JP2007127722A - 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 - Google Patents
感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007127722A JP2007127722A JP2005318648A JP2005318648A JP2007127722A JP 2007127722 A JP2007127722 A JP 2007127722A JP 2005318648 A JP2005318648 A JP 2005318648A JP 2005318648 A JP2005318648 A JP 2005318648A JP 2007127722 A JP2007127722 A JP 2007127722A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- photosensitive resin
- resin composition
- light
- pigment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
【解決手段】第一の偏光板、感光性樹脂組成物層及び第二の偏光板の順に、該第一の偏光板と該第二の偏光板の偏光方向が並行になるように重ねた第一の被測定物に、該感光性樹脂組成物層を感光させる波長のレーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX1とし、前記偏光方向が直交するように重ねた第二の被測定物に、前記レーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX2としたとき、X1/X2で表される露光波長コントラストが、1,000以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
いずれのパターン形成においても、形成されるパターンは、超高精度であることが求められるLSIなどの集積回路、製版、カラーフィルタなどに用いられ、材料の感度、コントラストや膜厚のばらつきに起因する画素欠落や線幅太りなどがなく、均一かつ高精度であることが要求されている。
このような均一かつ高精度であるパターンを形成する感光性材料として、該感光性材料に用いられる感光性樹脂組成物の溶液中にマイクロゲルの少ない共重合体を用いることにより、感度及び解像度を改善する提案がなされている(特許文献1)。
また、バインダーポリマー、光重合性化合物、増感剤及び光に対してラジカルを発生しうる光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物からなる感光性材料を用い、厚膜で密着性があり、かつ感度を改善する提案もなされている(特許文献2)。
しかし、いずれの提案も、感光性材料の感度及び解像度を向上させるため、感光性樹脂組成物を改善したものである。パターン形成にレーザ光を用いるフォトリソグラフィの場合、前記感光性材料に積層されている層の内部で、レーザ光の偏光に対する吸収性に均一性が欠け、吸収性の異なる領域ができてしまう。このように、領域によって偏光に対する吸収性が異なると、部分的に露光感度が異なる領域が発生してしまうという感光性材料の偏光性の問題がある。感光性材料にこのような偏光性があると、画素欠落や線幅太りが発生する原因となり、画素欠けや線幅太りのない均一なパターンが得られないという弊害が生ずる。
このため、フォトマスクを用いることなく、特にブラック画像の線幅ばらつきを極めて少なく、高精細に形成することができる感光性樹脂組成物及び該感光性樹脂組成物により製造されたカラーフィルタ並びに該カラーフィルタを用いた反射型液晶表示装置は未だ提供されておらず、更なる改良開発が望まれているのが現状である。
<1> 第一の偏光板、感光性樹脂組成物層及び第二の偏光板の順に、該第一の偏光板と該第二の偏光板の偏光方向が並行になるように重ねた第一の被測定物に、該感光性樹脂組成物層を感光させる波長のレーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX1とし、前記偏光方向が直交するように重ねた第二の被測定物に、前記レーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX2としたとき、X1/X2で表される露光波長コントラストが、1,000以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。
<2> 感光性樹脂組成物が、アルカリ可溶性樹脂と、モノマー及びオリゴマーのいずれかと、光重合開始剤と、顔料粒子とを含む前記<1>に記載の感光性樹脂組成物である。
<3> 顔料粒子の数平均粒径が、0.001〜0.1μmである前記<2>に記載の感光性樹脂組成物である。
<4> 感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性樹脂の含有量が、10〜90質量%、モノマー及びオリゴマーのいずれかの含有量が、10〜90質量%、光重合開始剤の含有量が、0.1〜20質量%、顔料粒子の含有量が、1〜50質量%、である前記<2>から<3>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<5> 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・レッド254を含む前記<2>から<4>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<6> 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・グリーン36を含む前記<2>から<5>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<7> 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・ブルー15:6を含む前記<2>から<6>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物である。
<8> 前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成したことを特徴とするカラーフィルタである。
<9> 前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物をスリット状ノズルにより塗布する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
<10> 基板上に、少なくとも前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性樹脂組成物層を有する積層体をラミネーターにより基板に貼り付ける工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
<11> 前記<8>に記載のカラーフィルタを有することを特徴とする液晶表示装置である。
本発明の感光性樹脂組成物は、露光波長コントラストが、1,000以上であることが特徴である。
前記露光量波長コントラストは、図40に示すように、第一の偏光板302、感光性樹脂組成物層301及び第二の偏光板303の順に、該第一の偏光板302と該第二の偏光板303の偏光方向が並行になるように重ねた第一の被測定物に、該感光性樹脂組成物層301を感光させる波長のレーザ光305を透過させ、該透過光306の輝度(cd/m2)をX1とし、図41に示すように、前記偏光方向が直交するように重ね、前記第一の被測定物と同様に前記感光性樹脂組成物を有する第二の被測定物に、前記レーザ光305を透過させ、該透過光306の輝度(cd/m2)をX2としたとき、X1/X2で表される露光波長コントラストが、1,000以上であることで表される数値により規定される。
該露光波長コントラストが、1,000未満であると、画素欠落や線幅太りが発生してしまい、均一なパターンが得られないことがある。
前述のように、前記露光波長コントラストは1,000以上が好ましく、2,000以上がより好ましい。
具体的には、トプコン社製、色彩輝度計BM−5、などが挙げられる。
前記画素欠落及び線幅の均一性の測定としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、形成されたパターンの外観を観察することにより測定する方法などが挙げられる。前記観察としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、透過型電子顕微鏡(TEM)と走査型電子顕微鏡(SEM)、光学顕微鏡、レーザ走査顕微鏡などが挙げられる。これらの中でも、詳細に観察するのに適しているTEM、SEM、光学顕微鏡などが好ましい。
前記感光性樹脂組成物の成分としては、アルカリ可溶性樹脂と、モノマー及びオリゴマーのいずれかと、光重合開始剤と、顔料粒子と、必要に応じて適宜選択したその他の成分とを含むことが好ましい。
前記アルカリ可溶性樹脂としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。
具体的には、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体などが挙げられる。
また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したもの、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体なども挙げられる。
これらの中でも、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体などか特に好ましい。
これらの極性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよく、通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。感光性樹脂組成物の全固形分に対する前記アルカリ可溶性樹脂の含有量は10〜90質量%が好ましく、20〜50質量%がより好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が、10質量%未満であると、感光層にベタツキが発生することがあり、90質量%を超えると現像性が悪化することがある。
前記モノマー及びオリゴマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、エチレン性不飽和二重結合を2個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。該モノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物などが挙げられる。例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリンなどの多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したものなどの多官能アクリレートや多官能メタクリレートなどが挙げられる。
これらの中でも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げられる。
前記モノマー及びオリゴマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、前記感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は10〜90質量%が好ましく、20〜50質量%がより好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が、10質量%未満であると、現像性が悪化することがあり、90質量%を超えると、感光層にベタツキが発生することがある。
前記光重合開始剤は、光重合開始剤系を含み、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、米国特許第2367660号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第2722512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3046127号明細書及び同第2951758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3549367号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトンの組み合わせ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4239850号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物などを挙げることができる。特に、トリハロメチル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合開始剤C」も好適なものとして挙げられる。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、2種類以上を混合して用いてもよいが、特に2種類以上を用いることが好ましい。少なくとも2種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、0.1〜20質量%が一般的であり、1〜15質量%が好ましい。
前記光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量が、0.1質量%未満であると、実用感度不足となることがあり、20質量%を超えると、現像性が悪化することがある。
前記顔料粒子は、着色剤に含有させることができる。前記顔料粒子の大きさとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、数平均粒径が0.001〜0.1μmが好ましく、0.01〜0.08μmがより好ましい。
前記顔料粒子の数平均粒径が0.001μm未満であると、粒子表面エネルギーが大きくなり凝集し易くなり、顔料分散が難しくなるとともに、分散状態を安定に保つことも難しくなり好ましくない。また、顔料粒子の数平均粒径が0.1μmを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、表示コントラストが低下し、好ましくない。なお、本明細書でいう「粒径」とは、電子顕微鏡写真画像を同面積の円としたときの直径を言い、「数平均粒径」とは多数の粒子について該粒径を求め、この100個平均値をいう。
前記着色剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、(i)R(レッド)の前記感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・レッド(C.I.P.R.)254が、(ii)G(グリーン)の前記感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・グリーン(C.I.P.G.)36が、(iii)B(ブルー)の前記感光性樹脂組成物においてはC.I.ピグメント・ブルー(C.I.P.B.)15:6などが好適なものとして挙げられる。
前記(i)におけるC.I.P.R.254の含有量は、前記感光性樹脂組成物を厚み1.0〜3.0μmで塗布した乾膜において、0.80〜0.96g/m2であることが好ましく、0.82〜0.94g/m2であることがより好ましく、0.84〜0.92g/m2であることが特に好ましい。
前記(ii)におけるC.I.P.G.36の含有量は、前記感光性樹脂組成物を厚み1.0〜3.0μmで塗布した乾膜において、0.90〜1.34g/m2であることが好ましく、0.95〜1.29g/m2であることがより好ましく、1.01〜1.23g/m2であることが特に好ましい。
前記(iii)におけるC.I.P.B.15:6の含有量は、前記感光性樹脂組成物を厚み1.0〜3.0μmで塗布した乾膜において、0.59〜0.67g/m2であることが好ましく、0.60〜0.66g/m2であることがより好ましく、0.61〜0.65g/m2であることが特に好ましい。前記含有量が、0.59質量g/m2%未満であると、現像後のプロファイルが悪化することがあり、0.67質量%を超えると、現像不良が発生することがある。
前記その他の顔料として、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じ前記着色剤(顔料)に加えて、公知の着色剤(染料、顔料)を添加することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合は、感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが望ましい。
前記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、C.I.ピグメント・イエロー1、C.I.ピグメント・イエロー3、C.I.ピグメント・イエロー12、C.I.ピグメント・イエロー13、C.I.ピグメント・イエロー14、C.I.ピグメント・イエロー15、C.I.ピグメント・イエロー16、C.I.ピグメント・イエロー17、C.I.ピグメント・イエロー20、C.I.ピグメント・イエロー24、C.I.ピグメント・イエロー31、C.I.ピグメント・イエロー55、C.I.ピグメント・イエロー60、C.I.ピグメント・イエロー61、C.I.ピグメント・イエロー65、C.I.ピグメント・イエロー71、C.I.ピグメント・イエロー73、C.I.ピグメント・イエロー74、C.I.ピグメント・イエロー81、C.I.ピグメント・イエロー83、C.I.ピグメント・イエロー93、C.I.ピグメント・イエロー95、C.I.ピグメント・イエロー97、C.I.ピグメント・イエロー98、C.I.ピグメント・イエロー100、C.I.ピグメント・イエロー101、C.I.ピグメント・イエロー104、C.I.ピグメント・イエロー106、C.I.ピグメント・イエロー108、C.I.ピグメント・イエロー109、C.I.ピグメント・イエロー110、C.I.ピグメント・イエロー113、C.I.ピグメント・イエロー114、C.I.ピグメント・イエロー116、C.I.ピグメント・イエロー117、C.I.ピグメント・イエロー119、C.I.ピグメント・イエロー120、C.I.ピグメント・イエロー126、C.I.ピグメント・イエロー127、C.I.ピグメント・イエロー128、C.I.ピグメント・イエロー129、C.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー151、C.I.ピグメント・イエロー152、C.I.ピグメント・イエロー153、C.I.ピグメント・イエロー154、C.I.ピグメント・イエロー155、C.I.ピグメント・イエロー156、C.I.ピグメント・イエロー166、C.I.ピグメント・イエロー168、C.I.ピグメント・イエロー175、C.I.ピグメント・イエロー180、C.I.ピグメント・イエロー185;
前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、溶媒、界面活性剤、熱重合防止剤、紫外線吸収剤、接着助剤及びその他の添加剤などが挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物においては、前記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、例えば、チルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタムなどを挙げることができる。
従来用いられてきたカラーフィルタにおいては、高い色純度を実現するために各画素の色が濃くなり、画素の厚みのムラが、そのまま色ムラとして認識されるという問題があった。そのため、画素の厚みに直接影響する、樹脂層の形成(塗布)時の、厚み変動の良化が求められていた。
本発明のカラーフィルタにおいては、均一な厚みに制御でき、塗布ムラ(厚み変動による色ムラ)を効果的に防止するという観点から、該感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。
前記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4´−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2´−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジンなどが挙げられる。
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、例えば、特開平5−72724号公報記載の化合物のほか、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3´,5´−ジ−t−4´−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2´−ヒドロキシ−5´−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2´−ヒドロキシ−3´−t−ブチル−5´−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2,2´−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリンなどが挙げられる。
また、前記露光波長コントラストを調製する手段としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、顔料の分散の際の方法、時間、温度、分散剤の選択、分散溶剤などが挙げられる。これらの中でも、顔料分散方法、時間、分散剤選択が好ましい。
このような手段により、前記露光波長コントラストを少なくとも10程度の数値で調整することができる。
本発明の感光性樹脂組成物は、レーザ光の偏光吸収特性について、前記いずれかの手段を実施することにより、前記露光波長コントラストを制御することができ、好適な露光波長コントラストを有する感光性樹脂組成物を得ることができる。
本発明において、支持体上に前記感光性樹脂組成物層を設けた感光性樹脂転写材料を用いることができる。
なお、本発明の感光性樹脂転写材料は、前述の本発明の感光性樹脂組成物を用いることによって感光性樹脂層を設けることが必須である。
前記仮支持体としては、可撓性を有し、加圧若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないものであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルムなどが挙げられる。これらの中でも、2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
前記仮支持体の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、5〜200μmが好ましく、10〜150μmが取扱い易さ、汎用性などの点から有利でありより好ましい。また、前記仮支持体は、透明でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していても良い。
前記熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開平5−72724号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によるポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。
具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニルなどの(メタ)アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂などの有機高分子などが挙げられる。
前記熱可塑性樹脂層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、2〜30μmが好ましく、5〜25μmがより好ましい。
前記厚みが、2μm未満であると、転写不良が発生することがあり、30μmを超えると、エッジフュージョンが発生することがある。
前記感光性樹脂転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平5−72724号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
前記酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
前記保護フィルムは、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するため、樹脂層の上に薄く積層することが好ましい。保護フィルムは支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フィルム材料としては、例えば、シリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
前記感光性樹脂転写材料の作製方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、仮支持体上に熱可塑性樹脂層を溶解した塗布液を塗布し、乾燥することにより感光層を設け、その後感光層上に感光層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後、感光性樹脂組成物からなる樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記仮支持体上に前記熱可塑性樹脂層及び前記中間層を設けたシート、及び保護フィルム上に前記感光層を設けたシートを用意し、前記中間層と前記感光層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記仮支持体上に前記熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び前記保護フィルム上に前記感光層及び前記中間層を設けたシートを用意し、前記感光層と前記中間層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
なお、前記感光性樹脂転写材料の厚みとしては、例えば、1.0〜5.0μmが好ましく、1.0〜4.0μmがより好ましく、1.0〜3.0μmが特に好ましい。
また、特に限定されるわけではないが、その他の各層の厚みとしては、前記中間層は0.5〜3.0μm、前記保護フィルムは4〜40μmが好ましい。
前記スリット状ノズルを用いた塗布装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、特開2004−89851号公報、特開2004−17043号公報、特開2003−170098号公報、特開2003−164787号公報、特開2003−10767号公報、特開2002−79163号公報、特開2001−310147号公報などに記載のスリット状ノズル、及びスリットコータが好適に用いられる。
本発明のカラーフィルタは、レッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)の各樹脂層が、それぞれ、着色剤として少なくともC.I.ピグメント・レッド.254を用いた前記カラーフィルタの感光性樹脂組成物、少なくともC.I.P.G.36を用いた前記カラーフィルタの感光性樹脂組成物、少なくともC.I.P.B.15:6を用いた前記カラーフィルタの感光性樹脂組成物、によって形成されたものが好ましい。
前記要件を満たすことは、高コントラスト比を有し、特に大画面の液晶表示装置などに用いた場合であっても、高い色純度、広い色再現性を実現することに有効である。
前記の製造方法において、基板上に前記樹脂層を形成する方法としては、例えば、(a)前記の各カラーフィルタの感光性樹脂組成物を公知の塗布装置などによって塗布する方法、及び(b)前述のカラーフィルタ感光性材料を用い、ラミネーターによって貼り付ける方法などが挙げられる。
本発明のカラーフィルタの製造方法における、カラーフィルタの感光性樹脂組成物の塗布には、公知の塗布方法、例えばスピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは、米国特許第2681294号明細書に記載のホッパーを使用するエクストルージョンコート法などにより塗布することができる。中でも特に、既に<感光性樹脂転写材料の作製方法>の項において説明した、スリットコータが好適に用いることができる。なお、スリットコータの好ましい具体例などは、前記と同様である。樹脂層を塗布により形成する場合、その厚みとしては、例えば、1.0〜3.0μmが好ましく、1.0〜2.5μmがより好ましく、1.0〜2.0μmが特に好ましい。
前記感光性樹脂転写材料を用い、フィルム状に形成した樹脂層を、後述する基板上に加熱及び加圧の少なくともいずれかを実施し、ローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって、貼り付けることができる。具体的には、特開平7−110575号公報、特開平11−77942号公報、特開2000−334836号公報、特開2002−148794号公報に記載のラミネーター及びラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平7−110575号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。なお、樹脂層を前記の感光性樹脂転写材料により形成する場合の、その好ましい厚みは、<感光性樹脂転写材料の作製方法>の項において記載した好ましい厚みと同様である。
前記基板としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板などの公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルムなどを挙げることができる。
また、前記基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、感光性樹脂組成物又は感光性樹脂転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開2000−39033号公報記載の方法が好適に用いられる。なお、特に限定されるわけではないが、前記基板の厚みとしては、700〜1,200μmが一般的に好ましい。
本発明のカラーフィルタを製造するにあたり、前記カラーフィルタの感光性樹脂組成物の塗布によって樹脂層を形成する場合においては、該樹脂層上に更に酸素遮断層を設けることができ、これにより、露光感度をアップすることができる。該酸素遮断層としては、既に感光性樹脂組成物の(中間層)の項において説明したものと同様のものが挙げられる。なお、特に限定されるわけではないが、前記酸素遮断層の厚みとしては、0.5〜3.0μmが好ましい。
前記露光は、前記感光性樹脂転写材料上に対してマスクを用いた露光、該マスクを用いない露光などが挙げられる。
前記マスクを用いた露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記基板上に形成された樹脂層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、感光層、及び中間層を介してマスク上方から露光する。
ここで、前記露光の光源としては、樹脂層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプなどが挙げられる。前記露光量としては、通常5〜200mJ/cm2であり、10〜100mJ/cm2が好ましい。
前記マスクを用いない露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、以下に説明する露光工程により行われる露光などが挙げられる。即ち、該露光工程は、光照射手段及び光変調手段を少なくとも備えた露光ヘッドと、前記感光層の少なくともいずれかを移動させつつ、前記感光層に対して、前記光照射手段から出射した光を前記光変調手段によりパターン情報に応じて変調しながら前記露光ヘッドから照射して、前記感光層を露光する工程であり、該露光はマスクレス露光である。
また、前記レーザ光の光エネルギー量としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、露光時間の短縮と解像度の観点から、1〜100mJ/cm2が好ましく、5〜20mJ/cm2がより好ましい。
前記合波レーザ光の照射方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、複数のレーザ光源と、マルチモード光ファイバと、該複数のレーザ光源から照射されるレーザ光を集光して前記マルチモード光ファイバに結合させるレンズ系とにより合波レーザ光を合成し、照射する方法が挙げられる。
なお、MEMSとは、IC製造プロセスを基板としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、及び制御回路を集積化した微細システムの総称であり、MEMSタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。更に、Grating Light Valve(GLV)を複数並べて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子(GLV)や、透過型空間光変調素子(LCD)を使用する構成においては、前記光源として、レーザのほかにランプなどを使用することができる。
これらの空間光変調素子の中でもDMD、及びミラー階調型空間変調素子がより好適に挙げられ、DMDが特に好適に挙げられる。
前記デジタル露光の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、所定のパターン情報に基づいて生成される制御信号に応じて変調されたレーザ光を用いて行われることが好適である。
更に、前記露光工程において、感光層を、露光する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、短時間、かつ高速露光を可能とする観点から、露光光と感光層とを相対的に移動させながら行うことが好ましく、前記デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)と併用されることが特に好ましい。
また、前記露光空間を密封空間として、減圧下で該密封空間内に不活性ガスを導入することも可能である。
前記不活性ガスとしては、酸素の影響により前記感光層の重合反応が阻害されることを防止できれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、窒素、ヘリウム、アルゴンなどが挙げられる。
前記露光装置としては、いわゆるフラットベッドタイプの露光装置の他、感光材料がドラムの外周面に巻きつけられるアウタードラムタイプの露光装置、及び感光材料がシリンダの内周面に装着されるインナードラムタイプの露光装置であってもよい。以下、一例として、フラットベットタイプの露光装置について説明する。
前記露光装置は、図1に示すように、前記感光層を前記基体上に積層してなる積層体12(以下、「感光層12」、又は「感光材料12」と表す)を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ14を備えている。4本の脚部16に支持された厚い板状の設置台18の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた2本のガイド20が設置されている。ステージ14は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド20によって往復移動可能に支持されている。なお、この露光装置10には、ステージ14をガイド20に沿って駆動するステージ駆動装置(図示せず)が設けられている。
図2に示すように、各露光ヘッド30が、後述する内部のデジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)36の各描素部(マイクロミラー)列方向が、走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように、スキャナ24に取り付けられている場合には、各露光ヘッド30による露光エリア32は、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。
ステージ14の移動に伴い、感光層12には露光ヘッド30ごとに帯状の露光済み領域34が形成される。
なお、以下において、m行目のn列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド30mnと表記し、m行目のn列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア32mnと表記する。
各スリット28は、上流側に位置するスリット28aと下流側に位置するスリット28bとからなっている。スリット28aとスリット28bとは互いに直交するとともに、X軸に対してスリット28aは−45度、スリット28bは+45度の角度を有している。
露光ヘッド30の概略構成の一例を、図4、図5A及び図5Bに示す。図4、図5A及び図5Bでは、前記露光ヘッド30中を伝播する光の光路に沿って、各構成要素を示している。
本例では、入射された光を画像データに応じて描素部ごとに変調する光変調手段(描素部ごとに変調する空間光変調素子)として、DMD36(米国テキサス・インスツルメンツ社製)を備え、光照射手段として、ファイバアレイ光源38を備えている。
また、DMD36の光反射側には、DMD36で反射されたレーザ光を感光層12の露光面上に結像する結像レンズ系50が配置されている。なお図4では、結像レンズ系50を概略的に示してある。
前記結像レンズ系50は、例えば、DMD36と感光層12の露光面とが共役な関係となるように配置された2枚のレンズ52及び54で構成され、更に、マイクロレンズアレイ、及びアパーチャアレイなどの後述する他のレンズ群からなる。
前記光変調手段としてのDMD36は、図6に示すように、SRAMセル(メモリセル)56上に、各々描素(ピクセル)を構成する描素部として、多数のマイクロミラー58が格子状に配列されてなるミラーデバイスである。各マイクロミラー58は支柱に支えられており、その表面にはアルミニウムなどの反射率の高い材料が蒸着されている。なお、本実施形態では、各マイクロミラー58の反射率は90%以上であり、その配列ピッチは縦方向、横方向ともに13.7μmである。SRAMセル56は、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのCMOSのものであり、全体はモノリシック(一体型)に構成されている。
それぞれのマイクロミラー58のオンオフ制御は、DMD36に接続された図8のコントローラ302によって行われる。また、オフ状態のマイクロミラー58で反射したレーザ光Bが進行する方向には、光吸収体(図示せず)が配置されている。
DMDを傾斜させるかわりに、各マイクロミラー列を副走査方向と直交する方向に所定間隔ずらし、図10に示すように千鳥情に配置しても、同様の効果を得ることができる。
前記光照射手段の好適な例として、合波レーザを照射可能な手段、例えば、複数のレーザと、マルチモード光ファイバと、該複数のレーザからそれぞれ照射したレーザビームを集光して前記マルチモード光ファイバに結合させるレンズ系とを有する手段(ファイバアレイ光源)について説明する。
各レーザモジュールにおいて、レーザビームB1〜B7のマルチモード光ファイバ30への結合効率が0.85で、GaN系半導体レーザLD1〜LD7の各出力が30mWの場合には、アレイ状に配列された光ファイバ64の各々について、出力180mW(=30mW×0.85×7)の合波レーザビームBを得ることができる。したがって、6本の光ファイバ64がアレイ状に配列されたレーザ出射部での出力は約1W(=180mW×6)である。
ここで、図24A及び図24Bを参照して、従来の露光ヘッドと本実施の形態の露光ヘッドとの焦点深度の違いについて説明する。従来の露光ヘッドのバンドル状ファイバ光源の発光領域の副走査方向の径は0.675mmであり、露光ヘッドのファイバアレイ光源の発光領域の副走査方向の径は0.025mmである。図24Aに示すように、従来の露光ヘッドでは、光照射手段(バンドル状ファイバ光源)38aの発光領域が大きいので、DMD36へ入射する光束の角度が大きくなり、結果として走査面(感光層12)へ入射する光束の角度が大きくなる。このため、集光方向(ピント方向のずれ)に対してビーム径が太りやすい。
前記光変調手段を備えるデジタル露光装置では、各描画単位で微細なパターンを高精度に形成するために、露光ヘッド内の各描画単位の光量が均一であることが重要である。ただし実際には、露光ヘッドから照射される光ビームは、レンズ系の要因で光軸の中心部に比べて周辺部の光強度が低下してしまうという問題がある。
そこで、前記光照射手段から前記光変調手段に照射される光の光量分布を補正し、被露光面上での露光光の光量分布を均一に補正する方法を以下に説明する。
なお、この方法に好適な露光ヘッドの構成概略図を、図25に示す。
DMDの光反射側には投影光学系が設けられ、この投影光学系は、DMDの光反射側の露光面にある感光層上に光源像を投影するため、DMD側から感光層へ向って順に、レンズ系、マイクロレンズアレイ、対物レンズ系の各露光用の光学部材が配置されて構成されている。
前記レンズ系及び前記対物レンズ系は、複数枚のレンズ(凸レンズや凹レンズなど)を組み合せた拡大光学系として構成されており、DMDにより反射されるレーザビーム(光線束)の断面積を拡大することで、DMDにより反射されたレーザビームによる感光層上の露光エリアの面積を所定の大きさに拡大している。なお、感光層は、対物レンズ系の後方焦点位置に配置される。
第2の実施形態は、上述した第1の実施形態に係る露光装置の露光ヘッドにおいて、集光レンズ系に、非球面レンズを有するテレセントリック光学系を設けることで、第1の実施形態と同様に露光面での光ビームの光量分布を均一化する技術である。
前記結像レンズ系を構成する投影レンズの像面湾曲、非点隔差、歪曲などは、テレセントリック性を低下させ、露光光の焦点位置精度を悪化させるという問題がある。この影響を排除するために多重露光を行うと、露光スピードの低下、画質の低下などが生じるという問題がある。
そこで、結像レンズ系において、被露光面上での露光光の焦点位置精度を補正する方法を以下に説明する。
なお、この方法に好適な露光ヘッドの構成概略図を、図29、図35A及び図35Bに示す。
前記空間光変調素子の各描素部の面の歪みは、集光位置における光ビームに歪みをもたらすという問題があり、特に、前記DMDを空間光変調素子として用いた場合には顕著であり、高精細な露光パターンが形成されないという問題がある。
そこで、前記DMDからの光を収束するマイクロレンズアレイにおいて該DMDの出射面の歪みを補正することにより、前記感光層の被露光面上に結像される像の歪みを補正する方法を以下に説明する。
先に説明した通り、DMDのマイクロミラーの反射面には歪みが存在するが、その歪み変化量はマイクロミラーの中心から周辺部に行くにつれて次第に大きくなる傾向を有している。そしてマイクロミラーの1つの対角線方向(y方向)の周辺部歪み変化量は、別の対角線方向(x方向)の周辺部歪み変化量と比べて大きく、前記の傾向もより顕著となっている。この問題に対処するために、アレイ状に配設されたマイクロレンズが、円形のレンズ開口を有することが好ましい。
そこで、上述のように歪みが大きいマイクロミラーの反射面の周辺部、特に、四隅部で反射したレーザ光はマイクロレンズによって集光されなくなり、集光されたレーザ光の集光位置における形状が歪んでしまうことを防止できる。したがって、歪みの無い、より高精細な画像を感光層に露光可能となる。
上述のとおり、前記露光ヘッドを構成する各種レンズ系に起因する露光光の歪みの影響は、使用するマイクロミラーを選択し、N重露光による埋め合わせの効果で均すこともできる。更に、前記露光ヘッドの取付け位置や取付け角度のズレに起因する解像度のばらつきや濃度ムラも、使用するマイクロミラーを選択し、N重露光による埋め合わせの効果で均すこともできる。
前記N重露光のNとしては、2以上の自然数であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、3以上の自然数が好ましく、3以上7以下の自然数がより好ましい。
前記使用描素部指定手段としては、描素単位としての光点の位置を被露光面上において検出する光点位置検出手段と、前記光点位置検出手段による検出結果に基づき、N重露光を実現するために使用する描素部を選択する描素部選択手段とを少なくとも備えることが好ましい。
以下、前記使用描素部指定手段による、N重露光に使用する描素部の指定方法の例について説明する。
本実施形態(1)では、露光装置10により、感光層12に対して2重露光を行う場合であって、各露光ヘッド30の取付角度誤差に起因する解像度のばらつきと濃度むらとを軽減し、理想的な2重露光を実現するための使用描素部の指定方法を説明する。
この角度θidealは、N重露光の数N、使用可能なマイクロミラー58の列方向の個数s、使用可能なマイクロミラー58の列方向の間隔p、及び露光ヘッド30を傾斜させた状態においてマイクロミラーによって形成される走査線のピッチδに対し、下記式1、
spsinθideal≧Nδ (式1)
により与えられる。本実施形態におけるDMD36は、前記のとおり、縦横の配置間隔が等しい多数のマイクロミラー58が矩形格子状に配されたものであるので、
pcosθideal=δ (式2)
であり、前記式1は、
stanθideal=N (式3)
となる。本実施形態(1)では、前記のとおりs=256、N=2であるので、前記式3より、角度θidealは約0.45度である。したがって、設定傾斜角度θとしては、例えば、0.50度程度の角度を採用するとよい。露光装置10は、調整可能な範囲内で、各露光ヘッド30すなわち各DMD36の取付角度がこの設定傾斜角度θに近い角度となるように、初期調整されているものとする。
なお、図25では、説明の便宜のため、使用可能なマイクロミラー58の奇数列による露光パターンと偶数列による露光パターンを分けて示してあるが、実際の被露光面上における露光パターンは、これら2つの露光パターンを重ね合わせたものである。
図25の例に現れている角度歪みは、走査方向に対する傾斜角度が、図の左方の列ほど小さく、図の右方の列ほど大きくなっている形態の歪みである。この角度歪みの結果として、露光過多となっている領域は、図の左方に示した被露光面上ほど小さく、図の右方に示した被露光面上ほど大きくなっている。
前記実傾斜角度θ´は、光点位置検出手段が検出した少なくとも2つの光点位置に基づき、露光ヘッドを傾斜させた状態における被露光面上の光点の列方向と前記露光ヘッドの走査方向とがなす角度により特定される。
以下、図26及び70を用いて、前記実傾斜角度θ´の特定、及び使用画素選択処理について説明する。
図26は、1つのDMD36による露光エリア32と、対応するスリット28との位置関係を示した上面図である。スリット28の大きさは、露光エリア32の幅を十分覆う大きさとされている。
本実施形態(1)の例では、露光エリア32の略中心に位置する第512列目の光点列と露光ヘッド30の走査方向とがなす角度を、前記の実傾斜角度θ´として測定する。具体的には、DMD36上の第1行目第512列目のマイクロミラー58、及び第256行目第512列目のマイクロミラー58をオン状態とし、それぞれに対応する被露光面上の光点P(1,512)及びP(256,512)の位置を検出し、それらを結ぶ直線と露光ヘッドの走査方向とがなす角度を実傾斜角度θ´として特定する。
まず、第256行目第512列目のマイクロミラー58を点灯させた状態で、ステージ14をゆっくり移動させてスリット28をY軸方向に沿って相対移動させ、光点P(256,512)が上流側のスリット28aと下流側のスリット28bの間に来るような任意の位置に、スリット28を位置させる。このときのスリット28aとスリット28bとの交点の座標を(X0,Y0)とする。この座標(X0,Y0)の値は、ステージ14に与えられた駆動信号が示す前記の位置までのステージ14の移動距離、及び、既知であるスリット28のX方向位置から決定され、記録される。
このようにして特定された実傾斜角度θ´を用い、前記光検出器に接続された前記演算装置は、下記式4
ttanθ´=N (式4)
の関係を満たす値tに最も近い自然数Tを導出し、DMD36上の1行目からT行目のマイクロミラーを、本露光時に実際に使用するマイクロミラーとして選択する処理を行う。これにより、第512列目付近の露光領域において、理想的な2重露光に対して、露光過多となる領域と、露光不足となる領域との面積合計が最小となるようなマイクロミラーを、実際に使用するマイクロミラーとして選択することができる。
また、値t以下の最大の自然数を導出することとしてもよい。その場合、第512列目付近の露光領域において、理想的な2重露光に対して、露光不足となる領域の面積が最小になり、かつ露光過多となる領域が生じないようなマイクロミラーを、実際に使用するマイクロミラーとして選択することができる。
この例では、前記の自然数TとしてT=253が導出され、第1行目から第253行目のマイクロミラーが選択されたものとする。選択されなかった第254行目から第256行目のマイクロミラーに対しては、前記使用描素部制御手段により、常時オフ状態の角度に設定する信号が送られ、それらのマイクロミラーは、実質的に露光に関与しない。図28に示すとおり、第512列目付近の露光領域では、露光過多及び露光不足は、ほぼ完全に解消され、理想的な2重露光に極めて近い均一な露光が実現される。
しかしながら、図示の奇数列による露光パターンと偶数列による露光パターンとを重ね合わせてなる実際の露光パターンにおいては、露光量不足となる領域が互いに補完され、前記角度歪みによる露光むらを、2重露光による埋め合わせの効果で最小とすることができる。
しかしながら、図示の奇数列による露光パターンと偶数列による露光パターンとを重ね合わせてなる実際の露光パターンにおいては、露光過多となる領域が互いに補完され、前記角度歪による濃度むらを、2重露光による埋め合わせの効果で最小とすることができる。
前記平均値又は前記中央値を実傾斜角度θ´とすれば、理想的なN重露光に対して露光過多となる領域と露光不足となる領域とのバランスがよい露光を実現することができる。例えば、露光過多となる領域と、露光量不足となる領域との合計面積が最小に抑えられ、かつ、露光過多となる領域の描素単位数(光点数)と、露光不足となる領域の描素単位数(光点数)とが等しくなるような露光を実現することが可能である。
また、前記最大値を実傾斜角度θ´とすれば、理想的なN重露光に対して露光過多となる領域の排除をより重要視した露光を実現することができ、例えば、露光不足となる領域の面積を最小に抑え、かつ、露光過多となる領域が生じないような露光を実現することが可能である。
更に、前記最小値を実傾斜角度θ´とすれば、理想的なN重露光に対して露光不足となる領域の排除をより重要視した露光を実現することができ、例えば、露光過多となる領域の面積を最小に抑え、かつ、露光不足となる領域が生じないような露光を実現することが可能である。
具体的には、c(n)中の1つの光点位置と、露光ヘッドの走査方向に沿って直線上かつ近傍の光点列に含まれる1つ又は複数の光点位置とを検出し、これらの位置情報から、実傾斜角度θ´を求めることができる。更に、c(n)列近傍の光点列中の少なくとも2つの光点(例えば、c(n)を跨ぐように配置された2つの光点)の位置に基づいて求めた角度を、実傾斜角度θ´として特定してもよい。
本実施形態(2)では、露光装置10により、感光層12に対して2重露光を行う場合であって、複数の露光ヘッド30により形成された被露光面上の重複露光領域であるヘッド間つなぎ領域において、2つの露光ヘッド(一例として、露光ヘッド3012と3021)のX軸方向に関する相対位置の、理想的な状態からのずれに起因する解像度のばらつきと濃度むらとを軽減し、理想的な2重露光を実現するための使用描素部の指定方法を説明する。
この角度θidealは、前記の実施形態(1)と同様にして前記式1〜3から求められる。本実施形態(2)において、露光装置10は、各露光ヘッド30、即ち、各DMD36の取付角度がこの角度θidealとなるように、初期調整されているものとする。
なお、図29では、説明の便宜のため、使用可能なマイクロミラー58の1列おきの露光パターンを、画素列群Aによる露光パターンと画素列群Bによる露光パターンとに分けて示してあるが、実際の被露光面上における露光パターンは、これら2つの露光パターンを重ね合わせたものである。
図30は、図29と同様の露光エリア3212及び3221と、対応するスリット28との位置関係を示した上面図である。スリット28の大きさは、露光ヘッド3012と3021による露光済み領域34間の重複部分の幅を十分覆う大きさ、すなわち、露光ヘッド3012と3021により被露光面上に形成される前記ヘッド間つなぎ領域を十分覆う大きさとされている。
まず、第256行目第1024列目のマイクロミラーを点灯させた状態で、ステージ14をゆっくり移動させてスリット28をY軸方向に沿って相対移動させ、光点P(256,1024)が上流側のスリット28aと下流側のスリット28bの間に来るような任意の位置に、スリット28を位置させる。このときのスリット28aとスリット28bとの交点の座標を(X0,Y0)とする。この座標(X0,Y0)の値は、ステージ14に与えられた駆動信号が示す前記の位置までのステージ14の移動距離、及び、既知であるスリット28のX方向位置から決定され、記録される。
図29の例では、まず、露光エリア3212の光点P(256,1)の位置を、前記の光点位置検出手段としてスリット28と光検出器の組により検出する。続いて、露光エリア3221の第256行目の光点行r(256)上の各光点の位置を、P(256,1024)、P(256,1023)・・・と順番に検出していき、露光エリア3212の光点P(256,1)よりも大きいX座標を示す露光エリア3221の光点P(256,n)が検出されたところで、検出動作を終了する。そして、露光エリア3221の光点列c(n+1)からc(1024)を構成する光点に対応するマイクロミラーを、本露光時に使用しないマイクロミラー(不使用描素部)として特定する。
例えば、図29において、露光エリア3221の光点P(256,1020)が、露光エリア3212の光点P(256,1)よりも大きいX座標を示し、その露光エリア3221の光点P(256,1020)が検出されたところで検出動作が終了したとすると、図32において斜線で覆われた部分70に相当する露光エリア3221の第1021行から第1024行を構成する光点に対応するマイクロミラーが、本露光時に使用しないマイクロミラーとして特定される。
続いて、露光エリア3221の光点列のうち、前記で本露光時に使用しないマイクロミラーに対応する光点列として特定されたものを除き、最も右側の第1020列を構成する光点の位置を、P(1,1020)から順番にP(1,1020)、P(2,1020)・・・と検出していき、露光エリア3212の光点P(256,2)よりも大きいX座標を示す光点P(m,1020)が検出されたところで、検出動作を終了する。
その後、前記光検出器に接続された演算装置において、露光エリア3212の光点P(256,2)のX座標と、露光エリア3221の光点P(m,1020)及びP(m−1,1020)のX座標とが比較され、露光エリア3221の光点P(m,1020)のX座標の方が露光エリア3212の光点P(256,2)のX座標に近い場合は、露光エリア3221の光点P(1,1020)からP(m−1,020)に対応するマイクロミラーが本露光時に使用しないマイクロミラーとして特定される。
また、露光エリア3221の光点P(m−1,1020)のX座標の方が露光エリア3212の光点P(256,2)のX座標に近い場合は、露光エリア3221の光点P(1,1020)からP(m−2,1020)に対応するマイクロミラーが、本露光に使用しないマイクロミラーとして特定される。
更に、露光エリア3212の光点P(256,N−1)、即ち、光点P(256,1)の位置と、露光エリア3221の次列である第1019列を構成する各光点の位置についても、同様の検出処理及び使用しないマイクロミラーの特定が行われる。
また、露光エリア3221の光点P(1,1020)からP(m−1,1020)に対応するマイクロミラーを、本露光に使用しないマイクロミラーとして特定してもよい。その場合、前記ヘッド間つなぎ領域において、理想的な2重露光に対して露光不足となる領域の面積が最小になり、かつ露光過多となる領域が生じないようなマイクロミラーを、実際に使用するマイクロミラーとして選択することができる。
更に、前記ヘッド間つなぎ領域において、理想的な2重描画に対して露光過多となる領域の描素単位数(光点数)と、露光不足となる領域の描素単位数(光点数)とが等しくなるように、実際に使用するマイクロミラーを選択することとしてもよい。
本実施形態(3)では、露光装置10により、感光層12に対して2重露光を行う場合であって、複数の露光ヘッド30により形成された被露光面上の重複露光領域であるヘッド間つなぎ領域において、2つの露光ヘッド(一例として、露光ヘッド3012と3021)のX軸方向に関する相対位置の理想的な状態からのずれ、並びに各露光ヘッドの取付角度誤差、及び2つの露光ヘッド間の相対取付角度誤差に起因する解像度のばらつきと濃度むらとを軽減し、理想的な2重露光を実現するための使用描素部の指定方法を説明する。
この角度θidealは、前記式1〜3を用いて前記(1)の実施形態と同様にして求められる値であり、本実施形態では、前記のとおりs=256、N=2であるので、角度θidealは約0.45度である。したがって、設定傾斜角度θとしては、例えば、ば0.50度程度の角度を採用するとよい。露光装置10は、調整可能な範囲内で、各露光ヘッド30すなわち各DMD36の取付角度がこの設定傾斜角度θに近い角度となるように、初期調整されているものとする。
更に、図33の例では、各露光ヘッドの設定傾斜角度θを前記式(1)を満たす角度θidealよりも若干大きくしたことによる結果、及び各露光ヘッドの取付角度の微調整が困難であるために、実際の取付角度が前記の設定傾斜角度θからずれてしまったことの結果として、被露光面上の前記露光ヘッドの走査方向と直交する座標軸上で重複する露光領域以外の領域でも、一列おきの光点群(画素列群A及びB)による露光パターンの双方で、複数の描素部列により形成された、被露光面上の重複露光領域である描素部列間つなぎ領域において、理想的な2重露光の状態よりも露光過多となる領域76が生じ、これがさらなる濃度むらを引き起こしている。
具体的には、前記光点位置検出手段としてスリット28及び光検出器の組を用い、露光ヘッド3012と3021のそれぞれについて、実傾斜角度θ´を特定し、該実傾斜角度θ´に基づき、前記描素部選択手段として光検出器に接続された演算装置を用いて、実際の露光に使用するマイクロミラーを選択する処理を行うものとする。
前記実傾斜角度θ´の特定は、露光ヘッド3012ついては露光エリア3212内の光点P(1,1)とP(256,1)の位置を、露光ヘッド3021については露光エリア3221内の光点P(1,1024)とP(256,1024)の位置を、それぞれ上述した実施形態(2)で用いたスリット28と光検出器の組により検出し、それらを結ぶ直線の傾斜角度と、露光ヘッドの走査方向とがなす角度を測定することにより行われる。
そのようにして特定された実傾斜角度θ´を用いて、光検出器に接続された演算装置は、上述した実施形態(1)における演算装置と同様、下記式4
ttanθ´=N (式4)
の関係を満たす値tに最も近い自然数Tを、露光ヘッド3012と3021のそれぞれについて導出し、DMD36上の第(T+1)行目から第256行目のマイクロミラーを、本露光に使用しないマイクロミラーとして特定する処理を行う。
例えば、露光ヘッド3012についてはT=254、露光ヘッド3021についてはT=255が導出されたとすると、図34において斜線で覆われた部分78及び80を構成する光点に対応するマイクロミラーが、本露光に使用しないマイクロミラーとして特定される。これにより、露光エリア3212と3221のうちヘッド間つなぎ領域以外の各領域において、理想的な2重露光に対して露光過多となる領域、及び露光不足となる領域の合計面積を最小とすることができる。
あるいは、値t以下の最大の自然数を導出することとしてもよい。その場合、露光エリア3212と3221の、複数の露光ヘッドにより形成された被露光面上の重複露光領域であるヘッド間つなぎ領域以外の各領域において、理想的な2重露光に対して露光不足となる領域の面積が最小になり、かつ露光過多となる領域が生じないようになすことができる。
複数の露光ヘッドにより形成された被露光面上の重複露光領域であるヘッド間つなぎ領域以外の各領域において、理想的な2重露光に対して、露光過多となる領域の描素単位数(光点数)と、露光不足となる領域の描素単位数(光点数)とが等しくなるように、本露光時に使用しないマイクロミラーを特定することとしてもよい。
これらの露光時に使用しないものとして特定されたマイクロミラーに対して、前記描素部素制御手段により、常時オフ状態の角度に設定する信号が送られ、それらのマイクロミラーは、実質的に露光に関与しない。
一例としては、図35Aに示すように、DMD36上の各マイクロミラー58からの光線が、異なる倍率で露光面上の露光エリア32に到達してしまう倍率歪みの形態がある。
また、別の例として、図35Bに示すように、DMD36上の各マイクロミラー58からの光線が、異なるビーム径で露光面上の露光エリア32に到達してしまうビーム径歪みの形態もある。これらの倍率歪み及びビーム径歪みは、主として、DMD36と露光面間の光学系の各種収差やアラインメントずれに起因して生じる。
更に、別の例として、DMD36上の各マイクロミラー58からの光線が、異なる光量で露光面上の露光エリア32に到達してしまう光量歪みの形態もある。この光量歪みは、各種収差やアラインメントずれのほか、DMD36と露光面間の光学要素(例えば、1枚レンズである図5A及び図5Bのレンズ52及び54)の透過率の位置依存性や、DMD36自体による光量むらに起因して生じる。これらの形態のパターン歪みも、露光面上に形成されるパターンに解像度や濃度のむらを生じさせる。
前記の実施形態(1)〜(3)の変更例として、使用可能なマイクロミラーのうち、(N−1)列おきのマイクロミラー列、又は全光点行のうち1/N行に相当する隣接する行を構成するマイクロミラー群のみを使用して参照露光を行い、均一な露光を実現できるように、前記参照露光に使用されたマイクロミラー中、実際の露光時に使用しないマイクロミラーを特定することとしてもよい。
前記参照露光手段による参照露光の結果をサンプル出力し、該出力された参照露光結果に対し、解像度のばらつきや濃度のむらを確認し、実傾斜角度を推定するなどの分析を行う。前記参照露光の結果の分析は、操作者の目視による分析であってもよい。
この例では、本露光時は2重露光とするものとし、したがって、N=2である。まず、図36Aに実線で示した奇数列の光点列に対応するマイクロミラーのみを使用して参照露光を行い、参照露光結果をサンプル出力する。前記サンプル出力された参照露光結果に基づき、解像度のばらつきや濃度のむらを確認したり、実傾斜角度を推定したりすることで、本露光時において使用するマイクロミラーを指定することができる。
例えば、図36Bに斜線で覆って示す光点列に対応するマイクロミラー以外のマイクロミラーが、奇数列の光点列を構成するマイクロミラー中、本露光において実際に使用されるものとして指定される。偶数列の光点列については、別途同様に参照露光を行って、本露光時に使用するマイクロミラーを指定してもよいし、奇数列の光点列に対するパターンと同一のパターンを適用してもよい。
このようにして本露光時に使用するマイクロミラーを指定することにより、奇数列及び偶数列双方のマイクロミラーを使用した本露光においては、理想的な2重露光に近い状態が実現できる。
この例では、本露光時は2重露光とするものとし、したがってN=2である。まず、図37に実線で示した、X軸方向に関して隣接する2つの露光ヘッド(一例として、露光ヘッド3012と3021)の奇数列の光点列に対応するマイクロミラーのみを使用して、参照露光を行い、参照露光結果をサンプル出力する。前記出力された参照露光結果に基づき、2つの露光ヘッドにより被露光面上に形成されるヘッド間つなぎ領域以外の領域における解像度のばらつきや濃度のむらを確認したり、実傾斜角度を推定したりすることで、本露光時において使用するマイクロミラーを指定することができる。
例えば、図37に斜線で覆って示す領域86及び網掛けで示す領域88内の光点列に対応するマイクロミラー以外のマイクロミラーが、奇数列の光点を構成するマイクロミラー中、本露光時において実際に使用されるものとして指定される。偶数列の光点列については、別途同様に参照露光を行って、本露光時に使用するマイクロミラーを指定してもよいし、奇数列目の画素列に対するパターンと同一のパターンを適用してもよい。
このようにして本露光時に実際に使用するマイクロミラーを指定することにより、奇数列及び偶数列双方のマイクロミラーを使用した本露光においては、2つの露光ヘッドにより被露光面上に形成される前記ヘッド間つなぎ領域以外の領域において、理想的な2重露光に近い状態が実現できる。
この例では、本露光時は2重露光とするものとし、したがってN=2である。まず、図38Aに実線で示した1行目から128(=256/2)行目の光点に対応するマイクロミラーのみを使用して参照露光を行い、参照露光結果をサンプル出力する。前記サンプル出力された参照露光結果に基づき、本露光時において使用するマイクロミラーを指定することができる。
例えば、図38Bに斜線で覆って示す光点群に対応するマイクロミラー以外のマイクロミラーが、第1行目から第128行目のマイクロミラー中、本露光時において実際に使用されるものとして指定され得る。第129行目から第256行目のマイクロミラーについては、別途同様に参照露光を行って、本露光時に使用するマイクロミラーを指定してもよいし、第1行目から第128行目のマイクロミラーに対するパターンと同一のパターンを適用してもよい。
このようにして本露光時に使用するマイクロミラーを指定することにより、全体のマイクロミラーを使用した本露光においては、理想的な2重露光に近い状態が実現できる。
この例では、本露光時は2重露光とするものとし、したがって、N=2である。まず、図39に実線で示した第1行目から第128(=256/2)行目の光点に対応するマイクロミラーのみを使用して、参照露光を行い、参照露光結果をサンプル出力する。前記サンプル出力された参照露光結果に基づき、2つの露光ヘッドにより被露光面上に形成されるヘッド間つなぎ領域以外の領域における解像度のばらつきや濃度のむらを最小限に抑えた本露光が実現できるように、本露光時において使用するマイクロミラーを指定することができる。
例えば、図39に斜線で覆って示す領域90及び網掛けで示す領域92内の光点列に対応するマイクロミラー以外のマイクロミラーが、第1行目から第128行目のマイクロミラー中、本露光時において実際に使用されるものとして指定される。第129行目から第256行目のマイクロミラーについては、別途同様に参照露光を行って、本露光に使用するマイクロミラーを指定してもよいし、第1行目から第128行目のマイクロミラーに対するパターンと同一のパターンを適用してもよい。
このようにして本露光時に使用するマイクロミラーを指定することにより、2つの露光ヘッドにより被露光面上に形成される前記ヘッド間つなぎ領域以外の領域において理想的な2重露光に近い状態が実現できる。
解像度を高めるために、前記露光ヘッドを傾斜させて露光を行うと、形成する露光パターンによっては、無視できないジャギーが発生してしまうという問題がある。例えば、走査方向又はそれと直交する方向に延在する直線状のパターンを形成する場合、前記光変調手段によって形成される各描素部の位置と、パターンの所望の描画位置との間のずれがジャギーとして視認されてしまうことがある。
この問題に対し、単位面積当たりの描画画素数を増加させるなどの手段を講じることなく、最適な描画条件を設定することにより、ジャギーの発生を抑制する方法を説明する。
前記現像工程としては、前記露光工程により前記感光層を露光し、未露光部分を除去することにより現像する工程を有する。
前記未硬化領域の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。
前記現像液の温度としては、前記感光層の現像性に合わせて適宜選択することができるが、例えば、約25〜40℃が好ましい。
ここで、前記シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。なお、現像の前に感光性樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
前記その他の工程としては、特に制限はなく、公知のカラーフィルタ製造方法における工程の中から適宜選択することが挙げられるが、例えば、硬化処理工程、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記現像工程後に、感光層に対して硬化処理を行う硬化処理工程を備えることが好ましい。
前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。
前記全面露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、超高圧水銀灯などのUV露光機が好適に挙げられる。
前記全面加熱における加熱温度としては、120〜250℃が好ましく、120〜200℃がより好ましい。該加熱温度が120℃未満であると、加熱処理による膜強度の向上が得られないことがあり、250℃を超えると、前記感光性樹脂組成物中の樹脂の分解が生じ、膜質が弱く脆くなることがある。
前記全面加熱における加熱時間としては、10〜120分が好ましく、15〜60分がより好ましい。
前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。
各画素の寸法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、40〜200μmとすることが好適に挙げられる。ストライプ状であれば40〜200μm幅が通常用いられる。
前記カラーフィルタの製造方法としては、例えば、透明基板上に黒色に着色された感光層を用いて、露光及び現像を行いブラックマトリックスを形成し、次いで、RGBの3原色のいずれかに着色された感光層を用いて、前記ブラックマトリックスに対して所定の配置で、各色毎に、順次、露光及び現像を繰り返して、前記透明基板上にRGBの3原色がモザイク状又はストライプ状に配置されたカラーフィルタを形成する方法が挙げられる。
本発明の液晶表示装置は、ECB(Electrically Controlled Birefringence )、TN(Twisted Nematic)、IPS(In−Plane Switching)、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)、OCB(Optically Compensatory Bend)、STN(Supper Twisted Nematic)、VA(Vertically Aligned)、HAN(Hybrid Aligned Nematic)、GH(Guest Host)のような様々な表示モードを採用することができる。前述したようなカラーフィルタを用いることを特徴とし、これにより、高い色純度を実現すると共に、高い表示品位を実現することができ、ノートパソコン用ディスプレイやテレビモニターなどの大画面の液晶表示装置などにも好適に用いることができる。
本発明の反射型液晶表示装置は、互いに対向して配される一対の基板間に液晶が封入されてなり、本発明の前記カラーフィルタを有してなり、更に必要に応じてその他の部材を有してなる。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置の対向基板(TFTなどの能動素子が無い側の基板)に形成するものを対象としている他、TFT基板側に形成するCOA方式、TFT基板側に黒だけを形成するBOA方式、又はTFT基板にハイアパーチャー構造を有するHA方式も対象とすることができる。
<カラーフィルタの作製>
−感光性材料の作製−
まず、厚み75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム基材の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる感光層用塗布液を塗布、乾燥させた。
次に、下記処方P1から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。
更に、下記表1記載の処方K1の組成よりなる着色感光性樹脂組成物K1を塗布、乾燥させ、該基材の上に乾燥厚みが14.6μmの感光層と、乾燥厚みが1.6μmの中間層と、乾燥厚みが2.4μmの樹脂層を設け、保護フィルム(厚み12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。
こうして前記基材と感光層と中間層(酸素遮断膜)とブラック(K)の樹脂層とが一体となった感光性材料を作製し、サンプル名を感光性材料K1とした。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・メタノール 11.1質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 6.36質量部
・メチルエチルケトン 52.4質量部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタク
リレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/30
/10/5、重量平均分子量=10万、Tg≒70℃) 5.83質量部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=65/35、
重量平均分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6質量部
・ビスフェノールAにペンタエチレングリコールモノメタクリートを当量
脱水縮合した化合物(新中村化学(株)製、BPE−500) 9.1質量部
・界面活性剤1(大日本インキ化学工業(株)製、商品名:メガファックF780F)
0.54質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・PVA205(ポリビニルアルコール、クラレ(株)製、鹸化度=88%、
重合度550) 32.2質量部
・ポリビニルピロリドン(BASF社製、K−30) 14.9質量部
・蒸留水 524質量部
・メタノール 429質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながら、ナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3重量%水溶液、商品名:KBM603、信越化学工業(株)製)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃、2分間加熱した。
保護フィルムを剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立デコ社製)で、基板とマスク(画像パターンを有する石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該樹脂層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2でパターン露光した。
引き続き、洗浄剤(燐酸塩、珪酸塩、ノニオン界面活性剤、消泡剤及び安定剤含有、商品名「T−SD1(富士写真フイルム(株)製)」)を用い、33℃で、20秒間、コーン型ノズル圧力0.02MPaで、シャワーとナイロン毛を有する回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。その後更に、該基板に対して該樹脂層の側から超高圧水銀灯で、500mJ/cm2の光をポスト露光した後、220℃で、15分間熱処理した。
このKの画像を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により100℃で、2分間加熱した。
前記感光性材料R1を用い、ブラック(K)の画像を形成した基板上に、前記感光性材料K1と同様の工程で、レッド(R)の画素を得た。ただし、露光は405nmの半導体レーザ光源を有する露光装置にて、40mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は、35℃で、35秒間とした。
このRの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により100℃で、2分間加熱した。
前記感光性材料G1を用い、前記レッド(R)画素を形成した基板上に、前記感光性材料R1と同様の工程で、グリーン(G)の画素を得た。ただし、露光量は40mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は34℃で、45秒間とした。
該樹脂層G1の厚みは2.0μmであり、顔料C.I.ピグメント・グリーン36及びC.I.ピグメント・イエロー150の塗布量は、それぞれ、1.12及び0.48g/m2であった。
RとGの画素を形成した基板を再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により100℃で、2分間加熱した。
前記感光性材料B1を用い、前記レッド(R)画素とグリーン(G)画素を形成した基板上に、前記感光性材料R1と同様の工程で、ブルー(B)の画素を得た。ただし、露光量は30mJ/cm2、炭酸Na系現像液による現像は36℃で、40秒間とした。
該樹脂層B1の厚みは2.0μmであり、顔料C.Iピグメント・ブルー15:6及びC.I.ピグメント・バイオレット23の塗布量は、それぞれ、0.63及び0.07g/m2であった。
このR、G及びBの画素を形成した基板再び、前記のようにブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液は使用せずに、基板予備加熱装置により100℃で、2分間加熱した。
このR、G及びBの画素及びKの画像を形成した基板を240℃で、50分間ベークして、目的のカラーフィルタを得た。
前記着色感光性樹脂組成物K1は、まず、表1に記載の量のK顔料分散物1、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150rpmで、10分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、アルカリ可溶性樹脂1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4−(N,N−ジエトキシカルボニルメチル)アミノ−3−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)で、この順に添加して、温度40℃(±2℃)で150rpmの下、30分間攪拌することによって得られる。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・カーボンブラック(NIPEX35、デグサジャパン(株)製) 13.1質量部
・N,N’−ビス−(3−ジエチルアミノプロピル)−5−{4−[2−オキソ
−1−(2−オキソ−2,3−ジヒドロ−1H−ベンゾイミダゾール−5−
イルカルバモイル)−プロピルアゾ]−ベンゾイルアミノ}
−イソフタルアミド 0.65質量部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 6.72質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sで35時間分散し、顔料分散組成物を調製した。この時の顔料の数平均粒径を表2に示す。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C.I.P.R.254 8質量部
・N,N’−ビス−(3−ジエチルアミノプロピル)−5−{4−[2−オキソ
−1−(2−オキソ−2,3−ジヒドロ−1H−ベンゾイミダゾール−5−
イルカルバモイル)−プロピルアゾ]−ベンゾイルアミノ}
−イソフタルアミド 0.8質量部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 8質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 83.2質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C.I.P.R.177(クロモフタルレッドA2B、チバスペシャリティ・
ケミカルズ(株)製) 18質量部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 12質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 70質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sで27時間分散し、顔料分散組成物を調製した。この時の顔料の数平均粒径を表2に示す。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C.I.P.G.36 14質量部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 23質量部
・N,N’−ビス−(3−ジエチルアミノプロピル)−5−{4−[2−オキソ
−1−(2−オキソ−2,3−ジヒドロ−1H−ベンゾイミダゾール−5−
イルカルバモイル]−プロピルアゾ]−ベンゾイルアミノ}
−イソフタルアミド 1.4質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 61.6質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C.I.P.Y.150(bayplast Yellow 5GN01、
バイエル(株)製) 15質量部
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 9質量部
・N,N’−ビス−(3−ジエチルアミノプロピル)−5−{4−[2−オキソ
−1−(2−オキソ−2,3−ジヒドロ−1H−ベンゾイミダゾール−5−
イルカルバモイル)−プロピルアゾ]−ベンゾイルアミノ}
−イソフタルアミド 1.5質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 74.5質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sで28時間分散し、顔料分散組成物を調製した。この時の顔料の数平均粒径を表2に示す。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C.I.P.B.15:6(リオノールブルーES、東洋インキ製造(株)製)
11.28質量部
・C.I.P.V.23(Hostaperm Violet RL−NF、
クラリアントジャパン(株)製) 0.72質量部
・EFKA−745
(EFKA ADDITIVES B.V.社製) 0.6質量部
・ディスパロンDA−725(楠本化成株式会社製) 0.75質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 86.65質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sで27時間分散し、顔料分散組成物を調製した。この時の顔料の数平均粒径を表2に示す。
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) 27質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート
=38/25/37モル比のランダム共重合物、
重量平均分子量3.8万) 27質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/メチルメタクリレート
=36/22/42モル比のランダム共重合物、
重量平均分子量3.8万) 27質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(重合禁止剤MEHQ500ppm
含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24質量部
−−−−−−−−−−−−−−−--−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
・C6F13CH2CH2OCOCH=CH240質量部と、H(OCH(CH3)
CH2)7OCOCH=CH2 55質量部と、H(OCHCH2)7
OCOCH=CH25質量部との共重合体、重量平均分子量3万 30質量部
・メチルエチルケトン30%溶液、 70質量部
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を1,500に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて実施例2のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を1,500に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=26時間、G1=25時間、B1=26時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を1,200に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて実施例3のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を1,200に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=24時間、G1=23時間、B1=24時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を1,050に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて実施例4のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を1,050に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=20時間、G1=20時間、B1=20時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を1,010に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて実施例5のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を1,010に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=19時間、G1=19時間、B1=19時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を1,000に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて実施例6のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を1,000に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=18時間、G1=18時間、B1=18時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を990に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて比較例1のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を990に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=15時間、G1=15時間、B1=15時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を950に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて比較例2のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を950に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=12時間、G1=12時間、B1=12時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を600に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて比較例3のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を600に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=10時間、G1=10時間、B1=10時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を500に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて比較例4のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を500に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=9時間、G1=9時間、B1=9時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1において、露光波長コントラスト2,000を300に代えた以外は実施例1と同様の処方、作製方法にて比較例5のカラーフィルタを作製した。
前記露光波長コントラスト2,000を300に代えるには、前記着色感光性樹脂組成物K1、R1、G1、B1の調製を、前記組成物を、モーターミルM−50(アイガージャパン社製)と、直径0.65mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sでR1=8時間、G1=8時間、B1=8時間分散し、顔料分散組成物を調製した。K1については実施例1と同様に行った。
実施例1〜6、比較例1〜5で作製したカラーフィルタについて、各画素欠落及び各線幅の均一性を光学顕微鏡を用いて測定した。
−該画素欠落の評価−
◎ 画素欠落部分は全くない。
○ 画素欠落部分がわずかに見られるが支障はない。
× 画素欠落部分が多い。
◎ 線幅は均一である。
○ 線幅太りがわずかに見られるが支障はない。
× 線幅太りの部分が多い。
L1〜L7 コリメータレンズ
LD1〜LD7 GaN系半導体レーザ
10 露光装置
12 感光層
14 移動ステージ
18 設置台
20 ガイド
22 ゲート
24 スキャナ
26 センサ(カメラ)
28 スリット
30 露光ヘッド
36 デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)
38 ファイバアレイ光源
40 集光レンズ系
50 結像レンズ系
58 マイクロミラー(描素部)
60 レーザモジュール
62 マルチモード光ファイバ
64 光ファイバ
66 レーザ出射部
110 ヒートブロック
111 マルチキャビティレーザ
113 ロッドレンズ
114 レンズアレイ
140 レーザアレイ
200 集光レンズ
301 感光性樹脂組成物層
302 第一の偏光板
303 第二の偏光板
304 輝度計
305 レーザ光
306 透過光
Claims (11)
- 第一の偏光板、感光性樹脂組成物層及び第二の偏光板の順に、該第一の偏光板と該第二の偏光板の偏光方向が並行になるように重ねた第一の被測定物に、該感光性樹脂組成物層を感光させる波長のレーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX1とし、前記偏光方向が直交するように重ねた第二の被測定物に、前記レーザ光を透過させ、該透過光の輝度(cd/m2)をX2としたとき、X1/X2で表される露光波長コントラストが、1,000以上であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 感光性樹脂組成物が、アルカリ可溶性樹脂と、モノマー及びオリゴマーのいずれかと、光重合開始剤と、顔料粒子とを含む請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 顔料粒子の数平均粒径が、0.001〜0.1μmである請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
- 感光性樹脂組成物における全固形分中のアルカリ可溶性樹脂の含有量が、10〜90質量%、モノマー及びオリゴマーのいずれかの含有量が、10〜90質量%、光重合開始剤の含有量が、0.1〜20質量%、顔料粒子の含有量が、1〜50質量%、である請求項2から3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・レッド254を含む請求項2から4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・グリーン36を含む請求項2から5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 顔料粒子の少なくとも1色が、C.I.ピグメント・ブルー15:6を含む請求項2から6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1から7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成したことを特徴とするカラーフィルタ。
- 請求項1から7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物をスリット状ノズルにより塗布する工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
- 基板上に、少なくとも請求項1から7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物層を有する積層体をラミネーターにより基板に貼り付ける工程を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
- 請求項8に記載のカラーフィルタを有することを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005318648A JP4897270B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005318648A JP4897270B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007127722A true JP2007127722A (ja) | 2007-05-24 |
JP4897270B2 JP4897270B2 (ja) | 2012-03-14 |
Family
ID=38150440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005318648A Expired - Fee Related JP4897270B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4897270B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008268884A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Fujifilm Corp | 着色硬化性樹脂組成物、着色パターン形成方法、着色パターン、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示素子 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001214077A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色組成物及びカラーフィルター |
JP2001221909A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルター |
JP2003177530A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-06-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 感光性組成物 |
JP2005025175A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-27 | Sumitomo Chemical Co Ltd | カラーフィルタ、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物セットの調整方法、及び、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物セット |
JP2005181383A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | カラーフィルタ用青色着色組成物およびカラーフィルタ |
-
2005
- 2005-11-01 JP JP2005318648A patent/JP4897270B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001214077A (ja) * | 2000-01-31 | 2001-08-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色組成物及びカラーフィルター |
JP2001221909A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフィルター |
JP2003177530A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-06-27 | Sumitomo Chem Co Ltd | 感光性組成物 |
JP2005025175A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-27 | Sumitomo Chemical Co Ltd | カラーフィルタ、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物セットの調整方法、及び、カラーフィルタ用感光性樹脂組成物セット |
JP2005181383A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | カラーフィルタ用青色着色組成物およびカラーフィルタ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008268884A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Fujifilm Corp | 着色硬化性樹脂組成物、着色パターン形成方法、着色パターン、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、及び液晶表示素子 |
KR101519428B1 (ko) | 2007-03-28 | 2015-05-12 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 수지 조성물, 착색 패턴 형성방법, 착색 패턴,컬러필터의 제조방법, 컬러필터, 및 액정표시소자 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4897270B2 (ja) | 2012-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2007015393A1 (ja) | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置 | |
JP2007093785A (ja) | 表示装置用部材の製造方法、及び表示装置用部材並びに表示装置 | |
JP2008233112A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
JP2007024969A (ja) | セル内構造の製造方法及びセル内構造並びに表示装置 | |
JP2007011231A (ja) | パターン形成方法、カラーフィルター付基板及び表示素子 | |
JP2007156011A (ja) | フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、スペーサ付き基板及びその製造方法並びに液晶表示装置 | |
JP2007101607A (ja) | 表示装置用部材及びその製造方法、並びに表示装置 | |
JP2007041082A (ja) | 液晶表示素子用感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ並びにその製造方法、及び、lcd表示素子 | |
JP2007057717A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
JP4897270B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
JP2007101742A (ja) | パターン形成方法、カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
JP2007071957A (ja) | カラーフィルタ及びパターン形成方法、並びに液晶表示装置 | |
JPWO2007074694A1 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法、並びに液晶表示装置 | |
JP2007041236A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置 | |
JP2007041281A (ja) | 黒色画像及びその製造方法、並びに遮光膜付き基板及び液晶表示素子 | |
JP4916141B2 (ja) | カラーフィルタ形成材料及びカラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、並びに液晶表示装置 | |
JP2007041308A (ja) | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、及び画像表示装置 | |
JP2007114602A (ja) | カラーフィルタ用感光性樹脂組成物、カラーフィルタ用感光性樹脂転写材料、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、カラーフィルタを用いた液晶表示装置、及び画像形成方法 | |
JPWO2007013233A1 (ja) | 液晶表示素子用感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルター並びにその製造方法、及び、液晶表示素子 | |
JP2007025003A (ja) | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ並びに表示装置 | |
KR20070017039A (ko) | 감광성 조성물, 및 컬러필터 및 그 제조방법, 액정표시장치 | |
JP2007041158A (ja) | カラーフィルタ作成用の光硬化性樹脂着色組成物、光硬化性樹脂転写フィルム、及びそれらを用いて製造するカラーフィルタの製造方法 | |
JP2006018221A (ja) | カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置 | |
JP2007041282A (ja) | 感光性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法、液晶表示装置 | |
JP2007086692A (ja) | 液晶ディスプレイ用構造材の形成方法、並びに液晶ディスプレイ用構造材形成材料、液晶表示装置用基板、液晶表示素子、及び液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080718 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111213 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |