JP2003129224A

JP2003129224A - 真空蒸着装置及び真空蒸着方法

Info

Publication number: JP2003129224A
Application number: JP2001329675A
Authority: JP
Inventors: Taisuke Nishimori; 泰輔西森; Yasuo Kishi; 泰生岸; Yukihiro Kondo; 行廣近藤; Teruo Nakagawa; 照雄中川; Junji Kido; 淳二城戸; Yuji Yanagi; 雄二柳; Eiichi Matsumoto; 栄一松本
Original assignee: Tokki Corp; Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd; Canon Tokki Corp
Priority date: 2001-10-26
Filing date: 2001-10-26
Publication date: 2003-05-08
Anticipated expiration: 2021-10-26
Also published as: JP3662874B2

Abstract

(57)【要約】【課題】蒸発源のセット、補充、取り換え等の作業が
容易になり、さらに生産性を高めることができる真空蒸
着装置を提供する。【解決手段】真空チャンバー１内に蒸発源２と被蒸着
体３を配置すると共に蒸発源２と被蒸着体３の間の空間
を蒸発源２の物質が気化される温度で加熱された筒状体
４で囲み、蒸発源２から気化した物質を筒状体４内を通
して被蒸着体３の表面に到達させて蒸着させるようにし
た真空蒸着装置に関する。このものにおいて、真空チャ
ンバー１を筒状体４が設けられた蒸着室５と、蒸発源２
がセットされる蒸発室６とに分割し、蒸着室５に蒸発室
６を着脱自在に結合するようにしてある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空雰囲気中で蒸
発源を蒸発させると共に被蒸着体に蒸発物質を蒸着させ
るようにした真空蒸着装置及び真空蒸着方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸
発源と被蒸着体とを配置し、真空チャンバー内を減圧し
た状態で、蒸発源を加熱して、蒸発源を溶融させて蒸発
させるか、もしくは蒸発源を昇華させるかして、気化さ
せ、この気化させた物質を被蒸着体の表面に堆積させて
蒸着するようにしたものである。そして加熱されて蒸発
源から発生する気化物質は蒸発源から法線方向に直進的
に放出されるが、放出空間は真空に保たれているため気
化物質は直進し、蒸発源と対向して配置される被蒸着体
の表面に付着して蒸着されるものである。

【０００３】しかしこのように気化物質は蒸発源から法
線方向に直進的に放出されるので、被蒸着体へ向かって
進行しない気化物質が多く、このように被蒸着体へ向か
って進行しない気化物質は被蒸着体の表面に付着しなも
のであり、蒸発源の歩留まりが低くなると共に被蒸着体
の表面への蒸着速度が遅くなるという問題があった。そ
こで、特開平４−４５２５９号公報や特開平９−２７２
７０３号公報などに開示されているように、真空チャン
バー内に配置した蒸発源と被蒸着体が対向する空間を筒
状体で囲むと共に筒状体を蒸発源の物質が気化される温
度で加熱し、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通し
て被蒸着体の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置
が提案されている。

【０００４】図６はその一例を示すものであり、真空チ
ャンバー１内に上下に開口する筒状体４が配設してあ
り、筒状体４にはヒーター１１が巻いてあって筒状体４
を加熱できるようにしてある。この筒状体４の下端の開
口１２に面して蒸発源２が配置してあり、ヒーター１３
で加熱して蒸発源２を気化させることができるようにし
てある。筒状体４の上端の開口１４の上方には被蒸着体
３が配置してあり、この開口１４はシャッター１５によ
って開閉できるようにしてある。１６は被蒸着体３を加
熱するためのヒーターである。

【０００５】このものにあって、真空チャンバー１内を
減圧すると共に蒸発源２を加熱して気化させ、そしてシ
ャッター１５を開くと、蒸発源２から気化した物質が筒
状体４内を飛翔して通過し、筒状体４の上端の開口１４
を通って被蒸着体３の表面に付着し、被蒸着体３にこの
気化物質を堆積させて蒸着を行なうことができるもので
ある。そしてこのものでは、蒸発源２と被蒸着体３が対
向する空間が筒状体４で囲まれているので、蒸発源２か
ら発生する気化物質を筒状体４内に囲った状態で、この
気化物質を筒状体４の内面で反射させながら被蒸着体３
の方向へ進ませることができ、蒸発源２から発生する気
化物質の多くを被蒸着体３の表面に到達させることがで
きるものであり、被蒸着体３に付着せずに逃げる量を少
なくして歩留まり高く蒸着を行なうことができるもので
ある。また筒状体４はヒーター１１で加熱されており、
気化物質が筒状体４の内面に付着しても再加熱されて再
気化し、この再気化した物質は被蒸着体３に到達して蒸
着層を形成するものであり、筒状体４に気化物質が堆積
して歩留まりを低下させるようなことはないものであ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように蒸発源２
と被蒸着体３の間の空間を加熱された筒状体４で囲むこ
とによって、歩留まり高く蒸着を行なうことができるも
のであるが、蒸発源２は真空チャンバー１の下部内にお
いて高温に加熱された筒状体４の下側に配置されている
ので、蒸発源２をセットする作業や、蒸発源２を補充し
たり取り換えたりする作業が困難であるという問題があ
った。また蒸発源を補充したり取り換えたりする際に
は、減圧状態にある真空チャンバー１内をいったん大気
圧まで戻し、蒸発源を補充したり取り換えたりした後、
さらに再度真空チャンバー１内を減圧する必要があり、
生産性が非常に悪くなるという問題もあった。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、蒸発源のセット、補充、取り換え等の作業が容易
になり、さらに生産性を高めることができる真空蒸着装
置及び真空蒸着方法を提供することを目的とするもので
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
真空蒸着装置は、真空チャンバー１内に蒸発源２と被蒸
着体３を配置すると共に蒸発源２と被蒸着体３の間の空
間を蒸発源２の物質が気化される温度で加熱された筒状
体４で囲み、蒸発源２から気化した物質を筒状体４内を
通して被蒸着体３の表面に到達させて蒸着させるように
した真空蒸着装置において、真空チャンバー１を筒状体
４が設けられた蒸着室５と、蒸発源２がセットされる蒸
発室６とに分割して形成し、蒸着室５に蒸発室６を着脱
自在に結合して成ることを特徴とするものである。

【０００９】また請求項２の発明は、請求項１におい
て、蒸着室５の開口部７と蒸発室６の開口部８を接合す
ることによって蒸着室５に蒸発室６を着脱自在に結合
し、蒸着室５の開口部７と蒸発室６の開口部８のうち、
少なくとも蒸着室５の開口部７に、内部の気密を保つシ
ャッター９を設けて成ることを特徴とするものである。

【００１０】また請求項３の発明は、請求項１又は２に
おいて、複数の蒸発室６を一列に配置して設け、各蒸発
室６を蒸着室５と結合する位置に移動自在にして成るこ
とを特徴とするものである。

【００１１】また請求項４の発明は、請求項１又は２に
おいて、複数の蒸発室６を蒸着室５を中心にして放射状
に配置して設け、各蒸発室６を蒸着室５と結合する位置
に移動自在にして成ることを特徴とするものである。

【００１２】本発明の請求項５に係る真空蒸着方法は、
請求項１乃至４のいずれかに記載の真空蒸着装置を用
い、蒸着室５に蒸発室６を結合し、蒸発室６にセットさ
れた蒸発源２から気化した物質を筒状体４内を通して被
蒸着体３の表面に到達させることによって、被蒸着体３
の表面に蒸着を行なうことを特徴とするものである。

【００１３】また本発明の請求項５に係る真空蒸着方法
は、請求項３に記載の真空蒸着装置を用い、一列に配置
された複数の蒸発室６を移動させて、蒸着室５に順次蒸
発室６を結合し、各蒸発室６内にセットされた蒸発源２
から気化した物質を筒状体４内を通して被蒸着体３の表
面に到達させることによって、被蒸着体３の表面に蒸着
を行なうことを特徴とするものである。

【００１４】また本発明の請求項５に係る真空蒸着方法
は、請求項４に記載の真空蒸着装置を用い、蒸着室５を
中心にして放射状に配置された複数の蒸発室６を順次移
動させて蒸着室５に結合し、各蒸発室６内にセットされ
た蒸発源２から気化した物質を筒状体４内を通して被蒸
着体３の表面に到達させることによって、被蒸着体３の
表面に蒸着を行なうことを特徴とするものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００１６】図１は本発明の実施の形態の一例を示すも
のであり、真空チャンバー１は上部の蒸着室５と下部の
蒸発室６とに上下に分割してある。蒸着室５は下面を開
口部７として開口させて形成されるものであり、蒸着室
５にはその側面に設けた排気口１８にゲートバルブ１９
を介して真空ポンプ２０が接続してある。また蒸着室５
には筒状体４が配設してある。この筒状体４の外周には
シーズヒーターなどのヒーター２１が巻き付けてあり、
ヒーター２１に接続した電源２２から給電してヒーター
２１を発熱させることによって、筒状体４を加熱するこ
とができるようにしてある。筒状体４は円筒形や角筒形
など任意の断面形状に形成されるものであるが、筒状体
４の下端の内周には鍔片２７が延出してあってその内縁
に小径の開口１２が形成してあり、筒状体４の上端の開
口１４は筒状体４の内周全面に亘る大径に形成してあ
る。

【００１７】また、蒸発室６は上面を開口部８として開
口させて形成されるものであり、蒸発室６には蒸発源加
熱具２３が設けてある。この蒸発源加熱具２３内にはヒ
ーター２４と温度センサー２５が設けてあり、ヒーター
２４に接続した電源２６から給電してヒーター２４を発
熱させることによって蒸発源加熱具２３を加熱すると共
に、温度センサー２５で検出される温度によってヒータ
ー２４の発熱を制御することができるようにしてある。

【００１８】一方、本発明において蒸発源２としては任
意のものを用いることができるものであり、例えば有機
エレクトロルミネッセンス材料などの有機材料を用いる
ことができる。そして真空蒸着を行なうにあたっては、
まず被蒸着体３を筒状体４の上端の開口１４に対面させ
てセットしておき、図１（ｂ）に示すように、蒸発室６
を蒸着室５から分離した状態で、蒸発源２を蒸発源加熱
具２３の上に充填してセットする。次に蒸着室５の開口
部７に蒸発室６の開口部８を合致させながら蒸着室５の
下面に蒸発室６を接合させることによって、図１（ａ）
のように蒸着室５に蒸発室６を結合させる。このとき、
開口部７，８を囲むように蒸着室５と蒸発室６の間にＯ
リングなどのパッキン３２を介在させることによって、
蒸着室５と蒸発室６は開口部７，８によって気密的に連
通して真空チャンバー１が形成されるようになってい
る。またこのように蒸着室５に蒸発室６を結合させる
と、筒状体４の下端の開口１２の直下位置に蒸発源加熱
具２３にセットした蒸発源２が配置されるようになって
いる。

【００１９】次に、真空ポンプ２０を作動させて真空チ
ャンバー１内を真空状態に減圧し、ヒーター２４を発熱
させて蒸発源２を加熱すると共にヒーター２１によって
筒状体４を加熱する。この筒状体４の加熱温度は、蒸発
源２から気化した物質が筒状体４に付着しても再度蒸発
等して気化し、筒状体４の表面に堆積しない温度に設定
されるものである。そしてこのように真空チャンバー１
内を減圧して蒸発源２を加熱すると、蒸発源２は溶融・
蒸発、あるいは昇華して気化し、蒸発源２から発生する
この気化物質３１は下端の開口１２から筒状体４に導入
され、筒状体４内を直進する。気化物質３１が進む蒸発
源２と被蒸着体３の間の空間は筒状体４で囲まれてお
り、気化物質３１は筒状体４内に閉じ込められた状態に
あるので、図１に示すように気化物質３１は筒状体４の
内面で反射して上端の開口１４へ向けて進み、筒状体４
の上端の開口１４から出て、開口１４に対面して配置さ
れた被蒸着体３の表面に到達し、被蒸着体３の表面に気
化物質３１を堆積させて蒸着させることができるもので
ある。

【００２０】このように、蒸発源２から発生した気化物
質３１は筒状体４内で規制されているので、気化物質３
１が四方八方へ飛散することを防ぐことができるもので
あり、蒸発源２から発生する気化物質３１の多くを基板
３の表面に到達させて付着させることができるものであ
る。従って蒸発源２から発生する気化物質３１の多くが
被蒸着体３の表面に付着して成膜に寄与することになっ
て無効材料が少なくなり、蒸発源２の材料利用効率が高
くなって歩留まりの高い蒸着が可能になると共に、被蒸
着体３の表面の成膜速度を速くすることができるもので
ある。また、筒状体４は加熱されていてホットウォール
になっているために、気化物質３１が筒状体４の表面に
付着しても、付着物は筒状体４で再加熱されて気化する
ようになっているものであり、このように筒状体４から
再気化した気化物質３１は上記と同様にして被蒸着体３
の表面に蒸着されるものである。従って筒状体４に気化
物質３１が堆積して蒸着に使用されなくなることを防ぐ
ことができ、蒸着の歩留まりが低下するようなことはな
いものである。

【００２１】次に、上記のように真空蒸着を終えた後
に、次の真空蒸着のために蒸発源２を蒸発源加熱具２３
にセットしたり、真空蒸着の途中で蒸発源加熱具２３に
蒸発源２を補充したり取り換えたりする際には、まず、
減圧状態にある真空チャンバー１内を大気圧に戻し、図
１（ｂ）に示すように蒸着室５から蒸発室６を分離す
る。このように蒸着室５から蒸発室６を分離することに
よって、蒸発源加熱具２３の上方をオープンにすること
ができ、高温の筒状体４が邪魔になったりすることな
く、蒸発源２のセット、補充、取り換えを容易に行なう
ことができるものである。このように蒸発源２のセッ
ト、補充、取り換えを行なった後、上記の図１（ａ）の
ように蒸着室５に蒸発室６を結合させることによって、
次の真空蒸着を行なうことができるものである。

【００２２】図２は本発明の実施の形態の他の一例を示
すものであり、蒸着室５の下面の開口部７にシャッター
９が設けてあり、シャッター９によって開口部７を開閉
することができるようにしてある。また蒸発室６に昇降
シリンダー３３が設けてありこの昇降シリンダー３３の
ロッド３４に蒸発源加熱具２３を取り付けることによっ
て、蒸発源加熱具２３を昇降させることができるように
してある。その他の構成は図１のものと同じである。

【００２３】この装置で真空蒸着を行なうにあたって
は、まず被蒸着体３を筒状体４の上端の開口１４に対面
させてセットしておくと共に蒸発源加熱具２３に蒸発源
２を充填してセットしておき、蒸着室５の開口部７に蒸
発室６の開口部８を合致させて蒸着室５の下面にパッキ
ン３２を介して蒸発室６を結合させる。そして蒸着室５
のシャッター９を開いて開口部７を開口させ、昇降シリ
ンダー３３を作動させて蒸発源加熱具２３を上昇させる
ことによって、図２（ａ）のように開口部７，８を通し
て蒸発源加熱具２３を蒸発室６から蒸着室５内に移動さ
せ、筒状体４の下端の開口１２の直下位置に蒸発源２を
配置させる。次に、真空ポンプ２０を作動させて蒸着室
５と蒸発室６が連通して形成される真空チャンバー１内
を真空状態に減圧し、ヒーター２４を発熱させて蒸発源
２を加熱すると共にヒーター２１によって筒状体４を加
熱することによって、既述と同様にして被蒸着体３に真
空蒸着を行なうことができるものである。

【００２４】次に、上記のように真空蒸着を行なう途中
で蒸発源加熱具２３に蒸発源２を補充したり取り換えた
りする際には、まず、昇降シリンダー３３を作動させて
蒸発源加熱具２３を下降させ、蒸発源加熱具２３を蒸着
室５内から後退させて蒸発室６内に移動させる。次にシ
ャッター９を閉じて蒸着室５の開口部７を密閉させた
後、図２（ｂ）のように蒸着室５から蒸発室６を分離す
る。このように蒸着室５から蒸発室６を分離して蒸発源
加熱具２３の上方をオープンにした状態で、高温の筒状
体４が邪魔になったりすることなく、蒸発源２の補充や
取り換えを容易に行なうことができるものである。また
この蒸発源２の補充や取り換えを行なっている際に、蒸
着室５の開口部７はシャッター９で密閉されているの
で、蒸発室５内の減圧状態は保持されている。このよう
にして蒸発源２の補充や取り換えを行なった後、再度蒸
着室５に蒸発室６を結合させ、そして蒸着室５のシャッ
ター９を開いて開口部７を開口させ、昇降シリンダー３
３を作動させて蒸発源加熱具２３を上昇させることによ
って、図２（ａ）のように開口部７，８を通して蒸発源
加熱具２３を蒸発室６から蒸着室５内に移動させる。次
に、真空ポンプ２０を作動させて蒸着室５と蒸発室６が
連通して形成される真空チャンバー１内を減圧するが、
蒸着室５は減圧状態を保たれており、蒸発室６の室内の
空気を排出するだけでよいので、真空操作は短時間で済
む。そして、ヒーター２４を発熱させて蒸発源２を加熱
すると共にヒーター２１によって筒状体４を加熱するこ
とによって、真空蒸着を継続して行なうことができるも
のである。

【００２５】図３は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、このものでは蒸発室６の上面の開
口部８にもシャッター９を設けてあり、シャッター９に
よって開口部８を開閉することができるようにしてあ
る。また蒸発室６にゲートバルブ３５を介して真空ポン
プ３６が接続してある。その他の構成は図２のものと同
じである。

【００２６】この装置で真空蒸着を行なうにあたって
は、まず被蒸着体３を筒状体４の上端の開口１４に対面
させてセットしておくと共に蒸発源加熱具２３に蒸発源
２を充填してセットしておき、蒸着室５の開口部７に蒸
発室６の開口部８を合致させて蒸着室５の下面にパッキ
ン３２を介して蒸発室６を結合させる。そして蒸着室５
のシャッター９を開いて開口部７を開口させると共に蒸
発室６のシャッター９を開いて開口部８を開口させ、昇
降シリンダー３３を作動させて蒸発源加熱具２３を上昇
させることによって、図３（ａ）のように開口部７，８
を通して蒸発源加熱具２３を蒸発室６から蒸着室５内に
移動させ、筒状体４の下端の開口１２の直下位置に蒸発
源２を配置させる。次に、真空ポンプ２０を作動させて
蒸着室５と蒸発室６が連通して形成される真空チャンバ
ー１内を真空状態に減圧し、ヒーター２４を発熱させて
蒸発源２を加熱すると共にヒーター２１によって筒状体
４を加熱することによって、既述と同様にして被蒸着体
３に真空蒸着を行なうことができる。

【００２７】次に、上記のように真空蒸着を行なう途中
で蒸発源加熱具２３に蒸発源２を補充したり取り換えた
りする際には、まず、昇降シリンダー３３を作動させて
蒸発源加熱具２３を下降させ、蒸発源加熱具２３を蒸着
室５内から後退させて蒸発室６内に移動させる。次に蒸
着室５のシャッター９を閉じて開口部７を密閉させた
後、図３（ｂ）のように蒸着室５から蒸発室６を分離す
る。このように蒸着室５から蒸発室６を分離して蒸発源
加熱具２３の上方をオープンにした状態で、高温の筒状
体４が邪魔になったりすることなく、蒸発源２の補充や
取り換えを容易に行なうことができる。またこの蒸発源
２の補充や取り換えを行なっている際に、蒸着室５の開
口部７はシャッター９で密閉されているので、蒸着室５
内の減圧状態は保持されている。

【００２８】このようにして蒸発源２の補充や取り換え
を行なった後、蒸発室６のシャッター９を閉じて開口部
８を密閉し、真空ポンプ３６を作動させて蒸発室６内を
真空状態に減圧する。次に、再度蒸着室５に蒸発室６を
結合させ、そして蒸着室５のシャッター９を開いて開口
部７を開口させると共に蒸発室６のシャッター９を開い
て開口部８を開口させ、昇降シリンダー３３を作動させ
て蒸発源加熱具２３を上昇させることによって、開口部
７，８を通して蒸発源加熱具２３を蒸発室６から蒸着室
５内に移動させる。このとき、蒸着室５内と蒸発室６内
はそれぞれ減圧され状態に保たれているので、蒸着室５
と蒸発室６が連通して形成される真空チャンバー１内を
再度減圧する必要はない。そして、ヒーター２４を発熱
させて蒸発源２を加熱すると共にヒーター２１によって
筒状体４を加熱することによって、真空蒸着を継続して
行なうことができるものである。

【００２９】図４は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、図１〜図３のように形成される蒸
発室６を一列に複数連接して設けるようにしたものであ
る。この一列に連接した複数の蒸発室６は蒸着室５の下
側に配置してあり、連接方向に移動自在にしてある。図
４の実施の形態では三つの蒸発室６を連接してあるが、
二つの蒸発室６を連接するようにしても、四つ以上の蒸
発室６を連接するようにしてもいずれでもよい。そして
例えば図４（ａ）のように中央の蒸発室６ａを蒸着室５
と結合する位置に移動させることによって、この蒸発室
６ａにセットした蒸発源２を用いて真空蒸着を行なうこ
とができ、次に図４（ｂ）のように左側へ移動させて右
端の蒸発室６ｂを蒸着室５と結合する位置に移動させる
ことによって、この蒸発室６ｂにセットした蒸発源２を
用いて真空蒸着を行なうことができ、次に図４（ｃ）の
ように右側へ移動させて左端の蒸発室６ｃを蒸着室５と
結合する位置に移動させることによって、この蒸発室６
ｃにセットした蒸発源２を用いて真空蒸着を行なうこと
ができるものである。このようにして、真空蒸着を各蒸
着室６の蒸発源２で連続して行なうことができると共
に、一つの蒸発室６を蒸着室５に結合させて真空蒸着を
行なっている間に、他の蒸発室６に蒸発源２をセットし
たり、補充したり、交換したりすることができ、蒸発源
２のセット、補充、交換のために蒸着を中断する必要が
なくなって、真空蒸着の生産性を高めることができるも
のである。

【００３０】図５は本発明の実施の形態のさらに他の一
例を示すものであり、図１〜図３のように形成される蒸
発室６を蒸着室５を中心として放射状配置して複数設け
るようにしたものである。この放射状に配置した複数の
蒸発室６は蒸着室５よりも下側に配設してあり、図５の
実施の形態では四つ蒸発室６を設けてあるが、その個数
は制限されるものではない。また各蒸発室６は、蒸着室
５の下面に結合する直下位置と、蒸着室５の側方に退避
する位置との間で移動自在になっている。そして一つの
蒸発室６を蒸着室５の直下に移動させて蒸着室５に結合
させることによって、この蒸発室６にセットした蒸発源
２を用いて真空蒸着を行なうことができ、次にこの蒸発
室６を退避する位置に後退させた後に、他の蒸発室６を
蒸着室５の直下に移動させて蒸着室５に結合させること
によって、この蒸発室６にセットした蒸発源２を用いて
真空蒸着を行なうことができるものであり、以下同様に
して各蒸発室５を順次移動させて蒸着室６に結合させる
ことによって、各蒸着室６の蒸発源２で連続して真空蒸
着を行なうことができるものである。またこのように一
つの蒸発室６を蒸着室５に結合させて真空蒸着を行なっ
ている間に、退避位置にある他の蒸発室６に蒸発源２を
セットしたり、補充したり、交換したりすることがで
き、蒸発源２のセット、補充、交換のために蒸着を中断
する必要がなくなって、真空蒸着の生産性を高めること
ができるものである。

【００３１】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１に係る真
空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
て、真空チャンバーを筒状体が設けられた蒸着室と、蒸
発源がセットされる蒸発室とに分割して形成し、蒸着室
に蒸発室を着脱自在に結合するようにしたので、蒸着室
から蒸発室を分離することによって、高温の筒状体が邪
魔になったりすることなく蒸発室に蒸発源をセットした
り、補充したり、取り換えたりすることができるもので
あり、蒸発源のセット、補充、取り換えを容易に行なう
ことができるものである。

【００３２】また請求項２の発明は、蒸着室の開口部と
蒸発室の開口部を接合することによって蒸着室に蒸発室
を着脱自在に結合し、蒸着室の開口部と蒸発室の開口部
のうち、少なくとも蒸着室の開口部に、内部の気密を保
つシャッターを設けるようにしたので、蒸着室から分離
した蒸発室に蒸発源をセット等する際にシャッターを閉
じて蒸着室内の減圧状態を保持することができるもので
あり、真空蒸着を再開する際に真空チャンバー内の減圧
を不要にしたり減圧時間を短縮したりすることができ、
生産性を高めることができるものである。

【００３３】また請求項３の発明は、複数の蒸発室を一
列に配置して設け、各蒸発室を蒸着室と結合する位置に
移動自在にしたので、真空蒸着を各蒸着室の蒸発源で連
続して行なうことができると共に、一つの蒸発室で真空
蒸着を行なっている間に他の蒸発室に蒸発源をセット等
をすることができ、真空蒸着の生産性を高めることがで
きるものである。

【００３４】また請求項４の発明は、複数の蒸発室を蒸
着室を中心にして放射状に配置して設け、各蒸発室を蒸
着室と結合する位置に移動自在にしたので、真空蒸着を
各蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができると共
に、一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に他の蒸
発室に蒸発源をセット等をすることができ、真空蒸着の
生産性を高めることができるものである。

【００３５】本発明の請求項５に係る真空蒸着方法は、
請求項１乃至４のいずれかに記載の真空蒸着装置を用
い、蒸着室に蒸発室を結合し、蒸発室にセットされた蒸
発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表
面に到達させることによって、被蒸着体の表面に蒸着を
行なうようにしたので、蒸着室から蒸発室を分離するこ
とによって、高温の筒状体が邪魔になったりすることな
く蒸発室に蒸発源をセットしたり、補充したり、取り換
えたりすることができるものであり、蒸発源のセット、
補充、取り換えを容易に行なうことができるものであ
る。

【００３６】また請求項６の発明は、請求項３に記載の
真空蒸着装置を用い、一列に配置された複数の蒸発室を
移動させて、蒸着室に順次蒸発室を結合し、各蒸発室内
にセットされた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通
して被蒸着体の表面に到達させることによって、被蒸着
体の表面に蒸着を行なうようにしたので、真空蒸着を各
蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができると共に、
一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に他の蒸発室
に蒸発源をセット等をすることができ、真空蒸着の生産
性を高めることができるものである。

【００３７】また請求項７の発明は、請求項４に記載の
真空蒸着装置を用い、蒸着室を中心にして放射状に配置
された複数の蒸発室を順次移動させて蒸着室に結合し、
各蒸発室内にセットされた蒸発源から気化した物質を筒
状体内を通して被蒸着体の表面に到達させることによっ
て、被蒸着体の表面に蒸着を行なうようにしたので、真
空蒸着を各蒸着室の蒸発源で連続して行なうことができ
ると共に、一つの蒸発室で真空蒸着を行なっている間に
他の蒸発室に蒸発源をセット等をすることができ、真空
蒸着の生産性を高めることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、
（ａ），（ｂ）はそれぞれ断面図である。

【図２】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、（ａ），（ｂ）はそれぞれ断面図である。

【図３】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、（ａ），（ｂ）はそれぞれ断面図である。

【図４】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、（ａ），（ｂ），（ｃ）はぞれぞれ概略正面図であ
る。

【図５】本発明の実施の形態の他の一例を示す概略斜視
図である。

【図６】従来の一例を示す断面図である。

【符号の説明】

１真空チャンバー２蒸発源３被蒸着体４筒状体５蒸着室６蒸発室７開口部８開口部９シャッター

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者西森泰輔大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者岸泰生大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者近藤行廣大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者中川照雄大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (72)発明者城戸淳二山形県米沢市中央２丁目６番６号サンロード米沢中央408 (72)発明者柳雄二新潟県長岡市東高見２丁目２番31号トッキ株式会社長岡工場内 (72)発明者松本栄一新潟県長岡市東高見２丁目２番31号トッキ株式会社長岡工場内Ｆターム(参考） 4K029 CA01 DA01 DB12 DB14 DB15 DB18 EA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
て、真空チャンバーを筒状体が設けられた蒸着室と、蒸
発源がセットされる蒸発室とに分割して形成し、蒸着室
に蒸発室を着脱自在に結合して成ることを特徴とする真
空蒸着装置。
【請求項２】蒸着室の開口部と蒸発室の開口部を接合
することによって蒸着室に蒸発室を着脱自在に結合し、
蒸着室の開口部と蒸発室の開口部のうち、少なくとも蒸
着室の開口部に、内部の気密を保つシャッターを設けて
成ることを特徴とする請求項１に記載の真空蒸着装置。
【請求項３】複数の蒸発室を一列に配置して設け、各
蒸発室を蒸着室と結合する位置に移動自在にして成るこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載の真空蒸着装置。
【請求項４】複数の蒸発室を蒸着室を中心にして放射
状に配置して設け、各蒸発室を蒸着室と結合する位置に
移動自在にして成ることを特徴とする請求項１又は２に
記載の真空蒸着装置。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の真空
蒸着装置を用い、蒸着室に蒸発室を結合し、蒸発室にセ
ットされた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して
被蒸着体の表面に到達させることによって、被蒸着体の
表面に蒸着を行なうことを特徴とする真空蒸着方法。
【請求項６】請求項３に記載の真空蒸着装置を用い、
一列に配置された複数の蒸発室を移動させて、蒸着室に
順次蒸発室を結合し、各蒸発室内にセットされた蒸発源
から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面に
到達させることによって、被蒸着体の表面に蒸着を行な
うことを特徴とする真空蒸着方法。
【請求項７】請求項４に記載の真空蒸着装置を用い、
蒸着室を中心にして放射状に配置された複数の蒸発室を
順次移動させて蒸着室に結合し、各蒸発室内にセットさ
れた蒸発源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着
体の表面に到達させることによって、被蒸着体の表面に
蒸着を行なうことを特徴とする真空蒸着方法。