JP2003129224A - 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 - Google Patents

真空蒸着装置及び真空蒸着方法

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JP2003129224A
JP2003129224A JP2001329675A JP2001329675A JP2003129224A JP 2003129224 A JP2003129224 A JP 2003129224A JP 2001329675 A JP2001329675 A JP 2001329675A JP 2001329675 A JP2001329675 A JP 2001329675A JP 2003129224 A JP2003129224 A JP 2003129224A
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Yasuo Kishi
泰生 岸
Yukihiro Kondo
行廣 近藤
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照雄 中川
Junji Kido
淳二 城戸
Yuji Yanagi
雄二 柳
Eiichi Matsumoto
栄一 松本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 蒸発源のセット、補充、取り換え等の作業が
容易になり、さらに生産性を高めることができる真空蒸
着装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバー1内に蒸発源2と被蒸着
体3を配置すると共に蒸発源2と被蒸着体3の間の空間
を蒸発源2の物質が気化される温度で加熱された筒状体
4で囲み、蒸発源2から気化した物質を筒状体4内を通
して被蒸着体3の表面に到達させて蒸着させるようにし
た真空蒸着装置に関する。このものにおいて、真空チャ
ンバー1を筒状体4が設けられた蒸着室5と、蒸発源2
がセットされる蒸発室6とに分割し、蒸着室5に蒸発室
6を着脱自在に結合するようにしてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空雰囲気中で蒸
発源を蒸発させると共に被蒸着体に蒸発物質を蒸着させ
るようにした真空蒸着装置及び真空蒸着方法に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】真空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸
発源と被蒸着体とを配置し、真空チャンバー内を減圧し
た状態で、蒸発源を加熱して、蒸発源を溶融させて蒸発
させるか、もしくは蒸発源を昇華させるかして、気化さ
せ、この気化させた物質を被蒸着体の表面に堆積させて
蒸着するようにしたものである。そして加熱されて蒸発
源から発生する気化物質は蒸発源から法線方向に直進的
に放出されるが、放出空間は真空に保たれているため気
化物質は直進し、蒸発源と対向して配置される被蒸着体
の表面に付着して蒸着されるものである。
【0003】しかしこのように気化物質は蒸発源から法
線方向に直進的に放出されるので、被蒸着体へ向かって
進行しない気化物質が多く、このように被蒸着体へ向か
って進行しない気化物質は被蒸着体の表面に付着しなも
のであり、蒸発源の歩留まりが低くなると共に被蒸着体
の表面への蒸着速度が遅くなるという問題があった。そ
こで、特開平4−45259号公報や特開平9−272
703号公報などに開示されているように、真空チャン
バー内に配置した蒸発源と被蒸着体が対向する空間を筒
状体で囲むと共に筒状体を蒸発源の物質が気化される温
度で加熱し、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通し
て被蒸着体の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置
が提案されている。
【0004】図6はその一例を示すものであり、真空チ
ャンバー1内に上下に開口する筒状体4が配設してあ
り、筒状体4にはヒーター11が巻いてあって筒状体4
を加熱できるようにしてある。この筒状体4の下端の開
口12に面して蒸発源2が配置してあり、ヒーター13
で加熱して蒸発源2を気化させることができるようにし
てある。筒状体4の上端の開口14の上方には被蒸着体
3が配置してあり、この開口14はシャッター15によ
って開閉できるようにしてある。16は被蒸着体3を加
熱するためのヒーターである。
【0005】このものにあって、真空チャンバー1内を
減圧すると共に蒸発源2を加熱して気化させ、そしてシ
ャッター15を開くと、蒸発源2から気化した物質が筒
状体4内を飛翔して通過し、筒状体4の上端の開口14
を通って被蒸着体3の表面に付着し、被蒸着体3にこの
気化物質を堆積させて蒸着を行なうことができるもので
ある。そしてこのものでは、蒸発源2と被蒸着体3が対
向する空間が筒状体4で囲まれているので、蒸発源2か
ら発生する気化物質を筒状体4内に囲った状態で、この
気化物質を筒状体4の内面で反射させながら被蒸着体3
の方向へ進ませることができ、蒸発源2から発生する気
化物質の多くを被蒸着体3の表面に到達させることがで
きるものであり、被蒸着体3に付着せずに逃げる量を少
なくして歩留まり高く蒸着を行なうことができるもので
ある。また筒状体4はヒーター11で加熱されており、
気化物質が筒状体4の内面に付着しても再加熱されて再
気化し、この再気化した物質は被蒸着体3に到達して蒸
着層を形成するものであり、筒状体4に気化物質が堆積
して歩留まりを低下させるようなことはないものであ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように蒸発源2
と被蒸着体3の間の空間を加熱された筒状体4で囲むこ
とによって、歩留まり高く蒸着を行なうことができるも
のであるが、蒸発源2は真空チャンバー1の下部内にお
いて高温に加熱された筒状体4の下側に配置されている
ので、蒸発源2をセットする作業や、蒸発源2を補充し
たり取り換えたりする作業が困難であるという問題があ
った。また蒸発源を補充したり取り換えたりする際に
は、減圧状態にある真空チャンバー1内をいったん大気
圧まで戻し、蒸発源を補充したり取り換えたりした後、
さらに再度真空チャンバー1内を減圧する必要があり、
生産性が非常に悪くなるという問題もあった。
【0007】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、蒸発源のセット、補充、取り換え等の作業が容易
になり、さらに生産性を高めることができる真空蒸着装
置及び真空蒸着方法を提供することを目的とするもので
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
真空蒸着装置は、真空チャンバー1内に蒸発源2と被蒸
着体3を配置すると共に蒸発源2と被蒸着体3の間の空
間を蒸発源2の物質が気化される温度で加熱された筒状
体4で囲み、蒸発源2から気化した物質を筒状体4内を
通して被蒸着体3の表面に到達させて蒸着させるように
した真空蒸着装置において、真空チャンバー1を筒状体
4が設けられた蒸着室5と、蒸発源2がセットされる蒸
発室6とに分割して形成し、蒸着室5に蒸発室6を着脱
自在に結合して成ることを特徴とするものである。
【0009】また請求項2の発明は、請求項1におい
て、蒸着室5の開口部7と蒸発室6の開口部8を接合す
ることによって蒸着室5に蒸発室6を着脱自在に結合
し、蒸着室5の開口部7と蒸発室6の開口部8のうち、
少なくとも蒸着室5の開口部7に、内部の気密を保つシ
ャッター9を設けて成ることを特徴とするものである。
【0010】また請求項3の発明は、請求項1又は2に
おいて、複数の蒸発室6を一列に配置して設け、各蒸発
室6を蒸着室5と結合する位置に移動自在にして成るこ
とを特徴とするものである。
【0011】また請求項4の発明は、請求項1又は2に
おいて、複数の蒸発室6を蒸着室5を中心にして放射状
に配置して設け、各蒸発室6を蒸着室5と結合する位置
に移動自在にして成ることを特徴とするものである。
【0012】本発明の請求項5に係る真空蒸着方法は、
請求項1乃至4のいずれかに記載の真空蒸着装置を用
い、蒸着室5に蒸発室6を結合し、蒸発室6にセットさ
れた蒸発源2から気化した物質を筒状体4内を通して被
蒸着体3の表面に到達させることによって、被蒸着体3
の表面に蒸着を行なうことを特徴とするものである。
【0013】また本発明の請求項5に係る真空蒸着方法
は、請求項3に記載の真空蒸着装置を用い、一列に配置
された複数の蒸発室6を移動させて、蒸着室5に順次蒸
発室6を結合し、各蒸発室6内にセットされた蒸発源2
から気化した物質を筒状体4内を通して被蒸着体3の表
面に到達させることによって、被蒸着体3の表面に蒸着
を行なうことを特徴とするものである。
【0014】また本発明の請求項5に係る真空蒸着方法
は、請求項4に記載の真空蒸着装置を用い、蒸着室5を
中心にして放射状に配置された複数の蒸発室6を順次移
動させて蒸着室5に結合し、各蒸発室6内にセットされ
た蒸発源2から気化した物質を筒状体4内を通して被蒸
着体3の表面に到達させることによって、被蒸着体3の
表面に蒸着を行なうことを特徴とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0016】図1は本発明の実施の形態の一例を示すも
のであり、真空チャンバー1は上部の蒸着室5と下部の
蒸発室6とに上下に分割してある。蒸着室5は下面を開
口部7として開口させて形成されるものであり、蒸着室
5にはその側面に設けた排気口18にゲートバルブ19
を介して真空ポンプ20が接続してある。また蒸着室5
には筒状体4が配設してある。この筒状体4の外周には
シーズヒーターなどのヒーター21が巻き付けてあり、
ヒーター21に接続した電源22から給電してヒーター
21を発熱させることによって、筒状体4を加熱するこ
とができるようにしてある。筒状体4は円筒形や角筒形
など任意の断面形状に形成されるものであるが、筒状体
4の下端の内周には鍔片27が延出してあってその内縁
に小径の開口12が形成してあり、筒状体4の上端の開
口14は筒状体4の内周全面に亘る大径に形成してあ
る。
【0017】また、蒸発室6は上面を開口部8として開
口させて形成されるものであり、蒸発室6には蒸発源加
熱具23が設けてある。この蒸発源加熱具23内にはヒ
ーター24と温度センサー25が設けてあり、ヒーター
24に接続した電源26から給電してヒーター24を発
熱させることによって蒸発源加熱具23を加熱すると共
に、温度センサー25で検出される温度によってヒータ
ー24の発熱を制御することができるようにしてある。
【0018】一方、本発明において蒸発源2としては任
意のものを用いることができるものであり、例えば有機
エレクトロルミネッセンス材料などの有機材料を用いる
ことができる。そして真空蒸着を行なうにあたっては、
まず被蒸着体3を筒状体4の上端の開口14に対面させ
てセットしておき、図1(b)に示すように、蒸発室6
を蒸着室5から分離した状態で、蒸発源2を蒸発源加熱
具23の上に充填してセットする。次に蒸着室5の開口
部7に蒸発室6の開口部8を合致させながら蒸着室5の
下面に蒸発室6を接合させることによって、図1(a)
のように蒸着室5に蒸発室6を結合させる。このとき、
開口部7,8を囲むように蒸着室5と蒸発室6の間にO
リングなどのパッキン32を介在させることによって、
蒸着室5と蒸発室6は開口部7,8によって気密的に連
通して真空チャンバー1が形成されるようになってい
る。またこのように蒸着室5に蒸発室6を結合させる
と、筒状体4の下端の開口12の直下位置に蒸発源加熱
具23にセットした蒸発源2が配置されるようになって
いる。
【0019】次に、真空ポンプ20を作動させて真空チ
ャンバー1内を真空状態に減圧し、ヒーター24を発熱
させて蒸発源2を加熱すると共にヒーター21によって
筒状体4を加熱する。この筒状体4の加熱温度は、蒸発
源2から気化した物質が筒状体4に付着しても再度蒸発
等して気化し、筒状体4の表面に堆積しない温度に設定
されるものである。そしてこのように真空チャンバー1
内を減圧して蒸発源2を加熱すると、蒸発源2は溶融・
蒸発、あるいは昇華して気化し、蒸発源2から発生する
この気化物質31は下端の開口12から筒状体4に導入
され、筒状体4内を直進する。気化物質31が進む蒸発
源2と被蒸着体3の間の空間は筒状体4で囲まれてお
り、気化物質31は筒状体4内に閉じ込められた状態に
あるので、図1に示すように気化物質31は筒状体4の
内面で反射して上端の開口14へ向けて進み、筒状体4
の上端の開口14から出て、開口14に対面して配置さ
れた被蒸着体3の表面に到達し、被蒸着体3の表面に気
化物質31を堆積させて蒸着させることができるもので
ある。
【0020】このように、蒸発源2から発生した気化物
質31は筒状体4内で規制されているので、気化物質3
1が四方八方へ飛散することを防ぐことができるもので
あり、蒸発源2から発生する気化物質31の多くを基板
3の表面に到達させて付着させることができるものであ
る。従って蒸発源2から発生する気化物質31の多くが
被蒸着体3の表面に付着して成膜に寄与することになっ
て無効材料が少なくなり、蒸発源2の材料利用効率が高
くなって歩留まりの高い蒸着が可能になると共に、被蒸
着体3の表面の成膜速度を速くすることができるもので
ある。また、筒状体4は加熱されていてホットウォール
になっているために、気化物質31が筒状体4の表面に
付着しても、付着物は筒状体4で再加熱されて気化する
ようになっているものであり、このように筒状体4から
再気化した気化物質31は上記と同様にして被蒸着体3
の表面に蒸着されるものである。従って筒状体4に気化
物質31が堆積して蒸着に使用されなくなることを防ぐ
ことができ、蒸着の歩留まりが低下するようなことはな
いものである。
【0021】次に、上記のように真空蒸着を終えた後
に、次の真空蒸着のために蒸発源2を蒸発源加熱具23
にセットしたり、真空蒸着の途中で蒸発源加熱具23に
蒸発源2を補充したり取り換えたりする際には、まず、
減圧状態にある真空チャンバー1内を大気圧に戻し、図
1(b)に示すように蒸着室5から蒸発室6を分離す
る。このように蒸着室5から蒸発室6を分離することに
よって、蒸発源加熱具23の上方をオープンにすること
ができ、高温の筒状体4が邪魔になったりすることな
く、蒸発源2のセット、補充、取り換えを容易に行なう
ことができるものである。このように蒸発源2のセッ
ト、補充、取り換えを行なった後、上記の図1(a)の
ように蒸着室5に蒸発室6を結合させることによって、
次の真空蒸着を行なうことができるものである。
【0022】図2は本発明の実施の形態の他の一例を示
すものであり、蒸着室5の下面の開口部7にシャッター
9が設けてあり、シャッター9によって開口部7を開閉
することができるようにしてある。また蒸発室6に昇降
シリンダー33が設けてありこの昇降シリンダー33の
ロッド34に蒸発源加熱具23を取り付けることによっ
て、蒸発源加熱具23を昇降させることができるように
してある。その他の構成は図1のものと同じである。
【0023】この装置で真空蒸着を行なうにあたって
は、まず被蒸着体3を筒状体4の上端の開口14に対面
させてセットしておくと共に蒸発源加熱具23に蒸発源
2を充填してセットしておき、蒸着室5の開口部7に蒸
発室6の開口部8を合致させて蒸着室5の下面にパッキ
ン32を介して蒸発室6を結合させる。そして蒸着室5
のシャッター9を開いて開口部7を開口させ、昇降シリ
ンダー33を作動させて蒸発源加熱具23を上昇させる
ことによって、図2(a)のように開口部7,8を通し
て蒸発源加熱具23を蒸発室6から蒸着室5内に移動さ
せ、筒状体4の下端の開口12の直下位置に蒸発源2を
配置させる。次に、真空ポンプ20を作動させて蒸着室
5と蒸発室6が連通して形成される真空チャンバー1内
を真空状態に減圧し、ヒーター24を発熱させて蒸発源
2を加熱すると共にヒーター21によって筒状体4を加
熱することによって、既述と同様にして被蒸着体3に真
空蒸着を行なうことができるものである。
【0024】次に、上記のように真空蒸着を行なう途中
で蒸発源加熱具23に蒸発源2を補充したり取り換えた
りする際には、まず、昇降シリンダー33を作動させて
蒸発源加熱具23を下降させ、蒸発源加熱具23を蒸着
室5内から後退させて蒸発室6内に移動させる。次にシ
ャッター9を閉じて蒸着室5の開口部7を密閉させた
後、図2(b)のように蒸着室5から蒸発室6を分離す
る。このように蒸着室5から蒸発室6を分離して蒸発源
加熱具23の上方をオープンにした状態で、高温の筒状
体4が邪魔になったりすることなく、蒸発源2の補充や
取り換えを容易に行なうことができるものである。また
この蒸発源2の補充や取り換えを行なっている際に、蒸
着室5の開口部7はシャッター9で密閉されているの
で、蒸発室5内の減圧状態は保持されている。このよう
にして蒸発源2の補充や取り換えを行なった後、再度蒸
着室5に蒸発室6を結合させ、そして蒸着室5のシャッ
ター9を開いて開口部7を開口させ、昇降シリンダー3
3を作動させて蒸発源加熱具23を上昇させることによ
って、図2(a)のように開口部7,8を通して蒸発源
加熱具23を蒸発室6から蒸着室5内に移動させる。次
に、真空ポンプ20を作動させて蒸着室5と蒸発室6が
連通して形成される真空チャンバー1内を減圧するが、
蒸着室5は減圧状態を保たれており、蒸発室6の室内の
空気を排出するだけでよいので、真空操作は短時間で済
む。そして、ヒーター24を発熱させて蒸発源2を加熱
すると共にヒーター21によって筒状体4を加熱するこ
とによって、真空蒸着を継続して行なうことができるも
のである。
【0025】図3は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、このものでは蒸発室6の上面の開
口部8にもシャッター9を設けてあり、シャッター9に
よって開口部8を開閉することができるようにしてあ
る。また蒸発室6にゲートバルブ35を介して真空ポン
プ36が接続してある。その他の構成は図2のものと同
じである。
【0026】この装置で真空蒸着を行なうにあたって
は、まず被蒸着体3を筒状体4の上端の開口14に対面
させてセットしておくと共に蒸発源加熱具23に蒸発源
2を充填してセットしておき、蒸着室5の開口部7に蒸
発室6の開口部8を合致させて蒸着室5の下面にパッキ
ン32を介して蒸発室6を結合させる。そして蒸着室5
のシャッター9を開いて開口部7を開口させると共に蒸
発室6のシャッター9を開いて開口部8を開口させ、昇
降シリンダー33を作動させて蒸発源加熱具23を上昇
させることによって、図3(a)のように開口部7,8
を通して蒸発源加熱具23を蒸発室6から蒸着室5内に
移動させ、筒状体4の下端の開口12の直下位置に蒸発
源2を配置させる。次に、真空ポンプ20を作動させて
蒸着室5と蒸発室6が連通して形成される真空チャンバ
ー1内を真空状態に減圧し、ヒーター24を発熱させて
蒸発源2を加熱すると共にヒーター21によって筒状体
4を加熱することによって、既述と同様にして被蒸着体
3に真空蒸着を行なうことができる。
【0027】次に、上記のように真空蒸着を行なう途中
で蒸発源加熱具23に蒸発源2を補充したり取り換えた
りする際には、まず、昇降シリンダー33を作動させて
蒸発源加熱具23を下降させ、蒸発源加熱具23を蒸着
室5内から後退させて蒸発室6内に移動させる。次に蒸
着室5のシャッター9を閉じて開口部7を密閉させた
後、図3(b)のように蒸着室5から蒸発室6を分離す
る。このように蒸着室5から蒸発室6を分離して蒸発源
加熱具23の上方をオープンにした状態で、高温の筒状
体4が邪魔になったりすることなく、蒸発源2の補充や
取り換えを容易に行なうことができる。またこの蒸発源
2の補充や取り換えを行なっている際に、蒸着室5の開
口部7はシャッター9で密閉されているので、蒸着室5
内の減圧状態は保持されている。
【0028】このようにして蒸発源2の補充や取り換え
を行なった後、蒸発室6のシャッター9を閉じて開口部
8を密閉し、真空ポンプ36を作動させて蒸発室6内を
真空状態に減圧する。次に、再度蒸着室5に蒸発室6を
結合させ、そして蒸着室5のシャッター9を開いて開口
部7を開口させると共に蒸発室6のシャッター9を開い
て開口部8を開口させ、昇降シリンダー33を作動させ
て蒸発源加熱具23を上昇させることによって、開口部
7,8を通して蒸発源加熱具23を蒸発室6から蒸着室
5内に移動させる。このとき、蒸着室5内と蒸発室6内
はそれぞれ減圧され状態に保たれているので、蒸着室5
と蒸発室6が連通して形成される真空チャンバー1内を
再度減圧する必要はない。そして、ヒーター24を発熱
させて蒸発源2を加熱すると共にヒーター21によって
筒状体4を加熱することによって、真空蒸着を継続して
行なうことができるものである。
【0029】図4は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、図1〜図3のように形成される蒸
発室6を一列に複数連接して設けるようにしたものであ
る。この一列に連接した複数の蒸発室6は蒸着室5の下
側に配置してあり、連接方向に移動自在にしてある。図
4の実施の形態では三つの蒸発室6を連接してあるが、
二つの蒸発室6を連接するようにしても、四つ以上の蒸
発室6を連接するようにしてもいずれでもよい。そして
例えば図4(a)のように中央の蒸発室6aを蒸着室5
と結合する位置に移動させることによって、この蒸発室
6aにセットした蒸発源2を用いて真空蒸着を行なうこ
とができ、次に図4(b)のように左側へ移動させて右
端の蒸発室6bを蒸着室5と結合する位置に移動させる
ことによって、この蒸発室6bにセットした蒸発源2を
用いて真空蒸着を行なうことができ、次に図4(c)の
ように右側へ移動させて左端の蒸発室6cを蒸着室5と
結合する位置に移動させることによって、この蒸発室6
cにセットした蒸発源2を用いて真空蒸着を行なうこと
ができるものである。このようにして、真空蒸着を各蒸
着室6の蒸発源2で連続して行なうことができると共
に、一つの蒸発室6を蒸着室5に結合させて真空蒸着を
行なっている間に、他の蒸発室6に蒸発源2をセットし
たり、補充したり、交換したりすることができ、蒸発源
2のセット、補充、交換のために蒸着を中断する必要が
なくなって、真空蒸着の生産性を高めることができるも
のである。
【0030】図5は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、図1〜図3のように形成される蒸
発室6を蒸着室5を中心として放射状配置して複数設け
るようにしたものである。この放射状に配置した複数の
蒸発室6は蒸着室5よりも下側に配設してあり、図5の
実施の形態では四つ蒸発室6を設けてあるが、その個数
は制限されるものではない。また各蒸発室6は、蒸着室
5の下面に結合する直下位置と、蒸着室5の側方に退避
する位置との間で移動自在になっている。そして一つの
蒸発室6を蒸着室5の直下に移動させて蒸着室5に結合
させることによって、この蒸発室6にセットした蒸発源
2を用いて真空蒸着を行なうことができ、次にこの蒸発
室6を退避する位置に後退させた後に、他の蒸発室6を
蒸着室5の直下に移動させて蒸着室5に結合させること
によって、この蒸発室6にセットした蒸発源2を用いて
真空蒸着を行なうことができるものであり、以下同様に
して各蒸発室5を順次移動させて蒸着室6に結合させる
ことによって、各蒸着室6の蒸発源2で連続して真空蒸
着を行なうことができるものである。またこのように一
つの蒸発室6を蒸着室5に結合させて真空蒸着を行なっ
ている間に、退避位置にある他の蒸発室6に蒸発源2を
セットしたり、補充したり、交換したりすることがで
き、蒸発源2のセット、補充、交換のために蒸着を中断
する必要がなくなって、真空蒸着の生産性を高めること
ができるものである。
【0031】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に係る真
空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
て、真空チャンバーを筒状体が設けられた蒸着室と、蒸
発源がセットされる蒸発室とに分割して形成し、蒸着室
に蒸発室を着脱自在に結合するようにしたので、蒸着室
から蒸発室を分離することによって、高温の筒状体が邪
魔になったりすることなく蒸発室に蒸発源をセットした
り、補充したり、取り換えたりすることができるもので
あり、蒸発源のセット、補充、取り換えを容易に行なう
ことができるものである。
【0032】また請求項2の発明は、蒸着室の開口部と
蒸発室の開口部を接合することによって蒸着室に蒸発室
を着脱自在に結合し、蒸着室の開口部と蒸発室の開口部
のうち、少なくとも蒸着室の開口部に、内部の気密を保
つシャッターを設けるようにしたので、蒸着室から分離
した蒸発室に蒸発源をセット等する際にシャッターを閉
じて蒸着室内の減圧状態を保持することができるもので
あり、真空蒸着を再開する際に真空チャンバー内の減圧
を不要にしたり減圧時間を短縮したりすることができ、
生産性を高めることができるものである。
【0033】また請求項3の発明は、複数の蒸発室を一
列に配置して設け、各蒸発室を蒸着室と結合する位置に
移動自在にしたので、真空蒸着を各蒸着室の蒸発源で連
続して行なうことができると共に、一つの蒸発室で真空
蒸着を行なっている間に他の蒸発室に蒸発源をセット等
をすることができ、真空蒸着の生産性を高めることがで
きるものである。
【0034】また請求項4の発明は、複数の蒸発室を蒸
着室を中心にして放射状に配置して設け、各蒸発室を蒸
着室と結合する位置に移動自在にしたので、真空蒸着を
各蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができると共
に、一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に他の蒸
発室に蒸発源をセット等をすることができ、真空蒸着の
生産性を高めることができるものである。
【0035】本発明の請求項5に係る真空蒸着方法は、
請求項1乃至4のいずれかに記載の真空蒸着装置を用
い、蒸着室に蒸発室を結合し、蒸発室にセットされた蒸
発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表
面に到達させることによって、被蒸着体の表面に蒸着を
行なうようにしたので、蒸着室から蒸発室を分離するこ
とによって、高温の筒状体が邪魔になったりすることな
く蒸発室に蒸発源をセットしたり、補充したり、取り換
えたりすることができるものであり、蒸発源のセット、
補充、取り換えを容易に行なうことができるものであ
る。
【0036】また請求項6の発明は、請求項3に記載の
真空蒸着装置を用い、一列に配置された複数の蒸発室を
移動させて、蒸着室に順次蒸発室を結合し、各蒸発室内
にセットされた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通
して被蒸着体の表面に到達させることによって、被蒸着
体の表面に蒸着を行なうようにしたので、真空蒸着を各
蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができると共に、
一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に他の蒸発室
に蒸発源をセット等をすることができ、真空蒸着の生産
性を高めることができるものである。
【0037】また請求項7の発明は、請求項4に記載の
真空蒸着装置を用い、蒸着室を中心にして放射状に配置
された複数の蒸発室を順次移動させて蒸着室に結合し、
各蒸発室内にセットされた蒸発源から気化した物質を筒
状体内を通して被蒸着体の表面に到達させることによっ
て、被蒸着体の表面に蒸着を行なうようにしたので、真
空蒸着を各蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができ
ると共に、一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に
他の蒸発室に蒸発源をセット等をすることができ、真空
蒸着の生産性を高めることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、
(a),(b)はそれぞれ断面図である。
【図2】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、(a),(b)はそれぞれ断面図である。
【図3】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、(a),(b)はそれぞれ断面図である。
【図4】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、(a),(b),(c)はぞれぞれ概略正面図であ
る。
【図5】本発明の実施の形態の他の一例を示す概略斜視
図である。
【図6】従来の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバー 2 蒸発源 3 被蒸着体 4 筒状体 5 蒸着室 6 蒸発室 7 開口部 8 開口部 9 シャッター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西森 泰輔 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 岸 泰生 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 近藤 行廣 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 中川 照雄 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 城戸 淳二 山形県米沢市中央2丁目6番6号 サンロ ード米沢中央408 (72)発明者 柳 雄二 新潟県長岡市東高見2丁目2番31号 トッ キ株式会社長岡工場内 (72)発明者 松本 栄一 新潟県長岡市東高見2丁目2番31号 トッ キ株式会社長岡工場内 Fターム(参考) 4K029 CA01 DA01 DB12 DB14 DB15 DB18 EA07

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
    配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
    物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
    源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
    に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
    て、真空チャンバーを筒状体が設けられた蒸着室と、蒸
    発源がセットされる蒸発室とに分割して形成し、蒸着室
    に蒸発室を着脱自在に結合して成ることを特徴とする真
    空蒸着装置。
  2. 【請求項2】 蒸着室の開口部と蒸発室の開口部を接合
    することによって蒸着室に蒸発室を着脱自在に結合し、
    蒸着室の開口部と蒸発室の開口部のうち、少なくとも蒸
    着室の開口部に、内部の気密を保つシャッターを設けて
    成ることを特徴とする請求項1に記載の真空蒸着装置。
  3. 【請求項3】 複数の蒸発室を一列に配置して設け、各
    蒸発室を蒸着室と結合する位置に移動自在にして成るこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載の真空蒸着装置。
  4. 【請求項4】 複数の蒸発室を蒸着室を中心にして放射
    状に配置して設け、各蒸発室を蒸着室と結合する位置に
    移動自在にして成ることを特徴とする請求項1又は2に
    記載の真空蒸着装置。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の真空
    蒸着装置を用い、蒸着室に蒸発室を結合し、蒸発室にセ
    ットされた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して
    被蒸着体の表面に到達させることによって、被蒸着体の
    表面に蒸着を行なうことを特徴とする真空蒸着方法。
  6. 【請求項6】 請求項3に記載の真空蒸着装置を用い、
    一列に配置された複数の蒸発室を移動させて、蒸着室に
    順次蒸発室を結合し、各蒸発室内にセットされた蒸発源
    から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面に
    到達させることによって、被蒸着体の表面に蒸着を行な
    うことを特徴とする真空蒸着方法。
  7. 【請求項7】 請求項4に記載の真空蒸着装置を用い、
    蒸着室を中心にして放射状に配置された複数の蒸発室を
    順次移動させて蒸着室に結合し、各蒸発室内にセットさ
    れた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着
    体の表面に到達させることによって、被蒸着体の表面に
    蒸着を行なうことを特徴とする真空蒸着方法。
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