JP5388205B2 - 印刷装置及び印刷方法 - Google Patents

Description

［関連出願の記載］
本発明は、日本国特許出願：特願２００７−１２５６２３号（２００７年５月１０日出願）の優先権主張に基づくものであり、同出願の全記載内容は引用をもって本書に組み込み記載されているものとする。
本発明は、スクリーン印刷に用いる印刷装置及び印刷方法に関する。

従来、ＬＳＩパッケージに用いられる配線パターンは、フォトリソグラフィー技術を用いるめっき法によって形成されていた。該めっき法においては、まず、絶縁樹脂上に配線層のベースとなる銅薄膜をスパッタ等により形成する。次に、エッチングレジスト形成用の感光性樹脂をスピンコーター等により塗布し、その後、パターンを形成するようにフォトマスクを用いて樹脂を露光・現像する。次に、現像部以外の樹脂を除去してエッチングレジストを形成し、そして、エッチングレジスト部分以外の銅をエッチングにより除去することで配線パターンを形成する。

近年では、該めっき法に代わる配線パターン形成方法として、導電性樹脂あるいは導電性インクの印刷塗布による配線形成が実施されている。例えば、スクリーン印刷法によって導電性樹脂からなる配線パターンを形成することができる。この方法によれば、印刷後、導電性樹脂を硬化させるだけで配線パターンを形成することができるので、工程や時間を大幅に短縮できるメリットがある。また、スクリーン印刷法による配線パターン技術は、いわゆるアディティブ法（additive process）であるので、銅等の除去成分やエッチング液等の廃液が発生しない、環境にも優しい技術である。

例えば、特許文献１には、平板孔版（スクリーン）式印刷により、回路基板のランド上にクリームはんだを印刷する印刷装置が開示されている。該印刷装置においては、掻き取りブレードによりスクリーンマスクを押さえてスクリーンマスクと回路基板との間の隙間を無くし、チャンバーの吐出口から、スクリーンマスクの貫通穴の個々の開口部に順次クリームはんだを充填する。そして、充填後、スクリーンマスク上面をブレードを摺動させて余分なクリームはんだを掻き取り、スクリーンマスクを回路基板から剥離することにより、貫通穴に充填されたクリームはんだを回路基板に転写させる。

特開２０００−６２１３８号公報

以上の特許文献１の開示事項は、本書に引用をもって繰り込み記載されているものとする。以下に本発明による関連技術の分析を与える。
スクリーン印刷法では、一般に、配線形成対象が平面であることが望ましく、配線形成対象に段差や凹凸がある場合には、配線に欠陥が生じることがあった。

図５に、スクリーン印刷法を用いて、段差上にペーストを転写する背景技術に係る工程を示す概略断面図を示す。まず、被印刷体２６に対する所定の位置に（通常、所定のギャップｄをもって）スクリーンマスク２１を配置する（図５（ａ））。次に、スキージ２５によってスクリーンマスク２１を被印刷体２６に押し付けながら、スクリーンマスク２１上をペースト２４と共にスキージ２５を移動させる。これにより、乳剤２３の開口２３ａにペースト２４が充填されると共に、開口２３ａに充填されたペースト２４は被印刷体２６と接触する（図５（ｂ））。そして、スキージ２５の移動に伴い、スクリーンマスク２１の被印刷体２６との接触部分が被印刷体２６から離れる際、開口２３ａに充填されていたペースト２４ａが被印刷体２６上に転写される（図５（ｃ）右側）。

しかしながら、被印刷体２６が図５に示すような段差（凹凸）を有すると、スキージ２５が段差の形状に沿って移動できないことがある。そうすると、開口２３ａに充填されたペースト２４はその段差部分において被印刷体２６と接触できず（図５（ｃ）左側）、スクリーンマスク２１が被印刷体２６から離れても、非接触部分にはペースト２４が転写されず、開口２３ａに一部のペースト２４ｂが残存することになる（図５（ｄ））。すなわち、結果として、配線パターンに断線が生じることになる。

また、特許文献１に記載のような印刷装置によって非平面部分（例えば段差部分）に印刷する場合には、ペースト充填用の吐出口（ないしは掻き取りブレード）に、スクリーンマスク上でスキージングと同様の摺動動作をさせる必要があるため、スクリーンマスクが非平面形状に応じて変形することができず、図５を用いて前述した問題と同様の断線が生じることになる。

本発明の目的は、非平面状の被印刷面であっても印刷不良を生ずることなく印刷可能な印刷装置及び印刷方法を提供することである。

本発明の第１視点によれば、被印刷体上にペーストを印刷するスクリーン印刷用の印刷装置を提供する。該印刷装置は、ペーストを保持する筒状体と、所定のパターンのペーストを転写するためのスクリーンマスクと、筒状体内部の圧力を制御する内圧制御部と、を備える。筒状体は、被印刷体に対向する開放端を有する。スクリーンマスクは、積層されたメッシュ及び乳剤を有すると共に、筒状体の開放端を覆うように装着される。筒状体がその内部にペーストを保持する際には、ペーストがスクリーンマスクの一方の面に接触して保持されるよう構成される。乳剤のヤング率は１０ＧＰａ以下である。スクリーンマスクは、スクリーンマスクの他方の面の少なくとも一部が被印刷体の少なくとも一部と接触した状態でスクリーンマスクの一方の面をペーストで押圧することにより、被印刷体の表面形状に沿って変形する。スクリーンマスクの降伏点は、印刷時にスクリーンマスクに掛かる応力よりも高い。

本発明の第２視点によれば、被印刷体上にペーストを印刷するスクリーン印刷用の印刷方法を提供する。該印刷方法においては、積層されたメッシュ及びヤング率１０ＧＰａ以下の乳剤を有し、所定のパターンのペーストを転写するためのスクリーンマスクを用いる。スクリーンマスクの一方の面を被印刷体に少なくとも一部を接触させながら被印刷体に対向させる。スクリーンマスクの他方の面をペーストを介して押圧することにより、スクリーンマスクの降伏点よりも低い力でスクリーンマスクの形状を被印刷体の表面形状に沿って変形させる。スクリーンマスクを通過したペーストを被印刷体に接触させる。

本発明によれば、非平面形状（例えば、凹凸や曲面等）を有する被印刷体に対しても印刷不良を発生させることなく印刷することができる。また、本発明によれば、スクリーンマスクの個々の開口にペーストを順次充填する必要はなく一度の処理で個々の開口にペーストを充填することができるので、一度の印刷で広範囲かつ短時間の印刷を実現することができる。

本発明の第１実施形態に係る印刷装置の概略断面図。 図１における要部の拡大概略断面図。 本発明の第２実施形態に係る印刷装置の概略断面図。 本発明の印刷方法を説明するための、図１に示す印刷装置の要部拡大図。 背景技術に係る印刷装置及び印刷方法説明するための概略部分断面図。

符号の説明

１ 印刷装置
２ 筒状体（シリンダ）
２ａ タンク部
２ｂ チャンバ部
３ スクリーンマスク
４ メッシュ
５ 乳剤
５ａ 開口
６ 被印刷体
６ａ 段差
７ 吸着ステージ
８ ペースト
８ａ 印刷されたペースト
１０ コネクタ
１０ａ 取付部
１０ｂ 送圧管
１１ 印刷装置
１２ 内圧制御部
１３ ホルダ
１４ 支持部
１５ 内圧制御部
１６ ピストン
２１ スクリーンマスク
２２ メッシュ
２３ 乳剤
２３ａ 開口
２４ ペースト
２４ａ 印刷されたペースト
２４ｂ 開口に残存したペースト
２５ スキージ
２６ 被印刷体
２７ 吸着ステージ

上記第１視点の好ましい形態によれば、ペーストは、ペーストを通すためのスクリーンマスクの開口をすべて覆っている。

上記第１視点の好ましい形態によれば、スクリーンマスクは、ペーストによる押圧を停止すると元の形状に戻るよう張設される。

上記第１視点の好ましい形態によれば、内圧制御部は、ペーストに接する流体によって筒状体の内圧を制御する。

上記第１視点の好ましい形態によれば、内圧制御部は、筒状体内を摺動する摺動体によって筒状体の内圧を制御する。

上記第２視点の好ましい形態によれば、スクリーンマスクに掛かるペーストによる圧力を低下させることにより、スクリーンマスクの形状を元に戻す。

上記第２視点の好ましい形態によれば、ペーストの被印刷体への接触の後、スクリーンマスクと被印刷体とを解離させることにより、ペーストを被印刷体上に転写させる。

上記第２視点の好ましい形態によれば、スクリーンマスクの他方の面の全面をペーストで押圧する。

上記第２視点の好ましい形態によれば、スクリーンマスクに対向する被印刷体面は、非平面状部分を有し、スクリーンマスクの形状を被印刷体の表面形状に沿って変形させる際には、ペーストを通過させるためのスクリーンマスクの開口の少なくとも一部が非平面上部分に掛かるように、スクリーンマスクを配置する。

上記第２視点の好ましい形態によれば、スクリーンマスクに対向する被印刷体面は、凹凸を有し、ペーストによる押圧前に、スクリーンマスクと凹凸の高位面とを接触させ、ペーストの押圧により、スクリーンマスクと凹凸の低位面とを接触させる。

上記第２視点の好ましい形態によれば、ペーストの温度を所定の温度に管理する。

上記第２視点の好ましい形態によれば、ペーストに掛ける圧力は、ペーストを保持する容器内の圧力によって制御する。

上記第２視点の好ましい形態によれば、ペーストに掛ける圧力は、ペーストへの機械的な押圧によって制御する。

本発明の第１実施形態に係る印刷装置について説明する。図１に、本発明の第１実施形態に係る印刷装置の概略断面図を示し、図２に、図１における要部の拡大概略図を示す。

印刷装置１は、筒状体（シリンダ）２、スクリーンマスク３、内圧制御部１２、及び支持部１４を備える。

筒状体２は、ペースト８を保持すると共に、印刷するための通路（導管）となるものである。筒状体２は、ペースト８を保持すると共に、内圧制御部１２からの圧力をペースト８へ伝搬する通路となるタンク部２ａと、被印刷体６に供給するペースト８を充填するためのチャンバ部２ｂとを有し、タンク部２ａとチャンバ部２ｂは、内部を連通させて連続的に形成されている。チャンバ部２ｂは、被印刷体６に対向する開放端を有し、開放端は被印刷体に対向している。

スクリーンマスク３は、開放端を覆うように、かつ一方の面が被印刷体６に面するように装着されている。スクリーンマスク３の他方の面は、チャンバ部２ｂにおいて、ペースト８と全面で接していると共に、ペースト８に掛けられた圧力がペースト８を介してスクリーンマスク３に掛かるようになっている。これにより、スクリーンマスク３の一方の面を被印刷体６に接触させながらスクリーンマスク３の他方の面をペースト８で押圧すると、スクリーンマスク３は被印刷体６面の形状に追従する（表面形状に沿って変形する）ことができる。したがって、筒状体２内の内圧を高めるために（すなわち、ペースト８を介してスクリーンマスク３に圧をかけるために）、ペースト８が、少なくとも、スクリーンマスク３の開口５ａのすべてを覆うようにする。

スクリーンマスク３は、メッシュ４及び乳剤５を有し、メッシュ４と乳剤５は積層されている。乳剤５は、被印刷体６に面し、被印刷体６上に印刷物のパターンを形成するための開口（貫通孔）５ａを有している。メッシュ４及び乳剤５は、印刷するパターンの幅、ペースト８の粘度及びチクソ性等、被印刷体６面における高低差等を勘案して、適宜最適な材質、寸法、形状等を選択するようにする。特に、メッシュ４の目は、所望のペースト８からの圧力を受けて被印刷体６の形状に応じてスクリーンマスク３を変形させることができるような大きさであると好ましい。

スクリーンマスク３は、被印刷体６の表面形状に応じて変形可能な可撓性を有する。また、スクリーンマスク３は、被印刷体６の表面形状に応じた変形から元の形状に回復可能な弾力性も有する。したがって、メッシュ４及び乳剤５は、塑性変形しにくい材料が好ましい。ここで、塑性変形しにくいとは、降伏点（降伏応力）が高いことを意味する。したがって、メッシュ４及び乳剤５の降伏点は、印刷時にメッシュ４及び乳剤５に掛かる応力（荷重）よりも高いと好ましい。これにより、ペースト８からの圧力が低下すると、スクリーンマスク３は、被印刷体６の形状に追従した形状から変形前の（元の）形状に戻ることができる。また、乳剤５は、弾性が低い材料が好ましく、特に電子機器に用いられる樹脂材料よりヤング率が小さい（例えば１０ＧＰａ以下）と好ましい。メッシュ４及び乳剤５としては、例えば、電子機器分野において電子部品上に導電性ペーストをスクリーン印刷する際に使用するメッシュ（例えば金属）及び乳剤（例えば感光性乳剤）を使用することができる。

内圧制御部１２は、ペースト８からスクリーンマスク３へ掛かる圧力を調節するもの、すなわち、筒状体２内部の内圧を制御することによりペースト８に掛かる圧力を調節するものである。図１に示す形態においては、内圧制御部１２は、ペースト８に接する流体（例えば空気）によって筒状体２内部の圧力を調節する。内圧制御部１２と筒状体２とは、コネクタ１０を介して接続されている。コネクタ１０は、筒状体２に取り付けるための取付部１０ａと、内圧制御部１２から筒状体２へ送圧するための送圧管１０ｂを有し、筒状体２内に内圧を掛けたときに内部の流体が外部へ漏れないように、取付部１０ａと筒状体２との接続部分は密閉すると好ましい。筒状体２内部のペースト８に圧力を掛けるための流体は、所望の印刷が実現できるものであれば、気体（例えば空気、窒素等）でも液体（例えば油）でもよい。ペースト８に圧力を掛けるための流体とペースト８とが直接接触することが好ましくない場合には、内圧に応じて筒状体内を摺動してペースト８と該流体とを接触させずにペースト８に内圧を伝達する遮蔽板や栓（不図示）をペースト８面に設けてもよい。

筒状体２、スクリーンマスク３及び内圧制御部１２は、ペースト８に圧力を掛けたときに、ペースト８の圧力がスクリーンマスク３面に一様に掛かるように構成すると好ましい。スクリーンマスク３面の一部のみに圧力が掛かるようであると、スクリーンマスク３が被印刷体６の表面形状に応じて適切に変形できないおそれが生じるからである。

支持部１４は、筒状体２を支持（例えば挟持）するものであり、筒状体２は、支持部１４が有するホルダ１３によって支持されている。支持部１４及び被印刷体６を保持する吸着ステージ７のうち少なくとも一方は、被印刷体６に対するスクリーンマスク３（すなわち筒状体２）の相対的な位置を制御する位置制御機構（不図示）を有する。位置制御機構は、被印刷体６面に対するスクリーンマスク３の横（水平）方向の位置を調節する横方向調節機構と、被印刷体６面に対するスクリーンマスク３の縦（垂直）方向の位置を調節する縦方向調節機構とを有する。横方向調節機構と縦方向調節機構とは、支持部１４と吸着ステージ７とに別々に配置されていてもよいし、いずれか又は両方に一緒に配置されていてもよい。また、スクリーンマスク３と被印刷体６の位置合わせのために、被印刷体６に対するスクリーンマスク３の位置を検出する位置検出機構（不図示）（例えば、カメラ等）を設けてもよい。

ペースト８は、被印刷体６上に印刷されるものであり、スクリーンマスク３の開口５ａから筒状体２の内圧に応じて吐出可能なものであればよく、好ましくは、被印刷体６に対してダレやにじみが少ないものである。印刷によって配線を形成する場合には、ペースト８としては、例えば、金属（例えば、金、銀、銅等）微粒子ペースト、導電性樹脂、及び導電性インク（導電性微粒子が分散されている有機−無機複合材含む）等を使用することができる。特に、配線間のピッチが狭い高密度配線を形成する場合には、粒子径が２０ｎｍ程度以下の金属微粒子を含有した導電性ペースト又は導電性インクをペースト８の少なくとも一部に使用すると好ましい。このようなペースト８によれば、狭ピッチ化に対応可能なだけでなく、金属微粒子同士の融着により導電率の向上も同時に実現することができる。

ペースト８が、圧力を加えられることにより粘度が大きく変化するものである場合には、筒状体２内にあるペースト８量を調節できる（この場合には少なくする）ように、印刷装置１は、筒状体２内のペースト８量を調節するペースト量制御部（不図示）をさらに備えてもよい。

また、印刷装置１は、ペースト８の粘度を調節するために、ペースト８の温度を制御するする温度制御機構（不図示）をタンク部２ａ及びチャンバ部２ｂのうち少なくとも一方にさらに備えてもよい。

次に、本発明の第２実施形態に係る印刷装置について説明する。図３に、本発明の第２実施形態に係る印刷装置の概略断面図を示す。なお、図３においては、図１及び図２に示す第１実施形態と同じ要素には同じ符号を付してある。

第１実施形態においては、空気等の流体によって筒状体２内のペースト８に圧力を掛けていたが、本実施形態においては、筒状体２内を摺動する摺動体でペースト８を機械的かつ直接的に押圧する。したがって、第２実施形態に係る印刷装置１１は、第１実施形態における内圧制御部１２及びコネクタ１０の代わりに、摺動体としてピストン１６及び内圧制御部１５を備える。第２実施形態に係る印刷装置１１のその他の構成は、上記で説明したような第１実施形態に係る印刷装置１と同様である。

ピストン１６は、筒状体２の内面と隙間なく密接しており、ペースト８を押圧してもペースト８がピストン１６の上方へ漏れてこないようなものが好ましい。内圧制御部１５は、ピストン１６を筒状体２に沿って上下動（摺動）させるものであり、その移動量を適宜制御することにより、ペースト８に掛かる圧力、すなわちスクリーンマスク３への圧力、を調節する。ピストン１６は、ペースト８に直接的に接触していてもよいし、直接的な接触が好ましくない場合にはその間に遮蔽板や栓を介在させてもよい。

本発明の印刷装置によれば、スキージによる転写を使用することなく印刷することができる。また、本発明の印刷装置によれば、スクリーンマスク３を被印刷体６の表面形状に追従させてから印刷することができ、非平面形状部分（例えば、段差、凹凸又は曲面）の印刷不良（例えば、転写抜け、にじみ等）を防止することができる。さらに、本発明の印刷装置によれば、一度の印刷で広い範囲を印刷することもできる。

次に、本発明の印刷方法について、図１に示す第１実施形態に係る印刷装置を例にして説明する。図４に、本発明の印刷方法を説明するための、図１に示す印刷装置の要部拡大図を示す。

まず、筒状体２に所望のスクリーンマスク３を設置すると共に、筒状体２内に所望のペースト８を充填する。吸着ステージ７上には、所望の被印刷体６を配置する。

被印刷体６は非平面状部分を有するものであり、図４に示す形態においては非平面状部分として段差６ａを有する。被印刷体６の表面は、印刷されるペースト８のにじみが発生しにくいもの（より好ましくは、にじみが発生しないもの）が好ましい。また、配線パターンを形成する場合、被印刷体６の表面は絶縁性樹脂であり、導電性ペーストが印刷可能なものであれば、いずれの材料でもよい。

次に、位置制御機構（不図示）や位置検出機構（不図示）を用いてスクリーンマスク３と被印刷体６の横方向の位置合わせをする。図４に示す形態においては、開口５ａの少なくとも一部が段差６ａ上に配置されるように、位置を調節してある（図４（ａ））。

次に、筒状体２及びスクリーンマスク３のうち少なくとも一方の縦方向の位置を調節して、スクリーンマスク３と被印刷体６の高位面とを接触させる（図４（ｂ））。このとき、開口５ａの一部が被印刷体６の高位面に掛かっている。

次に、内圧制御部１２により筒状体２内部の圧力を高めて、ペースト８によってスクリーンマスク３の一方の面の全体を押圧する。これにより、スクリーンマスク３は、被印刷体６の表面形状に沿って変形し、被印刷体６の高位面以外の部分とも接触する。このとき、開口５ａ周囲のスクリーンマスク３（乳剤５）面が被印刷体６と接触する（すなわち、開口５ａの一部が被印刷体６の低位面に掛かる）。それと同時に、メッシュ４を通って開口５ａにペースト８が充填され、ペースト８と被印刷体６の表面とが接触する（図４（ｃ））。段差６ａに面している開口５ａは、段差６ａの高位面から低位面に亘って段差６ａに面することになるため、ペースト８も段差６ａの形状に沿って高位面から低位面に亘って接触することになる。

このとき、スクリーンマスク３と被印刷体６とは、印刷不良（転写抜け、ペースト漏れ等）が生じないように接触していると好ましい。例えば、スクリーンマスク３と被印刷体６の接触面には、全体として一様な圧力が掛かるようにすると好ましい。

このとき、ペースト８の粘度が低い場合や開口５ａの開口率が高い場合には、ペースト８の圧力を高めても開口５ａからペースト８が流出するだけで、スクリーンマスク３が被印刷体６の形状に応じて変形しない可能性もある。このような場合には、筒状体２の内圧を高める前の高さの位置調整において、スクリーンマスク３と被印刷体６の高位面とを単に接触させるだけではなく、被印刷体６の高位面でスクリーンマスク３を押圧するようにスクリーンマスク３と被印刷体６とをより接近させて、被印刷体６の低位面とスクリーンマスク３とを接触させてから、筒状体２の内圧を高めてもよい。あるいは、粘度のより高いペースト８を使用する、開口率のより低いメッシュ４を使用するなどしてペースト８の押圧力を高めてもよい。あるいは、温度調節機構（不図示）によってペースト８の温度を下げることによりペースト８の粘度を高めてもよい。また、当然に、これらの対策を複数組み合わせてもよい。

印刷時には、外部の気温変化によりペースト８の粘度が変化するおそれがあることから、温度調節機構によってペースト８又は筒状体２の温度を所定温度で一定に保つように制御してもよい。

ペースト８によってスクリーンマスク３を押圧する方法としては、ペースト８を保持する容器内部（例えば空気）の圧力を高める方法でもよいし、ペースト８をスクリーンマスク３方向へピストン等で機械的に押圧する方法でもよい。

次に、スクリーンマスク３に掛かるペースト８の圧力を徐々に下げる（好ましくは、筒状体２の内圧を大気圧に戻すか又は負圧にする）。これに伴い、スクリーンマスク３は徐々に元の形状に戻っていき、被印刷体６の低位面とスクリーンマスク３とは解離することになる。これにより、被印刷体６とスクリーンマスク３とが解離した部分の開口５ａにおいては、ペースト８ａはメッシュ４から部分的に剥離し、被印刷体６上に転写される（図４（ｄ））。

次に、スクリーンマスク３と被印刷体６とを離すように、スクリーンマスク３及び被印刷体６のうち少なくとも一方を徐々に移動させる。これにより、ペースト８ａはメッシュ４から完全に剥離し、被印刷体６上に転写される（図４（ｅ））。

最後に、被印刷体６上のペースト８ａを適宜好適な方法で硬化させる。

本発明の印刷方法によれば、非平面状の被印刷体（例えば、段差、凹凸又は曲面を有する被印刷体）に対しても、印刷欠陥（例えば、転写抜け、にじみ等）を生ずることなく印刷することができる。また、本発明の印刷方法によれば、１回の処理で広範囲を印刷することもできる。

本発明の印刷装置及び印刷方法は、配線を印刷によって形成する場合だけでなく、例えば、部品実装のためにはんだペースト又は導電性ペーストを部品実装用パッド部に印刷する場合にも適用することができる。

本発明の印刷装置及び印刷方法について、上記実施形態を用いて説明したが、本発明の印刷装置及び印刷方法は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。

Claims (14)

1. 被印刷体上にペーストを印刷するスクリーン印刷用の印刷装置であって、
   ペーストを保持する筒状体と、
   所定のパターンのペーストを転写するためのスクリーンマスクと、
   前記筒状体内部の圧力を制御する内圧制御部と、を備え、
   前記筒状体は、被印刷体に対向する開放端を有し、
   前記スクリーンマスクは、積層されたメッシュ及び乳剤を有すると共に、前記筒状体の前記開放端を覆うように装着され、
   前記筒状体がその内部にペーストを保持する際には、前記ペーストが前記スクリーンマスクの一方の面に接触して保持されるよう構成され、
   前記乳剤のヤング率は１０ＧＰａ以下であり、
   前記スクリーンマスクは、前記スクリーンマスクの他方の面の少なくとも一部が被印刷体の少なくとも一部と接触した状態で前記スクリーンマスクの前記一方の面を前記ペーストで押圧することにより、前記被印刷体の表面形状に沿って変形し、
   前記スクリーンマスクの降伏点は、印刷時に前記スクリーンマスクに掛かる応力よりも高いことを特徴とする印刷装置。
2. 前記ペーストは、前記ペーストを通すための前記スクリーンマスクの開口をすべて覆っていることを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
3. 前記スクリーンマスクは、前記ペーストによる押圧を停止すると元の形状に戻るよう張設されることを特徴とする請求項２に記載の印刷装置。
4. 前記内圧制御部は、前記ペーストに接する流体によって前記筒状体の内圧を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の印刷装置。
5. 前記内圧制御部は、前記筒状体内を摺動する摺動体によって前記筒状体の内圧を制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の印刷装置。
6. 被印刷体上にペーストを印刷するスクリーン印刷用の印刷方法であって、
   積層されたメッシュ及びヤング率１０ＧＰａ以下の乳剤を有し、所定のパターンのペーストを転写するためのスクリーンマスクを用い、
   前記スクリーンマスクの一方の面を被印刷体に少なくとも一部を接触させながら前記被印刷体に対向させて、
   前記スクリーンマスクの他方の面をペーストを介して押圧することにより、前記スクリーンマスクの降伏点よりも低い力で前記スクリーンマスクの形状を前記被印刷体の表面形状に沿って変形させると共に、前記スクリーンマスクを通過したペーストを前記被印刷体に接触させることを特徴とする印刷方法。
7. 前記スクリーンマスクに掛かる前記ペーストによる圧力を低下させることにより、前記スクリーンマスクの形状を元に戻すことを特徴とする請求項６に記載の印刷方法。
8. ペーストの前記被印刷体への接触の後、前記スクリーンマスクと前記被印刷体とを解離させることにより、前記ペーストを前記被印刷体上に転写させることを特徴とする請求項６又は７に記載の印刷方法。
9. 前記スクリーンマスクの前記他方の面の全面を前記ペーストで押圧することを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載の印刷方法。
10. 前記スクリーンマスクに対向する前記被印刷体面は、非平面状部分を有し、
    前記スクリーンマスクの形状を前記被印刷体の表面形状に沿って変形させる際には、前記ペーストを通過させるための前記スクリーンマスクの開口の少なくとも一部が前記非平面上部分に掛かるように、前記スクリーンマスクを配置することを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項に記載の印刷方法。
11. 前記スクリーンマスクに対向する前記被印刷体面は、凹凸を有し、
    前記ペーストによる押圧前に、前記スクリーンマスクと前記凹凸の高位面とを接触させ、
    前記ペーストの押圧により、前記スクリーンマスクと前記凹凸の低位面とを接触させることを特徴とする請求項６〜１０のいずれか一項に記載の印刷方法。
12. 前記ペーストの温度を所定の温度に管理することを特徴とする請求項６〜１１のいずれか一項に記載の印刷方法。
13. 前記ペーストに掛ける圧力は、前記ペーストを保持する容器内の圧力によって制御することを特徴とする請求項６〜１２のいずれか一項に記載の印刷方法。
14. 前記ペーストに掛ける圧力は、前記ペーストへの機械的な押圧によって制御することを特徴とする請求項６〜１２のいずれか一項に記載の印刷方法。

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