JP2003188463A - 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置 - Google Patents

発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置

Info

Publication number
JP2003188463A
JP2003188463A JP2001384138A JP2001384138A JP2003188463A JP 2003188463 A JP2003188463 A JP 2003188463A JP 2001384138 A JP2001384138 A JP 2001384138A JP 2001384138 A JP2001384138 A JP 2001384138A JP 2003188463 A JP2003188463 A JP 2003188463A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
light emitting
emitting device
electrodes
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001384138A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4054958B2 (ja
Inventor
Junji Sato
淳史 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2001384138A priority Critical patent/JP4054958B2/ja
Publication of JP2003188463A publication Critical patent/JP2003188463A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4054958B2 publication Critical patent/JP4054958B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 実装の際に水平安定性が高い発光装置および
これを用いた光モジュール、表示装置、光伝送装置を提
供する。 【解決手段】 基板10と交差する方向に光を出射する
発光装置1000であって、第1の電極30と、前記基
板10に対して前記第1の電極30よりも低い位置に配
置される第2の電極40と、前記基板10に対して前記
第1の電極30と同じ高さの位置でかつ前記第2の電極
40を挟んで前記第1の電極30と対向する位置に配置
され、前記各電極30、40と絶縁されているダミー電
極60と、を含み、前記各電極30、40、60は、基
板10に対して同一面側に配置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板と交差する方
向に光を出射する発光装置およびこれを用いた光モジュ
ール、表示装置、光伝送装置に関する。
【0002】
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】面発光型
の発光素子の実装技術として、パッケージの小型化、電
極配置の高密度化を目的として、素子をフェースダウン
状態で実装するフリップチップボンディングが実用化さ
れている。
【0003】このフリップチップボンディングに適した
電極の配置としては、基板に対して一方の側にすべての
電極を配置することが望ましいが、発光素子、例えば、
化合物半導体レーザーにおいて実現する場合は、一方の
電極は活性層より上方に配置され、他方の電極は活性層
より下方に配置されるために電極間に段差が生じる。こ
の電極間の段差は、フリップチップボンディングによる
実装の際に、素子の水平安定性を十分に確保することを
困難とする要因となっている。
【0004】また、かかる実装の際の素子の水平安定性
を改善した例として、特開平11−266058号公報
がある。かかる構造においては、電極に生ずる曲部(ま
たは尖鋭部)が、容量性負荷の増加をもたらし、素子の
高周波駆動を妨げる要因となるという懸念がある。
【0005】本発明の目的は、実装の際に水平安定性が
高い発光装置およびこれを用いた光モジュール、表示装
置、光伝送装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る発光
装置は、基板と交差する方向に光を出射する発光装置で
あって、第1の電極と、前記基板に対して前記第1の電
極よりも低い位置に配置される第2の電極と、前記基板
に対して前記第1の電極と同じ高さの位置でかつ前記第
2の電極を挟んで前記第1の電極と対向する位置に配置
され、前記各電極と絶縁されているダミー電極と、を含
み、前記各電極は、基板に対して同一面側に配置され
る。
【0007】かかる発光装置によれば、第1の電極と同
じ高さの位置でかつ前記第2の電極を挟んで前記第1の
電極と対向する位置に配置されるダミー電極を設けるこ
とにより、フェースダウン状態での実装の際に前記第1
の電極およびダミー電極の2点の支持により素子の水平
安定性を十分に確保することができ、他の光学部品との
結合性が向上する。
【0008】また、前記ダミー電極は、例えば、絶縁層
などを介して配置されることにより、他の電極とは電気
的に絶縁されているので素子の高周波駆動への影響が少
ない。したがって、本発明に係る発光装置によれば、素
子の高周波特性を十分に担保しつつ実装の際の水平安定
性を確保することができる。
【0009】(2)また、本発明に係る発光装置は、基
板と交差する方向に光を出射する発光装置であって、複
数の第1の電極と、前記基板に対して前記第1の電極よ
りも低い位置に配置される複数の第2の電極と、を含
み、前記各電極は、基板に対して同一面側に配置され、
前記複数の第1の電極と前記複数の第2の電極とは、互
いに対向する位置に配置される複数の電極対を構成し、
前記複数の電極対は、異なる高さの電極が交互に隣り合
うように配置される。
【0010】かかる発光装置によれば、高さの異なる第
1および第2の電極が一対の電極対を構成し、かかる電
極対が複数配置され、この複数の電極対どうしにおい
て、異なる高さの電極が交互に隣り合うように配置され
るため、フェースダウン状態での実装の際に複数の第1
の電極によって素子が支持され、水平安定性を十分に確
保することができ、他の光学部品との結合性が向上す
る。
【0011】(3)また、本発明に係る発光装置は、基
板と交差する方向に光を出射する発光装置であって、複
数の第1の電極と、前記基板に対して前記第1の電極よ
りも低い位置に配置される複数の第2の電極と、を含
み、前記各電極は、基板に対して同一面側に配置され、
前記複数の第1の電極と前記複数の第2の電極とは、互
いに対向する位置に配置される複数の電極対を構成し、
前記複数の電極対の少なくとも2つの電極対は、前記第
2の電極が隣り合うように配置される。
【0012】かかる発光装置によれば、少なくとも2つ
の電極対において、第2の電極が隣り合い、これら第2
の電極を挟むように対向する位置に第1の電極が配置さ
れるので、フェースダウン状態での実装の際に複数の第
1の電極によって素子が支持され、水平安定性を十分に
確保することができ、他の光学部品との結合性が向上す
る。
【0013】(4)また、本発明に係る発光装置は、基
板と交差する方向に光を出射する発光装置であって、複
数の第1の電極と、前記基板に対して前記第1の電極よ
りも低い位置に配置される少なくとも1つの第2の電極
と、を含み、前記各電極は、基板に対して同一面側に配
置され、前記複数の第1の電極は、前記第2の電極の周
囲に対称的に配置される。
【0014】なお、前記第2の電極は、前記複数の第1
の電極のそれぞれに対応する複数の電極を含むことがで
きる。
【0015】かかる発光装置によれば、第2の電極の周
囲に複数の第1の電極が対称的に配置されるため、フェ
ースダウン状態での実装の際に複数の第1の電極によっ
て素子が支持され、水平安定性を十分に確保することが
でき、他の光学部品との結合性が向上する。
【0016】(5)また、本発明に係る発光装置は、基
板と交差する方向に光を出射する発光装置であって、第
1の電極と、前記基板に対して前記第1の電極よりも低
い位置に配置される第2の電極と、前記基板に対して前
記第1の電極と同じ高さの位置に配置される他の第1の
電極またはダミー電極と、を含み、前記各電極は、前記
基板に対して同一面側に配置される。
【0017】かかる発光装置によれば、基板に対する高
さが異なる第1および第2の電極が基板に対して同一面
側に配置される。そして、本発明に係る発光装置は、第
1の電極と同じ高さに配置される他の第1の電極または
ダミー電極を設けることにより、少なくとも2以上の同
じ高さの部位を有するので、フェースダウン状態での実
装の際に素子の水平安定性を確保することができ、他の
光学部品との結合性が向上する。
【0018】ここで、上記各発光装置は、以下の態様を
取り得る。
【0019】(A)本発明に係る発光装置において、前
記第1の電極は、開口部を有し、該開口部から光が出射
される。
【0020】かかる構成によれば、光の出射口として、
第1の電極に開口部を有し、係る開口部より光が出射さ
れ、基板に対して積層方向から光を取り出すことができ
る。
【0021】(B)また、本発明に係る発光装置は、前
記基板に対して、前記各電極が配置された面と異なる面
から光が出射される。
【0022】かかる構成によれば、基板に対して積層方
向と反対の方向から光が出射されるので、フェースダウ
ン状態で実装した際に実装面と異なる方向から光を取り
出すことができる。
【0023】なお、上記各発光装置は、例えば、ガリウ
ム砒素(GaAs)系、インジウム燐(InP)系、窒
化ガリウム(GaN)系などの化合物系半導体の発光装
置や、エレクトロルミネッセンス(EL)により発光す
る、有機系または無機系の発光装置など、各種の面発光
型の発光装置に適用することができ、それぞれの発光装
置に好適な公知の材料および公知の製造方法を用いて実
現することができる。
【0024】また、上記した本発明に係る各発光装置を
光モジュールに適用した場合は、以下のような態様を取
り得る。
【0025】(6)本発明に係る光モジュールは、上記
発光装置と、前記発光装置の各電極に対応する導電層お
よび貫通孔を有するプラットフォームと、前記プラット
フォームの貫通孔の一方の側に搭載される光導波路と、
を含み、前記発光装置は、前記プラットフォームの他方
の側に搭載され、該発光装置の各電極と該プラットフォ
ームの前記導電層とが接合され、前記発光装置から出射
した光が前記貫通孔および光導波路を通過して出射され
る。
【0026】かかる光モジュールによれば、発光装置が
水平に安定して搭載されるので、発光装置から出射した
光を低損失で光導波路に導光することができる。
【0027】また、本発明に係る光モジュールにおい
て、前記光導波路は、前記貫通孔に対応して設けること
ができ、かかる構成によれば、各貫通孔を通過する光を
別々の光導波路により異なる装置へ供給することができ
る。
【0028】(7)また、本発明に係る光モジュール
は、上記発光装置と、前記発光装置の各電極に対応する
導電層を有するプラットフォームと、を含み、前記発光
装置の各電極は、該各電極に対応する前記プラットフォ
ームの導電層と接合されている。
【0029】かかる光モジュールにおいても、発光装置
が水平に安定して搭載されるので、発光装置から出射し
た光を外部に取り出す場合に、発光装置の実装の際に生
じる素子の傾きによる光の出射方向への影響を低減する
ことができる。
【0030】また、上記各光モジュールは、前記発光装
置の各電極の前記基板に対する高さに応じて、各電極と
該各電極に対応する前記導電層との間に配置されたバン
プの高さが異なる。
【0031】すなわち、本発明に係る光モジュールは、
上記発光装置を上記プラットフォームに実装した状態
で、第1の電極と導電層との間に配置されたバンプと、
第2の電極と導電層との間に配置されたバンプとの高さ
が異なることにより発光装置の水平安定性が確保され
る。
【0032】なお、上記プラットフォームは、絶縁体、
導電体、半導体など各種の材料から好適なものを選択し
て形成することができ、例えば、シリコン、セラミッ
ク、鉄や銅などの金属又は樹脂のいずれであってもよ
い。また、上記プラットフォームに設けられる導電層
は、発光装置の各電極との接合用および他部(例えば、
外部端子)への接続用の配線を含むものとする。また、
このプラットフォームには必要に応じて上記発光装置の
駆動回路を集積することができる。
【0033】(8)また、本発明に係る光モジュール
は、該光モジュールを含んで構成される表示装置や光伝
送装置に適用することができる。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について図面を参照して説明する。
【0035】(第1の実施形態)図1は、本発明の第1
の実施形態に係る発光装置1000の一例を模式的に示
す図である。この発光装置1000は、例えば、化合物
半導体レーザーの場合、第1および第2の電極30、4
0を通電させることにより、第1の電極30の開口部7
0から基板10と交差する方向に光が出射される、いわ
ゆる面発光型の発光装置である。また、発光装置100
0は、図1(A)に示すように、第1の電極30とダミ
ー電極60とが、第2の電極40を挟んで対向する位置
に配置され、かつ基板10に対して同一面側に配置され
ている。絶縁層20は、第1の電極30と第2の電極4
0との短絡防止および第1の電極30の平坦性確保のた
めに設けられるが、本発明の実施の形態としては必須の
構成要素ではなく、必要に応じて設ければよい。
【0036】発光装置1000は、例えば、ガリウム砒
素(GaAs)系、インジウム燐(InP)系、窒化ガ
リウム(GaN)系などの化合物系半導体の発光装置
や、エレクトロルミネッセンス(EL)により発光す
る、有機系または無機系の発光装置など、各種の面発光
型の発光装置に適用することができ、それぞれの発光装
置に好適な公知の材料および公知の製造方法を用いて実
現することができる。後述する各実施形態においても同
様である。
【0037】図1(B)は、図1(A)のa−a断面を
模式的に示す図である。発光装置1000は、図1
(B)に示すように、活性層(または発光層)などを含
む発光素子部11上の異なる高さの位置に第1の電極3
0、第2の電極40が配置される。また、発光装置10
00において、ダミー電極60は、発光素子部11と絶
縁層50を介して第1の電極30と基板10に対して同
じ高さに配置されており、発光装置1000の各部と電
気的に絶縁されている。この絶縁層50は、発光素子部
11の上に設けられる場合に限らず、基板10上に直接
設けられる場合もある。なお、発光素子部11には、必
要に応じて電荷輸送層、電荷注入層、共振発生用の反射
鏡や、回折格子などが設けられる場合もある。
【0038】このように、本実施形態に係る発光装置1
000によれば、第1の電極30と同じ高さの位置でか
つ前記第2の電極40を挟んで前記第1の電極と対向す
る位置に配置されるダミー電極60を設けることによ
り、フェースダウン状態での実装の際に前記第1の電極
30およびダミー電極60の2点の支持により素子の水
平安定性を十分に確保することができ、他の光学部品と
の結合性が向上する。
【0039】また、前記ダミー電極60は、絶縁層50
を介して配置されることにより、発光素子部11や各電
極30、40とは電気的に絶縁されているので素子の高
周波駆動への影響が少ない。したがって、本実施形態に
係る発光装置1000によれば、素子の高周波特性を十
分に担保しつつ実装の際の水平安定性を確保することが
できる。
【0040】なお、本実施形態においては、発光装置1
000の電極配置面から光が出射される場合を想定し
て、第1の電極30に開口部70が設けられる構成の場
合を説明したが、光を基板10を通過する方向に出射さ
せる場合においては開口部70は設けられなくてもよ
い。また、第2の電極40は、発光素子部11上に設け
られる場合に限られず、基板10上に設けられていても
よい。後述する各実施形態においても同様である。
【0041】(第2の実施形態)図2は、本発明の第2
の実施形態に係る発光装置2000を模式的に示す図で
ある。図1で示す部材と実質的に同じ機能を有する部材
には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。発光装置
2000は、第1の実施形態に係る発光装置1000と
同様の基本的機能を有するものとする。
【0042】この発光装置2000は、複数の第1の電
極31〜33と複数の第2の電極41〜43とが、複数
の電極対を構成して基板10に対して同一面側に配置さ
れている。本実施形態では、第1の電極31と第2の電
極41とが対向する位置に配置されて一つの電極対を構
成し、同様に、第1の電極32および第2の電極42、
第1の電極33および第2の電極43がそれぞれ一対の
電極対を構成する。また、各電極間は、第1の実施形態
の場合と同じように、絶縁層20により絶縁され、この
絶縁層20により第1の電極31〜33の平坦性が確保
されている。また、各第1の電極31〜33には、開口
部71〜73が設けられており、この開口部71〜73
より光が出射される。
【0043】発光装置2000は、これらの電極対どう
しにおいて、異なる高さの電極が交互に隣り合うように
配置されることにより、フェースダウン状態で実装する
際に第1の電極31、32、33の3点で支持される。
したがって、本実施形態に係る発光装置2000によれ
ば、実装の際の水平安定性を十分に確保することがで
き、他の光学部品との結合性が向上する。
【0044】なお、本実施形態においては、電極対が3
対配置される場合について説明したが、この電極対は、
少なくとも2対以上設けられればよい。また、本実施形
態においては、電極対が1列に配置されている場合につ
いて説明したが、2列以上の配置でもよいものとする。
【0045】(第3の実施形態)図3は、本発明の第3
の実施形態に係る発光装置3000を模式的に示す図で
ある。図1で示す部材と実質的に同じ機能を有する部材
には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。発光装置
3000は、第1の実施形態に係る発光装置1000と
同様の基本的機能を有するものとする。
【0046】この発光装置3000は、複数の第1の電
極31〜34と複数の第2の電極41〜44とが、複数
の電極対を構成して基板10に対して同一面側に配置さ
れている。本実施形態では、第1の電極31と第2の電
極41とが対向する位置に配置されて一つの電極対を構
成し、同様に、第1の電極32および第2の電極42、
第1の電極33および第2の電極43、第1の電極34
および第2の電極44がそれぞれ一対の電極対を構成す
る。また、各電極間は、第1の実施形態の場合と同じよ
うに、絶縁層20により絶縁され、この絶縁層20によ
り第1の電極31〜34の平坦性が確保されている。ま
た、各第1の電極31〜34には、開口部71〜74が
設けられており、この開口部71〜74より光が出射さ
れる。
【0047】発光装置3000では、これらの電極対の
うち第1および第2の電極31、41に係る電極対と第
1および第2の電極32、42に係る電極対において、
第2の電極41、42どうしが隣り合うように配置され
ている。すなわち、第1の電極31、32は、各々に対
応する第2の電極41、42と対向しつつ、これら第2
の電極41、42を間に挟むように配置されている。
【0048】また、第1および第2の電極33、43に
係る電極対は、第1および第2の電極31、41に係る
電極対との関係においては、異なる高さの電極が隣り合
うように配置されており、第1および第2の電極32、
42に係る電極対と第1および第2の電極34、44に
係る電極対との関係においても同様である。
【0049】このように、本実施形態に係る発光装置3
000は、第1の電極31〜34の上記配置関係によ
り、フェースダウン状態での実装の際に電極31と電極
32と電極33および電極34の略3点で支持される。
したがって、本実施形態に係る発光装置3000によれ
ば、実装の際の水平安定性を十分に確保することがで
き、他の光学部品との結合性が向上する。
【0050】なお、本実施形態においては、第2の電極
対41、42が隣り合い、かつ第1の電極対31、32
がこれらの第2の電極41、42を間に挟むように配置
された場合を例に説明したが、第1および第2の電極3
3、43に係る電極対と第1および第2の電極34、4
4に係る電極対においても同様の関係となるように配置
してもよい。
【0051】また、本実施形態は、4つの電極対のうち
の2つの電極対において、上記配置関係が成り立つ場合
を説明したが、さらに他の電極対が配置され、2つ以上
の電極対において上記配置関係が成り立つように配置さ
れていても同様の効果を奏することができる。
【0052】(第4の実施形態)図4は、本発明の第4
の実施形態に係る発光装置4000を模式的に示す図で
ある。図1で示す部材と実質的に同じ機能を有する部材
には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。発光装置
4000は、第1の実施形態に係る発光装置1000と
同様の基本的機能を有するものとする。
【0053】この発光装置4000では、第1の電極3
1〜34および第2の電極40が基板10に対して同一
面側に配置されており、第2の電極40を第1の電極3
1〜34のそれぞれに対応する共通電極として、この第
2の電極40の周囲に第1の電極31、32が対称的に
配置され、同様に第1の電極33、34が第2の電極4
0の周囲に対称的に配置されている。
【0054】また、各電極間は、第1の実施形態の場合
と同じように、絶縁層20により絶縁され、この絶縁層
20により第1の電極31〜34の平坦性が確保されて
いる。さらに、各第1の電極31〜34には、開口部7
1〜74が設けられており、この開口部71〜74より
光が出射される。
【0055】このように、本実施形態に係る発光装置4
000では、第2の電極40の周囲に第1の電極31〜
34が対称的に配置されているので、フェースダウン状
態での実装の際には、これら第1の電極31〜34の4
点で素子が支持される。したがって、本実施形態に係る
発光装置4000によれば、実装の際の水平安定性を十
分に確保することができ、他の光学部品との結合性が向
上する。
【0056】なお、本実施形態においては、第2の電極
40が第1の電極31〜34に対する共通電極である場
合を例に説明をしたが、第2の電極は、その周囲に配置
される第1の電極のそれぞれに対応するように複数の電
極に分割して設けることもできる。また、第1の電極の
配置関係は、第2の電極の周囲に対称的であればよく、
図4に示す態様に特に限定されない。
【0057】以下の各実施形態においては、上記第1〜
第4の実施形態に係る発光装置が実装された光モジュー
ルについて説明する。
【0058】(第5の実施形態)図5は、本発明の第5
の実施形態に係る光モジュール10000の主要な構成
の一例を模式的に示す図である。図5において、図5
(A)に示す断面は、図5(B)に示す発光装置100
0の搭載面から光モジュール10000を見た平面図に
おけるa−a断面をいう。本実施形態においては主要な
構成として、本発明に本質的な部分について図示および
説明し、その他の部材、例えば、パッケージ筐体、外部
接続用端子などは図示、詳細な説明を省略するが、公知
のものを必要に応じて構成要素として採用することがで
きるものとする。
【0059】この光モジュール10000は、図5
(A)に示すように、プラットフォーム500の一方の
側に上記第1の実施形態に係る発光装置1000が搭載
され、他方の側に光ファイバ300が搭載されて構成さ
れる。光ファイバ300は、光導波路の一例である。
【0060】プラットフォーム500の形状は、例え
ば、図5(B)に示すような板状のものに限らず、特に
限定されない。例えば、プラットフォーム500は、直
方体や立方体、円柱など好適な形状を採用することがで
きる。また、このプラットフォーム500を構成する材
料についても特に限定されず、絶縁体、導体又は半導体
のいずれかであってもよく、例えばシリコン、セラミッ
ク、鉄や銅などの金属又は樹脂のいずれであってもよ
い。
【0061】また、このプラットフォーム500には、
導光用の貫通孔200が設けられている。この貫通孔2
00は、発光装置1000が搭載される側から、光ファ
イバ300が搭載される側へ貫通している。この貫通孔
200の位置は、搭載される発光装置1000からの光
の出射口、本実施形態では開口部70の位置により決定
される。
【0062】なお、この貫通孔200の径は、接続され
る光ファイバ300のコア径に基づいて決定され、好ま
しくは光ファイバ300のコア径と同じまたは光ファイ
バ300のコア径よりも小さいほうが導光した光を低損
失で光ファイバへ入射することができる。また、貫通孔
200の断面形状は、図5(B)に示すような直線的形
状に限らず、発光装置1000または光ファイバ200
のいずれか一方の搭載面に向かって細くなっていくよう
なテーパー形状であってもよい。また、貫通孔200の
プラットフォーム500の表面に対する平面視の形状
は、図5(B)に示す円形に限られず、四角形等の多角
形であってもよい。
【0063】さらに、プラットフォーム500には、搭
載される発光装置の各電極に対応する導電層101〜1
03が配置され、本実施形態においては、第1および第
2の電極30、40に対応する導電層101、102に
は外部端子へ接続するための配線および電極パッドが含
まれる。なお、ダミー電極60に対応する導電層103
については、前記配線及び電極パッドは、特に必要とさ
れないため設けられていない。なお、前記配線及び電極
パッド必要に応じて設けられればよく、上記プラットフ
ォーム500の必須の構成要素とはされない。また、各
導電層101〜103は、プラットフォーム500にお
ける発光装置1000の搭載面から光ファイバ300の
搭載面まで導通するように形成されていていれば、光フ
ァイバ300の搭載面から例えば、外部端子などに接続
することもできる。また、このプラットフォーム500
には必要に応じて発光装置1000の駆動回路を集積す
ることもできる。
【0064】上記プラットフォーム500が導電体又は
半導体を材料として構成されている場合は、絶縁層を介
して各導電層101〜103を形成することが好まし
い。例えば、シリコンによって上記プラットフォーム5
00が構成されているときには、発光装置1000の搭
載面側に酸化膜を形成し、その上に各導電層101〜1
03を形成してもよい。
【0065】プラットフォーム500および発光装置1
000は、発光装置1000の各電極30、40、60
とこれらに対応するプラットフォーム500の導電層1
01〜103とが、バンプ81〜83により接続されて
いる。第1の電極30と導電層101およびダミー電極
60と導電層103は発光装置1000がプラットフォ
ーム500に対して水平となるように接続される。そし
て、第2の電極40と導電層102とは、結果として、
第1の電極30およびダミー電極60をプラットフォー
ム500に接続した状態のバンプの高さと、第2の電極
40をプラットフォーム500に接続した状態のバンプ
の高さとが異なるように接続される。このように第1の
電極30とダミー電極60とが同じ高さであるので、発
光装置1000は、水平安定性を確保しつつプラットフ
ォーム500へ実装される。
【0066】なお、プラットフォーム500の導電層1
02と発光装置1000の第2の電極40との接続にお
いては、プラットフォーム500または発光装置100
0のいずれかに導電性のスペーサーを設けて電極−導電
層間をそれぞれ等距離にして接続することができる。こ
れにより第1の電極30と導電層101とを接続するバ
ンプ81と第2の電極40と導電層102とを接続する
バンプ82とが同じ大きさのものを使用できるので、プ
ラットフォーム500への発光装置1000の実装がよ
り簡便なものとなる。
【0067】また、バンプ81〜83の材料は、例え
ば、金、アルミニウム等の単体金属やはんだ等の合金な
ど公知の材料から適宜選択することができる。例えば、
金などの変形性に優れた材料を用いれば、バンプ81〜
83を発光装置1000の実装前には同じ大きさとして
も、実装後はバンプ81、83は同じ高さとなるので、
各電極30、40、60の高さが異なるにもかかわらず
発光装置1000のプラットフォーム500上での水平
安定性を自己整合的に確保することができる。
【0068】プラットフォーム500と光ファイバ30
0とは公知の手法により接続される。例えば、樹脂によ
りプラットフォーム500の表面と、光ファイバ300
を接着して接続することができる。
【0069】ここで、プラットフォーム500に発光装
置1000および光ファイバ300を接続する際には、
開口部70の中心、貫通孔200の中心、光ファイバ3
00のコア中心が直線的なるように位置決めを行うのが
好ましい。
【0070】上記の構成により、この光モジュール10
000は、プラットフォーム500の導電層101、1
02から発光装置1000の第1および第2の電極3
0、40へ通電されると、発光装置1000の発光領域
90で発生した光が第1の電極30の開口部70から出
射され、プラットフォーム500の貫通孔200および
プラットフォーム500に搭載された光ファイバ300
を通過して外部に出射される。
【0071】従って、本実施形態に係る光モジュール1
0000によれば、発光装置1000が水平に安定して
搭載されるので、発光装置1000から出射される光を
低損失でプラットフォーム500の貫通孔200へと導
光させることができ、発光装置1000で発生する光を
効率よく利用することができる。
【0072】なお、本実施形態に係る光モジュール10
000では、発光装置1000の基板10の裏面側など
にフォトダイオード等の受光素子700を設けて、この
受光素子700により基板10の裏面側から出射される
光をモニタすることによって発光装置1000の光出力
等を安定化させることもできる。なお、かかる構成にお
いては、受光素子700の出力を発光装置1000にフ
ィードバックするための回路を、光モジュール1000
0に設けることができる。例えば、プラットフォーム5
00の材料をSiなどの半導体を用いることによりフィ
ードバック用の回路として半導体回路をプラットフォー
ム500に形成することができる。後述する第6の実施
形態においても同様の構成を採用することができるもの
とする。
【0073】本実施形態では、発光装置1000が電極
が配置される面から出射する光を外部へ取り出す場合に
ついて説明したが、光を反対側、すなわち基板10を通
過する側から出射する光を外部へ取り出す場合には以下
に示す変形例の態様をとりうる。
【0074】(変形例)図6(A)は、光が基板10を
通過する方向に出射される発光装置1100を含む光モ
ジュール11000の一例を模式的に示す断面図であ
る。図5で示す部材と実質的に同じ機能を有する部材に
は同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【0075】発光装置1100は、第1の電極30に開
口部が設けられていない点で第1の実施形態に係る発光
装置1000と相違するが、他の点については同様の基
本的構成を有する。また、発光装置1100は、発光領
域90で発生した光を基板10を通過する方向に出射す
る点で第1の実施形態に係る発光装置1000と相違す
るが、他の点については同様の基本的機能を有する。
【0076】また、プラットフォーム510は、貫通孔
が設けられていない点で第5の実施形態に係るプラット
フォーム500と相違するが、他の点については同様の
基本的構成を有する。このプラットフォーム510と上
記発光装置1100とは、第5の実施形態において説明
した手法により接続される。
【0077】従って、変形例に係る光モジュール110
00においても、発光装置1100が水平に安定して搭
載されるので、発光装置1100から出射した光を外部
に取り出す場合に、発光装置1100の実装の際に生じ
る素子の傾きによる光の出射方向への影響を低減するこ
とができる。
【0078】なお、この変形例において、光モジュール
11000では、光ファイバなどの光導波路は特に必要
とされない。光導波路への導光は、光モジュール110
00の図示を省略するパッケージ筐体に他の光学部品、
例えば、光コネクタ等を用いて光導波路を光学的に結合
すれば可能である。
【0079】また、この変形例において、発光装置11
000から出射される光が、例えば、化合物半導体レー
ザーの場合、発光波長が通信用途の長波長帯(例えば、
1.55μm帯)であれば、図6(A)に示す態様で光
を外部に出射させることができる。しかし、出射光の発
光波長が例えば、可視領域などの短波長帯(例えば、6
00nm帯)であれば、基板10に図6(B)に示す光
モジュール12000に係る発光装置1200のように
凹形状の溝を形成することによって光を外部に出射させ
ることができる。この溝の形状については好適な形状を
採用することができ、特に限定されない。また、例え
ば、エレクトロルミネッセンスにより発光する有機系ま
たは無機系の発光装置の場合は、基板10に例えば、ガ
ラスなどの光を透過する基板を用いれば、基板10を加
工をする必要はない。
【0080】また、この変形例において、プラットフォ
ーム510の発光装置搭載面と同じ側の面または反対側
の面にフォトダイオード等の受光素子700を設けて、
発光装置1100の光出力等を安定化させることもでき
る。かかる構成を採用する場合には、発光装置1100
の第1の電極30に開口部を設け、さらにプラットフォ
ーム510には適宜貫通孔を設けることにより、発光装
置1100の電極配置面側から光を取り出して受光素子
でモニタして光出力等を一定にすることができる。な
お、かかる構成においては、受光素子700の出力を発
光装置1100にフィードバックするための回路を、光
モジュール11000に設けることができる。例えば、
プラットフォーム510の材料をSiなどの半導体を用
いることによりフィードバック用の回路として半導体回
路をプラットフォーム510に形成することができる。
光モジュール12000の場合についても同様の構成を
採用することができる。
【0081】ここで、本実施形態に係る光モジュール1
0000(または11000、12000)は、該光モ
ジュールを含んで構成される例えば、ディスプレイなど
の表示装置や例えば、光LAN用のルーターやスイッチ
ャーなどの光伝送装置に適用することができる。
【0082】(第6の実施形態)図7は、本発明の第6
の実施形態に係る光モジュール20000を模式的に示
す断面図である。図7は、図3に示す発光装置3000
のa−a断面を表している。光モジュール20000
は、第2の実施形態〜第4の実施形態に示す発光装置2
000〜4000を搭載した光モジュールの一例として
第3の実施形態に係る発光装置3000を用いた場合の
ものである。なお、図5で示す部材と実質的に同じ機能
を有する部材には同一符号を付し、第5の実施形態に係
る光モジュール10000と共通する点については詳細
な説明を省略する。
【0083】光モジュール20000は、基本的構成と
してプラットフォーム600の一方の面に発光装置30
00が搭載され、他方の面に光ファイバ300が搭載さ
れて成る。光ファイバ300は、光導波路の一例であ
る。また、プラットフォーム600と発光装置3000
および光ファイバ300との接続は、第5の実施形態に
係る光モジュール10000の場合と同様である。
【0084】プラットフォーム600は、基本的構成が
第5の実施形態に係るプラットフォーム500と同様で
あるが、発光装置3000からの出射光を導光するため
の貫通孔201、202等が第1の電極31、32等に
対応して複数設けられている。すなわち、図7に示す断
面図では、第1の電極31、32に対応する貫通孔20
1、202が設けられている。なお、発光装置3000
では、図7において図示省略した第1の電極33、34
も存在するが、これらについてもプラットフォーム60
0に対応する貫通孔が設けられているものとする。
【0085】また、プラットフォーム600は、発光装
置3000の各電極31、32等に対応するプラットフ
ォーム600の各導電層101、102等が設けられて
いる。このプラットフォーム600は、導電層について
も発光装置3000の図示省略した他の電極、例えば、
第1の電極33、34に対応する導電層が設けられてい
るものとする。なお、プラットフォーム600は、必要
に応じて発光装置3000の駆動回路を集積することも
できる。
【0086】また、本実施形態に係る光モジュール20
000では、プラットフォーム600の各貫通孔20
1、202などを通過した複数の出射光を一本の光ファ
イバにまとめて一つの光として外部へと出射可能であ
る。
【0087】なお、発光装置3000で出射した光をそ
れぞれ別の光ファイバで出射させる場合は、本実施形態
の変形例として図8に示す光モジュール21000のよ
うに、貫通孔201、202等に対応する複数の光ファ
イバ301、302等をプラットフォーム600に搭載
してそれぞれ外部に出射可能に形成してもよい。このよ
うに形成すれば、各貫通孔201、202等を通過する
光を別々の光ファイバ301、302等により異なる装
置へ供給することができる。
【0088】以上に述べたように、本実施形態に係る光
モジュール20000(または21000)によれば、
第5の実施形態の場合と同様に発光装置3000が水平
に安定して搭載されるので、発光装置3000から出射
した光を低損失で光ファイバ300(または301、3
02等)に導光することができる。
【0089】なお、本実施形態においては、第3の実施
形態に係る発光装置3000を光モジュールに搭載した
場合について説明したが、第2、第4の実施形態に係る
発光装置2000、4000を搭載した場合にも同様の
効果を奏することができる。
【0090】また、第5の実施形態に係る変形例のよう
に発光装置が基板10を通過する方向に光を出射するも
のである場合には、光ファイバ300(301または3
02等)を設ける必要はなく、また、係る場合において
はプラットフォーム600に貫通孔201、202等を
設ける必要はない。
【0091】ここで、本実施形態に係る光モジュール2
0000(または21000)は、該光モジュールを含
んで構成される例えば、ディスプレイなどの表示装置や
例えば、光LAN用のルーターやスイッチャーなどの光
伝送装置に適用することができる。
【0092】以上、本発明の好適な実施形態について述
べたが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本
発明の要旨範囲内で各種の態様を取りうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(A)は、本発明の第1の実施形態に係る
発光装置を模式的に示す平面図である。図1(B)は、
本発明の第1の実施形態に係る発光装置を模式的に示す
断面図である。
【図2】図2は、本発明の第2の実施形態に係る発光装
置を模式的に示す平面図である。
【図3】図3は、本発明の第3の実施形態に係る発光装
置を模式的に示す平面図である。
【図4】図4は、本発明の第4の実施形態に係る発光装
置を模式的に示す平面図である。
【図5】図5(A)は、本発明の第5の実施形態に係る
光モジュールを模式的に示す断面図である。図5(B)
は、本発明の第5の実施形態に係る光モジュールを模式
的に示す平面図である。
【図6】図6(A)および図6(B)は、本発明の第5
の実施形態に示す光モジュールの変形例を模式的に示す
断面図である。
【図7】図7は、本発明の第6の実施形態に係る光モジ
ュールを模式的に示す断面図である。
【図8】図8は、本発明の第6の実施形態に係る光モジ
ュールの変形例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
10 基板 11 発光素子部 20、50 絶縁層 30、31、32、33、34 第1の電極 40、41、42、43、44 第2の電極 60 ダミー電極 70、71、72、73、74 開口部 81、82、83、84 バンプ 90、91、92 発光領域 101、102、103、104 導電層 200、201、202 貫通孔 300、301、302 光ファイバ(光導波路) 500、510、600 プラットフォーム 700 受光素子 1000、1100、1200、2000、3000、
4000 発光装置 10000、11000、12000、20000、2
1000 光モジュール

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と交差する方向に光を出射する発光
    装置であって、 第1の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極よりも低い位置に配置
    される第2の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極と同じ高さの位置でか
    つ前記第2の電極を挟んで前記第1の電極と対向する位
    置に配置され、前記各電極と絶縁されているダミー電極
    と、 を含み、 前記各電極は、前記基板に対して同一面側に配置され
    る、発光装置。
  2. 【請求項2】 基板と交差する方向に光を出射する発光
    装置であって、 複数の第1の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極よりも低い位置に配置
    される複数の第2の電極と、 を含み、 前記各電極は、前記基板に対して同一面側に配置され、 前記複数の第1の電極と前記複数の第2の電極とは、互
    いに対向する位置に配置される複数の電極対を構成し、 前記複数の電極対は、異なる高さの電極が交互に隣り合
    うように配置される、発光装置。
  3. 【請求項3】 基板と交差する方向に光を出射する発光
    装置であって、 複数の第1の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極よりも低い位置に配置
    される複数の第2の電極と、 を含み、 前記各電極は、前記基板に対して同一面側に配置され、 前記複数の第1の電極と前記複数の第2の電極とは、互
    いに対向する位置に配置される複数の電極対を構成し、 前記複数の電極対の少なくとも2つの電極対は、前記第
    2の電極が隣り合うように配置される、発光装置。
  4. 【請求項4】 基板と交差する方向に光を出射する発光
    装置であって、 複数の第1の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極よりも低い位置に配置
    される少なくとも1つの第2の電極と、 を含み、 前記各電極は、前記基板に対して同一面側に配置され、 前記複数の第1の電極は、前記第2の電極の周囲に対称
    的に配置される、発光装置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 前記第2の電極は、前記複数の第1の電極のそれぞれに
    対応する複数の電極を含む、発光装置。
  6. 【請求項6】 基板と交差する方向に光を出射する発光
    装置であって、 第1の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極よりも低い位置に配置
    される第2の電極と、 前記基板に対して前記第1の電極と同じ高さの位置に配
    置される他の第1の電極またはダミー電極と、 を含み、 前記各電極は、前記基板に対して同一面側に配置され
    る、発光装置。
  7. 【請求項7】 請求項1〜6のいずれかにおいて、 前記第1の電極は、開口部を有し、該開口部から光が出
    射される、発光装置。
  8. 【請求項8】 請求項1〜6のいずれかにおいて、 前記基板に対して、前記各電極が配置された面と異なる
    面から光が出射される、発光装置。
  9. 【請求項9】 請求項1〜7のいずれかに記載の発光装
    置と、 前記発光装置の各電極に対応する導電層および貫通孔を
    有するプラットフォームと、 前記プラットフォームの貫通孔の一方の側に搭載される
    光導波路と、 を含み、 前記発光装置は、前記プラットフォームの他方の側に搭
    載され、該発光装置の各電極と該プラットフォームの前
    記導電層とが接合され、 前記発光装置から出射した光が前記貫通孔および光導波
    路を通過して出射される、光モジュール。
  10. 【請求項10】 請求項9において、 前記光導波路は、前記貫通孔に対応して設けられてい
    る、光モジュール。
  11. 【請求項11】 請求項8に記載の発光装置と、 前記発光装置の各電極に対応する導電層を有するプラッ
    トフォームと、 を含み、 前記発光装置の各電極は、該各電極に対応する前記プラ
    ットフォームの導電層と接合された、光モジュール。
  12. 【請求項12】 請求項9〜11のいずれかにおいて、 前記発光装置の各電極の前記基板に対する高さに応じ
    て、各電極と該各電極に対応する前記導電層との間に配
    置されたバンプの高さが異なる、光モジュール。
  13. 【請求項13】 請求項9〜12のいずれかに記載の光
    モジュールを含む表示装置。
  14. 【請求項14】 請求項9〜12のいずれかに記載の光
    モジュールを含む光伝送装置。
JP2001384138A 2001-12-18 2001-12-18 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置 Expired - Fee Related JP4054958B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001384138A JP4054958B2 (ja) 2001-12-18 2001-12-18 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001384138A JP4054958B2 (ja) 2001-12-18 2001-12-18 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003188463A true JP2003188463A (ja) 2003-07-04
JP4054958B2 JP4054958B2 (ja) 2008-03-05

Family

ID=27593943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001384138A Expired - Fee Related JP4054958B2 (ja) 2001-12-18 2001-12-18 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4054958B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006294975A (ja) * 2005-04-13 2006-10-26 Mitsubishi Electric Corp 半導体レーザ
JP2009016588A (ja) * 2007-07-05 2009-01-22 Canon Inc 垂直共振器型面発光レーザアレイ、垂直共振器型面発光レーザアレイの製造方法、及び垂直共振器型面発光レーザアレイを用いた画像形成装置
JP2019219601A (ja) * 2018-06-22 2019-12-26 日本電信電話株式会社 光導波路チップの接続構造

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6459971A (en) * 1987-08-31 1989-03-07 Oki Electric Ind Co Ltd Optoelctric transducer array
JPH04336260A (ja) * 1991-05-14 1992-11-24 Eastman Kodak Japan Kk 発光ダイオードプリンタヘッド
JPH06120225A (ja) * 1992-09-30 1994-04-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光モジュールの製造方法
JPH09199795A (ja) * 1996-01-16 1997-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体受発光装置
JPH09237942A (ja) * 1995-12-27 1997-09-09 Hitachi Ltd 面発光半導体レーザ、当該レーザを用いた光送受信モジュール及び当該レーザを用いた並列情報処理装置
JPH10335383A (ja) * 1997-05-28 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の製造方法
JPH11266058A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Toyoda Gosei Co Ltd 窒化ガリウム系化合物半導体レーザダイオード
JP2000049414A (ja) * 1998-07-27 2000-02-18 Canon Inc 光機能素子装置、これを用いた光送受信装置、光インターコネクション装置および光記録装置
JP2000058965A (ja) * 1998-08-17 2000-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ装置及び半導体レーザ素子
JP2000357844A (ja) * 1999-06-17 2000-12-26 Nec Corp 光半導体素子およびその製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6459971A (en) * 1987-08-31 1989-03-07 Oki Electric Ind Co Ltd Optoelctric transducer array
JPH04336260A (ja) * 1991-05-14 1992-11-24 Eastman Kodak Japan Kk 発光ダイオードプリンタヘッド
JPH06120225A (ja) * 1992-09-30 1994-04-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光モジュールの製造方法
JPH09237942A (ja) * 1995-12-27 1997-09-09 Hitachi Ltd 面発光半導体レーザ、当該レーザを用いた光送受信モジュール及び当該レーザを用いた並列情報処理装置
JPH09199795A (ja) * 1996-01-16 1997-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体受発光装置
JPH10335383A (ja) * 1997-05-28 1998-12-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の製造方法
JPH11266058A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Toyoda Gosei Co Ltd 窒化ガリウム系化合物半導体レーザダイオード
JP2000049414A (ja) * 1998-07-27 2000-02-18 Canon Inc 光機能素子装置、これを用いた光送受信装置、光インターコネクション装置および光記録装置
JP2000058965A (ja) * 1998-08-17 2000-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ装置及び半導体レーザ素子
JP2000357844A (ja) * 1999-06-17 2000-12-26 Nec Corp 光半導体素子およびその製造方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006294975A (ja) * 2005-04-13 2006-10-26 Mitsubishi Electric Corp 半導体レーザ
WO2006112228A1 (ja) * 2005-04-13 2006-10-26 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha 半導体レーザ
US7643527B2 (en) 2005-04-13 2010-01-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser
US7920614B2 (en) 2005-04-13 2011-04-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser
JP2009016588A (ja) * 2007-07-05 2009-01-22 Canon Inc 垂直共振器型面発光レーザアレイ、垂直共振器型面発光レーザアレイの製造方法、及び垂直共振器型面発光レーザアレイを用いた画像形成装置
JP2019219601A (ja) * 2018-06-22 2019-12-26 日本電信電話株式会社 光導波路チップの接続構造
WO2019244560A1 (ja) * 2018-06-22 2019-12-26 日本電信電話株式会社 光導波路チップの接続構造
US11385409B2 (en) 2018-06-22 2022-07-12 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Connection structure for optical waveguide chip
JP7107018B2 (ja) 2018-06-22 2022-07-27 日本電信電話株式会社 光導波路チップの接続構造

Also Published As

Publication number Publication date
JP4054958B2 (ja) 2008-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6836579B2 (en) Surface optical device apparatus, method of fabricating the same, and apparatus using the same
JP4901086B2 (ja) 一体化された光学素子およびアライメントポストを有する面発光レーザパッケージ
JP6610540B2 (ja) 光電モジュール
JP2004031508A (ja) 光電気複合モジュールおよびそのモジュールを構成要素とする光入出力装置
EP1615304B1 (en) Optical module with simplified electrical wiring desing
JPH05251717A (ja) 半導体パッケージおよび半導体モジュール
US8938136B2 (en) Opto-electronic system having flip-chip substrate mounting
JP2005094016A (ja) 密封されたキャビティと組み込まれた光学素子とを有するオプトエレクトロニクスデバイスのパッケージング
US6959125B2 (en) Printed board unit for optical transmission and mounting method
JP3725453B2 (ja) 半導体装置
Bockstaele et al. Realization and characterization of 8/spl times/8 resonant cavity LED arrays mounted onto CMOS drivers for POF-based interchip interconnections
US20190341359A1 (en) Interposer on carrier integrated circuit mount
WO1987004566A1 (en) Interconnects for wafer-scale-integrated assembly
JPH1051078A (ja) 半導体レーザアレイ及びその製造方法
US20050201668A1 (en) Method of connecting an optical element at a slope
JP4054958B2 (ja) 発光装置、光モジュール、表示装置、光伝送装置
JP4443397B2 (ja) 光半導体素子及び光半導体装置並びに光半導体素子の製造方法
JP3612243B2 (ja) 光配線パッケージ及び光配線装置
JP2001007352A (ja) 光・電気混載モジュール
JP2004273782A (ja) 発光素子モジュール
JP2006072171A (ja) 光モジュール
JP4951691B2 (ja) 光伝送モジュールおよびこれを用いた光通信装置
JP2004031455A (ja) 光インタコネクション装置
JP2009086539A (ja) 光モジュール
US20230244045A1 (en) OPTO-Electronic Integrated Module

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041014

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20051220

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070823

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070829

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071012

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071114

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071127

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4054958

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131221

Year of fee payment: 6

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees