JP2003100367A - 導電性接着剤、この接着剤を用いた回路基板間の接続方法および回路基板間の接続構造 - Google Patents

導電性接着剤、この接着剤を用いた回路基板間の接続方法および回路基板間の接続構造

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JP2003100367A
JP2003100367A JP2001287542A JP2001287542A JP2003100367A JP 2003100367 A JP2003100367 A JP 2003100367A JP 2001287542 A JP2001287542 A JP 2001287542A JP 2001287542 A JP2001287542 A JP 2001287542A JP 2003100367 A JP2003100367 A JP 2003100367A
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Kazumi Nonoyama
和美 野々山
Yoshitaro Yazaki
芳太郎 矢▲崎▼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の回路基板の対向する電極間の接続の信
頼性低下を防止できる導電性接着剤、この接着剤を用い
た回路基板間の接続方法および回路基板間の接続構造を
提供すること。 【解決手段】 プリント基板2の電極22を形成した面
に銀と錫との合金粒子11を含む導電性接着剤10を塗
布((a)に図示)した後、フレキシブルプリント基板
3を電極32が電極22に対向するように積層し
((b)に図示)、上下両面から加熱プレスして電極2
2と電極32とを合金粒子11により接続する((c)
に図示)。このとき(d)に示すように合金粒子11中
の錫成分と電極22、32の銅とは相互に固相拡散して
固相拡散層52、53を形成し、電極22、32間を、
接触導通によらない信頼性の高い接合により電気的接続
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板間接続用
の導電性接着剤、およびそれを用いた回路基板間の接続
方法と回路基板間の接続構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、例えば、回路基板であるリジ
ッドプリント基板と回路基板であるフレキシブルプリン
ト基板とを接続し、リジッドプリント基板に形成された
電極とフレキシブルプリント基板に形成された電極とを
電気的に接続する技術として、所謂異方性導電接着剤と
呼ばれる導電性接着剤を用いるものが知られている。
【0003】この技術は、リジッドプリント基板の電極
とフレキシブルプリント基板の電極との間に、絶縁性接
着剤中に金属粒子を分散した導電性接着剤を配置した
後、加圧しつつ加熱することによって、金属粒子を両電
極に圧着した状態で絶縁性接着剤を硬化させ、対向する
リジッドプリント基板の電極とフレキシブルプリント基
板の電極との間を、各電極と金属粒子との接触導通によ
り電気的接続を行なうものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、リジッドプリント基板の電極とフレキシ
ブルプリント基板の電極との間の電気的接続は、対向す
る両電極間に配置された導電性接着剤の金属粒子と両電
極との接触導通により行なわれる。
【0005】従って、車載用途等の厳しい温度条件下で
使用されるプリント基板等の回路基板間においては、電
極間接続抵抗値が変化し易い。例えば、高温環境下にお
いては、絶縁性接着剤の膨張により電極と金属粒子との
接触抵抗値が大きくなり、電極間接続の信頼性低下に繋
がるという問題がある。
【0006】本発明は上記点に鑑みてなされたもので、
複数の回路基板の対向する電極間の接続の信頼性低下を
防止できる導電性接着剤、この接着剤を用いた回路基板
間の接続方法および回路基板間の接続構造を提供するこ
とを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明では、金属粒子(11)が絶
縁性接着剤(12)に分散されており、複数の回路基板
(2、3)の対向する電極(22、32)間を電気的に
接続する導電性接着剤(10)であって、金属粒子(1
1)は、電極(22、32)間を接続する際の加熱温度
より高い融点を有するとともに、電極(22、32)を
形成する金属と合金を形成し得る金属を含有する導電性
接着剤であることを特徴としている。
【0008】これによると、電極(22、32)間の接
続時に、電極(22、32)を形成する金属と、この金
属と合金を形成し得る金属粒子(11)中の金属成分と
を相互に固相拡散して、電極(22、32)と金属粒子
(11)とを接続することが可能である。従って、電極
(22、32)間の電気的接続が接触導通により行なわ
れることはないので、電極(22、32)間接続抵抗値
は変化し難い。このようにして、電極(22、32)間
接続の信頼性低下を防止できる。
【0009】また、請求項2に記載の発明のように、金
属粒子(11)に含有される前記合金を形成し得る金属
は、錫、亜鉛、アルミニウム、ニッケルから選ばれる少
なくとも1つの金属とすることができる。
【0010】また、請求項3に記載の発明のように、金
属粒子(11)に含有される前記合金を形成し得る金属
は、錫であり、金属粒子(11)は、錫と銀との合金か
らなる粒子とすることができる。
【0011】また、請求項4に記載の発明では、請求項
3に記載の発明において、金属粒子(11)は、錫を2
0〜25重量%含有することを特徴としている。
【0012】これによると、金属粒子(11)中の錫成
分と電極(22、32)を形成する金属とを確実に固相
拡散することができる。従って、電極(22、32)間
接続の信頼性低下を確実に防止できる。
【0013】また、請求項5に記載の発明では、第1の
電極(22)が形成された第1の回路基板(2)と、第
2の電極(32)が形成された第2の回路基板(3)と
を、第1の電極(22)と第2の電極(32)とが対向
するように積層する積層工程と、金属粒子(11)を絶
縁性接着剤(12)に分散した導電性接着剤(10)
を、第1の電極(22)と第2の電極(32)との間に
配置する配置工程と、積層工程および配置工程の後に、
積層体の両面から加圧しつつ加熱して、第1の電極(2
2)と第2の電極(32)とを電気的に接続する接続工
程とを備え、配置工程において配置する導電性接着剤
(10)に含まれる金属粒子(11)は、接続工程の加
熱温度より高い融点を有するとともに、第1の電極(2
2)を形成する金属および第2の電極(32)を形成す
る金属と合金を形成し得る金属を含有し、接続工程にお
いては、金属粒子(11)中の前記合金を形成し得る金
属と第1の電極(22)を形成する金属とを相互に固相
拡散するとともに、金属粒子(11)中の前記合金を形
成し得る金属と第2の電極(32)を形成する金属とを
相互に固相拡散する回路基板間の接続方法であることを
特徴としている。
【0014】これによると、接続工程において、第1の
電極(22)を形成する金属および第2の電極(32)
を形成する金属と、これらの金属と合金を形成し得る金
属粒子(11)中の金属成分とをそれぞれ相互に固相拡
散して、第1の電極(22)および第2の電極(32)
と金属粒子(11)とを接続することができる。従っ
て、両電極(22、32)間の電気的接続が接触導通に
より行なわれることはないので、電極(22、32)間
接続抵抗値は変化し難い。このようにして、電極(2
2、32)間接続の信頼性低下を防止できる。
【0015】また、請求項6に記載の発明のように、金
属粒子(11)に含有される前記合金を形成し得る金属
は、錫、亜鉛、アルミニウム、ニッケルから選ばれる少
なくとも1つの金属とすることができる。
【0016】また、請求項7に記載の発明のように、金
属粒子(11)に含有される前記合金を形成し得る金属
は、錫であり、金属粒子(11)は、錫と銀との合金か
らなる粒子とすることができる。
【0017】また、請求項8に記載の発明では、請求項
7に記載の発明において、金属粒子(11)は、錫を2
0〜25重量%含有することを特徴としている。
【0018】これによると、金属粒子(11)中の錫成
分と両電極(22、32)を形成する金属とを確実に固
相拡散することができる。従って、電極(22、32)
間接続の信頼性低下を確実に防止できる。
【0019】また、請求項9に記載の発明では、第1の
電極(22)が形成された第1の回路基板(2)と第2
の電極(32)が形成された第2の回路基板(3)と
を、絶縁性接着剤(12)中に第1の電極(22)を形
成する金属および第2の電極(32)を形成する金属と
合金を形成し得る金属を含有する金属粒子(11)を分
散した導電性接着剤(10)で接続した回路基板間の接
続構造であって、第1の電極(22)と第2の電極(3
2)との間に金属粒子(11)が挟持され、第1の電極
(22)を形成する金属と金属粒子(11)中の前記合
金を形成し得る金属とが相互に固相拡散して形成された
第1の固相拡散層(52)と、第2の電極(32)を形
成する金属と金属粒子(11)中の前記合金を形成し得
る金属とが相互に固相拡散して形成された第2の固相拡
散層(53)とを介し、第1の電極(22)と第2の電
極(32)との間を金属粒子(11)により電気的に接
続している回路基板間の接続構造であることを特徴とし
ている。
【0020】これによると、第1の電極(22)と第2
の電極(32)とは、金属粒子(11)、第1の固相拡
散層(52)および第2の固相拡散層(53)により電
気的に接続される。従って、電極(22、32)間の電
気的接続が接触導通により行なわれることはないので、
電極(22、32)間接続抵抗値は変化し難い。このよ
うにして、電極(22、32)間接続の信頼性低下を防
止できる。
【0021】また、請求項10に記載の発明のように、
金属粒子(11)中の前記合金を形成し得る金属は、
錫、亜鉛、アルミニウム、ニッケルから選ばれる少なく
とも1つの金属とすることができる。
【0022】また、請求項11に記載の発明のように、
金属粒子(11)中の前記合金を形成し得る金属は、錫
であり、金属粒子(11)は、錫と銀との合金からなる
粒子とすることができる。
【0023】また、請求項12に記載の発明では、請求
項11に記載の発明において、金属粒子(11)は、錫
を20〜25重量%含有することを特徴としている。
【0024】これによると、金属粒子(11)中の錫成
分と、第1の電極(22)を形成する金属および第2の
電極(32)を形成する金属とをそれぞれ確実に固相拡
散し、第1の固相拡散層(52)および第2の固相拡散
層(53)を確実に形成することができる。従って、電
極(22、32)間接続の信頼性低下を確実に防止でき
る。
【0025】なお、上記各手段に付した括弧内の符号
は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を
示す。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
基づいて説明する。
【0027】図1は、本実施形態における回路基板の概
略の接続構成を示す斜視図である。
【0028】図1において、1は、ディスプレイ装置の
表示部であるガラスパネルであり、2は、ガラスパネル
1内の図示しない表示素子を駆動するための駆動回路を
備えるガラスエポキシ基材からなるリジッドタイプのプ
リント基板である。また3は、ガラスパネル1内の配線
とプリント基板2内の配線とを接続するための接続配線
を備えるフレキシブルプリント基板である。
【0029】なお、図1において、ガラスパネル1、プ
リント基板2およびフレキシブルプリント基板3の配線
や素子等の図示は省略している。
【0030】図1において、プリント基板2とフレキシ
ブルプリント基板3との接続部に本発明を適用してお
り、プリント基板2が本実施形態における第1の回路基
板であり、フレキシブルプリント基板3が本実施形態に
おける第2の回路基板である。
【0031】図2は、図1に示すA部について、回路基
板間の接続方法を示す概略の工程別断面図およびその要
部拡大図である。
【0032】図2(a)に示すように、プリント基板2
は、前述したように周知のガラスエポキシ材からなる絶
縁基材23の表面に、導体箔(本例では銅箔)をエッチ
ングによりパターン形成した配線の一部として外部と接
続するための電極22を備えている。電極22は、本実
施形態における第1の電極である。
【0033】そして、まず、図2(a)に示すように、
プリント基板2の電極22が形成された部分の表面に導
電性接着剤10を塗布する。
【0034】導電性接着剤10は、平均粒径10μmの
銀と錫との合金粒子11(本実施形態における金属粒
子)をエポキシ系接着剤12(本実施形態における絶縁
性接着剤)に加え遊星攪拌機によって攪拌し、エポキシ
系接着剤12中に合金粒子11を均一分散したものであ
る。なお、本実施形態における導電性接着剤10への合
金粒子11の配合量は10重量%である。また、合金粒
子11の銀と錫の合金組成は重量比で3:1(すなわち
錫が25重量%)である。
【0035】また、本例のエポキシ系接着剤12は、液
状のエポキシ樹脂からなる重合成分とイミダゾール系硬
化剤とからなる熱硬化タイプの接着剤である。なお、合
金粒子11は、上記の合金組成を有する合金材料を、例
えば溶融アトマイズ法、粉砕法等により微粉化して形成
したものである。
【0036】導電性接着剤10は、ディスペンサによ
り、電極22が形成された表面に、複数の電極22を覆
うように、幅約1mm、厚さ約100μmに塗布した。
導電性接着剤10の塗布は、本例ではディスペンサを用
いたが、印刷法等の他の方法を用いることも可能であ
る。
【0037】また、本例では、導電性接着剤10に添加
する合金粒子11として、平均粒径10μmの銀錫合金
粒子を用いたが、合金粒子11の平均粒径は1〜50μ
mであることが好ましい。平均粒径が1μm未満では、
後述する接続工程において、合金粒子が電極表面の微小
な凹部に入り込んだ場合に、合金粒子に充分な圧力を加
えることができず、確実な電極との接続を行なうことが
難しい。また、平均粒径が50μmを超えるような場合
には、隣接する電極22間の絶縁性を確保することが難
しくなる。
【0038】さらに、本例では、導電性接着剤10に1
0重量%の合金粒子11を配合したが、配合量は、0.
5〜20重量%であることが好ましい。配合量が0.5
重量%未満の場合には、合金粒子数が少なくなり、後述
する電極間接続を確実に行なうことが難しい。また、配
合量が20重量%を超えるような場合には、隣接する電
極22間の絶縁性を確保することが難しくなる。
【0039】また、本例では、合金粒子の銀と錫の合金
組成は重量比で3:1であったが3:1〜4:1であれ
ことが好ましい。すなわち錫が20〜25重量%である
ことが好ましい。錫が20重量%未満であると後述する
接続工程において電極を形成する銅との固相拡散層が形
成され難く、電極間接続を確実に行なうことが難しい。
また、錫が25重量%を超えるような場合には、後述す
る接続工程において、合金粒子11から錫が液相状態と
なって流れ易く、隣接する電極22間の絶縁性を確保す
ることが難しくなる。
【0040】プリント基板2の電極22が形成された部
分の表面への導電性接着剤10の塗布が完了すると、図
2(b)に示すように、プリント基板2の上方側に、フ
レキシブルプリント基板3を積層する。
【0041】フレキシブルプリント基板3は、ポリイミ
ド樹脂等からなる絶縁基材である樹脂フィルム33の表
面に、導体箔(本例では銅箔)をエッチングによりパタ
ーン形成した配線の一部として外部と接続するための電
極32を備えている。電極32は、本実施形態における
第2の電極である。
【0042】そして、図2(b)に示すように、プリン
ト基板2の電極22と、この電極22に後述する接続工
程で接続されるフレキシブルプリント基板3の電極32
とが対向するように積層する。
【0043】図2(b)に示すようにプリント基板2お
よびフレキシブルプリント基板3を積層したら、これら
の積層部分の上下両面から加熱プレス機により加熱しな
がら加圧する。本例では、210℃の温度に加熱し3M
Paの圧力で30分間加圧した。
【0044】これにより、図2(c)に示すように、プ
リント基板2およびフレキシブルプリント基板3相互が
接着される。絶縁基材23と樹脂フィルム33とが導電
性接着剤10中のエポキシ系接着剤12の硬化に伴い接
続するとともに、導電性接着剤10中の合金粒子11に
より電極22と電極32との間が電気的に接続される。
【0045】なお、上述の製造工程において、図2
(a)に示す工程が本実施形態における配置工程であ
り、図2(b)に示す工程が本実施形態における積層工
程、図2(c)に示す工程が本実施形態における接続工
程である。
【0046】ここで、電極間接続のメカニズムを図2
(d)に基づいて簡単に説明する。図2(d)は、電極
22および電極32とが合金粒子11により接続された
状態を模式的に示す部分拡大図である。加熱プレスが行
なわれたときに電極22と電極32とに挟まれた合金粒
子11は210℃に加熱されるが、合金粒子11の融点
は480℃であるため合金粒子11は融解はしない。
【0047】そして、このとき、合金粒子11には3M
Paの圧力が加えられているため、合金粒子11は電極
22および電極32の表面に圧接される。これにより、
合金粒子11中の錫成分と、電極22および電極32を
構成する銅箔の銅成分とが相互に固相拡散し、合金粒子
11と電極22との界面に固相拡散層52を形成すると
ともに、合金粒子11と電極32との界面に固相拡散層
53を形成する。
【0048】固相拡散層52は、本実施形態における第
1の固相拡散層であり、固相拡散層53は、本実施形態
における第2の固相拡散層である。
【0049】このようにして、電極22と電極32との
間は、合金粒子11と固相拡散層52、53とにより電
気的に接続される。
【0050】上述の構成および接続方法によれば、プリ
ント基板2の電極22とフレキシブルプリント基板3の
電極32との間は、合金粒子11、合金粒子11と電極
22との界面に形成された固相拡散層52および合金粒
子11と電極32との界面に形成された固相拡散層53
により電気的に接続される。従って、電極22、32間
の電気的接続が接触導通により行なわれることはないの
で、電極間接続抵抗値は変化し難い。このようにして、
電極間接続の信頼性低下を防止できる。
【0051】本発明者らは、上記実施形態により接続し
た電極22、32間の接続抵抗が100mΩ以下であ
り、隣接する電極22間の絶縁抵抗が109Ω以上であ
ることを確認している。ちなみに、このときの電極2
2、32の幅は100μm、電極22間、電極32間の
ピッチは300μmである。
【0052】なお、電極22、32間の電気的接続を接
触導通によらずに行なうための導電性接着剤に添加され
る金属粒子として、樹脂粒子等の核となる粒子の表面に
半田や低融点金属等を被覆した金属粒子を用い、接続工
程における加熱プレスで、半田や低融点金属等を溶融さ
せ、溶融した半田や低融点金属等により電極22、32
間を接続する方法もあるが、溶融した半田や低融点金属
等が流れると隣接する電極22間や電極32間の絶縁性
を確保することが難しくなるという問題がある。
【0053】ところが、本実施形態のように金属粒子と
して合金粒子11を採用すれば、接続工程における加熱
プレス時に合金粒子11が溶融することがないので、隣
接する電極22間や電極32間の絶縁性を確保すること
が容易である。また、電極22、32間の接続を完了し
た製品を高温環境下で使用することがあっても、金属粒
子に半田や低融点金属を用いたもののように再溶融によ
る接続信頼性の低下を発生し難い。
【0054】(他の実施形態)上記一実施形態では、合
金粒子11に含有される電極を形成する金属と合金を形
成し得る金属として錫を用いたが、電極を形成する金属
(上記例では銅)と相互に拡散し合金を形成できる金属
であればよい。採用できる金属としては、亜鉛、アルミ
ニウム、ニッケル等がある。
【0055】また、上記一実施形態では、合金粒子11
に錫とともに含有される金属として銀を用いたが、良好
な導電性を有し、電極を形成する金属と合金を形成し得
る金属(上記例では錫)と接続工程の加熱温度以上の融
点を有する合金が形成できる金属であればよい。例え
ば、銅、金、白金、パラジウム等を採用することができ
る。
【0056】また、上記一実施形態では、金属粒子とし
て錫と銀とからなる合金粒子11を用いたが、電極を形
成する金属と合金を形成し得るとともに、接続工程の加
熱温度以上の融点を有する単一金属からなる金属粒子を
用いてもよい。例えば、ニッケル(融点1453℃)、
亜鉛(融点419℃)等を採用することができる。
【0057】また、上記一実施形態では、金属粒子とし
て錫と銀とからなる合金粒子11を用いたが、核となる
金属粒子等の表面に銀と錫との合金等を被覆したもので
あってもよい。
【0058】また、上記一実施形態では、電極22、3
2を形成する金属として銅を用いたが、合金粒子11中
の錫成分と相互に固相拡散できるものであればこれに限
らない。電極22、32がすべて合金粒子11中の錫成
分と相互固相拡散できる金属である必要もなく、表面に
例えば銀や金のような合金粒子11中の錫成分と相互固
相拡散できる金属めっき層が設けられた電極であっても
よい。銅の表面に所謂ニッケル金めっきを施したもので
あってもよい。
【0059】ただし、上記一実施形態のように一般的に
導体として用いられる安価な銅を採用した場合に、ニッ
ケル金めっき等を施さなくても、加熱プレスによる合金
粒子11と電極22、32との相互固相拡散接合によれ
ば、電極表面の酸化皮膜をプレス圧により破壊し、良好
な接合を実現することができる。
【0060】また、上記一実施形態では、導電性接着剤
10を構成する絶縁性接着剤として液状のエポキシ樹脂
からなる重合成分とイミダゾール系硬化剤とからなるエ
ポキシ系接着剤12を用いたが、重合成分には固形のエ
ポキシ樹脂を含むものであってもよいし、硬化剤として
は変性アミン系、酸無水物系等を採用することもでき
る。
【0061】また、絶縁性接着剤として、ポリイミド樹
脂、アクリル樹脂、飽和ポリエステル樹脂等の熱可塑性
樹脂を採用することもできるし、液状シリコーンゴム接
着剤等を採用することもできる。
【0062】なお、上記一実施形態では、配置工程にお
いて、プリント基板2の電極22が形成された部分の表
面に液状の導電性接着剤10を塗布したが、エポキシ系
接着剤をBステージ状態としたり、絶縁性接着剤として
熱可塑性樹脂を採用することで、シート状の導電性接着
剤を形成し、これをプリント基板2の電極22が形成さ
れた部分の表面に配置するものであってもよい。
【0063】また、上記一実施形態では、プリント基板
2を第1の回路基板、フレキシブルプリント基板3を第
2の回路基板とした場合について説明したが、第1の回
路基板および第2の回路基板はこれに限定されるもので
はない。
【0064】例えば、第1、第2の回路基板がともにリ
ジッドタイプのプリント基板であったり、ともにフレキ
シブルプリント基板であってもよい。また、例えば、第
1の回路基板がICチップであり、第2の回路基板がプ
リント基板やリードフレーム等であり、ICチップをプ
リント基板やリードフレームの電極に接合する場合にも
本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態における回路基板の概略の
接続構成を示す斜視図である。
【図2】図1に示すA部について、回路基板間の接続方
法を示す概略の工程別断面図およびその要部拡大図であ
る。
【符号の説明】
2 プリント基板(第1の回路基板) 3 フレキシブルプリント基板(第2の回路基板) 10 導電性接着剤 11 合金粒子(金属粒子) 12 エポキシ系接着剤(絶縁性接着剤) 22 電極(第1の電極) 32 電極(第2の電極) 52 固相拡散層(第1の固相拡散層) 53 固相拡散層(第2の固相拡散層)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01R 43/00 H05K 3/36 A H05K 3/36 H01R 9/09 C Fターム(参考) 4J040 EC001 HA076 JA08 JB01 JB10 KA32 NA19 5E051 CA03 GA07 GB10 5E077 BB31 BB32 BB37 CC06 DD04 HH07 JJ01 JJ20 5E085 BB08 BB09 BB19 CC01 DD06 EE16 EE24 EE34 FF11 FF19 GG15 JJ03 JJ06 5E344 AA02 BB04 CD04 DD06 EE16

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属粒子(11)が絶縁性接着剤(1
    2)に分散されており、複数の回路基板(2、3)の対
    向する電極(22、32)間を電気的に接続する導電性
    接着剤(10)であって、 前記金属粒子(11)は、前記電極(22、32)間を
    接続する際の加熱温度より高い融点を有するとともに、
    前記電極(22、32)を形成する金属と合金を形成し
    得る金属を含有することを特徴とする導電性接着剤。
  2. 【請求項2】 前記金属粒子(11)に含有される前記
    合金を形成し得る金属は、錫、亜鉛、アルミニウム、ニ
    ッケルから選ばれる少なくとも1つの金属であることを
    特徴とする請求項1に記載の導電性接着剤。
  3. 【請求項3】 前記金属粒子(11)に含有される前記
    合金を形成し得る金属は、錫であり、 前記金属粒子(11)は、錫と銀との合金からなること
    を特徴とする請求項1に記載の導電性接着剤。
  4. 【請求項4】 前記金属粒子(11)は、錫を20〜2
    5重量%含有することを特徴とする請求項3に記載の導
    電性接着剤。
  5. 【請求項5】 第1の電極(22)が形成された第1の
    回路基板(2)と、第2の電極(32)が形成された第
    2の回路基板(3)とを、前記第1の電極(22)と前
    記第2の電極(32)とが対向するように積層する積層
    工程と、 金属粒子(11)を絶縁性接着剤(12)に分散した導
    電性接着剤(10)を、前記第1の電極(22)と前記
    第2の電極(32)との間に配置する配置工程と、 前記積層工程および前記配置工程の後に、積層体の両面
    から加圧しつつ加熱して、前記第1の電極(22)と前
    記第2の電極(32)とを電気的に接続する接続工程と
    を備え、 前記配置工程において配置する前記導電性接着剤(1
    0)に含まれる前記金属粒子(11)は、前記接続工程
    の加熱温度より高い融点を有するとともに、前記第1の
    電極(22)を形成する金属および前記第2の電極(3
    2)を形成する金属と合金を形成し得る金属を含有し、 前記接続工程においては、前記金属粒子(11)中の前
    記合金を形成し得る金属と前記第1の電極(22)を形
    成する金属とを相互に固相拡散するとともに、前記金属
    粒子(11)中の前記合金を形成し得る金属と前記第2
    の電極(32)を形成する金属とを相互に固相拡散する
    ことを特徴とする回路基板間の接続方法。
  6. 【請求項6】 前記金属粒子(11)に含有される前記
    合金を形成し得る金属は、錫、亜鉛、アルミニウム、ニ
    ッケルから選ばれる少なくとも1つの金属であることを
    特徴とする請求項5に記載の回路基板間の接続方法。
  7. 【請求項7】 前記金属粒子(11)に含有される前記
    合金を形成し得る金属は、錫であり、 前記金属粒子(11)は、錫と銀との合金からなること
    を特徴とする請求項5に記載の回路基板間の接続方法。
  8. 【請求項8】 前記金属粒子(11)は、錫を20〜2
    5重量%含有することを特徴とする請求項7に記載の回
    路基板間の接続方法。
  9. 【請求項9】 第1の電極(22)が形成された第1の
    回路基板(2)と第2の電極(32)が形成された第2
    の回路基板(3)とを、絶縁性接着剤(12)中に前記
    第1の電極(22)を形成する金属および前記第2の電
    極(32)を形成する金属と合金を形成し得る金属を含
    有する金属粒子(11)を分散した導電性接着剤(1
    0)で接続した回路基板間の接続構造であって、 前記第1の電極(22)と前記第2の電極(32)との
    間に前記金属粒子(11)が挟持され、 前記第1の電極(22)を形成する金属と前記金属粒子
    (11)中の前記合金を形成し得る金属とが相互に固相
    拡散して形成された第1の固相拡散層(52)と、前記
    第2の電極(32)を形成する金属と前記金属粒子(1
    1)中の前記合金を形成し得る金属とが相互に固相拡散
    して形成された第2の固相拡散層(53)とを介し、前
    記第1の電極(22)と前記第2の電極(32)との間
    を前記金属粒子(11)により電気的に接続しているこ
    とを特徴とする回路基板間の接続構造。
  10. 【請求項10】 前記金属粒子(11)中の前記合金を
    形成し得る金属は、錫、亜鉛、アルミニウム、ニッケル
    から選ばれる少なくとも1つの金属であることを特徴と
    する請求項9に記載の回路基板間の接続構造。
  11. 【請求項11】 前記金属粒子(11)中の前記合金を
    形成し得る金属は、錫であり、 前記金属粒子(11)は、錫と銀との合金からなること
    を特徴とする請求項9に記載の回路基板間の接続構造。
  12. 【請求項12】 前記金属粒子(11)は、錫を20〜
    25重量%含有することを特徴とする請求項11に記載
    の回路基板間の接続構造。
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