JPH09118539A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPH09118539A JPH09118539A JP27907695A JP27907695A JPH09118539A JP H09118539 A JPH09118539 A JP H09118539A JP 27907695 A JP27907695 A JP 27907695A JP 27907695 A JP27907695 A JP 27907695A JP H09118539 A JPH09118539 A JP H09118539A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
- C03B2207/66—Relative motion
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造中やその次工程で光ファイバ母材にクラ
ックや剥離を生じる。 【解決手段】 バーナ４へガラス原料ガス、燃料ガス及
び助燃性ガスを供給しそのバーナ４から火炎と共にガラ
ス微粒子を噴出させて、回転する棒状の出発部材３の外
周へ噴き付けさせると共に、その出発部材３とバーナ４
とを出発部材３の軸方向に沿って相対的に往復移動させ
ることにより、出発部材３の周りにガラス微粒子を堆積
させ積層させて行う光ファイバ母材の製造方法におい
て、ガラス微粒子を０．５ｍｍ以下の層厚で出発部材に
積層させる。
ックや剥離を生じる。 【解決手段】 バーナ４へガラス原料ガス、燃料ガス及
び助燃性ガスを供給しそのバーナ４から火炎と共にガラ
ス微粒子を噴出させて、回転する棒状の出発部材３の外
周へ噴き付けさせると共に、その出発部材３とバーナ４
とを出発部材３の軸方向に沿って相対的に往復移動させ
ることにより、出発部材３の周りにガラス微粒子を堆積
させ積層させて行う光ファイバ母材の製造方法におい
て、ガラス微粒子を０．５ｍｍ以下の層厚で出発部材に
積層させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ母材の
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材であるガラス微粒子堆積
体の製造方法として、外付け法が知られている。この製
造方法は、特開平２−２４３５３０号公報に記載されて
いるように、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのガラス原料
を、Ｈ2 などの燃料ガス及びＯ2 などの助燃性ガスと共
にバーナから噴出させ、火炎中で酸化、加水分解反応等
によりガラス微粒子とし、棒状のターゲット部材へ向け
て噴き付けて行うものであって、ターゲット部材を軸回
転させると共に、バーナをターゲット部材の軸方向へ繰
り返し往復移動、即ちトラバースさせることにより、タ
ーゲット部材の周囲にガラス微粒子を一層ごと付着堆積
させ、その堆積面の温度を制御しながら光ファイバ母材
である堆積体を形成していくものである。
体の製造方法として、外付け法が知られている。この製
造方法は、特開平２−２４３５３０号公報に記載されて
いるように、ＳｉＣｌ4 、ＧｅＣｌ4 などのガラス原料
を、Ｈ2 などの燃料ガス及びＯ2 などの助燃性ガスと共
にバーナから噴出させ、火炎中で酸化、加水分解反応等
によりガラス微粒子とし、棒状のターゲット部材へ向け
て噴き付けて行うものであって、ターゲット部材を軸回
転させると共に、バーナをターゲット部材の軸方向へ繰
り返し往復移動、即ちトラバースさせることにより、タ
ーゲット部材の周囲にガラス微粒子を一層ごと付着堆積
させ、その堆積面の温度を制御しながら光ファイバ母材
である堆積体を形成していくものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ母材の製造技術にあっては、次のような問題
点がある。すなわち、一定の表面温度にしてガラス微粒
子を堆積させても、ガラス原料や燃料ガス等の供給量の
変動により、異なる箇所でガラス微粒子の層厚にバラツ
キを生じ、また、ガラス微粒子堆積体の嵩密度にバラツ
キを生じる。このため、その堆積工程中に堆積体にクラ
ックが発生したり、堆積工程の次工程で透明化する際に
剥離を生じる場合があった。
光ファイバ母材の製造技術にあっては、次のような問題
点がある。すなわち、一定の表面温度にしてガラス微粒
子を堆積させても、ガラス原料や燃料ガス等の供給量の
変動により、異なる箇所でガラス微粒子の層厚にバラツ
キを生じ、また、ガラス微粒子堆積体の嵩密度にバラツ
キを生じる。このため、その堆積工程中に堆積体にクラ
ックが発生したり、堆積工程の次工程で透明化する際に
剥離を生じる場合があった。
【０００４】そこで本発明は、以上のような問題点を解
決するためになされたものであって、欠陥のない良好な
光ファイバ母材を確実に製造できる光ファイバ母材の製
造方法を提供することを目的とする。
決するためになされたものであって、欠陥のない良好な
光ファイバ母材を確実に製造できる光ファイバ母材の製
造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、バー
ナへガラス原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを供給し
そのバーナから火炎と共にガラス微粒子を噴出させて、
回転する棒状の出発部材の外周へ噴き付けさせると共
に、その出発部材とバーナとを出発部材の軸方向に沿っ
て相対的に往復移動させることにより、出発部材の周り
にガラス微粒子を堆積させ積層させて行う光ファイバ母
材の製造方法において、ガラス微粒子を０．５ｍｍ以下
の層厚で出発部材に積層させることを特徴とする。
ナへガラス原料ガス、燃料ガス及び助燃性ガスを供給し
そのバーナから火炎と共にガラス微粒子を噴出させて、
回転する棒状の出発部材の外周へ噴き付けさせると共
に、その出発部材とバーナとを出発部材の軸方向に沿っ
て相対的に往復移動させることにより、出発部材の周り
にガラス微粒子を堆積させ積層させて行う光ファイバ母
材の製造方法において、ガラス微粒子を０．５ｍｍ以下
の層厚で出発部材に積層させることを特徴とする。
【０００６】また本発明は、バーナへのガラス原料ガス
の供給量を制御することにより、前述のガラス微粒子の
層厚の調整を行うことを特徴とする。
の供給量を制御することにより、前述のガラス微粒子の
層厚の調整を行うことを特徴とする。
【０００７】また本発明は、出発部材とバーナとの相対
往復移動の速度を制御することにより、前述のガラス微
粒子の層厚の調整を行うことを特徴とする。
往復移動の速度を制御することにより、前述のガラス微
粒子の層厚の調整を行うことを特徴とする。
【０００８】また本発明は、バーナへの燃料ガス及び助
燃性ガスの供給量を制御することにより、前述のガラス
微粒子の層厚の調整を行うことを特徴とする。
燃性ガスの供給量を制御することにより、前述のガラス
微粒子の層厚の調整を行うことを特徴とする。
【０００９】これらの発明によれば、光ファイバ母材で
あるガラス微粒子堆積体が０．５ｍｍ以下の薄いガラス
微粒子の層を積層して形成される。このため、所定径の
堆積体を形成するのに多数の層を積層することとなり、
その堆積体の軸方向に対して不均等にガラス微粒子が噴
き付けられても平均化されるから、堆積体における部分
的な径寸法のバラツキが抑制される。
あるガラス微粒子堆積体が０．５ｍｍ以下の薄いガラス
微粒子の層を積層して形成される。このため、所定径の
堆積体を形成するのに多数の層を積層することとなり、
その堆積体の軸方向に対して不均等にガラス微粒子が噴
き付けられても平均化されるから、堆積体における部分
的な径寸法のバラツキが抑制される。
【００１０】更に本発明は、ガラス微粒子の積層状態を
測定しながら、前述のガラス微粒子の層厚の調整を行う
ことを特徴とする。
測定しながら、前述のガラス微粒子の層厚の調整を行う
ことを特徴とする。
【００１１】このような発明によれば、ガラス微粒子の
積層状態が確認できるから、その積層状態に応じてガラ
ス微粒子の層厚の調整することにより、良好な堆積体、
即ち光ファイバ母材が形成可能となる。
積層状態が確認できるから、その積層状態に応じてガラ
ス微粒子の層厚の調整することにより、良好な堆積体、
即ち光ファイバ母材が形成可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
に係る実施形態の種々の例について説明する。尚、各図
において同一要素には同一符号を付して説明を省略す
る。
に係る実施形態の種々の例について説明する。尚、各図
において同一要素には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００１３】図１は光ファイバ母材の製造工程の説明図
である。まず、光ファイバ母材の製造方法の説明に先立
って、光ファイバ母材の製造装置１について説明する。
図１において、密封された反応容器１の上方には駆動装
置２が設置され、反応容器１の内部の下方へ延びるロッ
ド２１を備えており、反応容器１の内部へ向けて伸縮自
在とされている。また、そのロッド２１の先端には、出
発部材３を着脱可能な把持部２２が設けられ、ロッド２
１の伸張、収縮により把持部２２が上下動する構造とな
っている。従って、図１のように、この把持部２２に出
発部材３を取り付けて駆動装置２の作動させれば、把持
部２２と共に出発部材３が軸回転しながら、その軸方向
へ向けて繰り返し往復移動、すなわちトラバースするこ
ととなる。
である。まず、光ファイバ母材の製造方法の説明に先立
って、光ファイバ母材の製造装置１について説明する。
図１において、密封された反応容器１の上方には駆動装
置２が設置され、反応容器１の内部の下方へ延びるロッ
ド２１を備えており、反応容器１の内部へ向けて伸縮自
在とされている。また、そのロッド２１の先端には、出
発部材３を着脱可能な把持部２２が設けられ、ロッド２
１の伸張、収縮により把持部２２が上下動する構造とな
っている。従って、図１のように、この把持部２２に出
発部材３を取り付けて駆動装置２の作動させれば、把持
部２２と共に出発部材３が軸回転しながら、その軸方向
へ向けて繰り返し往復移動、すなわちトラバースするこ
ととなる。
【００１４】一方、反応容器１の中央付近には、バーナ
４が設置されており、前述の把持部２２に取り付けた出
発部材３へ向けて、火炎と共にガラス微粒子を噴き付け
るようになっている。すなわち、バーナ４は、ＳｉＣｌ
4 、ＧｅＣｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの燃料
ガス及びＯ2 などの助燃性ガスをそれぞれ設定した量だ
けガス供給装置５から供給されて、所定の火力の火炎と
所定量のガラス微粒子を出発部材３へ噴き付け、出発部
材３の周りにガラス微粒子を堆積させるようになってい
る。反応容器１のバーナ４と対向する位置には、排気口
１１が設けられ、この排気口１１からガラス微粒子の生
成時に発生する不要なガスが排出できるようになってい
る。また、反応容器１には、出発部材３へ堆積されるガ
ラス微粒子の積層状態を測定する層厚測定装置６が配設
されている。この測定装置６は、出発部材３がトラバー
スするごと（下方へ移動、又は上方へ移動するごと）に
堆積されるガラス微粒子の層３１の層厚ｔを計測可能と
したものであって、例えば、超音波式、レーザ式などの
公知の距離測定機器等で構成される。
４が設置されており、前述の把持部２２に取り付けた出
発部材３へ向けて、火炎と共にガラス微粒子を噴き付け
るようになっている。すなわち、バーナ４は、ＳｉＣｌ
4 、ＧｅＣｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの燃料
ガス及びＯ2 などの助燃性ガスをそれぞれ設定した量だ
けガス供給装置５から供給されて、所定の火力の火炎と
所定量のガラス微粒子を出発部材３へ噴き付け、出発部
材３の周りにガラス微粒子を堆積させるようになってい
る。反応容器１のバーナ４と対向する位置には、排気口
１１が設けられ、この排気口１１からガラス微粒子の生
成時に発生する不要なガスが排出できるようになってい
る。また、反応容器１には、出発部材３へ堆積されるガ
ラス微粒子の積層状態を測定する層厚測定装置６が配設
されている。この測定装置６は、出発部材３がトラバー
スするごと（下方へ移動、又は上方へ移動するごと）に
堆積されるガラス微粒子の層３１の層厚ｔを計測可能と
したものであって、例えば、超音波式、レーザ式などの
公知の距離測定機器等で構成される。
【００１５】この層厚測定装置６、ガス供給装置５及び
駆動装置２は、このガス供給装置５及び駆動装置２の作
動を制御する制御装置７と電気的な配線７１により接続
されている。すなわち、層厚測定装置６に計測された積
層データは配線７１を介して制御装置７へ随時入力さ
れ、この積層データに基づいて制御装置７から制御信号
がそれぞれガス供給装置５又は駆動装置２へ出力され、
その制御信号により駆動装置２のロッド２１の伸縮速度
が又はガス供給装置５の所定ガスの供給量が調整される
ようになっている。尚、層厚測定装置６及び制御装置７
を設けず、予め計算によりロッド２１の伸縮速度又はガ
スの供給量を設定して光ファイバ母材を製造してもよ
く、また製造中にその伸縮速度又はその供給量を適宜変
更しながら光ファイバ母材を製造してもよい。
駆動装置２は、このガス供給装置５及び駆動装置２の作
動を制御する制御装置７と電気的な配線７１により接続
されている。すなわち、層厚測定装置６に計測された積
層データは配線７１を介して制御装置７へ随時入力さ
れ、この積層データに基づいて制御装置７から制御信号
がそれぞれガス供給装置５又は駆動装置２へ出力され、
その制御信号により駆動装置２のロッド２１の伸縮速度
が又はガス供給装置５の所定ガスの供給量が調整される
ようになっている。尚、層厚測定装置６及び制御装置７
を設けず、予め計算によりロッド２１の伸縮速度又はガ
スの供給量を設定して光ファイバ母材を製造してもよ
く、また製造中にその伸縮速度又はその供給量を適宜変
更しながら光ファイバ母材を製造してもよい。
【００１６】次に、光ファイバ母材の製造方法について
説明する。図１において、まず、コア及びクラッドを有
する出発部材３を把持部２２に取り付けて容易に外れな
いように固着しておく。駆動装置２を作動させロッド２
１及び把持部２２を介して、出発部材３を軸回転させな
がら、上下方向へ往復移動、すなわちトラバースさせ
る。それと共に、ガス供給装置５からバーナ４へＳｉＣ
ｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの燃料ガス及びＯ
2 などの助燃性ガスをそれぞれ供給させて、そのバーナ
４から出発部材３へ向けて火炎を噴出させ、ガラス原料
ガスを火炎中で加水分解させてガラス微粒子として出発
部材３へ噴き付けさせる。
説明する。図１において、まず、コア及びクラッドを有
する出発部材３を把持部２２に取り付けて容易に外れな
いように固着しておく。駆動装置２を作動させロッド２
１及び把持部２２を介して、出発部材３を軸回転させな
がら、上下方向へ往復移動、すなわちトラバースさせ
る。それと共に、ガス供給装置５からバーナ４へＳｉＣ
ｌ4 などのガラス原料ガス、Ｈ2 などの燃料ガス及びＯ
2 などの助燃性ガスをそれぞれ供給させて、そのバーナ
４から出発部材３へ向けて火炎を噴出させ、ガラス原料
ガスを火炎中で加水分解させてガラス微粒子として出発
部材３へ噴き付けさせる。
【００１７】すると、図１のように、出発部材３の外周
には、ガラス微粒子が徐々に堆積し、出発部材３がトラ
バースするごとにガラス微粒子の層３１が積層されてい
く。その際、層３１の層厚ｔが０．５ｍｍ以下となるよ
うにバーナ４へのガラス原料ガスの供給量を調整する。
ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔとする
ためのガラス原料ガスの供給量は、出発部材３のトラバ
ース速度、燃料ガス又は助燃性ガスの供給量により変わ
ってくるが、まずトラバース速度を所定速度とし、また
燃料ガス等の供給量を所定量としてガラス微粒子の噴き
付けを行う。そして、層厚測定装置６によりトラバース
ごとの層厚ｔを計測して、その層厚ｔが０．５ｍｍより
厚いときは制御装置７からガラス原料ガスの供給量を減
らす制御信号をガス供給装置５へ出力させ、層厚ｔが
０．５ｍｍより極端に薄いときはガラス原料ガスの供給
量を増やす制御信号をガス供給装置５へ出力させること
により、最適なガラス原料ガスの供給量に調整してガラ
ス微粒子の噴き付けを行う。尚、このガラス原料ガスの
供給量の調整は、制御装置７を用いずに計測した層厚ｔ
に基づいて適宜ガス供給装置５のガラス原料ガス供給量
を人為的な手作業等で行ってもよい。また、過去の試験
データ等をもとに最適なガラス原料ガス供給量を予めガ
ス供給装置５に設定することにより、その調整工程を省
略してもよい。
には、ガラス微粒子が徐々に堆積し、出発部材３がトラ
バースするごとにガラス微粒子の層３１が積層されてい
く。その際、層３１の層厚ｔが０．５ｍｍ以下となるよ
うにバーナ４へのガラス原料ガスの供給量を調整する。
ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔとする
ためのガラス原料ガスの供給量は、出発部材３のトラバ
ース速度、燃料ガス又は助燃性ガスの供給量により変わ
ってくるが、まずトラバース速度を所定速度とし、また
燃料ガス等の供給量を所定量としてガラス微粒子の噴き
付けを行う。そして、層厚測定装置６によりトラバース
ごとの層厚ｔを計測して、その層厚ｔが０．５ｍｍより
厚いときは制御装置７からガラス原料ガスの供給量を減
らす制御信号をガス供給装置５へ出力させ、層厚ｔが
０．５ｍｍより極端に薄いときはガラス原料ガスの供給
量を増やす制御信号をガス供給装置５へ出力させること
により、最適なガラス原料ガスの供給量に調整してガラ
ス微粒子の噴き付けを行う。尚、このガラス原料ガスの
供給量の調整は、制御装置７を用いずに計測した層厚ｔ
に基づいて適宜ガス供給装置５のガラス原料ガス供給量
を人為的な手作業等で行ってもよい。また、過去の試験
データ等をもとに最適なガラス原料ガス供給量を予めガ
ス供給装置５に設定することにより、その調整工程を省
略してもよい。
【００１８】このように所定のガラス原料ガス供給量で
ガラス微粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆
積するガラス微粒子が０．５ｍｍ以下の薄い層３１で繰
り返し積層されていくこととなる。尚、この積層工程に
おいて、ガラス微粒子の堆積効率は堆積体３２の外径の
増加と共に向上していくので、徐々にガラス原料ガスの
供給量を減らすようにガス供給装置５に予め設定してお
くのが好ましい。その際、その供給量を減らし過ぎて堆
積速度が低下しすぎないように、層厚ｔを０．３〜０．
４ｍｍ程度に保つようにしておくとよい。そして、堆積
体３２を所定の径寸法まで成長させて、光ファイバ母材
の形成が完了する。この光ファイバ母材は、薄い層３１
を多数積層して形成されるから、各層３１における堆積
体軸方向の層厚ｔにバラツキがあっても、多数積層させ
ることにより平均化され、その軸方向の径寸法が一定で
均整したものとなる。また、光ファイバ母材は、薄い層
３１を多数積層させることにより、その嵩密度も平均化
され、部分的に嵩密度の異なる部分も存在しないものと
なる。従って、光ファイバ母材の製造中に堆積体３２に
クラックが生じることもない。このような光ファイバ母
材を炉で透明化する際、光ファイバ母材は不整のないも
のであるから、その工程中に剥離などを生じることもな
い。
ガラス微粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆
積するガラス微粒子が０．５ｍｍ以下の薄い層３１で繰
り返し積層されていくこととなる。尚、この積層工程に
おいて、ガラス微粒子の堆積効率は堆積体３２の外径の
増加と共に向上していくので、徐々にガラス原料ガスの
供給量を減らすようにガス供給装置５に予め設定してお
くのが好ましい。その際、その供給量を減らし過ぎて堆
積速度が低下しすぎないように、層厚ｔを０．３〜０．
４ｍｍ程度に保つようにしておくとよい。そして、堆積
体３２を所定の径寸法まで成長させて、光ファイバ母材
の形成が完了する。この光ファイバ母材は、薄い層３１
を多数積層して形成されるから、各層３１における堆積
体軸方向の層厚ｔにバラツキがあっても、多数積層させ
ることにより平均化され、その軸方向の径寸法が一定で
均整したものとなる。また、光ファイバ母材は、薄い層
３１を多数積層させることにより、その嵩密度も平均化
され、部分的に嵩密度の異なる部分も存在しないものと
なる。従って、光ファイバ母材の製造中に堆積体３２に
クラックが生じることもない。このような光ファイバ母
材を炉で透明化する際、光ファイバ母材は不整のないも
のであるから、その工程中に剥離などを生じることもな
い。
【００１９】良好な光ファイバ母材を形成するために
は、光ファイバ母材となる堆積体の表面温度や堆積体の
積層の嵩密度などの様々な条件に左右されるが、以上説
明したように、堆積体の層厚を所定の厚さ（０．５ｍ
ｍ）以下に規制することで、その他の条件を測定や制御
等することなく、良好な光ファイバ母材を確実に得るこ
とができる。
は、光ファイバ母材となる堆積体の表面温度や堆積体の
積層の嵩密度などの様々な条件に左右されるが、以上説
明したように、堆積体の層厚を所定の厚さ（０．５ｍ
ｍ）以下に規制することで、その他の条件を測定や制御
等することなく、良好な光ファイバ母材を確実に得るこ
とができる。
【００２０】続いて、上述の製造方法により堆積体３２
を製造した具体的な実施例について説明する。まず、直
径２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取
り付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する
出発部材３のトラバース速度を１００ｍｍ／ｍｉｎでと
して駆動させる。バーナ４へ供給するガラス原料ガスと
してＳｉＣｌ4 、燃料ガスとしてＨ2 、助燃性ガスとし
てＯ2 を用い、それらのガスの供給量をＨ2 ：６０ｌ／
ｍｉｎ、Ｏ2 ：３５ｌ／ｍｉｎとし、ＳｉＣｌ4 につい
ては少量の３ｌ／ｍｉｎとし（通常は５ｌ／ｍｉｎ程
度）、そのバーナ４から火炎と共にガラス原料を酸化、
加水分解反応させてガラス微粒子を噴出させ、トラバー
スする出発部材３の外周へ付着堆積させた。そして、出
発部材３を５０回トラバース（５０往復）させて、１０
０のガラス微粒子層３１を積層させたところ、直径９５
ｍｍの堆積体３２が得られた。この堆積体３２のガラス
微粒子の層３１の層厚ｔは０．３７５ｍｍであった。こ
の堆積体の製造中又は製造後に、堆積体３２へクラック
が生じることはなく、またその後、高温に保持した炉で
透明化を行ったところ、不整がなく良好なプリフォーム
となった。
を製造した具体的な実施例について説明する。まず、直
径２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取
り付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する
出発部材３のトラバース速度を１００ｍｍ／ｍｉｎでと
して駆動させる。バーナ４へ供給するガラス原料ガスと
してＳｉＣｌ4 、燃料ガスとしてＨ2 、助燃性ガスとし
てＯ2 を用い、それらのガスの供給量をＨ2 ：６０ｌ／
ｍｉｎ、Ｏ2 ：３５ｌ／ｍｉｎとし、ＳｉＣｌ4 につい
ては少量の３ｌ／ｍｉｎとし（通常は５ｌ／ｍｉｎ程
度）、そのバーナ４から火炎と共にガラス原料を酸化、
加水分解反応させてガラス微粒子を噴出させ、トラバー
スする出発部材３の外周へ付着堆積させた。そして、出
発部材３を５０回トラバース（５０往復）させて、１０
０のガラス微粒子層３１を積層させたところ、直径９５
ｍｍの堆積体３２が得られた。この堆積体３２のガラス
微粒子の層３１の層厚ｔは０．３７５ｍｍであった。こ
の堆積体の製造中又は製造後に、堆積体３２へクラック
が生じることはなく、またその後、高温に保持した炉で
透明化を行ったところ、不整がなく良好なプリフォーム
となった。
【００２１】次に、光ファイバ母材の製造方法における
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法にあっては、ガラス原料ガスの流
量を少量とし、薄い層厚ｔを積層させて堆積体３２を形
成するものであったが、出発部材３のトラバース速度を
速くすることにより、薄い層厚ｔを積層した堆積体３２
を形成するものであってもよい。
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法にあっては、ガラス原料ガスの流
量を少量とし、薄い層厚ｔを積層させて堆積体３２を形
成するものであったが、出発部材３のトラバース速度を
速くすることにより、薄い層厚ｔを積層した堆積体３２
を形成するものであってもよい。
【００２２】図１において、出発部材３を回転させなが
らトラバースさせ、バーナ３から火炎と共にガラス微粒
子を噴出させて、出発部材３の周りに付着堆積させる
際、堆積するガラス微粒子の層３１の層厚ｔが０．５ｍ
ｍ以下となるように出発部材３のトラバース速度（往復
移動速度）を調整しながら光ファイバ母材を製造する。
ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔとする
ためのトラバース速度は、バーナ４へのガラス原料ガ
ス、燃料ガス又は助燃性ガスの供給量により変わってく
るが、まずそれらのガスを所定の供給量としてガラス微
粒子の噴き付けを行い、層厚測定装置６によりトラバー
スごとの層厚ｔを計測し、その層厚ｔが０．５ｍｍより
厚いときは制御装置７からトラバース速度を上げる制御
信号を駆動装置２へ出力させ、層厚ｔが０．５ｍｍより
極端に薄いときはトラバース速度を下げる制御信号を駆
動装置２へ出力させることにより、最適なトラバース速
度に調整してガラス微粒子の噴き付けを行う。尚、この
トラバース速度の調整は、制御装置７を用いずに計測し
た層厚ｔに基づいて適宜駆動装置２のトラバース速度を
人為的に行ってもよい。また、過去の試験データ等をも
とに最適なトラバース速度を予め駆動装置２に設定する
ことにより、調整工程を省略してもよい。
らトラバースさせ、バーナ３から火炎と共にガラス微粒
子を噴出させて、出発部材３の周りに付着堆積させる
際、堆積するガラス微粒子の層３１の層厚ｔが０．５ｍ
ｍ以下となるように出発部材３のトラバース速度（往復
移動速度）を調整しながら光ファイバ母材を製造する。
ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔとする
ためのトラバース速度は、バーナ４へのガラス原料ガ
ス、燃料ガス又は助燃性ガスの供給量により変わってく
るが、まずそれらのガスを所定の供給量としてガラス微
粒子の噴き付けを行い、層厚測定装置６によりトラバー
スごとの層厚ｔを計測し、その層厚ｔが０．５ｍｍより
厚いときは制御装置７からトラバース速度を上げる制御
信号を駆動装置２へ出力させ、層厚ｔが０．５ｍｍより
極端に薄いときはトラバース速度を下げる制御信号を駆
動装置２へ出力させることにより、最適なトラバース速
度に調整してガラス微粒子の噴き付けを行う。尚、この
トラバース速度の調整は、制御装置７を用いずに計測し
た層厚ｔに基づいて適宜駆動装置２のトラバース速度を
人為的に行ってもよい。また、過去の試験データ等をも
とに最適なトラバース速度を予め駆動装置２に設定する
ことにより、調整工程を省略してもよい。
【００２３】このように所定のトラバース速度でガラス
微粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆積する
ガラス微粒子が０．５ｍｍ以下の薄い層３１で繰り返し
積層されていくこととなる。そして、所定の径寸法まで
成長させ光ファイバ母材である堆積体３２が形成され
る。この堆積体３２は、薄い層３１を多数積層して形成
されるから、各層３１における堆積体軸方向の層厚ｔに
バラツキがあっても、多数積層させることにより平均化
され、その軸方向の径寸法が一定で均整したものとな
る。また、堆積体３２は、薄い層３１を多数積層させる
ことにより、その嵩密度も平均化され、部分的に嵩密度
の異なる部分も存在しないものとなる。従って、堆積体
３２の製造中にその堆積体３２にクラックが生じること
もない。このような堆積体３２を炉で透明化する際、堆
積体３２は不整のないものであるから、その工程中に剥
離などを生じることもない。
微粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆積する
ガラス微粒子が０．５ｍｍ以下の薄い層３１で繰り返し
積層されていくこととなる。そして、所定の径寸法まで
成長させ光ファイバ母材である堆積体３２が形成され
る。この堆積体３２は、薄い層３１を多数積層して形成
されるから、各層３１における堆積体軸方向の層厚ｔに
バラツキがあっても、多数積層させることにより平均化
され、その軸方向の径寸法が一定で均整したものとな
る。また、堆積体３２は、薄い層３１を多数積層させる
ことにより、その嵩密度も平均化され、部分的に嵩密度
の異なる部分も存在しないものとなる。従って、堆積体
３２の製造中にその堆積体３２にクラックが生じること
もない。このような堆積体３２を炉で透明化する際、堆
積体３２は不整のないものであるから、その工程中に剥
離などを生じることもない。
【００２４】続いて、上述の製造方法により堆積体３２
を製造した具体的な実施例について説明する。まず、直
径２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取
り付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する
出発部材３のトラバース速度を２００ｍｍ／ｍｉｎの高
速状態（通常は１００ｍｍ／ｍｉｎ程度）で駆動させ
る。バーナ４へ供給するガラス原料ガスとしてＳｉＣｌ
4 、燃料ガスとしてＨ2、助燃性ガスとしてＯ2 を用
い、それらのガスの供給量をＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉ
ｎ、Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：３５ｌ／ｍｉｎと
し、そのバーナ４から火炎と共にガラス原料を酸化、加
水分解反応させてガラス微粒子を噴出させ、トラバース
する出発部材３の外周へ付着堆積させた。そして、出発
部材３へガラス微粒子の層３１を積層させて、直径８５
ｍｍの堆積体３２が得られた。この堆積体３２のガラス
微粒子の層３１の層厚ｔは０．３２５ｍｍであった。こ
の堆積体の製造中又は製造後に、堆積体３２へクラック
が生じることはなく、またその後、高温に保持した炉で
透明化を行ったところ、不整がなく良好なプリフォーム
となった。
を製造した具体的な実施例について説明する。まず、直
径２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取
り付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する
出発部材３のトラバース速度を２００ｍｍ／ｍｉｎの高
速状態（通常は１００ｍｍ／ｍｉｎ程度）で駆動させ
る。バーナ４へ供給するガラス原料ガスとしてＳｉＣｌ
4 、燃料ガスとしてＨ2、助燃性ガスとしてＯ2 を用
い、それらのガスの供給量をＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉ
ｎ、Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：３５ｌ／ｍｉｎと
し、そのバーナ４から火炎と共にガラス原料を酸化、加
水分解反応させてガラス微粒子を噴出させ、トラバース
する出発部材３の外周へ付着堆積させた。そして、出発
部材３へガラス微粒子の層３１を積層させて、直径８５
ｍｍの堆積体３２が得られた。この堆積体３２のガラス
微粒子の層３１の層厚ｔは０．３２５ｍｍであった。こ
の堆積体の製造中又は製造後に、堆積体３２へクラック
が生じることはなく、またその後、高温に保持した炉で
透明化を行ったところ、不整がなく良好なプリフォーム
となった。
【００２５】また、この製造方法において、各ガスの供
給量を同条件とし、トラバース速度を変えたとき、積層
するガラス微粒子層３１の層厚ｔのデータを図２に示
す。この図２において、トラバース速度と層厚ｔは、ほ
ぼ反比例した特性を示すが、トラバース速度を遅くして
一回のトラバースにより形成される層厚ｔを０．５ｍｍ
以上として堆積体３２を形成したときは、堆積体３２に
クラックが生じて割れてしまった（図２中のＸ。層厚ｔ
は０．６５ｍｍ、トラバース速度は１００ｍｍ／ｍｉ
ｎ）。層厚ｔが０．５以下の場合はいずれも形成した堆
積体３２に異常はなく良好な状態であった。
給量を同条件とし、トラバース速度を変えたとき、積層
するガラス微粒子層３１の層厚ｔのデータを図２に示
す。この図２において、トラバース速度と層厚ｔは、ほ
ぼ反比例した特性を示すが、トラバース速度を遅くして
一回のトラバースにより形成される層厚ｔを０．５ｍｍ
以上として堆積体３２を形成したときは、堆積体３２に
クラックが生じて割れてしまった（図２中のＸ。層厚ｔ
は０．６５ｍｍ、トラバース速度は１００ｍｍ／ｍｉ
ｎ）。層厚ｔが０．５以下の場合はいずれも形成した堆
積体３２に異常はなく良好な状態であった。
【００２６】更に、光ファイバ母材の製造方法における
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、バーナ４への燃料ガス
及び助燃性ガスの供給量を増やすことにより、薄い層厚
ｔを積層して、堆積体３２を形成するものであってもよ
い。
他の実施形態について説明する。すなわち、前述の光フ
ァイバ母材の製造方法において、バーナ４への燃料ガス
及び助燃性ガスの供給量を増やすことにより、薄い層厚
ｔを積層して、堆積体３２を形成するものであってもよ
い。
【００２７】図１において、出発部材３を回転させなが
らトラバースさせ、バーナ３から火炎と共にガラス微粒
子を噴出させて、出発部材３の周りに付着堆積させる
際、堆積するガラス微粒子の層３１の層厚ｔが０．５ｍ
ｍ以下となるように、燃料ガス及び助燃性ガスのバーナ
４への供給量を調整しながら光ファイバ母材を製造す
る。ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔと
するための燃料ガス及び助燃性ガスの供給量は、前述し
たようにバーナ４へのガラス原料ガス、出発部材３のト
ラバース速度により変わってくるが、まずガラス原料ガ
スを所定の供給量とし、トラバース速度を所定速度とし
て、ガラス微粒子の噴き付けを行い、層厚測定装置６に
よりトラバースごとの層厚ｔを計測し、その層厚ｔが
０．５ｍｍより厚いときは制御装置７から燃料ガス及び
助燃性ガスの供給量を増加させる制御信号をガス供給装
置５へ出力させ、層厚ｔが０．５ｍｍより極端に薄いと
きは燃料ガス及び助燃性ガスの供給量を減少させる制御
信号を駆動装置２へ出力させることにより、バーナ４か
ら噴き出る火炎を最適な火力に調整してガラス微粒子の
噴き付けを行う。この場合、火力が大きくなって、層厚
ｔが薄くなるがガラス微粒子の収率は変わらないので、
堆積効率の上で非常に有効である。尚、この火力の調整
は、制御装置７を用いずに計測した層厚ｔに基づいて適
宜、所要な火力に人為的に行ってもよい。また、過去の
試験データ等をもとに最適な火力を予めガス供給装置５
に設定することにより、調整工程を省略してもよい。
らトラバースさせ、バーナ３から火炎と共にガラス微粒
子を噴出させて、出発部材３の周りに付着堆積させる
際、堆積するガラス微粒子の層３１の層厚ｔが０．５ｍ
ｍ以下となるように、燃料ガス及び助燃性ガスのバーナ
４への供給量を調整しながら光ファイバ母材を製造す
る。ガラス微粒子の層３１を０．５ｍｍ以下の層厚ｔと
するための燃料ガス及び助燃性ガスの供給量は、前述し
たようにバーナ４へのガラス原料ガス、出発部材３のト
ラバース速度により変わってくるが、まずガラス原料ガ
スを所定の供給量とし、トラバース速度を所定速度とし
て、ガラス微粒子の噴き付けを行い、層厚測定装置６に
よりトラバースごとの層厚ｔを計測し、その層厚ｔが
０．５ｍｍより厚いときは制御装置７から燃料ガス及び
助燃性ガスの供給量を増加させる制御信号をガス供給装
置５へ出力させ、層厚ｔが０．５ｍｍより極端に薄いと
きは燃料ガス及び助燃性ガスの供給量を減少させる制御
信号を駆動装置２へ出力させることにより、バーナ４か
ら噴き出る火炎を最適な火力に調整してガラス微粒子の
噴き付けを行う。この場合、火力が大きくなって、層厚
ｔが薄くなるがガラス微粒子の収率は変わらないので、
堆積効率の上で非常に有効である。尚、この火力の調整
は、制御装置７を用いずに計測した層厚ｔに基づいて適
宜、所要な火力に人為的に行ってもよい。また、過去の
試験データ等をもとに最適な火力を予めガス供給装置５
に設定することにより、調整工程を省略してもよい。
【００２８】このように所定火力の火炎と共にガラス微
粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆積するガ
ラス微粒子の嵩密度が高くなって、０．５ｍｍ以下の薄
い層３１となり、出発部材３へ繰り返し積層されていく
こととなる。そして、所定の径寸法まで成長させ光ファ
イバ母材である堆積体３２が形成される。この堆積体３
２は、薄い層３１を多数積層して形成されるから、各層
３１における堆積体軸方向の層厚ｔにバラツキがあって
も、多数積層させることにより平均化され、その軸方向
の径寸法が一定で均整したものとなる。また、堆積体３
２は、薄い層３１を多数積層させることにより、その嵩
密度も平均化され、部分的に嵩密度の異なる部分も存在
しないものとなる。従って、堆積体３２の製造中にその
堆積体３２にクラックが生じることもない。このような
堆積体３２を炉で透明化する際、堆積体３２は不整のな
いものであるから、その工程中に剥離などを生じること
もない。
粒子を噴き付けることにより、出発部材３へ堆積するガ
ラス微粒子の嵩密度が高くなって、０．５ｍｍ以下の薄
い層３１となり、出発部材３へ繰り返し積層されていく
こととなる。そして、所定の径寸法まで成長させ光ファ
イバ母材である堆積体３２が形成される。この堆積体３
２は、薄い層３１を多数積層して形成されるから、各層
３１における堆積体軸方向の層厚ｔにバラツキがあって
も、多数積層させることにより平均化され、その軸方向
の径寸法が一定で均整したものとなる。また、堆積体３
２は、薄い層３１を多数積層させることにより、その嵩
密度も平均化され、部分的に嵩密度の異なる部分も存在
しないものとなる。従って、堆積体３２の製造中にその
堆積体３２にクラックが生じることもない。このような
堆積体３２を炉で透明化する際、堆積体３２は不整のな
いものであるから、その工程中に剥離などを生じること
もない。
【００２９】続いて、この製造方法により堆積体３２を
製造した具体的な実施例について説明する。まず、直径
２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取り
付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する出
発部材３のトラバース速度を１００ｍｍ／ｍｉｎで駆動
させる。バーナ４へ供給するガラス原料ガスとしてＳｉ
Ｃｌ4 、燃料ガスとしてＨ2 、助燃性ガスとしてＯ2 を
用い、それらのガスの供給量をＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉ
ｎとし、Ｈ2 ：７０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：４０ｌ／ｍｉｎ
と多くして（通常は、Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：３
５ｌ／ｍｉｎ程度）、そのバーナ４から火炎と共にガラ
ス原料を酸化、加水分解反応させてガラス微粒子を噴出
させ、トラバースする出発部材３の外周へ付着堆積させ
た。そして、出発部材３へガラス微粒子の層３１を積層
させて、直径１１６ｍｍの堆積体３２が得られた。この
堆積体３２のガラス微粒子の層３１の層厚ｔは０．４８
ｍｍであった。この堆積体の製造中又は製造後に、堆積
体３２へクラックが生じることはなく、またその後、高
温に保持した炉で透明化を行ったところ、不整がなく良
好なプリフォームとなった。
製造した具体的な実施例について説明する。まず、直径
２０ｍｍの出発部材を反応容器１内の把持部２２に取り
付け、所定の回転速度で回転させ、バーナ４に対する出
発部材３のトラバース速度を１００ｍｍ／ｍｉｎで駆動
させる。バーナ４へ供給するガラス原料ガスとしてＳｉ
Ｃｌ4 、燃料ガスとしてＨ2 、助燃性ガスとしてＯ2 を
用い、それらのガスの供給量をＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉ
ｎとし、Ｈ2 ：７０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：４０ｌ／ｍｉｎ
と多くして（通常は、Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、Ｏ2 ：３
５ｌ／ｍｉｎ程度）、そのバーナ４から火炎と共にガラ
ス原料を酸化、加水分解反応させてガラス微粒子を噴出
させ、トラバースする出発部材３の外周へ付着堆積させ
た。そして、出発部材３へガラス微粒子の層３１を積層
させて、直径１１６ｍｍの堆積体３２が得られた。この
堆積体３２のガラス微粒子の層３１の層厚ｔは０．４８
ｍｍであった。この堆積体の製造中又は製造後に、堆積
体３２へクラックが生じることはなく、またその後、高
温に保持した炉で透明化を行ったところ、不整がなく良
好なプリフォームとなった。
【００３０】次に、前述の種々の実施形態における光フ
ァイバ母材の製造方法と比較するために、従来の手法に
よる光ファイバ母材の製造方法により具体的な比較例に
ついて説明する。図１において、出発部材４を所定の回
転速度で回転させ、バーナ４のトラバース速度を１００
ｍｍ／ｍｉｎとし、バーナ４へ供給する各ガスの供給量
をガラス原料ガスＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉｎ、燃料ガス
Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、助燃性ガスＯ2 ：３５ｌ／ｍｉ
ｎとして、光ファイバ母材の製造を行った。すなわち、
出発部材３へガラス微粒子の層３１を積層させて、直径
１４０ｍｍの堆積体３２が得られた。しかし、この堆積
体３２の製造中にクラックが生じてしまい、製造後に透
明化した際に剥離が生じてしまった。その堆積体３２の
ガラス微粒子の層３１の層厚ｔは０．６ｍｍであった。
ァイバ母材の製造方法と比較するために、従来の手法に
よる光ファイバ母材の製造方法により具体的な比較例に
ついて説明する。図１において、出発部材４を所定の回
転速度で回転させ、バーナ４のトラバース速度を１００
ｍｍ／ｍｉｎとし、バーナ４へ供給する各ガスの供給量
をガラス原料ガスＳｉＣｌ4 ：５ｌ／ｍｉｎ、燃料ガス
Ｈ2 ：６０ｌ／ｍｉｎ、助燃性ガスＯ2 ：３５ｌ／ｍｉ
ｎとして、光ファイバ母材の製造を行った。すなわち、
出発部材３へガラス微粒子の層３１を積層させて、直径
１４０ｍｍの堆積体３２が得られた。しかし、この堆積
体３２の製造中にクラックが生じてしまい、製造後に透
明化した際に剥離が生じてしまった。その堆積体３２の
ガラス微粒子の層３１の層厚ｔは０．６ｍｍであった。
【００３１】尚、前述の光ファイバ母材の各製造方法に
あっては、固定したバーナ４に対して出発部材４を往復
移動させてトラバースを行っているが、図３に示すよう
に、出発部材４を移動させず、出発部材４に沿ってバー
ナ４を移動させて行ってもよい。例えば、図３におい
て、反応容器１内に出発部材３を軸回転させる回転装置
８を設け、その回転装置８に取り付けた出発部材３に沿
ってバーナ４を往復移動させる移動装置９を設けて、軸
回転する出発部材３の外周に火炎と共にガラス微粒子を
バーナ４から噴き付けて、薄い層３１を積層して光ファ
イバ母材である堆積体３２を形成しても、前述の各製造
方法と同様に、良好な光ファイバ母材が形成可能であ
る。
あっては、固定したバーナ４に対して出発部材４を往復
移動させてトラバースを行っているが、図３に示すよう
に、出発部材４を移動させず、出発部材４に沿ってバー
ナ４を移動させて行ってもよい。例えば、図３におい
て、反応容器１内に出発部材３を軸回転させる回転装置
８を設け、その回転装置８に取り付けた出発部材３に沿
ってバーナ４を往復移動させる移動装置９を設けて、軸
回転する出発部材３の外周に火炎と共にガラス微粒子を
バーナ４から噴き付けて、薄い層３１を積層して光ファ
イバ母材である堆積体３２を形成しても、前述の各製造
方法と同様に、良好な光ファイバ母材が形成可能であ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。すなわち、光ファイ
バ母材が薄いガラス微粒子の層を多数積層して形成され
ていくので、光ファイバ母材の径寸法が均一となる。こ
のため、光ファイバ母材の製造中や製造後の透明化する
際などに、クラックが生じ、剥離を起こすことがない。
また、ガラス微粒子の積層状態を測定しながらガラス微
粒子の層厚を調整すれば、良好な光ファイバ母材を確実
に形成することができる。
のような効果を得ることができる。すなわち、光ファイ
バ母材が薄いガラス微粒子の層を多数積層して形成され
ていくので、光ファイバ母材の径寸法が均一となる。こ
のため、光ファイバ母材の製造中や製造後の透明化する
際などに、クラックが生じ、剥離を起こすことがない。
また、ガラス微粒子の積層状態を測定しながらガラス微
粒子の層厚を調整すれば、良好な光ファイバ母材を確実
に形成することができる。
【図１】光ファイバ母材の製造工程の説明図である。
【図２】光ファイバ母材の製造におけるトラバース速度
と層厚ｔの特性を示す図表である。
と層厚ｔの特性を示す図表である。
【図３】光ファイバ母材の製造工程の説明図である。
１…反応容器、２…駆動装置、３…出発部材、３１…ガ
ラス微粒子層、３２…堆積体（光ファイバ母材）、４…
バーナ、５…ガス供給装置 ６…層厚測定装置、７…制御装置
ラス微粒子層、３２…堆積体（光ファイバ母材）、４…
バーナ、５…ガス供給装置 ６…層厚測定装置、７…制御装置
Claims (5)
- 【請求項１】 バーナへガラス原料ガス、燃料ガス及び
助燃性ガスを供給しそのバーナから火炎と共にガラス微
粒子を噴出させて、回転する棒状の出発部材の外周へ噴
き付けさせると共に、その出発部材とバーナとを出発部
材の軸方向に沿って相対的に往復移動させることによ
り、出発部材の周りにガラス微粒子を堆積させ積層させ
て行う光ファイバ母材の製造方法において、 前記ガラス微粒子を０．５ｍｍ以下の層厚で前記出発部
材に積層させることを特徴とする光ファイバ母材の製造
方法。 - 【請求項２】 前記バーナへのガラス原料ガスの供給量
を制御することにより、前記ガラス微粒子の層厚を調整
することを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ母材
の製造方法。 - 【請求項３】 前記出発部材とバーナとの相対往復移動
の速度を制御することにより、前記ガラス微粒子の層厚
を調整することを特徴とする請求項１に記載の光ファイ
バ母材の製造方法。 - 【請求項４】 前記バーナへの燃料ガス及び助燃性ガス
の供給量を制御することにより、前記ガラス微粒子の層
厚を調整することを特徴とする請求項１に記載の光ファ
イバ母材の製造方法。 - 【請求項５】 前記ガラス微粒子の積層状態を測定しな
がら、前記ガラス微粒子の層厚を調整することを特徴と
する請求項１乃至４のいずれかに記載の光ファイバ母材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27907695A JP3575505B2 (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27907695A JP3575505B2 (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09118539A true JPH09118539A (ja) | 1997-05-06 |
| JP3575505B2 JP3575505B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=17606086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27907695A Expired - Lifetime JP3575505B2 (ja) | 1995-10-26 | 1995-10-26 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3575505B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
| WO2016159220A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
| WO2017078169A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
-
1995
- 1995-10-26 JP JP27907695A patent/JP3575505B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102729A1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-12-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
| WO2016159220A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JP6097892B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-03-15 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
| JPWO2016159220A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-04-27 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
| CN107428590A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-12-01 | 古河电气工业株式会社 | 光纤用多孔质玻璃母材的制造方法 |
| US11565964B2 (en) | 2015-03-31 | 2023-01-31 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing porous glass preform for optical fiber |
| WO2017078169A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
| JPWO2017078169A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-11-02 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
| CN108349780A (zh) * | 2015-11-04 | 2018-07-31 | 古河电气工业株式会社 | 光纤用玻璃母材的制造方法 |
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