドロキシ−
６−トリフルオロメチルフェニル）プロパン、２,２−
ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシ−２−トリフルオロ
メチルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビ
ス（４−アミノ−３−ヒドロキシ−２−トリフルオロメ
チルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビス
（３−アミノ−４−ヒドロキシ−５−トリフルオロメチ
ルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビス
（４−アミノ−３−ヒドロキシ−５−トリフルオロメチ
ルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビス
（３−アミノ−４−ヒドロキシ−６−トリフルオロメチ
ルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２,２−ビス
（４−アミノ−３−ヒドロキシ−６−トリフルオロメチ
ルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、３,３’−ジア
ミノ−４,４’−ジヒドロキシ−２,２’−ビス（トリフ
ルオロメチル）ビフェニル、４,４’−ジアミノ−３,
３’−ジヒドロキシ−２,２’−ビス（トリフルオロメ
チル）ビフェニル、３,３’−ジアミノ−４,４’−ジヒ
ドロキシ−５,５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフ
ェニル、４,４’−ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシ−
５,５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、３,
３’−ジアミノ−４,４’−ジヒドロキシ−６,６’−ビ
ス（トリフルオロメチル）ビフェニル、４,４’−ジア
ミノ−３,３’−ジヒドロキシ−６,６’−ビス（トリフ
ルオロメチル）ビフェニル等が挙げられる。これらは単
独で用いてもよく、また２種類以上組み合わせて使用し
てもよい。

【００２５】本発明で用いる、式（Ｄ）で表される二価
の基を有するエチニル骨格を持つジカルボン酸の例とし
ては、３−エチニルフタル酸、４−エチニルフタル酸、
２−エチニルイソフタル酸、４−エチニルイソフタル
酸、５−エチニルイソフタル酸、２−エチニルテレフタ
ル酸、３−エチニルテレフタル酸、５−エチニル−テレ
フタル酸、２−エチニル−１，５−ナフタレンジカルボ
ン酸、３−エチニル−１，５−ナフタレンジカルボン
酸、４−エチニル−１，５−ナフタレンジカルボン酸、
１−エチニル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、３−
エチニル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、４−エチ
ニル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、２−エチニル
−１，６−ナフタレンジカルボン酸、３−エチニル−
１，６−ナフタレンジカルボン酸、４−エチニル−１，
６−ナフタレンジカルボン酸、５−エチニル−１，６−
ナフタレンジカルボン酸、７−エチニル−１，６−ナフ
タレンジカルボン酸、８−エチニル−１，６−ナフタレ
ンジカルボン酸、３，３’−ジエチニル−２，２’−ビ
フェニルジカルボン酸、４，４’−ジエチニル−２，
２’−ビフェニルジカルボン酸、５，５’−ジエチニル
−２，２’−ビフェニルジカルボン酸、６，６’−ジエ
チニル−２，２’−ビフェニルジカルボン酸、２，２’
−ジエチニル−３，３’−ビフェニルジカルボン酸、
４，４’−ジエチニル−３，３’−ビフェニルジカルボ
ン酸、５，５’−ジエチニル−３，３’−ビフェニルジ
カルボン酸、６，６’−ジエチニル−３，３’−ビフェ
ニルジカルボン酸、２，２’−ジエチニル−４，４’−
ビフェニルジカルボン酸、３，３’−ジエチニル−４，
４’−ビフェニルジカルボン酸、２，２−ビス（２−カ
ルボキシ−３−エチニルフェニル）プロパン、２，２−
ビス（２−カルボキシ−４−エチニルフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（２−カルボキシ−５−エチニルフェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（２−カルボキシ−６−
エチニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（３−カル
ボキシ−２−エチニルフェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（３−カルボキシ−４−エチニルフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（３−カルボキシ−５−エチニルフェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（３−カルボキシ−６−
エチニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−カル
ボキシ−２−エチニルフェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（４−カルボキシ−３−エチニルフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（２−カルボキシ−４−エチニルフェ
ニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−カ
ルボキシ−５−エチニルフェニル）ヘキサフルオロプロ
パン、２，２−ビス（４−カルボキシ−２−エチニルフ
ェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−
カルボキシ−２−エチニルフェニル）ヘキサフルオロプ
ロパン、４−エチニル−１，３−ジカルボキシシクロプ
ロパン、５−エチニル−２，２−ジカルボキシシクロプ
ロパン等が挙げられるが、これらに限定されるものでは
ない。これらは単独で用いてもよく、また２種類以上組
み合わせて使用してもよい。また、２種以上のビスアミ
ノフェノール化合物を組み合わせて使用することも可能
である。

【００２６】本発明で用いる、式（Ｅ）で表される二価
の基を有するジカルボン酸の例としては、３−フェニル
エチニルフタル酸、４−フェニルエチニルフタル酸、２
−フェニルエチニルイソフタル酸、４−フェニルエチニ
ルイソフタル酸、５−フェニルエチニルイソフタル酸、
２−フェニルエチニルテレフタル酸、３−フェニルエチ
ニルテレフタル酸、２−フェニルエチニル−１，５−ナ
フタレンジカルボン酸、３−フェニルエチニル−１，５
−ナフタレンジカルボン酸、４−フェニルエチニル−
１，５−ナフタレンジカルボン酸、１−フェニルエチニ
ル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、３−フェニルエ
チニル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、４−フェニ
ルエチニル−２，６−ナフタレンジカルボン酸、２−フ
ェニルエチニル−１，６−ナフタレンジカルボン酸、３
−フェニルエチニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、４−フェニルエチニル−１，６−ナフタレンジカル
ボン酸、５−フェニルエチニル−１，６−ナフタレンジ
カルボン酸、７−フェニルエチニル−１，６−ナフタレ
ンジカルボン酸、８−フェニルエチニル−１，６−ナフ
タレンジカルボン酸、３，３’−ビス（フェニルエチニ
ル）−２，２’−ビフェニルジカルボン酸、４，４’−
ビス（フェニルエチニル）−２，２’−ビフェニルジカ
ルボン酸、５，５’−ビス（フェニルエチニル）−２，
２’−ビフェニルジカルボン酸、６，６’−ビス（フェ
ニルエチニル）−２，２’−ビフェニルジカルボン酸、
２，２’−ビス（フェニルエチニル）−３，３’−ビフ
ェニルジカルボン酸、４，４’−ビス（フェニルエチニ
ル）−３，３’−ビフェニルジカルボン酸、５，５’−
ビス（フェニルエチニル）−３，３’−ビフェニルジカ
ルボン酸、６，６’−ビス（フェニルエチニル）−３，
３’−ビフェニルジカルボン酸、２，２’−ビス（フェ
ニルエチニル）−４，４’−ビフェニルジカルボン酸、
３，３’−ビス（フェニルエチニル）−４，４’−ビフ
ェニルジカルボン酸、２，２−ビス（２−カルボキシ−
３−フェニルエチニルフェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（２−カルボキシ−４−フェニルエチニルフェニル）
プロパン、２，２−ビス（２−カルボキシ−５−フェニ
ルエチニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（２−カ
ルボキシ−６−フェニルエチニルフェニル）プロパン、
２，２−ビス（３−カルボキシ−２−フェニルエチニル
フェニル）プロパン、２，２−ビス（３−カルボキシ−
４−フェニルエチニルフェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（３−カルボキシ−５−フェニルエチニルフェニル）
プロパン、２，２−ビス（３−カルボキシ−６−フェニ
ルエチニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−カ
ルボキシ−２−フェニルエチニルフェニル）プロパン、
２，２−ビス（４−カルボキシ−３−フェニルエチニル
フェニル）プロパン、２，２−ビス（２−カルボキシ−
４−フェニルエチニルフェニル）ヘキサフルオロプロパ
ン、２，２−ビス（３−カルボキシ−５−フェニルエチ
ニルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス
（４−カルボキシ−２−フェニルエチニルフェニル）ヘ
キサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−カルボキシ
−２−フェニルエチニルフェニル）ヘキサフルオロプロ
パン、４−フェニルエチニル−１，３−ジカルボキシシ
クロプロパン、５−フェニルエチニル−２，２−ジカル
ボキシシクロプロパン等が挙げられる。式（Ｅ）中のＲ
がアルキル基である例としては、３−ヘキシニルフタル
酸、４−へキシニルフタル酸、２−へキシニルイソフタ
ル酸、４−へキシニルイソフタル酸、５−へキシニルイ
ソフタル酸、２−へキシニルテレフタル酸、３−へキシ
ニルテレフタル酸、２−へキシニル−１，５−ナフタレ
ンジカルボン酸、３−へキシニル−１，５−ナフタレン
ジカルボン酸、４−へキシニル−１，５−ナフタレンジ
カルボン酸、１−へキシニル−２，６−ナフタレンジカ
ルボン酸、３−へキシニル−２，６−ナフタレンジカル
ボン酸、４−へキシニル−２，６−ナフタレンジカルボ
ン酸、２−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、３−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、４−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、５−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、７−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、８−へキシニル−１，６−ナフタレンジカルボン
酸、３，３’−ジへキシニル−２，２’−ビフェニルジ
カルボン酸、４，４’−ジへキシニル−２，２’−ビフ
ェニルジカルボン酸、５，５’−ジヘキシニル−２，
２’−ビフェニルジカルボン酸、６，６’−ジへキシニ
ル−２，２’−ビフェニルジカルボン酸、２，２’−ジ
へキシニル−３，３’−ビフェニルジカルボン酸、４，
４’−ジへキシニル−３，３’−ビフェニルジカルボン
酸、５，５’−ジへキシニル−３，３’−ビフェニルジ
カルボン酸、６，６’−ジへキシニル−３，３’−ビフ
ェニルジカルボン酸、２，２’−ジへキシニル−４，
４’−ビフェニルジカルボン酸、３，３’−ジへキシニ
ル−４，４’−ビフェニルジカルボン酸、２，２−ビス
（２−カルボキシ−３−へキシニルフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（２−カルボキシ−４−へキシニルフ
ェニル）プロパン、２，２−ビス（２−カルボキシ−５
−へキシニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（２−
カルボキシ−６−へキシニルフェニル）プロパン、２，
２−ビス（３−カルボキシ−２−へキシニルフェニル）
プロパン、２，２−ビス（３−カルボキシ−４−へキシ
ニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（３−カルボキ
シ−５−へキシニルフェニル）プロパン、２，２−ビス
（３−カルボキシ−６−へキシニルフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（４−カルボキシ−２−へキシニルフ
ェニル）プロパン、２，２−ビス（４−カルボキシ−３
−へキシニルフェニル）プロパン、２，２−ビス（２−
カルボキシ−４−へキシニルフェニル）ヘキサフルオロ
プロパン、２，２−ビス（３−カルボキシ−５−へキシ
ニルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス
（４−カルボキシ−２−へキシニルフェニル）ヘキサフ
ルオロプロパン、２，２−ビス（４−カルボキシ−２−
へキシニルフェニル）ヘキサフルオロプロパン、４−へ
キシニル−１，３−ジカルボキシシクロプロパン、５−
エチニル−２，２−ジカルボキシシクロプロパン等が挙
げられるが、これらに限定されるものではない。これら
は単独で用いてもよく、また２種類以上組み合わせて使
用してもよい。また、２種以上のビスアミノフェノール
化合物を組み合わせて使用することも可能である。

【００２７】本発明で用いる、式（Ｆ）で表される二価
の基を有するビフェニレン骨格を持つジカルボン酸の例
としては、１，２−ビフェニレンジカルボン酸、１，３
−ビフェニレンジカルボン酸、１，４−ビフェニレンジ
カルボン酸、１，５−ビフェニレンジカルボン酸、１，
６−ビフェニレンジカルボン酸、１，７−ビフェニレン
ジカルボン酸、１，８−ビフェニレンジカルボン酸、
２，３−ビフェニレンジカルボン酸、２，６−ビフェニ
レンジカルボン酸、２,７−ビフェニレンジカルボン酸
などが挙げられ、得られる塗膜の性能から、２,６−ビ
フェニレンジカルボン酸、２，７−ビフェニレンジカル
ボン酸が特に好ましい。これらは単独で用いてもよく、
また２種類以上組み合わせて使用してもよい。

【００２８】本発明で用いる、式（Ｇ）で表される二価
の基を有するジカルボン酸の例としては、４，４’−ト
ランジカルボン酸、３，４’−トランジカルボン酸、
３，３’−トランジカルボン酸、２，４’−トランジカ
ルボン酸、２，３’−トランジカルボン酸、２，２’−
トランジカルボン酸などを１種、または２種以上混合し
て用いることが出来る。

【００２９】本発明で用いる、式（Ｈ）で表される二価
の基を有するジカルボン酸の例としては、イソフタル
酸、テレフタル酸、４,４’−ビフェニルジカルボン
酸、３,４’−ビフェニルジカルボン酸、３,３’−ビフ
ェニルジカルボン酸、１,４−ナフタレンジカルボン
酸、２,３−ナフタレンジカルボン酸、２,６−ナフタレ
ンジカルボン酸、４,４’−スルホニルビス安息香酸、
３,４’−スルホニルビス安息香酸、３,３’−スルホニ
ルビス安息香酸、４,４’−オキシビス安息香酸、３,
４’−オキシビス安息香酸、３,３’−オキシビス安息
香酸、２,２−ビス（４−カルボキシフェニル）プロパ
ン、２,２−ビス（３−カルボキシフェニル）プロパ
ン、２,２−ビス（４−カルボキシフェニル）ヘキサフ
ルオロプロパン、２,２−ビス（３−カルボキシフェニ
ル）ヘキサフルオロプロパン、２,２’−ジメチル−４,
４’−ビフェニルジカルボン酸、３,３’−ジメチル−
４,４’−ビフェニルジカルボン酸、２,２’−ジメチル
−３,３’−ビフェニルジカルボン酸、２,２’−ビス
（トリフルオロメチル）−４,４’−ビフェニルジカル
ボン酸、３,３’−ビス（トリフルオロメチル）−４,
４’−ビフェニルジカルボン酸、２,２’−ビス（トリ
フルオロメチル）−３,３’−ビフェニルジカルボン
酸、９,９−ビス（４−（４−カルボキシフェノキシ）
フェニル）フルオレン、９,９−ビス（４−（３−カル
ボキシフェノキシ）フェニル）フルオレン、４,４’−
ビス（４−カルボキシフェノキシ）ビフェニル、４,
４’−ビス（３−カルボキシフェノキシ）ビフェニル、
３,４’−ビス（４−カルボキシフェノキシ）ビフェニ
ル、３,４’−ビス（３−カルボキシフェノキシ）ビフ
ェニル、３,３’−ビス（４−カルボキシフェノキシ）
ビフェニル、３,３’−ビス（３―カルボキシフェノキ
シ）ビフェニル、４,４’−ビス（４−カルボキシフェ
ノキシ）−ｐ−ターフェニル、４,４’−ビス（４−カ
ルボキシフェノキシ）−ｍ−ターフェニル、３,４’−
ビス（４−カルボキシフェノキシ）−ｐ−ターフェニ
ル、３,３’−ビス（４−カルボキシフェノキシ）−ｐ
−ターフェニル、３,４’−ビス（４−カルボキシフェ
ノキシ）−ｍ−ターフェニル、３,３’−ビス（４−カ
ルボキシフェノキシ）−ｍ−ターフェニル、４,４’−
ビス（３−カルボキシフェノキシ）−ｐ−ターフェニ
ル、４,４’−ビス（３−カルボキシフェノキシ）−ｍ
−ターフェニル、３,４’−ビス（３−カルボキシフェ
ノキシ）−ｐ−ターフェニル、３,３’−ビス（３−カ
ルボキシフェノキシ）−ｐ−ターフェニル、３,４’−
ビス（３−カルボキシフェノキシ）−ｍ−ターフェニ
ル、３,３’−ビス（３−カルボキシフェノキシ）−ｍ
−ターフェニル、３−フルオロイソフタル酸、２−フル
オロイソフタル酸、２−フルオロテレフタル酸、２,４,
５,６−テトラフルオロイソフタル酸、２,３,５,６−テ
トラフルオロテレフタル酸、５−トリフルオロメチルイ
ソフタル酸等が挙げられ、これらは単独で用いてもよ
く、また２種類以上組み合わせて使用してもよい。

【００３０】本発明におけるポリアミド樹脂は、架橋す
る骨格を有する繰り返し単位と、架橋する骨格を持たな
い繰り返し単位の数である、式（Ａ）中のｍ及びｎは、
ｍ＞０，ｎ≧０，２≦ｍ＋ｎ≦１０００，０.０５≦ｍ
／（ｍ＋ｎ）≦１の関係を満たす整数である。ｍとｎの
和は、好ましくは５以上１００以下である。ここでｍと
ｎの和が、２未満であると成膜性が低下し、膜の機械強
度が十分でなくなる。また、１０００を越えると分子量
が大きくなりすぎて、溶剤に溶けにくくなったり、溶解
しても粘調なワニスとなり実用にそぐわない。ｍ及びｎ
は、０.０５≦ｍ／（ｍ＋ｎ）≦１の関係を満たす整数
であることが必須であり、さらには、０.５≦ｍ／（ｍ
＋ｎ）≦１の関係を満たすことが好ましい。０.０５＞
ｍ／（ｍ＋ｎ）であると、架橋する骨格を持つ繰り返し
単位の数が少ないことを意味し、架橋反応部位が少ない
ため耐熱性が向上せず、微細孔が保持できなかったり、
不均一な微細孔となり好ましくない。

【００３１】一般式（Ａ）において繰り返し単位の配列
は、ブロック的であっても、ランダム的であってもかま
わない。例えば、ブロック的な繰り返し単位の場合は、
ビスアミノフェノール化合物と式（Ｈ）で表される基の
中から選ばれる二価の基を有するジカルボン酸クロリド
とを、予め反応させて分子量を上げた後、更にビスアミ
ノフェノール化合物と、式（Ｄ）〜式（Ｇ）で表される
基の中から選ばれる、架橋に寄与する二価の基を有する
ジカルボン酸クロリドとを反応させることにより得るこ
とができる。また、逆に、ビスアミノフェノール化合物
と、式（Ｄ）〜式（Ｇ）で表される基の中から選ばれ
る、架橋に寄与する二価の基を有するジカルボン酸クロ
リドとを、予め反応させて分子量を上げた後、更にビス
アミノフェノール化合物と式（Ｈ）で表される基の中か
ら選ばれる二価の基を有するジカルボン酸クロリドとを
反応させてもよい。ランダムな繰り返し単位の場合は、
ビスアミノフェノール化合物と式（Ｈ）で表される基の
中から選ばれる二価の基を有するジカルボン酸クロリド
と式（Ｄ）〜式（Ｇ）で表される基の中から選ばれる、
架橋に寄与する二価の基を有するジカルボン酸クロリド
とを、同時に反応させることにより得ることができる。

【００３２】本発明において、ポリアミドとの反応にて
使用する反応性オリゴマーは、その構造中にポリアミド
構造中のカルボキシ基、アミノ基、又はヒドロキシ基と
反応し得る反応性置換基を有しており、反応性置換基と
しては、カルボキシ基、アミノ基、又はヒドロキシ基を
持つことが必須であり、そしてポリアミドの熱分解温度
より低い温度で熱分解し、分解物が気化するオリゴマー
でなければならない。具体的に例示すると、ポリオキシ
メチレン、ポリアオシエチレン、ポリオキシプロピレ
ン、ポリテトラヒドロフラン、ポリオキシメチレン−オ
キシエチレン共重合体、ポリオキシメチレン−オキシプ
ロピレン共重合体、ポリオキシエチレン−オキシプロピ
レン共重合体等のポリオキシアルキレンやポリメチルメ
タクリレート、ポリα−メチルスチレン、ポリスチレ
ン、ポリエステル、ポリエーテルエステル、ポリカプロ
ラクトン及びポリウレタン等が好適に挙げられる。これ
らは、単独で用いてもよく、また２種類以上組み合わせ
て使用しても良い。この反応性オリゴマーとしては、側
鎖もしくは主鎖の片末端または両末端に反応置換基を導
入したものを用いることができる。工業的に入手が容易
であるのは、主鎖の末端を修飾した反応性オリゴマ−で
ある。より具体的には、４−アミノ安息香酸エステル化
末端ポリ（プロピレングリコール）オリゴマ−、両ヒド
ロキシ末端ポリ（エチレングリコール）−ブロック−ポ
リ(プロピレングリコール)−ブロック−ポリ（エチレン
グリコール）、ポリ（プロピレングリコール）ビス（２
−アミノプロピルエーテル）などが挙げられる。該反応
性オリゴマーは、数平均分子量が１００〜４００００の
範囲のものが好ましい。より好ましくは、数平均分子量
が４００〜１００００、更に好ましくは、１０００〜８
０００の範囲のもの（更に好ましいものがあれば、入れ
ておいた方が良い。）である。分子量が前記下限値未満
であると、分解・気化した後の空隙が小さく潰れやすく
なり、比誘電率の低減を発現させることができにくくな
る恐れがある。また、分子量が前記上限値を超えると、
空隙が大きくなりすぎて絶縁膜の機械特性が極端に低下
し、実用に供することができなくなるといった問題が発
生する恐れがある。本発明においては、共重合体中の前
記反応性オリゴマーユニットの導入量は、５〜７０重量
％が好ましい。より好ましくは５〜５０重量％である。
この導入量が前記下限値未満であると絶縁膜中の空隙率
が小さく、誘電率を低減させることが不十分となる恐れ
があり、また、前記上限値を超えると膜中の空隙率が大
きくなり、膜の機械強度が極端に低下したり、空隙が連
続し、不均一になり、誘電率が場所により異なる等の問
題が発生する恐れがある。

【００３３】本発明において、一般式（Ａ）で表される
ポリアミドに対して、少なくとも１個のアセチレン基を
含む官能基を有するアセチレン化合物は、１〜５０重量
部を用いるのが好ましい。より好ましくは、５〜４０重
量部であり、更に好ましくは、５〜３０重量部である。
前記下限値未満であると絶縁膜中の空隙率が小さく、誘
電率を低減させることが不十分となる恐れがあり、ま
た、前記上限値を越えた場合、膜の塗布性が低下する、
機械強度が極端に低下する等の問題が発生する恐れがあ
る。

【００３４】本発明において、ポリアミドの製造方法の
例としては、従来の酸クロリド法、活性化エステル法、
ポリリン酸やジシクロヘキシルカルボジイミド等の脱水
縮合剤の存在下での縮合反応等の方法を用いることが出
来る。例えば、酸クロリド法では、使用する酸クロリド
は、まず、Ｎ,Ｎ−ジメチルホルムアミド等の触媒存在
下で、ジカルボン酸と過剰量の塩化チオニルとを、室温
ないし１３０℃で反応させ、過剰の塩化チオニルを加熱
及び減圧により留去した後、残査をヘキサン等の溶媒で
再結晶することにより得ることができる。このようにし
て製造したジカルボン酸クロリドと、前記他のジカルボ
ン酸を併用する場合、同様にして得られる酸クロリドと
を、ビスアミノフェノール化合物と共に、通常、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドン、Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド
等の極性溶媒に溶解し、ピリジン、トリエチルアミン等
の酸受容剤滴下後、室温ないし−３０℃で反応させる。
その後、反応性オリゴマーをγ−ブチロラクトンなどに
溶解した溶液を加えて反応させ、生じた反応液を蒸留水
とイソプロピルアルコール等の混合溶液等の非溶媒に滴
下し、沈殿物を集め,乾燥することによりポリアミド共
重合体を得ることが出来る。ここで、反応性オリゴマー
が４−アミノ安息香酸エステル末端スチレンオリゴマ−
に代表されるアミノ基を有する場合は、ポリアミドの末
端の酸クロリドと反応して、末端スチレンポリアミド樹
脂とすることができる。

【００３５】ポリアミドを得るための酸クロリドとビス
アミノフェノール化合物の反応モル比は、生成するポリ
アミドの分子量及び反応性オリゴマ−との反応に大きく
影響する。この比率は、ポリアミドが塗膜形成し、反応
性オリゴマ−を反応させるようにモル比を調整すればよ
く特に差し支えないが、例えば、酸クロリド１ｍｏｌに
対して、ビスアミノフェノール０.８ｍｏｌ〜１.２ｍｏ
ｌを用いることができる。

【００３６】本発明の絶縁膜用コーティングワニスに
は、目的に応じて各種添加剤を用いることが可能であ
り、界面活性剤、シラン系に代表されるカップリング
剤、加熱により酸素ラジカルやイオウラジカルを発生す
るラジカル開始剤等が挙げられる。

【００３７】また、本発明におけるポリアミド樹脂は、
前記一般式（Ａ）で示された繰り返し単位の構造中の、
Ｒ₁及びＲ₂，また、Ｒ₃及びＲ₄の少なくとも一方がＨで
ある場合は、感光剤としてナフトキノンジアジド化合物
と一緒に用いることで、ポジ型の感光性樹脂組成物とし
て、また、Ｒ₁及びＲ₂，また、Ｒ₃及びＲ₄の少なくとも
一方が、メタクリロイル基のような光架橋性基を有する
基である場合は、光開始剤を用いることでネガ型感光性
樹脂組成物として用いることが可能である。

【００３８】本発明において使用する有機溶媒として
は、固形分を完全に溶解する溶媒が好ましく、例えば、
Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、
Ｎ,Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホル
ムアミド、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネ
ート、ジアセトンアルコール、ジエチレングリコールジ
メチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレ
ングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロ
ピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレング
リコールモノｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコー
ルモノフェニルエーテル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳
酸ブチル、メチル−１,３−ブチレングリコールアセテ
ート、１,３−ブチレングリコール−３−モノメチルエ
ーテル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メチル
−３−メトキシプロピオネート、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘ
キサノン、テトラヒドロフラン等を、１種、または２種
以上混合して用いることが出来る。その使用量として
は、ポリアミド及びオリゴマーからなる共重合体とアセ
チレン化合物等の成分を完全に溶解し得る量ならば問題
なく、その使用用途に応じて調整可能であるが、例え
ば、ポリアミド及びオリゴマーからなる共重合体とアセ
チレン化合物等の成分の合計１０重量部に対して、有機
溶剤を１０重量部〜１９０重量部を用いることができ
る。本発明の絶縁膜用コーティングワニスは、前記各成
分を混合することにより得ることができる。

【００３９】本発明の絶縁膜用コーティングワニスの使
用方法としては、まず、絶縁膜用コーティングワニス
を、適当な支持体、例えば、ガラス、繊維、金属、シリ
コンウエハー、セラミック基板等に塗布する。その塗布
方法としては、浸漬、スクリーン印刷、スプレー、回転
塗布、ロールコーティングなどが挙げられる。その後、
加熱処理して、ポリベンゾオキサゾール樹脂架橋体に変
換して用いるのが好ましい。また、ジカルボン酸成分、
ビスアミノフェノール成分を選択することにより、溶剤
に可溶なポリベンゾオキサゾール樹脂として用いること
も出来る。

【００４０】本発明の絶縁膜は、上記のように塗布後、
例えば、８０℃〜２００℃の温度範囲で乾燥し溶媒を蒸
発させることにより得られ、その後または連続的に２０
０℃から５００℃の温度範囲に加熱することにより、ポ
リアミドが、環化縮合反応及び架橋反応を生じてポリベ
ンゾオキサゾール樹脂となり、また、ポリアミド中のオ
リゴマーは、この過程で熱分解して、分解物が気化・揮
散し、ポリベンゾオキサゾール樹脂を主構造とする樹脂
の層に微細孔を形成させることにより、多孔質絶縁膜で
ある本発明の絶縁膜を得ることができる。

【００４１】本発明のポリベンゾオキサゾールを主構造
とする樹脂の層からなり、微細孔を有してなる絶縁膜に
おける、微細孔の大きさは、絶縁膜の用途や膜の厚みに
もよるが、一般的には、少なくとも１μｍ以下、好まし
くは１００ｎｍ以下、より好ましくは２０ｎｍ以下、さ
らには１０ｎｍ以下であることが望ましい。例えば、半
導体用層間絶縁膜においては、１０ｎｍ以下が好まし
く、配線幅に対して孔径が十分に小さくないと絶縁膜に
おける空隙が不均一になり、電気特性が一定とならなか
ったり、後工程のメタル形成の際に製膜性に問題を生ず
る。また、膜の機械強度や接着性等の特性の低下が発生
するし、多層化時に剥離等の問題が生じる。

【００４２】また、絶縁膜の空隙率としては、５〜７０
％が好ましい。より好ましくは５〜５０％、さらに好ま
しくは２０〜５０％である。空隙率が前記下限値より小
さいと十分な誘電率の低下が見られなくなる恐れがあ
る。空隙率が前記上限値よりも大きいと膜の機械強度が
低下し、例えばＣＭＰ等で配線層が剥離等の問題を起こ
す恐れがある。

【００４３】本発明の絶縁膜用コーティングワニス及び
絶縁膜は、半導体用層間絶縁膜、保護膜、多層回路の層
間絶縁膜、フレキシブル銅張板のカバーコート、ソルダ
ーレジスト膜、液晶配向膜等の形成に用いることが出来
る。

【００４４】本発明の絶縁膜を半導体装置の多層配線用
層間絶縁膜に用いる場合の例としては、本発明の絶縁膜
用コーティングワニスを、半導体基板上に、前記同様の
方法により塗布して、塗膜を形成する。次いで、塗膜を
前記の条件でプリベークして有機溶剤を蒸発乾燥し、更
に、加熱処理することにより、微細孔を有する樹脂膜と
し、層間絶縁膜を形成することができる。同様にして、
樹脂膜を形成して表面保護膜とすることもできる。

【００４５】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明はこれによって何んら、限定されるもので
はない。実施例及び比較例で作製したフィルムを用い
て、特性評価のため、下記の方法により、誘電率、耐熱
性、ガラス転移温度、及び吸水率を測定した。また、フ
ィルムの断面を観察し、これらの結果は表１にまとめて
示した。

【００４６】１．比誘電率 ＪＩＳ−Ｋ６９１１に準拠し、周波数１００ＫＨｚで、
ヒューレットパッカード社製ＨＰ−４２８４Ａ Ｐｒｅ
ｃｉｓｉｏｎ ＬＣＲメーターを用いて容量測定を行
い、膜厚を表面粗さ計で測定し、算出した。

【００４７】２．熱分解温度 セイコーインスツルメンツ（株）製ＴＧ／ＤＴＡ６２０
０を用いて、窒素ガス２００ｍＬ／分フロー下、昇温速
度１０℃/分の条件により、重量減少５％の時の温度を
測定した。

【００４８】３．ガラス転移温度（Ｔｇ） セイコーインスツルメンツ（株）製ＤＭＳ６１００を用
いて、窒素ガス３００ｍＬ／分フロー下、測定周波数１
Ｈｚ、昇温速度３℃／分の条件で、引張りモードで測定
し、損失正接（ｔａｎδ）のピークトップ温度をガラス
転移温度とした。

【００４９】４．弾性率 エリオニクス製ＥＮＴ−１１００を用いて、荷重３mgf
〜８０mgfの範囲で測定し、カーブの最低の値を読み取
り弾性率とした。

【００５０】５．フィルム断面観察 フィルムの断面について、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）
を用いて、微細孔の有無とその孔径を観察した。

【００５１】「合成例１」窒素フロー下で、２，２−ビ
ス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフル
オロプロパン１.０７６ｇ（２.９４ｍｍｏｌ）を、乾燥
したＮ−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、こ
の溶液にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏ
ｌ）を添加して攪拌後、２−フェニルエチニルテレフタ
ル酸クロリド０.９０９ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０
℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時
間撹拌した。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶
解した４−アミノ安息香酸エステル末端スチレンオリゴ
マー（分子量７０００）０．８４０ｇ（０．１２ｍｍｏ
ｌ）を−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻
し、室温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してト
リエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１
００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下
し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体２.
４ｇを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式
会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたとこ
ろ、重量平均分子量２０,０００、分子量分布２.２２で
あった。

【００５２】「合成例２」窒素フロー下で、４,４’−
ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシビフェニル０.６２７
ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−メチル−２−ピ
ロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液にトリエチルアミ
ン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加して攪拌後、５
−エチニルイソフタル酸クロリド０.６８１ｇ（３.０ｍ
ｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温
に戻し、室温で５時間撹拌した。その後、γ−ブチロラ
クトン１０ｍｌに溶解したポリ（プロピレングリコー
ル）ビス（２−アミノプロピルエーテル）（分子量４０
００）０．８ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を−１０℃で添加し
た。添加後、徐々に室温に戻し、室温でさらに５時間攪
拌した。反応液を濾過してトリエチルアミン塩酸塩を除
去し、濾液をイオン交換水１００ｍＬとイソプロパノー
ル２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて乾燥す
ることにより、共重合体１.７ｇを得た。得られた共重
合体の分子量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用いてポリ
スチレン換算で求めたところ、重量平均分子量２８,０
００、分子量分布２.２５であった。

【００５３】「合成例３」窒素フロー下で、９,９−ビ
ス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フル
オレン１.１０３ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−
メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液に
トリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加
して攪拌後、５−エチニルイソフタル酸クロリド０.６
８１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添
加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その
後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したポリ（プロ
ピレングリコール）ビス（２−アミノプロピルエーテ
ル）（分子量４０００）０．８ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を
−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温
でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してトリエチル
アミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１００ｍＬ
とイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿
物を集めて乾燥することにより、共重合体２.１ｇを得
た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式会社製Ｇ
ＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたところ、重量平
均分子量２１,０００、分子量分布２.１２であった。

【００５４】「合成例４」窒素フロー下で、２，２−ビ
ス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフル
オロプロパン１.０７６ｇ（２.９４ｍｍｏｌ）を、乾燥
したＮ−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、こ
の溶液にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏ
ｌ）を添加して攪拌後、４，４’−トランジカルボン酸
クロリド０.９０９ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で
添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹
拌した。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解し
た４−アミノ安息香酸エステル末端スチレンオリゴマ−
（分子量７０００）０．８４０ｇ（０．１２ｍｍｏｌ）
を−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室
温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してトリエチ
ルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１００ｍ
Ｌとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈
殿物を集めて乾燥することにより、共重合体２.２ｇを
得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式会社製
ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたところ、重量
平均分子量２２,０００、分子量分布２.０９であった。

【００５５】「合成例５」窒素フロー下で、２，２−ビ
ス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフル
オロプロパン１.０６１ｇ（２.９０ｍｍｏｌ）を、乾燥
したＮ−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、こ
の溶液にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏ
ｌ）を添加して攪拌後、５−エチニルイソフタル酸クロ
リド０.６８１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加
した。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌し
た。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したポ
リ（プロピレングリコール）ビス（２−アミノプロピル
エーテル）（分子量４０００）０．８ｇ（０．２ｍｍｏ
ｌ）を−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻
し、室温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してト
リエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１
００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下
し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体２.
０ｇを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式
会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたとこ
ろ、重量平均分子量２９,０００、分子量分布２.３０で
あった。

【００５６】「合成例６」窒素フロー下で、２，２−ビ
ス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフル
オロプロパン１.０６１ｇ（２.９０ｍｍｏｌ）を、乾燥
したＮ−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、こ
の溶液にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏ
ｌ）を添加して攪拌後、４，４’−トランジカルボン酸
クロリド０.９０９ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で
添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹
拌した。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解し
た４−アミノ安息香酸エステル末端メチルメタクリレー
トオリゴマー（分子量３０００）０．６ｇ（０．２ｍｍ
ｏｌ）を−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻
し、室温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してト
リエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１
００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下
し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体２.
０ｇを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式
会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたとこ
ろ、重量平均分子量２３,０００、分子量分布２.１０で
あった。

【００５７】「合成例７」窒素フロー下で、９,９−ビ
ス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フル
オレン１.１０３ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−
メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液に
トリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加
して攪拌後、５−エチニルイソフタル酸クロリド０.６
８１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添
加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その
後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解した４−アミノ
安息香酸エステル末端カプロラクトンオリゴマー（分子
量５０００）１．０ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を−１０℃で
添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温でさらに５
時間攪拌した。反応液を濾過してトリエチルアミン塩酸
塩を除去し、濾液をイオン交換水１００ｍＬとイソプロ
パノール２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて
乾燥することにより、共重合体２.１ｇを得た。得られ
た共重合体の分子量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用い
てポリスチレン換算で求めたところ、重量平均分子量２
０,０００、分子量分布２.１０であった。

【００５８】「合成例８」窒素フロー下で、９,９−ビ
ス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フル
オレン１.１０３ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−
メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液に
トリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加
して攪拌後、５−エチニルイソフタル酸クロリド０.６
８１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添
加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その
後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したアミノ末端
αメチルスチレンオリゴマー（分子量７３００）１．４
６ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を−１０℃で添加した。添加
後、徐々に室温に戻し、室温でさらに５時間攪拌した。
反応液を濾過してトリエチルアミン塩酸塩を除去し、濾
液をイオン交換水１００ｍＬとイソプロパノール２５ｍ
Ｌの混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて乾燥することに
より、共重合体２.１ｇを得た。得られた共重合体の分
子量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン
換算で求めたところ、重量平均分子量２２,０００、分
子量分布２.２６であった。

【００５９】「合成例９」窒素フロー下で、３,３’−
ジアミノ−４,４’−ジヒドロキシビフェニル０.６２７
ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−メチル−２−ピ
ロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液にトリエチルアミ
ン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加して攪拌後、５
−フェニルエチニルイソフタル酸クロリド０.９０９ｇ
（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添加後、
徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その後、γ
−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解した４−アミノ安息香
酸エステル末端エステルオリゴマー（分子量５０００）
１．０ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を−１０℃で添加した。添
加後、徐々に室温に戻し、室温でさらに５時間攪拌し
た。反応液を濾過してトリエチルアミン塩酸塩を除去
し、濾液をイオン交換水１００ｍＬとイソプロパノール
２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて乾燥する
ことにより、共重合体１.７ｇを得た。得られた共重合
体の分子量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用いてポリス
チレン換算で求めたところ、重量平均分子量２５,００
０、分子量分布２.２２であった。

【００６０】「合成例１０」窒素フロー下で、３,３’
−ジアミノ−４,４’−ジヒドロキシビフェニル０.６２
７ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−メチル−２−
ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液にトリエチルア
ミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加して攪拌後、
５−フェニルエチニルイソフタル酸クロリド０.９０９
ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添加
後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その
後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解した４−アミノ
安息香酸エステル末端エーテルエステルオリゴマー（分
子量３０００）０．６ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を−１０℃
で添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温でさらに
５時間攪拌した。反応液を濾過してトリエチルアミン塩
酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１００ｍＬとイソプ
ロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿物を集め
て乾燥することにより、共重合体１.７ｇを得た。得ら
れた共重合体の分子量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用
いてポリスチレン換算で求めたところ、重量平均分子量
２４,０００、分子量分布２.２０であった。

【００６１】「合成例１１」窒素フロー下で、９,９−
ビス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フ
ルオレン１.１４１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ
−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液
にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添
加して攪拌後、２−フェニルエチニルテレフタル酸クロ
リド０.８４８ｇ（２.８ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加
した。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌し
た。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したウ
レタンオリゴマー（分子量７０００）０．８４０ｇ
（０．１２ｍｍｏｌ）を添加した。添加後、徐々に室温
に戻し、室温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過し
てトリエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換
水１００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に
滴下し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体
２.４ｇを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー
株式会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたと
ころ、重量平均分子量２１,０００、分子量分布２.３５
であった。

【００６２】「合成例１２」窒素フロー下で、４,４’
−ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシビフェニル０.６２
７ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−メチル−２−
ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液にトリエチルア
ミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添加して攪拌後、
５−エチニルイソフタル酸クロリド０.３４１ｇ（１.５
ｍｍｏｌ）と２，７−ビフェニレンジカルボン酸クロリ
ド０．４１６ｇ（１．５ｍｍｌ）を、−１０℃で添加し
た。添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌し
た。その後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したポ
リ（プロピレングリコール）ビス（２−アミノプロピル
エーテル）（分子量４０００）０．８ｇ（０．２ｍｍｏ
ｌ）を−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻
し、室温でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してト
リエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１
００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下
し、沈殿物を集めて乾燥することにより、共重合体１.
７ｇを得た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式
会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたとこ
ろ、重量平均分子量２５,０００、分子量分布２.３５で
あった。

【００６３】「合成例１３」窒素フロー下で、９,９−
ビス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フ
ルオレン０．５５２ｇ（１．４５ｍｍｏｌ）と４,４’
−ジアミノ−３,３’−ジヒドロキシビフェニル０.３１
４ｇ（１．４５ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ−メチル−２
−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液にトリエチル
アミン０.６６８ｇ（６．６ｍｍｏｌ）を添加して攪拌
後、５−エチニルイソフタル酸クロリド０.４５４ｇ
（２．０ｍｍｏｌ）とテレフタル酸クロリド０．２０３
ｇ（１．０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。添加
後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。その
後、γ−ブチロラクトン１０ｍｌに溶解したポリ（プロ
ピレングリコール）ビス（２−アミノプロピルエーテ
ル）（分子量４０００）０．８ｇ（０．２ｍｍｏｌ）を
−１０℃で添加した。添加後、徐々に室温に戻し、室温
でさらに５時間攪拌した。反応液を濾過してトリエチル
アミン塩酸塩を除去し、濾液をイオン交換水１００ｍＬ
とイソプロパノール２５ｍＬの混合溶液に滴下し、沈殿
物を集めて乾燥することにより、共重合体２.１ｇを得
た。得られた共重合体の分子量を、東ソー株式会社製Ｇ
ＰＣを用いてポリスチレン換算で求めたところ、重量平
均分子量２１,０００、分子量分布２.１２であった。

【００６４】「合成例１４」窒素フロー下で、９,９−
ビス（（３−アミノ−４−ヒドロキシ）フェニル））フ
ルオレン１.１０３ｇ（２.９ｍｍｏｌ）を、乾燥したＮ
−メチル−２−ピロリドン１０ｍＬに溶解し、この溶液
にトリエチルアミン０.６６８ｇ（６.６ｍｍｏｌ）を添
加して攪拌後、５−エチニルイソフタル酸クロリド０.
６８１ｇ（３.０ｍｍｏｌ）を、−１０℃で添加した。
添加後、徐々に室温に戻し、室温で５時間撹拌した。反
応液を濾過してトリエチルアミン塩酸塩を除去し、濾液
をイオン交換水１００ｍＬとイソプロパノール２５ｍＬ
の混合溶液に滴下し、沈殿物を集めて乾燥することによ
り、共重合体１．５ｇを得た。得られた共重合体の分子
量を、東ソー株式会社製ＧＰＣを用いてポリスチレン換
算で求めたところ、重量平均分子量１，８０００、分子
量分布２．０２であった。

【００６５】「合成例１５」窒素フロー下で、４，４’
−ジブロモビフェニル５．３０ｇ(１７ｍｍｏｌ)、トリ
フェニルフォスフィン０．７８６ｇ（３ｍｍｏｌ）、Ｃ
ｕＩ０．２２９ｇ（１．２ｍｍｏｌ）、エチニルベンゼ
ン３．５７ｇ（３５ｍｍｏｌ）、トリエチルアミン５０
ｍｌ、ピリジン７ｍｌ、ジクロロビス（トリフェニルフ
ォスフィン）パラジウム０．０７ｇ（０．１ｍｍｏｌ）
を還流で８時間反応した。その後、トリエチルアミン及
びピリジンを減圧除去し、生じた固体を０．１ｍｏｌ／
Ｌ塩酸水溶液洗浄、水洗後、乾燥して４，４’−ビス
（フェニルエチニル）ビフェニル５．４ｇを得た。

【００６６】「合成例１６」窒素フロー下で、１，４−
ジブロモベンゼン４．０１ｇ(１７ｍｍｏｌ)、トリフェ
ニルフォスフィン０．７８６ｇ（３ｍｍｏｌ）、ＣｕＩ
０．２２９ｇ（１．２ｍｍｏｌ）、エチニルベンゼン
３．５７ｇ（３５ｍｍｏｌ）、トリエチルアミン５０ｍ
ｌ、ピリジン７ｍｌ、ジクロロビス（トリフェニルフォ
スフィン）パラジウム０．０７ｇ（０．１ｍｍｏｌ）を
還流で８時間反応した。その後、トリエチルアミン及び
ピリジンを減圧除去し、生じた固体を０．１ｍｏｌ／Ｌ
塩酸水溶液洗浄、水洗後、４８時間真空乾燥して１，４
−ビス（フェニルエチニル）ベンゼン４．２ｇを得た。

【００６７】「合成例１７」窒素フロー下で、１，４−
ジブロモナフタレン４．８６ｇ(１７ｍｍｏｌ)、トリフ
ェニルフォスフィン０．７８６ｇ（３ｍｍｏｌ）、Ｃｕ
Ｉ０．２２９ｇ（１．２ｍｍｏｌ）、エチニルベンゼン
３．５７ｇ（３５ｍｍｏｌ）、トリエチルアミン５０ｍ
ｌ、ピリジン７ｍｌ、ジクロロビス（トリフェニルフォ
スフィン）パラジウム０．０７ｇ（０．１ｍｍｏｌ）を
還流で８時間反応した。その後、トリエチルアミン及び
ピリジンを減圧除去し、生じた固体を０．１ｍｏｌ／Ｌ
塩酸水溶液洗浄、水洗後、４８時間真空乾燥して１，４
−ビス（フェニルエチニル）ナフタレン４．４ｇを得
た。

【００６８】「合成例１８」窒素フロー下で、１，３，
５−トリブロモベンゼン５．３５ｇ(１７ｍｍｏｌ)、ト
リフェニルフォスフィン０．７８６ｇ（３ｍｍｏｌ）、
ＣｕＩ０．２２９ｇ（１．２ｍｍｏｌ）、エチニルベン
ゼン３．５７ｇ（３５ｍｍｏｌ）、トリエチルアミン５
０ｍｌ、ピリジン７ｍｌ、ジクロロビス（トリフェニル
フォスフィン）パラジウム０．０７ｇ（０．１ｍｍｏ
ｌ）を還流で８時間反応した。その後、トリエチルアミ
ン及びピリジンを減圧除去し、生じた固体を０．１ｍｏ
ｌ／Ｌ塩酸水溶液洗浄、水洗後、４８時間真空乾燥し
て、１，３，５−トリス（フェニルエチニル）ベンゼン
５．８ｇを得た。

【００６９】「合成例１９」窒素フロー下で、３，
３’，５，５’−テトラブロモビフェニル、７．９９ｇ
(１７ｍｍｏｌ) 、トリフェニルフォスフィン０．７８
６ｇ（３ｍｍｏｌ）、ＣｕＩ０．２２９ｇ（１．２ｍｍ
ｏｌ）、エチニルベンゼン３．５７ｇ（３５ｍｍｏ
ｌ）、トリエチルアミン５０ｍｌ、ピリジン７ｍｌ、ジ
クロロビス（トリフェニルフォスフィン）パラジウム
０．０７ｇ（０．１ｍｍｏｌ）を還流で８時間反応し
た。その後、トリエチルアミン及びピリジンを減圧除去
し、生じた固体を０．１ｍｏｌ／Ｌ塩酸水溶液洗浄、水
洗後、４８時間真空乾燥して、３，３’，５，５’−テ
トラキス（フェニルエチニル）ビフェニル８．５ｇを得
た。

【００７０】「実施例１」合成例１で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１５で得られた４，４’−ビス（フ
ェニルエチニル）ビフェニル０．２ｇとを、シクロヘキ
サノン８.８ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２３μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.８ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００７１】「実施例２」合成例２で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１６で得られた１，４−ビス（フェ
ニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロヘキサ
ノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２０μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．３μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００７２】「実施例３」合成例３で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１５で得られた４，４’−ビス（フ
ェニルエチニル）ビフェニル０．１５ｇとを、シクロヘ
キサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたの膜厚を測定したところ
１．２５μｍであった。このフィルムを各特性の評価に
供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサノン４.
５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得られたフ
ィルムの膜厚は１０．６μｍであった。このフィルムを
弾性率の評価に供した。

【００７３】「実施例４」合成例４で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１６で得られた１，４−ビス（フェ
ニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロヘキサ
ノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２８μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．６μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００７４】「実施例５」合成例５で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１５で得られた４，４’−ビス（フ
ェニルエチニル）ビフェニル０．１５ｇとを、シクロヘ
キサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２０μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．０μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００７５】「実施例６」合成例３で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１８で得られた１，３，５−トリス
（フェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロ
ヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロ
ン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニ
スを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１
００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間
掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定
したところ１．２０μｍであった。このフィルムを各特
性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキ
サノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、
得られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。この
フィルムを弾性率の評価に供した。

【００７６】「実施例７」合成例２で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１９で得られた２，３，７，８−テ
トラキス（フェニルエチニル）ビフェニル０．１５ｇと
を、シクロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μ
ｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得
た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オ
ーブン中で１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４０
０℃／１時間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルム
の膜厚を測定したところ１．２２μｍであった。このフ
ィルムを各特性の評価に供した。また、上記ポリマー
を、シクロヘキサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を
行ったところ、得られたフィルムの膜厚は１０．６μｍ
であった。このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００７７】「実施例８」合成例２で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１９で得られた２，３，７，８−テ
トラキス（フェニルエチニル）ビフェニル０．１５ｇと
を、シクロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μ
ｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得
た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オ
ーブン中で１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４０
０℃／１時間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルム
の膜厚を測定したところ１．２２μｍであった。このフ
ィルムを各特性の評価に供した。また、上記ポリマー
を、シクロヘキサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を
行ったところ、得られたフィルムの膜厚は１０．６μｍ
であった。このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００７８】「実施例９」合成例１で得られた共重合体
１.０ｇと、合成例１５で得られた４，４’−ビス（フ
ェニルエチニル）ビフェニル０．２ｇとを、シクロヘキ
サノン８.８ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２３μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.８ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００７９】「実施例１０」合成例３で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１６で得られた１，４−ビス（フ
ェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロヘキ
サノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたの膜厚を測定したところ
１．２５μｍであった。このフィルムを各特性の評価に
供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサノン４.
５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得られたフ
ィルムの膜厚は１０．６μｍであった。このフィルムを
弾性率の評価に供した。

【００８０】「実施例１１」合成例３で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１８で得られた１，３，５−トリ
ス（フェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シク
ロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフ
ロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワ
ニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で
１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時
間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測
定したところ１．２０μｍであった。このフィルムを各
特性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘ
キサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったとこ
ろ、得られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。
このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００８１】「実施例１２」合成例２で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１７で得られた１，４−ビス（フ
ェニルエチニル）ナフタレン０．１５ｇとを、シクロヘ
キサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２２μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．６μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００８２】「実施例１３」合成例６で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１６で得られた１，４−ビス（フ
ェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロヘキ
サノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．２０μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００８３】「実施例１４」合成例７で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１７で得られた１，４−ビス（フ
ェニルエチニル）ナフタレン０．１５ｇとを、シクロヘ
キサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロン
（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニス
を、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１０
０℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛
けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定し
たところ１．１０μｍであった。このフィルムを各特性
の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサ
ノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得
られたフィルムの膜厚は１０．８μｍであった。このフ
ィルムを弾性率の評価に供した。

【００８４】「実施例１５」合成例１２で得られた共重
合体１.０ｇと、合成例１６で得られた１，４−ビス
（フェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シクロ
ヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフロ
ン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワニ
スを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で１
００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間
掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定
したところ１．２４μｍであった。このフィルムを各特
性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキ
サノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、
得られたフィルムの膜厚は１１．５μｍであった。この
フィルムを弾性率の評価に供した。

【００８５】「実施例１６」合成例１３で得られた共重
合体１.０ｇと、合成例１７で得られた１，４−ビス
（フェニルエチニル）ナフタレン０．１５ｇとを、シク
ロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフ
ロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワ
ニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で
１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時
間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測
定したところ１．２０μｍであった。このフィルムを各
特性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘ
キサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったとこ
ろ、得られたフィルムの膜厚は１０．５μｍであった。
このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００８６】「実施例１７」合成例１０で得られた共重
合体１.０ｇと、合成例１８で得られた１，３，５−ト
リス（フェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シ
クロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテ
フロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。この
ワニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中
で１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１
時間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を
測定したところ１．３０μｍであった。このフィルムを
各特性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロ
ヘキサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったとこ
ろ、得られたフィルムの膜厚は１１．０μｍであった。
このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００８７】「実施例１８」合成例１１で得られた共重
合体１.０ｇと、合成例１９で得られた２，３，７，８
−テトラキス（フェニルエチニル）ビフェニル０．１５
ｇとを、シクロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.
２μｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを
得た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素
オーブン中で１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４
００℃／１時間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィル
ムの膜厚を測定したところ１．２５μｍであった。この
フィルムを各特性の評価に供した。また、上記ポリマー
を、シクロヘキサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を
行ったところ、得られたフィルムの膜厚は１０．９μｍ
であった。このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００８８】「実施例１９」合成例９で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１８で得られた１，３，５−トリ
ス（フェニルエチニル）ベンゼン０．１５ｇとを、シク
ロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔径０.２μｍのテフ
ロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニスを得た。このワ
ニスを、シリコンウエハ上に塗布し、窒素オーブン中で
１００℃／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時
間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測
定したところ１．２２μｍであった。このフィルムを各
特性の評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘ
キサノン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったとこ
ろ、得られたフィルムの膜厚は１０．３μｍであった。
このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００８９】「実施例２０」合成例８で得られた共重合
体１.０ｇと、合成例１９で得られた３，３’，５，
５’−テトラキス（フェニルエチニル）ビフェニル０．
１５ｇとを、シクロヘキサノン８.８５ｇに溶解し、孔
径０.２μｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワ
ニスを得た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布
し、窒素オーブン中で１００℃／３０分＋２００℃／３
０分＋４００℃／１時間掛けて、乾燥硬化させ、得られ
たフィルムの膜厚を測定したところ１．２０μｍであっ
た。このフィルムを各特性の評価に供した。また、上記
ポリマーを、シクロヘキサノン４.５ｇに溶解し、同様
な操作を行ったところ、得られたフィルムの膜厚は１
０．５μｍであった。このフィルムを弾性率の評価に供
した。

【００９０】（比較例１）合成例５で得られた共重合体
１.０ｇを、シクロヘキサノン９.００ｇに溶解し、孔径
０.２μｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワニ
スを得た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布し、
窒素オーブン中で１００℃／３０分＋２００℃／３０分
＋４００℃／１時間掛けて、乾燥硬化させ、得られたフ
ィルムの膜厚を測定したところ１．３０μｍであった。
このフィルムを各特性の評価に供した。また、上記ポリ
マーを、シクロヘキサノン４.０ｇに溶解し、同様な操
作を行ったところ、得られたフィルムの膜厚は１１．０
μｍであった。このフィルムを弾性率の評価に供した。

【００９１】（比較例２）合成例１４で得られた共重合
体１.０ｇを、シクロヘキサノン９.００ｇに溶解し、孔
径０.２μｍのテフロン（Ｒ）フィルターで濾過してワ
ニスを得た。このワニスを、シリコンウエハ上に塗布
し、酸素濃度１００ｐｐｍ以下のオーブン中で１００℃
／３０分＋２００℃／３０分＋４００℃／１時間掛け
て、乾燥硬化させ、得られたフィルムの膜厚を測定した
ところ１．３１μｍであった。このフィルムを各特性の
評価に供した。また、上記ポリマーを、シクロヘキサノ
ン４.５ｇに溶解し、同様な操作を行ったところ、得ら
れたフィルムの膜厚は１１．０μｍであった。このフィ
ルムを弾性率の評価に供した。

【００９２】

【表１】

【００９３】表１にまとめた、実施例および比較例の評
価結果から、本発明の絶縁膜用コーティングワニスから
得られた絶縁膜（被膜）は、優れた耐熱性と低吸水性を
維持しながら、低誘電率化を可能とすることが分かる。

【００９４】

【発明の効果】本発明の絶縁膜用コーティングワニスよ
り得られる絶縁膜は、優れた熱地区制、電気特性、吸水
性を達成することができ、特に、誘電率の極めて低く、
半導体用の層間絶縁膜、保護膜、多層回路の層間絶縁
膜、フレキシブル銅張板のカバーコート、ソルダーレジ
スト膜、液晶配向膜等の用途に、好適に使用することが
できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/312 Ｈ０１Ｌ 21/312 Ａ Ｆターム(参考） 4J038 CC081 CC082 CG141 CG142 DD001 DD002 DD011 DD012 DD161 DD162 DF021 DF022 DG001 DG002 DJ001 DJ002 DJ031 DJ032 FA012 KA03 KA06 MA04 MA07 MA09 MA14 NA11 NA14 NA21 PA18 PA19 PB09 4J043 PA08 PA19 QB15 QB23 QB34 RA07 SA06 SA47 SA71 SA72 SB03 TA12 TA35 TA61 TA71 TB03 UA121 UA122 UA131 UA132 UA141 UA142 UA151 UA152 UA161 UA162 UA252 UA261 UA262 UB012 UB021 UB022 UB061 UB062 UB082 UB121 UB122 UB131 UB132 UB301 UB302 UB401 UB402 VA011 VA021 VA041 VA051 VA061 VA081 VA091 VA101 YA06 ZB11 ZB47 5F058 AA04 AA10 AC10 AF04 AG01 AH03 5G305 AA11 AB10 AB24 BA09 CA20 CA51 CB13 CB16

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （１）一般式（Ａ）で表わされる繰り返
   し単位を有するポリアミドと該ポリアミド構造中のカル
   ボキシ基、アミノ基又はヒドロキシ基と反応し得る置換
   基を有する反応性オリゴマーとを反応させて得られた共
   重合体、（２）少なくとも１個のアセチレン構造を含む
   官能基を有するアセチレン化合物、および（３）有機溶
   媒、を必須成分とすることを特徴とする絶縁膜用コーテ
   ィングワニス。 【化１】 [式中、ｍ及びｎは、ｍ＞０，ｎ≧０，２≦ｍ＋ｎ≦１
   ０００，及び０.０５≦ｍ／（ｍ＋ｎ）≦１の関係を満
   たす整数である。また、Ｒ₁〜Ｒ₄は、水素原子又は一価
   の有機基であり、Ｘは、式（Ｃ）で表される基の中から
   選ばれる四価の基、Ｙ₁は、式（Ｄ），式(Ｅ)，式
   （Ｆ），及び式（Ｇ）で表される基の中から選ばれる少
   なくとも１つの二価の基を表す。Ｙ₂は、式（Ｈ）で表
   される基の中から選ばれる二価の基を表す。また、一般
   式（Ａ）において繰り返し単位の配列は、ブロック的で
   あってもランダム的であっても構わない。] 【化２】 【化３】 【化４】 【化５】 【化６】 【化７】 【化８】 [式（Ｃ）及び式（Ｈ）中のＸ₁は、式（Ｉ）で表される
   基の中から選ばれる二価の基を示す。式（Ｅ）中のＲ
   は、ナフタレン基、フェニル基、又はアルキル基を示
   す。また、式（Ｃ）〜式（Ｉ）で表される基における、
   ベンゼン環上の水素原子は、メチル基、エチル基、プロ
   ピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔ
   −ブチル基、フッ素原子、及びトリフルオロメチル基か
   らなる群より選ばれる、少なくとも１個の基で置換され
   ていても良い。]
2. 【請求項２】 ポリアミドが、一般式（Ａ）中のＹ₁と
   して、式（Ｄ）で表される基の中から選ばれる二価の基
   を有する、請求項１記載の絶縁膜用コーティングワニ
   ス。
3. 【請求項３】 ポリアミドが、一般式（Ａ）中のＹ₁と
   して、式（Ｅ）で表される基の中から選ばれる二価の基
   を有する、請求項１記載の絶縁膜用コーティングワニ
   ス。
4. 【請求項４】 ポリアミドが、一般式（Ａ）中のＹ₁と
   して、式（Ｆ）で表される基の中から選ばれる二価の基
   を有する、請求項１記載の絶縁膜用コーティングワニ
   ス。
5. 【請求項５】 ポリアミドが、一般式（Ａ）中のＹ₁と
   して、式（Ｇ）で表される基の中から選ばれる二価の基
   を有する、請求項１記載の絶縁膜用コーティングワニ
   ス。
6. 【請求項６】反応性オリゴマーが、ポリオキシアルキレ
   ン、ポリメチルメタクリレート、ポリα−メチルスチレ
   ン、ポリスチレン、ポリエステル、ポリエーテルエステ
   ル、ポリカプロラクトン及びポリウレタンの中から選ば
   れる少なくとも１種である請求項１ないし請求項５のい
   ずれかに記載の絶縁膜用コーティングワニス。
7. 【請求項７】反応性オリゴマーが、数平均分子量１００
   〜１０，０００のものである請求項１ないし請求項６記
   載の絶縁膜用コーティングワニス。
8. 【請求項８】 少なくとも１個のアセチレン構造を含む
   官能基を有するアセチレン化合物が、ベンゼン、ナフタ
   レン、ビフェニル、ジフェニルエーテル、ジフェニルス
   ルホン、２，２−ジフェニルプロパン、２，２−ジフェ
   ニルトリフルオロプロパン、シクロヘキサン、デカヒド
   ロナフタレン、ジベンジルベンゼン、ジフェノキシベン
   ゼンまたはビナフチル骨格に少なくとも１個のアセチレ
   ン基を含む官能基を有するアセチレン化合物である請求
   項１ないし請求項７に記載の絶縁膜用コーティングワニ
   ス。
9. 【請求項９】 ポリアミド１００重量部に対して、少な
   くとも１個のアセチレン基を含む官能基を有するアセチ
   レン化合物を、１〜５０重量部配合してなることを特徴
   とする、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の絶
   縁膜用コーティングワニス。
10. 【請求項１０】 ポリアミド１００重量部に対して、少
    なくとも１個のアセチレン基を含む官能基を有するアセ
    チレン化合物を、５〜３０重量部配合してなることを特
    徴とする、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の
    絶縁膜用コーティングワニス。
11. 【請求項１１】 請求項１ないし請求項１０のいずれか
    に記載された絶縁膜用コーティングワニスを塗布・乾燥
    して、有機溶媒を除去して得られたものであることを特
    徴とする絶縁膜。
12. 【請求項１２】 請求項１ないし請求項１０のいずれか
    に記載された絶縁膜用コーティングワニスを塗布・乾燥
    し、さらに加熱処理して、縮合反応及び架橋反応させて
    得られるポリベンゾオキサゾールからなり、且つ、微細
    孔を有することを特徴とする絶縁膜。
13. 【請求項１３】 絶縁膜の微細孔の大きさが、1μｍ以
    下である、請求項１１または１２記載の絶縁膜。
14. 【請求項１４】 絶縁膜の微細孔の大きさが、１００ｎ
    ｍ以下である、請求項１１または１２記載の絶縁膜。
15. 【請求項１５】 絶縁膜の微細孔の大きさが、２０ｎｍ
    以下である、請求項１１または１２記載の絶縁膜。
16. 【請求項１６】 絶縁膜の微細孔の大きさが、１０ｎｍ
    以下である、請求項１１または１２記載の絶縁膜。
17. 【請求項１７】 請求項１２または請求項１６に記載さ
    れた絶縁膜を用いたことを特徴とする半導体装置。