JP2003100083A - メモリ装置 - Google Patents

メモリ装置

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JP2003100083A
JP2003100083A JP2001294890A JP2001294890A JP2003100083A JP 2003100083 A JP2003100083 A JP 2003100083A JP 2001294890 A JP2001294890 A JP 2001294890A JP 2001294890 A JP2001294890 A JP 2001294890A JP 2003100083 A JP2003100083 A JP 2003100083A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ダミーセルにより適切なセンスアンプ活性化タ
イミング信号を発生するとともにダミーワード線及びダ
ミービット線の配線寿命を延長する。 【解決手段】それぞれ固定ダミーセル21A,21B及
びダミービット線13A,13Bを有する2組のダミー
セル列と、各ダミーセル列の各々の固定ダミーセル21
A,21Bをそれぞれアクセスする2組のダミーワード
線12A,12Bと、ダミーワード線12A,12Bの
選択を行うダミーセル制御回路9とを備える。タイミン
グ回路5Aは、各ダミーセル列の各々のダミービット線
13A,13Bに伝播したダミービット線信号BA,B
Bにそれぞれ基づくタイミングでタイミング信号tsを
発生する。ダミーワード線12A,12Bと2対のダミ
ービット線13A,14A及びダミービット線13B,
14Bをクロックのサイクル毎に順次動作させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はメモリ装置に関し、
特に微細化プロセスを用いて高集積度化した大容量のメ
モリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のメモリ装置は、例えば、特開平
3−207086号公報(文献1)に記載されているよ
うに、センスアンプの活性化タイミングを発生させるた
めにダミーセル及びダミーワード線、ダミービット線を
用いてタイミングを発生させる方式が用いられてきた。
【0003】文献1記載の従来のメモリ装置の基本構成
を回路の一部をブロックで表した回路図で示す図8を参
照すると、この従来のメモリ装置は、行、列を構成する
複数のメモリセル1と、メモリセル1の各々に接続され
行アドレスを選択するワード線2と、メモリセル1の各
々に接続されメモリセル1の相補のデータをそれぞれ伝
播する相補のビット線対であるビット線3,4と、ビッ
ト線3,4の各々に対してプリチャージを行うPチャネ
ル型のトランジスタP1と、センスアンプを備えビット
線3,4に伝播したデータを読み出しデータバス(図示
省略)に出力する読出回路6と、メモリセル1と同一構
成のダミーセル11Aと、メモリセル内部の記憶データ
が固定された固定ダミーセル21Aと、それらダミーセ
ル11A,21Aに接続される相補のダミービット線1
3A,14Aと、複数の固定ダミーセル21Aに接続さ
れるダミーワード線12Aと、ダミービット線13Aと
接続するタイミング回路5と、行デコード出力に応じて
ワード線2を駆動するためのワード線駆動回路を構成す
るNAND回路7とワードドライバ8と、行デコード出
力に応じてダミーワード線12Aを駆動するためのダミ
ーワード線駆動回路を構成するNAND回路17Aとダ
ミーワードドライバ18Aとを備える。
【0004】ダミーセル11Aと固定ダミーセル21A
はダミーセル列を構成し、これらダミーセル11Aと固
定ダミーセル21Aとの合計数はメモリセルの列内のセ
ル数と同一数である。また、ダミーセル11Aのワード
線は接地され従って不活性状態となっている。
【0005】固定ダミーセル21Aの構成の一例を回路
図で示す図9を参照すると、この固定ダミーセル21A
は、ゲートがダミーワード線12Aにドレインがダミー
ビット線13Aにそれぞれ接続されるアクセス用のトラ
ンジスタN21と、ゲートがダミーワード線12Aにド
レインがダミービット線14Aにそれぞれ接続されるア
クセス用のトランジスタN22と、ドレインがトランジ
スタN21のソースにゲートがトランジスタN22のソ
ースと後述のトランジスタN24のドレインとの共通接
続点にソースが接地にそれぞれ接続されたトランジスタ
N23と、ドレインがトランジスタN22のソースにゲ
ートがトランジスタN21のソースとトランジスタN2
3のドレインとの共通接続点にソースが接地にそれぞれ
接続されたトランジスタN24とを備える。トランジス
タN24のドレインは電源VDに接続され、トランジス
タN23のドレインは抵抗R21を介して電源VDに接
続される。
【0006】次に、図9を参照して、固定ダミーセル2
1Aの動作について説明すると、トランジスタN23,
N24はいわゆる交差接続トランジスタ対(フリップフ
ロップ)を構成し、トランジスタN24のドレインは記
憶ノードS22であり、上述のように電源電圧VDが接
続されているため、トランジスタN23のドレインの記
憶ノードS21は固定値0を記憶する。
【0007】この構成により、タイミング回路5に接続
されるダミービット線13Aには、トランジスタN2
1,N23を経由した電流経路が生じることによりメモ
リセル1と同様の伝播特性を持つことができる。
【0008】次に、図8を再度参照して、センスアンプ
の活性化タイミングについて説明すると、この読出回路
6は、読み出し時にビット線3,4に徐々に発生する微
弱電位差を増幅するためのセンスアンプを備え、ビット
線3,4が所定の電位差を発生した際にセンスアンプを
活性化する必要がある。この活性化タイミングとして
は、上記電位差が所定値に達する前に活性化した場合は
誤増幅が行われる可能性がある。これはビット線3,4
やセンスアンプがレイアウト的に完全対称形に、及びそ
れらを構成するトランジスタ等の素子特性がばらつきな
く設計されていれば、理論的にはほぼ0に近い電位差で
活性化しても正常増幅するはずである。しかし、実際に
は製造プロセスにおけるばらつきにより、センスアンプ
を構成するトランジスタの特性の対称性や、メモリセル
の対称性(トランジスタの電流能力等も含め)が保持さ
れることはないため、この活性化時にはビット線3,4
間にある程度の電位差を必要とする。従ってこの活性化
のタイミングは製造プロセスのばらつきを考慮して10
0〜200mV程度の差電位で活性化するのが好ましい
とされている。逆にそれ以上の電位差でセンスアンプを
活性化しても動作マージンが取れるが、増幅開始が遅れ
ることにより読み出しのスピードが悪化する。
【0009】図8を再度参照して従来のメモリ回路のワ
ード線2とダミーワード線12Aを動作させるためのワ
ード線駆動回路の構成について説明すると、NAND回
路7は行デコーダ(図示しない)によりデコードされた
行デコード出力DRとメモリ装置の動作を制御するクロ
ックCKとのNAND演算を行うことによりワード線2
を選択し、その出力をインバータから成るワードドライ
バ8に供給する。ワードドライバ8は、入力したNAN
D回路7の出力に応じてワード線2を動作させる。ま
た、電源電圧VDとクロックCKを入力としたNAND
回路17Aは、ダミーワード線12Aを常時選択し、ワ
ードドライバ18Aに供給する。ワードドライバ18A
は、ダミーワード線12Aを動作させる。
【0010】次に、図8,図9及び従来のメモリ回路の
各部の動作波形をタイムチャートで示す図10を参照し
て動作について説明すると、まず、メモリセル1のアク
セスに連動したクロックCKがタイミングt0で立ち上
がると、行デコード出力DRで選択されたいずれかのワ
ード線2とダミーワード線12Aがタイミングt1で立
ち上がる。ワード線は選択されたメモリセル1のアクセ
ス用のトランジスタ(図示省略)を活性化しメモリセル
1で記憶しているデータをビット線3,4に伝播する。
ダミーワード線12Aは接続されている複数の固定ダミ
ーセル21AのアクセストランジスタN21,N22を
活性化し、ダミービット線13Aに記憶している固定
値’0’を伝播し、タイミングt2で立ち下がる。この
伝播のスピードは固定ダミーセル21Aの1個あたりの
伝播特性がメモリセル1の伝播特性と同等であることよ
り、またビット線3,4及びダミービット線13A,1
4Aに接続するセル数が同一数でこれらビット線3,4
及びダミービット線13A,14Aの負荷が同等である
ことより、固定ダミーセル21Aの接続数倍のスピード
をもって伝播する。
【0011】ダミービット線13Aの信号を受けたタイ
ミング回路5は、タイミングt3においてタイミング信
号tsを立ち上げる。タイミング回路5は単純なインバ
ータ論理で構成することにより、タイミング信号tsを
作ることが可能である。このタイミング信号tsは読出
回路6に供給され、読出回路6内のセンスアンプを活性
化する。
【0012】タイミングt3を、固定ダミーセル21A
の接続個数によってこのタイミングt3のときビット線
3,4に所定の電位差が発生するよう調整することで、
適切なタイミングを与えることができる。次のクロック
CKのタイミングt4からの各タイミングt4〜t7に
おいてもタイミングt0〜t3の動作と同等の動作を行
い、この活性化タイミングの発生はメモリ1の読み出し
動作の際には毎サイクル行う。
【0013】図8に示す例では、ダミーワード線12A
に3個の固定ダミーセル21Aが接続されているが、こ
れはタイミングの調整結果によっては2個又は4個、あ
るいは5個等に接続個数を調整することになる。
【0014】この最適なタイミングを与えることによ
り、消費電力を押さえることも可能となる。読み出し動
作においては、一旦センスアンプで増幅が行われること
により、メモリセル1はビット線3又は4に記憶データ
を伝播する必要性はなくなるため、増幅後すぐにワード
線2を非活性化すればビット線信号の振幅を大きくさせ
ることなく、所望の読み出し動作を行うことが可能とな
る。これにより、ビット線に放電される電流が少なくな
り、消費電力を削減できる。
【0015】また、タイミング信号tsの発生をインバ
ータ論理を直列に接続した遅延回路で構成するという手
法もあるが、これでは特に微細化したメモリセルに対す
る製造プロセスのばらつきが反映されないことと、電圧
・温度等の外部要因によるトランジスタ特性が等しくな
いために、このタイミングに対して大幅なマージンが必
要となり、ダミーセルの活用は微細化プロセスによる大
容量メモリ回路には不可欠なものとなっている。
【0016】以上説明したように、この技術自体は昨今
の微細化プロセスによる大容量メモリ回路では不可欠の
ものになってきているが、ダミーワード線及びダミービ
ット線は入力アドレスとは無関係に、毎サイクル動作す
るために、メモリの動作周波数が高くなると結果的にこ
れらダミーワード線及びダミービット線を流れる電流の
電流密度が増大し、ダミーワード線及びダミービット線
の配線寿命が、メモリ装置の信頼性規格から要求される
配線寿命規格(以下、規格)を満足できなくなってしま
うという問題点がある。
【0017】一般に配線寿命は、高電流密度の電流によ
り配線の一部に欠損(ボイド)が発生し、このボイドに
より正電極側にヒロックが生ずるエレクトロマイグレー
ション(EM)等により左右されることは良く知られて
いる。従って、配線寿命を大きくするためには、EMの
要因である電流密度を低下させる必要がある。
【0018】この種のメモリ装置における具体例として
は、最小配線幅0.28μmをもつ製造プロセス(0.
28μmルール)によるメモリ装置において、メモリセ
ル列が512列以上配置された場合、400MHz以上
の周波数での動作ではダミーワード線の配線寿命が上記
規格を満足できないという計算例がある。
【0019】さらに、今後ますます高速化、大容量化さ
れるメモリにおいてはダミービット線についても同様に
配線寿命が満足しなくなってくることは明確である。
【0020】また、他のワード線やビット線について検
討すると、行アドレスの入力パタンによって選択される
確率が、「1/ワード線本数」となるワード線はダミー
ワード線に比べて動作率が小さく、ビット線はメモリセ
ル内で保持しているデータが’1’,’0’の2通りあ
ることからビット線の動作率は1/2の確率で動くもの
と考えられ配線寿命としての問題は小さい。
【0021】一般に配線寿命をのばす方法としては、以
下の方法がある。
【0022】1.ワード線、ビット線の配線幅を広げ
る。
【0023】2.ワード線、ビット線の配線の容量負荷
を下げる。
【0024】3.動作周波数を下げる。
【0025】第1の方法では、配線幅が広がることによ
りメモリセルの面積増加、配線容量の増加によるスピー
ドの低下(劣化)が考えられる。特に、この種の大容量
メモリ装置においては、メモリセルが多数配置されるた
め、1つのメモリセルの面積増加は大きな面積の増加要
因となり得る。また、ダミーセルの配線幅のみを広げる
ことはダミーセル一列分の面積増加のみに押さえられる
が、通常のメモリセルとのワード線、ビット線の負荷依
存の整合性がとれなくなり、従来技術における最も優位
性のある特徴である適切なタイミングの発生が困難とな
る。
【0026】第2の方法ではメモリセルの配列を分割す
ることにより実現可能であるが、分割によりメモリセル
以外の周辺回路が増加し、この増加によりこれも面積増
加の要因となる。
【0027】また、第3の方法では、規定の動作周波数
スペックを意図的に低下させる必要があり、スピードが
低下する。結局、どの対処法もメモリのパフォーマンス
を落とすことになり、有効な対処法ではない。
【0028】また他の問題点として、外部要因(電圧・
温度・製造プロセス等)の大幅な変化での使用により、
センスアンプ動作に要求される最適な活性化タイミング
が変化し、追従できないという点もある。
【0029】従来技術では、メモリセルと構造を同一と
したダミーセルを用いており、ある程度の外部要因の変
化による最適タイミングの変化を吸収することは可能で
ある。例えば、電源電圧が10%程度の変化では、特に
問題は無い。しかし、高速優先に電源電圧を高くして使
用するモードと、低電力優先で電源電圧を低くして使用
したモードが使用条件として有する場合は、どちらかの
要求されるタイミングの厳しい条件で固定ダミーセル2
1Aの接続個数を設定しタイミングを合わせる必要があ
り、もう一方の条件では最適なタイミングからずれてし
まう。
【0030】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のメモリ
装置は、ダミーワード線及びダミービット線は入力アド
レスとは無関係に、毎サイクル動作するために、メモリ
の動作周波数が高くなると結果的にこれらダミーワード
線及びダミービット線を流れる電流の電流密度が増大
し、ダミーワード線及びダミービット線の配線寿命が、
メモリ装置の信頼性規格から要求される配線寿命規格を
満足できなくなってしまうという欠点があった。
【0031】本発明の目的は、ダミーセルにより適切な
センスアンプ活性化タイミング信号を発生するとともに
ダミーワード線及びダミービット線の配線寿命を延ばす
ことができる微細化プロセスによる大容量メモリ装置を
提供することにある。
【0032】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明のメ
モリ装置は、メモリセルを行及び列に配置したメモリセ
ルアレイと、各々が相補のダミービット線に接続し前記
メモリセルと同一のトランジスタ構造を有し予め定めた
個数が固定値を有する固定ダミーセルである前記メモリ
セルアレイの一列分と同数個のダミーセルを有するダミ
ーセル列と、前記メモリセルアレイのアクセスに連動し
て前記固定ダミーセルをアクセスするダミーワード線
と、前記ダミービット線に伝播し前記固定ダミーセルか
ら読出したダミービット線信号に基づくタイミングで他
の回路を制御するためのタイミング信号を発生するタイ
ミング回路とを備えるメモリ装置において、それぞれ前
記固定ダミーセル及び前記ダミービット線を有する少な
くとも2組の前記ダミーセル列である第1及び第2のダ
ミーセル列と、前記第1及び第2のダミーセル列の各々
の前記固定ダミーセルである第1及び第2の固定ダミー
セルをアクセスする第1及び第2のダミーワード線と、
前記第1及び第2のダミーワード線の選択を行うダミー
線選択手段とを備え、前記タイミング回路が、前記第1
及び第2のダミーセル列の各々の前記ダミービット線に
伝播したダミービット線信号にそれぞれ基づくタイミン
グで前記タイミング信号を発生することを特徴とするも
のである。
【0033】また、請求項3記載の発明は、請求項1記
載のメモリ装置において、第1及び第2の固定値を持ち
前記第1及び第2のダミーワード線で独立にアクセスさ
れ前記相補のダミービット線の各々に前記第1及び第2
のダミーワード線によるアクセスで読み出した前記第1
及び第2の固定値対応の第1及び第2のダミービット線
信号を伝播させる2アクセス型の固定ダミーセルを備え
て構成されている。
【0034】請求項4記載の発明のメモリ装置は、複数
のメモリセルによる行及び列を構成し列方向に第1の数
の前記メモリセルを配置して成るメモリセルアレイと、
前記メモリセルの各々に接続され行アドレスを選択する
ワード線と、前記メモリセルの各々に接続され前記メモ
リセルの相補のデータをそれぞれ伝播する相補のビット
線対と、センスアンプを備え前記ビット線対に伝播した
データを読み出しデータバスに出力する読出回路とを備
えるメモリ装置において、前記メモリセルと同一構成の
前記第1の数より少ない第2の数の第1のダミーセルと
セル内部の記憶データが固定され前記第1の数から前記
第2の数を減算した第3の数の第1の固定ダミーセルと
から成る第1のダミーセル列と、前記メモリセルと同一
構成の前記第2の数の第2のダミーセルとセル内部の記
憶データが固定され前記第3の数の第2の固定ダミーセ
ルとから成る第2のダミーセル列と、前記第1のダミー
セル及び第1の固定ダミーセルに接続される第1の相補
のダミービット線対と、前記第2のダミーセル及び第2
の固定ダミーセルに接続される第2の相補のダミービッ
ト線対と、前記第1及び第2の固定ダミーセルにそれぞ
れ接続される第1及び第2のダミーワード線と、行デコ
ード出力に応じて前記ワード線を駆動するためのワード
線駆動回路と、前記第1及び第2のダミーワード線の各
々に接続しこれら第1及び第2のダミーワード線のいず
れか1つを選択して前記第1及び第2の固定ダミーセル
の動作を制御するダミーセル制御回路と、前記第1及び
第2のダミービット線対の各々の一方とそれぞれ接続し
前記第1及び第2のダミービット線対のいずれか一方の
動作に応じて前記センスアンプの動作タイミングを制御
するタイミング信号を生成するタイミング回路とを備え
て構成されている。
【0035】また、請求項5記載の発明は、請求項4記
載のメモリ装置において、前記ダミーセル制御回路が、
前記メモリセルのアクセスに連動するクロック信号の入
力を受け前記ダミーワード線選択用の選択信号を出力す
るトグル動作のフリップフロップと、前記選択信号を反
転し反転選択信号を出力するインバータと、前記選択信
号と前記クロック信号とのNAND論理をとり前記第1
のダミーワード線を選択する第1のNAND回路と、前
記第1のNAND回路の出力の供給に応答して前記第1
のダミーワード線を駆動する第1のダミーワードドライ
バと、前記反転選択信号と前記クロック信号とのNAN
D論理をとり前記第2のダミーワード線を選択する第2
のNAND回路と、前記第2のNAND回路の出力の供
給に応答して前記第2のダミーワード線を駆動する第2
のダミーワードドライバとを備えて構成されている。
【0036】また、請求項6記載の発明は、請求項4記
載のメモリ装置において、前記ダミーセル制御回路が、
前記メモリセルのアクセスに連動するクロック信号の入
力を受けこのクロック信号のサイクル毎に前記第1及び
第2のダミーワード線の各々を選択する第1及び第2の
選択信号を順次活性化するシフトレジスタと、前記第1
の選択信号と前記クロック信号とのNAND論理をとり
前記第1のダミーワード線を選択する第1のNAND回
路と、前記第1のNAND回路の出力の供給に応答して
前記第1のダミーワード線を駆動する第1のダミーワー
ドドライバと、前記第2の選択信号と前記クロック信号
とのNAND論理をとり前記第2のダミーワード線を選
択する第2のNAND回路と、前記第2のNAND回路
の出力の供給に応答して前記第2のダミーワード線を駆
動する第2のダミーワードドライバとを備えて構成され
ている。
【0037】請求項7記載の発明のメモリ装置は、複数
のメモリセルによる行及び列を構成し列方向に第1の数
の前記メモリセルを配置して成るメモリセルアレイと、
前記メモリセルの各々に接続され行アドレスを選択する
ワード線と、前記メモリセルの各々に接続され前記メモ
リセルの相補のデータをそれぞれ伝播する相補のビット
線対と、センスアンプを備え前記ビット線対に伝播した
データを読み出しデータバスに出力する読出回路とを備
えるメモリ装置において、前記メモリセルと同一構成の
前記第1の数より少ない第2の数のダミーセルと、セル
内部の第1及び第2の記憶データが固定され前記第1の
数から前記第2の数を減算した第3の数の固定ダミーセ
ルとから成るダミーセル列と、前記ダミーセル及び前記
固定ダミーセルに接続される相補のダミービット線対
と、前記固定ダミーセルの各々に接続され前記第1の固
定データを前記ダミービット線対の一方に読出すための
第1のダミーワード線及び前記第2の固定データを前記
ダミービット線対の他方に読出すための第2のダミーワ
ード線と、行デコード出力に応じて前記ワード線を駆動
するためのワード線駆動回路と、前記第1及び第2のダ
ミーワード線の各々に接続しこれら第1及び第2のダミ
ーワード線のいずれか1つを選択して前記固定ダミーセ
ルの動作を制御するダミーセル制御回路と、前記ダミー
ビット線対の各々をそれぞれ接続し前記ダミービット線
対の一方と他方のいずれかの動作に応じて前記センスア
ンプの動作タイミングを制御するタイミング信号を生成
するタイミング回路とを備えて構成されている。
【0038】請求項8記載の発明のメモリ装置は、複数
のメモリセルによる行及び列を構成し列方向に第1の数
の前記メモリセルを配置して成るメモリセルアレイと、
前記メモリセルの各々に接続され行アドレスを選択する
ワード線と、前記メモリセルの各々に接続され前記メモ
リセルの相補のデータをそれぞれ伝播する相補のビット
線対と、センスアンプを備え前記ビット線対に伝播した
データを読み出しデータバスに出力する読出回路とを備
えるメモリ装置において、前記メモリセルと同一構成の
第2の数のダミーセルとセル内部の記憶データが固定さ
れた第3の数の第1の固定ダミーセルと第4の数の第2
の固定ダミーセルとから成るダミーセル列と、前記ダミ
ーセル及び前記第1及び第2の固定ダミーセルに接続さ
れる相補のダミービット線対と、前記第1及び第2の固
定ダミーセルにそれぞれ接続される第1及び第2のダミ
ーワード線と、行デコード出力に応じて前記ワード線を
駆動するためのワード線駆動回路と、前記第1及び第2
のダミーワード線の各々に接続し前記第1のダミーワー
ド線を常時選択して前記第1の固定ダミーセルを読出し
電源電圧が予め定めた値を超えると前記第1の固定ダミ
ーセルに加えて前記第2のダミーワード線を選択して前
記第2の固定ダミーセルをさらに読出すよう制御するダ
ミーセル制御回路と、前記第1及び第2のダミービット
線対の各々の一方とそれぞれ接続し前記第1及び第2の
ダミービット線対のいずれか一方の動作に応じて前記セ
ンスアンプの動作タイミングを制御するタイミング信号
を生成するタイミング回路とを備えて構成されている。
【0039】また、請求項9記載の発明は、請求項8記
載のメモリ装置において、前記前記ダミーセル制御回路
が、電源電圧を監視し電源電圧が予め設定した電圧以上
になると電源電圧感知信号を出力する電源電圧感知回路
を備えて構成されている。
【0040】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
【0041】本実施の形態のメモリ装置は、メモリセル
を行及び列に配置したメモリセルアレイと、各々が相補
のダミービット線に接続し上記メモリセルと同一のトラ
ンジスタ構造を有し予め定めた個数が固定値を有する固
定ダミーセルである上記メモリセルアレイの一列分と同
数個のダミーセルを有するダミーセル列と、上記メモリ
セルアレイのアクセスに連動して上記固定ダミーセルを
アクセスするダミーワード線と、上記ダミービット線に
伝播し上記固定ダミーセルから読出したダミービット線
信号に基づくタイミングで他の回路を制御するためのタ
イミング信号を発生するタイミング回路とを備えるメモ
リ装置において、それぞれ上記固定ダミーセル及び上記
ダミービット線を有する少なくとも2組の上記ダミーセ
ル列である第1及び第2のダミーセル列と、上記第1及
び第2のダミーセル列の各々の上記固定ダミーセルであ
る第1及び第2の固定ダミーセルをアクセスする第1及
び第2のダミーワード線と、上記第1及び第2のダミー
ワード線の選択を行うダミー線選択手段とを備え、上記
タイミング回路が、上記第1及び第2のダミーセル列の
各々の上記ダミービット線に伝播したダミービット線信
号にそれぞれ基づくタイミングで上記タイミング信号を
発生することにより、これら2組のダミーワード線とダ
ミービット線がクロック信号のサイクル毎に交互に動作
することにより、これらダミーワード線及びダミービッ
ト線の動作率が従来の動作率の半分となり、配線幅を変
更したり動作周波数を下げることなく配線寿命を確保す
ることことを特徴とするものである。
【0042】次に、本発明の第1の実施の形態を回路の
一部をブロックで表した回路図で示す図1を参照する
と、この図に示す本実施の形態のメモリ装置は、従来と
共通の構成要素である行、列を構成する複数のメモリセ
ル1と、メモリセル1の各々に接続され行アドレスを選
択するワード線2と、メモリセル1の各々に接続されメ
モリセル1の相補のデータをそれぞれ伝播する相補のビ
ット線対であるビット線3,4と、ビット線3,4の各
々に対してプリチャージを行うPチャネル型のトランジ
スタP1と、センスアンプを備えビット線3,4に伝播
したデータを読み出しデータバス(図示省略)に出力す
る読出回路6と、メモリセル1と同一構成の複数のダミ
ーセル11Aと、メモリセル内部の記憶データが固定さ
れた複数の固定ダミーセル21Aと、それらダミーセル
11A,21Aに接続される相補のダミービット線13
A,14Aと、複数の固定ダミーセル21Aに接続され
るダミーワード線12Aと、行デコード出力に応じてワ
ード線2を駆動するためのワード線駆動回路を構成する
NAND回路7とワードドライバ8とに加えて、第2の
ダミーセル列を構成する複数のダミーセル11Bと、メ
モリセル内部の記憶データが固定された複数の固定ダミ
ーセル21Bと、それらダミーセル11B,21Bに接
続される相補のダミービット線13B,14Bと、複数
の固定ダミーセル21Bに接続される第2のダミーワー
ド線12Bと、ダミーワード線12A,12Bに接続し
これらダミーワード線12A,12Bのいずれか1つを
選択して固定ダミーセル21A,21Bの動作を制御す
るダミーセル制御回路9と、ダミービット線13A及び
13Bと接続しこれらダミービット線13A及び13B
のいずれか一方の動作に応じてタイミング信号を生成す
るタイミング回路5Aとを備える。
【0043】ダミーセル11Aと固定ダミーセル21A
は第1のダミーセル列を構成し、ダミーセル11Bと固
定ダミーセル21Bは第2のダミーセル列を構成する。
また、各ダミーセル列のダミーセル11Aと固定ダミー
セル21A、及びダミーセル11Bと固定ダミーセル2
1Bとのそれぞれの合計個数はメモリセルの列内のセル
数と同一数である。また、ダミーセル11A,11Bの
ワード線は接地され従って不活性状態となっている。
【0044】また、それぞれのダミーセル列に接続され
る複数の固定ダミーセル21A,21Bの各々の個数は
同一であり、ダミービット線13A,13Bへの各々の
伝播スピードは同等となる。
【0045】タイミング回路5Aは、上述のように、ダ
ミービット線13A及び13Bの信号BBのいずれか一
方の動作、すなわち、これらダミービット線13Aの信
号BA及び13Bの信号BBのいずれか一方の電位の低
下に応じてタイミング信号tsを発生するものであり、
この種の回路は、例えば、単純なNOR論理で構成する
周知の回路で実現することができる。
【0046】ダミーセル制御回路9は、メモリセル1の
アクセスに連動するクロックCKの入力を受けダミーワ
ード線選択用の選択信号Fを出力するトグル動作のF/
F91と、選択信号Fを反転し反転選択信号BFを出力
するインバータ92と、選択信号FとクロックCKとの
NAND論理をとり第1のダミーワード線12Aを選択
するNAND回路97Aと、NAND回路97Aの出力
の供給に応答してダミーワード線12Aを駆動するダミ
ーワードドライバ98Aと、反転選択信号BFとクロッ
クCKとのNAND論理をとり第2のダミーワード線1
2Bを選択するNAND回路97Bと、NAND回路9
7Bの出力の供給に応答してダミーワード線12Bを駆
動するダミーワードドライバ98Bとを備える。
【0047】次に、図1及び各部波形をタイムチャート
で示す図2を参照して本実施の形態の動作について説明
すると、まず、初期条件としてダミーセル制御回路9の
F/F91の出力である選択信号Fのレベルは1、従っ
てインバータ92の出力である反転選択信号BFのレベ
ル(値)は0であるとする。また、ここでは、説明の便
宜上固定ダミーセル21Aの固定値を1とする。また、
以下の説明では、相補のダミービット線13A,14
A、及びダミービット線13B,14B等のうち代表し
てダミービット線13A,13Bについてのみ説明す
る。
【0048】まず、メモリセル1のアクセスに連動した
クロックCKがタイミングt0で立ち上がると、行デコ
ード出力DRで選択されたいずれかのワード線2とダミ
ーワード線12Aが下記のようにタイミングt1で立ち
上がる。ワード線は選択されたメモリセル1のアクセス
用のトランジスタ(図示省略)を活性化しメモリセル1
で記憶しているデータをビット線3,4に伝播する。
【0049】ダミーセル制御回路9にクロックCKが入
力すると、F/F91は、クロックの立ち上がり(タイ
ミングt0)では出力の選択信号Fのレベルは変化せず
1を保持する。NAND回路97Aは、クロックCKの
立ち上がりと選択信号FとのNAND論理をとり、出力
レベル0をワードドライバ98Aに供給する。インバー
タ論理で構成されているダミーワードドライバ98Aは
NAND回路97Aの選択出力値0を反転し出力のダミ
ーワード線信号WAとしてレベル1をダミーワード線1
2Aに供給する(タイミングt1)。以上の動作をダミ
ーワード線12Aを立ち上げると表現する。すなわち、
タイミングt1でNAND回路97A,ダミーワードド
ライバ98Aは、ダミーワード線12Aを立ち上げダミ
ーワード線信号WAのレベルを1とする。ダミーワード
線信号WAは、第1のダミーセル列の固定ダミーセル2
1Aを活性化させ、この固定ダミーセル21Aに設定さ
れた固定値がダミービット線13Aに伝播し、ダミービ
ット線信号BAとしてタイミング回路5Aに供給する
(タイミングt2)。
【0050】上述のように、固定ダミーセル21Aの固
定値は1であるので、ダミービット線信号BAのレベル
は0となる。一方、ダミービット線13Bのダミービッ
ト線信号BBは、プリチャージ状態のレベル、すなわち
1を保持している。タイミング回路5Aは、ダミービッ
ト線信号BAとダミービット線信号BBとのNOR論理
をとり、その結果を反転してタイミング信号tsを生成
する。すなわち、ダミービット線信号BAの供給に応答
してタイミング信号tsを立ち上げ、そのレベルを1と
する(タイミングt3)。読出回路6のセンスアンプ
は、タイミング信号tsのレベル1の供給に応答して活
性化する。
【0051】次にタイミングt4で、F/F91は、ク
ロックCKの立ち下がりに応答して出力の選択信号Fが
反転しそのレベルを0に立ち下げる。反転選択信号BF
も反転しレベルを1とする。
【0052】これら選択信号F及び反転選択信号BFの
反転により選択対象のダミーワード線が第2のダミーワ
ード線12Bに変わる。次のクロックCKの立ち上がり
であるタイミングt5を待って、ダミーワード線12B
が立ち上がり、ダミーワード線信号WBのレベルが1と
なる(タイミングt6)。前のクロックCKの立ち下が
りタイミングt4によって、このクロックCKの立ち下
がりに基づきトグル変化を行い、反転選択信号BFを確
定することで、タイミングt5で立ち上がるクロックC
Kに対して十分なセットアップタイムをもつ。その後、
タイミングt7,t8と前サイクルのダミービット線1
2Aの動作タイミングt2,t3と同様の動作を行い、
第2のダミーセル列の固定ダミーセル21Bが読み出さ
れ対応するダミービット線信号BBの伝播によりタイミ
ング信号tsを発生する。1サイクル目にはダミービッ
ト線13Aのダミービット線信号BAのレベルの結果が
反映し、2サイクル目にはダミービット線13Bのダミ
ービット線信号BBのレベルの結果が反映することによ
り、従来技術で発生されるタイミング信号と同様な波形
で発生し、適切なタイミングを読出回路6に与える。
【0053】このように、2組のダミーワード線とダミ
ービット線がクロックCKのサイクル毎に交互に動作す
ることにより、これらダミーワード線及びダミービット
線の動作率が従来の動作率の半分となり、配線幅を変更
したり動作周波数を下げることなく配線寿命を確保する
ことが可能となる。
【0054】次に、本発明の第2の実施の形態を図1と
共通の構成要素には共通の参照文字/数字を付して同様
に回路の一部をブロックで表した回路図で示す図3を参
照すると、この図に示す本実施の形態の前述の第1の実
施の形態との相違点は、それぞれダミーセル11A,B
と固定ダミーセル21A,Bから成る第1及び第2のダ
ミーセル列に加えてダミーセル11Cと固定ダミーセル
21Cから成る第3のダミーセル列を備え、これに伴い
ダミーワード線12A,Bに加えてダミーワード線12
Cが付加され、タイミング回路5Aの代わりにダミービ
ット線13A,13B,13Cの各々に対応するダミー
ビット線信号BA,BB,BCのいずれか1つのレベル
遷移に応答してタイミング信号を生成するタイミング回
路5Bと、ダミーセル制御回路9の代わりにダミーワー
ド線A,B,Cに接続して順次切り替えるよう制御する
ダミーセル制御回路9Aとを備えることである。
【0055】タイミング回路5Bは、ダミービット線信
号BA,BB,BCの3入力NOR論理をとり、その結
果を反転することにより、タイミング信号tsを生成す
る。
【0056】ダミーセル制御回路9Aは、F/F91及
びインバータ92の代わりにクロックCKのサイクル毎
にダミーワード線12A,B,Cの各々を選択する選択
信号FA,FB,FCを順次活性化するシフトレジスタ
93と、ダミーワード線12A,B対応のNAND回路
97A,97B及びダミーワードドライバ98A,98
Bに加えてダミーワード線12C対応のNAND回路9
7C及びダミーワードドライバ98Cとを備える。
【0057】図3及び各部波形をタイムチャートで示す
図2を参照して本実施の形態の動作について説明する
と、メモリ装置に連続したクロックCKが入力したと
き、シフトレジスタ93の出力である選択信号FA,F
B,FCは、クロックCKの立ち下がりに応答して順次
シフトする。ここでは、説明の便宜上初期選択状態、す
なわち、タイミングt0でのレベル1の選択信号を選択
信号FAとする。まず、クロックCKの上がり(タイミ
ングt0)では出力の選択信号FAのレベルは1、選択
信号FB,FCの各々レベルは0を保持する。このタイ
ミングt0において、NAND回路97Aは、クロック
CKの立ち上がりと選択信号FAとのNANDをとりダ
ミーワードドライバ98Aを経由して、タイミングt1
で、ダミーワード線12Aのダミーワード線信号WAを
立ち上がらせる。ダミーワード線信号WAは、固定ダミ
ーセル21Aを活性化させ、ダミービット線13Aにダ
ミービット線信号BAを伝播させこのダミービット線信
号BAをタイミング回路5Bに供給し、タイミングt2
で、タイミング信号tsを立ち上げる。
【0058】次に、タイミングt3でクロックCKの立
ち下がりに応答してシフトレジスタ93の出力が選択信
号FAから選択信号FBに移行し、ダミーワード線12
Bの選択状態となる。
【0059】その後タイミングt4にてクロックCKが
立ち上がると、ダミーワード線12Bが立ち上がり、ダ
ミーワード線信号WBが1となる(タイミングt5)。
その結果は1サイクル目のダミーセル11Aの動作と同
じ振る舞いをし、タイミング信号tsをタイミングt6
にて発生する。
【0060】次にタイミングt7でクロックCKの立ち
下がりに応答してシフトレジスタ93の出力が選択信号
FBから選択信号FCに移行し、ダミーワード線12C
の選択状態となる。上記と同様、ダミーワード線信号W
Cが1となり(タイミングt8)、以下、1サイクル目
のダミーセル11Aの動作と同じ振る舞いをし、タイミ
ング信号tsをタイミングt9にて発生する。
【0061】タイミングt0,t4,t7のクロックC
Kの3サイクルにおいて、3本のダミーワード線12
A,12B,12Cを選択した後は、タイミングt10
のクロックの立ち下がりをもって、ダミーワード線12
Aの選択状態にもどり、1サイクル目と同じ振る舞いを
行う。
【0062】以上のように、3列のダミーセルが順番に
動作を行うことにより、各々のダミーワード線、ダミー
ビット線の動作率は従来の1/3にまで削減することで
配線寿命の延長のためにはより効果を上げることが可能
となる。
【0063】また、ダミーセル列及びダミーワード線の
組をさらに増加し、それぞれのダミーワード線の動作率
を低減することも可能である。
【0064】また、本実施の形態では、複数列のダミー
セルを制御するのにシフトレジスタを用いることを説明
したが、シフトレジスタの代わりにバイナリーカウンタ
+デコーダを用いて制御することも可能である。
【0065】次に、本発明の第3の実施の形態を図1と
共通の構成要素には共通の参照文字/数字を付して同様
に回路の一部をブロックで表した回路図で示す図5を参
照すると、この図に示す本実施の形態の前述の第1の実
施の形態との相違点は、2列のダミーセル列のダミーセ
ル11A,11Bと固定ダミーセル21A,21Bの代
わりに1列のダミーセル列のダミーセル11A及びダミ
ーワード線12A,12Bの両方に接続し各々のアクセ
スに対し独立の固定値をダミービット線信号として出力
する複数の固定ダミーセル31Aと、タイミング回路5
Aの代わりにダミービット線13A,14Aの各々のダ
ミービット線信号BA,CAのいずれか一方の入力によ
りタイミング信号tsを発生するタイミング回路5Cと
を備え、ダミーセルの列を増加しないでダミーワード線
12A,12B及びダミービット線を分割してダミーワ
ード線12A,12B及び対応するダミービット線13
A,14Aを交互に選択することである。
【0066】固定ダミーセル31Aの構成の一例を回路
図で示す図6を参照すると、この固定ダミーセル31A
は、ゲートがダミーワード線12Bにドレインがダミー
ビット線13Aにそれぞれ接続されるアクセス用のトラ
ンジスタN31と、ゲートがダミーワード線12Aにド
レインがダミービット線14Aにそれぞれ接続されるア
クセス用のトランジスタN32と、ドレインがトランジ
スタN31のソースにゲートが電源VDにソースが接地
にそれぞれ接続されたトランジスタN33と、ドレイン
がトランジスタN32のソースにゲートが電源VDにソ
ースが接地にそれぞれ接続されたトランジスタN34と
を備える。トランジスタN33のドレインは抵抗R31
を介して電源VDに接続され、トランジスタN34のド
レインは抵抗R32を介して電源VDに接続される。
【0067】次に、図6を参照して、固定ダミーセル3
1Aの動作について説明すると、トランジスタN33,
N34は、共にゲートが電源VDにクランプされ、各々
のドレインである記憶ノードS31,S32は共に’
0’を記憶する。ダミービット線13A,14Aへの信
号の伝播特性はトランジスタN31,N33及びトラン
ジスタN32,N34を電流経路として持つことで、通
常のダミーセル11A等と同様の特性をもつ。
【0068】このような固定ダミーセル31Aの各々
に、2本のダミーワード線12A,12Bをそれぞれ接
続し、ダミービット線13A,14Bの各々を動作させ
てダミービット線信号BA,CAを伝播させ、タイミン
グ回路5Cがこれらダミービット線信号BA,CAのい
ずれか一方のレベル0に応じてタイミング信号tsを発
生することにより、第1の実施の形態と同等の動作を行
う。
【0069】従って、本実施の形態では、面積を増加さ
せることなく第1の実施の形態と同様に配線寿命を延長
する効果がある。
【0070】次に、本発明の第4実施の形態を図1と共
通の構成要素には共通の参照文字/数字を付して同様に
回路の一部をブロックで表した回路図で示す図7を参照
すると、この図に示す本実施の形態の前述の第1の実施
の形態との相違点は、複数の固定ダミーセル21Aの代
わりに電源電圧によりダミービット線信号BDの発生タ
イミングが異なる2組の固定ダミーセル21D,21E
と、これら固定ダミーセル21D,21Eの各々を選択
する2組のダミーワード線12D,12Eと、ダミーセ
ル制御回路9の代わりにダミーワード線12Dを常時選
択すると共に、電源電圧が予め設定した電圧以上になる
とダミーワード線12Eをさらに選択するよう制御する
ダミーセル制御回路9Bと、ダミーセル11A,11B
の代わりにダミーセル11Dとを備えることである。
【0071】ダミーセル制御回路9Bは、電源電圧を監
視し電源電圧が予め設定した電圧以上になるとレベル1
の電源電圧感知信号を出力する電源電圧感知回路94
と、ダミーワード線12D,E対応のNAND回路97
D,97E及びダミーワードドライバ98D,98Eを
備える。NAND回路97Dの一方の入力は電源VDに
接続し他方の入力はクロックCKのの供給を受け、NA
ND回路97Eの一方の入力は電源電圧感知回路94の
出力に接続して電源電圧感知信号の供給を受け他方の入
力はクロックCKの供給を受ける。
【0072】電源電圧感知回路94は、例えば、基準レ
ベルを与えたコンパレータの使用により構成することが
可能であり、周知の回路であるため詳細は省略する。
【0073】本実施の形態は、配線寿命とは特に関係な
いが、従来技術におけるもう1つの解決対象課題であっ
た電源電圧の大幅な変化によるセンスアンプ活性化タイ
ミングの変化を解決することを目的とするものである。
すなわち、高電圧でのタイミング信号発生タイミングと
低電圧でのタイミング信号発生タイミングを切り替え、
どちらの場合でも最適なタイミング信号発生タイミング
を得る。
【0074】図7を参照して本実施の形態の動作につい
て第1の実施の形態との相違点を重点的に説明すると、
まず、説明の便宜上、低電圧条件では固定ダミーセル2
1Dの3個の縦続(直列)接続、高電圧条件では、固定
ダミーセル21D3個+固定ダミーセル21Eの1個の
縦続接続でそれぞれ最適のタイミングでタイミング信号
tsを発生するものとする。
【0075】電源電圧が低電圧のとき、電源電圧感知回
路94はレベル0を出力し、NAND回路97Dの一方
の入力が電源電圧VDに常時クランプされているので、
従って、NAND回路97D,ワードドライバ98Dに
よりダミーワード線12Dのみが選択され、ダミーワー
ド線信号WDを固定ダミーセル21Dに供給する。3個
のダミーセル21Dはダミーワード線信号WDの供給に
応じて活性化してダミービット線13Dにダミービット
線信号BDを伝播する。タイミング回路5Aはダミービ
ット線13Dに接続され、ダミービット線信号BDのレ
ベル0への遷移に応じて低電圧条件で設定した最適タイ
ミングでタイミング信号tsを発生する。
【0076】次に、電源電圧が高電圧になると、電源電
圧感知回路94はレベル1を出力し、NAND回路97
E,ワードドライバ98Eを介してダミーワード線12
Eを選択し、ダミーワード線信号WEをダミーセル21
Eに供給する。その結果、低電圧条件で既に活性化して
いる3個の固定ダミーセル21Dに加えて、固定ダミー
セル21Eが活性化され、この結果ダミービット線信号
BDの伝播タイミングが変化し、タイミング回路5A
は、高電圧条件で設定した最適タイミングでタイミング
信号tsを発生する。
【0077】これにより、低電圧時、高電圧時のどちら
の使用条件に関しても適切なタイミング信号を発生する
ことができる。
【0078】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のメモリ装
置は、それぞれ固定ダミーセル及びダミービット線を有
する少なくとも2組のダミーセル列である第1及び第2
のダミーセル列と、上記第1及び第2のダミーセル列の
各々の第1及び第2の固定ダミーセルをアクセスする第
1及び第2のダミーワード線と、上記第1及び第2のダ
ミーワード線の選択を行うダミー線選択手段とを備え、
上記タイミング回路が、上記第1及び第2のダミーセル
列の各々の上記ダミービット線に伝播したダミービット
線信号にそれぞれ基づくタイミングで上記タイミング信
号を発生するので、これら第1及び第2のダミーワード
線とダミービット線がクロックのサイクル毎に順次動作
することにより、これらダミーワード線及びダミービッ
ト線の動作率が上記複数分の1となり、配線幅を変更し
たり動作周波数を下げることなく配線寿命を確保するこ
とが可能となるという効果がある。
【0079】また、第4の実施の形態では、低電圧及び
高電圧の2つの使用電圧条件の場合、個々の電圧条件に
対しそれぞれ最適のタイミングでタイミング信号を発生
できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のメモリ装置の第1の実施の形態を示す
回路の1部をブロックで表した回路図である。
【図2】本実施の形態のメモリ装置における動作の一例
を示すタイムチャートである。
【図3】本発明のメモリ装置の第2の実施の形態を示す
回路の1部をブロックで表した回路図である。
【図4】本実施の形態のメモリ装置における動作の一例
を示すタイムチャートである。
【図5】本発明のメモリ装置の第3の実施の形態を示す
回路の1部をブロックで表した回路図である。
【図6】図5に示した固定ダミーメモリセルの構成の一
例を示す回路図である。
【図7】本発明のメモリ装置の第4の実施の形態を示す
回路の1部をブロックで表した回路図である。
【図8】従来のメモリ装置の一例を示す回路の1部をブ
ロックで表した回路図である。
【図9】固定ダミーメモリセルの構成の一例を示す回路
図である。
【図10】従来のメモリ装置における動作の一例を示す
タイムチャートである。
【符号の説明】
1 メモリセル 2 ワード線 3,4 ビット線 5,5A,5B タイミング回路 6 読出回路 7,97A,97B,97C,97D,97E NA
ND回路 8 ワードドライバ 9,9A,9B ダミーセル制御回路 11A,11B,11C,11D ダミーセル 12A,12B,12C ダミーワード線 13A,13B,13C,14A,14B,14C
ダミービット線 21A,21B,21C,21D,21E,31A
固定ダミーセル 91 F/F 92 インバータ 93 シフトレジスタ 94 電源電圧感知回路 98A,98B,98C,98D,98E ダミーワ
ードドライバ P1,N21、N22,N23,N24,N31,N3
2,N33,N34トランジスタ S21,S22,S31,S32 記憶ノード

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリセルを行及び列に配置したメモリ
    セルアレイと、各々が相補のダミービット線に接続し前
    記メモリセルと同一のトランジスタ構造を有し予め定め
    た個数が固定値を有する固定ダミーセルである前記メモ
    リセルアレイの一列分と同数個のダミーセルを有するダ
    ミーセル列と、前記メモリセルアレイのアクセスに連動
    して前記固定ダミーセルをアクセスするダミーワード線
    と、前記ダミービット線に伝播し前記固定ダミーセルか
    ら読出したダミービット線信号に基づくタイミングで他
    の回路を制御するためのタイミング信号を発生するタイ
    ミング回路とを備えるメモリ装置において、 それぞれ前記固定ダミーセル及び前記ダミービット線を
    有する少なくとも2組の前記ダミーセル列である第1及
    び第2のダミーセル列と、 前記第1及び第2のダミーセル列の各々の前記固定ダミ
    ーセルである第1及び第2の固定ダミーセルをアクセス
    する第1及び第2のダミーワード線と、 前記第1及び第2のダミーワード線の選択を行うダミー
    線選択手段とを備え、前記タイミング回路が、前記第1
    及び第2のダミーセル列の各々の前記ダミービット線に
    伝播したダミービット線信号にそれぞれ基づくタイミン
    グで前記タイミング信号を発生することを特徴とするメ
    モリ装置。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2のダミーワード線でそ
    れぞれアクセスされ各々の前記相補のダミービット線の
    一方に前記ダミービット線信号をそれぞれ伝播させる第
    1及び第2の固定ダミーセルをそれぞれ有する第1及び
    第2の前記ダミーセル列を備えることを特徴とする請求
    項1記載のメモリ装置。
  3. 【請求項3】 第1及び第2の固定値を持ち前記第1及
    び第2のダミーワード線で独立にアクセスされ前記相補
    のダミービット線の各々に前記第1及び第2のダミーワ
    ード線によるアクセスで読み出した前記第1及び第2の
    固定値対応の第1及び第2のダミービット線信号を伝播
    させる2アクセス型の固定ダミーセルを備えることを特
    徴とする請求項1記載のメモリ装置。
  4. 【請求項4】 複数のメモリセルによる行及び列を構成
    し列方向に第1の数の前記メモリセルを配置して成るメ
    モリセルアレイと、前記メモリセルの各々に接続され行
    アドレスを選択するワード線と、前記メモリセルの各々
    に接続され前記メモリセルの相補のデータをそれぞれ伝
    播する相補のビット線対と、センスアンプを備え前記ビ
    ット線対に伝播したデータを読み出しデータバスに出力
    する読出回路とを備えるメモリ装置において、 前記メモリセルと同一構成の前記第1の数より少ない第
    2の数の第1のダミーセルとセル内部の記憶データが固
    定され前記第1の数から前記第2の数を減算した第3の
    数の第1の固定ダミーセルとから成る第1のダミーセル
    列と、 前記メモリセルと同一構成の前記第2の数の第2のダミ
    ーセルとセル内部の記憶データが固定され前記第3の数
    の第2の固定ダミーセルとから成る第2のダミーセル列
    と、 前記第1のダミーセル及び第1の固定ダミーセルに接続
    される第1の相補のダミービット線対と、 前記第2のダミーセル及び第2の固定ダミーセルに接続
    される第2の相補のダミービット線対と、 前記第1及び第2の固定ダミーセルにそれぞれ接続され
    る第1及び第2のダミーワード線と、 行デコード出力に応じて前記ワード線を駆動するための
    ワード線駆動回路と、前記第1及び第2のダミーワード
    線の各々に接続しこれら第1及び第2のダミーワード線
    のいずれか1つを選択して前記第1及び第2の固定ダミ
    ーセルの動作を制御するダミーセル制御回路と、 前記第1及び第2のダミービット線対の各々の一方とそ
    れぞれ接続し前記第1及び第2のダミービット線対のい
    ずれか一方の動作に応じて前記センスアンプの動作タイ
    ミングを制御するタイミング信号を生成するタイミング
    回路とを備えることを特徴とするメモリ装置。
  5. 【請求項5】 前記ダミーセル制御回路が、前記メモリ
    セルのアクセスに連動するクロック信号の入力を受け前
    記ダミーワード線選択用の選択信号を出力するトグル動
    作のフリップフロップと、 前記選択信号を反転し反転選択信号を出力するインバー
    タと、 前記選択信号と前記クロック信号とのNAND論理をと
    り前記第1のダミーワード線を選択する第1のNAND
    回路と、 前記第1のNAND回路の出力の供給に応答して前記第
    1のダミーワード線を駆動する第1のダミーワードドラ
    イバと、 前記反転選択信号と前記クロック信号とのNAND論理
    をとり前記第2のダミーワード線を選択する第2のNA
    ND回路と、 前記第2のNAND回路の出力の供給に応答して前記第
    2のダミーワード線を駆動する第2のダミーワードドラ
    イバとを備えることを特徴とする請求項4記載のメモリ
    装置。
  6. 【請求項6】 前記ダミーセル制御回路が、前記メモリ
    セルのアクセスに連動するクロック信号の入力を受けこ
    のクロック信号のサイクル毎に前記第1及び第2のダミ
    ーワード線の各々を選択する第1及び第2の選択信号を
    順次活性化するシフトレジスタと、 前記第1の選択信号と前記クロック信号とのNAND論
    理をとり前記第1のダミーワード線を選択する第1のN
    AND回路と、 前記第1のNAND回路の出力の供給に応答して前記第
    1のダミーワード線を駆動する第1のダミーワードドラ
    イバと、 前記第2の選択信号と前記クロック信号とのNAND論
    理をとり前記第2のダミーワード線を選択する第2のN
    AND回路と、 前記第2のNAND回路の出力の供給に応答して前記第
    2のダミーワード線を駆動する第2のダミーワードドラ
    イバとを備えることを特徴とする請求項4記載のメモリ
    装置。
  7. 【請求項7】 複数のメモリセルによる行及び列を構成
    し列方向に第1の数の前記メモリセルを配置して成るメ
    モリセルアレイと、前記メモリセルの各々に接続され行
    アドレスを選択するワード線と、前記メモリセルの各々
    に接続され前記メモリセルの相補のデータをそれぞれ伝
    播する相補のビット線対と、センスアンプを備え前記ビ
    ット線対に伝播したデータを読み出しデータバスに出力
    する読出回路とを備えるメモリ装置において、 前記メモリセルと同一構成の前記第1の数より少ない第
    2の数のダミーセルと、セル内部の第1及び第2の記憶
    データが固定され前記第1の数から前記第2の数を減算
    した第3の数の固定ダミーセルとから成るダミーセル列
    と、 前記ダミーセル及び前記固定ダミーセルに接続される相
    補のダミービット線対と、 前記固定ダミーセルの各々に接続され前記第1の固定デ
    ータを前記ダミービット線対の一方に読出すための第1
    のダミーワード線及び前記第2の固定データを前記ダミ
    ービット線対の他方に読出すための第2のダミーワード
    線と、 行デコード出力に応じて前記ワード線を駆動するための
    ワード線駆動回路と、 前記第1及び第2のダミーワード線の各々に接続しこれ
    ら第1及び第2のダミーワード線のいずれか1つを選択
    して前記固定ダミーセルの動作を制御するダミーセル制
    御回路と、 前記ダミービット線対の各々をそれぞれ接続し前記ダミ
    ービット線対の一方と他方のいずれかの動作に応じて前
    記センスアンプの動作タイミングを制御するタイミング
    信号を生成するタイミング回路とを備えることを特徴と
    するメモリ装置。
  8. 【請求項8】 複数のメモリセルによる行及び列を構成
    し列方向に第1の数の前記メモリセルを配置して成るメ
    モリセルアレイと、前記メモリセルの各々に接続され行
    アドレスを選択するワード線と、前記メモリセルの各々
    に接続され前記メモリセルの相補のデータをそれぞれ伝
    播する相補のビット線対と、センスアンプを備え前記ビ
    ット線対に伝播したデータを読み出しデータバスに出力
    する読出回路とを備えるメモリ装置において、 前記メモリセルと同一構成の第2の数のダミーセルとセ
    ル内部の記憶データが固定された第3の数の第1の固定
    ダミーセルと第4の数の第2の固定ダミーセルとから成
    るダミーセル列と、 前記ダミーセル及び前記第1及び第2の固定ダミーセル
    に接続される相補のダミービット線対と、 前記第1及び第2の固定ダミーセルにそれぞれ接続され
    る第1及び第2のダミーワード線と、 行デコード出力に応じて前記ワード線を駆動するための
    ワード線駆動回路と、前記第1及び第2のダミーワード
    線の各々に接続し前記第1のダミーワード線を常時選択
    して前記第1の固定ダミーセルを読出し電源電圧が予め
    定めた値を超えると前記第1の固定ダミーセルに加えて
    前記第2のダミーワード線を選択して前記第2の固定ダ
    ミーセルをさらに読出すよう制御するダミーセル制御回
    路と、 前記第1及び第2のダミービット線対の各々の一方とそ
    れぞれ接続し前記第1及び第2のダミービット線対のい
    ずれか一方の動作に応じて前記センスアンプの動作タイ
    ミングを制御するタイミング信号を生成するタイミング
    回路とを備えることを特徴とするメモリ装置。
  9. 【請求項9】 前記前記ダミーセル制御回路が、電源電
    圧を監視し電源電圧が予め設定した電圧以上になると電
    源電圧感知信号を出力する電源電圧感知回路を備えるこ
    とを特徴とする請求項8記載のメモリ装置。
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