JP2003089190A

JP2003089190A - スクリーン印刷方法及び装置

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Publication number: JP2003089190A
Application number: JP2002014849A
Authority: JP
Inventors: Shinji Kanda; 真治神田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2001-07-13
Filing date: 2002-01-23
Publication date: 2003-03-25
Anticipated expiration: 2022-01-23
Also published as: JP3682434B2

Abstract

(57)【要約】【課題】印刷精度を高めることができると共に、スク
リーンメッシュを伸ばして使用することによるスクリー
ンメッシュの劣化等を防ぐことのできるスクリーン印刷
方法及び装置を提供する。【解決手段】スクリーンメッシュと前記スクリーンメ
ッシュを保持するスクリーン枠とから成るスクリーン版
に、インク供給部にてインクを供給し、前記インクの供
給された前記スクリーンメッシュ上でスキージを摺動さ
せてこの摺動面からインクを押出し、被印刷物の前記摺
動面に対応する印刷面に前記インクを転移させるスクリ
ーン印刷方法であって、少なくとも前記スクリーン版と
前記被印刷物を、前記スキージの通過したスクリーンメ
ッシュが被印刷物の前記印刷面から分離する圧力状態と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、IC製造における回
路基板へのエッジングのためのレジストの印刷やプリン
ト基板への配線図の印刷、及びプラズマディスプレイの
ガス放電パネル（PDP）の製造における基板へのパター
ン印刷、その他、種々の印刷においても広く使用される
スクリーン印刷方法及び装置に関し、より詳細には、ス
キージの通過したスクリーンメッシュと被印刷物との分
離を円滑にするスクリーン印刷方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】スクリーン印刷は、図７に示すように、
ステンレススチール等を細かな網目状に形成したスクリ
ーンメッシュから成るスクリーン版１にインク８を供給
した後、前記スクリーンメッシュのインク８供給面側を
スキージ６が摺動することで、スクリーンメッシュの印
刷されるべき開孔からインク８を押出し、スクリーン版
１のスキージ６の摺動面と反対側に配置された印刷台１
１上の被印刷物１０に前記インク８を転移させることに
より印刷を行うものが一般的である。

【０００３】上記スクリーン印刷においては、スキージ
６の摺動時以外にスクリーン版１のスクリーンメッシュ
と被印刷物１０が接触することによりスクリーンメッシ
ュに供給されたインク８が被印刷物１０によって付着す
る等の印刷不良を防止する等の観点から、通常、被印刷
物１０とスクリーン版１には２mm〜６mm程度の間隙が設
けられており、前記スキージ６が前記スクリーンメッシ
ュ上を摺動するときのみ、スクリーンメッシュの摺動面
とこの摺動面に対応する被印刷物１０の印刷面とを接触
させてインク８を転移すると共に、該接触後はスクリー
ン版１の張力によってスキージ６の通過したスクリーン
メッシュが被印刷物１０の印刷面から分離するよう構成
されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のス
クリーン印刷においては、スクリーンメッシュと被印刷
物１０との接触は、スキージ６がスクリーンメッシュ上
を摺動し、該スクリーンメッシュを伸ばすことで行って
いるため、スクリーンメッシュの劣化が早く、耐久性を
高めることが難しかった。

【０００５】また、スキージ６にてスクリーンメッシュ
を被印刷物１０に接触させた後、スクリーンメッシュの
摺動面が被印刷物１０の印刷面から分離する程度の張力
を、スクリーン版１の被印刷物の印刷面全体となる開孔
全体に保持させるには、スクリーン版１を印刷面積の２
倍程度大きくする必要があり、コストの面でも問題があ
った。

【０００６】さらに、スクリーンメッシュを伸ばして印
刷を行うため、スクリーンメッシュ上に形成された開孔
５の形状に対応して被印刷物１０に正確にインク８を転
移させることが難しく、印刷精度を高めるには限界があ
った。

【０００７】上記印刷精度を上げるために、スクリーン
メッシュと被印刷物１０の間隙をできるだけ狭くとり、
スクリーンメッシュを伸ばさず被印刷物１０へインク８
を転移することが考えられる。

【０００８】しかし、該間隙を狭くすると、前述したよ
うに、スキージ６の通過時以外にスクリーンメッシュと
被印刷物が接触して印刷不良が生じてしまうおそれがあ
り、特に外周であるスクリーン枠３の周辺に比較して撓
みやすいスクリーンメッシュの中央部ではこの接触の可
能性が高くなる。

【０００９】また、この場合、スクリーンメッシュを伸
ばさずに印刷するため、スクリーン版１の有する張力で
スクリーンメッシュと被印刷物１０とを分離させること
が困難となり、スクリーンメッシュと被印刷物１０の間
隙が狭いことと相俟って、スクリーンメッシュと被印刷
物１０とがインク８を介して接着されたような状態とな
ってしまい、これらを分離することが困難となるだけで
なく、この分離を印刷後に手作業等によって行う場合に
は、分離の際にスクリーンメッシュが傾斜すること等に
より被印刷物１０へのインク８の付着にむら等の印刷不
良が生じるおそれがある。

【００１０】本発明は上記問題を解決すべく、スクリー
ンメッシュと被印刷物との接触後に前記スクリーンメッ
シュの摺動面が前記被印刷物１０の印刷面から分離する
構成を備えることにより、スクリーンメッシュと被印刷
物の間隙を従来と比較して狭く維持することを可能と
し、印刷精度を高めることができると共に、スクリーン
メッシュを伸ばして使用することによるスクリーンメッ
シュの劣化を防ぎ、また、スクリーン版１の張力保持の
ためにスクリーンメッシュを必要以上に広く確保する必
要のないスクリーン印刷方法及び装置を提供することを
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のスクリーン印刷
方法は、上述したように、スクリーンメッシュと前記ス
クリーンメッシュを保持するスクリーン枠とから成るス
クリーン版に、インク供給部にてインクを供給し、前記
インクの供給された前記スクリーンメッシュ上でスキー
ジを摺動させてこの摺動面のスクリーン版開孔からイン
クを押出し、被印刷物の前記摺動面に対応する印刷面に
前記インクを転移させるスクリーン印刷工程において、
少なくとも前記スクリーン版と前記被印刷物間を、前記
スキージの通過したスクリーンメッシュが被印刷物の前
記印刷面から分離する圧力状態とすることを特徴とする
（請求項１）。

【００１２】また、前記圧力状態は、前記スクリーン版
と前記被印刷物との間に気体を導入することにより達成
することができる。（請求項２）。この気体は、前記気
体を前記スキージの摺動方向に沿って導入することがで
き（請求項３）あるいは、前記スクリーン版のスキージ
摺動面側を負圧にすることにより達成することができ
る。（請求項３）。

【００１３】前記スキージと近接して設けられた前記イ
ンク供給部を前記スキージに同期して移動させることに
より、前記スクリーンメッシュの開孔を閉塞すれば前記
圧力状態の形成に好適である（請求項５）。

【００１４】さらに、前記スクリーン版と前記被印刷物
との間に好ましくは1mm以上の間隙を形成し、前記スク
リーン版と前記被印刷物を前記圧力状態とし、該圧力状
態を保持したまま前記スクリーン版と前記被印刷物との
間隙を好ましくは1mm未満として前記被印刷物に前記ス
クリーン版の全開孔による印刷を順次行い、前記スクリ
ーン版と前記被印刷物との間隙を再び好ましくは1mm以
上として、前記圧力状態を解除することもできる（請求
項６）。

【００１５】そして、本発明スクリーン印刷装置は、ス
クリーンメッシュと前記スクリーンメッシュを保持する
スクリーン枠とから成るスクリーン版と、前記スクリー
ン版にインクを供給するインク供給部と、前記スクリー
ンメッシュ上で摺動し、この摺動面のスクリーン版開孔
からインクを押出すスキージと、前記摺動面に対応する
印刷面に前記インクが転移される被印刷物を支持する印
刷台を備え、少なくとも前記スクリーン版と前記被印刷
物間を、前記スキージの通過したスクリーンメッシュが
被印刷物の前記印刷面から分離する圧力状態とする圧力
調整手段を有することを特徴とする（請求項７）。

【００１６】前記圧力調整手段が、前記スクリーン版と
前記被印刷物との間に、好ましくは前記スクリーン版と
前記被印刷物との間を密封して形成された差圧室内に、
気体を供給する機構を有するものとすれば好適である
（請求項８）。そして、前記圧力調整手段を、前記スク
リーン版と前記被印刷物との間に前記スキージの進行方
向と同方向に気体を供給可能とすれば好適である（請求
項９）。また、前記スクリーン版と前記被印刷物との間
に向かって開口したノズルにより気体を供給することが
できる（請求項１０）。

【００１７】あるいは、前記圧力調整手段を、前記スク
リーン版のスキージ摺動面側の空気を吸引する機構を有
するものとすることができる（請求項１１）。

【００１８】前記インク供給部を前記スキージと近接し
て配置し、前記スキージに同期移動自在に設ければ好適
である（請求項１２）。

【００１９】さらに、二の前記インク供給部間に二の前
記スキージを配置し、これら二の前記インク供給部及び
二の前記スキージをスクリーン版上で往復移動自在に設
ければ好適である（請求項１３）。

【００２０】前記被印刷物と前記スクリーン版間を接近
離間可能に調整する、例えば、前記スクリーン版及び／
又は前記印刷台の少なくとも一部を移動させる機構から
成る、間隙調整手段を設ければ好適である（請求項１
４、１５）。また、対を成すインク供給部間に一の前記
スキージを配置し、これら二の前記インク供給部及び前
記スキージを前記スクリーン版上で往復自在に設けて往
復印刷が可能に構成することもできる（請求項１６）。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明のスクリーン印刷工
程を装置と共に説明する。

【００２２】本発明のスクリーン印刷装置は、スクリー
ンメッシュと前記スクリーンメッシュを保持するスクリ
ーン枠３とから成るスクリーン版１と、前記スクリーン
版１にインク８を供給するインク供給部９と、前記スク
リーンメッシュ上で摺動し、この摺動面からインク８を
押出すスキージ６と、前記摺動面に対応する印刷面に前
記インク８が転移される被印刷物１０を支持する印刷台
１１を備えると共に、少なくとも前記スクリーン版１と
前記被印刷物１０間を、前記スキージ６の通過したスク
リーンメッシュが被印刷物１０の前記印刷面から分離す
る圧力状態とする圧力調整手段２０を有するものであ
り、一例として図１に示すように、構成することができ
る。

【００２３】図１において、１はスクリーン版で、遮蔽
部４を除く印刷部分たる印刷用開口あるいはパターン孔
を成す開孔５を形成したスクリーンメッシュをスクリー
ン枠３にて囲って版としたものである。ステンレス等の
金属薄板に画線部５を穿設により開口として形成したも
のを用いることもできる。

【００２４】一般的なスクリーンメッシュとしては、既
知の各種スクリーンメッシュを使用することができ、例
えばステンレススチール、ポリアミド（ナイロン；デュ
ポン社）、テトロン、絹を網状に組織したものを用いる
ことができるが、網状に組織することができ、スクリー
ンメッシュとして用いることができればこれに限定され
ない。遮蔽部４は、例えば、ゼラチン、エマルジョン
（乳剤）等製版材量に一般的に使用されるPVA（ポリビ
ニルアルコール）と酢酸ビニルエマルジョンにジアゾ系
の感光剤を入れたものを感光性乳剤として用いることが
できる。

【００２５】６はスキージで、前記スクリーン版１のス
クリーンメッシュ上を摺動することにより、インク供給
部９から前記スクリーンメッシュに供給されたインク８
を、スクリーンメッシュに形成された開孔５から被印刷
物１０側に向かって押出すものである。

【００２６】インク８としては、スクリーン印刷に適用
可能なものであれば、水性、油性、合成樹脂性、エマル
ジョン性のものや、銀等の金属粉を混入してペースト状
としたもの等、広く使用することができる。

【００２７】前記スキージ６の摺動によりインク８が転
移される被印刷物１０としては、ＩＣの回路基板やプリ
ント基板、プラズマディスプレイパネルの基板等を挙げ
ることができるが、本発明のスクリーン印刷手段によっ
て印刷できるものであれば、紙、布、樹脂、金属、セラ
ミックス（ガラス等を含む）等、さまざまな材質のもの
を被印刷物とすることができる。

【００２８】前記被印刷物１０は、その下面において接
触する印刷台１１によって支持されている。前記印刷台
１１は、印刷の際に前記被印刷物１０がずれたり、スク
リーン版１に付着して浮き上がること等を防止すべく、
前記被印刷物１０を固定して支持する構成を備えてお
り、本実施形態にあっては、前記印刷台１１の被印刷物
１０固定部下部に図示せざる真空ポンプを設け、該真空
ポンプにより被印刷物１０を吸着して固定している。

【００２９】また、前記被印刷物１０は、前記スクリー
ン版１のスキージ６の摺動面とは反対面側に、前記スク
リーン版１と平行に所定の間隙をもって配置されてい
る。

【００３０】前記スクリーン版１と被印刷物１０との間
隙は、好ましくは２mm以下、０．０1mm以上である。

【００３１】２０は圧力調整手段であり、本実施形態に
あっては、ブロア２１を前記圧力調整手段２０とし、該
ブロア２１によりスクリーン版１と被印刷物１０間に気
体を供給する。

【００３２】前記ブロア２１による気体の供給によっ
て、前記スクリーン版１と前記被印刷物１０間は前記ス
クリーン版のスキージ６の摺動面側に比較して高圧とな
り、このスクリーン版１を境界として差圧が発生し、こ
の差圧によりスクリーンメッシュには被印刷物１０から
離れようとする力が作用する。そのため、スクリーン版
１と被印刷物１０との間隙を狭くしても、両者が接触す
ることを防ぐことができ、印刷時にスキージ６の摺動に
よりスクリーンメッシュと被印刷物１０とが接触して
も、スキージの移動により両者を容易に分離させること
が可能となる。

【００３３】スキージ６の摺動により接触した前記スク
リーンメッシュと被印刷物１０を分離させるのに必要と
なる差圧の大きさは、印刷に使用するインク８の粘度
や、印刷パターンの大きさ等により異なるため、前記圧
力調整手段２０は、これらの条件に応じてスクリーン版
１と被印刷物１０間の圧力状態を調整できる機構を備え
ていることが好ましい。

【００３４】本実施形態にあっては、前記ブロア２１
は、駆動源たる電動モータの回転数を制御するインバー
タ回路を回転制御手段として備えており、このインバー
タ回路により交流周波数を変換することで、前記スクリ
ーン版１と被印刷物１０間に供給する気体流量を変更
し、該スクリーン版１と被印刷物１０間の圧力状態を調
整する。インバータ回路により前記ブロア２１のモータ
の回転数を上昇させれば、前記スクリーン版１と被印刷
物１０間内に供給される気体の量が増加して圧力が上昇
するため、スクリーンメッシュが被印刷物１０から離れ
ようとする力が強くなる。なお、オリエンタルモータな
どのモータを使用する場合には、インバータに代えて可
変抵抗を用いることにより、上述したような回転数の制
御が可能となる。

【００３５】圧力調整手段２０である前記ブロア２１に
より前記スクリーン版１と被印刷物１０間に供給する気
体としては、窒素ガス又はアルゴン等の不活性ガス等を
用いることもできるが、本実施形態にあっては空気を供
給している。

【００３６】また、前記気体の供給は、スクリーン版１
と被印刷物１０間の空間を略密封もしくは圧密状態で画
成して差圧室３０を形成し、この差圧室３０内に対して
行うこともできる。これにより、該部が開放状態のとき
と比較して、少量の気体でも前記圧力状態を形成するこ
とが可能となる。

【００３７】本実施形態にあっては、スクリーン版１の
スクリーン枠３と外周が略一致する圧力保持枠１２をス
クリーン版１と被印刷物１０を固定する印刷台１１間に
配置して、スクリーン版１と印刷台１１間を封止するこ
とにより前記差圧室３０を形成する。また、前記ブロア
２１から前記差圧室３０内へと連通する供給管１５のノ
ズル１７を前記印刷台１１に貫通して設け、前記ブロア
２１が供給する気体が前記供給管１５を通じて前記差圧
室３０内に供給されるよう構成されている。前記供給管
１５のノズル１７は前記差圧室３０内に気体を供給する
ことができればよく、例えばスクリーン版１のスクリー
ン枠３等に設けてもよい。

【００３８】さらに、前記気体は、スキージ６の通過し
たスクリーンメッシュが被印刷物１０から分離しやすく
なるように、前記スクリーン版１を摺動するスキージ６
の移動方向と同方向に供給されることが好ましく、例え
ば、前記ブロア２１に連結し前記気体を噴射するノズル
１７を前記スクリーン版１下部に設け、該ノズル１７よ
り気体を噴射することにより、スクリーンメッシュ上の
スキージ６の移動方向と同方向に気体が流動するよう供
給することができる。

【００３９】尚、本実施形態にあっては、気体の供給に
用いる前記圧力調整手段２０を、例えば昭和電機（株）
製のＳＦ−５０のブロア２１としたが、これ以外に、フ
ァンや圧縮機を用いることもでき、また、その形式も軸
流式・遠心式等のターボ式、回転式、往復式等の容積式
など、さまざまなものが使用でき、気体を供給すること
により、少なくとも前記スクリーン版１と前記被印刷物
１０間を、前記スキージ６の通過したスクリーンメッシ
ュが被印刷物１０の前記印刷面から分離する圧力状態と
することができる構成であれば良い。

【００４０】図１に示す実施形態では、差圧室３０を形
成したものであるが、この差圧室を形成することなく、
図５に示すように、従来の印刷台１１の間に圧力保持枠
１２を設け、スクリーン版と印刷台１１の間を前記スク
リーンメッシュ２の開口部以外を密閉できるように、ス
クリーン版１のスクリーン枠３と外周が略一致する圧力
保持枠１２を設け差圧室３０を形成し、該部に圧力保持
枠１２を貫通する孔部に挿通した供給管１５から大気圧
より圧力が高い気体をノズル１７を介して供給するよう
にしても良い。又、図６に示すように、スクリーン版１
のスクリーンメッシュ２の下部にスクリーンメッシュ２
と被印刷物１０との間の間隙にスキージ６の進行方向又
はスクリーン版に沿ってスキージ６の進行方向に高圧気
体が流れるようにノズル１７を設置する。図５及び図６
に示す実施形態において、その他の構成は、図７に示す
構成と同様であり、説明を省略する。これらの実施形態
において、被印刷物１０とスクリーンメッシュ２間は、
好ましくは２mm以下０．０１mm以上に設定する。

【００４１】本発明のさらに他の実施形態としては、図
２に示すように、圧力調整手段２０として真空ポンプ２
２又は吸引用ブロアを用い、該真空ポンプ２２又は吸引
用ブロアによりスクリーン版１のスキージ６の摺動面側
の空気を吸引して前記スクリーン版１のスキージ６の摺
動面側を負圧とすることによって、少なくとも前記スク
リーン版１と前記被印刷物１０間を、前記スキージ６の
通過したスクリーンメッシュが被印刷物１０の前記印刷
面から分離する前記圧力状態を形成することができる。

【００４２】前記真空ポンプ２２又は吸引用ブロアによ
る空気の吸引によって、前記スクリーン版のスキージ６
の摺動面側が負圧になる結果、前記スクリーン版１と被
印刷物１０間は前記スクリーン版のスキージ６の摺動面
側に比較して高圧となるため、前述したブロア２１によ
る気体の供給と同様、スクリーン版１を境界として差圧
が発生し、スクリーンメッシュに被印刷物１０から離れ
ようとする力が作用する。

【００４３】尚、前記圧力調整手段２０である真空ポン
プ２２も前記ブロア２１と同様、印刷条件に応じてスク
リーン版１と被印刷物１０間の圧力状態を調整できるよ
う、駆動源たる電動モータの回転数を制御するインバー
タ回路等の回転制御手段を備えていることが好ましい。

【００４４】前記空気の吸引は、前記スクリーン版１の
スキージ６の摺動面側に前述のスクリーン版１と被印刷
物１０間の空間と同様に、差圧室４０を形成し、この差
圧室４０内に対して行うことができる。

【００４５】図２に示す実施形態にあっては、前記スク
リーン版１のスキージ６の摺動面側に前記スクリーンメ
ッシュ全体を被覆する圧力保持ケース１３を設置して差
圧室４０を形成すると共に、前記真空ポンプ２２から前
記差圧室４０内へと連通する吸引管１６の吸入口１８を
該圧力保持ケース１３に設けて、前記差圧室４０内の空
気を真空ポンプ２２によって吸引している。

【００４６】前記吸引管１６の吸入口１８は前記差圧室
４０内の空気を吸引することができればよく、例えば、
前記圧力保持ケース１３と固着しているスクリーン枠３
に設けてもよい。

【００４７】また、空気の吸引に用いる前記圧力調整手
段２０を真空ポンプ２２としたが、少なくとも前記スク
リーン版１と前記被印刷物１０間を、前記スキージ６の
通過したスクリーンメッシュが被印刷物１０の前記印刷
面から分離する前記圧力状態とすることができれば、如
何なる構成であっても良い。

【００４８】尚、前記実施形態にあっては、ブロア２１
によって前記スクリーン版１と前記被印刷物１０間に気
体を供給する場合と、真空ポンプ２２又は吸引用ブロア
によって前記スクリーン版１のスキージ６の摺動面側の
空気を吸引する場合を個別の形態として説明したが、差
圧室の構成あるいはその有無及び圧力差の調整に関係し
て、前記ブロア２１と前記真空ポンプ２２の双方を用い
て、スクリーン版１と被印刷物１０間への気体の供給と
スクリーン版１のスキージ６の摺動面側の空気の吸引を
同時に行うこともできる。差圧室４０を形成しないとき
は、前記吸入口１８をスキージ６と同幅に形成し、同期
移動させることが好ましい。

【００４９】前記スクリーン印刷装置によって印刷を行
った場合、スキージ６が摺動してスクリーンメッシュと
被印刷物１０とが接触すると、スクリーンメッシュの開
孔５を閉塞していたインク８が被印刷物１０へと転移す
ることから、スクリーンメッシュの開孔５は、被印刷物
１０へのインク８の転移が進むにつれて開口していく。
このように、スクリーンメッシュの開孔５が開口してい
くと、該開口を通じて前記スクリーン版１と前記被印刷
物１０との間と前記スクリーン版１のスキージ６の摺動
面側に発生している差圧が緩和されてしまう。

【００５０】このとき、前記スクリーン版１と前記被印
刷物１０間を、前記スキージ６の通過したスクリーンメ
ッシュが被印刷物１０の前記印刷面から分離する前記圧
力状態に保つには、前記圧力調整手段が前記ブロア２１
である場合、これによる気体の供給量を増やし、真空ポ
ンプ２２又は吸引用ブロアである場合、これによる空気
の吸引量を増やすなど、前記圧力調整手段の出力を高め
る等の必要がある。この問題は、開孔５の面積が大きい
印刷パターンにおいて特に著しいものとなる。

【００５１】又、図示は省略するが、上記実施形態にお
いて、スキージ６を従来品を用いてインクの供給を従来
のように、人手により行うなどの手段が採用できる。

【００５２】そこで、スクリーン版１のスクリーンメッ
シュにインク８を供給する前記インク供給部９は、図１
及び図２に示すように、スキージ６に近接して設けると
共に、これと同期して移動させることが好ましい。

【００５３】図１及び図２に示す実施形態にあっては、
前記インク供給部９は、スキージ６がスクリーンメッシ
ュ上を摺動する際には、該スキージ６の後方を近接した
状態で移動して、該スキージ６が摺動したスクリーンメ
ッシュ上にインク８を供給し、また、スクリーン版１の
全開孔５の摺動が終了し、前記スキージ６が所定の摺動
開始位置へと戻る際には、スキージ６の前方を前記近接
した状態のまま移動するよう構成されている。

【００５４】インク供給部９が前記スキージ６に近接し
た状態でこれと同期して移動することにより、スキージ
６がスクリーンメッシュ上を摺動して印刷を行う際、被
印刷物にインクが転移されて開口した開孔５を前記イン
ク供給部９が供給するインク８で閉塞するため、前記開
口による差圧の緩和を防止し、ブロア２１、真空ポンプ
２２等の前記圧力調整手段２０の出力を高めることな
く、前記スクリーン版１と前記被印刷物１０間の前記圧
力状態を維持することが可能となる。

【００５５】前記スキージ６と前記インク供給部９の距
離は、前記スキージ６の摺動により印刷が行われた被印
刷物１０の印刷面に、前記インク供給部９により供給さ
れたインク８が再び付着しない範囲とすることが好まし
く、前記スキージ６と前記インク供給部９の距離は、前
記スキージ６の摺動により印刷が行なわれた被印刷物１
０の印刷面に、前記インク供給部９により供給されたイ
ンク８が再び付着しない範囲とすることが好ましく、１
５０ｍｍ以内、２０ｍｍ以上が好適である。

【００５６】本発明のスクリーン印刷方法では、スクリ
ーン版１と被印刷物１０の間隙を狭く設定することがで
き、スクリーン版１の変形を少なくして印刷位置のずれ
を防ぐことができるため、前記スキージ６及び前記イン
ク供給部９は、これらを２つずつ設けて往復印刷が可能
となるよう構成することができる。

【００５７】例えば図３に示すように、図３の紙面右側
から左側へと移動する際に機能する往路用のスキージ６
及びインク供給部９と、図３の左側から右側へと移動す
る際に機能する復路用のスキージ６’及びインク供給部
９’を対向して設け、これらが一体的にスクリーンメッ
シュ上を往復移動するよう構成することができる。

【００５８】以下、図３を用いて、この場合の印刷動作
を説明する。

【００５９】まず、往路用のインク供給部９にて、スク
リーンメッシュ上の全開孔５にインク８を供給する。そ
の際、往路用のスキージ６と復路用スキージ６’及びイ
ンク供給部９’も前記インク供給部９と共に図面右側か
ら左側へと移動する（図３−１）。

【００６０】次に、復路用のスキージ６’が前記インク
８の供給されたスクリーンメッシュ上を図面左側から右
側へ摺動しつつ移動し、復路用のインク供給部９’が前
記スキージ６’の摺動に伴い開孔５にインク８を供給す
る。この際、往路用のスキージ６及びインク供給部９は
機能することなく、前記復路用のスキージ６’及びイン
ク供給部９’と共に移動する（図３−２）。

【００６１】前記復路用のスキージ６’にて全開孔５の
摺動（印刷）が終了した後、今度は往路用のスキージ６
が、前記復路用のインク供給部９’により全開孔５にイ
ンクが供給された前記スクリーン版１上を図面右側から
左側へ摺動しつつ移動する。この際、往路用のインク供
給部９は前記スキージ６の摺動により開口した開孔５に
インク８を供給し、また、復路用のスキージ６’及びイ
ンク供給部９’は機能することなく、前記往路用のスキ
ージ６及びインク供給部９と共に移動する（図３−
３）。

【００６２】以後、図３−２及び図３−３に示す動作を
繰り返すことにより、連続した往復印刷が行われる。

【００６３】尚、被印刷物１０の交換は、スキージ６，
６’によって全開孔５の摺動が終了した時点で行われ
る。

【００６４】本発明のスクリーン印刷工程及び装置によ
れば、前記圧力調整手段によって前記スクリーン版１と
前記被印刷物１０間を、前記スキージ６の通過したスク
リーンメッシュが被印刷物１０の前記印刷面から分離す
る圧力状態とすることにより、スクリーンメッシュと被
印刷物との間隙を狭めて印刷することが可能となるが、
印刷開始前に前記被印刷物１０を印刷台１１に固定する
際や、印刷終了後に前記被印刷物１０を取り出す際に、
前記スクリーン版１と被印刷物１０間の前記圧力状態を
解除すると、スクリーンメッシュが自重又はインク８の
重みで撓むことにより、前記被印刷物１０と接触して印
刷不良を引き起こすおそれがある。

【００６５】特に、プラズマディスプレイの基板の形成
等、印刷面積が大きく、スクリーン版１が大きい場合に
は、スクリーンメッシュの中央部がスクリーン枠３に保
持されている外周に比較して撓みやすく、この現象が著
しい。

【００６６】そのため、前記被印刷物１０と前記スクリ
ーン版１間を前記圧力状態の形成時と解除時で変更でき
る間隙調整手段を備えることが好ましい。

【００６７】前記間隙の調整は、例えば、適宜駆動装置
に被印刷物１０を固定する印刷台１１を連動させ昇降さ
せてスクリーン版１に対して接近離間させ、又は、同様
にしてスクリーン版１を印刷台１１に対して接近離間さ
せ、あるいは両者を移動させること等により行うことが
できる。本実施形態のスクリーン印刷装置にあって
は、図４に示すように、たとえば、印刷台又はスクリー
ン版を上下させるためにボールネジを使用し、モーター
の回転により回転する量を変化させることにより印刷台
又はスクリーン版を上下して隙間を調整するなど、前記
印刷台１１の一部に対して、被印刷物１０を固定する部
分に相当する部分のみをスクリーン版１に対して接近離
間させるような間隙調整手段を有するが、前記被印刷物
１０とスクリーン版１の平行状態を維持したまま両者を
一律に接近離間することができれば、構成はこれに限定
されない。

【００６８】以下、図４を用いて、印刷手順について説
明する。

【００６９】まず、印刷開始前においては、スクリーン
メッシュと被印刷物１０とが接触しないよう、前記スク
リーン版１と被印刷物１０の間隙を印刷実行時よりも広
く好ましくは1mm以上の例えば15〜35mmに設定しておく
（図４−１）。

【００７０】次に前記圧力調整手段２０によってスクリ
ーン版１と被印刷物１０間に前記圧力状態を形成し、前
記圧力状態を保持したまま、前記間隙調整手段により前
記スクリーン版１と被印刷物１０の間隙を好ましくは1m
m未満に狭め、インク８の供給されたスクリーンメッシ
ュ上をスキージ６が摺動して印刷を行う（図４−２）。

【００７１】スキージ６による全開孔の印刷が完了した
ら、前記間隙調整手段によって再び前記スクリーン版１
と被印刷物１０間の距離を、好ましくは1mm以上の例え
ば15〜35mmに広げる。その後、前記圧力調整手段２０に
よる圧力状態を解除し、被印刷物１０の交換を行う（図
４−３）。

【００７２】尚、図３に示す実施形態にあっては、スキ
ージ６とインク供給部９の動作は従来技術と同様である
ような構成としているが、これを、図１及び図２に示す
ように、スキージ６の摺動に追従して、インク供給部９
がスキージ６の後方よりインク８の供給を行う構成とし
てもよく、また、図３に示すようにスキージ６及びイン
ク供給部９を２対備え、往復印刷を可能とするよう構成
してもよい。前記スキージ６とインク供給部９を上記構
成に代えることで、前記スクリーン版１と被印刷物１０
間の圧力状態をより好適に保つことができる。また、図
１の構成において、インク供給部９の動作を上述と同様
に交互に行い、これらインク供給部９をスキージ６の両
側に設けて往復印刷することも可能である。

【００７３】なお、以下の実施例にあっては、本発明の
スクリーン印刷方法及び装置をプラズマディスプレイの
製造及びＩＣ等の製造に使用する例について説明してい
るが、本発明のスクリーン印刷方法及び装置は、これら
の印刷を目的としたものに限定されず、上述のように既
知のスクリーン印刷が適用可能な印刷分野一般に使用す
ることができる。

【００７４】実施例１２０インチのプラズマディスプレイ背面板に銀ペースト
を使用し、アドレス電極形成を行った。

【００７５】スクリーン版と被印刷物としてのガラス基
板との間隙は０．５mmで設定し、スクリーン枠と基板を
吸着する印刷台との間隙に圧力保持枠を設けスクリーン
枠の下部に供給管１５より０．１ＭＰａの圧力の空気を
導入した。

【００７６】スクリーンの版のサイズは印刷パターンサ
イズより約８０mm大きく設定した。ナミックス（株）製
の銀ペースを使用し、ステンレス３２０メッシュにて印
刷を行った。

【００７７】従来３〜５mmの間隙をあけて印刷していた
が０．５mmの間隙でも問題なくガラス基板とスクリーン
版を離しながら印刷することができた。

【００７８】実施例２２００mm×２００mmで厚さ０．６５mmのアルミナ基板に
銀ペーストを使用して配線パターンを形成した。

【００７９】アルミナ基板を印刷台に真空ポンプで吸着
させ、スクリーン版とアルミナ基板との間隙を０．２mm
で設定し、スクリーン枠と基板を吸着する印刷台との間
隙に圧力保持枠を設けスクリーン枠の下部よりインバー
タの周波数を１８Ｈｚに設定したブロアーにより供給管
からスクリーン版と基板を吸着する印刷台との間隙にブ
ロアーにより気体を導入した。

【００８０】ゴム硬度８０度のウレタンスキージを使用
して、ステンレス３２０メッシュで製版したスクリーン
印刷用版にてナミックス（株）製の銀ペースをガラス基
板に印刷した。

【００８１】この例では、従来３〜５mmの間隙をあけて
印刷していたが０．２mmの間隙でも問題なくガラス基板
とスクリーン版を離しながら印刷することができた。

【００８２】実施例３２００mm×３００mmのガラス基板にプラズマディスプレ
イ背面板の誘電体のベタ印刷を行った。

【００８３】３５０mm×５００mmのスクリーン版に図４
に示すように、スキージとインク塗布部をそれぞれ２ヶ
ずつ取り付け旭硝子製の誘電体用のインクを使用し、３
２０メッシュのステンレススクリーンメッシュにて印刷
を行う。

【００８４】印刷台が図４に示すように、、印刷時以外
に下がるような機構のスクリーン印刷機を使用した。

【００８５】印刷台の加工基板吸着部にガラス基板を設
置し、スクリーン印刷台をスクリーン版の下に移動さ
せ、図４の（４−１）に示すように、スクリーン版と加
工基板との間隙を３mmに設定した。

【００８６】スクリーン版とスクリーン印刷台は圧力保
持枠にて密閉されるようにし、ブロアーのインバーター
を１８Hzに設定したブロアーのエアーをスクリーン版と
スクリーン印刷台との間に導入し大気と比較し高圧にし
た。

【００８７】図３の（３−１）に示すように、右端のイ
ンク塗布部を下げ、右から左に移動させインクをスクリ
ーン版に塗布した。

【００８８】図４の（４−２）に示すように、スクリー
ン版と加工基板との間隙を０．２mmに設定し、図３の
（３−２）に示すように、左端のインク塗布部と左側の
スキージを下げ、左から右に移動させスキージにて印刷
しながらインクをスクリーン版に塗布した。

【００８９】図４の（４−３）に示すように、スクリー
ン版と加工基板との間隙を３mmに設定した後、ブロアー
エアーを停止させ圧力保持枠の密閉を解除し、印刷台を
スクリーン版の下から移動させ、印刷した加工基板を取
り出し、新しく別の加工基板をスクリーン印刷台の加工
基板吸着部に設置し、スクリーン印刷台をスクリーン版
の下に移動させ、図４の（４−１）に示すように、スク
リーン版と加工基板との間隙を３mmに設定した。

【００９０】スクリーン版とスクリーン印刷台は圧力保
持枠にて密閉されるようにし、ブロアーのインバーター
を１８Hzに設定したブロアーのエアーをスクリーン版と
スクリーン印刷台との間に導入し大気と比較し高圧にし
た。

【００９１】図４の（４−２）に示すように、スクリー
ン版と加工基板との間隙を０．２mmに設定し、図３の
（３−３）に示すように、右端のインク塗布部と右側の
スキージを下げ、右から左に移動させスキージにて印刷
しながらインクをスクリーン版に塗布した。

【００９２】これを繰り返すことにより連続して加工基
板に誘電体の印刷を行い、従来の２倍の速度でスキージ
を移動させてもスクリーン版と加工基板が密着すること
なく印刷することができ、スクリーン版の寿命も従来の
約３倍に延ばすことができた。

【００９３】連続して加工基板に誘電体の印刷を行い、
従来の２倍の速度でスキージを移動させてもスクリーン
版と加工基板が密着することなく印刷することができ、
スクリーン版の寿命も従来の約３倍に延ばすことができ
た。

【００９４】

【発明の効果】以上、本発明のスクリーン印刷方法及び
装置によれば、少なくとも前記スクリーン版１と前記被
印刷物１０間を、前記スキージ６の通過したスクリーン
メッシュが被印刷物１０の前記印刷面から分離する圧力
状態とすることにより下記の効果を奏することができ
る。

【００９５】スクリーン版の有する張力を用いずにスク
リーンメッシュと被印刷物を分離することが可能となる
ため、両者が接触することによる印刷不良を防ぐことが
できると共に、スクリーン版と被印刷物の間隙を従来よ
りも狭くすることができる。

【００９６】従って、スクリーンメッシュを伸ばして使
用することによる印刷精度の低下とスクリーンメッシュ
の劣化を防ぐことができ、また、スクリーンメッシュを
印刷パターンと比較して広く確保しないで済むようにな
った。

【００９７】また、インク供給部をスキージに近接した
状態でこれと同期して移動させることにより、スキージ
がスクリーンメッシュ上を摺動して印刷を行う際、被印
刷物にインクが転移されて開口した開孔をすぐにインク
８で閉塞することができ、前記圧力状態を維持すること
が容易となる。

【００９８】また、スクリーン版と被印刷物の間隙を従
来よりも狭くすることにより、往復印刷が可能となり、
前記往復印刷する構成を備えることにより、印刷効率を
飛躍的に向上させることができた。

【００９９】また、スクリーン版と被印刷物間の距離を
調整可能とすることにより、被印刷物１０の交換時等に
前記スクリーン版と前記被印刷物間に形成した前記圧力
状態を解除した場合でも、スクリーンメッシュと被印刷
物１０の接触による印刷不良を防止することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態におけるスクリーン印刷装
置を示す概略図。

【図２】本発明の別の実施形態におけるスクリーン印
刷装置を示す概略図。

【図３】本発明の別の実施形態であって、往復印刷可
能に構成されたスクリーン印刷工程及び装置を示す概略
図。

【図４】本発明の別の実施形態であって、スクリーン
版と被印刷物間の間隙を調整する間隙調整手段を有する
スクリーン印刷工程及び装置を示す概略図。

【図５】本発明の他の実施形態を示す概略図。

【図６】本発明のさらに他の実施形態を示す概略図。

【図７】従来のスクリーン印刷装置を示す概略図。

【符号の説明】

１スクリーン版２スクリーンメッシュ３スクリーン枠５開孔６，６’ スキージ８インク９，９’ インク供給部１０被印刷物１１印刷台１２圧力保持枠１３圧力保持ケース１５供給管１６吸引管１７ノズル１８吸引口２１ブロア（圧力調整手段）２２真空ポンプ（圧力調整手段）３０差圧室（スクリーン版と被印刷物間）４０差圧室（スクリーン版のスキージ摺動面側）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スクリーンメッシュと前記スクリーンメッ
シュを保持するスクリーン枠とから成るスクリーン版
に、インク供給部にてインクを供給し、前記インクの供
給された前記スクリーンメッシュ上でスキージを摺動さ
せてこの摺動面のスクリーン版開孔からインクを押出
し、被印刷物の前記摺動面に対応する印刷面に前記イン
クを転移させるスクリーン印刷方法であって、少なくとも前記スクリーン版と前記被印刷物間を、前記
スキージの通過したスクリーンメッシュが被印刷物の前
記印刷面から分離する圧力状態とすることを特徴とする
スクリーン印刷方法。
【請求項２】前記スクリーン版と前記被印刷物との間に
気体を導入することにより、前記スクリーン版と前記被
印刷物間を前記圧力状態とする請求項１記載のスクリー
ン印刷方法。
【請求項３】前記気体を前記スキージの摺動方向に沿
って導入する請求項２記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４】前記スクリーン版のスキージ摺動面側を負
圧にすることにより、前記スクリーン版と前記被印刷物
間を前記圧力状態とすることを特徴とする請求項１〜３
いずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
【請求項５】前記スキージと近接して配置された前記イ
ンク供給部を前記スキージに同期して移動させることに
より、前記スクリーンメッシュの開孔を閉塞する請求項
１〜４いずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
【請求項６】前記スクリーン版と前記被印刷物との間に
好ましくは1mm以上の間隙を形成し、該圧力状態を保持
したまま前記スクリーン版と前記被印刷物との間隙を好
ましくは1mm未満として前記被印刷物に前記スクリーン
版の全開孔による印刷を行い、前記スクリーン版と前記
被印刷物との間隙を再び好ましくは1mm以上として、前
記圧力状態を解除する請求項１〜５いずれか１項記載の
スクリーン印刷方法。
【請求項７】スクリーンメッシュと前記スクリーンメッ
シュを保持するスクリーン枠とから成るスクリーン版
と、前記スクリーン版にインクを供給するインク供給部
と、前記スクリーンメッシュ上で摺動し、この摺動面の
スクリーン版開孔からインクを押出すスキージと、前記
摺動面に対応する印刷面に前記インクが転移される被印
刷物を支持する印刷台を備え、少なくとも前記スクリーン版と前記被印刷物間を、前記
スキージの通過したスクリーンメッシュが被印刷物の前
記印刷面から分離する圧力状態とする圧力調整手段を有
することを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項８】前記圧力調整手段が、前記スクリーン版と
前記被印刷物との間を密封して形成された差圧室内に気
体を供給する機構を有する請求項７記載のスクリーン印
刷装置。
【請求項９】前記圧力調整手段が、前記スクリーン版と
前記被印刷物との間に前記スキージの進行方向と同方向
に気体を供給可能とした請求項８記載のスクリーン印刷
装置。
【請求項１０】前記圧力調整手段が、前記スクリーン版
と前記被印刷物との間に向かって開口したノズルを有す
る請求項８記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１１】前記圧力調整手段が、前記スクリーン版
のスキージ摺動面側空気を吸引する機構を備える請求項
７記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１２】前記インク供給部を前記スキージと近接
して配置し、前記スキージに同期して移動することによ
り、前記スクリーンメッシュの前記開孔を閉塞するよう
設けた請求項７〜１１いずれか１項記載のスクリーン印
刷装置。
【請求項１３】対を成す前記インク供給部間に対を成す
前記スキージを配置し、これら二の前記インク供給部及
び前記スキージを前記スクリーン版上で往復自在に設け
た請求項１２記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１４】前記被印刷物と前記スクリーン版間を接
近離間可能に調整する間隙調整手段を有する請求項７〜
１３いずれか１項記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１５】前記間隙調整手段を、前記スクリーン版
及び／又は前記印刷台の少なくとも一部を往復移動自在
に設けた請求項１４記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１６】対を成すインク供給部間に一の前記スキ
ージを配置し、これら二の前記インク供給部及び前記ス
キージを前記スクリーン版上で往復自在に設けた請求項
１２記載のスクリーン印刷装置。