JP2003177530A - 感光性組成物 - Google Patents

感光性組成物

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JP2003177530A
JP2003177530A JP2001379809A JP2001379809A JP2003177530A JP 2003177530 A JP2003177530 A JP 2003177530A JP 2001379809 A JP2001379809 A JP 2001379809A JP 2001379809 A JP2001379809 A JP 2001379809A JP 2003177530 A JP2003177530 A JP 2003177530A
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JP
Japan
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pigment
acid
photosensitive composition
pigment red
trichloromethyl
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JP2001379809A
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English (en)
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Hideyuki Nakai
英之 中井
Shigeo Hozumi
滋郎 穂積
Koji Baba
宏治 馬場
Koji Ichikawa
幸司 市川
Kazuo Takebe
和男 武部
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】着色付着異物を発生することなく、生産性の向
上する感光性組成物及びそれを用いてなるカラーフィル
タを提供する。また、透過率、コントラスト、感度、解
像性、耐溶剤性、液晶セル信頼性に優れた着色画像を形
成できる感光性組成物及びそれを用いてなるカラーフィ
ルタを提供する。 【解決手段】[A]平均粒径が0.01μm〜0.10
μmである顔料、[B]バインダー樹脂、[C]エチレ
ン性不飽和結合を少なくとも1個有する付加重合可能な
化合物、[D]光重合開始剤、[E]溶剤、を含む感光
性組成物であり、該感光性組成物は、該感光性組成物か
ら形成された膜を10重量倍以上の量の該溶剤に浸漬し
た際の溶解時間が5分以内である感光性組成物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性組成物、詳
しくはカラー液晶表示装置や撮像素子などに用いられる
着色画像(画素とも呼ばれる)を形成するための感光性
組成物並びにその感光性組成物を用いたカラーフィルタ
及び着色画像の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術、発明が解決しようとする課題】カラー液
晶表示装置や撮像素子などにおけるカラーフィルタは、
通常、ガラス基板、フィルム基板、シリコンウェハーな
どの基板上に、赤、緑及び青の三原色画像を形成するこ
とにより、製造されている。また、これら着色画像間を
遮光するためのブラックマトリックスを設けるのが普通
である。そして、これら各色の着色画像を形成するに
は、遮光層がパターン形成された基板上に、各色に相当
する顔料が分散された感光液をスピンコーターにより均
一に塗布した後、加熱乾燥(プリベーク)して乾燥塗膜
とし、その塗膜にパターニング露光し、現像後、熱硬化
(ポストベーク)する方法が採用されている。これらの
操作をカラーフィルタに必要とされる色毎に繰り返すこ
とにより、各色の画像を得ている。また、ブラックマト
リックスの形成にも、黒色顔料を含む感光液を用いるこ
とがある。
【0003】近年、カラーフィルタの製造に用いられる
塗布装置として、スリット アンド スピン方式に代表さ
れる省液コーターが使用されるようになってきた。この
省液コーターは、従来のスピンコーターに比べ、基材へ
の塗布量が少量で塗布できるのでコスト面では優れる。
しかし、感光液の乾燥物がカラーフィルタ上に付着し易
いため、カラーフィルタの歩留まりが低下するという問
題点があり、そのための対策として、一定時間が経過す
るたびに溶剤を用いてスリット部分に付着した着色付着
異物の除去が行われている。しかしながら、頻繁に洗浄
を行っても、十分ではなく、生産性の面で改善が望まれ
ていた。
【0004】本発明の目的は、着色付着異物を発生する
ことなく、生産性の向上する感光性組成物及びそれを用
いてなるカラーフィルタを提供することにある。また、
本発明の目的は、透過率、コントラスト、感度、解像
性、耐溶剤性、液晶セル信頼性に優れた着色画像を形成
できる感光性組成物及びそれを用いてなるカラーフィル
タを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
問題を解決するため、鋭意検討の結果、本発明に到達し
た。本発明は、〔1〕[A]平均粒径が0.01μm〜
0.10μmである顔料、[B]バインダー樹脂、
[C]エチレン性不飽和結合を少なくとも1個有する付
加重合可能な化合物、[D]光重合開始剤、[E]溶
剤、を含む感光性組成物であり、該感光性組成物は、該
感光性組成物から形成された膜を10重量倍以上の量の
該溶剤に浸漬した際の溶解時間が5分以内である感光性
組成物に係るものである。さらに、本発明は、〔2〕感
光性組成物が、更に[F]2個以上のエポキシ基を有す
る化合物を含有する〔1〕に記載の感光性組成物に係る
ものである。また、本発明は、〔3〕前記〔1〕または
〔2〕に記載の感光性組成物を用いてなるカラーフィル
タに係るものである。また、本発明は、〔4〕前記
〔1〕または〔2〕に記載の感光性組成物を用いるカラ
ーフィルタの製造方法に係るものである。また、本発明
は、〔5〕前記〔1〕または〔2〕に記載の感光性組成
物を用いる着色画像の形成方法に係るものである。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明について具体的に説
明する。本発明の感光性組成物は、[A]平均粒径が
0.01μm〜0.10μmである顔料、[B]バイン
ダー樹脂、[C]エチレン性不飽和結合を少なくとも1
個有する付加重合可能な化合物、[D]光重合開始剤、
[E]溶剤、を含む感光性組成物であり、該感光性組成
物は、該感光性組成物で形成された膜を10重量倍以上
の量の該溶剤に浸漬した際の溶解時間が5分以内である
ことを特徴とする。
【0007】本発明の感光性組成物で形成された膜の、
10重量倍以上の量の溶剤への溶解時間が5分以内であ
ることを確認する方法は、以下のとおりである。ガラス
基板の表面上に、感光性組成物をスピンコート法で塗布
したのち、100℃で3分間乾燥して揮発分を揮発させ
て、膜〔厚さは1.6μm〕を形成する。その膜を、該
膜の10重量倍以上の量の溶剤〔感光性組成物に使用し
ている溶剤と同じ溶剤〕に浸漬し、5分間放置する。溶
解後の溶剤の状態を目視により観察する。該ガラス基板
として、例えばコーニング社製のガラス基板「#705
9」が用いられる。
【0008】厚さ1.6μmで膜を形成するには、例え
ば感光性組成物を希釈する溶剤の使用量、回転塗布法で
感光性組成物を塗布する際の回転速度、温度などを適宜
選択すればよく、例えば厚さを大きくするには、溶剤の
使用量を少なくしたり、回転数を低くしたり、温度を低
くすればよく、厚さを小さくするには溶剤の使用量を多
くしたり、回転数を高くしたり、温度を高くしたりすれ
ばよい。
【0009】本発明において使用される感光性組成物に
含まれる(A)顔料は、無機顔料であってもよいし、有
機顔料であってもよい。無機顔料としては、金属酸化物
や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的に
は、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、
銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン
などの金属の酸化物又は複合金属酸化物が挙げられる。
また、有機顔料として具体的には、カラーインデックス
(Colour Index)(ザ・ソサイアティ・オブ・ダイヤー
ズ・アンド・カラーリスツ(The Society of Dyers and
Colourists )出版)で、ピグメント(Pigment)に分
類されている化合物が挙げられる。ブラックマトリック
スを形成するには、黒色顔料を含有して黒色に着色され
た感光性組成物を用いる。赤色画素、緑色画素、青色画
素などの色画素を形成するには、目的とする色画素に対
応する色の顔料を含有して各色に着色された感光性組成
物を用いる。
【0010】黒色顔料としては、例えばカーボンブラッ
ク、特開平5−311109号公報、特開平6−116
13号公報等に記載の黒鉛、特開平4−322219号
公報、特開平3−274503号公報等に記載の無機黒
色顔料、特開平2−216102号公報等に記載のアゾ
系ブラック色素、C.I.ピグメントブラック1、C.
I.ピグメントブラック7などの黒色顔料などを用いる
ことができる。黒色に着色された感光性組成物は、顔料
として、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、シ
アン色顔料、マゼンタ色顔料などを含有していてもよ
い。
【0011】各色に着色された感光性組成物は、各色の
顔料を含有する。各色の顔料として1種の顔料を含有し
ていてもよいし、2種以上の顔料を含有していてもよ
い。該顔料としては、例えばC.I.ピグメントイエロ
ー1、C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメ
ントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、
C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメント
イエロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.
I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエ
ロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.
ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー
55、C.I.ピグメントイエロー60、C.I.ピグ
メントイエロー61、C.I.ピグメントイエロー6
5、C.I.ピグメントイエロー71、C.I.ピグメ
ントイエロー73、C.I.ピグメントイエロー74、
C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメント
イエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.
I.ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエ
ロー97、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.
ピグメントイエロー100、C.I.ピグメントイエロ
ー101、C.I.ピグメントイエロー104、C.
I.ピグメントイエロー106、C.I.ピグメントイ
エロー108、C.I.ピグメントイエロー109、
C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメン
トイエロー113、C.I.ピグメントイエロー11
4、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグ
メントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー1
19、C.I.ピグメントイエロー120、C.I.ピ
グメントイエロー126、C.I.ピグメントイエロー
127、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.
ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロ
ー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.
I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー151、C.I.ピグメントイエロー152、
C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメン
トイエロー154、C.I.ピグメントイエロー15
5、C.I.ピグメントイエロー156、C.I.ピグ
メントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー1
68、C.I.ピグメントイエロー175、
【0012】C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.
ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ1
3、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメ
ントオレンジ16、C.I.ピグメントオレンジ17、
C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメント
オレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.
I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレ
ンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.
ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ
49、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグ
メントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ6
3、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメ
ントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ73、
【0013】C.I.ピグメントバイオレット1、C.
I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメント
バイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット2
9、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピ
グメントバイオレット36、C.I.ピグメントバイオ
レット38、
【0014】C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピ
グメントレッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.
I.ピグメントレッド4、C.I.ピグメントレッド
5、C.I.ピグメントレッド6、C.I.ピグメント
レッド7、C.I.ピグメントレッド8、C.I.ピグ
メントレッド9、C.I.ピグメントレッド10、C.
I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメ
ントレッド15、C.I.ピグメントレッド16、C.
I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド
18、C.I.ピグメントレッド19、C.I.ピグメ
ントレッド21、C.I.ピグメントレッド22、C.
I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメントレッド
30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメ
ントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.
I.ピグメントレッド38、C.I.ピグメントレッド
40、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメ
ントレッド42、C.I.ピグメントレッド48:1、
C.I.ピグメントレッド48:2、C.I.ピグメン
トレッド48:3、C.I.ピグメントレッド48:
4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.I.ピグ
メントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.
ピグメントレッド53:1、C.I.ピグメントレッド
57、C.I.ピグメントレッド57:1、C.I.ピ
グメントレッド58:2、C.I.ピグメントレッド5
8:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.
ピグメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド
63:2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.
I.ピグメントレッド81:1、C.I.ピグメントレ
ッド83、C.I.ピグメントレッド88、C.I.ピ
グメントレッド90:1、C.I.ピグメントレッド9
7、C.I.ピグメントレッド101、C.I.ピグメ
ントレッド102、C.I.ピグメントレッド104、
C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメント
レッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.
I.ピグメントレッド112、C.I.ピグメントレッ
ド113、C.I.ピグメントレッド114、C.I.
ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド1
23、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグ
メントレッド146、C.I.ピグメントレッド14
9、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピグメ
ントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメント
レッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.
I.ピグメントレッド172、C.I.ピグメントレッ
ド174、C.I.ピグメントレッド175、C.I.
ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド1
77、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグ
メントレッド179、C.I.ピグメントレッド18
0、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメ
ントレッド187、C.I.ピグメントレッド188、
C.I.ピグメントレッド190、C.I.ピグメント
レッド193、C.I.ピグメントレッド194、C.
I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッ
ド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.
ピグメントレッド208、C.I.ピグメントレッド2
09、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグ
メントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメ
ントレッド226、C.I.ピグメントレッド242、
C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメント
レッド245、C.I.ピグメントレッド254、C.
I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッ
ド264、C.I.ピグメントレッド265、
【0015】C.I.ピグメントブルー15、C.I.
ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー
15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.
I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントグリー
ン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグ
メントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25
などが挙げられる。
【0016】該顔料の中でも、好ましい顔料としては、
C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメン
トイエロー128、C.I.ピグメントイエロー12
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグ
メントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー1
85、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグ
メントレッド242、C.I.ピグメントレッド25
4、C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラッ
ク7などが挙げられ、特に好ましくはC.I.ピグメン
トイエロー150、C.I.ピグメントレッド254、
C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7
である。
【0017】本発明において、顔料の平均粒径は、0.
01μm〜0.10μmであり、好ましくは0.02〜
0.08μmである。顔料の平均粒径は、電子顕微鏡写
真から一次粒子の大きさを直接計測して、平均をとる。
具体的には、個々の一次粒子の短軸径と長軸径を計測
し、その平均をその粒子の粒径とした。50個以上の粒
子についてこれを測定し、平均粒径とした。
【0018】本発明における平均粒径0.01μm〜
0.10μmの顔料を得るには、特に限定されないが、
ニーダー法、硫酸法、アルカリ還元溶解法などの公知の
方法により微粒化することができる。微粒化された顔料
は、通常の公知の方法により溶剤に分散し、顔料分散液
とし、更に、バインダー樹脂やその他の成分と混合さ
れ、感光性組成物として供される。
【0019】本発明の感光性組成物は、顔料分散剤を含
有することにより、顔料を均一に分散された状態で含有
することができ、均一に着色された着色パターンを得る
ことができるので、顔料分散剤を含有することが好まし
い。このような顔料分散剤としては、例えばポリエステ
ル系高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレ
タン系高分子分散剤などの分散剤、カチオン系界面活性
剤、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤など
の界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独で又は2種
以上を組合わせて用いられる。好ましくは、ポリエチレ
ンイミン系分散剤又はウレタン系分散剤である。
【0020】このような顔料分散剤を含有する場合、そ
の含有量は、顔料1質量部あたり通常0.01質量部以
上、好ましくは0.05質量部以上であり、通常1質量
部以下、好ましくは0.5質量部以下である。
【0021】本発明における顔料分散液を得る一例につ
いて述べる。先ず、顔料をフラッシング処理したり、ニ
ーダー、エクストルーダ、ボールミル、2本又は3本ロ
ールミルでバインダー樹脂と混練する。好ましい混練法
としては、顔料とバインダー樹脂に溶剤を加え均一に混
合した後、2本又は3本ロールを用い、必要によっては
加熱しながら混練し、顔料とバインダー樹脂を十分にな
じませ、均一の着色体を得る方法や、顔料を食塩などの
水溶性無機塩と少量の溶剤で混練する方法が挙げられ
る。食塩などの水溶性無機塩を用いた場合は水洗により
これを取り除いておく。次に、顔料と必要に応じ分散
剤、更に必要に応じ他の構成成分、例えば後述するバイ
ンダー樹脂やその他の素材を溶媒と混合し、各種の分散
機を使用して混合し、湿式分散(一次分散)を行なう。
【0022】得られた分散液を、目的の粒子サイズ分布
になるまで、より微細なビーズを用いて再度湿式分散
(二次分散)を行なう。又は、湿式分散した分散液を遠
心分離によって分別したり、デカンテーションしたりし
て、粗大粒子を除去し目的の粒子サイズとサイズ分布を
有する粒子を得ることができる。分散機としては、従来
公知のものを使用することができる。例を挙げると、ホ
モジナイザー、ニーダー、ボールミル、2本又は3本ロ
ールミル、ペイントシェーカー、サンドグラインダー、
ダイノミル等のサンドミルを挙げることができる
【0023】本発明においては、前記顔料は、所望によ
り、その粒子表面をポリマーで改質して使用することが
できる。顔料を改質するポリマーとしては、例えば、特
開平8−259876号公報等に記載されたポリマー
や、市販の各種の顔料分散用のポリマー又はオリゴマー
等を挙げることができる。具体的にはアクリル樹脂、塩
化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセ
ルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等を挙げることが
できる。樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹
脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレ
ット状が好ましい。
【0024】感光性組成物における顔料の含有量は、揮
発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率で、通常
20%以上60%以下、好ましくは25%以上50%以
下である。
【0025】本発明における(B)バインダー樹脂は、
感光性組成物層に、その光線未照射領域が現像液に溶解
する性質を付与する成分であり、また感光性組成物層や
形成された着色パターンにおいて顔料を分散させる分散
媒として機能するものである。該バインダー樹脂として
は、例えばアクリル系共重合体であってもよいし、式
(I) 〔式中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数
1〜5のアルキル基又はハロゲン原子を示し、R4は水
素原子又はメチル基を示し、Xは式(I−1)〜(I−
6) のいずれかで示される2価の残基を示し、R3は置換基
を有していてもよい炭素数1〜10のアルキレン基を示
し、mは0〜5の整数を示し、nは1〜10の整数を示
す。〕で示される化合物と多塩基酸又はその無水物との
縮重合物(特開平4−355450号公報、特開平9−
40745号公報、特開平09−325494号公報、
特開2000−281738公報)であってもよい。
【0026】アクリル系共重合体としては、例えばカル
ボキシル基含有モノマー及びこれと共重合可能な他のモ
ノマーとの共重合体が挙げられる。カルボキシル基含有
モノマーとしては、例えば不飽和モノカルボン酸や、不
飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和
多価カルボン酸などの分子中に少なくとも1個のカルボ
キシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここ
で、不飽和モノカルボン酸としては、例えばアクリル
酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル
酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸と
しては、例えばマレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シ
トラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価
カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン
酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであっても
よい。
【0027】また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ
(2−メタクリロイロキシアルキル)エステルであって
もよく、具体的には、例えばこはく酸モノ(2−アクリ
ロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイ
ロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイロキシ
エチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチ
ル)などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、そ
の両末端ジカルボキシポリマーのモノ(メタ)アクリレ
ートであってもよく、具体的にはω−カルボキシポリカ
プロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカ
プロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。
該カルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で又は
2種以上を混合して用いることができる。
【0028】該カルボキシル基含有モノマーと共重合可
能な他のモノマーとしては、例えばスチレン、α−メチ
ルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエ
ン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メ
トキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシ
スチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビ
ニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチ
ルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、
m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニ
ル化合物、
【0029】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレー
ト、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレー
ト、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタ
クリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチル
アクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、
3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチル
アクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2
−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2
−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、
【0030】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
などの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、
【0031】グリシジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル
類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安
息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、ビニ
ルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリ
シジルエーテルなどの不飽和エーテル類、アクリロニト
リル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリ
ル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリ
ルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、
N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽
和アミド類、
【0032】マレイミド、N−フェニルマレイミド、N
−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの
脂肪族共役ジエン類、ポリスチレン、ポリメチルアクリ
レート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチル
アクリレート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリ
シロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基
あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー
類などを挙げることができる。これらのモノマーは、そ
れぞれ単独で又は2種以上を混合して使用することがで
きる。該共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー
単位の含有量は、質量分率で通常10〜50%程度、好
ましくは15〜40%程度である。
【0033】該アクリル系重合体としては、例えば(メ
タ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレー
ト共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレー
ト共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アク
リレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメ
チルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)
アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチ
レンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベ
ンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレー
トマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタ
クリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸
/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチ
レン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
(2−アクリロイロキシエチル)/スチレン/アリル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド/スチレン/グリセロールモ
ノ(メタ)アクリレート共重合体などが挙げられる。な
お、(メタ)アクリレートとは、アクリレート又はメタ
クリレートであることを示す。
【0034】中でもベンジルメタクリレート/メタクリ
ル酸共重合体、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸
/スチレン共重合体、メチルメタクリレート/メタクリ
ル酸共重合体、メチルメタクリレート/メタクリル酸/
スチレン共重合体などが好ましい。
【0035】該アクリル系重合体は、そのポリスチレン
換算重量平均分子量が3,000〜400,000の範
囲であることが好ましく、より好ましくは5,000〜
50,000の範囲である。また、酸価は30〜250
が好ましく、より好ましくは70〜140の範囲であ
る。
【0036】次にバインダー樹脂として使用し得る上記
式(I)で示される化合物と多塩基酸又は多塩基酸無水
物とを縮重合させて得られる生成物について説明する。
多塩基酸としては、例えばマレイン酸、コハク酸、イタ
コン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒド
ロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル
酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリ
メリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸、4,4’−ジフタル酸をはじめとするビフェ
ニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカル
ボン酸などが挙げられる。多塩基無水物としては、上記
多塩基酸の酸無水物などが挙げられる。該多塩基酸又は
その酸無水物はそれぞれ単独で又は2種以上を混合して
用いることができる。
【0037】多塩基酸又は多塩基酸無水物の使用量は、
式(I)で示される化合物のモル部数(OH基当量部
数)と多塩基酸又はその多塩基酸無水物のモル部数の合
計量に対して物質量比(モル比)で5%以上95%以
下、さらには10%以上90%以下程度であることが好
ましい。縮重合物の酸価は70〜140程度であること
が好ましい。該バインダー樹脂の中でも、式(I)で示
される化合物と多塩基酸もしくは多塩基酸無水物との縮
重合物が好ましく、さらには式(I)におけるXが式
(I−1)で示される2価の残基である化合物と多塩基
酸もしくは多塩基酸無水物との縮重合物が好ましい。該
バインダー樹脂は、感光性組成物の固形分に対して質量
分率で通常5%以上90%以下、好ましくは10%以上
60%以下の範囲で用いられる。
【0038】本発明における(C)エチレン性不飽和結
合を有し付加重合可能な化合物としては、例えば末端に
エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2
個以上有する化合物から選ばれ、モノマーであってもよ
いし、2量体、3量体及びオリゴマーなどのプレポリマ
ーであってもよいし、それらの混合物やそれらの共重合
体などであってもよい。
【0039】該モノマーとしては、例えばアクリル酸、
メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン
酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸と脂肪族多価ア
ルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪
族多価アミン化合物とのアミドなどがあげられる。
【0040】該不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコー
ル化合物とのエステルとしては、例えばエチレングリコ
ールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリ
レート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テト
ラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリ
コールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロ
ピル)エ一テル、トリメチロールエタントリアクリレー
ト、へキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロ
ヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリ
コールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリ
レート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペン
タエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリス
リトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソル
ビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアク
リレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(ア
クリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエス
テルアクリレートオリゴマーなどのアクリル酸エステ
ル、
【0041】テトラメチレングリコールジメタクリレー
ト、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプ
ロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリ
メタクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサ
ンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジ
メタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジ
ペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメ
タクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビ
ス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロ
ポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビスー〔p−(メ
タクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタンな
どのメタクリル酸エステル、
【0042】エチレングリコールジイタコネート、プロ
ピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオ
ールジイタコネート、1,4ーブタンジオールジイタコ
ネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペ
ンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテト
ライタコネートなどのイタコン酸エステル、エチレング
リコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジ
クロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、
ソルビトールテトラジクロトネートのクロトン酸エステ
ルなど、エチレングリコールジイソクロトネート、ペン
タエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテ
トライソクロトネートなどのイソクロトン酸エステル、
エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコー
ルジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソル
ビトールテトラマレートなどのマレイン酸エステルなど
が挙げられる。
【0043】該不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化
合物とのアミドとしては、例えばメチレンビス−アクリ
ルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−
ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサ
メチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミ
ントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミ
ド、キシリレンビスメタクリルアミドなどが挙げられ
る。
【0044】モノマーの他の例としては、例えば1分子
に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネ
ート化合物に式(II) 〔式中、R21及びR22はそれぞれ独立に水素原子又はメ
チル基を示す。〕で示されるビニルモノマーを付加させ
て得られるビニルウレタン化合物などが挙げられる。
【0045】該ビニルウレタン化合物は、1分子中に2
個以上の重合性ビニル基を含有する化合物である(特公
昭48−41708号公報)。特開昭51−37193
号に記載されているようなウレタンアクリレート類、特
開昭48−64183号、特公昭49−43191号、
特公昭52−30490号各公報に記載されているよう
なポリエステルアクリレート類等の多官能のアクリレー
トやメタクリレートも挙げられる。日本接着協会誌Vo
l.20、No.7、300〜308ページ(1984
年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介され
ているものも使用することができる。該エチレン性不飽
和結合を有し付加重合可能な化合物の使用量は、組成物
の固形分に対して質量分率で通常0.5%以上50%以
下、好ましくは1%以上40%以下である。
【0046】本発明における(D)光重合開始剤として
は、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物
の重合を開始させうる化合物であれば、特に限定される
ものではなく、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾ
イン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、
チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開
始剤、オキサジアゾール系光重合開始剤などを用いるこ
とができる。
【0047】アセトフェノン系光重合開始剤としては、
例えばジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2
−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジル
ジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン
−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチル
チオフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブ
タン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−
オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【0048】ベンゾイン系光重合開始剤としては、例え
ばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。ベンゾ
フェノン系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノ
ン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベン
ゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニル
サルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert
−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,
4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【0049】チオキサントン系光重合開始剤としては、
例えば2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロ
ピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4
−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【0050】トリアジン系光重合開始剤としては、例え
ば2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキ
シスチリル−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロ
ロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−
1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリク
ロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−
s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−
ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−
メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリク
ロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナ
フト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−
s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イ
ル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジ
ン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−
イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリア
ジン、2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1
−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリ
アジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−
1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−ト
リアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−
4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2
−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−
4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2
−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス
−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メト
キシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロ
メチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−
ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル
−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−
イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリア
ジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)
−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、
4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)ア
ミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エ
トキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−
ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−
N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6
−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o
−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェ
ニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−
2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4
−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェ
ニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボ
ニルアミノフェニル〕2,6−ジ(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカ
ルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−
p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフ
ェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシ
カルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(ト
リクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ
−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノ
フェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキ
シカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ク
ロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)ア
ミノフェニル−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エト
キシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブ
ロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチ
ル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N
−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブ
ロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチ
ル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N
−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブ
ロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメ
チルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エ
トキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブ
ロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメ
チルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−エ
トキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブ
ロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6
−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m
−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−
2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4
−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフ
ェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミ
ノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−
トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチル
アミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジンなどが挙げられる。
【0051】オキサジアゾール系光重合開始剤として
は、例えば2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,
3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5
−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾ
ール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチ
リル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロ
ロメチル−5−(p−ブトキシスチリル)−1,3,4
−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p
−ヒドロキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾー
ル、2−トリクロロメチル−5−(p−クロロスチリ
ル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロ
メチル−5−(p−メトキシフェニル)−1,3,4−
オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−
ブトキシフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール、
2−トリクロロメチル−5−(2−ナフチル)−1,
3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5
−(β−(2−ベンゾフリル)ビニル)−1,3,4−
オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(β−
(6−メトキシ−2−ベンゾフリル)ビニル)−1,
3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5
−(2−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾー
ルなどが挙げられる。
【0052】また、光重合開始剤として、例えば2,
4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2
−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。該光重合開始剤の中でも、トリクロロメチル基が
導入されているトリアジン系光重合開始剤や、2−ベン
ジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェ
ニル)ブタン−1−オンが好ましく用いられる。
【0053】トリクロロメチル基が導入されているトリ
アジン系光重合開始剤としては、例えば2,4−ビス
(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)
−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロ
メチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5
−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6
−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス
(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)
−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロ
メチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)
エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス
(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イ
ル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビ
ス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルア
ミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−
トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−
〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−
1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。該光重合開
始剤は、それぞれ単独で又は2種以上組み合わせて使用
することができる。
【0054】本発明の感光性組成物は、光重合開始助剤
を含有していてもよい。該光重合開始助剤としては、例
えばトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミ
ン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ
安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、
4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチル
アミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメ
チルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、
4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通
称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、9,10−ジメトキシアントラセ
ン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、
9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,
10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。これ
ら光重合開始助剤はそれぞれ単独で又は2種以上組み合
わせて用いることができる。
【0055】該光重合開始助剤を用いる場合、その使用
量は光重合開始剤1モルに対して通常は0.01モル以
上10モル以下である。光重合開始剤及び光重合開始助
剤の合計使用量は、感光性組成物の固形分に対して質量
分率で通常1%以上50%以下、好ましくは3%以上3
0%以下である。
【0056】溶剤としては、例えばエステル類、エーテ
ル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。
エステル類としては、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブ
チル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、
酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピ
ル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳
酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸
エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メト
キシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メ
チル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メ
チル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシ
プロピオン酸アルキルエステル類、
【0057】3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メ
トキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸
メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ
プロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、
2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピ
オン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−
メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオ
ン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オ
キシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2
−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチ
ルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロ
ピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチ
ル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢
酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタ
ン酸エチルなどが挙げられる。
【0058】エーテル類としては、例えばジエチレング
リコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、
エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プ
ロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレン
グリコールプロピルエーテルアセテートなどが挙げられ
る。ケトン類としては、例えばメチルエチルケトン、シ
クロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンなど
が挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例えばトル
エン、キシレンなどが挙げられる。
【0059】該溶剤の中でも、3−エトキシプロピオン
酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセ
ロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピ
オン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エ
チルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセ
テート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテー
トなどが好ましく用いられる。該溶剤は、単独で又は2
種以上を混合して用いられ、その使用量は、感光性組成
物における固形分の濃度が質量分率で通常2%以上50
%以下の範囲となるように選択される。
【0060】本発明の感光性組成物において、さらに
(F)2個以上のエポキシ基を有する化合物(以下、
「多官能性エポキシ化合物」という。)を含有すること
は、例えばカラーフィルタの形成工程におけるポストベ
ークのときに、熱による硬化反応を促進するので好まし
い。該多官能性エポキシ化合物は、低分子化合物でも高
分子化合物でもよく、その例としては、ビスフェノール
A系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ
樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフ
ェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹
脂、環式脂肪族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹
脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹
脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂;前記エポキシ樹脂
の臭素化誘導体や、トリス(グリシジルフェニル)メタ
ン、トリグリシジルイソシアヌレート等を挙げることが
できる。これらの多官能性エポキシ化合物のうち、ビス
フェニルA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系
エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、環式脂肪族
系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジ
ルアミン系樹脂、トリス(グリシジルフェニル)メタン
等のエポキシ基を2〜100個有する化合物が、カラー
フィルタの硬度が高く、かつ感放射線性組成物の現像性
に対する悪影響が少ない点で好ましい。
【0061】本発明において、多官能性エポキシ化合物
は、単独で又は2種以上を混合して使用することができ
る。本発明における多官能性エポキシ化合物の使用量
は、(B)バインダー樹脂100重量部に対して、通常
1〜80重量部、好ましくは5〜50重量部である。
【0062】本発明の感光性組成物は、熱重合防止剤、
充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、界面活性
剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止
剤などの添加剤を含有していてもよい。熱重合防止剤
は、例えば感光性組成物の保存中に(C)1個以上のエ
チレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物が熱重
合を開始してしまうことを防止するために含有される。
該熱重合防止剤としては、例えばハロイドキノン、p−
メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾー
ル、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノ
ン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−
6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒ
ドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。熱重合
防止剤を含有する場合、その含有量は、感光性組成物の
全量に対して質量分率で通常0.01%以上5%以下程
度である。
【0063】充填剤としては、例えばガラス、アルミナ
などが挙げられる。バインダー樹脂以外の高分子化合物
としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル
酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポ
リフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。界面
活性剤は、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性
剤、アニオン系界面活性剤のいずれであってもよい。密
着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキ
シエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−
アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−ア
ミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリ
シドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキ
シプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エ
ポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3
−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロ
プロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロ
ピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリ
メトキシシランなどが挙げられる。
【0064】酸化防止剤としては、例えば2,2−チオ
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,
6−ジ−t−ブチルフェノールなどが挙げられる。紫外
線吸収剤としては、例えば2−(3−t−ブチル−5−
メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾ
トリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げら
れる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナト
リウムなどが挙げられる。
【0065】感光性組成物は、有機カルボン酸、有機ア
ミノ化合物などを含有していてもよい。有機カルボン酸
としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉
草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント
酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸、シュウ
酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピ
メリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブ
ラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチル
マロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シ
トラコン酸などの脂肪族ジカルボン酸、トリカルバリル
酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカル
ボン酸、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト
酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸、フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリ
メシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸などの芳香族ポ
リカルボン酸、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒド
ロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ
酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シ
ンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などの分子量
1000以下の低分子量有機カルボン酸などが挙げられ
る。
【0066】有機アミノ化合物としては、通常、分子量
1000以下の低分子量有機アミノ化合物が用いられ、
例えばn−プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−
ブチルアミン、イソブチルアミン、t−ブチルアミン、
n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−ヘプチ
ルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミン、n
−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ドデシル
アミン、シクロヘキシルアミン、o−メチルシクロヘキ
シルアミン、m−メチルシクロヘキシルアミン、p−メ
チルシクロヘキシルアミン、o−エチルシクロヘキシル
アミン、m−エチルシクロヘキシルアミン、p−エチル
シクロヘキシルアミンなどのモノ(シクロ)アルキルア
ミン類、
【0067】メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、
メチル・n−プロピルアミン、エチル・n−プロピルア
ミン、ジ−n−プロピルアミン、ジイソプロピルアミ
ン、ジ−n−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−
t−ブチルアミン、ジ−n−ペンチルアミン、ジ−n−
ヘキシルアミン、メチル・シクロヘキシルアミン、エチ
ル・シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンな
どのジ(シクロ)アルキルアミン類、ジメチル・エチル
アミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、
ジメチル・n−プロピルアミン、ジエチル・n−プロピ
ルアミン、メチル・ジ−n−プロピルアミン、エチル・
ジ−n−プロピルアミン、トリ−n−プロピルアミン、
トリイソプロピルアミン、トリ−n−ブチルアミン、ト
リイソブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン、トリ−
n−ペンチルアミン、トリ−n−ヘキシルアミン、ジメ
チル・シクロヘキシルアミン、ジエチル・シクロヘキシ
ルアミン、メチル・ジシクロヘキシルアミン、エチル・
ジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンな
どのトリ(シクロ)アルキルアミン類、
【0068】2−アミノエタノール、3−アミノ−1−
プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−ア
ミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノー
ル、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−
シクロヘキサノールなどのモノ(シクロ)アルカノール
アミン類、ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノール
アミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノー
ルアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−n−ペンタノ
ールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−シ
クロヘキサノール)アミンなどのジ(シクロ)アルカノ
ールアミン類、
【0069】トリエタノールアミン、トリ−n−プロパ
ノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−n
−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ
−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノールア
ミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどのト
リ(シクロ)アルカノールアミン、3−アミノ−1,2
−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロパンジ
オール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、4−ア
ミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−1,2−
シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3−シクロ
ヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,2−プロ
パンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−プロパン
ジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオ
ール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパンジオール
などのアミノ(シクロ)アルカンジオール類、
【0070】1−アミノシクロペンタンメタノール、4
−アミノシクロペンタンメタノール、1−アミノシクロ
ヘキサンメタノール、4−アミノシクロヘキサンメタノ
ール、4−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、
4−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジ
メチルアミノシクロヘキサンメタノール、4−ジエチル
アミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シ
クロアルカンメタノール類、β−アラニン、2−アミノ
酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイ
ソ酪酸、3−アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−
アミノ吉草酸、6―アミノカプロン酸、1―アミノシク
ロプロパンカルボン酸、1―アミノシクロヘキサンカル
ボン酸、4―アミノシクロヘキサンカルボン酸などのア
ミノカルボン酸類などが挙げられる。
【0071】また、例えば、アミノ基が直接フェニル基
に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル
基に結合した化合物なども挙げられる。アミノ基が直接
フェニル基に結合した化合物としては、例えばアニリ
ン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メ
チルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピル
アニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチル
アニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミ
ン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、
N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、
【0072】o−アミノベンジルアルコール、m−アミ
ノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコー
ル、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエ
チルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルア
ルコール類、o−アミノフェノール、m−アミノフェノ
ール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェ
ノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフ
ェノール類、
【0073】m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香
酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ
安息香酸などのアミノ安息香酸(誘導体)類などが挙げ
られる。該有機カルボン酸、有機アミノ化合物は、それ
ぞれ単独で又は2種以上を混合して使用される。該有機
カルボン酸、有機アミノ化合物を用いる場合、感光性組
成物におけるその含有量は通常、感光性組成物に対して
質量分率で通常0.001%以上15%以下、好ましく
は0.01%以上10%以下である。該感光性組成物
は、通常、溶剤で希釈された状態で基板(2)上に塗布
される(図2(a))。
【0074】該感光性組成物は、例えば回転塗布法(ス
ピンコート法)、流延塗布法、ロール塗布法などの通常
の塗布方法で、基板(2)上に塗布する方式を採用する
ことができるが、効果が顕著に現れるのは、スリットノ
ズルから塗布液を流出させて塗布する方式や、スリット
ノズルから塗布液を流出させて塗布し、引き続き回転さ
せる、いわゆるスリット&スピン方式等のスリットノズ
ルから塗布液を流出させる方式である。
【0075】基板(2)としては、例えばガラス基板、
シリコン基板などのほか、ポリカーボネート基板、ポリ
エステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミ
ド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板を用いることが
できる。該基板は、シランカップリング剤などの薬品に
よる薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処
理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理
などの前処理が施されていてもよい。感光性組成物を基
板(2)上に塗布後、乾燥して溶剤を揮発させること
で、基板上に感光性組成物層(1)を形成することがで
きる(図2(a))。該層は、感光性組成物の固形分から
なる層であり、その厚さは、通常0.1μm〜10μ
m、好ましくは0.2μm〜5.0μm、特に好ましく
は0.2μm〜3.0μmである。
【0076】次いで感光性組成物層(1)にフォトマス
ク(3)を介して光線(4)を照射する(図2(b))。
フォトマスク(3)は、例えばガラス板(31)などの
表面に遮光層(32)が設けられたものである。遮光層
によって光線(4)は遮蔽される。ガラス板のうちの遮
光層が遮光層が設けられていない部分は透光部(33)
であって、光線は該透光部を透過して感光性組成物層
(1)に照射され、該層(1)は、該透光部のパターン
したがって露光される。光線(4)としては通常、g線
(波長436nm)、i線(波長365nm)などの紫
外線が用いられる。光線は平行光となって感光性組成物
層(1)に照射されることが好ましく、通常はマスクア
ライナー(図示せず)などを介して照射される。本発明
の形成方法によれば、解像度よく着色パターンを形成す
るので、例えば幅が20μm程度以下、さらには10μ
m程度以下、特には5μm以下の着色パターンを容易に
安定して形成することができる。
【0077】光線の照射量は、用いた(A)顔料の色や
含有量、(B)バインダー樹脂の種類や含有量、(C)
1個以上のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な
化合物の種類や含有量、(D)光重合開始剤の種類や含
有量などに応じて適宜選択されるが、本発明の形成方法
によれば、感度よく着色パターン(5)を形成するでき
るので、通常の着色パターンの形成方法と比較して短時
間の照射量でもよい。
【0078】露光後、現像する(図2(c))。現像する
には、露光後の感光性組成物層(1)を現像液に接触さ
せればよい。現像液に接触することによって、感光性組
成物層のうちで光線が照射されなかった光線未照射領域
(11)が現像液に溶解する。現像液としては、例えば
アルカリ性水溶液を用いることができる。アルカリ性水
溶液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリ
ウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、
ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウム
ヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシ
ド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビ
シクロ−〔5,4,0〕−7−ウンデセンなどの水溶性
のアルカリ化合物の水溶液が用いられ、その濃度はアル
カリ性水溶液に対して質量分率で通常0.001%以上
10%以下、好ましくは0.01%以上1%以下程度で
ある。該アルカリ性水溶液は、メタノール、エタノール
などの水溶性の有機溶剤、界面活性剤などを含有してい
てもよい。現像液として有機溶剤を用いることもでき、
例えば感光性組成物を希釈するに用いる溶剤として前記
したと同様の有機溶剤を適宜組み合わせて用いてもよ
い。
【0079】現像方法は、特に限定されるものではな
く、例えばディップ現像法(浸漬現像法)、シャワー現
像法、スプレー現像法、パドル現像法(液盛り現像法)
などの方法で現像することができる。現像温度は通常1
0℃〜40℃の範囲であり、現像時間は通常10秒〜3
00秒である。現像によって、感光性組成物層のうちの
光線が照射されなかった光線未照射領域(11)は現像
液に溶解して除去される。その一方で光線が照射された
光線照射領域(12)は残って着色パターン(5)を構
成する。
【0080】
【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明するが、本発明はこのような実施例によって限定され
るものではない。測定用試料の作成について、次に説明
する。
【0081】実施例1 〔青色の感光性組成物の製造〕 (B)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体
〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比
は、物質量比(モル比)で30:70、酸価は113、
重量平均分子量は25000〕0.828質量部、(C)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート0.828
質量部、(D)光重合開始剤2−ベンジル−2−ジメチル
アミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−
オン0.199質量部、(D)光重合開始助剤〔2,4−
ジエチルチオキサントン〕0.099質量部及び(E)
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、「スミエポキシESCN−195XL−80」
(住友化学工業(株)製)〕(0.151質量部) (F)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト6.522質量部を混合して混合物1を得た。
【0082】この混合物1と、(A)顔料〔C.I.ピグ
メントブルー15:6〕(平均粒径 0.06μm)
1.030質量部、(A)顔料〔C.I.ピグメントバイ
オレット23〕(平均粒径0.04μm)0.016質
量部、(E)ポリエチレンイミン系分散剤0.298質
量部及び(F)プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート5.178質量部の混合物2とを混合して感
光性組成物(青色)を得た。
【0083】〔塗膜の溶解性〕ガラス基板〔コーニング
社製、「#7059」〕(3)の表面上に、上記で得た
感光性組成物をスピンコート法で塗布したのち、100
℃で3分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性組成物
層〔厚さは1.6μm〕(4)を形成した。その塗膜
(5cm×5cm)を25mlのプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテートに浸漬し、5分後基板を
観察すると塗膜が溶解し、溶解後のプロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテートは目視で均一な青色着
色溶液の状態になっていた。
【0084】実施例1で調製した着色画像形成用感光液
をスリットノズルを具備したスピンコーターで塗布した
ところ、150シート塗布した時点でも着色付着物が検
出されなかった。上記感光性樹脂組成物は、感度が高
く、また、得られた塗布膜の透過率、コントラスト、解
像性、耐溶剤性、液晶セル信頼性も良好である。
【0085】実施例2 〔青色の感光性組成物の製造〕 (B)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体
〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比
は、物質量比(モル比)で30:70、酸価は113、
重量平均分子量は25000〕0.828質量部、(C)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート0.828
質量部、(D)光重合開始剤2,4-ビス(トリクロロメ
チル)-6-ピペロニル-1,3、5-トリアジン 0.2
98質量部、(F)プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート6.522質量部を混合して混合物1を
得た。
【0086】この混合物1と、(A)顔料〔C.I.ピグ
メントブルー15:6〕(平均粒径 0.06μm)
1.030質量部、(A)顔料〔C.I.ピグメントバイ
オレット23〕(平均粒径0.04μm)0.016質
量部、(E)ウレタン系分散剤0.298質量部及び
(F)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト5.178質量部の混合物2とを混合して感光性組成
物(青色)を得た。
【0087】〔塗膜の溶解性〕ガラス基板〔コーニング
社製、「#7059」〕(3)の表面上に、上記で得た
感光性組成物をスピンコート法で塗布したのち、100
℃で3分間乾燥して揮発分を揮発させて、感光性組成物
層〔厚さは1.6μm〕(4)を形成した。その塗膜
(5cm×5cm)を25mlのプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテートに浸漬し、5分後基板を
観察すると塗膜が溶解し、溶解後のプロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテートは目視で均一な青色着
色溶液の状態になっていた。実施例1で調製した着色画
像形成用感光液をスリットノズルを具備したスピンコー
ターで塗布したところ、150シート塗布した時点でも
着色付着物が検出されなかった。上記感光性樹脂組成物
は、感度が高く、また、得られた塗布膜の透過率、コン
トラスト、解像性、耐溶剤性、液晶セル信頼性も良好で
ある。
【0088】比較例1 〔青色の感光性組成物の製造〕 (B)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体
〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比
は、物質量比(モル比)で30:70、酸価は113、
重量平均分子量は25000〕0.828質量部、(C)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート0.828
質量部、(D)光重合開始剤〔2−メチル−2−モルホリ
ノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロパン−1−オ
ン〕0.199質量部、(D)光重合開始助剤〔2,4−
ジエチルチオキサントン〕0.099質量部及び(F)プ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート6.
522質量部を混合して混合物1を得た。
【0089】この混合物1と、(A)顔料〔C.I.ピグ
メントブルー15:6〕(平均粒径 0.06μm)
1.030質量部、(A)顔料〔C.I.ピグメントバイ
オレット23〕(平均粒径 0.04μm)0.016
質量部、(E)変性アクリル系分散剤0.298質量部
及び(F)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート5.178質量部の混合物2とを混合して感光性
組成物(青色)を得た。
【0090】〔塗膜の溶解性〕実施例1で得た感光性組
成物に代えて上記で得た感光性組成物を用いる以外は、
実施例1と同様に操作し、得た塗膜をプロピレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテートに浸漬すると、塗膜
の塊が剥がれた。目視で確認できるレベルで、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテートへの着色が
ほとんどなかった。比較例1で調製した着色画像形成用
感光液をスリットノズルを具備したスピンコーターで塗
布したところ、60シート塗布した時点で着色付着物が
検出された。
【0091】
【発明の効果】本発明の感光性組成物を用いれば、スリ
ット アンド スピン方式により塗布した場合でも、カ
ラーフィルタ上における着色付着異物の生成を抑制する
ことができ、その除去の頻度を低下させることができる
ので、生産性を向上し得るから工業的価値が大きい。ま
た、本発明の感光性組成物を用いれば、透過率、コント
ラスト、感度、解像性、耐溶剤性、液晶セル信頼性に優
れた着色画像を形成でき、カラーフィルタに好適に適用
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】カラーフィルタの一例を示す模式図である。
【図2】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【図3】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【図4】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【符号の説明】
1 :カラーフィルタ 2 :着色パターン 2R:赤色画素 2’:着色パターン 2G:緑色画素 2”:着色パターン 2B:青色画素 3 :基板 4 :着色感光性層 4’:着色感光性層 4”:着色感光性層 5 :フォトマスク 51:ガラス板 52:遮光層 53:透光部 6 :光線
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08F 292/00 C08F 292/00 4J026 G02B 5/00 G02B 5/00 B 4J027 5/20 101 5/20 101 G02F 1/1335 505 G02F 1/1335 505 G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 (72)発明者 馬場 宏治 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 (72)発明者 市川 幸司 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 (72)発明者 武部 和男 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA01 AA02 AA04 AA06 AA18 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 BD53 CA00 CB13 CB14 CB43 CB52 CB55 CB56 CC03 FA17 2H042 AA09 AA15 AA26 2H048 BA02 BA45 BA47 BA48 BB02 BB14 BB42 2H091 FA02Y FB04 GA01 4J011 PA03 PA07 PA44 PA45 PA69 4J026 AA42 AA52 AC00 BA28 BA32 BA36 BA38 BA39 BA40 4J027 AC01 AC06 BA19 BA20 BA23 BA24 BA26 BA29 CA12 CA20 CA25 CA26 CB10 CC04 CD10

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】[A]平均粒径が0.01μm〜0.10
    μmである顔料、[B]バインダー樹脂、[C]エチレ
    ン性不飽和結合を少なくとも1個有する付加重合可能な
    化合物、[D]光重合開始剤、[E]溶剤、を含む感光
    性組成物であり、該感光性組成物は、該感光性組成物か
    ら形成された膜を10重量倍以上の量の該溶剤に浸漬し
    た際の溶解時間が5分以内であることを特徴とする感光
    性組成物。
  2. 【請求項2】感光性組成物が、更に[F]2個以上のエ
    ポキシ基を有する化合物を含有することを特徴とする請
    求項1に記載の感光性組成物。
  3. 【請求項3】顔料が、感光性組成物における固形分基準
    で25〜50重量%含有されていることを特徴とする請
    求項1または2に記載の感光性組成物。
  4. 【請求項4】バインダー樹脂の酸価が、70〜140の
    範囲にあることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに
    記載の感光性組成物。
  5. 【請求項5】バインダー樹脂の重量平均分子量が、5,
    000〜50,000の範囲にあることを特徴とする請
    求項1〜4のいずれかに記載の感光性組成物。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組
    成物を用いてなるカラーフィルタ。
  7. 【請求項7】請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組
    成物を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方
    法。
  8. 【請求項8】請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組
    成物を用いることを特徴とする着色画像の形成方法。
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JP2007127722A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Fujifilm Corp 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
KR100878795B1 (ko) 2006-06-22 2009-01-14 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 감광성 수지조성물, 이것을 이용한 액정배향제어용 범프,및 액정배향제어용 범프의 형성방법
CN101995770A (zh) * 2009-08-10 2011-03-30 住友化学株式会社 光刻胶组合物

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI396042B (zh) * 2004-09-29 2013-05-11 Sumitomo Chemical Co 著色感光性樹脂組成物
TWI363784B (en) 2007-10-01 2012-05-11 Ind Tech Res Inst High optical contrast pigment and colorful photosensitive composition employing the same and fabrication method thereof
JP5384929B2 (ja) * 2008-12-26 2014-01-08 東京応化工業株式会社 透明電極形成用光硬化性樹脂組成物及び透明電極の製造方法
JP5110413B1 (ja) * 2011-06-13 2012-12-26 Dic株式会社 ラジカル重合性組成物、硬化物及びプラスチックレンズ
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007127722A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Fujifilm Corp 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置
KR100878795B1 (ko) 2006-06-22 2009-01-14 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 감광성 수지조성물, 이것을 이용한 액정배향제어용 범프,및 액정배향제어용 범프의 형성방법
CN101995770A (zh) * 2009-08-10 2011-03-30 住友化学株式会社 光刻胶组合物

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