JPWO2016159220A1 - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に用いられる製造装置の要部を模式的に示す斜視図である。本実施形態の説明では、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の一例として、OVD法による製造方法を用いるが、本発明の実施はOVD法に限定されず、ガラス微粒子合成用のバーナと回転するターゲットロッドとを相対的に往復移動させながら、ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナに供給して合成せしめたガラス微粒子をターゲットロッドの外周に堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法の一般に適用され得る。
0.5L≦R≦0.8L
となる範囲のスート6を合成する際に、掃引ピッチPの変動を抑制することが有効となる。
実施例1の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
実施例2の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、実施例1と同様に、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
比較例の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法では、実施例と同様に、ターゲットロッドの外径を40mmとし、合成終了時の光ファイバ用多孔質ガラス母材の外径をおよそ250mmとしている。
ここで、上記開示した以外の例も含めた検証実験の結果についてまとめる。下記表1は、バーナの掃引ピッチの変動を変えた場合における瘤欠陥の発生率をまとめたものである。
2a,2b 支持部
3 チャック
4 回転駆動機構
5 バーナ
6 スート
7 外径測定器
8 制御部
Claims (6)
- ガラス微粒子合成用のバーナと回転するターゲットロッドとを相対的に往復移動させながら、ガラス原料ガスと燃焼ガスとを前記バーナに供給して合成せしめたガラス微粒子を前記ターゲットロッドの外周に堆積させる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法において、
製造する光ファイバ用多孔質ガラス母材の最終的な外径をL[mm]、製造途中のガラス微粒子堆積体の外径をR[mm]としたとき、
0.5L≦R≦0.8L
となる部分のガラス微粒子堆積層を合成する際に、
前記ターゲットロッドの回転速度をr[rpm]とし、前記ターゲットロッドと前記バーナとの相対的移動速度をV[mm/min.]としたとき、V/rで表わされるバーナの掃引ピッチP[mm]の変動が中心値の±10%の範囲以内としながら、前記Vおよび前記rを徐々に低下させることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。 - 前記バーナの掃引ピッチP[mm]の変動が中心値の±5%の範囲以内であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.90以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.85以下であることを特徴とする請求項3に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.65以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
- 単位時間あたりに堆積させた前記ガラス微粒子堆積層の密度ρc[g/cm3]が0.70以上であることを特徴とする請求項5に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
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