JPH11240130A - スクリーン印刷装置 - Google Patents
スクリーン印刷装置Info
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- JPH11240130A JPH11240130A JP4601598A JP4601598A JPH11240130A JP H11240130 A JPH11240130 A JP H11240130A JP 4601598 A JP4601598 A JP 4601598A JP 4601598 A JP4601598 A JP 4601598A JP H11240130 A JPH11240130 A JP H11240130A
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Abstract
ンを形成しようとしたとき、印刷ペーストの塗布ムラが
生じて回路パターンに短絡や断線を発生していた。 【解決手段】被印刷体3が載置されるステージ1上に、
パターン孔が開孔されたスクリーン版4を配置し、該ス
クリーン版4上に供給される印刷ペースト5を前記パタ
ーン孔を介して被印刷体3に塗布するようにしたスクリ
ーン印刷装置において、前記スクリーン版4上にチャン
バー6を配設してスクリーン版4とチャンバー6との間
に密閉空間Aを形成し、前記チャンバー6内の圧力を真
空ポンプ10等を用いて調整することにより被印刷物3
への印刷ペースト5の塗布量を制御するようにスクリー
ン印刷装置を構成する。
Description
印刷ペーストを被印刷体上に塗布するのに使用されるス
クリーン印刷装置に関するものである。
は、大略的に、被印刷体が載置されるステージと、この
ステージ上に所定のギャップを空けて配置されるスクリ
ーン版とで構成されており、前記スクリーン版上に供給
される印刷ペーストをスキージの移動によってスクリー
ン版のパターン孔に充填させ、これを被印刷体に転写す
ることでスクリーン印刷装置として機能する。
装置においては、スクリーン版と被印刷体との間に所定
のギャップが設けられており、スクリーン版と被印刷体
とはスキージの移動に伴って部分的に接触し、そして分
離する。このとき、印刷ペーストの吐出量を管理するの
は極めて困難であり、例えば印刷ペーストそのものの自
重や印刷ペーストの被印刷体に対する付着力の総和が、
印刷ペーストのスクリーン版に対する付着力よりも過度
に大きいと、印刷ペーストが被印刷体上に過剰に塗布さ
れてしまい、塗布ムラの原因となる。このようなスクリ
ーン印刷装置を線幅30μm以下、1mmあたり30本
といった高精細回路パターンの形成に用いる場合、前述
の塗布ムラによって回路パターンに短絡や断線を発生す
ることが多く、製品の生産性を著しく低下させる欠点を
有している。
のギャップやスクリーン版の材質、スキージの材質、ス
キージの移動方向,移動速度,押圧力、印刷ペーストの
粘度等を最適な条件に設定することで前述した印刷ペー
ストの塗布ムラを少なくする種々の試みがなされている
が、未だ有効な手段が見出されておらず、試行錯誤を続
けているのが現状である。
に鑑み案出されたもので、本発明のスクリーン印刷装置
は、被印刷体が載置されるステージ上に、パターン孔が
開孔されたスクリーン版を配置し、該スクリーン版上に
供給される印刷ペーストを前記パターン孔を介して被印
刷体に塗布するようにしたスクリーン印刷装置におい
て、前記スクリーン版上にチャンバーを配設してスクリ
ーン版とチャンバーとの間に密閉空間を形成し、前記チ
ャンバー内の圧力を調整することによって被印刷物への
印刷ペーストの塗布量を制御するようになしたことを特
徴とするものである。
て詳細に説明する。図1は本発明の一形態にかかるスク
リーン印刷装置の構成を示す図であり、1はステージ、
3は被印刷体、4はスクリーン版、5は印刷ペースト、
6はチャンバー、Aは密閉空間である。
3が載置されるステージ1上に、パターン孔4aが開孔
されているスクリーン版4を配置させるとともに、該ス
クリーン版4上にチャンバー6を配設してスクリーン版
4とチャンバー6との間に密閉空間Aを形成した構造を
有している。
を支持するための支持台としての作用を為し、その上面
には図示しない真空ポンプに接続された複数の吸引口が
設けられ、また被印刷体3の載置部には電磁石2が埋設
される。
被印刷体3を真空吸着し、被印刷体3をステージ上面の
所定位置に保持する作用を為す。
沿って配置されており、印刷時、スクリーン版3上に配
置される電磁石7との間で磁気吸引力を発生させ、スク
リーン版4を被印刷体3に良好に密着させる作用を為
す。このようにスクリーン版4を被印刷体3に密着させ
ておくことにより印刷ペースト5がスクリーン版4の裏
側(下面側)に回り込むのを有効に防止することができ
る。
リーン版4としては、メッシュサイズ300〜500程
度のステンレス製のメッシュに厚み5〜50μm程度の
感光乳剤やメタルマスクを被着させたもの等が使用され
る。
スクリーン版4が感光乳剤から成る場合、感光乳剤を露
光及び現像の工程を経てパターニングすることにより形
成され、またスクリーン版4がメタルマスクから成る場
合、金属板にエッチングやレーザー加工を施し、所定パ
ターンに開孔させることにより形成される。
チャンバー6は、Oリング等の気密部材8と、スクリー
ン保持部材9とで構成され、これらの部材を締め付け金
具14で締め付けることによってスクリーン版4とチャ
ンバー6との間に密閉空間Aが形成される。
成される空間A内には、供給タンク18より供給される
印刷ペースト5や電磁石7,圧力センサ11,ウレタン
ゴム製のスキージ16等が収容されており、該空間Aは
スクリーン保持部材9に設けられる吸引口9a及びダク
ト15を介して真空ポンプ10に接続される。
く、印刷時、ステージ1に埋設した電磁石2との間に磁
気吸引力を発生させてスクリーン版4を被印刷体3に良
好に密着させるためのものであり、スクリーン版4の直
上で、電磁石2と対応する位置に配置される。
ー6内の圧力を検出し、該検出した圧力情報を制御回路
12に伝える。そして制御回路12では、前記チャンバ
ー6の内外の圧力を比較し、その結果に基づいて真空ポ
ンプ10の吸引力を制御する。
は、チャンバー6の外部に配置される別の圧力センサ1
3によって検出され、該検出された圧力情報は制御回路
12に伝達されるようになっている。
ポンプ10は、スクリーン版4を被印刷体3から分離さ
せる際、チャンバー6内の圧力、即ち、密閉空間Aの圧
力を、所定のタイミングで、外の圧力よりも0.1気圧
〜1.0気圧だけ減圧するためのものであり、その吸引
動作は前述した制御回路12によって高精度に制御され
る。
スクリーン版4上にチャンバー6を配設して密閉空間A
を形成し、前記チャンバー6内の圧力を真空ポンプ10
の吸引動作によって調整するようにしたことから、スク
リーン版4を被印刷体2より分離する際、パターン孔4
aの内部に充填されている印刷ペースト5には上方への
吸引力が作用するようになっており、この吸引力を適当
な大きさに設定することにより被印刷物3上への印刷ペ
ースト5の塗布量を簡単に制御することができる。従っ
て、印刷ペーストの塗布ムラが有効に防止されるように
なり、スクリーン印刷装置を線幅30μm以下、1mm
あたり30本といった高精細回路パターンの形成に用い
る場合であっても、短絡や断線のない鮮明で良好な回路
パターンを形成することが可能となる。よって製品の生
産性が著しく向上されることとなる。
ーン孔4a内に残留した印刷ペースト5を前述の真空ポ
ンプ10を用いてチャンバー6側に吸引することができ
るため、残留ペーストがスクリーン版4の裏側(下面
に)に回り込むのを有効に防止することもでき、スクリ
ーン版4を繰り返し使用する場合であっても、スクリー
ン版4の裏面を汚れの少ない良好な状態に維持すること
が可能である。
クリーン印刷方法について図2(a)〜(d)を用いて
説明する。ここでは被印刷体2としてガラス基板を使用
し、ガラス基板の一主面に回路パターンを形成する場合
を例にとって説明する。
ス基板3を位置決め・固定し、このガラス基板3上に、
パターン孔4aが開孔されているスクリーン版4を配置
する。 (2)次に、印刷ペーストとしての銅ペースト5を供給
タンク18からスクリーン版4上に供給し、これを図示
しないスクレーパーを用いてスクリーン版4の全体にわ
たって引き延ばす。尚、前記スクレーパーは厚さ1mm
程度のSUS板等により形成される。
降ろし、これをガラス基板3の上面と密着させる。この
とき、電磁石2−7間に磁気吸引力を作用させ、スクリ
ーン版4とガラス基板3の上面との間に隙間ができない
ようにしておく。
ンバー6内でスキージ16をスクリーン版4に押圧しな
がら所定の方向に移動させ、銅ペースト5をスクリーン
版4のパターン孔4a内に充填する。このとき、パター
ン孔4a内に充填された銅ペースト5はガラス基板2の
上面にも付着される。
検出されるチャンバー6の内外の圧力をもとに、真空ポ
ンプ10を所定時間、所定のパワーで動作させることに
よってチャンバー6内の圧力を所定の圧力、例えば0.
1気圧に設定する。
力(0.1気圧)に維持しつつ、電磁石2−7間の磁気
吸引力を解除したうえ、図2(b)(c)に示す如く、
スクリーン版4を所定の速さで上方に持ち上げ、スクリ
ーン版4をガラス基板3から分離させる。このとき、ス
クリーン版4は、ガラス基板3の上面から50μm離れ
るまでは低速(0.1mm/s〜1.0mm/s)で、
その後は高速(1.0mm/s〜100.0mm/s)
で上昇させるようにする。
a内に充填されている銅ペースト5は圧力の低いチャン
バー6側に吸引されており、ガラス基板3上への銅ペー
スト5の塗布量は少なくなるように制御される。従っ
て、ガラス基板3の上面に転写される印刷ペースト5の
パターンは鮮明なものとなり、断線や短絡のない良好な
回路パターンが形成されることとなる。
ら分離した後も真空ポンプ10でチャンバー6内の圧力
を減圧し続けることにより、図2(d)に示す如く、ス
クリーン版4のパターン孔4a内に残留する銅ペースト
5をチャンバー6側に吸引し、残留ペーストがスクリー
ン版4の裏側(下面に)に回り込むことのを有効に防止
することができる。これにより、スクリーン版4を繰り
返し使用する場合であっても、スクリーン版4の裏面を
汚れの少ない良好な状態に維持することができる。
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
の変更、改良が可能であり、例えば、上述の形態におい
てはステージ1を固定したうえ、スクリーン版4を上下
に移動させることによりスクリーン版4を被印刷体3に
対し接触・分離させるようにしたが、これに代えて、ス
クリーン版4を固定したうえ、ステージ1を上下に移動
させることによりスクリーン版4を被印刷体3に対し接
触・分離させるようにしても良い。
用いてスクリーン版4のパターン孔4a内に印刷ペース
ト5を充填するようにしたが、これに代えて、図3に示
す如く、コンプレッサー17を用いてチャンバー6内の
圧力を上昇させることにより、スキージを用いることな
く、チャンバー6内の圧力制御だけでスクリーン版4の
パターン孔4a内に印刷ペースト5を充填するようにし
ても良い。この場合、前記チャンバー6にはコンプレッ
サー17と真空ポンプ10の両方がダクト15を介して
接続され、これらのうち、どちらか一方が動作するよう
に切り換え可能となしておく。前記コンプレッサー17
はスクリーン版4のパターン孔4aへの印刷ペースト5
の充填が終わった後は一時的に停止し、スクリーン版4
を被印刷体3より分離させる際には、上述の形態と同様
に、印刷ペースト5の塗布量を制御するために真空ポン
プ10を動作させる。
のパターン孔4a内に印刷ペースト5を充填するのに用
いたスキージ16に代えて、印刷ペースト5への濡れ性
が良好な液晶ポリマー等から成るローラーを用いても構
わない。
トとして銅ペーストを用いたが、それ以外の印刷ペース
ト、例えば金ペーストや銀ペースト等を用いても同様の
効果が得られることは勿論である。
は、スクリーン版上にチャンバーを配設してスクリーン
版とチャンバーとの間に密閉空間を形成したことから、
スクリーン版を被印刷体より分離する際、前記チャンバ
ー内の圧力を調整することによって被印刷物への印刷ペ
ーストの塗布量を制御することができるようになる。こ
れによって印刷ペーストの塗布ムラが有効に防止される
ようになり、短絡や断線のない鮮明で良好な高精細回路
パターンを形成することが可能となる。
は、スクリーン版を被印刷体から分離した後もチャンバ
ー内の圧力を低く維持し続けることにより、スクリーン
版のパターン孔内に残留する印刷ペーストをチャンバー
側に吸引し、残留ペーストがスクリーン版の裏側に回り
込むのを有効に防止することもできる。これにより、ス
クリーン版を繰り返し使用する場合であっても、スクリ
ーン版の裏面を汚れの少ない良好な状態に維持すること
ができる。
構成を示す図である。
用いたスクリーン印刷方法を説明するための要部拡大断
面図である。
の構成を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項1】被印刷体が載置されるステージ上に、パタ
ーン孔が開孔されたスクリーン版を配置し、該スクリー
ン版上に供給される印刷ペーストを前記パターン孔を介
して被印刷体に塗布するようにしたスクリーン印刷装置
において、 前記スクリーン版上にチャンバーを配設してスクリーン
版とチャンバーとの間に密閉空間を形成し、前記チャン
バー内の圧力を調整することによって被印刷物への印刷
ペーストの塗布量を制御するようになしたスクリーン印
刷装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04601598A JP3628167B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | スクリーン印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04601598A JP3628167B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | スクリーン印刷装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11240130A true JPH11240130A (ja) | 1999-09-07 |
JP3628167B2 JP3628167B2 (ja) | 2005-03-09 |
Family
ID=12735235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04601598A Expired - Fee Related JP3628167B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | スクリーン印刷装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3628167B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003089190A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-03-25 | Shinji Kanda | スクリーン印刷方法及び装置 |
JP2016107597A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 東京プロセスサービス株式会社 | スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置 |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP04601598A patent/JP3628167B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003089190A (ja) * | 2001-07-13 | 2003-03-25 | Shinji Kanda | スクリーン印刷方法及び装置 |
JP2016107597A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-20 | 東京プロセスサービス株式会社 | スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置 |
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---|---|
JP3628167B2 (ja) | 2005-03-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040730 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040819 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A521 | Written amendment |
Effective date: 20041015 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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