JP2003117793A - 端面研磨方法および端面研磨装置 - Google Patents

端面研磨方法および端面研磨装置

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JP2003117793A
JP2003117793A JP2001308567A JP2001308567A JP2003117793A JP 2003117793 A JP2003117793 A JP 2003117793A JP 2001308567 A JP2001308567 A JP 2001308567A JP 2001308567 A JP2001308567 A JP 2001308567A JP 2003117793 A JP2003117793 A JP 2003117793A
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JP
Japan
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polishing
optical fiber
end surface
boundary line
tip
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JP2001308567A
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Kazumasa Katakura
一政 片倉
Koji Minami
浩二 皆見
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Seiko Instruments Inc
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Seiko Instruments Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバの研磨精度を向上すると共に研磨
時間及び研磨作業を短縮することができる端面研磨方法
を提供する。 【解決手段】 装置本体に支持された研磨盤１２と光フ
ァイバ１を保持する治具３０とを具備し、前記治具３０
に保持された光ファイバ１の先端を前記研磨盤１２に装
着された研磨部材１２ａにより研磨する端面研磨方法に
おいて、前記光ファイバ１の軸と直交する所定方向から
実質的な平行光を照射することにより当該光ファイバ１
の外周面に形成される明暗の境界線７１を観察しながら
該境界線７１を中心軸として研磨を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光接続等に用いら
れる光ファイバの先端面を研磨する端面研磨方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光ファイバ同士を対向接続さ
せる場合には、一方の光ファイバの先端側に設けられて
光ファイバからの光を照射する半導体レーザと、半導体
レーザからの光を平行光とすると共に他方の光ファイバ
に収束させる一対の光学系とを具備する装置によって一
対の光ファイバの光接続を行っている。
【０００３】このような装置では、一対の光ファイバに
対して半導体レーザ及び光学系を高精度に配置しなくて
はならず、配置する位置精度が悪いと損入損失等が大き
くなってしまうという問題がある。
【０００４】このため、一方の光ファイバの先端に半導
体レーザを配置せずに光ファイバの先端をくさび形状に
研磨し、その先端面から半導体レーザによる光と同様の
光の照射を行うようにする方法が提案されている。
【０００５】ここで、先端をくさび形状とした光ファイ
バについて説明する。なお、図６は、光ファイバの斜視
図及び端面方向からの平面図である。
【０００６】図示するように、光ファイバ１は、クラッ
ド２とその中心に設けられたコア３とを具備し、クラッ
ド２がくさび形状に形成されている。また、コア３の設
けられた先端面は、Ｒ形状に突出するように形成されて
いる。
【０００７】このような、先端をくさび形状とした光フ
ァイバ１を用いた場合には、半導体レーザを配置する位
置合わせを行う必要がなく組立工程を簡略化することが
できる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな光ファイバでは、コアの偏心を０．５μｍ以下とし
なくてはならないが、光ファイバの先端の研磨は、研磨
装置によってある程度研磨をした後、光ファイバを研磨
装置から取り外して研磨精度を確認していた。このた
め、光ファイバを再度研磨装置に取り付けて研磨を行っ
ても研磨位置決めが困難であり、取付位置のばらつきに
よって研磨精度が悪化してしまうという問題がある。
【０００９】また、光ファイバを度々取り外すことによ
って、光ファイバに傷が発生したり折れてしまったりと
歩留まりが悪いという問題がある。
【００１０】さらに、取り付け及び取り外しを繰り返し
て研磨精度の確認を行うことで、研磨時間及び研磨作業
が多くなってしまうという問題がある。
【００１１】本発明は、このような事情に鑑み、光ファ
イバの研磨精度を向上すると共に研磨時間及び研磨作業
を短縮することができる端面研磨方法を提供することを
課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、装置本体に支持された研磨盤と光フ
ァイバを保持する治具とを具備し、前記治具に保持され
た光ファイバの先端を前記研磨盤に装着された研磨部材
により研磨する端面研磨方法において、前記光ファイバ
の軸と直交する所定方向から実質的な平行光を照射する
ことにより当該光ファイバの外周面に形成される明暗の
境界線を観察しながら、該境界線を中心軸として研磨を
行うことを特徴とする端面研磨方法にある。
【００１３】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記所定方向を含む面と直交する方向から観察する
ことにより、前記光ファイバの前記平行光の照射方向と
は直交する外周面に前記境界線を観察することを特徴と
する端面研磨方法にある。
【００１４】本発明の第３の態様は、第１の態様におい
て、前記所定方向とは反対側から観察することにより、
前記光ファイバの前記平行光の照射方向とは反対側の外
周面に当該光ファイバを透過して収束された前記境界線
を観察することを特徴とする端面研磨方法にある。
【００１５】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記光ファイバの先端部をエッチング
することにより、前記光ファイバのコアを軸方向に突出
させると共に前記境界線を前記コアの外周に形成して研
磨を行うことを特徴とする端面研磨方法にある。
【００１６】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記光ファイバの先端をくさび形状又
は凸球面形状に研磨することを特徴とする端面研磨方法
にある。
【００１７】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記研磨部材による研磨が研磨液を使
用しないドライ研磨であることを特徴とする端面研磨方
法にある。
【００１８】本発明の第７の態様は、第１〜５の何れか
記載の端面研磨方法において、前記研磨を湿式研磨で行
い、前記観察時に前記端面の研磨液を除去する端面研磨
方法にある。
【００１９】本発明の第８の態様は、第７の研磨方法に
おいて前記研磨液の除去をエアブローで行う端面研磨方
法にある。
【００２０】かかる本発明では、実質的に平行光を照射
することによって、光ファイバの外周面に明暗の境界線
を形成し、この境界線を中心軸として研磨を行うことに
よって、研磨状態の確認のために取り付け及び取り外し
を繰り返す必要がなく高精度に研磨を行うことができ
る。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下に、本発明を実施の形態に基
づいて詳細に説明する。
【００２２】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係る端面研磨装置の正面図及び側面図であり、図２
は、実施形態１に係る治具の斜視図及び一部を切り欠い
た分解斜視図である。
【００２３】図示するように、本発明の端面研磨装置１
０は、回転揺動自在に設けられて研磨部材１２ａの設け
られた研磨盤１２を有する装置本体１１と、光ファイバ
１を保持する治具３０と、この治具３０を研磨盤１２方
向に移動自在に支持する支持機構６０と、光ファイバ１
に実質的な平行光を照射する照射手段７０とを具備す
る。
【００２４】治具３０は、光ファイバ１を保持してその
先端を研磨盤１２に保持された研磨部材１２ａに当接で
きれば特に限定されないが、本実施形態では、図２に示
すように、四角柱状の治具本体３１と、治具本体３１の
後端部に設けられて光ファイバ心線を挿入保持する保持
部材４０と、保持部材４０の外周に設けられた締結部材
５０とを具備する。
【００２５】治具本体３１は、四角柱形状を有し、且つ
長手方向の亘って略中心に光ファイバ１を挿入保持する
光ファイバ挿入孔３２が設けられている。
【００２６】また、治具本体３１の先端部は、光ファイ
バ挿入孔３２が先端で開口するくさび形状に設けられて
いる。
【００２７】ここで、光ファイバ１は、例えば、ガラス
又はプラスチック等からなり、研磨砥石等からなる研磨
部材１２ａは、例えば、酸化セリウム、シリカ、ジルコ
ニア等からなる。このため、少なくとも治具本体３１の
先端部は、研磨部材に当接しても研磨されない材料、例
えば、ジルコニア又はアルミナ等の材料で形成されてい
る。
【００２８】また、治具本体３１の基端部側には、光フ
ァイバ１の外周に被覆を施した光ファイバ心線を挿入保
持する保持部材４０が設けられている。
【００２９】保持部材４０は、軸方向に亘って光ファイ
バ心線を挿通可能な光ファイバ心線挿入孔４１を有する
円筒形状を有し、基端部側の外周には締結部材５０が螺
合している。
【００３０】この保持部材４０の先端部が、治具本体３
１の基端部側に設けられて光ファイバ挿入孔３２の内径
よりも大きな内径を有する嵌合孔３５に嵌合すること
で、光ファイバ挿入孔３２と光ファイバ心線挿入孔４１
とを連通した状態で固定されている。
【００３１】また、保持部材４０の基端部側は、外径が
端部に向かって漸小するテーパ状の絞り部４２となって
おり、この絞り部４２には、軸方向に向かって複数の切
り欠き部４３が設けられている。
【００３２】このような保持部材４０は、切り欠き部４
３の設けられた絞り部４２が光ファイバ心線挿入孔４１
側に弾性変形することにより光ファイバ心線を挟持する
ようになっている。この保持部材４０は、絞り部４２が
弾性変形して光ファイバ心線を挟持できる部材であれ
ば、特に限定されない。
【００３３】また、保持部材４０の基端部側の外周に
は、締結部材５０が螺合するため、締結部材５０と螺合
する雄ねじ４４が切られている。
【００３４】ここで、締結部材５０は、保持部材４０の
外周と略同等の内径を有し、内面に保持部材４０の雄ね
じ４４と螺合する雌ねじ５１の切られた挿通孔５２を有
する円筒形状からなり、挿通孔５２の一端には、挿通孔
５２の内径よりも小さな内径を有する押しつけ部５３が
設けられている。
【００３５】この締結部材５０を保持部材４０の外周に
螺合させることによって、押しつけ部５３は保持部材４
０の絞り部４２の外面に摺接して、絞り部４２を光ファ
イバ心線挿入孔４１側に弾性変形させて光ファイバ心線
を保持するようになっている。
【００３６】このような治具３０では、光ファイバ１を
確実に保持固定して、光ファイバ１の先端を研磨部材１
２ａに摺接させることによって、高精度に研磨すること
ができる。
【００３７】また、このような治具３０を保持する支持
機構６０について説明する。
【００３８】図１に示すように、装置本体１１には、研
磨盤１２に対向する位置に延設された支持部６１を有
し、この支持部６１に研磨盤１２方向に移動自在に設け
られた急速送り用テーブル６２と、この急速送り用テー
ブル６２に保持されて治具３０が光ファイバ１の半径方
向に回転自在に設けられた精密送り用テーブル６３とか
らなる支持機構６０が設けられている。
【００３９】急速送り用テーブル６２は、支持部６１に
設けられた急速送り用ハンドル６４によって研磨盤１２
側に粗動することができる。
【００４０】また、精密送り用テーブル６３は、急速送
り用テーブル６２に対して研磨盤１２の上下方向に移動
自在に保持されており、急速送り用テーブル６２に設け
られたマイクロメータヘッド等からなる調整手段６５に
よって研磨盤１２側に微動できるようになっている。
【００４１】また、精密送り用テーブル６３には、治具
３０の側面が固定された回転部材６６が設けられてい
る。この回転部材６６は、治具３０を研磨盤１２に対し
て光ファイバ１の半径方向に回転移動させるものであ
り、これにより、治具３０に保持された光ファイバ１の
先端に二面からなるくさび形状を形成するために、くさ
び形状のそれぞれの面が研磨部材１２ａに相対向するよ
うに移動することができる。
【００４２】このような精密送り用テーブル６３は、調
整手段６５により研磨盤１２側に押圧されることによ
り、研磨盤１２に光ファイバ１の先端を所定の圧力で押
圧して光ファイバ１の先端を研磨するようになってい
る。
【００４３】また、これらの急速送り用テーブル６２及
び精密送り用テーブル６３によって、治具３０の粗動及
び微動を容易に行うことができるため、治具３０の位置
決め移動を短時間で行うことができると共に光ファイバ
１の先端を研磨盤１２に押圧する圧力の微調整を容易に
行うことができる。
【００４４】一方、照射手段７０は、光ファイバ１の軸
と直交する所定方向から実質的な平行光を照射すること
によって、光ファイバ１の外周面に光の明暗によって境
界線を形成する。
【００４５】詳しくは、光ファイバ１に平行光を一方向
から照射すると、光ファイバ１の外周面の照射方向と直
交する方向に光の明るい領域と陰になる領域との境界線
が形成される。このように形成された境界線は、光ファ
イバ１が高精度な直円で形成されているため、光ファイ
バ１の中心軸として観察することができる。
【００４６】なお、境界線の観察方向は、境界線を光フ
ァイバ１の中心軸として研磨を行う際に位置決め精度を
高精度にするため、平行光の照射方向とは直交する方向
から観察するのが好ましい。
【００４７】また、光ファイバ１の外周面に設けられた
境界線の観察は、光ファイバ１自体が細く目視による観
察が困難であるため、境界線の設けられた光ファイバ１
の先端部の画像を取得するイメージセンサと、イメージ
センサが取得した画像を表示する表示装置とを設け、境
界線を拡大表示させることで、正確な境界線の位置を観
察して高精度に研磨することができる。
【００４８】さらに、光ファイバ１を研磨する際に治具
３０を移動させるが、照射手段７０による平行光が常に
光ファイバ１の軸方向に直交する方向から照射されるよ
うにする必要がある。このため、照射手段７０を複数設
けるか、照射手段７０を治具と共に回転移動させるよう
にすればよい。
【００４９】ここで、このような端面研磨装置の駆動系
の一例について説明する。なお、図３は、実施形態１に
係る端面研磨装置の要部断面図である。
【００５０】図３に示すように、自転用モータ１３の回
転軸には第１自転伝達盤１４の中心部が固結され、この
第１自転伝達盤１４には回転中心を支点とする同心円上
に複数の第１連結ピン１５が固定されている。そして、
この各第１連結ピン１５は対応する各回転伝達盤１６の
偏心部に回転自在に連結され、この各回転伝達盤１６に
は偏心部に第２連結ピン１７が固定されている。各第２
連結ピン１７は第２自転伝達盤１８に回転自在に連結さ
れている。
【００５１】一方、公転用モータ１９の回転軸には駆動
歯車２０の中心部が固結され、この駆動歯車２０には従
動歯車２１がかみ合っている。この従動歯車２１は公転
伝達軸２２の下部外周に固結され、この公転伝達軸２２
の上部外周には装置本体１１の軸受筒部２３が嵌合して
いる。そして、この公転伝達軸２２には回転中心より所
定量偏心した位置に自転用回転軸２４が回転自在に嵌入
し、この自転用回転軸２４の下端部は第２自転伝達盤１
８の中心部に固結されている。
【００５２】また、自転用回転軸２４の上端部は、結合
部材２５を介して研磨盤１２に結合されており、さらに
研磨盤１２の上面部には研磨シート等の研磨部材１２ａ
が取り付けられている。
【００５３】このような端面研磨装置では、図３に示す
ように、まず、公転運動については、公転用モータ１９
を駆動することによって歯車２０，２１を介して公転伝
達軸２２を回転させ、研磨盤１２は、所定偏心量だけ公
転運動する。この場合、公転伝達軸２２の中に自転用回
転軸２４があるが、第１自転伝達盤１４との間に複数の
回転伝達盤１６を配しているので、回転伝達盤１６は公
転伝達軸２２の回転と同じ位相で第１連結ピン１５回り
でそれぞれ回転する。従って、第１自転伝達盤１４が止
まっていても、または回転していても公転伝達軸２２の
回転が規制されることはない。
【００５４】一方、自転運動については、自転用モータ
１３を駆動することによって第１自転伝達盤１４を回転
させるが、第１連結ピン１５は第１自転伝達盤１４の同
心円上にあるので、前述と同じ軌跡を通り、自転用回転
軸２４は所定量偏心しているが、回転伝達盤１６を介し
て連結しているので、第１自転伝達盤１４と同じ回転数
の回転が自転用回転軸２４に伝達される。
【００５５】このようにして公転伝達軸２２及び自転用
回転軸２４の回転運動によって研磨盤１２が回転しなが
ら公転する。
【００５６】一方、この研磨盤１２に対して本実施形態
の多心光ファイバを固定した治具３０は、支持機構６０
によって研磨盤１２方向に移動されて、光ファイバの端
面を研磨盤１２に押しつける。これにより光ファイバの
先端を高精度に研磨することができる。
【００５７】ここで、このような端面研磨装置によって
光ファイバの先端を研磨する研磨方法について詳細に説
明する。なお、図４は、光ファイバの端面研磨方法を示
す要部拡大図である。
【００５８】まず、図４（ａ）に示すように、光ファイ
バ１の先端にくさび形状の一方面を研磨により形成す
る。
【００５９】詳しくは、光ファイバ１を固定した治具３
０を支持機構６０により移動させて研磨盤１２に当接さ
せることにより研磨を行う。
【００６０】このとき、照射手段７０によって光ファイ
バ１に平行光を照射して、光ファイバの外周面に中心軸
となる明暗の境界線７１を形成することで、この境界線
７１を基準として研磨を行うことができる。このため、
光ファイバ１の先端にくさび形状の一方面を高精度に形
成することができる。
【００６１】次いで、図４（ｂ）に示すように、治具３
０を回転させることにより、光ファイバ１の先端面にく
さび形状の他方面を形成する。
【００６２】このときも、上述した一方面の研磨と同様
に、照射手段７０によって光ファイバ１に平行光を照射
して、光ファイバ１の外周面に中心軸となる明暗の境界
線７１を形成することで、この境界線７１を基準として
研磨を行うことができる。このため、光ファイバの先端
にくさび形状の他方面を高精度に形成することができ
る。これにより、従来技術で説明したくさび形状の光フ
ァイバ１を形成することができる。
【００６３】このように、照射手段７０によって光ファ
イバ１の外周面に明暗の境界線７１を形成し、この境界
線７１を中心軸として研磨加工を行うようにしたため、
一連の研磨工程中に治具３０から光ファイバ１を取り外
すことなく、光ファイバ１の先端をくさび形状に容易に
且つ高精度に形成することができる。このため、取り付
け及び取り外しを繰り返すことによる精度ずれや研磨面
に傷等が発生するのを防止して高精度に研磨することが
できると共に研磨工程を簡略化して研磨時間を短縮する
ことができる。
【００６４】（実施形態２）上述した実施形態１では、
照射手段７０によって光ファイバ１に平行光を照射し
て、光ファイバ１の外周面の照射方向とは直交する方向
に境界線７０を形成するようにしたが、実施形態２で
は、照射手段による平行光及び境界線の観測できる領域
を変えた例である。
【００６５】図５は、光ファイバの研磨方法を示す要部
拡大図である。
【００６６】図５に示すように、本実施形態の照射手段
７０Ａは光ファイバ１の軸と直交する方向から照射さ
れ、この照射された光を光ファイバ１内で収束させて光
ファイバの外周面の平行光が照射された面とは反対側の
面に境界線７１Ａを形成する。
【００６７】すなわち、照射手段７０Ａは、平行光が光
ファイバ１内で反対側の面に収束して境界線７１Ａが形
成できるように、平行光を照射するようになっている。
【００６８】このように形成される境界線７１Ａは、平
行光の照射される面とは反対側の面から観察して光ファ
イバ１の中心軸として研磨を行うことができる。
【００６９】このように、光ファイバ１の外周面に形成
される境界線７１Ａとしても、中心軸とすることができ
るため、上述した実施形態１と同様に、境界線７１Ａを
基準として研磨加工を高精度に行うことができると共に
研磨時間を短縮することができる。
【００７０】なお、本実施形態では、照射手段７０Ａが
照射した平行光を光ファイバの外周面の中心軸に収束し
た境界線７１Ａとしたが、これに限定されず、例えば、
収束する境界線の位置が所望量ずれるように平行光の照
射方向を設定することもできる。
【００７１】（他の実施形態）以上、本発明の実施形態
１及び２を説明したが、端面研磨方法は上述したものに
限定されるものではない。
【００７２】上述した実施形態１及び２では、光ファイ
バ１の先端をくさび形状となるように研磨加工する端面
研磨方法を例示したが、例えば、凸球面形状等、特に限
定されるものではなく、光ファイバ１の先端がどのよう
な形状であっても、光ファイバの外周面に中心軸となる
境界線７１又は７１Ａを設けることで高精度な研磨加工
を行うことができる。
【００７３】また、上述した実施形態１及び２では、ク
ラッド２の外周面に形成された境界線７１又は７１Ａを
中心軸として、この中心軸を基準として研磨を行うよう
にしたが、これに限定されず、例えば、研磨加工前に光
ファイバの先端をエッチングすることにより、コア３を
所定量突出させて、コア３の外周に形成された境界線７
１又は７１Ａを中心軸として研磨加工を行うようにして
もよい。
【００７４】さらに、上述した実施形態１及び２では、
端面研磨装置１０の駆動系として公転伝達軸２２内の所
定量偏心した位置に自転用回転軸２４を設けるようにし
たが、例えば、自転用回転軸内に公転伝達軸を配置する
ような端面研磨装置としてもよく、端面研磨装置は特に
限定されるものではない。
【００７５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の端面研磨
方法によれば、光ファイバの軸方向とは直交する方向か
ら実質的な平行光を照射することにより、光ファイバの
外周面に明暗の境界線を形成し、この境界線を中心軸と
して光ファイバの研磨加工を行うことによって、研磨精
度を向上して研磨作業を短縮することができる。また、
光ファイバの研磨状態の確認を治具から取り外すことな
く行うことができるため、取り付け及び取り外しを繰り
返すことによって光ファイバの先端面に傷を付けたり光
ファイバ自体が折れるのを確実に防止することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１に係る端面研磨装置の正面
図及び側面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る治具の斜視図及び一
部を切り欠いた分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る端面研磨装置の駆動
系を示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る光ファイバの端面研
磨方法を示す要部拡大図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る光ファイバの研磨方
法を示す要部拡大図である。
【図６】従来技術に係る光ファイバの斜視図及び端面側
からの平面図である。
【符号の説明】
１ 光ファイバ ２ クラッド ３ コア １０ 端面研磨装置 １１ 装置本体 ３０ 治具 ３１ 治具本体 ４０ 保持部材 ５０ 締結部材 ６０ 支持機構 ７０、７０Ａ 照射手段 ７１、７１Ａ 境界線
【手続補正書】
【提出日】平成１４年９月２７日（２００２．９．２
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 端面研磨方法および端面研磨装
置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 装置本体に支持された研磨盤と光ファイ
    バを保持する治具とを具備し、前記治具に保持された光
    ファイバの先端を前記研磨盤に装着された研磨部材によ
    り研磨する端面研磨方法において、 前記光ファイバの軸と直交する所定方向から実質的な平
    行光を照射することにより当該光ファイバの外周面に形
    成される明暗の境界線を観察しながら、該境界線を中心
    軸として研磨を行うことを特徴とする端面研磨方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の端面研磨方法において、
    前記所定方向を含む面と直交する方向から観察すること
    により、前記光ファイバの前記平行光の照射方向とは直
    交する外周面に前記境界線を観察することを特徴とする
    端面研磨方法。
  3. 【請求項３】 請求項１記載の端面研磨方法において、
    前記所定方向とは反対側から観察することにより、前記
    光ファイバの前記平行光の照射方向とは反対側の外周面
    に当該光ファイバを透過して収束された前記境界線を観
    察することを特徴とする端面研磨方法。
  4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れか記載の端面研磨方
    法において、前記光ファイバの先端部をエッチングする
    ことにより、前記光ファイバのコアを軸方向に突出させ
    ると共に前記境界線を前記コアの外周に形成して研磨を
    行うことを特徴とする端面研磨方法。
  5. 【請求項５】 請求項１〜４の何れか記載の端面研磨方
    法において、前記光ファイバの先端をくさび形状又は凸
    球面形状に研磨することを特徴とする端面研磨方法。
  6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れか記載の端面研磨方
    法において、前記研磨部材による研磨が研磨液を使用し
    ないドライ研磨であることを特徴とする端面研磨方法。
  7. 【請求項７】 請求項１〜５の何れか記載の端面研磨方
    法において、前記研磨を湿式研磨で行い、前記観察時に
    前記端面の研磨液を除去する端面研磨方法。
  8. 【請求項８】 前記研磨液の除去をエアブローで行う請
    求項７記載の端面研磨方法。
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