JP2003165738A - サイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置 - Google Patents
サイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置Info
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 外付け方により光ファイバー用母材を製造す
る際に、スート堆積体の両端部の焼き締めに使用するサ
イドバーナの位置や角度の調整を、操業中でも容易かつ
正確に行うことのできるサイドバーナの遠隔位置微調整
方法及び光ファイバー用母材の製造装置を提供する。 【解決手段】 外付け法によりターゲット棒２にスート
を堆積させて光ファイバ用母材を製造するに際し、サイ
ドバーナ６の位置を、チャンバー１の外部に設置された
位置微調整装置７を操作して微調整することを特徴とし
ている。
る際に、スート堆積体の両端部の焼き締めに使用するサ
イドバーナの位置や角度の調整を、操業中でも容易かつ
正確に行うことのできるサイドバーナの遠隔位置微調整
方法及び光ファイバー用母材の製造装置を提供する。 【解決手段】 外付け法によりターゲット棒２にスート
を堆積させて光ファイバ用母材を製造するに際し、サイ
ドバーナ６の位置を、チャンバー１の外部に設置された
位置微調整装置７を操作して微調整することを特徴とし
ている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、外付け法による光
ファイバ用母材の製造方法に係り、特には、サイドバー
ナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置に
関する。
ファイバ用母材の製造方法に係り、特には、サイドバー
ナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、外付け法による光ファイバ用母材
は、Ｈ2 、Ｏ2 ガスとともにＡｒをキャリアガスとする
ＳｉＣｌ4 などの原料ガスをバーナに供給し、加水分解
反応により生じたガラス微粒子を回転するコア用石英ガ
ラスロッドの周面に堆積させ、所定の厚さのクラッド層
を有するスート堆積体（多孔質ガラス母材）を形成し、
その後、焼結・透明ガラス化して製造されている。
は、Ｈ2 、Ｏ2 ガスとともにＡｒをキャリアガスとする
ＳｉＣｌ4 などの原料ガスをバーナに供給し、加水分解
反応により生じたガラス微粒子を回転するコア用石英ガ
ラスロッドの周面に堆積させ、所定の厚さのクラッド層
を有するスート堆積体（多孔質ガラス母材）を形成し、
その後、焼結・透明ガラス化して製造されている。
【０００３】しかしながら、上記スート堆積体の製造の
際に、コア用石英ガラスロッドからスートが剥がれ、ス
ート堆積体の両端部から割れが生じることがある。割れ
が生じると製品として使えなくなり、大きな損害にな
る。特許公報第2938650号は、このような不利を解決す
るためになされたものであり、光ファイバ用プリフォー
ムの製造方法において、ガラス微粒子堆積層とコア用ガ
ラスロッドの境界付近をガラスロッドの軸方向に往復運
動する加熱バーナで加熱することにより、ガラス微粒子
堆積層とコア用ガラスロッドとの境界付近におけるガラ
ス微粒子堆積層の密度を高めることができ、ひび割れの
発生やガラスロッドの残留歪みによる折れをなくすこと
ができる、旨記載している。
際に、コア用石英ガラスロッドからスートが剥がれ、ス
ート堆積体の両端部から割れが生じることがある。割れ
が生じると製品として使えなくなり、大きな損害にな
る。特許公報第2938650号は、このような不利を解決す
るためになされたものであり、光ファイバ用プリフォー
ムの製造方法において、ガラス微粒子堆積層とコア用ガ
ラスロッドの境界付近をガラスロッドの軸方向に往復運
動する加熱バーナで加熱することにより、ガラス微粒子
堆積層とコア用ガラスロッドとの境界付近におけるガラ
ス微粒子堆積層の密度を高めることができ、ひび割れの
発生やガラスロッドの残留歪みによる折れをなくすこと
ができる、旨記載している。
【０００４】図３は、従来の光ファイバ用母材製造装置
の概略を示す概略模式図であり、上記特許公報第293865
0号も同様の装置を使用している。図において、チャン
バー１内には、コア用石英ガラスロッド２がチャック３
に把持され、回転駆動機構４により回転するように構成
されている。コア用石英ガラスロッド２には、これと平
行に堆積用バーナ(図示を省略)を往復移動させることに
よりスートが堆積され、スート堆積体５が形成される。
さらに、スート堆積体５の端部を加熱するサイドバーナ
６が設置されている。
の概略を示す概略模式図であり、上記特許公報第293865
0号も同様の装置を使用している。図において、チャン
バー１内には、コア用石英ガラスロッド２がチャック３
に把持され、回転駆動機構４により回転するように構成
されている。コア用石英ガラスロッド２には、これと平
行に堆積用バーナ(図示を省略)を往復移動させることに
よりスートが堆積され、スート堆積体５が形成される。
さらに、スート堆積体５の端部を加熱するサイドバーナ
６が設置されている。
【０００５】図４は、スート堆積体５の端部をサイドバ
ーナ６で加熱して焼き締める様子を拡大して示してい
る。サイドバーナ６でスート堆積体５の端部を焼き締め
ることにより、コア用石英ガラスロッド２からのスート
の剥がれや割れを防止している。このためサイドバーナ
６は、スート堆積体５の両端部に対する位置、角度が重
要であり、適正に設置されていないと全く無意味な物に
なってしまう。
ーナ６で加熱して焼き締める様子を拡大して示してい
る。サイドバーナ６でスート堆積体５の端部を焼き締め
ることにより、コア用石英ガラスロッド２からのスート
の剥がれや割れを防止している。このためサイドバーナ
６は、スート堆積体５の両端部に対する位置、角度が重
要であり、適正に設置されていないと全く無意味な物に
なってしまう。
【０００６】サイドバーナ６はチャンバー１内に固定さ
れており、操業停止中はチャンバー１を開いて、サイド
バーナ６の位置をコア用石英ガラスロッド２の軸中心に
合わせたり、水平方向及び回転方向に調整することがで
きるが、操業中は、チャンバー１を開くことができず、
サイドバーナ６の位置を調整することは不可能であっ
た。このように従来技術では、操業開始前に位置決めを
行った後は、その位置を調整することができなかった。
れており、操業停止中はチャンバー１を開いて、サイド
バーナ６の位置をコア用石英ガラスロッド２の軸中心に
合わせたり、水平方向及び回転方向に調整することがで
きるが、操業中は、チャンバー１を開くことができず、
サイドバーナ６の位置を調整することは不可能であっ
た。このように従来技術では、操業開始前に位置決めを
行った後は、その位置を調整することができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、外付
け方により光ファイバー用母材を製造する際に、スート
堆積体の両端部の焼き締めに使用するサイドバーナの位
置や角度の調整を、操業中でも容易かつ正確に行うこと
のできるサイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ
ー用母材の製造装置を提供することにある。
け方により光ファイバー用母材を製造する際に、スート
堆積体の両端部の焼き締めに使用するサイドバーナの位
置や角度の調整を、操業中でも容易かつ正確に行うこと
のできるサイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ
ー用母材の製造装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のサイドバーナの
位置微調整方法は、外付け法によりターゲット棒にスー
トを堆積させて光ファイバ用母材を製造するに際し、ス
ート堆積体両端部の焼き締めに使用されるサイドバーナ
の位置を、チャンバーの外部に設置された位置微調整装
置を遠隔操作して微調整することを特徴としている。サ
イドバーナの位置調整は、ターゲット棒に沿って平行移
動及び／又はターゲット棒の周囲を回転移動させること
により行われる。サイドバーナの位置調整の手段には、
ボールネジが使用される。
位置微調整方法は、外付け法によりターゲット棒にスー
トを堆積させて光ファイバ用母材を製造するに際し、ス
ート堆積体両端部の焼き締めに使用されるサイドバーナ
の位置を、チャンバーの外部に設置された位置微調整装
置を遠隔操作して微調整することを特徴としている。サ
イドバーナの位置調整は、ターゲット棒に沿って平行移
動及び／又はターゲット棒の周囲を回転移動させること
により行われる。サイドバーナの位置調整の手段には、
ボールネジが使用される。
【０００９】また、本発明の光ファイバ用母材の製造装
置は、外付け法によりターゲット棒にスートを堆積させ
る光ファイバ用母材の製造装置において、スート堆積体
の端部を焼き締めるため両端部近傍に配設されたサイド
バーナ、及び該サイドバーナの位置を遠隔操作するため
チャンバーの外部に設置された位置微調整装置を有して
いる。
置は、外付け法によりターゲット棒にスートを堆積させ
る光ファイバ用母材の製造装置において、スート堆積体
の端部を焼き締めるため両端部近傍に配設されたサイド
バーナ、及び該サイドバーナの位置を遠隔操作するため
チャンバーの外部に設置された位置微調整装置を有して
いる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明のサイドバーナの
位置微調整方法の一例について、図を参照しながら詳細
に説明するが、本発明はこれに限定されず、様々な態様
が可能である。
位置微調整方法の一例について、図を参照しながら詳細
に説明するが、本発明はこれに限定されず、様々な態様
が可能である。
【００１１】図１は、本発明の光ファイバ用母材の製造
装置の一例を示す概略模式図であり、ターゲット棒（コ
ア用石英ガラスロッド）２の回転駆動機構４上に本発明
のサイドバーナ６の位置微調整装置７が設置されてい
る。この位置微調整装置７は、チャンバー１内に取り付
けられたサイドバーナ６の位置を外部から調整するもの
であり、サイドバーナ６の取付け軸を水平方向と回転方
向に調整する機構を有している。
装置の一例を示す概略模式図であり、ターゲット棒（コ
ア用石英ガラスロッド）２の回転駆動機構４上に本発明
のサイドバーナ６の位置微調整装置７が設置されてい
る。この位置微調整装置７は、チャンバー１内に取り付
けられたサイドバーナ６の位置を外部から調整するもの
であり、サイドバーナ６の取付け軸を水平方向と回転方
向に調整する機構を有している。
【００１２】図２は、図１の位置微調整装置７を拡大し
て示す概略正面図である。図において、サイドバーナ取
付け用シャフト８は、ベアリング９を介してスライドベ
ース10に固定されており、該スライドベース10と一体的
に前後進可能であり、かつ回転用ハンドル11により回転
可能に構成されている。これによりサイドバーナ６をタ
ーゲット棒２に沿って平行移動させたり、回転移動させ
ることができる。
て示す概略正面図である。図において、サイドバーナ取
付け用シャフト８は、ベアリング９を介してスライドベ
ース10に固定されており、該スライドベース10と一体的
に前後進可能であり、かつ回転用ハンドル11により回転
可能に構成されている。これによりサイドバーナ６をタ
ーゲット棒２に沿って平行移動させたり、回転移動させ
ることができる。
【００１３】サイドバーナ取付け用シャフト８の前後進
は、スライドベース10を前後進させることでもあり、こ
れは水平方向移動用ハンドル12を操作して、ベース13上
に設置されたボールネジ14を回転させることで行われ
る。なお、位置微調整装置７は、チャンバー外部の適当
な場所に設置すればよく、図１，２は、回転駆動機構４
上に設置した例を示している。
は、スライドベース10を前後進させることでもあり、こ
れは水平方向移動用ハンドル12を操作して、ベース13上
に設置されたボールネジ14を回転させることで行われ
る。なお、位置微調整装置７は、チャンバー外部の適当
な場所に設置すればよく、図１，２は、回転駆動機構４
上に設置した例を示している。
【００１４】本発明は、スート堆積体両端部の焼き締め
に使用するサイドバーナ６の位置を、チャンバー１の外
部に設置された位置微調整装置７を遠隔操作して微調整
するものであり、サイドバーナ６の位置の微調整は、タ
ーゲット棒２に沿って平行移動及び／又はターゲット棒
２の周囲を回転移動させることにより行われる。
に使用するサイドバーナ６の位置を、チャンバー１の外
部に設置された位置微調整装置７を遠隔操作して微調整
するものであり、サイドバーナ６の位置の微調整は、タ
ーゲット棒２に沿って平行移動及び／又はターゲット棒
２の周囲を回転移動させることにより行われる。
【００１５】サイドバーナ６の回転方向に対する位置調
整は、ベアリング９により支持されたサイドバーナ取付
け用シャフト８を回転用ハンドル11で回転することによ
り行われる。また、サイドバーナ６のターゲット棒２に
沿った平行方向に対する位置調整は、水平方向移動用ハ
ンドル12を回してボールネジ14を回転させ、サイドバー
ナ取付け用シャフト８とスライドベース10とを一体的に
前後進させることで行われる。このようにしてサイドバ
ーナ取り付け冶具に対する外部からの遠隔操作が可能と
なる。
整は、ベアリング９により支持されたサイドバーナ取付
け用シャフト８を回転用ハンドル11で回転することによ
り行われる。また、サイドバーナ６のターゲット棒２に
沿った平行方向に対する位置調整は、水平方向移動用ハ
ンドル12を回してボールネジ14を回転させ、サイドバー
ナ取付け用シャフト８とスライドベース10とを一体的に
前後進させることで行われる。このようにしてサイドバ
ーナ取り付け冶具に対する外部からの遠隔操作が可能と
なる。
【００１６】上記したように、サイドバーナのターゲッ
ト棒に沿っての平行移動は、リニアガイドとボールネジ
で行うことができる。また、サイドバーナの回転方向へ
の移動は、回転ベアリングとボールネジで行うことがで
きる。
ト棒に沿っての平行移動は、リニアガイドとボールネジ
で行うことができる。また、サイドバーナの回転方向へ
の移動は、回転ベアリングとボールネジで行うことがで
きる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、スート堆積体の両端部
の焼き締めに使用するサイドバーナの水平方向及び回転
方向の微調整が容易であり、かつ調整装置がチャンバー
の外部にあるため、操業中でも位置調整が可能である。
そのため不良品の発生を抑えることができ、歩留まりの
向上に寄与する。
の焼き締めに使用するサイドバーナの水平方向及び回転
方向の微調整が容易であり、かつ調整装置がチャンバー
の外部にあるため、操業中でも位置調整が可能である。
そのため不良品の発生を抑えることができ、歩留まりの
向上に寄与する。
【図１】 本発明の光ファイバ用母材の製造装置の概略
を示す概略模式図である。
を示す概略模式図である。
【図２】 本発明のサイドバーナの位置微調整装置の概
略を拡大して示す概略正面図である。
略を拡大して示す概略正面図である。
【図３】 従来の光ファイバ用母材の製造装置の概略を
示す概略模式図である。
示す概略模式図である。
【図４】 スート堆積体の端部をバーナ加熱する様子を
拡大して示す説明図である。
拡大して示す説明図である。
１．…チャンバー、
２．…ターゲット棒（コア用石英ガラスロッド）、
３．…チャック、
４．…回転駆動機構、
５．…スート堆積体、
６．…サイドバーナ、
７．…位置微調整装置、
８．…サイドバーナ取付け用シャフト、
９．…ベアリング、
10．…スライドベース、
11．…回転用ハンドル、
12．…水平方向移動用ハンドル、
13．…ベース、
14．…ボールネジ。
Claims (6)
- 【請求項１】 外付け法によりターゲット棒にスートを
堆積させて光ファイバ用母材を製造するに際し、サイド
バーナの位置を、チャンバーの外部に設置された位置微
調整装置を操作して微調整することを特徴とするサイド
バーナの位置微調整方法。 - 【請求項２】 サイドバーナの位置調整が、ターゲット
棒に沿って平行移動及び／又はターゲット棒の周囲を回
転移動させることにより行われる請求項１に記載のサイ
ドバーナの位置微調整方法。 - 【請求項３】 サイドバーナの位置調整の手段に、ボー
ルネジを使用する請求項１又は２に記載のサイドバーナ
の位置微調整方法。 - 【請求項４】 外付け法によりターゲット棒にスートを
堆積させる光ファイバ用母材の製造装置において、両端
部近傍に配設されたサイドバーナ、及び該サイドバーナ
の位置を操作するためチャンバーの外部に設置された位
置微調整装置を有していることを特徴とする光ファイバ
用母材の製造装置。 - 【請求項５】 サイドバーナの位置調整が、ターゲット
棒に沿って平行移動及び／又はターゲット棒の周囲を回
転移動させることにより行われる請求項４に記載の光フ
ァイバ用母材の製造装置。 - 【請求項６】 サイドバーナの位置調整の手段に、ボー
ルネジを使用する請求項４又は５に記載の光ファイバ用
母材の製造装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001364866A JP2003165738A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | サイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置 |
| EP02090166A EP1256553B1 (en) | 2001-05-08 | 2002-05-07 | Apparatus and method for producing a glass preform for optical fibres by deposition |
| DE60239504T DE60239504D1 (de) | 2001-05-08 | 2002-05-07 | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von einer Vorform für optische Fasern durch Abscheidung |
| US10/140,436 US20020194879A1 (en) | 2001-05-08 | 2002-05-08 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
| US11/987,538 US20080087048A1 (en) | 2001-05-08 | 2007-11-30 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
| US14/054,571 US20140144188A1 (en) | 2001-05-08 | 2013-10-15 | Glass base material manufacturing apparatus and method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001364866A JP2003165738A (ja) | 2001-11-29 | 2001-11-29 | サイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003165738A true JP2003165738A (ja) | 2003-06-10 |
Family
ID=19174993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001364866A Pending JP2003165738A (ja) | 2001-05-08 | 2001-11-29 | サイドバーナの位置微調整方法及び光ファイバ用母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003165738A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011246319A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子合成用バーナの位置調整方法及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| DE102017118727A1 (de) | 2016-08-22 | 2018-02-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Rußabscheidungskörpers |
| DE102017118611A1 (de) | 2016-08-16 | 2018-02-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Rußabscheidungskörpers |
| WO2018180495A1 (ja) | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
-
2001
- 2001-11-29 JP JP2001364866A patent/JP2003165738A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011246319A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子合成用バーナの位置調整方法及びガラス微粒子堆積体の製造方法 |
| DE102017118611A1 (de) | 2016-08-16 | 2018-02-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Rußabscheidungskörpers |
| US10570050B2 (en) | 2016-08-16 | 2020-02-25 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Soot deposition body manufacturing apparatus and manufacturing method |
| DE102017118727A1 (de) | 2016-08-22 | 2018-02-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Rußabscheidungskörpers |
| JP2018030729A (ja) * | 2016-08-22 | 2018-03-01 | 信越化学工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置 |
| US10532944B2 (en) | 2016-08-22 | 2020-01-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Soot deposition body manufacturing apparatus and manufacturing method |
| WO2018180495A1 (ja) | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法 |
| CN110461783A (zh) * | 2017-03-30 | 2019-11-15 | 古河电气工业株式会社 | 光纤多孔质母材的制造装置及制造方法 |
| CN110461783B (zh) * | 2017-03-30 | 2022-09-02 | 古河电气工业株式会社 | 光纤多孔质母材的制造装置及制造方法 |
| US11820691B2 (en) | 2017-03-30 | 2023-11-21 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Manufacturing apparatus and manufacturing method for optical fiber porous preform |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040121 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060808 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060816 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061211 |