JP2002196488A - カラーフィルター用着色感光性樹脂組成物 - Google Patents

カラーフィルター用着色感光性樹脂組成物

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JP2002196488A
JP2002196488A JP2000398550A JP2000398550A JP2002196488A JP 2002196488 A JP2002196488 A JP 2002196488A JP 2000398550 A JP2000398550 A JP 2000398550A JP 2000398550 A JP2000398550 A JP 2000398550A JP 2002196488 A JP2002196488 A JP 2002196488A
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Japan
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pigment
resin composition
photosensitive resin
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colored photosensitive
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JP2000398550A
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English (en)
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Hideyuki Nakai
英之 中井
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 粒子径の小さい顔料を高濃度で用いても、ス
カムの発生が少ない着色感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 光重合性化合物として一般式(I) で示される化合物を含有する着色感光性樹脂組成物を用
いてブラックマトリックス、画素を形成することによ
り、スカムがほとんど発生することなく、カラーフィル
ターを得ることができる。着色感光性樹脂組成物は、顔
料、光重合開始剤を含有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、着色感光性樹脂組
成物に関し、詳しくはカラーフィルターの製造に好適に
使用される感光性樹脂組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】光重合性化合物、顔料(B)、光重合開
始剤(C)を含有する着色感光性樹脂組成物は、カラー
フィルターを構成するブラックマトリックスや画素を形
成するための原材料として有用である。ここでカラーフ
ィルターは、カラー液晶表示装置、カラー固体撮像装置
などを構成し、カラー画像を得るために用いられている
素子である。
【0003】かかる着色感光性樹脂組成物を用いてカラ
ーフィルターを製造する方法としては、例えば着色感光
性樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の表面に形
成し(図1(a))、該層(1)にフォトマスク(3)を
介して光線(4)を照射して露光したのち(図1
(b))、現像する方法が知られている。フォトマスク
(3)には光線(4)を遮蔽する遮光層(32)と透過
する透光部(33)とがあり、露光において着色感光性
樹脂組成物層(1)には光線が照射されなかった未照射
領域(11)と光線が照射された照射領域(12)とが
生ずるが、次の現像において、未照射領域(11)は除
去される。照射領域(12)は除去されることなく残っ
てブラックマトリックスまたは画素(5)を形成するこ
とになる(図1(c))。形成されたブラックマトリック
スまたは画素の機械的強度を向上するために、現像後、
通常は加熱処理が行われている。着色感光性樹脂組成物
に含まれる顔料(B)の色を代えながら上記操作を繰り
返し行うことにより、ブラックマトリックス(5B
M)、三原色に対応する色の画素(5R、5G、5B)
を順次形成することができ、目的とするカラーフィルタ
ー(6)を得ることができる(図2)。
【0004】かかる製造方法において、より厚みの薄い
ブラックマトリックス、画素を形成するためには、着色
感光性樹脂組成物に含まれる顔料の濃度を高くすること
が好ましい。
【0005】しかし、従来の着色感光性樹脂組成物にお
いて顔料を高濃度で用いると、現像後の基板上にスカム
が発生し易いという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者は、
顔料を高濃度で用いても、スカムの発生が少ない着色感
光性樹脂組成物を開発するべく鋭意検討した結果、一般
式(I) 〔式中、R1およびR2はそれぞれ独立に水素原子、アル
キル基またはハロゲン原子を示し、R3はアルキレン基
を示し、R4は水素原子、アルキル基、アリール基、ア
ラルキル基、アルケニル基、アルキルカルボニル基、ア
リールカルボニル基またはアラルキルカルボニル基を示
し、R5は水素原子またはメチル基を示し、Xは単結合
または式(I−1)〜(I−8) で示される2価の残基を示し、mは1〜5の整数を示
し、nは1〜10の整数を示す。〕で示される化合物を
含有する着色感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリ
ックスや画素を形成すれば、顔料濃度が高くてもスカム
がほとんど発生しないことを見出し、本発明に至った。
【0007】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、一般
式(I)で示される化合物(A)、顔料(B)および光
重合開始剤(C)を含有することを特徴とする着色感光
性樹脂組成物を提供するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】一般式(I)で示される化合物
(A)において、R1およびR2におけるアルキル基とし
ては、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イ
ソプロピル基、n−ブチル基、t−ブチル基などの炭素
数1〜5のアルキル基が挙げられる。ハロゲン原子とし
ては、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子などが挙
げられる。
【0009】R3におけるアルキレン基としては、例え
ばメチレン基、エチレン基、トリメチレン基、テトラメ
チレン基などの炭素数1〜10程度のアルキレン基があ
げられる。アルキレン基は置換基が導入されていてもよ
い。アルキレン基に導入し得る置換基としては、例えば
水酸基、ハロゲン原子、水酸基を有していてもよい炭素
数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ
ル基、炭素数6〜15のアリール基、炭素数7〜15の
アラルキル基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数
2〜10のアシルオキシ基などが挙げられる。ここで、
ハロゲン原子としては、例えば塩素原子、臭素原子など
が挙げられる。炭素数1〜10のアルキル基としては、
例えばメチル基、エチル基、プロピル基などが挙げら
れ、水酸基で置換されている場合のアルキル基として
は、例えばヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基
などが挙げられる。炭素数1〜10のアルコキシル基と
しては、例えばメトキシ基、エトキシ基、プロピルオキ
シ基、ブトキシ基などが挙げられる。炭素数6〜15の
アリール基としては、例えばフェニル基、ナフチル基な
どが挙げられる。炭素数7〜15のアラルキル基として
は、例えばベンジル基、フェニルエチル基などが挙げら
れる。炭素数2〜10のアルケニル基としては、例えば
ビニル基、アリル基などが挙げられる。炭素数2〜10
のアシルオキシ基としては、例えばアセチルオキシ基、
ベンゾイルオキシ基などが挙げられる。
【0010】R4におけるアルキル基としては、例えば
メチル基、エチル基、プロピル基などの炭素数1〜10
のアルキル基などガ挙げられる。かかるアルキル基は水
酸基で置換されていてもよく、水酸基で置換されている
場合のアルキル基としては、例えばヒドロキシエチル
基、ヒドロキシプロピル基などが挙げられる。アリール
基としては、例えばフェニル基、ナフチル基などの炭素
数6〜15のアリール基などが挙げられる。アラルキル
基としては、例えばベンジル基、フェニルエチル基など
の炭素数7〜15のアラルキル基などが挙げられる。ア
ルケニル基としては、例えばビニル基、アリル基などの
炭素数2〜10のアルケニル基などが挙げられる。アル
キルカルボニル基としては、例えばメチルカルボニル
基、エチルカルボニル基、プロピルカルボニル基、t−
ブチルカルボニル基などの炭素数2〜10のアルキルカ
ルボニル基などが挙げられる。アリールカルボニル基と
しては、例えばベンゾイル基、ナフトイル基などの炭素
数7〜15のアリールカルボニル基などが挙げられる。
アラルキルカルボニル基としては、例えばベンジルカル
ボニル基、フェニルエチルカルボニル基などの炭素数7
〜15のアラルキルカルボニル基などが挙げられる。
【0011】Xは式(I−1)で示される2価の残基で
あることが好ましい。
【0012】かかる化合物(A)は、例えば一般式(I
I) 〔式中、R1、R2、R3、R4、R5、X、mおよびnは
それぞれ前記と同じ意味を示す。〕で示されるエポキシ
化合物をアクリル酸またはメタクリル酸と反応させる方
法により製造することができる化合物であり、ここで一
般式(II)で示されるエポキシ化合物は、一般式(II
I) で示されるビスフェノール化合物から導かれる化合物で
ある。
【0013】一般式(III)で示されるビスフェノール
化合物として具体的には、例えばXが単結合であるビス
フェノール化合物として4,4’−ビフェノール、3,
3’−ビフェノールなどが、Xが式(I−1)で示され
るビスフェノール化合物として、9,9−ビス(4−ヒ
ドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−
ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレ
ン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニ
ル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−
フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3−メトキシフェニル)フルオレン、9,9
−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)
フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−
ジクロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレンなど
が、Xが式(I−2)で示されるビスフェノール化合物
として、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ケト
ン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニ
ル)ケトンなどが、Xが式(I−3)で示されるビスフ
ェノール化合物として、ビス(4−ヒドロキシフェニ
ル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチ
ルフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5
−ジクロロフェニル)スルホンなどが、Xが式(I−
4)で示されるビスフェノール化合物として、ビス(4
−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ヘキサ
フルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジ
クロロフェニル)ヘキサフルオロプロパンなどが、Xが
式(I−5)で示されるビスフェノール化合物として、
ビス(4−ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ジメチ
ルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフ
ェニル)ジメチルシランなどが、Xが式(I−6)で示
されるビスフェノール化合物として、ビス(4−ヒドロ
キシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5
−ジクロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−
3,5−ジブロモフェニル)メタン、フェノールノボラ
ック、クレゾールノボラックなどが、Xが式(I−7)
で示されるビスフェノール化合物として、2,2−ビス
(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス
(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)プロパ
ン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロ
フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−
3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒ
ドロキシ−3−クロロフェニル)プロパンなどが、Xが
式(I−8)で示されるビスフェノール化合物として、
ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−
ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)エーテル、ビ
ス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)エー
テルなどが挙げられる。かかるビスフェノール化合物
は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用い
られる。
【0014】本発明の着色感光性樹脂組成物は、一般式
(I)で示される化合物(A)以外の光重合性化合物を
含有していてもよい。かかる光重合性化合物としては、
例えば分子中に重合可能な炭素−炭素不飽和結合を有す
る化合物などのエチレン性不飽和化合物などが挙げられ
る。ここで、エチレン性不飽和化合物としては、末端に
重合性の炭素−炭素不飽和結合を1個以上、好ましくは
2個以上有する化合物が挙げられ、例えば不飽和カルボ
ン酸と脂肪族多価アルコールとのエステル、不飽和カル
ボン酸と脂肪族多価アミンとのアミドなどが挙げられ
る。かかる化合物は、それぞれモノマーであってもよい
し、プレポリマー、すなわち2量体、3量体および4量
体以上のオリゴマーであってもよい。また、混合物であ
ってもよい。
【0015】ここで、不飽和カルボン酸としては、例え
ばアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン
酸、イソクロトン酸、マレイン酸などが挙げられる。
【0016】脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カル
ボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アク
リル酸エステルとして、例えばエチレングリコールジア
クリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、
1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレ
ングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジ
アクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)
エ一テル、トリメチロールエタントリアクリレート、へ
キサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサ
ンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコール
ジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリト
ールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビト
ールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレ
ート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリ
ロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステル
アクリレートオリゴマーなどが挙げられる。
【0017】メタクリル酸エステルとしては、例えばテ
トラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレ
ングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタ
クリレート、トリメチロールエタントリメタクリレー
ト、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブ
タンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメ
タクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリス
リトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレー
ト、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−
(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)
フェニル〕ジメチルメタン、ビスー〔p−(メタクリル
オキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタンなどが挙げ
られる。
【0018】イタコン酸エステルとしては、例えばエチ
レングリコールジイタコネート、プロピレングリコール
ジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネー
ト、1,4ーブタンジオールジイタコネート、テトラメ
チレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトー
ルジイタコネート、ソルビトールテトライタコネートな
どが挙げられる。クロトン酸エステルとしては、例えば
エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレング
リコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロ
トネート、ソルビトールテトラジクロトネートなどが挙
げられる。イソクロトン酸エステルとしては、エチレン
グリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトール
ジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネ
ートなどが挙げられる。マレイン酸エステルとしては、
例えばエチレングリコールジマレート、トリエチレング
リコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレー
ト、ソルビトールテトラマレートなどが挙げられる。こ
れらのエステルモノマーの混合物も挙げることができ
る。
【0019】脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン
酸とのアミドのモノマーの具体例としては、例えばメチ
レンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリル
アミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミ
ド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、
ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレ
ンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミ
ドなどが挙げられる。
【0020】エチレン性不飽和化合物は、分子中に2個
以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化
合物に、一般式(1) 〔式中、R10、R11はそれぞれ独立に水素原子またはメ
チル基を示す。〕示されるビニルモノマーを付加させて
得られるビニルウレタン化合物であってもよい(特公昭
48−41708号公報)。また、ウレタンアクリレー
ト類(特開昭51−37193号公報)、ポリエステル
アクリレート類(特開昭48−64183号公報、特公
昭49−43191号公報、特公昭52−30490号
公報)、光硬化性モノマー〔日本接着協会誌、第20巻
第7号第300頁〜第308頁(1984年)〕などで
あってもよい。
【0021】本発明の着色感光性樹脂組成物における一
般式(I)で示される化合物の含有量は、着色感光性樹
脂組成物の固形分に対して質量分率で通常は5%以上、
好ましくは10%以上であり、通常50%以下、好まし
くは40%以下である。光重合性化合物として一般式
(I)で示される化合物以外の光重合性化合物を用いる
場合は、一般式(I)で示される化合物とこれ以外の光
重合性化合物との合計量が、上記範囲、すなわち着色感
光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常50%
以下、好ましくは40%以下であり、通常は5%以上、
好ましくは10%以上である。また、一般式(I)で示
される化合物(A)以外の光重合性化合物を含有する場
合は、一般式(I)で示される化合物は、その含有量が
一般式(I)で示される化合物とこれ以外の光重合性化
合物との合計量に対して質量分率で通常は5%以上、好
ましくは10%以上となるように使用される。
【0022】本発明の着色感光性樹脂組成物は、バイン
ダー樹脂を含有していてもよい。バインダー樹脂として
は、通常アルカリ可溶性であり、顔料を分散し得るもの
が使用され、例えばカルボキシル基を有しアルカリ可溶
性の重合体が用いられる。かかる重合体としては、カル
ボキシル基を有する化合物およびこれと共重合可能な他
の化合物の共重合体が好ましく用いられる。
【0023】カルボキシル基を有する化合物としては、
例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−
クロルアクリル酸、ケイ皮酸などの不飽和モノカルボン
酸類、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコ
ン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン
酸、メサコン酸などの不飽和ジカルボン酸類またはその
酸無水物、3個以上のカルボキシル基を有する化合物ま
たはその酸無水物、こはく酸モノ(2−アクリロイルオ
キシエチル)、こはく酸モノ(2−メタクリロイロキシ
エチル)、フタル酸モノ(2−アクリロイルオキシエチ
ル)、フタル酸モノ(2−メタクリロイロキシエチル)
などの2個以上のカルボキシル基を有する化合物のモノ
アクリロイルオキシアルキルエステルまたはモノメタク
リロイロキシアルキルエステル、
【0024】ω−カルボキシポリカプロラクトンモノア
クリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメ
タクリレートなどの両末端がカルボキシル基であるポリ
マーのモノアクリレートまたはモノメタクリレートなど
が挙げられる。これらのカルボキシル基を有する化合物
は、それぞれ単独でまたは2種以上を組合わせて用いら
れる。
【0025】カルボキシル基を有する化合物と共重合可
能な他の化合物としては、重合性の不飽和結合を有する
化合物であり、具体的には、例えばスチレン、α−メチ
ルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエ
ン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メ
トキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシ
スチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビ
ニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチ
ルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、
m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニ
ル化合物、
【0026】メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−
プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、
i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレー
ト、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレー
ト、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレー
ト、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタ
クリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシブチル
アクリレート、2−ヒドロキシブチルメタクリレート、
3−ヒドロキシブチルアクリレート、3−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、4−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、2−メトキシエチル
アクリレート、2−メトキシエチルメタクリレート、2
−フェノキシエチルアクリレート、2−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアク
リレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピ
レングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、2
−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、
2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレート、オキセタンアクリレート、オキセタン
メタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類、
【0027】2−アミノエチルアクリレート、2−アミ
ノエチルメタクリレート、2−ジメチルアミノエチルア
クリレート、2−ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト、2−アミノプロピルアクリレート、2−アミノプロ
ピルメタクリレート、2−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルメタクリレー
ト、3−アミノプロピルアクリレート、3−アミノプロ
ピルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルアク
リレート、3−ジメチルアミノプロピルメタクリレート
などの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、
【0028】グリシジルアクリレート、グリシジルメタ
クリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル
類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安
息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、ビニ
ルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリ
シジルエーテルなどの不飽和エーテル類、アクリロニト
リル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリ
ル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリ
ルアミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、
N−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽
和アミド類、マレイミド、N−フェニルマレイミド、N
−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの
脂肪族共役ジエン類、
【0029】ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、
ポリメチルメタクリレート、ポリ−n−ブチルアクリレ
ート、ポリ−n−ブチルメタクリレート、ポリシロキサ
ンなどの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基ある
いはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類な
どが挙げられる。これらの化合物は、それぞれ単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いられる。
【0030】かかるカルボキシル基を有する化合物およ
び、これと共重合可能な他の化合物の共重合体として
は、例えば(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリ
レート共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/メチ
ル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリ
レート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレ
ート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)
アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチ
ルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロ
モノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体、メタクリル酸/スチレン/ベンジル(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシ
エチル)/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/
N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸
/こはく酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)/スチ
レン/アリル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド/スチレン/グ
リセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体などが挙
げられる。下かある共重合体の中でも、ベンジルメタク
リレート/メタクリル酸共重合体、ベンジルメタクリレ
ート/メタクリル酸/スチレン共重合体、メチルメタク
リレート/メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレー
ト/メタクリル酸/スチレン共重合体などが好ましい。
【0031】かかる共重合体におけるカルボキシル基を
有する化合物単位の含有量は質量分率で通常10%以上
50%以下、好ましくは15%以上40%以下である。
かかる共重合体の質量平均分子量(ポリスチレン換算)
は通常3000以上400000以下であり、好ましく
は5000以上100000以下である。酸価は通常3
0以上250以下であり、好ましくは60以上180以
下である。
【0032】バインダー樹脂を用いる場合、その含有量
は着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通
常20%以上、好ましくは30%以上であり、通常80
%以下、好ましくは70%以下である。
【0033】顔料(B)としては、無機顔料を用いるこ
ともできるし、有機顔料を用いることもできる。無機顔
料としては、例えば金属酸化物、金属錯塩などの金属化
合物が挙げられる。金属としては、鉄、コバルト、アル
ミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウ
ム、クロム、亜鉛、アンチモンなどが挙げられる。金属
酸化物、金属錯塩はこれらの金属単独の酸化物、錯塩で
あってもよいし、これらの金属の2種以上の複合酸化
物、錯塩であってもよい。
【0034】有機顔料としては、例えばカラー・インデ
ックス(Colour Index)〔ザ・ソサイアティ・オブ・ダ
イヤーズ・アンド・カラーリスツ(The Society of Dye
rs and Colourists)出版〕でピグメント(Pigment)に
分類されている化合物が挙げられる。
【0035】かかる有機顔料としては、例えばC.I.
ピグメント・イエロー1、C.I.ピグメント・イエロ
ー3、C.I.ピグメント・イエロー12、C.I.ピ
グメント・イエロー13、C.I.ピグメント・イエロ
ー14、C.I.ピグメント・イエロー15、C.I.
ピグメント・イエロー16、C.I.ピグメント・イエ
ロー17、C.I.ピグメント・イエロー20、C.
I.ピグメント・イエロー24、C.I.ピグメント・
イエロー31、C.I.ピグメント・イエロー55、
C.I.ピグメント・イエロー60、C.I.ピグメン
ト・イエロー61、C.I.ピグメント・イエロー6
5、C.I.ピグメント・イエロー71、C.I.ピグ
メント・イエロー73、C.I.ピグメント・イエロー
74、C.I.ピグメント・イエロー81、C.I.ピ
グメント・イエロー83、C.I.ピグメント・イエロ
ー93、C.I.ピグメント・イエロー95、C.I.
ピグメント・イエロー97、C.I.ピグメント・イエ
ロー98、C.I.ピグメント・イエロー100、C.
I.ピグメント・イエロー101、C.I.ピグメント
・イエロー104、C.I.ピグメント・イエロー10
6、C.I.ピグメント・イエロー108、C.I.ピ
グメント・イエロー109、C.I.ピグメント・イエ
ロー110、C.I.ピグメント・イエロー113、
C.I.ピグメント・イエロー114、C.I.ピグメ
ント・イエロー116、C.I.ピグメント・イエロー
117、C.I.ピグメント・イエロー119、C.
I.ピグメント・イエロー120、C.I.ピグメント
・イエロー126、C.I.ピグメント・イエロー12
7、C.I.ピグメント・イエロー128、C.I.ピ
グメント・イエロー129、C.I.ピグメント・イエ
ロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、
C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメ
ント・イエロー151、C.I.ピグメント・イエロー
152、C.I.ピグメント・イエロー153、C.
I.ピグメント・イエロー154、C.I.ピグメント
・イエロー155、C.I.ピグメント・イエロー15
6、C.I.ピグメント・イエロー166、C.I.ピ
グメント・イエロー168、C.I.ピグメント・イエ
ロー175などの黄色の有機顔料、
【0036】C.I.ピグメント・オレンジ1、C.
I.ピグメント・オレンジ5、C.I.ピグメント・オ
レンジ13、C.I.ピグメント・オレンジ14、C.
I.ピグメント・オレンジ16、C.I.ピグメント・
オレンジ17、C.I.ピグメント・オレンジ24、
C.I.ピグメント・オレンジ34、C.I.ピグメン
ト・オレンジ36、C.I.ピグメント・オレンジ3
8、C.I.ピグメント・オレンジ40、C.I.ピグ
メント・オレンジ43、C.I.ピグメント・オレンジ
46、C.I.ピグメント・オレンジ49、C.I.ピ
グメント・オレンジ51、C.I.ピグメント・オレン
ジ61、C.I.ピグメント・オレンジ63、C.I.
ピグメント・オレンジ64、C.I.ピグメント・オレ
ンジ71、C.I.ピグメント・オレンジ73などのオ
レンジ色の有機顔料、
【0037】C.I.ピグメント・バイオレット1、
C.I.ピグメント・バイオレット19、C.I.ピグ
メント・バイオレット23、C.I.ピグメント・バイ
オレット29、C.I.ピグメント・バイオレット3
2、C.I.ピグメント・バイオレット36、C.I.
ピグメント・バイオレット38などのバイオレット色の
有機顔料、
【0038】C.I.ピグメント・レッド1、C.I.
ピグメント・レッド2、C.I.ピグメント・レッド
3、C.I.ピグメント・レッド4、C.I.ピグメン
ト・レッド5、C.I.ピグメント・レッド6、C.
I.ピグメント・レッド7、C.I.ピグメント・レッ
ド8、C.I.ピグメント・レッド9、C.I.ピグメ
ント・レッド10、C.I.ピグメント・レッド11、
C.I.ピグメント・レッド12、C.I.ピグメント
・レッド14、C.I.ピグメント・レッド15、C.
I.ピグメント・レッド16、C.I.ピグメント・レ
ッド17、C.I.ピグメント・レッド18、C.I.
ピグメント・レッド19、C.I.ピグメント・レッド
21、C.I.ピグメント・レッド22、C.I.ピグ
メント・レッド23、C.I.ピグメント・レッド3
0、C.I.ピグメント・レッド31、C.I.ピグメ
ント・レッド32、C.I.ピグメント・レッド37、
C.I.ピグメント・レッド38、C.I.ピグメント
・レッド40、C.I.ピグメント・レッド41、C.
I.ピグメント・レッド42、C.I.ピグメント・レ
ッド48:1、C.I.ピグメント・レッド48:2、
C.I.ピグメント・レッド48:3、C.I.ピグメ
ント・レッド48:4、C.I.ピグメント・レッド4
9:1、C.I.ピグメント・レッド49:2、C.
I.ピグメント・レッド50:1、C.I.ピグメント
・レッド52:1、C.I.ピグメント・レッド53:
1、C.I.ピグメント・レッド57、C.I.ピグメ
ント・レッド57:1、C.I.ピグメント・レッド5
8:2、C.I.ピグメント・レッド58:4、C.
I.ピグメント・レッド60:1、C.I.ピグメント
・レッド63:1、C.I.ピグメント・レッド63:
2、C.I.ピグメント・レッド64:1、C.I.ピ
グメント・レッド81:1、C.I.ピグメント・レッ
ド83、C.I.ピグメント・レッド88、C.I.ピ
グメント・レッド90:1、C.I.ピグメント・レッ
ド97、C.I.ピグメント・レッド101、C.I.
ピグメント・レッド102、C.I.ピグメント・レッ
ド104、C.I.ピグメント・レッド105、C.
I.ピグメント・レッド106、C.I.ピグメント・
レッド108、C.I.ピグメント・レッド112、
C.I.ピグメント・レッド113、C.I.ピグメン
ト・レッド114、C.I.ピグメント・レッド12
2、C.I.ピグメント・レッド123、C.I.ピグ
メント・レッド144、C.I.ピグメント・レッド1
46、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピ
グメント・レッド150、C.I.ピグメント・レッド
151、C.I.ピグメント・レッド166、C.I.
ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッ
ド170、C.I.ピグメント・レッド171、C.
I.ピグメント・レッド172、C.I.ピグメント・
レッド174、C.I.ピグメント・レッド175、
C.I.ピグメント・レッド176、C.I.ピグメン
ト・レッド177、C.I.ピグメント・レッド17
8、C.I.ピグメント・レッド179、C.I.ピグ
メント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド1
85、C.I.ピグメント・レッド187、C.I.ピ
グメント・レッド188、C.I.ピグメント・レッド
190、C.I.ピグメント・レッド193、C.I.
ピグメント・レッド194、C.I.ピグメント・レッ
ド202、C.I.ピグメント・レッド206、C.
I.ピグメント・レッド207、C.I.ピグメント・
レッド208、C.I.ピグメント・レッド209、
C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメン
ト・レッド216、C.I.ピグメント・レッド22
0、C.I.ピグメント・レッド224、C.I.ピグ
メント・レッド226、C.I.ピグメント・レッド2
42、C.I.ピグメント・レッド243、C.I.ピ
グメント・レッド245、C.I.ピグメント・レッド
254、C.I.ピグメント・レッド255、C.I.
ピグメント・レッド264、C.I.ピグメント・レッ
ド265などの赤色の有機顔料、
【0039】C.I.ピグメント・ブルー15、C.
I.ピグメント・ブルー15:3、C.I.ピグメント
・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:
6、C.I.ピグメント・ブルー60などの青色の有機
顔料、
【0040】C.I.ピグメント・グリーン7、C.
I.ピグメント・グリーン36などの緑色の有機顔料、
C.I.ピグメント・ブラウン23、C.I.ピグメン
ト・ブラウン25などのブラウン色の有機顔料、C.
I.ピグメント・ブラック1、ピグメント・ブラック7
などの黒色の有機顔料などが上げられる。
【0041】これらの有機顔料は目的とする画素の色に
応じてそれぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用
いられる。かかる有機顔料のうちでも好ましい有機顔料
としては、例えば黄色の有機顔料ではC.I.ピグメン
ト・イエロー117、C.I.ピグメント・イエロー1
28、C.I.ピグメント・イエロー129、C.I.
ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イ
エロー150、C.I.ピグメント・イエロー155、
C.I.ピグメント・イエロー185などが、赤色の有
機顔料ではC.I.ピグメント・レッド166、C.
I.ピグメント・レッド178、C.I.ピグメント・
レッド209、C.I.ピグメント・レッド242、
C.I.ピグメント・レッド254などが、黒色の有機
顔料ではC.I.ピグメント・ブラック1、ピグメント
・ブラック7などがそれぞれ挙げられ、さらに好ましく
はC.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグ
メント・レッド254、C.I.ピグメント・ブラック
1、ピグメント・ブラック7などである。
【0042】また、ブラックマトリックスを製造するた
めに用いる着色感光性樹脂組成物に用いられる黒色の顔
料としては、例えばカーボンブラック、黒鉛(特開平5
−311109号公報、特開平6−11613号公報な
ど)、アゾ系ブラック色素(特開平2−216102号
公報など)などを用いることができる。また上記C.
I.ピグメント・ブラック1、ピグメント・ブラック7
などの黒色の有機顔料などを用いることもできる。
【0043】顔料の平均粒子径は通常0.2μm以下、
好ましくは0.1μm以下であり、通常0.005μm
以上、好ましくは0.01μm以上である。かかる粒子
径の顔料は、例えばニーダー法、硫酸法、アルカリ還元
溶解法などの通常の方法により微粒化して得ることがで
きる。顔料は、その表面が改質されていてもよい(特開
平8−259876号公報など)。
【0044】本発明の着色感光性樹脂組成物における顔
料の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して
質量分率で通常15%以上、好ましくは25%以上であ
り、通常60%以下である。60%を超えると目的とす
るパターンでブラックマトリックスや画素を形成するこ
とが困難となる場合があり、好ましくは50%以下であ
る。本発明の着色感光性樹脂組成物においては、顔料の
含有量が固形分に対して質量分率で35%以上であって
も、スカムの発生が少ない。
【0045】光重合開始剤(C)としては、アセトフェ
ノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベン
ゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開
始剤、トリアジン系光重合開始剤、オキサジアゾール系
光重合開始剤などを用いることができる。
【0046】アセトフェノン系光重合開始剤としては、
例えばジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2
−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジル
ジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン
−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−
モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−メチル−
1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロ
パン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−
オンなどおよびそのオリゴマーなどが挙げられる。
【0047】ベンゾイン系光重合開始剤としては、例え
ばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。ベンゾ
フェノン系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノ
ン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベン
ゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニル
サルファイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert
−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,
4,6−トリメチルベンゾフェノンなど画挙げられる。
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば2−イ
ソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサ
ントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジ
クロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチ
オキサントンなどが挙げられる。
【0048】トリアジン系光重合開始剤としては、例え
ば2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メト
キシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビ
ス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチ
ル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジ
ン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メ
トキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−
ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフ
ラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジ
ン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリア
ジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニ
ル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−(3,4−ジメトキシフェニル)−
1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメ
チル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテ
ニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
【0049】オキサジアゾール系光重合開始剤として
は、例えば5−(p−メトキシフェニル)−2−トリク
ロロメチルオキサジアゾール、5−(p−ブトキシスチ
リル)−2−トリクロロメチルオキサジアゾールなどが
挙げられる。
【0050】また、光重合開始剤として、2,4,6−
トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイ
ド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エ
チルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンス
レンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル
酸メチル、ビスペンタジエニルチタニウム−ジ(ペンタ
フルオロフェニル)などのチタノセン化合物などを用い
ることもできる。
【0051】これらの光重合開始剤は、それぞれ単独で
または2種以上を組み合わせて用いられる。本発明の着
色感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、
一般式(I)で示される化合物100質量部に対して通
常3質量部以上、好ましくは5質量部以上であり、通常
60質量部以下、好ましくは40質量部以下であるが、
光重合性化合物として一般式(I)で示される化合物以
外の光重合性化合物を用いる場合や、バインダー樹脂を
用いる場合には、一般式(I)で示される化合物、これ
以外の光重合性化合物およびバインダー樹脂の合計量1
00質量部に対して上記範囲、すなわち通常3質量部以
上、好ましくは5質量部以上であり、通常60質量部以
下、好ましくは40質量部以下である。
【0052】本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合
開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光
重合反応を促進するために用いられる。光重合開始助剤
としては、例えばトリエタノールアミン、メチルジエタ
ノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメ
チルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香
酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4
−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香
酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラト
ルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフ
ェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジ
エチルアミノ)ベンゾフェノン、9,10−ジメトキシ
アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアン
トラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エ
チル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げら
れる。これらの光重合開始助剤はそれぞれ単独でまたは
2種以上を組み合わせて用いることができる。かかる光
重合開始助剤を用いる場合、その使用量は光重合開始剤
1モルに対して通常は0.01モル以上10モル以下で
ある。
【0053】本発明の着色感光性樹脂組成物は、その製
造時や保存中に一般式(I)で示される化合物(A)お
よびこれ以外の光重合性化合物が熱重合することを防止
するために、熱重合防止剤を含有していてもよい。かか
る熱重合防止剤としては、例えばハロイドキノン、p−
メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾー
ル、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノ
ン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−
6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒ
ドロキシアミン第一セリウム塩などが挙げられる。熱重
合防止剤を用いる場合、その含有量は、着色感光性樹脂
組成物の全量に対して質量分率で0.01%以上5%以
下が好ましい。
【0054】本発明の着色感光性樹脂組成物は、充填
材、高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤(分散剤)などの添加剤
を含有していてもよい。充填材としては、例えばガラス
粒子、アルミナ粒子などが挙げられる。高分子化合物と
しては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル
酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポ
リフロロアルキルアクリレートなどのアルカリ可溶性で
はない高分子化合物が挙げられる。
【0055】界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤であ
ってもよいし、カチオン系界面活性剤であってもよい
し、アニオン系界面活性剤であってもよい。密着促進剤
としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルト
リエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキ
シ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプ
ロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチ
ル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−ア
ミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプ
ロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピル
メチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシク
ロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプ
ロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルト
リメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシ
ランなどが挙げられる。
【0056】酸化防止剤としては、例えば2,2−チオ
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,
6−ジ−t−ブチルフェノールなどが挙げられる。紫外
線吸収剤としては、例えば2−(3−t−ブチル−5−
メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾ
トリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げら
れる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナト
リウムなどが挙げられる。
【0057】本発明の着色感光性樹脂組成物は、カルボ
ン酸類、アミン類などを含有していてもよい。カルボン
酸類としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪
酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エ
ナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸、シ
ュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン
酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン
酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジ
メチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク
酸、シトラコン酸などの脂肪族ジカルボン酸、トリカル
バリル酸、アコニット酸、カンホロン酸など肪族トリカ
ルボン酸、息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト
酸、メシチレン酸など香族モノカルボン酸、フタル酸、
イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシ
ン酸、メロファン酸、ピロメリト酸などの芳香族ポリカ
ルボン酸、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケ
イ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、
ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナ
ミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などのような、分
子量が1000以下であり分子中に1個以上のカルボキ
シル基を有する化合物が挙げられる。
【0058】アミン類としては、例えばn−プロピルア
ミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブ
チルアミン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、
n−ヘキシルアミン、n−ヘプチルアミン、n−オクチ
ルアミン、n−ノニルアミン、n−デシルアミン、n−
ウンデシルアミン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシ
ルアミン、o−メチルシクロヘキシルアミン、m−メチ
ルシクロヘキシルアミン、p−メチルシクロヘキシルア
ミン、o−エチルシクロヘキシルアミン、m−エチルシ
クロヘキシルアミン、p−エチルシクロヘキシルアミン
などのモノ(シクロ)アルキルアミン類、メチル・エチ
ルアミン、ジエチルアミン、メチル・n−プロピルアミ
ン、エチル・n−プロピルアミン、ジ−n−プロピルア
ミン、ジイソプロピルアミン、ジ−n−ブチルアミン、
ジイソブチルアミン、ジ−t−ブチルアミン、ジ−n−
ペンチルアミン、ジ−n−ヘキシルアミン、メチル・シ
クロヘキシルアミン、エチル・シクロヘキシルアミン、
ジシクロヘキシルアミンなどのジ(シクロ)アルキルア
ミン類、ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルア
ミン、トリエチルアミン、ジメチル・n−プロピルアミ
ン、ジエチル・n−プロピルアミン、メチル・ジ−n−
プロピルアミン、エチル・ジ−n−プロピルアミン、ト
リ−n−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、ト
リ−n−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−
t−ブチルアミン、トリ−n−ペンチルアミン、トリ−
n−ヘキシルアミン、ジメチル・シクロヘキシルアミ
ン、ジエチル・シクロヘキシルアミン、メチル・ジシク
ロヘキシルアミン、エチル・ジシクロヘキシルアミン、
トリシクロヘキシルアミンなどのトリ(シクロ)アルキ
ルアミン類、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−
プロパノール、1−アミノ−2−プロパノール、4−ア
ミノ−1−ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノー
ル、6−アミノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−
シクロヘキサノールなどのモノ(シクロ)アルカノール
アミン類、ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノール
アミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−n−ブタノー
ルアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−n−ペンタノ
ールアミン、ジ−n−ヘキサノールアミン、ジ(4−シ
クロヘキサノール)アミンなどのジ(シクロ)アルカノ
ールアミン類、トリエタノールアミン、トリ−n−プロ
パノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−
n−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、ト
リ−n−ペンタノールアミン、トリ−n−ヘキサノール
アミン、トリ(4−シクロヘキサノール)アミンなどの
トリ(シクロ)アルカノールアミン類、3−アミノ−
1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プロ
パンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオール、
4−アミノ−1,3−ブタンジオール、4−アミノ−
1,2−シクロヘキサンジオール、4−アミノ−1,3
−シクロヘキサンジオール、3−ジメチルアミノ−1,
2−プロパンジオール、3−ジエチルアミノ−1,2−
プロパンジオール、2−ジメチルアミノ−1,3−プロ
パンジオール、2−ジエチルアミノ−1,3−プロパン
ジオールなどのアミノ(シクロ)アルカンジオール類、
1−アミノシクロペンタンメタノール、4−アミノシク
ロペンタンメタノール、1−アミノシクロヘキサンメタ
ノール、4−アミノシクロヘキサンメタノール、4−ジ
メチルアミノシクロペンタンメタノール、4−ジエチル
アミノシクロペンタンメタノール、4−ジメチルアミノ
シクロヘキサンメタノール、4−ジエチルアミノシクロ
ヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカン
メタノール類、β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−ア
ミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイソ酪酸、3−
アミノイソ酪酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草
酸、6―アミノカプロン酸、1―アミノシクロプロパン
カルボン酸、1―アミノシクロヘキサンカルボン酸、4
―アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボ
ン酸類などのような、分子量が1000以下であり分子
中に1個以上のアミノ基を有する化合物が挙げられる。
【0059】アミン類は、アミノ基がフェニル基に直接
結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基
に結合した化合物などであってもよい。アミノ基がフェ
ニル基に直接結合した化合物のとしては、例えばアニリ
ン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メ
チルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピル
アニリン、p−イソプロピルアニリン、p−n−ブチル
アニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミ
ン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、
N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、
【0060】o−アミノベンジルアルコール、m−アミ
ノベンジルアルコール、p−アミノベンジルアルコー
ル、p−ジメチルアミノベンジルアルコール、p−ジエ
チルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルア
ルコール類、o−アミノフェノール、m−アミノフェノ
ール、p−アミノフェノール、p−ジメチルアミノフェ
ノール、p−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフ
ェノール類、m−アミノ安息香酸、p−アミノ安息香
酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジエチルアミノ
安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。こ
れらのアミン類も、分子量が1000以下であり分子中
に1個以上のアミノ基を有する化合物である。
【0061】かかるカルボン酸類、アミン類はそれぞれ
単独でまたは2種以上を混合して用いられる。かかるカ
ルボン酸類、アミン類を用いる場合、その含有量は着色
感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常0.
01%以上15%以下である。
【0062】本発明の着色感光性樹脂組成物は溶媒で希
釈されていてもよい。溶媒としては、例えば酢酸エチ
ル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢
酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、
酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキル
エステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチ
ル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢
酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、
エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシ
プロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピ
オン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−
エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸
メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプ
ロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチ
ル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプ
ロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチ
ル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2
−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチル
プロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピ
オン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸
エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビ
ン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、
2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチ
ル、2-メトキシブチルアセテート、3−メトキシブチ
ルアセテート、4-メトキシブチルアセテート、2−メ
チル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3
−メトキシブチルアセテート、3−エチル−3−メトキ
シブチルアセテート、2−エトキシブチルアセテート、
4−エトキシブチルアセテート、4−プロポキシブチル
アセテート、2−メトキシペンチルアセテート、3−メ
トキシペンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセ
テート、2−メチル−3−メトキシペンチルアセテー
ト、3−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3
−メチル−4−メトキシペンチルアセテート、4−メチ
ル−4−メトキシペンチルアセテートなどのエステル
類、
【0063】ジエチレングリコールジメチルエーテル、
テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエ
ーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチ
ルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテ
ルアセテートなどのエーテル類、メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンな
どケトン類、トルエン、キシレシなどの芳香族炭化水素
類などが挙げられる。
【0064】好ましくは3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソル
ブアセテート、3ーメトキシブチルアセテート、乳酸エ
チル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブ
チル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノ
ン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテー
ト、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコ
ールメチルエーテルアセテートなどである。
【0065】これらの溶媒は、それぞれ単独でまたは2
種以上を混合して用いられ、その使用量は着色感光性樹
脂組成物の固形分の濃度が質量分率で2%以上50%以
下の範囲となるように用いられる。
【0066】本発明の着色感光性樹脂組成物を製造する
には、例えば溶媒中で一般式(I)で示される化合物
(A)、顔料(B)および光重合開始剤(C)を混合す
ればよい。一般式(I)で示される化合物(A)以外の
光重合性化合物、バインダー樹脂、光重合開始助剤、熱
重合防止剤、添加剤を用いる場合には、これらは同時に
混合される。
【0067】本発明の着色感光性樹脂組成物を用いてカ
ラーフィルターを製造するには、例えば本発明の着色感
光性樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の表面に
形成し(図1(a))、該層(1)にフォトマスク(3)
を介して光線(4)を照射して露光し(図1(b))、次
いで現像すればよい。
【0068】基板(2)としては通常と同様に、例えば
ガラス板、シリコン基板(シリコン・ウェハー)、ポリ
エステル板、芳香族ポリアミド板、ポリアミドイミド板
などの樹脂板などが挙げられる。かかる基板は、その表
面に表面処理が施されていてもよい。表面処理として
は、シランカップリング処理、プラズマ処理、イオンプ
レーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処
理、蒸着処理などが挙げられる。
【0069】着色感光性樹脂組成物層(1)を基板
(2)の表面に形成するには、通常と同様に、例えば回
転塗布法、流延塗布法、ロール塗布法などの塗布法によ
り着色感光性樹脂組成物を塗布すればよい。着色感光性
樹脂組成物を溶媒で希釈して用いた場合には、塗布後乾
燥させることにより、着色感光性樹脂組成物層を設ける
ことができる。着色感光性樹脂組成物層の厚みは、目的
とするカラーフィルターにおける画素やブラックマトリ
ックスの厚みに応じて適宜選択されるが、通常は0.1
μm以上10μm以下、好ましくは0.2μm以上5μ
m以下、さらに好ましくは0.2μm以上3μm以下で
ある。
【0070】次いで、露光する。露光は、着色感光性樹
脂組成物層に光線(4)を照射することにより行われ
る。光線としては、g線(波長436nm)、i線(波
長365nm)などの紫外線が通常用いられる。
【0071】光線はフォトマスク(3)を介して照射さ
れる。フォトマスク(3)としては、例えば光線を透過
するガラス板(31)の表面に光線を遮蔽する遮光層
(32)が設けられたものが用いられる。ガラス板のう
ちの遮光層が設けられなかった部分は透光部(33)と
なって光線(4)を透過する。かかるフォトマスクを介
して光線(4)を照射することにより、目的とする画素
やブラックマトリックスの形状に応じたパターンで着色
感光性樹脂組成物層(1)を露光することができる。
【0072】露光後、現像する。現像は、通常と同様
に、例えば露光後の着色感光性樹脂組成物層(1)を現
像液に接触させればよい。現像液としては、通常と同様
に、例えばアルカリ性化合物の水溶液が用いられる。ア
ルカリ性化合物とは、水に溶解してアルカリ性を呈する
化合物であって、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナト
リウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミ
ン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキ
シド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザ
ビシクロ−〔5,4,0〕−7−ウンデセンなどが挙げ
られる。かかるアルカリ性化合物はそれぞれ単独でまた
は2種以上を混合して用いられ、その使用量は、水溶液
100質量部あたり通常0.001質量部以上10質量
部以下、好ましくは0.01質量部以上1質量部以下で
ある。
【0073】現像液は、界面活性剤、水溶性の有機溶媒
などを含有していてもよい。界面活性剤としては、例え
ばノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤などが
挙げられる。水溶性有機溶媒としては、例えばメタノー
ル、エタノールなどの脂肪族アルコールなどが挙げられ
る。
【0074】着色感光性樹脂組成物層を現像液と接触さ
せる方法としては、例えば現像液を着色感光性樹脂組成
物層に噴霧するシャワー現像法、スプレー現像法、着色
感光性樹脂組成物層を基板とともに現像液に浸漬する浸
漬現像法(ディップ現像法)、着色感光性樹脂組成物層
の上に現像液を塗布するパドル現像法(液盛り現像法)
などが挙げられる。現像は室温、例えば0℃以上40℃
以下で行うことができ、現像時間は通常5秒以上300
秒以下である。
【0075】現像によって、着色感光性樹脂組成物層
(1)のうち、先の露光において光線が照射されなかっ
た光線未照射領域(11)は除去され、その一方で光線
が照射された光線照射領域(12)は除去されることな
く残って、目的のパターンでブラックマトリックスまた
は画素(5)が形成される(図2(c))。現像後、水で
洗浄し、乾燥することにより、基板上に形成されたブラ
ックマトリックス、画素を得ることができる。乾燥後、
加熱すれば、基板上に形成されたブラックマトリック
ス、画素の機械的強度を向上することもできる。
【0076】着色感光性樹脂組成物に含まれる顔料の色
を代えながら、上記と同様の操作を繰り返し行うことに
よって、ブラックマトリックス、各色の画素を順次形成
することにより、ブラックマトリックス(5BM)、各
色の画素で構成されたカラーフィルター(6)を得るこ
とができる(図2)。かくして形成される画素の色の組
み合わせとしては、例えば赤色画素(5R)、緑色画素
(5G)、青色画素(5B)の三原色の組み合わせ、黄
色(Y)の画素、シアン色の(C)画素、マゼンタ色
(M)の画素の三原色の補色の組み合わせなどが挙げら
れる。
【0077】かくして得られたカラーフィルターはブラ
ックマトリックスまたは画素が本発明の着色感光性樹脂
組成物から形成されているので、ブラックマトリックス
が本発明の着色感光性樹脂組成物から形成されている場
合には、その光学濃度を高くすることができ、線幅が比
較的狭いときでも欠けなどを生ずることがなく、また画
素が本発明の着色感光性樹脂組成物から形成されている
場合には、析出物もなく、溶剤に浸漬しても異常が発生
することもない。
【0078】
【発明の効果】本発明の着色感光性樹脂組成物は、粒子
径の小さい顔料を高濃度で用いても、スカムをほとんど
発生することなくブラックマトリックス、画素を得るこ
とができるので、より微細で厚みが薄いブラックマトリ
ックス、画素から構成されるカラーフィルターを製造す
ることができる。
【0079】
【実施例】以下、実施例により本発明をより詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
【0080】実施例1 〔赤色の着色感光性樹脂組成物の調製〕 式(10) で示される化合物〔以下化合物(10)とする、大阪ガ
スケミカル(株)製〕2質量部、光重合性化合物〔ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート、商品名「KAY
ARAD DPHA」、日本化薬(株)製〕6質量部、バ
インダー樹脂〔ベンジルメタクリレートとメタクリル酸
との共重合体、ベンジルメタクリレート単位とメタクリ
ル酸単位との質量比は82:18、重量平均分子量は2
2000〕4.5質量部、顔料〔C.I.ピグメントレ
ッド254、平均粒子径は0.06μm〕5質量部、光
重合開始剤〔2−メチル−1−(4−メチルチオフェニ
ル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、商品名「I
rgacure 907」、日本チバガイギー(株)〕1
質量部、光重合開始剤〔2,4−ジエチルチオキサント
ン、商品名「KAYACUREDETX−S」、日本化
薬(株)製〕0.4質量部、分散剤(高分子系顔料分散
剤)2質量部および溶媒〔プロピレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート〕80質量部を混合して感光性
樹脂組成物(赤色)を得た。
【0081】〔赤色画素の形成〕上記で得た着色感光性
樹脂組成物を基板〔コーニング社製のガラス製基板、商
品名「#7059」、厚み1mm、大きさ50mm×5
0mm〕(2)の上に回転塗布し、70℃で3分間加熱
して、着色感光性樹脂組成物層(1)を形成した(図1
(a))。次いで、マスクパターン(3)を介して紫外線
(4)を照射して、露光した(図1(b))。露光におい
て紫外線の光源には超高圧水銀灯を用い、照射量は20
0mJ/cm2とした。次いで、現像液〔水酸化カリウ
ム水溶液、水酸化カリウム含有量は質量分率で0.05
%、ノニオン系界面活性剤を含む〕に80秒間浸漬して
現像し、230℃で20分間加熱して、赤色画素〔厚み
は1.7μm〕(5R)を形成して(図1(c))、赤色
のカラーフィルターを得た。
【0082】〔着色感光性樹脂組成物の評価〕 (1)スカムの有無 得られたカラーフィルターの表面を目視にて観察し、基
板上のスカムの有無を確認した。結果を表1に示す。 (2)析出物の有無 得られたカラーフィルターを230℃で2時間保温した
のち、赤色画素の表面を光学顕微鏡(観察倍率200
倍)して観察し、画素の表面の析出物の有無を確認し
た。結果を表1に示す。 (3)浸漬後の異常の有無 得られたカラーフィルターをN−メチル−ピロリドンに
室温で1時間浸漬しても、目視で認められる異常の有無
を確認した。結果を表1に示す。 (4)コントラスト 得られたカラーフィルターの上下に直線偏光板を配置
し、それぞれの直線偏光板の吸収軸を平行としたときの
光線透過率(T1)と、直交したときの光線透過率
(T2)との比(コントラスト=T1/T2)を求めた。
結果を表1に示す。
【0083】実施例2 顔料〔C.I.ピグメントレッド254、平均粒子径
0.06μm〕に代えて顔料〔C.I.ピグメントレッ
ド254、平均粒子径0.15μm〕5質量部を用いる
以外は実施例1と同様に操作して、着色感光性樹脂組成
物を得、赤色の画素を形成してカラーフィルターを得
た。このカラーフィルターを実施例1と同様にして評価
した。その結果を表1に示す。
【0084】実施例3 顔料〔C.I.ピグメントレッド254、平均粒子径
0.06μm〕の使用量を8質量部とする以外は実施例
1と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得、赤色
の画素を形成してカラーフィルターを得た。このカラー
フィルターを実施例1と同様にして評価した。その結果
を表1に示す。
【0085】比較例1 化合物(10)を用いず、バインダー樹脂の使用量を
6.5質量部とする以外は実施例2と同様に操作して、
着色感光性樹脂組成物を得、赤色の画素を形成してカラ
ーフィルターを得た。このカラーフィルターを実施例1
と同様にして評価した。その結果を表1に示す。
【0086】比較例2 化合物(10)を用いず、バインダー樹脂の使用量を
6.5質量部とする以外は実施例3と同様に操作して、
着色感光性樹脂組成物を得、赤色の画素を形成してカラ
ーフィルターを得た。このカラーフィルターを実施例1
と同様にして評価した。その結果を表1に示す。
【0087】
【表1】
【0088】実施例4 〔黒色の着色感光性樹脂組成物の調製〕化合物(10)
4質量部、光重合性化合物〔ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート、商品名「KAYARAD DPH
A」、日本化薬(株)製〕2.5質量部、バインダー樹脂
〔ベンジルメタクリレートとメタクリル酸との共重合
体、ベンジルメタクリレート単位とメタクリル酸単位と
の質量比は65:35、重量平均分子量は31000〕
2質量部、顔料〔プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテートにカーボンブラックが分散された組成
物、御国色素(株)製、「SCBK−22」、固形分濃度
は質量分率で約23%〕(固形分分量として12質量
部)、光重合開始剤〔2,4−ビス(トリクロロメチ
ル)−6−(3,4−ジメトキシフェニル)−1,3,
5−トリアジン〕2.5質量部および溶媒〔プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート〕80質量部
を混合して黒色の感光性樹脂組成物を得た。
【0089】〔ブラックマトリックスの形成〕上記で得
た着色感光性樹脂組成物を基板〔ガラス製、コーニング
社製、「#7059」〕(2)の上に回転塗布し、10
0℃で3分間加熱して、着色感光性樹脂組成物層(1)
を形成した。この着色感光性樹脂組成物層(1)が形成
された基板(2)の光学濃度〔照射光量I0と透過光量
Iとから−log(I/I0)で示される値〕を算出し
たところ、その値は2.5であった。次いで、この着色
感光性樹脂組成物層が形成された基板にマスクパターン
(3)を介して紫外線(4)を照射して、露光した。露
光において紫外線の光源には超高圧水銀灯を用い、照射
量は400mJ/cm2とした。次いで、現像液〔水酸
化カリウム水溶液、水酸化カリウム含有量は質量分率で
0.05%であり、ノニオン系界面活性剤を含む〕に9
0秒間浸漬して現像し、230℃で20分間加熱して、
ブラックマトリックス(5BR)を形成した。このブラ
ックマトリックスが形成された基板の表面を目視で観察
したところ、基板上にスカムは見られなかった。
【0090】〔着色感光性樹脂組成物の評価〕 (1)スカムの有無 得られたカラーフィルターの表面を目視にて観察し、基
板上のスカムの有無を確認した。結果を表2に示す。 (2)感度 マスクパターン(3)として、遮光層(32)の光線透
過率が段階的に変化しているマスクパターンを用いて露
光する以外は上記と同様に操作してブラックマトリック
ス(5BM)を形成し、ブラックマトリックスが形成さ
れるために必要な最小の光線照射量を求め、感度とし
た。結果を表2に示す。 (3)再現性 マスクパターン(3)として、線幅10μmのラインパ
ターンが10μmの間隔を空けて配置されたブラックマ
トリックスを形成するためのマスクパターンを用いる以
外は上記と同様に操作してブラックマトリックス(5B
M)を形成した。このブラックマトリックスを200倍
で観察したところ、欠けは確認されなかった。結果を表
2に示す。
【0091】実施例5 光重合開始剤〔2,4−ビス(トリクロロメチル)−6
−(3,4−ジメトキシフェニル)−1,3,5−トリ
アジン〕に代えて、光重合開始剤〔2,4−ビス(トリ
クロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリア
ジン〕2.5質量部を用いる以外は実施例4と同様に操
作して、着色感光性樹脂組成物を得、ブラックマトリッ
クスを形成し、評価した。結果を表2に示す。
【0092】実施例6 顔料〔黒色顔料〕の使用量を15質量部とする以外は実
施例4と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を得、
ブラックマトリックスを形成し、評価した。結果を表2
に示す。
【0093】比較例3 化合物(10)を用いることなく、バインダー樹脂の使
用量を6質量部とする以外は実施例4と同様に操作し
て、着色感光性樹脂組成物を得、ブラックマトリックス
を形成し、評価した。結果を表2に示す。
【0094】比較例4 化合物(10)を用いることなく、バインダー樹脂の使
用量を6質量部とする以外は実施例5と同様に操作し
て、着色感光性樹脂組成物を得、ブラックマトリックス
を形成し、評価した。結果を表2に示す。
【0095】比較例5 化合物(10)を用いることなく、バインダー樹脂の使
用量を6質量部とする以外は実施例6と同様に操作し
て、着色感光性樹脂組成物を得、ブラックマトリックス
を形成し、評価した。結果を表2に示す。
【0096】
【表2】
【図面の簡単な説明】
【図1】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に画素、
ブラックマトリックスを形成する工程を示す模式図であ
る。
【図2】カラーフィルターの一例を部分的に示す模式図
である。
【符号の説明】
1:基板 2:着色感光性樹脂組成物層 3:マスクパターン 31:ガラス板 32:遮光層 33:透光部 4:光線 5:画素またはブラックマトリックス 5R、5G、5
B:色画素 5BM:ブラックマトリックス 6:カラーフィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C08K 5/00 C08K 5/00 4J027 C08L 63/10 C08L 63/10 G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/028 7/028 7/033 7/033 Fターム(参考) 2H025 AA00 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 BC74 CA01 CA20 CA27 CA28 CC12 FA03 FA17 2H048 BA02 BA11 BA45 BA48 BB02 BB14 BB15 BB22 BB42 4J002 AA00X BG00X BH00X CD19X CD20W FD096 FD207 GP03 4J011 QB20 RA03 RA04 SA01 SA31 SA64 SA78 UA01 VA01 WA01 4J026 AA43 AA44 AA53 AA54 BA50 DB06 DB36 FA05 GA07 4J027 AE02 AE05 AE06 CA34 CC05 CD10

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式(I) 〔式中、R1およびR2はそれぞれ独立に水素原子、アル
    キル基またはハロゲン原子を示し、R3はアルキレン基
    を示し、R4は水素原子、アルキル基、アリール基、ア
    ラルキル基、アルケニル基、アルキルカルボニル基、ア
    リールカルボニル基またはアラルキルカルボニル基を示
    し、R5は水素原子またはメチル基を示し、Xは単結合
    または式(I−1)〜(I−8) で示される2価の残基を示し、mは1〜5の整数を示
    し、nは1〜10の整数を示す。〕で示される化合物
    (A)、顔料(B)および光重合開始剤(C)を含有す
    ることを特徴とする感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】一般式(I)で示される化合物(A)の含
    有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分
    率で5%以上50%以下である請求項1に記載の着色感
    光性樹脂組成物。
  3. 【請求項3】バインダー樹脂を含有する請求項1に記載
    の着色感光性樹脂組成物。
  4. 【請求項4】顔料(B)の粒子径が0.2μm以下であ
    る請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  5. 【請求項5】顔料(B)の含有量が着色感光性樹脂組成
    物の固形分に対して質量分率で15%以上である請求項
    1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  6. 【請求項6】光重合開始剤(C)の含有量が一般式
    (I)で示される化合物100質量部に対して3質量部
    以上60質量部以下である請求項1に記載の着色感光性
    樹脂組成物。
  7. 【請求項7】請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物か
    らなる層を基板の表面に形成し、該層にフォトマスクを
    介して光線を照射して露光し、次いで現像することを特
    徴とするカラーフィルターの製造方法。
  8. 【請求項8】ブラックマトリックスまたは画素が、請求
    項1に記載の着色感光性樹脂組成物から形成されてなる
    ことを特徴とするカラーフィルター。
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