JP2003082446A - 銅/セラミック複合材料の製造方法 - Google Patents
銅/セラミック複合材料の製造方法Info
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Abstract
低熱膨張率を兼ね備えた銅/セラミック複合材料を製造
する。 【構成】 この銅/セラミック複合材料は、発熱反応で
セラミックを生成する2種以上の粉末を配合した混合粉
末を所定形状に圧粉成形し、圧粉成形体に銅片を載置し
た状態で銅の融点以上に圧粉成形体を加熱し、セラミッ
ク化反応によって多孔質のセラミックを生成させると同
時に反応熱で加熱溶融した銅をセラミックスのポアに浸
透させることにより製造される。セラミックを生成する
一方の粉末にはTi,Ta,Nb,Hf,Zr等があ
り、他方の粉末にはB,C,B4C,BN等がある。圧
粉成形体には、セラミック生成反応の発熱量を調節する
ため銅粉末,セラミック粉末の1種又は2種以上を配合
してもよい。
Description
品と同程度の熱膨張特性を呈し、電子部品,電気部品等
の放熱材に適した銅/セラミック複合材料を製造する方
法に関する。
込まれる装置では、電子部品,電気部品を定格温度以下
に保持し故障や誤作動を防止する必要があり、電子部
品,電気部品で発生した熱を外部に放散させるため種々
の放熱材料が開発されている。この種の放熱材料には、
熱伝導性が高く,発熱部品と同程度の熱膨張特性を呈す
ることが要求される。そこで、熱伝導性の良好な銅に熱
膨張率が低いセラミックを複合化することによって高熱
伝導率,低熱膨張率を両立させた銅/セラミック複合材
料が提案されている。セラミックと銅の複合化に際して
は、多孔質焼結セラミックのポアに溶融銅を強制的に浸
透させる加圧含浸法が一般的に採用されている。
融銅の浸透が不十分であると、熱伝導にとって支障とな
るポアが含浸後の複合材料に残存する。なかでも、相互
に濡れ性の低い溶融銅やTiB2等の組合せでは、含浸
後の複合材料に多量のポアが残存しやすい。したがっ
て、溶融銅とセラミック材料とを直接複合化してポアが
低減した複合材料を製造するためには、両者の濡れがよ
く、且つ両者の間で反応の起こり難い材料の組合せやプ
ロセスの工夫が必要である。
ミックに加圧含浸する方法では、溶融銅に高圧力を付加
するための加圧装置が必要であり、加圧装置の制約から
製造可能な複合材料の大きさや形状に制約が加わり、大
型や複雑形状の複合材料を製造できない。しかも、金属
銅の加熱溶融と同時に高圧力付加が必要なため、複合材
料を製造する際のエネルギー消費量が大きなことも欠点
である。
題を解消すべく案出されたものであり、複数種の粉末が
相互に反応してセラミックを生成する際の発熱反応を利
用することにより、金属銅の溶融及び溶融銅の浸透を促
進させ、高熱伝導率,低熱膨張率を両立させた銅/セラ
ミック複合材料を提供すること目的とする。
ため、発熱反応でセラミックを生成する2種以上の粉末
を配合した混合粉末を所定形状に圧粉成形し、圧粉成形
体に銅片を載置した状態で銅の融点以上に圧粉成形体を
加熱し、前記粉末の発熱反応によって多孔質のセラミッ
クを生成させると同時に加熱溶融した銅をセラミックス
のポアに浸透させることを特徴とする。
i,Ta,Nb,Hf,Zr等があり、他方の粉末には
B,C,B4C,BN等がある。圧粉成形体には、セラ
ミック生成反応の発熱量を調節するため銅粉末,セラミ
ック粉末の1種又は2種以上を配合してもよい。余分に
添加される銅粉末,セラミック粉末によって複合材料中
の銅とセラミックスとの割合(体積率)、ひいては熱伝
導率や熱膨張率を調整することもできる。この種のセラ
ミック粉末としては、複合粉末と同種又は異種のセラミ
ックを使用でき、具体的にはTiB2,TiC,Ti
N,ZrB2,ZrC,ZrN等がある。
るが、硼化物,炭化物,炭窒化物,窒化物等、発熱反応
によってセラミックが合成される他の粉末混合物に対し
ても同様に適用できる。Ti,Bのセラミック化反応
(Ti+2B→TiB2+320KJ)は、粉末混合物
の圧粉成形体(プリフォーム)を全体加熱又は一部加熱
により反応開始温度まで昇温することによって開始する
が、セラミック化反応が一旦開始すると、発熱反応であ
るため反応は自己伝播する。なお、反応開始温度は、条
件に応じて異なった温度になる。生成直後のTiB2の
温度は、融点(2790℃)まで到達する。
する発熱量を熱源とし、金属銅の溶融状態を保持する。
セラミック化反応により生成したTiB2は粒子状又は
三次元連結構造状に成長し、短時間で高温の多孔質セラ
ミックが形成される。生成直後のセラミックは、高温で
活性度が高く溶融銅に対して十分な濡れ性を呈する。ま
た、圧粉成形体に載置した銅片が溶融して多孔質セラミ
ックに浸透するとき、溶融銅は一方向に多孔質セラミッ
ク内を流動する。更には、溶融銅がTi,Bと接触する
ことによって、Ti+2B→TiB2のセラミック化反
応も促進される。そのため、圧粉成形体に載置した銅片
が溶融することによって生じた溶融銅は、多孔質セラミ
ックの隅々まで行き渡り、加圧含浸法のように高圧力を
加えなくてもポアのない複合材料が得られる。しかも、
溶融銅との接触によってTi+2B→TiB2のセラミ
ック化反応が促進されるため、未反応のTi,B粉末が
残存することもない。
ク複合材料を製造すること自体は特表平11−5150
54号公報で紹介されているところであるが、この場合
には予め金属銅を配合した粉末混合物から圧粉成形体を
作製している。粉末混合物に含まれている金属銅で多孔
質セラミックのポアを充填する方式であるため、ポアの
充填状態が粉末混合物中における金属銅の分散状態に支
配されやすい。また、ポアがランダムに溶融銅で充填さ
れるため、クローズドポアが生じやすく、未反応のT
i,B粉末も残存しやすい。そのため、当該方法では、
切削工具,摩耗部品,構造部材,アーマープレート等の
単に機械的特性が要求される部材を製造できるものの、
高い熱伝導率が要求される放熱部材の製造には適さな
い。
(1100〜1200℃)まで外部から加熱され、所定
温度域に達した時点で外部加熱を中断する。以降は、セ
ラミック化反応で発熱し、圧粉成形体が高温状態に保持
されると共に、溶融銅が多孔質セラミック内に浸透す
る。セラミック化反応によって銅片が加熱され過ぎる場
合には、セラミック化反応に寄与しない銅粉やセラミッ
ク粉末を予め粉末混合物に配合することにより、発熱量
を調整する。
り、加圧含浸法のような高圧力付加を必要とすることな
く、外部加熱も極めて短時間ですむ。しかも、反応系の
一部分で溶融銅と圧粉成形体が接触してセラミック化反
応が誘起されると、セラミックの生成→溶融銅の浸透が
周囲に伝播するため、圧粉成形体の均一加熱を必要とせ
ず製造条件も容易になる。更には、一方向流となって溶
融銅が多孔質セラミックに浸透するので、周囲のポアが
溶融銅に充填されることに起因したクローズドポアの生
成がなく、高い充填率が得られる。また、製造可能なサ
イズは加熱装置に依存するため、極めて厚く複雑形状の
複合材料も容易に製造できる。
B2,Cu粉末を表1の割合で混合した粉末混合物を加
圧力110MPaで加圧成形し、直径15mm,高さ1
0、15、30mm,密度60,65,70%の円柱状
圧粉成形体を作製した。直径15mmの銅片(20g)
を圧粉成形体の上に載置して加熱炉に装入し、全体を1
200℃に高周波加熱した。圧粉成形体が1200℃に
達した時点で高周波加熱を中断したが、加熱途中におい
て約1080℃(Cuの融点)でセラミック化反応が開
始し、圧粉成形体の温度が急激に上昇した。このときの
温度上昇量は熱電対(R熱電対)の測定範囲を超えてい
たため明らかではないが、熱力学計算ではCuの沸点
(2570℃)までの上昇と算出される。セラミック化
反応に伴う高温状態は、圧粉成形体の大きさにも依存す
るがほぼ5分程度持続する。
形体を取り出し、加熱処理された圧粉成形体の断面組織
を調査したところ、TiB2系多孔質セラミックに対す
る溶融銅の浸透が検出され、クローズドポアや未反応の
Ti,Bは検出されなかった(図1)。これに対し、銅
を配合した粉末混合物から作製された圧粉成形体を同じ
条件下で加熱処理したものでは、金属Cuで充填されて
いないクローズドポアが散見された。製造された複合材
料の熱伝導率,熱膨張係数を表1に併せ示す。熱伝導率
は、レーザフラッシュ法により測定した値で示す。熱膨
張係数は、押棒式全膨張計により測定した値で示す。
iB2のセラミック化反応で生成するTiB2に対応する
割合でTi,B粉末を配合した粉末混合物から作製され
た銅/セラミック複合材料は、熱伝導率が150W/m
・Kであり、熱膨張係数も代表的な発熱部品であるシリ
コンとほぼ同じ6×10-6/℃と低い値を示した。熱伝
導率は、粉末混合物に配合する銅粉の配合量に応じて上
昇したが、過度に銅粉を配合するとクローズドポアの生
成に起因して熱伝導率が低下する傾向がみられた。熱膨
張係数は、銅含有量が少なくなるほどTiB2セラミッ
クスの影響が大きく現れて低下したが、過度に少ない銅
含有量では熱伝導率が上昇することになる。また、セラ
ミック化反応に寄与しないTiB2を配合すると、セラ
ミック化反応時に圧粉成形体の過度な昇温がなく、粉末
混合物のTi,B量も減少できるため熱伝導率の向上が
図られる。
膨張係数に及ぼす銅含有量やセラミック粉末の配合量を
調節することにより、発熱部品に対応した目標熱伝導
率,低熱膨張をもつ複合材料が得られ、高性能の放熱部
材として使用される。比較のため、予め所定量の銅粉末
をTi,B粉末と配合した粉末混合物を同様に加熱する
ことにより、銅/セラミック複合材料を製造した。得ら
れた複合材料の断面組織を観察すると、残存ポアや未反
応のTi,Bが散見された(図2)。残存ポアは熱流路
における抵抗体として働くことから、残存ポアのある部
分では熱伝導率が低く、残存ポアのない部分では銅/セ
ラミック複合材料本来の熱伝導率が示される。すなわ
ち、残存ポアの有無に応じて熱伝導率が広範囲でばらつ
き、品質安定性に欠ける嫌いがあった。
き、セラミック化反応によって生じる発熱を利用して溶
融銅を多孔質セラミックに浸透させることによって、発
熱部品の放熱材として要求される高熱伝導率,低熱膨張
率を兼ね備えた複合材が製造される。多孔質セラミック
スに対して溶融銅は一方向に流動して浸透するため、残
留ポアや未反応原料の残存がなく、品質安定性に優れた
銅/セラミック複合材料が得られる。
合材料の断面組織を示す顕微鏡写真
合材料の断面組織を示す顕微鏡写真
Claims (3)
- 【請求項1】 発熱反応でセラミックを生成する2種以
上の粉末を配合した混合粉末を所定形状に圧粉成形し、
圧粉成形体に銅片を載置した状態で銅の融点以上に圧粉
成形体を加熱し、前記粉末の発熱反応によって多孔質の
セラミックを生成させると同時に加熱溶融した銅をセラ
ミックスのポアに浸透させることを特徴とする銅/セラ
ミック複合材料の製造方法。 - 【請求項2】 セラミックを生成する一方の粉末がT
i,Ta,Nb,Hf,Zrから選ばれた1種又は2種
以上の金属粉末であり、他方の粉末がB,C,B4C,
BNから選ばれた1種又は2種以上の粉末である請求項
1記載の製造方法。 - 【請求項3】 発熱調整剤として銅粉末,セラミック粉
末の1種又は2種以上を配合した圧粉成形体を使用する
請求項1記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001273613A JP4291528B2 (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 銅/セラミック複合材料の製造方法 |
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CN110257664A (zh) * | 2019-07-31 | 2019-09-20 | 河南科技大学 | 一种铜基复合材料及其制备方法 |
CN115747559A (zh) * | 2022-11-21 | 2023-03-07 | 昆明冶金研究院有限公司北京分公司 | 一种互穿网络结构的碳化物陶瓷-铜双连续相复合材料及其制备方法 |
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2001
- 2001-09-10 JP JP2001273613A patent/JP4291528B2/ja not_active Expired - Fee Related
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