JP2003146741A - 誘電体セラミック組成物 - Google Patents

誘電体セラミック組成物

Info

Publication number
JP2003146741A
JP2003146741A JP2002104373A JP2002104373A JP2003146741A JP 2003146741 A JP2003146741 A JP 2003146741A JP 2002104373 A JP2002104373 A JP 2002104373A JP 2002104373 A JP2002104373 A JP 2002104373A JP 2003146741 A JP2003146741 A JP 2003146741A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mol
dielectric
composition
glass frit
dielectric constant
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002104373A
Other languages
English (en)
Inventor
Joon-Hee Kim
俊 煕 金
Koken Kyo
康 憲 許
Jong Han Kim
鍾 翰 金
Woo Sup Kim
佑 燮 金
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of JP2003146741A publication Critical patent/JP2003146741A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/475Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on bismuth titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C14/00Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix
    • C03C14/004Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C8/00Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
    • C03C8/14Glass frit mixtures having non-frit additions, e.g. opacifiers, colorants, mill-additions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
    • C04B35/468Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates based on barium titanates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B3/00Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/12Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3215Barium oxides or oxide-forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3281Copper oxides, cuprates or oxide-forming salts thereof, e.g. CuO or Cu2O
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3284Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3296Lead oxides, plumbates or oxide forming salts thereof, e.g. silver plumbate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3298Bismuth oxides, bismuthates or oxide forming salts thereof, e.g. zinc bismuthate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3409Boron oxide, borates, boric acids, or oxide forming salts thereof, e.g. borax
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/34Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3418Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/36Glass starting materials for making ceramics, e.g. silica glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • C04B2235/85Intergranular or grain boundary phases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、各種電気、電子機器部品に用いる
誘電体セラミック組成物に関するものであって、高誘電
率および低損失を有し低温同時焼成を可能にする誘電体
セラミック組成物を提供することに、その目的がある。 【解決手段】 本発明は、下記化学式1のように組成さ
れる誘電体セラミック組成物に関するものである。 (化学式1) a wt.%{xBaO−y1Nd23−y2Sm23
wBi23−zTiO2}+b wt.% (ZnO−B2
3−SiO2−PbO系ガラスフリット)+c wt.
%CuO (前記式において、10.0mol%≦x≦20.0mo
l%;7.0mol% ≦y 1+y2≦20.0mol%;0.
5mol%≦w≦5.0mol%;60.0mol%≦z
≦80.0mol%;x+y1+y2+w+z=100;8
0.0wt.%≦a≦98.0wt.%;1.0wt.%≦
b≦10.0wt.%;1.0wt.%≦c≦10.0w
t.%)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種電気、電子機
器部品に用いる誘電体セラミック組成物に関するもので
あって、より詳細には誘電体と電極を同時に焼成するこ
とのできる50以上の誘電率を有す低温焼成用誘電体セ
ラミック組成物に関するものである。
【0002】低温焼成用誘電体組成物(材料)とは、一般
に1300℃以上の高温で焼成されるセラミック誘電体
とは異なって、銀(Ag)や銅(Cu)の融点より低い80
0〜950℃内外の温度範囲において焼成が可能な材料
のことをいう。
【0003】電気、電子機器の小型化、軽量化、高機能
化に伴い、回路基板上の構成素子のサイズおよび個数を
減らしつつより優れた性能を示させるように部品および
基板の作製の際、これを多層化し誘電体と電極を同時焼
成して作製する試みが広まってきている。しかし従来の
誘電体材料は、焼結温度が高いので、基板および素子部
品を多層化して同時焼成するためには、内部電極パター
ンに用いる金属もMoやWのように融点の高い金属を使
用するしかない。
【0004】前記のようにMoやWを内部電極パターン
に用いる場合には、MoやWも高価であり、何より高周
波化されながら現れる表面効果(skin effec
t)により、導体として用いる金属の抵抗が低いほど損
失を減らすことができるので、AgやCuのように相対
的に安価で高電気伝導度を有す金属を使用せざるを得な
くなった。
【0005】前記のように内部電極パターンにAgやC
uを用いる場合には、AgやCuがかなり低い融点(A
g:960℃、Cu:1083℃)を有すので、それより
低い温度範囲において焼結可能な誘電体材料を探すこと
が大変重要な研究課題となる。
【0006】こうした低温焼成誘電体を作製するための
典型的な方法としては、従来の高誘電率および低損失と
いう特性を有す高温焼成材料に、融点の低い物質である
ガラスパウダー(glass powder)やCuO、
PbOおよびBi23、V25等の添加剤を少量混ぜ液
相焼結を誘導する方法と、ガラスにセラミックスを充填
材として混合したガラスセラミック(glass ce
ramics)誘電体材料を製造して焼結する方法とが
ある。
【0007】前記後者の方法により誘電体基板を製造す
る場合には、ガラスが主になるので一般に10以下の低
誘電率材料になる。前記10以下の低誘電率材料は、既
存のLTCC(Low Temperature Co
fired Ceramics)材料として多く使われ
ているが、これは信号処理の高速化と伝送特性向上のた
めには誘電率が低いほど有利であるためである。
【0008】一方、応用回路によって低損失の「中間(m
edium)」誘電率(15〜100)を有す誘電体を基板
に用いる場合、信号遅れの問題が無く、設計と機能にお
いてはるかに有利になることがある。さらに、従来より
高い誘電率を有す誘電体を用いる場合、管内波長(Gu
ided Wavelength)が短くなり回路のサ
イズを小さくでき、電子素子のサイズが重要になる応用
でとても有利であり、回路によって挿入損失特性(In
sertion Loss)や周波数の偏差を減らす等
の利点もある。さらに、誘電率が増加するほど伝送線路
の幅(w)と誘電体の厚さ(t)との比(t/w)を縮減でき
るので、回路設計者がずっと良い積層構造の回路を設計
できる機会を得ることになる。
【0009】誘電率が約70以上のBaO−Re23
TiO2(Re=希土類系元素)系元素にB23−SiO2
系ガラスフリット(glass frit)を添加して焼
成温度を下げた誘電体セラミック組成物が大韓民国特許
公開第1999−62997号に開示されている。
【0010】しかし、前記公開特許に開示されている誘
電体セラミック組成物の場合には、その焼結温度が10
00℃以上と高く、Ag電極と同時焼成するには高すぎ
る焼結温度であるため、それ自体では低温同時焼成材料
に活用し難いとの問題を抱えている。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、高誘電率お
よび低損失を有し低温同時焼成を可能にする誘電体セラ
ミック組成物を提供することにその目的がある。
【0012】
【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。本発明は、下記化学式1のように組成される誘
電体セラミック組成物に関するものである。
【0013】(化学式1) a wt.%{xBaO−y1Nd23−y2Sm23
wBi23−zTiO2}+b wt.% (ZnO−B2
3−SiO2−PbO系ガラスフリット)+c wt.
%CuO (前記式において、10.0mol%≦x≦20.0mo
l%;7.0mol%≦y1+y2≦20.0mol%;0.
5mol%≦w≦5.0mol%;60.0mol%≦z
≦80.0mol%;x+y1+y2+w+z=100;8
0.0wt.%≦a≦98.0wt.%;1.0wt.%≦
b≦10.0wt.%;1.0wt.%≦c≦10.0w
t.%)
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。誘電体基盤組成に用いられる前記BaO−Nd2
3−Sm23−Bi23−TiO2系組成は、焼結温度
が1350℃ 以上と高く融点が961℃である銀Ag
電極と同時焼成し難い。本発明においては、こうしたこ
とを解決すべく低温で液相を形成できるガラスフリット
とCuOを添加剤として液相焼結を誘導し、銀Ag電極
と同時焼成を施すようにした。低温焼成のための液相焼
結の緻密化における駆動力は、微細な固相粒子の間に作
用する液相の毛細管圧力であり、次のような条件が必要
である。
【0015】まず、液相の量が、誘電体基盤組成におけ
る一次粒子を完全に覆えるほど存在すべきであり、誘電
体基盤組成が液相に対してある程度溶解度を有すべきで
ある。最後に、誘電体基盤組成が液相に対して濡れ性が
良くなくてはならない。ここで、いったん液相が形成さ
れなければならないので、添加剤が誘電体基盤組成と反
応し液相を形成すべきで、添加されるガラスフリットの
Ts(軟化温度)が適当に低く、さらに生成された液相の
粘度が低くなくては、容易に流れ込み誘電体基盤組成を
浸すことができない。そして、パウダーの一次粒子を小
さくするほど毛細管圧力が高まるので粒子が小さいほど
緻密化する駆動力が強くなると言うことができる。さら
に、緻密化のため一次粒子の間に液相がどれだけ均一に
分布しているかが重要なので、誘電体基盤組成とガラス
フリットおよび添加剤を混合した後、ガラスフリットの
Tsよりやや高い温度で熱処理を施すことにより液相を
誘電体基盤組成に均一に分布させてから焼成を行うと、
はるかに優れた焼結性を確保することができる。従っ
て、誘電体基盤組成の選択が何よりも重要であり、さら
に誘電体基盤組成とで液相を形成できる添加剤であるC
uOの添加量と、ガラスフリットの組成および添加量が
大変重要であるといえる。
【0016】本発明において好ましい誘電体基盤組成
は、BaO−Nd23−Sm23−Bi23−TiO2
系組成であり、前記BaOの含量は10.0〜20.0m
ol%、Nd23とSm23の量は7.0〜20.0mo
l%、Bi23の含量は0.5〜5.0mol%、TiO
2の含量は60.0〜80.0mol%で選定することが
好ましく、これら成分のmol%の合計は100になる
べきである。
【0017】前記誘電体基盤組成の組成範囲を外れる場
合には、誘電体基盤組成の誘電率が低かったり、共振周
波数の温度係数が高すぎて実際使用するのに困難を伴う
ことになる。
【0018】本発明の誘電体基盤組成においてBaOの
量が10.0mol%未満の場合には、TiO2 などが
あったり誘電率の低いNd23−TiO2化合物が存在
し共振周波数の温度係数が高かったり誘電率が低くな
り、20mol%を超過する場合には、誘電率が低いB
aO−TiO2系の化合物が生成され誘電率が低下する
ので、前記BaOの含量は10〜20mol%に選定す
るのが好ましい。さらに、本発明の誘電体基盤組成にお
いて、Nd23(Sm23)とTiO2の量もまたBaO
の量と連関して前記組成範囲でなければ、高誘電率およ
び安定した共振周波数の温度係数TCFを示す組成にな
ることができない。
【0019】前記Nd23とSm23を合わせた量が2
0mol%を超過する場合には、誘電率の低いNd23
(Sm23)−TiO2相が多数存在し、誘電率およびQ
値の低下を招くことになる。さらに、前記Bi23は誘
電率を高く保ちながら共振周波数の温度係数を調節する
役目を果たし、特に相を安定化する作用を働くので必ず
含有すべき成分であり、その含量が5.0mol%を超
過する場合にはQ値が急激に減少し高周波誘電体材料と
して使用し難くなる。さらに、前記ガラスフリットには
ZnO−B23−SiO2−PbO系を用いることが好
ましく、その添加量は1.0〜10.0wt.%に設定す
るのが好ましい。
【0020】前記ZnO−B23−SiO2−PbO系
ガラスフリットは、ZnO:30〜70wt.%、B2
3:5〜30wt.%、SiO2:5〜40wt.%および
PbO:2〜40wt.%から成ることが好ましい。
【0021】前記ガラスフリットに含まれたB23はガ
ラス粘度を低下させ、誘電体組成の焼結を加速化させ
る。前記B23の含量が5wt.%未満の場合には90
0℃以下で焼結しない恐れがあり、30wt.%を超過
する場合には耐湿性に問題が起こる恐れがあるので、そ
の含量は5〜30wt.%に制限することが好ましい。
【0022】さらに、前記SiO2の量が40wt.%
を超過すると、ガラスフリットの軟化点Tsが高まり焼
結助剤の役目を果たせなくなり、その添加効果を得るた
めには5wt.%以上含まれるべきであり、その含量は
5〜40wt.%に制限することが好ましい。
【0023】さらに、前記PbOの含量が2wt.%未
満の場合にはTsが高く焼結性に問題があり、40w
t.%を超過する場合にはTsが低くなり焼結性は向上
するが、微量添加の際にもQ値が低下するとの問題が発
生するので、その含量は2〜40wt.%に制限するこ
とが好ましい。
【0024】前記ZnOの含量は、30〜70wt.%
に制限することが好ましく、多過ぎる場合はガラスフリ
ットの軟化点が上昇し低温焼成が不可能になる。
【0025】一方、前記CuOは、焼結性向上および誘
電特性調節用に添加するものであって、その添加量は
1.0〜10.0wt.%に制限することが好ましい。
【0026】本発明の誘電体セラミック組成物において
は、液相焼結を誘導する際にCuOが主な役目を果た
し、ガラスフリットが添加されることによって焼結が完
全に進むよう助ける作用を示す。前記ガラスフリットお
よびCuOの添加量を満たす領域において900℃以下
の焼結が可能で、誘電率50以上、高いQ値、共振周波
数の温度係数が±20ppm/℃以下の数値を実現する
ことができる。
【0027】本発明の誘電体セラミック組成物を製造す
る好ましい方法の一例について説明する。誘電体基盤組
成の出発物として高純度(99.0%以上)のBaCO3
Nd23、Sm23、Bi23、およびTiO2を、目
標組成にしたがって、xBaO−y1Nd23−y2Sm
23−wBi23−zTiO2に合うよう秤量した後、
湿式混合する。前記湿式混合は、3φジルコニアボール
と蒸留水を入れてロッドミル(rod mill)で16
時間以上施すことが好ましい。
【0028】前記のように混合されたスラリー(slu
rry)を乾燥させか焼する。前記か焼は5℃/minの
昇温速度で昇温させ1100〜1150℃において2〜
3時間ほど施すことが好ましい。
【0029】この際、か焼温度が低すぎる場合には、相
合成が完全に進まないことから中間相の量が多く収縮率
が高まって最終特性にも悪影響を与えることになり、あ
まり高すぎる場合には粒子が成長し過ぎて粉砕し難くな
る。
【0030】誘電体に添加するガラスフリットは、目的
の組成比になるよう各成分元素を秤量し、1200℃〜
1400℃の間の温度で溶融し水で急冷させた後、乾式
粉砕を経てエチルアルコールにより粉砕することが好ま
しい。
【0031】前記ガラスフリットの粒度が大きすぎると
混合不均一性を招くことになるので、その粒度は0.5
〜1.0μmになるよう粉砕することが好ましい。
【0032】前記のようにか焼した誘電体基盤組成を粗
粉砕した後、この誘電体基盤組成にガラスフリットおよ
びCuOを適正量添加してバッチ(batch)した後、
混合する。前記混合時間は16時間以上行うことが好ま
しい。前記のように混合した粉末を乾燥させた後600
〜700℃で熱処理する。前記熱処理時間は2〜3時
間程度が好ましい。前記熱処理は、ガラスフリットのT
s(軟化点)よりやや高い温度で施すことで、ガラスの液
相が形成され誘電体基盤組成に均一にコーティングされ
るようになることから、反応性および均一性が向上し焼
結性を増大させるようになる。
【0033】熱処理されたパウダーは目的の粒度に粉砕
し、粉砕したパウダーはバインダーを混合した後、ディ
スクなどのように目的の形状に成形する。
【0034】前記熱処理されたパウダーは、その粒度が
0.3〜0.4μmになるよう粉砕することが好ましく、
粉砕したパウダーはバインダーを混合した後ディスクや
シート(sheet)のように目的の形状に成形する。前
記のように成形された成形体に内部電極を形成した後、
900℃以下において同時焼成することによって目的の
素子が製造される。
【0035】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明をより具体的
に説明する。 実施例1 誘電体基盤組成の出発物として高純度(99.0%以上)
のBaCO3、Nd23、Sm23、Bi23、および
TiO2を、下記表1の組成を得るためにxBaO−y1
Nd23−y2Sm23−wBi23−zTiO2に合わ
せて秤量した後、3φジルコニアボールと蒸留水を入れ
てロッドミルで16時間湿式混合を行った。前記のよう
に混合されたスラリーを乾燥させ乳鉢で粗粉砕した後、
5℃/minの昇温速度で昇温し1150℃で2時間か
焼した。
【0036】前記のようにか焼されたパウダーは、乳鉢
で粉砕し処理速度200rpmのプラネタリーミル(p
lanetary mill)で80分間粉砕した。
粉砕したパウダーはバインダーを混合した後、14mm
φの型(mold)を用いて約2.0ton/cm2の圧
力で一軸成形しディスクを作製した。成形された試片を
1350℃で3時間焼結し、誘電率(K)、Q値、および
TCFを調べ、その結果を下記表1に示した。
【0037】下記表1の高周波誘電特性中誘電率(K)と
Q値はHakki & Coleman法を行い、共振
周波数の温度係数(TCF)はcavity法で行った。
共振周波数の温度係数は20℃から85℃の間で測定
し、20℃で30分間保った後その共振周波数を測定
し、85℃に昇温して30分間保った後共振周波数を測
定して共振周波数の温度係数を測定した。
【0038】
【表1】
【0039】前記表1に示したように、本発明に符合す
る誘電体基盤組成(基盤組成6〜10)の場合には、60
以上の誘電率、高いQ値および適正なTCF値を示して
いることがわかる。
【0040】本発明において低温焼成のために添加する
ガラスフリットは、ほぼ誘電率が10以下と低く、ガラ
スフリットを添加することによって誘電体基盤組成の誘
電率およびQ値の減少を招くことになる。そして、90
0℃以下の低温で焼成する際、誘電体基盤組成のか焼相
が高温焼結相まで至らず誘電率の低下が予想されるの
で、誘電率50以上の低温焼成用材料を開発するために
は誘電体基盤組成の誘電率が60以上の値を有さなけれ
ばならない。さらに、誘電体基盤組成にガラスフリット
およびCuOを添加する場合、TCFがマイナス方向へ
移動する傾向があるので、誘電体基盤組成のTCFが0
ppm/℃以上の組成を選択すべきである。前記表1の
実験結果から、誘電体基盤組成(6〜10)の場合が誘電
率50以上の低温同時焼成用誘電体を実現するのに適し
た誘電体基盤組成であることがわかる。
【0041】実施例2 前記実施例1におけるように、か焼された前記表1の誘
電体基盤組成(7)および(8)を、それぞれ乳鉢で粗粉砕
した後、これら各誘電体基盤組成30gに下記表3に示
したようにガラスフリットを4.0〜12.0wt.%
添加し、CuOを0〜12.0wt.%添加してバッチ
(batch)した後16時間以上混合した。
【0042】前記ガラスフリットは、表2に示した組成
比になるよう各成分元素を秤量し、1200〜1400
℃の温度で溶融し、水で急冷した後、乾式粉砕を経て、
エチルアルコールにより粒度が0.5〜1.0μmになる
よう粉砕して製造したものである。
【0043】前記のように混合した粉末を乾燥させた後
600〜700℃で2時間熱処理を施した。前記のよう
に熱処理されたパウダーは、乳鉢で粗粉砕した後プラネ
タリーミルで200rpmに80分間粉砕して粒子の大
きさを0.3〜0.4μmに調節した。粉砕したパウダー
は、バインダーを混合した後、14mmφの型(mol
d)を用いて約2.0ton/cm2の圧力で一軸成形し
ディスクを作製した。成形された試片を900℃または
1150℃で3時間焼結した後、誘電率(K)とQ値およ
び共振周波数の温度係数(TCF)を測定し、その結果を
下記表3に示した。
【0044】下記表3において、比較材(3)は比較材
(2)を1150℃で焼成したものである。
【0045】さらに、下記表3には焼結状態を調べ、そ
の結果を示した。
【0046】前記誘電率(K)とQ値および共振周波数の
温度係数(TCF)は実施例1のような方法で求めた。
【0047】
【表2】
【0048】
【表3】
【0049】前記表3に示したように、本発明に符合す
る発明材(1-15)は、900℃での低温焼成が可能な
ばかりでなく53.5以上の誘電率、1900以上のQ
値、±6.0ppm/℃のTCF値を示すことがわかる。
【0050】一方、本発明の範囲を外れる比較材(1-1
8)の場合には900℃での焼成の際、焼結ができなか
ったり、焼結が不十分であったり、もしくは焼成が可能
な場合にもその特性が劣化することがわかる。すなわ
ち、CuOを添加せずにガラスフリットのみ添加した場
合には、ガラスフリットの組成とは関係なしに全く焼結
が成り立たず、さらにガラスフリットを添加せずにCu
Oのみ添加した場合にも不十分な焼結が成されることが
わかる。従って、本発明においてはガラスフリットとC
uOとが同時に添加されなくては完全な焼結相を得られ
ないということがわかる。
【0051】さらに、前記表3に示したように、ガラス
フリットのみ4wt.% 添加した組成では焼結が全く
行われないが、ガラスフリット4wt.%にCuOが1
wt.%だけ添加されても焼結が増加し誘電率50以上
を実現できることがわかる。さらに、ガラスフリットの
量を固定させCuOの量を増加させると、焼結性がより
高くなり焼成温度による安定した誘電特性が得られるこ
とがわかる。しかし、CuOの量が10wt.%を超過
するようになるとQ値が低下するようになり、非抵抗も
また低下する。さらに、本発明に符合するZnO-B2
3−SiO2−PbO系ガラスフリットの組成範囲内で
は、添加されるガラスフリットの組成(発明G1およびG2)
に従っては誘電特性がそれほど変わらないことがわか
る。
【0052】
【発明の効果】上述したように、本発明は、従来の高温
焼成(1300℃以上)誘電体材料にガラスフリットとC
uOを同時に添加することによって、900℃以下の低
い温度で銀(Ag)電極と同時焼成が可能なばかりでな
く、ガラスフリットの添加量とCuOの添加量を調節し
て誘電率50以上、Q1、000以上(at 1GH
z)、TCF±20.0ppm/℃以下を実現することか
ら、積層チップLCフィルターを製造するのに適した誘
電体セラミック組成物を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金 鍾 翰 大韓民国京畿道水原市長安区錬武洞263− 2 (72)発明者 金 佑 燮 大韓民国京畿道城南市盆唐区亭子洞林光ア パート408洞404号 Fターム(参考) 4G031 AA06 AA07 AA11 AA25 AA26 AA28 AA30 AA32 AA35 BA09 GA01 GA11 5G303 AA05 AB06 AB15 BA12 CA03 CB03 CB05 CB11 CB22 CB35 CB41

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記化学式1のように組成される誘電体
    セラミック組成物。 (化学式1) a wt.%{xBaO−y1Nd23−y2Sm23
    wBi23−zTiO2}+b wt.%(ZnO−B2
    3−SiO2−PbO系ガラスフリット)+c wt.%
    CuO (前記式において、10.0mol%≦x≦20.0mo
    l%;7.0mol%≦y1+y2≦20.0mol%;0.
    5mol%≦w≦5.0mol%;60.0mol%≦z
    ≦80.0mol%;x+y1+y2+w+z=100;8
    0.0wt.%≦a≦98.0wt.%;1.0wt.%
    ≦b≦10.0wt.%;1.0wt.% ≦c≦10.0
    wt.%)
  2. 【請求項2】 ガラスフリットがZnO:30〜70w
    t.%、B23:5〜30wt.%、SiO2:5〜40
    wt.%およびPbO:2〜40wt.%から成るZn
    O−B23−SiO2−PbO系ガラスフリットである
    ことを特徴とする請求項1に記載の誘電体セラミック組
    成物。
JP2002104373A 2001-11-13 2002-04-05 誘電体セラミック組成物 Pending JP2003146741A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2001-70539 2001-11-13
KR10-2001-0070539A KR100444224B1 (ko) 2001-11-13 2001-11-13 유전체 세라믹 조성물

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003146741A true JP2003146741A (ja) 2003-05-21

Family

ID=19715943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002104373A Pending JP2003146741A (ja) 2001-11-13 2002-04-05 誘電体セラミック組成物

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6740614B2 (ja)
JP (1) JP2003146741A (ja)
KR (1) KR100444224B1 (ja)
CN (1) CN1219716C (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004284941A (ja) * 2003-03-04 2004-10-14 Ngk Insulators Ltd 低温焼成用誘電体組成物および電子部品
US6900150B2 (en) * 2003-04-29 2005-05-31 Cts Corporation Ceramic composition and method
US7517823B2 (en) * 2005-09-29 2009-04-14 Tdk Corporation Dielectric porcelain composition and method for production thereof
JP5294441B2 (ja) * 2006-03-30 2013-09-18 双信電機株式会社 電子部品
CN100590095C (zh) * 2007-11-22 2010-02-17 郴州高斯贝尔数码科技有限公司 Ka波段用环保微波介质陶瓷
JP4618383B2 (ja) * 2008-05-12 2011-01-26 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物、積層複合電子部品、積層コモンモードフィルタ、積層セラミックコイルおよび積層セラミックコンデンサ
JP4798231B2 (ja) * 2009-01-30 2011-10-19 株式会社村田製作所 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ
JP5315544B2 (ja) * 2009-03-25 2013-10-16 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物およびこれを用いた電子部品
US8420560B2 (en) 2010-03-31 2013-04-16 Tdk Corporation Dielectric ceramic, method for producing dielectric ceramic, and method for producing powder for producing dielectric ceramic
US8644000B2 (en) * 2011-09-13 2014-02-04 Fatih Dogan Nanostructured dielectric materials for high energy density multilayer ceramic capacitors
CN103288441B (zh) * 2012-02-29 2016-04-20 深圳光启创新技术有限公司 一种陶瓷复合材料及其制备的超材料
CN104145314B (zh) * 2014-01-22 2017-09-08 苏州诺菲纳米科技有限公司 带有融合金属纳米线的透明导电电极、它们的结构设计及其制造方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4833091A (en) * 1987-02-06 1989-05-23 Shiley Incorporated Sensor system
US5093266A (en) * 1987-02-06 1992-03-03 Shiley Inc. Sensor system
JP2536225B2 (ja) * 1990-04-04 1996-09-18 住友金属工業株式会社 誘電体磁器組成物
JPH0717444B2 (ja) * 1990-04-04 1995-03-01 住友金属工業株式会社 誘電体磁器組成物
JP2526701B2 (ja) * 1990-04-11 1996-08-21 住友金属工業株式会社 誘電体磁器組成物
US5264403A (en) * 1991-09-27 1993-11-23 Ngk Insulators, Ltd. Dielectric ceramic composition containing ZnO-B2 O3 -SiO2 glass
JPH0680467A (ja) * 1992-08-31 1994-03-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 誘電体磁器組成物
JPH0855519A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Ube Ind Ltd 誘電体磁器組成物
JPH0855518A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Ube Ind Ltd 誘電体磁器組成物
JPH08277161A (ja) * 1996-03-11 1996-10-22 Sumitomo Metal Ind Ltd 誘電体磁器組成物
JPH11310455A (ja) * 1998-02-27 1999-11-09 Murata Mfg Co Ltd 誘電体磁器組成物およびそれを用いたセラミック電子部品
JP4108836B2 (ja) * 1998-07-15 2008-06-25 Tdk株式会社 誘電体磁器組成物
JP2000086337A (ja) * 1998-09-14 2000-03-28 Sharp Corp 低温焼成用誘電体磁器組成物
US6340649B1 (en) * 1999-03-16 2002-01-22 Tdk Corporation Composition of dielectric ceramics and producing method thereof
JP3840869B2 (ja) * 1999-10-28 2006-11-01 株式会社村田製作所 高周波用誘電体磁器組成物、誘電体共振器、誘電体フィルタ、誘電体デュプレクサおよび通信機装置
JP3698951B2 (ja) * 2000-03-31 2005-09-21 三星電機株式会社 誘電体磁器組成物とそれを用いた磁器コンデンサ及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN1219716C (zh) 2005-09-21
CN1418845A (zh) 2003-05-21
KR100444224B1 (ko) 2004-08-16
US6740614B2 (en) 2004-05-25
KR20030039574A (ko) 2003-05-22
US20030100429A1 (en) 2003-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110171963B (zh) 一种低温共烧陶瓷微波与毫米波介电粉末
JP2003146741A (ja) 誘電体セラミック組成物
JP3737774B2 (ja) 誘電体セラミック組成物
JP3737773B2 (ja) 誘電体セラミック組成物
KR100808472B1 (ko) 유전체 세라믹 조성물 및 그 제조방법
US5858893A (en) Ceramic composition with low dielectric constant and method of making same
JP2009023895A (ja) セラミックス基板及びその製造方法
JP7021897B2 (ja) 誘電体組成物および誘電体セラミックス
RU2410358C1 (ru) Низкотемпературный стеклокерамический материал
JPH0597508A (ja) 高周波用誘電体磁器組成物
JP2005272199A (ja) 低温焼成磁器組成物およびその製造方法
JP4066312B2 (ja) 誘電体磁器組成物
JPH0557229B2 (ja)
JP2000086337A (ja) 低温焼成用誘電体磁器組成物
WO2004103929A1 (ja) 誘電体磁器組成物、並びにその製造方法、それを用いた誘電体磁器及び積層セラミック部品
JP3085625B2 (ja) 誘電体磁器組成物
JP2005213138A (ja) 低温焼成用高誘電率セラミック組成物
JP2003146752A (ja) 誘電体磁器組成物
JP2004026543A (ja) 誘電体磁器組成物およびこれを用いた積層セラミック部品
KR20010030172A (ko) 세라믹 전자 장치의 제조 방법
JP3839868B2 (ja) 誘電体磁器組成物及び電子部品
JP2005035870A (ja) 低温焼成誘電体磁器及びその製造方法
JP3225828B2 (ja) 高周波用誘電体組成物
KR100434004B1 (ko) 고주파용 유전체 조성물
JP3085618B2 (ja) 誘電体磁器組成物

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041012

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050517

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060104