JP2003133258A - ウエハ劈開具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハを粘着シートに貼り付けず、かつダイ
ヤモンドカッタ等でスクライブラインを形成し、劈開す
るためのウエハ劈開具を提供する。 【解決手段】 ウエハを劈開するためのウエハ劈開具に
おいて、略平行に配置された複数のスリットを有する、
第１固定板及び第２固定板と、第１固定板と第２固定板
との間にウエハを挟んでこれらを固定する固定手段とを
含み、第１固定板と第２固定板との間にウエハを固定し
た状態で、スリット内に露出したウエハにスクライブラ
インを形成し、スクライブラインでウエハを劈開する。
好適には、第１固定板と第２固定板との裏面にクッショ
ン層がそれぞれ設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハの劈開具に
関し、特に、ウエハを粘着シートに貼り付けずに劈開す
るためのウエハ劈開具に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザダイオードの製造工程では、複数
のレーザダイオードをウエハ上に形成した後に、ウエハ
を棒状に劈開する。劈開工程では、粘着シートにウエハ
を貼り付けた状態で、ウエハの表面にダイヤモンドカッ
タ等でスクライブラインを形成した後に、エキスパンダ
で粘着シートを拡張し、スクライブラインでウエハを劈
開する。これにより、ウエハが飛散するのを防止しなが
らウエハを劈開する。続いて、粘着シートからウエハを
外した後に、レーザ端面となる劈開面上にＡｌ_２Ｏ_３か
らなる反射膜等のコート膜を形成する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】粘着シートの表面に
は、ウエハを貼り付けるために、例えば有機物を含む接
着剤が塗布されている。このため、劈開工程において、
かかる接着剤の一部がウエハの劈開面に回り込み、劈開
面が有機物等の接着剤成分により汚染されていた。かか
る劈開面の汚染は、レーザダイオードの特性の経時的劣
化や、使用中の破損の原因となっていた。

【０００４】これに対して、ウエハを粘着シートに貼り
付けずに、エッチングでスクライブラインを形成した後
に、かかるスクライブラインでウエハを劈開する方法も
提案されている。しかし、エッチングではスクライブラ
インの溝形状の制御が困難であり、良好な鏡面状の劈開
面を再現性良く得ることが困難であった。

【０００５】そこで、本発明は、ウエハを粘着シートに
貼り付けず、かつダイヤモンドカッタ等でスクライブラ
インを形成し、劈開するために用いるウエハ劈開具の提
供を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウエハを劈開
するためのウエハ劈開具であって、略平行に配置された
複数のスリットを有する、第１固定板及び第２固定板
と、該第１固定板と該第２固定板との間にウエハを挟ん
でこれらを固定する固定手段とを含み、該第１固定板と
該第２固定板との間にウエハを固定した状態で、該スリ
ット内に露出した該ウエハにスクライブラインを形成
し、該スクライブラインで該ウエハを劈開することを特
徴とするウエハ劈開具である。かかるウエハ劈開具を用
いてウエハを固定することにより、従来のように粘着シ
ートを用いることなくウエハの劈開が可能となる。ま
た、劈開後のウエハの飛散も防止できる。更に、接着剤
による劈開面の汚染を防ぎ、半導体素子の特性の劣化や
損傷を防止できる。

【０００７】上記第１固定板と上記第２固定板とは略同
一形状であることが好ましい。

【０００８】また、上記第１固定板のスリットと該第２
固定板のスリットとが、上記ウエハを挟んで対向配置さ
れ、該第１固定板のスリット内に露出した該ウエハに上
記スクライブラインを形成した後、該第２固定板のスリ
ット内に露出した該ウエハを押厚して該ウエハを劈開す
ることを特徴とするウエハ劈開具でもある。

【０００９】上記第１固定板と上記第２固定板との裏面
にクッション層がそれぞれ設けられ、該クッション層に
接して上記ウエハが挟まれて固定されることが好まし
い。かかるクッション層を設けることにより、ウエハ表
面に傷がつくのを防止できる。

【００１０】更に、上記ウエハに隣接して該ウエハの両
側にそれぞれ配置されるクッション板を含み、上記第１
固定板と上記第２固定板との間に、該クッション板が該
ウエハとともに挟まれて該ウエハを固定することが好ま
しい。クッション板でウエハを両側から挟むことによ
り、ウエハの固定が確実になる。

【００１１】更に、該ウエハと該クッション板との周囲
を囲むクッションフレームを含み、上記第１固定板と上
記第２固定板との間に、該クッションフレームが挟まれ
て該ウエハを固定することが好ましい。更に、クッショ
ンフレームでウエハの周囲を囲むことにより、ウエハの
固定がより確実になる。

【００１２】上記第１固定板と上記第２固定板の、スリ
ットに挟まれたブリッジが、該スリットに沿ったエッジ
を備え、該エッジが上記ウエハに接してこれを固定する
ことが好ましい。かかるエッジを有することにより、劈
開後のウエハの固定が確実になる。

【００１３】上記エッジは、該ブリッジの両側にそれぞ
れ形成されたことが好ましい。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、全体が１
００で表される、本実施の形態にかかるウエハ劈開具の
斜視図である。また、図２は、ウエハ劈開具１００の上
面図、図３は、図２のＡ−Ａ方向の部分断面図である。

【００１５】図１〜３に示すように、ウエハ劈開具１０
０は、第１固定板１と第２固定板２とを含む。第１及び
第２固定板１、２は、例えば、ステンレス鋼から形成さ
れている。第１及び第２固定板１、２には、複数のスリ
ット３が形成されている。スリット３はそれぞれが略矩
形であり、略平行に配置されている。スリット３の間隔
は、劈開するウエハに形成されたパターンにより決ま
る。即ち、スリット３の間隔は、ウエハに形成されるス
クライブラインの間隔に略等しくなる。

【００１６】第１及び第２固定板１、２の裏面には、そ
れぞれクッション層４、５が設けられている。クッショ
ン層４、５は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン
（商標名：テフロン）やポリエチレンを固定板１、２の
裏面にコーティングして形成する。クッション層４、５
は、当然に、スリット３上には形成されない。第１固定
板１と第２固定板２とは、ほぼ同一の形状、構造を有す
る。

【００１７】また、ウエハ劈開具１００は、スリット３
が設けられた領域の両側（図２では、左右方向）に配置
される、略矩形のクッション板８を含む。図３に示すよ
うに、クッション板８は、ウエハ１０と略同一の厚みを
有し、その一辺（図３で、紙面に垂直方向の長さ）は、
ウエハ１０の一辺の長さと略等しい。クッション板８
は、例えばシリコーンゴムからなる。更に、ウエハ劈開
具１００は、ウエハ１０と、ウエハ１０の両側に配置さ
れたクッション板８とを囲むクッションフレーム６を含
む。クッションフレーム６としては、例えばＯリングが
用いられる。

【００１８】次に、ウエハ劈開具１００にウエハ１０を
セットする工程について、簡単に説明する。かかる工程
では、まず、第２固定板２に設けられたクッション層５
の上の、図２に点線で示す位置に、ウエハ１０を配置す
る。ウエハ１０は、スクライブラインが形成される位置
がスリット３の略中央に来るように配置される。続い
て、ウエハ１０の左右に、ウエハ１０を挟むように、１
対のクッション板８を配置する。クッション板８で両側
を挟むことにより、ウエハ８の固定位置が決定される。
続いて、クッション板８、ウエハ１０の周囲に、クッシ
ョンフレーム６を配置する。続いて、第１固定板１の裏
面に設けたクッション層４がウエハ１０に接するよう
に、ウエハ１０上に第１固定板１を載置する。このと
き、第１固定板１と第２固定板２のスリット３が重なる
ように、第１固定板１を配置する。最後に、第１固定板
１と第２固定板２とをねじ７で締めつけて固定する。こ
れにより、クッション層４、５が、ウエハ１０を上下か
ら挟み、またクッション板８やクッションフレーム６が
ウエハ１０を周囲から挟むことにより、ウエハ劈開具１
００にウエハ１０が固定される。なお、ねじ７以外の固
定手段を用いることも可能である。

【００１９】このように、ウエハ劈開具１００にウエハ
１０を固定した状態で、スクライビング装置（図示せ
ず）にウエハ劈開具１００をセットして、スリット３内
に露出したウエハ１０の表面に、ダイヤモンドカッタ等
でスクライブラインを形成する。続いて、第２固定板２
のスリット３から、ブレード（図示せず）を用いてウエ
ハ１０を裏面から押圧する。これにより、ウエハ１０は
スクライブラインで劈開される。最後に、ねじ７を緩め
て、ウエハ劈開具１００から、劈開されて棒状になった
ウエハ１０を取り出す。

【００２０】なお、クッションフレーム６を用いずに、
ウエハ１０を固定しても構わない。更には、クッション
フレーム６、クッション板８の両方を用いずにウエハ１
０を固定しても構わない。

【００２１】また、上述のウエハ劈開具１００では、ウ
エハを固定した時に、ウエハ１０の表面に傷がつくのを
防止するために、第１及び第２固定板１、２の裏面にク
ッション層４、５を形成したが、クッション層４、５を
形成しないことも可能である。

【００２２】更に、ウエハ劈開具１００は、レーザダイ
オード用ウエハに限らず、劈開工程が必要となるすべて
のウエハに適用できる。

【００２３】このように、ウエハ劈開具１００を用いて
ウエハ１０を固定することにより、従来のように粘着シ
ートを用いることなく、ウエハ１０の劈開が可能とな
る。このため、接着剤による劈開面の汚染を防止でき
る。

【００２４】実施の形態２．図４は、本発明の実施の形
態２にかかる、全体が２００で表されるウエハ劈開具
の、部分断面図である。図４は、図２のＡ−Ａ方向と同
一方向に見た場合の断面である。図４に示すように、ウ
エハ劈開具２００では、第１及び第２固定板１、２の、
スリット３で挟まれた部分（ブリッジ）９の裏面が湾曲
面となり、ブリッジ９の両端がエッジを有する構造とな
っている。エッジは、スリット３に沿って（図４では、
紙面に垂直方向に）形成されている。かかるエッジ構造
を有することにより、ウエハ１０を固定する場合に、ク
ッション層４、５のエッジがウエハ１０に接するように
なり、ウエハ１０の固定がより確実になる。特に、ウエ
ハ１０の劈開後においても、ウエハ１０を確実に固定で
きるようになる。

【００２５】なお、第１及び第２固定板１、２にクッシ
ョン層４、５を形成しない場合は、第１及び第２固定板
１、２自体が、ブリッジ９の両端にエッジを有する。

【００２６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかるウエハ劈開具を用いてウエハを固定することに
より、粘着シートを用いることなく、ウエハの劈開が可
能となる。

【００２７】この結果、接着剤による劈開面の汚染を防
止でき、レーザダイオード等の経時的な特性劣化や損傷
を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１にかかるウエハ劈開具
の斜視図である。

【図２】 本発明の実施の形態１にかかるウエハ劈開具
の上面図である。

【図３】 本発明の実施の形態１にかかるウエハ劈開具
の部分断面図である。

【図４】 本発明の実施の形態２にかかるウエハ劈開具
の部分断面図である。

【符号の説明】

１ 第１固定板、２ 第２固定板、３ スリット、４、
５ クッション層、６クッションフレーム、７ ねじ、
８ クッション板、９ ブリッジ、１０ ウエハ、１０
０、２００ ウエハ劈開具。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを劈開するためのウエハ劈開具で
   あって、 略平行に配置された複数のスリットを有する、第１固定
   板及び第２固定板と、 該第１固定板と該第２固定板との間にウエハを挟んでこ
   れらを固定する固定手段とを含み、 該第１固定板と該第２固定板との間にウエハを固定した
   状態で、該スリット内に露出した該ウエハにスクライブ
   ラインを形成し、該スクライブラインで該ウエハを劈開
   することを特徴とするウエハ劈開具。
2. 【請求項２】 上記第１固定板と上記第２固定板とが略
   同一形状であることを特徴とする請求項１に記載のウエ
   ハ劈開具。
3. 【請求項３】 上記第１固定板のスリットと該第２固定
   板のスリットとが、上記ウエハを挟んで対向配置され、
   該第１固定板のスリット内に露出した該ウエハに上記ス
   クライブラインを形成した後、該第２固定板のスリット
   内に露出した該ウエハを押厚して該ウエハを劈開するこ
   とを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ劈開具。
4. 【請求項４】 上記第１固定板と上記第２固定板との裏
   面にクッション層がそれぞれ設けられ、該クッション層
   に接して上記ウエハが挟まれて固定されることを特徴と
   する請求項１〜３のいずれかに記載のウエハ劈開具。
5. 【請求項５】 更に、上記ウエハに隣接して該ウエハの
   両側にそれぞれ配置されるクッション板を含み、上記第
   １固定板と上記第２固定板との間に、該クッション板が
   該ウエハとともに挟まれて該ウエハを固定することを特
   徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のウエハ劈開
   具。
6. 【請求項６】 更に、該ウエハと該クッション板との周
   囲を囲むクッションフレームを含み、上記第１固定板と
   上記第２固定板との間に、該クッションフレームが挟ま
   れて該ウエハを固定することを特徴とする請求項５に記
   載のウエハ劈開具。
7. 【請求項７】 上記第１固定板と上記第２固定板の、ス
   リットに挟まれたブリッジが、該スリットに沿ったエッ
   ジを備え、該エッジが上記ウエハに接してこれを固定す
   ることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のウ
   エハ劈開具。
8. 【請求項８】 上記エッジが、該ブリッジの両側にそれ
   ぞれ形成されたことを特徴とする請求項７に記載のウエ
   ハ劈開具。