JP2003129231A - 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 均一な膜厚で被蒸着体に蒸着を行なうことが
でき、場合によっては意図的に膜厚分布を設定して蒸着
を行なうことができる蒸着装置を提供する。 【解決手段】 真空チャンバー１内に蒸発源２と被蒸着
体３を配置すると共に蒸発源２と被蒸着体３の間の空間
を蒸発源２の物質が気化される温度で加熱された筒状体
４で囲み、蒸発源２から気化した物質を筒状体４内を通
して被蒸着体３の表面に到達させて蒸着させるようにし
た真空蒸着装置に関する。そして、筒状体４内での上記
の気化物質３１の被蒸着体３の側への移動を誘導して制
御する制御部材８を筒状体４内に設ける。被蒸着体３へ
の気化物質３１の付着の分布を制御部材８で制御するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空雰囲気中で蒸
発源を蒸発させると共に被蒸着体に蒸発物質を蒸着させ
るようにした真空蒸着装置及び真空蒸着方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸
発源と被蒸着体とを配置し、真空チャンバー内を減圧し
た状態で、蒸発源を加熱して、蒸発源を溶融させて蒸発
させるか、もしくは蒸発源を昇華させるかして、気化さ
せ、この気化させた物質を被蒸着体の表面に堆積させて
蒸着するようにしたものである。そして加熱されて蒸発
源から発生する気化物質は蒸発源から法線方向に直進的
に放出されるが、放出空間は真空に保たれているため気
化物質は直進し、蒸発源と対向して配置される被蒸着体
の表面に付着して蒸着されるものである。

【０００３】しかしこのように気化物質は蒸発源から法
線方向に直進的に放出されるので、被蒸着体へ向かって
進行しない気化物質が多く、このように被蒸着体へ向か
って進行しない気化物質は被蒸着体の表面に付着しなも
のであり、蒸発源の歩留まりが低くなると共に被蒸着体
の表面への蒸着速度が遅くなるという問題があった。そ
こで、特開平４−４５２５９号公報や特開平９−２７２
７０３号公報などに開示されているように、真空チャン
バー内に配置した蒸発源と被蒸着体が対向する空間を筒
状体で囲むと共に筒状体を蒸発源の物質が気化される温
度で加熱し、蒸発源から気化した物質を筒状体内を通し
て被蒸着体の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置
が提案されている。

【０００４】図９はその一例を示すものであり、真空チ
ャンバー１内に上下に開口する筒状体４が配設してあ
り、筒状体４にはヒーター１１が巻いてあって筒状体４
を加熱できるようにしてある。この筒状体４の下端の開
口部１２に面して蒸発源２が配置してあり、ヒーター１
３で加熱して蒸発源２を気化させることができるように
してある。筒状体４の上端の開口部１４の上方には被蒸
着体３が配置してあり、この開口部１４はシャッター１
５によって開閉できるようにしてある。１６は被蒸着体
３を加熱するためのヒーターである。

【０００５】このものにあって、真空チャンバー１内を
減圧すると共に蒸発源２を加熱して気化させ、そしてシ
ャッター１５を開くと、蒸発源２から気化した物質が筒
状体４内を飛翔して通過し、筒状体４の上端の開口部１
４を通って被蒸着体３の表面に付着し、被蒸着体３にこ
の気化物質を堆積させて蒸着を行なうことができるもの
である。そしてこのものでは、蒸発源２と被蒸着体３が
対向する空間が筒状体４で囲まれているので、蒸発源２
から発生する気化物質を筒状体４内に囲った状態で、こ
の気化物質を筒状体４の内面で反射させながら被蒸着体
３の方向へ進ませることができ、蒸発源２から発生する
気化物質の多くを被蒸着体３の表面に到達させることが
できるものであり、被蒸着体３に付着せずに逃げる量を
少なくして歩留まり高く蒸着を行なうことができるもの
である。また筒状体４はヒーター１１で加熱されてお
り、気化物質が筒状体４の内面に付着しても再加熱され
て再気化し、この再気化した物質は被蒸着体３に到達し
て蒸着層を形成するものであり、筒状体４に気化物質が
堆積して歩留まりを低下させるようなことはないもので
ある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、蒸発源
２と被蒸着体３の間の空間を加熱された筒状体４で囲む
ことによって、歩留まり高く蒸着を行なうことができる
ものであるが、気化物質は一箇所の蒸発源２から法線方
向に直進的に放出されるので、被蒸着体３の中央部と端
部とでは蒸着物質の堆積量が異なり、蒸着の膜厚が不均
一になり易いという問題があった。すなわち、蒸発源２
から被蒸着体３の中央部までの距離より、蒸発源２から
被蒸着体３の端部までの距離のほうが長いので、蒸発源
２からの距離が近い被蒸着体３の中央部では蒸着物質の
堆積量が多く、蒸発源２からの距離が長い被蒸着体３の
端部では蒸着物質の堆積量が少なくなるのである。特に
蒸発源２と被蒸着体３の間の空間を加熱された筒状体４
で囲む場合、筒状体４の内周に付着した蒸着物質は再蒸
発して放出されるので、筒状体４の設計の如何によって
は蒸着の膜厚の不均一がより大きくなるおそれがあるも
のであった。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、均一な膜厚で被蒸着体に蒸着を行なうことがで
き、場合によっては意図的に膜厚分布を設定して蒸着を
行なうことができる蒸着装置及び蒸着方法を提供するこ
とを目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
蒸着装置は、真空チャンバー１内に蒸発源２と被蒸着体
３を配置すると共に蒸発源２と被蒸着体３の間の空間を
蒸発源２の物質が気化される温度で加熱された筒状体４
で囲み、蒸発源２から気化した物質３１を筒状体４内を
通して被蒸着体３の表面に到達させて蒸着させるように
した真空蒸着装置において、筒状体４内での上記の気化
物質３１の被蒸着体３の側への移動を誘導して制御する
制御部材８を筒状体４内に設けて成ることを特徴とする
ものである。

【０００９】また請求項２の発明は、請求項１におい
て、制御部材８を気化物質３１が通過する貫通孔９を複
数設けた板材１０で形成すると共にこの板材１０を筒状
体４の内周を閉じるように配置して成ることを特徴とす
るものである。

【００１０】また請求項３の発明は、請求項２におい
て、板材１０の所定箇所で疎に、他の所定箇所で密に分
布させて貫通孔９を板材１０に複数設けて制御部材８を
形成して成ることを特徴とするものである。

【００１１】また請求項４の発明は、請求項１乃至３の
いずれかにおいて、被蒸着体３の蒸着する表面の曲面形
状に対応する曲面形状に制御部材８を形成して成ること
を特徴とするものである。

【００１２】また請求項５の発明は、請求項１乃至４の
いずれかにおいて、被蒸着体３の蒸着する表面と略平行
になるように制御部材８を配置して成ることを特徴とす
るものである。

【００１３】また請求項６の発明は、請求項１乃至５の
いずれかにおいて、制御部材８を蒸発源２の物質が気化
される温度で加熱して成ることを特徴とするものであ
る。

【００１４】また請求項７の発明は、請求項１乃至６の
いずれかにおいて、筒状体４を略直角に屈曲した形状に
形成して筒状体４の一端の開口部５を略水平方向に開口
させ、被蒸着体３をこの開口部５に対面させて配置して
成ることを特徴とするものである。

【００１５】また請求項８の発明は、請求項１乃至６の
いずれかにおいて、略直角に屈曲した一対の筒状体４を
その一端の開口部５同士を対向させて配設し、被蒸着体
３をこの対向する開口部５間に配置して成ることを特徴
とするものである。

【００１６】また請求項９の発明は、請求項１乃至６の
いずれかにおいて、筒状体４を略１８０度の角度で屈曲
した形状に形成して一端の開口部５を下方に開口させ、
被蒸着体３をこの開口部５に対面させて配置して成るこ
とを特徴とするものである。

【００１７】また請求項１０の発明は、請求項１乃至９
のいずれかにおいて、被蒸着体３として凹部６を有する
ものを用い、筒状体４の一端の開口部５をこの凹部６に
差し込まれる形状に形成して成ることを特徴とするもの
である。

【００１８】本発明の請求項１１に係る真空蒸着方法
は、上記の請求項１乃至１０のいずれかに記載の真空蒸
着装置を用い、被蒸着体３を筒状体４の開口部５に対面
させて配置し、蒸発源２から気化した物質３１を筒状体
４内の制御部材８を通して筒状体４の開口部５から被蒸
着体３の表面に到達させることによって、被蒸着体３の
表面に蒸着を行なうことを特徴とするものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。

【００２０】図１は本発明の実施の形態の一例を示すも
のであり、真空チャンバー１の側面に設けた排気口１８
にゲートバルブ１９を介して真空ポンプ２０が接続して
ある。真空チャンバー１内には筒状体４が配設してあ
る。筒状体４の外周にはシーズヒーターなどのヒーター
２１が巻き付けてあり、ヒーター２１に接続した電源２
２から給電してヒーター２１を発熱させることによっ
て、筒状体４を加熱することができるようにしてある。

【００２１】また真空チャンバー１の下部内において、
筒状体４の下側に蒸発源加熱具２３が配設してある。蒸
発源加熱具２３内にはヒーター２４と温度センサー２５
が設けてあり、ヒーター２４に接続した電源２６から給
電してヒーター２４を発熱させることによって蒸発源加
熱具２３を加熱すると共に、温度センサー２５で検出さ
れる温度によってヒーター２４の発熱を制御することが
できるようにしてある。

【００２２】上記の筒状体４は円筒形や角筒形など任意
の断面形状に形成されるが、図１の実施の形態では直筒
として形成してある。筒状体４の下端の内周には鍔片２
７が延出してあってその内縁に開口部７が小さい径で開
口するように形成してあり、この開口部７の直下の位置
において蒸発源加熱具２３に蒸発源２がセットされるよ
うにしてある。また筒状体４の上端の開口部５は筒状体
４の内周全面に亘って大きく開口するようにしてある。

【００２３】また、筒状体４の上部内には制御部材８が
設けてある。図１の実施の形態では制御部材８として複
数箇所に貫通孔９を設けた板材１０で形成したものを用
いるようにしてあり、板材１０の外周を筒状体４の内周
の全周に亘って接合して、筒状体４の内周を板材１０で
閉じるように配置してある。

【００２４】一方、本発明において蒸発源２としては任
意のものを用いることができるものであり、例えば有機
エレクトロルミネッセンス材料などの有機材料を用いる
ことができる。そして蒸着を行なうにあたっては、蒸発
源２を蒸発源加熱具２３の上に充填して筒状体４の下端
の開口部７の直下位置にセットすると共に、被蒸着体３
を筒状体４の上端の開口部７に対面させて水平にセット
する。次に、真空ポンプ２０を作動させて真空チャンバ
ー１内を真空状態に減圧し、ヒーター２４を発熱させて
蒸発源２を加熱すると共にヒーター２１によって筒状体
４を加熱する。筒状体４の加熱温度は、蒸発源２から気
化した物質が筒状体４に付着しても再度蒸発等して気化
し、筒状体４の表面に堆積しない温度に設定されるもの
である。

【００２５】上記のように真空チャンバー１内を減圧し
て蒸発源２を加熱すると、蒸発源２は溶融・蒸発、ある
いは昇華して気化し、蒸発源２から発生するこの気化物
質３１は下端の開口部７から筒状体４に導入され、筒状
体４内を直進する。気化物質３１が進む蒸発源２と被蒸
着体３の間の空間は筒状体４で囲まれており、気化物質
３１は筒状体４内に閉じ込められた状態にあるので、図
１に示すように気化物質３１は筒状体４の内面で反射し
て上端の開口部５へ向けて進む。このとき、筒状体４内
は制御部材８を構成する板材１０で塞がれているので、
筒状体４内の気化物質３１は板材１０に設けた貫通孔９
を通過した後に、筒状体４の上端の開口部５から出て、
開口部５に対面して配置された被蒸着体３の表面に到達
し、被蒸着体３の表面に気化物質３１を堆積させて蒸着
させることができるものである。このように、気化物質
３１は板材１０の複数箇所の貫通孔９を通過して被蒸着
体３へと進むものであり、複数箇所の各貫通孔９の部分
から誘導されて気化物質３１は被蒸着体３に到達するこ
とになる。従って、一箇所の蒸発源２から気化物質３１
を被蒸着体３に到達させる場合よりも、均一な分布で被
蒸着体３に気化物質３１を到達させることができ、均一
な分布で気化物質３１を被蒸着体３に付着させて、均一
な膜厚で被蒸着体３に蒸着を行なうことができるもので
ある。

【００２６】ここで、筒状体４として内壁の一辺が１２
０ｍｍ、高さ２８０ｍｍの正方形の角筒を用いると共に
加熱温度を２００℃に設定し、蒸発源２としてトリス
（８−ヒドロキシキノリナート）アルミニウム錯体
（（株）同仁化学研究所製「Ａｌｑ３」）を用い、蒸発
源２から３００ｍｍの距離に水平にセットした１００ｍ
ｍ×１００ｍｍ×厚み０．７ｍｍのガラス基板からなる
被蒸着体３に真空蒸着する試験を行なった。

【００２７】まず、制御部材８を設けない筒状体４を用
いて試験を行なったところ、図３（ａ）のグラフに
「○」で示す結果が得られた。図３（ａ）のグラフは、
図３（ｂ）に示すように被蒸着体３の蒸着面の中央を
「０」とし、中央から対角線に沿って１０ｍｍずつの点
をプロットすると共に各点における蒸着の膜厚を測定
し、そして被蒸着体３の中央の膜厚を「１．０」として
その比を表示したものである。図３（ａ）のグラフにみ
られるように、制御部材８を設けない筒状体４を用いて
真空蒸着を行なうと、被蒸着体３の中央部では蒸着膜厚
が厚くなると共に被蒸着体３の端部では蒸着膜厚が薄く
なり、膜厚が大きく不均一になるものであった。

【００２８】次に、図２に示すように、一辺が１２０ｍ
ｍの板材１０の周縁部に等間隔の８箇所で直径１０ｍｍ
の貫通孔９を、中央の１箇所に直径５ｍｍの貫通孔９を
それぞれ設けて形成した制御部材８を用い、これを蒸発
源２から２５０ｍｍ、被蒸着体３から５０ｍｍの距離の
位置において筒状体４内に取り付けて、蒸着試験を行な
った。その結果を図３（ａ）のグラフに「●」で示す。
図３（ａ）のグラフにみられるように、制御部材８を設
けた筒状体４を用いて真空蒸着を行なうことによって、
被蒸着体３の中央部や端部で蒸着膜厚の膜厚比はあまり
変わらず、膜厚を均一化することができるものであっ
た。

【００２９】上記の試験にみられるように、被蒸着体３
の蒸着膜厚が厚くなる部分に対応して貫通孔９を疎に分
布させて形成すると共に被蒸着体３の蒸着膜厚が薄くな
る部分に対応して貫通孔９を密に分布させて形成した板
材１０を制御部材８として用いることによって、蒸着の
膜厚を均一化する効果を高く得ることができるものであ
る。また被蒸着体３の所定の箇所に厚い膜厚で、他の所
定の箇所に薄い膜厚で蒸着を行なおうとするときには、
この所定の箇所に対応して貫通孔９を密に分布させると
共に他の所定の箇所に対応して貫通孔９を疎に分布させ
た板材１０を制御部材８として用いることによって、意
図的に膜厚分布を設定して真空蒸着を行なうことができ
るものである。尚、貫通孔９の分布の疎密は、貫通孔９
の個数の他に、大きさ、形状などを変えることによって
も調整することができるものである。

【００３０】そして、上記のように蒸発源２から発生し
た気化物質３１は筒状体４内で規制されており、気化物
質３１が四方八方へ飛散することを防ぐことができるも
のであり、蒸発源２から発生する気化物質３１の多くを
被蒸着体３の表面に到達させて付着させることができる
ものである。従って蒸発源２から発生する気化物質３１
の多くが被蒸着体３の表面に付着して成膜に寄与するこ
とになって無効材料が少なくなり、蒸発源２の材料利用
効率が高くなって歩留まりの高い蒸着が可能になると共
に、被蒸着体３の表面の成膜速度を速くすることができ
るものである。また、筒状体４は加熱されていてホット
ウォールになっているために、気化物質３１が筒状体４
の表面に付着しても、付着物は筒状体４で再加熱されて
気化し、さらに、筒状体４の内周に接して取り付けられ
た板材１０は、筒状体４からの伝熱や輻射熱で加熱され
ており、蒸発源２から気化した物質が板材１０に付着し
ても再度蒸発等して気化するようになっているものであ
り、このように筒状体４や板材１０から再気化した気化
物質３１は上記と同様にして被蒸着体３の表面に蒸着さ
れるものである。従って筒状体４や制御部材８を形成す
る板材１０に気化物質３１が堆積して蒸着に使用されな
くなることを防ぐことができ、蒸着の歩留まりが低下す
るようなことはないものである。尚、板材１０のサイズ
が大きい場合など、筒状体４からの伝熱や輻射熱による
加熱では不十分なときには、板材１０にもヒーターなど
を設けて加熱を行なうようにするのが望ましい。

【００３１】図４は本発明の実施の形態の他の一例を示
すものであり、被蒸着体３としてその蒸着面が曲面を有
する場合、制御部材８を構成する板材１０の形状を被蒸
着体３の曲面に対応する曲面形状を有するように形成し
たものである。例えば図４（ａ）のように被蒸着体３と
してその蒸着面が凹曲面に形成されているときには、被
蒸着体３の側の面が凸曲面となった板材１０を用い、ま
た図４（ｂ）のように被蒸着体３としてその蒸着面が凸
曲面に形成されているときには、被蒸着体３の側の面が
凹曲面となった板材１０を用いるものである。その他の
構成は図１のものと同じである。そして、このように制
御部材８を構成する板材１０の形状を被蒸着体３の曲面
に対応する曲面形状に形成することによって、被蒸着体
３が曲面を有していても、板材１０に設けた各貫通孔９
から均一に被蒸着体３の表面に気化物質３１を到達させ
ることができ、均一な膜厚での真空蒸着が容易になるも
のである。

【００３２】また、筒状体４の開口部５に対面してセッ
トされる被蒸着体３の蒸着面に対して平行になるよう
に、制御部材８を構成する板材１０を筒状体４内に配設
するのが好ましい。このように被蒸着体３の蒸着面と平
行に制御部材８の板材４を配置することによって、板材
１０の各部と被蒸着体４の蒸着面の対向する各部との間
の距離Ｌが図４のように均一になり、均一な膜厚での真
空蒸着が容易になるものである。

【００３３】ここで、上記のように筒状体４を直筒に形
成して開口部５を鉛直上方へ開口させる場合、開口部５
に対面して配置される被蒸着体３は水平姿勢でセットさ
れることになるが、被蒸着体３を水平に配置した姿勢で
セットすると、被蒸着体３の下面は蒸着を施す面である
ので支えることができないために、被蒸着体３の下面は
重力の作用で図９に鎖線で示すように中央部が自重で撓
んで変形するおそれがある。被蒸着体３として薄い板状
のものを用いる場合は、中央部が自重で撓んで下方へ凸
に屈曲する変形が発生し易く、特にサイズが大きい板状
のものはこのような変形が特に大きく発生し易い。そし
てこのように自重で撓んで変形が被蒸着体３に蒸着を行
なうと、被蒸着体３の表面のうち蒸発源２の側に凸にな
っている部分に気化物質が付着し易くなるので、被蒸着
体３の表面に蒸着される膜厚が不均一になり、蒸着の品
質が不安定になるおそれがある。

【００３４】そこで、図５の実施の形態では、筒状体４
を直角に屈曲してＬ形筒として形成してある。このＬ形
に屈曲して形成される筒状体４は下部が鉛直方向を、上
部が水平方向を向くように配設されるものであり、筒状
体４の下端の開口部７は下方に開口し、筒状体４の上端
の開口部５は水平方向に開口するようにしてある。筒状
体４の下端の開口部７の直下の位置において蒸発源加熱
具２３に蒸発源２がセットされるようにしてあり、また
筒状体４の上端の開口部５の近傍内に制御部材８が設け
てあって、この開口部５の開口端面は鉛直面となってい
る。そして被蒸着体３はその表面をこの開口部５に平行
に対面させて配置してセットされるものであり、被蒸着
体３として板状の基板を用いる場合には、被蒸着体３は
鉛直に立てた姿勢で配置されるものである。図５の実施
の形態では、被蒸着体３の上端縁と下端縁（あるいは四
周端縁）を支持体２８で保持することによって、被蒸着
体３を鉛直状態に支持するようにしてある。その他の構
成は図１のものと同じである。

【００３５】そして上記のようにして蒸着を行なうにあ
たって、被蒸着体３は鉛直姿勢で配置されているので、
重力の作用で被蒸着体３が変形することがなくなるもの
であり、筒状体４の開口部５に対面する被蒸着体３の表
面が変形することを防ぐことができる。従って、被蒸着
体３の表面の変形による蒸着の偏りを防いで、被蒸着体
３の表面に蒸着される膜厚を均一化することが容易にな
り、蒸着の品質が安定化するものである。

【００３６】図６の実施の形態では、上記のように直角
に屈曲してＬ形筒として形成した筒状体４を一対用い、
この一対の筒状体４，４をそれぞれ上端の開口部５，５
を所定間隔を隔てて対向させてあり、この状態で一対の
筒状体４，４を真空チャンバー１内に配設するようにし
てある。その他の構成は図１のものと同じであり、一対
の各筒状体４，４の直下にはそれぞれ蒸発源加熱具２３
が配設してある。そして、被蒸着体３はその両側の表面
が各筒状体４，４の開口部５，５に平行に対面するよう
に、筒状体４，４の開口部５，５間に配置してセットさ
れるものである。被蒸着体３として板状の基板を用いる
場合には、被蒸着体３は鉛直に立てた姿勢で配置される
ものであり、被蒸着体３の上端縁と下端縁（あるいは四
周端縁）を支持体２８で保持することによって、被蒸着
体３を鉛直状態に支持するようにしてある。

【００３７】この実施の形態のものにあって、一対の各
筒状体４，４の直下に配設した各蒸発源加熱具２３にそ
れぞれ蒸発源２をセットし、真空チャンバー１内を減圧
して各蒸発源２を加熱すると、蒸発源２から発生する気
化物質３１は下端の開口部７，７から各筒状体４，４に
導入され、さらに各筒状体４，４内をその内面で反射し
ながら通過した後に上端の各開口部５，５から被蒸着体
３の両側の表面にそれぞれ到達して、被蒸着体３の両面
に同時に蒸着を行なうことができるものである。従って
蒸着処理の生産性を高めることができるものであり、ま
た一対の各筒状体４，４にセットされる蒸発源２として
異なるものを用いることによって、被蒸着体３の両面に
異なる蒸着皮膜を形成することが可能になるものであ
る。尚、被蒸着体３として２枚の基板を重ねたものを用
いると、２枚の各基板の表面に同時に蒸着を行なうこと
ができるものである。

【００３８】図７の実施の形態では、筒状体４として１
８０度の角度で逆Ｕ形に屈曲したＵ形筒を用いるように
してある。この逆Ｕ形に屈曲して形成される筒状体４は
両端の開口部５，７がそれぞれ下方を向いて開口するよ
うに真空チャンバー１内に配設されるものである。筒状
体４の一端の内周には鍔片２７が延出してあってその内
縁に開口部７が小さい径で開口するように形成してあ
り、この開口部７の直下の位置において蒸発源加熱具２
３に蒸発源２がセットされるようにしてある。また筒状
体４の他端の開口部５は筒状体４の内周全面に亘って大
きく開口するようにしてあって、その開口端面は水平面
となっており、この開口部５は他端の開口部７よりも下
方に位置するように形成してある。この開口部５の近傍
内に制御部材８が設けてある。そして被蒸着体３はその
上面をこの開口部５に平行に対面させて配置してセット
されるものであり、被蒸着体３として板状の基板を用い
る場合には、被蒸着体３は水平に寝かせた姿勢で配置さ
れるものである。このように蒸着を行なう面を上面にし
て被蒸着体３を水平姿勢で配置することができるので、
被蒸着体３はその下面を支持体２８で保持した状態で支
持することができるものである。その他の構成は図１の
ものと同じである。

【００３９】この実施の形態のものにあって、真空チャ
ンバー１内を減圧して蒸発源２を加熱すると、蒸発源２
から発生する気化物質３１は下端の開口部７から筒状体
４に導入され、さらに筒状体４内をその内面で反射しな
がら通過した後に、開口部５から被蒸着体３の上面に到
達し、被蒸着体３の上面に蒸着を行なうことができるも
のである。ここで、被蒸着体３は下面の全面を支持した
状態で水平に配置されているので、重力の作用で被蒸着
体３が変形することがなくなるものであり、筒状体４の
開口部５に対面する被蒸着体３の表面が変形することを
防ぐことができる。従って、被蒸着体３の表面の変形に
よる蒸着の偏りを防いで、被蒸着体３の表面に蒸着され
る膜厚を均一化することが容易になり、蒸着の品質が安
定化するものである。またこのものでは、蒸発源２のセ
ット位置と被蒸着体３のセット位置を相互に近い場所に
設定することができ、蒸発源２の供給作業と被蒸着体３
の取換え作業を同時に行なうことが可能になるものであ
る。

【００４０】図８は本発明の実施の形態の他の一例を示
すものであり、このものでは、被蒸着体３として凹部６
を有するものを用い、この凹部６内に蒸着を行なうこと
ができるようにしてある。すなわち、筒状体４の先端の
開口部５をこの被蒸着体３の凹部６に差し込むのに適し
た形状に形成してあり、開口部５をこのように形成した
筒状体４を真空チャンバー１内に配設するようにしてあ
る。図８の実施の形態では、筒状体４として図１のよう
に直角に屈曲してＬ形筒として形成したものを用い、筒
状体４の先部を絞って開口部５の径を小さくし、被蒸着
体３の凹部６に差し込むことのできる径に開口部５を形
成してある。制御部材８はこの開口部５の近傍内に設け
てある。その他の構成は図１のものと同じである。

【００４１】この実施の形態のものにあって、凹部６に
筒状体４の開口部５を被挿した状態で被蒸着体３をセッ
トし、真空チャンバー１内を減圧して蒸発源２を加熱す
ると、蒸発源２から発生する気化物質３１は下端の開口
部７から筒状体４に導入され、さらに筒状体４内をその
内面で反射しながら通過した後に、開口部５から放出さ
れ、被蒸着体３の凹部６の内面に到達するものであり、
被蒸着体３の凹部６という蒸着が非常に困難な部位の内
面に蒸着を行なうことができるものである。

【００４２】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１に係る真
空蒸着装置は、真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
て、筒状体内での上記の気化物質の被蒸着体の側への移
動を誘導して制御する制御部材を筒状体内に設けるよう
にしたので、被蒸着体への気化物質の付着の分布を制御
することができ、均一な膜厚で被蒸着体に蒸着を行なう
ことが可能になると共に、場合によっては意図的に膜厚
分布を設定して蒸着を行なうことができるものである。

【００４３】また請求項２の発明は、制御部材を気化物
質が通過する貫通孔を複数設けた板材で形成すると共に
この板材を筒状体の内周を閉じるように配置したので、
筒状体内での気化物質の被蒸着体の側への移動を板材に
設けた貫通孔で誘導して制御することができ、均一な膜
厚で被蒸着体に蒸着を行なうことが可能になると共に、
場合によっては意図的に膜厚分布を設定して蒸着を行な
うことができるものである。

【００４４】また請求項３の発明は、板材の所定部分で
疎に、他の所定部分で密に分布させて貫通孔を板材に複
数設けて制御部材を形成するようにしたので、貫通孔の
疎密の分布で気化物質の誘導を制御することができ、均
一な膜厚で被蒸着体に蒸着を行なうことが可能になると
共に、場合によっては意図的に膜厚分布を設定して蒸着
を行なうことができるものである。

【００４５】また請求項４の発明は、被蒸着体の蒸着す
る表面の曲面形状に対応する曲面形状に制御部材を形成
するようにしたので、被蒸着体が曲面を有していても、
制御部材を通して制御した気化物質を均一に被蒸着体の
表面に到達させることが容易になり、均一な膜厚での真
空蒸着が容易になるものである。

【００４６】また請求項５の発明は、被蒸着体の蒸着す
る表面と略平行になるように制御部材を配置するように
したので、制御部材の各部と被蒸着体の蒸着面の対向す
る各部との間の距離が均一になり、均一な膜厚での真空
蒸着が容易になるものである。

【００４７】また請求項６の発明は、制御部材を蒸発源
の物質が気化される温度で加熱するようにしたので、蒸
発源から気化した物質が板材に付着しても再度気化させ
ることができるものであり、制御部材に気化物質が堆積
して蒸着に使用されなくなることを防ぐことができ、蒸
着の歩留まりが低下することがなくなるものである。

【００４８】また請求項７の発明は、筒状体を略直角に
屈曲した形状に形成して筒状体の一端の開口部を略水平
方向に開口させ、被蒸着体をこの開口部に対面させて配
置するようにしたので、筒状体の開口部に被蒸着体を対
面させて蒸着を行なうにあたって、被蒸着体を鉛直に配
置することができ、重力の作用で被蒸着体が変形するこ
とを防ぐことができるものであり、被蒸着体の変形によ
る蒸着の偏りを低減して、被蒸着体の表面に均一な膜厚
で蒸着を行なうことができるものである。

【００４９】また請求項８の発明は、略直角に屈曲した
一対の筒状体をその一端の開口部同士を対向させて配設
し、被蒸着体をこの対向する開口部間に配置するように
したので、一対の筒状体の各開口部から被蒸着体の両側
の表面に同時に蒸着を行なうことができるものであり、
蒸着処理の生産性を高めることができるものである。

【００５０】また請求項９の発明は、筒状体を略１８０
度の角度で屈曲した形状に形成して一端の開口部を下方
に開口させ、被蒸着体をこの開口部に対面させて配置す
るようにしたので、筒状体の開口部に被蒸着体を対面さ
せて蒸着を行なうにあたって、被蒸着体を下面を支持し
た状態で水平に配置することができ、重力の作用で被蒸
着体が変形することを防ぐことができるものであり、被
蒸着体の変形による蒸着の偏りを低減して、被蒸着体の
表面に均一な膜厚で蒸着を行なうことができるものであ
る。

【００５１】また請求項１０の発明は、被蒸着体として
凹部を有するものを用い、筒状体の一端の開口部をこの
凹部に差し込まれる形状に形成したので、凹部に筒状体
の開口部を差し込んだ状態で被蒸着体をセットして蒸着
を行なうことによって、被蒸着体の凹部という蒸着が非
常に困難な部位の内面に蒸着を容易に行なうことができ
るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示す断面図であ
る。

【図２】同上の制御部材の一例を示す平面図である。

【図３】真空蒸着の試験を示すものであり、（ａ）は試
験結果のグラフ、（ｂ）は試験に用いる被蒸着体を示す
平面図である。

【図４】本発明の実施の形態の他の一例を示すものであ
り、（ａ），（ｂ）はそれぞれ一部の断面図である。

【図５】本発明の実施の形態の他の一例を示す一部の断
面図である。

【図６】本発明の実施の形態の他の一例を示す一部の断
面図である。

【図７】本発明の実施の形態の他の一例を示す一部の断
面図である。

【図８】本発明の実施の形態の他の一例を示す一部の断
面図である。

【図９】従来例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 真空チャンバー ２ 蒸発源 ３ 被蒸着体 ４ 筒状体 ５ 開口部 ６ 凹部 ８ 制御部材 ９ 貫通孔 １０ 板材 ３１ 気化物質

フロントページの続き (72)発明者 西森 泰輔 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 岸 泰生 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 近藤 行廣 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 中川 照雄 大阪府門真市大字門真1048番地 松下電工 株式会社内 (72)発明者 城戸 淳二 山形県米沢市中央２丁目６番６号 サンロ ード米沢中央408 (72)発明者 柳 雄二 新潟県長岡市東高見２丁目２番31号 トッ キ株式会社長岡工場内 (72)発明者 松本 栄一 新潟県長岡市東高見２丁目２番31号 トッ キ株式会社長岡工場内 Ｆターム(参考） 4K029 AA09 BA62 CA01 DA10 DB00 EA07

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバー内に蒸発源と被蒸着体を
   配置すると共に蒸発源と被蒸着体の間の空間を蒸発源の
   物質が気化される温度で加熱された筒状体で囲み、蒸発
   源から気化した物質を筒状体内を通して被蒸着体の表面
   に到達させて蒸着させるようにした真空蒸着装置におい
   て、筒状体内での上記の気化物質の被蒸着体の側への移
   動を誘導して制御する制御部材を筒状体内に設けて成る
   ことを特徴とする真空蒸着装置。
2. 【請求項２】 制御部材を気化物質が通過する貫通孔を
   複数設けた板材で形成すると共にこの板材を筒状体の内
   周を閉じるように配置して成ることを特徴とする請求項
   １に記載の真空蒸着装置。
3. 【請求項３】 板材の所定部分で疎に、他の所定部分で
   密に分布させて貫通孔を板材に複数設けて制御部材を形
   成して成ることを特徴とする請求項２に記載の真空蒸着
   装置。
4. 【請求項４】 被蒸着体の蒸着する表面の曲面形状に対
   応する曲面形状に制御部材を形成して成ることを特徴と
   する請求項１乃至３のいずれかに記載の真空蒸着装置。
5. 【請求項５】 被蒸着体の蒸着する表面と略平行になる
   ように制御部材を配置して成ることを特徴とする請求項
   １乃至４のいずれかに記載の真空蒸着装置。
6. 【請求項６】 制御部材を蒸発源の物質が気化される温
   度で加熱して成ることを特徴とする請求項１乃至５のい
   ずれかに記載の真空蒸着装置。
7. 【請求項７】 筒状体を略直角に屈曲した形状に形成し
   て筒状体の一端の開口部を略水平方向に開口させ、被蒸
   着体をこの開口部に対面させて配置して成ることを特徴
   とする請求項１乃至６のいずれかに記載の真空蒸着装
   置。
8. 【請求項８】 略直角に屈曲した一対の筒状体をその一
   端の開口部同士を対向させて配設し、被蒸着体をこの対
   向する開口部間に配置して成ることを特徴とする請求項
   １乃至６のいずれかに記載の真空蒸着装置。
9. 【請求項９】 筒状体を略１８０度の角度で屈曲した形
   状に形成して一端の開口部を下方に開口させ、被蒸着体
   をこの開口部に対面させて配置して成ることを特徴とす
   る請求項１乃至６のいずれかに記載の真空蒸着装置。
10. 【請求項１０】 被蒸着体として凹部を有するものを用
    い、筒状体の一端の開口部をこの凹部に差しこまれる形
    状に形成して成ることを特徴とする請求項１乃至９のい
    ずれかに記載の真空蒸着装置。
11. 【請求項１１】 請求項１乃至１０のいずれかに記載の
    真空蒸着装置を用い、被蒸着体を筒状体の開口部に対面
    させて配置し、蒸発源から気化した物質を筒状体内の制
    御部材を通して筒状体の開口部から被蒸着体の表面に到
    達させることによって、被蒸着体の表面に蒸着を行なう
    ことを特徴とする真空蒸着方法。