JP2003074703A - ダイヤフラムアクチュエーター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ダイヤフラムの劣化をなくし、かつ、そのダイ
ヤフラムの交換の必要性を事実上皆無とし、ダイヤフラ
ムケーシング（シリンダ）の内壁面の精密加工や給油を
不要とし、製造コスト，メンテナンス費，ランニングコ
ストを低減する。 【解決手段】ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム固定板
１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製の
ダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、かつ、
そのダイヤフラム１５，１５′がダイヤフラムケース１
０とカバー１１のフランジ１０′，１１′による挟持部
分とダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する
領域ｔを伸縮できる範囲とし、そのダイヤフラム体Ｂの
往復動時における、ダイヤフラム１５，１５′の伸縮
が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板
１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との
間の隙間ｃを通じて行われるようにしてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はダイヤフラムアクチ
ュエーターとそれを備えた弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイヤフラム弁では、図１０に例
示するように、ダイヤフラム１に、それより小径のダイ
ヤフラム固定板２，２を同心円状に重合し、その中心に
ダイヤフラムステム３を配設するとともに、そのダイヤ
フラム１の周辺部分を、ダイヤフラムケーシングａを構
成するダイヤフラムケース４とダイヤフラムカバー５と
の間に挟持している。

【０００３】ダイヤフラム１は、通常、設定する耐圧度
や運動量に応じ、補強布（カンバス等）を二重、三重に
積層埋設したゴム製で、伸縮性を有していない。したが
って、そのダイヤフラム１は、上記ケース４とカバー５
による挟持部と上記ダイヤフラム固定板２，２の外周縁
部との間に、所定の弛みｓを持たせた状態で張架されて
いて、空気圧により、その弛みｓの範囲内で往復動し、
同時に往復動する上記ダイヤフラムステム３を介して所
定の仕事をする。

【０００４】上記ダイヤフラム１は、補強布を積層埋設
しているとはいえ、繰り返される上記往復動によって、
上記弛みｓの部分に発生する材質疲労等の劣化に起因
し、その往復動が設計どおり正確には行われなくなり、
その場合には、適宜新たなものと交換しなければならな
いという欠点があった。

【０００５】また、従来公知のシリンダ弁においては、
シリンダに往復自在に組み込んだ弁体の外周に嵌着して
いるＯリングを、該シリンダの内壁面に圧迫摺動させな
がら当該流体の漏洩を防止しているものである。そのた
めに、上記シリンダの内壁面は、精密に加工されていな
ければならず、また、その摺動内壁面に所要の給油を必
要とするという欠点があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、これ
らダイヤフラム弁またはシリンダ弁等のダイヤフラムア
クチュエーターのダイヤフラムを、伸縮性と強靱性に富
むエラストマー製とすることによって、劣化を起こりに
くいものとし、該ダイヤフラムの交換の必要性を事実上
皆無、または少なくとも、従来に比べ極端に少なくする
とともに、シリンダの内壁面の精密加工や給油を不要と
し、これによって、従来の上記欠点を解消するととも
に、製造コスト，メンテナンス費またはランニングコス
トを低減できるダイヤフラムアクチュエーターを提供し
ようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明ダ
イヤフラムアクチュエーターは、（１）ダイヤフラムケ
ース１０と同カバー１１とからなるダイヤフラムケーシ
ングＡ内に、ダイヤフラムステムＣを備えたダイヤフラ
ム体Ｂを、その外周縁部を、上記ケース１０とカバー１
１のフランジ１０′，１１′間に挟持することによって
内装してなるダイヤフラムアクチュエーターにおいて、
（２）上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム固定板１
４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダ
イヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、かつ、そ
のダイヤフラム１５，１５′が、ダイヤフラムケーシン
グＡを形成するダイヤフラムケース１０と同カバー１１
のフランジ１０′，１１′による挟持部分とダイヤフラ
ム押さえ板１６，１６との間に展延する領域ｔを伸縮で
きる範囲とし、このダイヤフラム体Ｂの往復動時におけ
る、上記ダイヤフラム１５，１５′の伸縮が、上記領域
ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板１４の外周縁
とダイヤフラムケーシングＡの内壁面との間の隙間ｃを
通じて行われるようにしてなる。

【０００８】請求項２記載の本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターは、上記ダイヤフラム体Ｂのダイヤフラム１
５，１５′が、ポリウレタンエラストマー製である請求
項１記載のダイヤフラムアクチュエーターである。

【０００９】請求項３記載の本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターは、上記ダイヤフラム体Ｂが、上記ダイヤフ
ラム固定板１４の直径を、上記ダイヤフラムケーシング
Ａの内径より略上記ダイヤフラム１５，１５′２枚の厚
さを引いた寸法にして、上記隙間ｃを形成してなる請求
項１または２記載のダイヤフラムアクチュエーターであ
る。

【００１０】請求項４記載の本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターは、上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム
１５，１５′の両側に気室１２，１３を気密に区画して
なるい請求項１，２または３記載のダイヤフラムアクチ
ュエーターである。

【００１１】請求項５記載の本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターは、上記ダイヤフラム体Ｂが、そのダイヤフ
ラム１５，１５′の上記の伸縮する領域ｔ内であって、
かつ、ダイヤフラム固定板１４の側面すなわち平坦面に
対応する部分に、波状部１８を成型してなる請求項１，
２，３または４記載のダイヤフラムアクチュエーターで
ある。

【００１２】請求項６記載の本発明玉形弁は、請求項
１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュエ
ーターを備えものである。

【００１３】請求項７記載の本発明シリンダ弁は、請求
項１，２，３，４または５記載のダイヤフラムアクチュ
エーターを備えたものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】先ず、本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターの第１実施形態を図１〜４により説明する。
Ａはダイヤフラムケース１０とダイヤフラムカバー１１
とからなるダイヤフラムケーシング、Ｂはダイヤフラム
体、Ｃはダイヤフラムステムである。

【００１５】ダイヤフラム体Ｂは、その外周縁部（後出
のダイヤフラム１５，１５′の外周縁部）を、上記ケー
ス１０とカバー１１のフランジ１０′，１１′間に挟持
することによってダイヤフラムケーシングＡ内に張架さ
れ、その両側に気室１２と１３を気密に区画している。

【００１６】ダイヤフラムステムＣは、ダイヤフラム体
Ｂの中心に貫通固着し、かつ、その両側所要長さを上記
ケース１０とカバー１１の外方に突出させている（もち
ろん一方端部をダイヤフラム体Ｂに固着し、他方だけを
ケース１０またはカバー１１の外方に突出させることも
ある）。

【００１７】上記ダイヤフラム体Ｂは、円形のダイヤフ
ラム固定板１４の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラス
トマー製、例えばポリウレタンエラストマー製の円形の
ダイヤフラム１５，１５′を同心にして重合し、さら
に、その両側に、同じく円形のダイヤフラム押さえ板１
６，１６を重合し、これらをボルト締めしてなるもので
あり、中央にダイヤフラムステムＣを嵌着する貫通孔
Ｂ′を設けている。

【００１８】これをさらに詳しく述べると、第１に、ダ
イヤフラム体Ｂは、その直径、すなわち、ダイヤフラム
１５，１５′の直径を、上記ダイヤフラムケーシングＡ
のフランジ１０′，１１′を含む外径とほぼ同じにして
いる。

【００１９】第２に、上記ダイヤフラム固定板１４は、
その直径を、上記ダイヤフラムケーシングＡの内径より
少し小さくしている。具体的には、ダイヤフラムケーシ
ングＡの内径から少なくとも２枚のダイヤフラム１５，
１５′の厚さを引いた寸法にしている。

【００２０】第３に、上記ダイヤフラム押さえ板１６，
１６は、その直径を、上記ダイヤフラム１５，１５′の
直径に比べ比較的小さく、例えば６分の１としている。

【００２１】第４に、したがって、ダイヤフラム１５，
１５′が自由に伸縮できる範囲は、ダイヤフラムケーシ
ングＡの上記フランジ１０′，１１′による挟持部分と
上記ダイヤフラム押さえ板１６，１６との間に展延する
領域ｔということになる（図４）。

【００２２】そして、ダイヤフラム体Ｂは、ダイヤフラ
ム１５，１５′の外周縁部を、上記ケース１０とカバー
１１のフランジ１０′，１１′間に挟持させることによ
り、ダイヤフラムケーシングＡ内に張架され、上記のよ
うに、その両側に気室１２，１３を気密に区画している
ものである（図１）。

【００２３】図１の状態において、気室１２に圧縮空気
を導入し同時に気室１３の圧縮空気を排出すると、ダイ
ヤフラム体Ｂは、原位置から気室１３側に移動し、ま
た、気室１３に圧縮空気を導入し同時に気室１２の圧縮
空気を排出すると、ダイヤフラム体Ｂは、原位置から気
室１２側に移動する。このようにして、ダイヤフラム体
Ｂが往復動するのにともなって、上記ダイヤフラムステ
ムＣにより所定の仕事が行われる。

【００２４】このダイヤフラム体Ｂの往復動時におけ
る、ダイヤフラム１５，１５′の挙動を見ると、気室１
２または１３に圧縮空気が導入され、ダイヤフラム体Ｂ
が気室１３または１２側に移動するとき、ダイヤフラム
１５，１５′はその移動方向側に伸長し、また、その移
動伸長したダイヤフラム１５，１５′は、原位置に戻る
とき収縮する。

【００２５】また、このダイヤフラム１５，１５′の伸
長と収縮は、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラ
ム固定板１４の外周縁とダイヤフラムケーシングＡの内
壁面との間の隙間ｃを通じて行われる。

【００２６】このように、本実施形態のダイヤフラム体
Ｂのダイヤフラム１５，１５′は、ポリウレタンエラス
トマー製で、伸縮性と強靱性に富み、これを伸縮させて
往復動するものであるから、従来のカンバスで補強した
合成ゴム製のものと相違し、繰り返される往復動によっ
ては、劣化することが少なく、長期にわたり使用できる
ので、メンテナンス費またはランニングコストを低減で
き、経済的である。

【００２７】なお、上記ダイヤフラム体Ｂと同じ直径に
したダイヤフラム体において、その往復動距離すなわち
ストロークを大きくできるようにするためのダイヤフラ
ム１７を、図５，６に示す。このダイヤフラム１７は、
上記のように、伸縮する領域ｔ内であって、かつ、ダイ
ヤフラム固定板１４の側面すなわち平坦面に対応する部
分に、波状部１８を成型してなる。このダイヤフラム１
７によれば、上記波状部１８の分だけ伸縮長さが大きく
なり、当該ダイヤフラム体の往復動距離すなわちストロ
ークを大きくできること明らかである。

【００２８】図７は、本発明ダイヤフラムアクチュエー
ターの上記した第１実施形態の変形例を示す。この変形
例のものは、ダイヤフラム体Ｂの原位置が、通常、一側
のストロークエンドに偏倚していることにおいて、その
構造を、上記第１実施形態のものと異にするだけで、そ
の他の点は同一である。そこで重複を避けるため、同一
部分に同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。な
お、上記原位置すなわちストロークエンド位置への復帰
移動は、ダイヤフラム１５，１５′自体の伸縮性と強靱
性に基づく復元力によるが、必要に応じ、復帰用スプリ
ングを装架してもよいこと明らかである。

【００２９】図８は、上記第１実施形態に係るダイヤフ
ラムアクチュエーターを、いわゆる玉形弁に応用した例
を示すものである。すなわち、公知の玉形弁Ｄの本体１
９の上に、上記第１実施形態にかかるものと同様のダイ
ヤフラムアクチュエーターを乗載設置し、そのダイヤフ
ラム体ＢのダイヤフラムステムＣの下端に、玉形弁Ｄの
弁口２０を開閉する弁体２１を備えている。その作動状
況は自明と認められるので、その説明は省略する。

【００３０】次に、図９に示した本発明ダイヤフラムア
クチュエーターの第２実施形態について説明する。この
第２実施形態は、いわゆるシリンダ弁に係るもので、そ
のシリンダ弁Ｅにおいて、２２は一側に弁座２３を内装
した筒状の弁本体、２４は同じく筒状のキャップであ
る。２５，２６は、上記弁本体２２とキャップ２４の各
対向端部に形成した、ダイヤフラムケース２５とダイヤ
フラムカバー２６で、これらのケース２５とカバー２６
によりダイヤフラムケーシングＦを構成している。

【００３１】Ｇはダイヤフラム体で、それは、の外周縁
部（後出のダイヤフラム３０，３０′の外周縁部）を、
上記ケース２５とカバー２６のフランジ２５′，２６′
間に挟持することによって上記ダイヤフラムケーシング
Ｆ内に張架され、その両側に気室２７と２８を気密に区
画している。Ｈは筒状のダイヤフラムステムで、それ
は、ダイヤフラム体Ｇの中心に貫通固着し、かつ、その
両側所要長さを上記弁本体２２とキャップケース２４に
挿入している。

【００３２】上記ダイヤフラム体Ｇは、円形のダイヤフ
ラム固定板２９の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラス
トマー製、例えばポリウレタンエラストマー製の円形の
ダイヤフラム３０，３０′を同心にして重合し、さら
に、その両側に、同じく円形のダイヤフラム押さえ板３
１，３１を重合し、これらをボルト締めしてなるもので
あり、中央に上記ダイヤフラムステムＨを嵌着する貫通
孔Ｇ′を設けている。したがって、ダイヤフラム体Ｇ
は、中央に貫通孔Ｇ′を有する円環状体をなしていると
いうこともできる。の

【００３３】このダイヤフラム体Ｇをさらに詳しく述べ
ると、上記第１実施形態のダイヤフラム体Ｂと同様次の
とおりである。第１に、ダイヤフラム体Gは、その外
径、すなわち、ダイヤフラム３０，３０′の外径を、上
記ダイヤフラムケーシングＦのフランジ２５′，２６′
を含む外径とほぼ同じにしている。

【００３４】第２に、上記ダイヤフラム固定板２９は、
その外径を、上記ダイヤフラムケーシングＦの内径より
少し小さくしている。具体的には、ダイヤフラムケーシ
ングＦの内径から少なくとも２枚のダイヤフラム３０，
３０′の厚さを引いた寸法にしている。

【００３５】第３に、ダイヤフラム３０，３０′が自由
に伸縮できる範囲は、ダイヤフラムケーシングＦの上記
フランジ２５′，２６′による挟持部分と上記ダイヤフ
ラム押さえ板３１，３１との間に展延する領域というこ
とになる。

【００３６】そして、ダイヤフラム体Ｇは、ダイヤフラ
ム３０，３０′の外周縁部を、上記ケース２５とカバー
２６のフランジ２５′，２６′間に挟持させることによ
り、ダイヤフラムケーシングＦ内に張架され、その両側
に気室２７，２８を気密に区画しているものである。

【００３７】図９では、ダイヤフラムステムＨが弁座２
３から離隔し開弁している状態を上半部に示し、ダイヤ
フラムステムＨが弁座２３に当接し閉弁している状態を
下半部に示している。上記開弁状態は、気室２８に圧縮
空気を導入し同時に気室２７の圧縮空気を排出すると、
ダイヤフラム体Ｇが、原位置から気室２７側に移動する
ことにより実現する。また、上記閉弁状態は、気室２７
に圧縮空気を導入し同時に気室２８の圧縮空気を排出す
ると、ダイヤフラム体Ｇが、原位置から気室２８側に移
動することにより実現する。

【００３８】ダイヤフラム体Ｇの往復動時における、ダ
イヤフラム３０，３０′の挙動は、第１実施形態におけ
るダイヤフラム１５，１５′の場合と同じで、気室２７
または２８に圧縮空気が導入され、ダイヤフラム体Ｇが
気室２８または２７側に移動するとき、ダイヤフラム３
０，３０′はその移動方向側に伸長し、また、その移動
伸長したダイヤフラム３０，３０′は、原位置に戻ると
き収縮する。

【００３９】また、このダイヤフラム３０，３０′の伸
長と収縮は、上記領域の範囲で、しかも、ダイヤフラム
固定板２９の外周縁とダイヤフラムケーシングＦの内壁
面との間の隙間を通じて行われることも、第１実施形態
のダイヤフラム１５，１５′の場合と同じである。

【００４０】このように、本実施形態のダイヤフラム体
Ｇのダイヤフラム３０，３０′は、ポリウレタンエラス
トマー製で、伸縮性と強靱性に富み、これを伸縮させて
往復動するものであるから、従来のカンバスで補強した
合成ゴム製のものと相違し、繰り返される往復動によっ
て、劣化することが少なく、長期にわたり使用でき、製
造コスト，メンテナンス費またはランニングコスト等を
低減でき、経済的である。

【００４１】さらに、上記ダイヤフラム３０，３０′
は、従来公知のシリンダ弁におけるように、シリンダ
（本実施形態におけるダイヤフラムケーシングＦ）に往
復動自在に組み込んだ弁体（本実施形態におけるダイヤ
フラムステムＨ）の外周に嵌着しているＯリングを、該
シリンダの内壁面に圧迫摺動させながら当該流体の漏洩
を防止するのと相違し、ダイヤフラムケーシングＦの内
壁面を圧迫摺動しながら当該流体の漏洩防止をするもの
ではない。

【００４２】したがって、上記ダイヤフラムケーシング
Ｆの内壁面を、上記従来公知のシリンダ弁のシリンダの
内壁面の場合のように、精密に加工することも、給油を
することも必要がなく、少なくともその分、メンテナン
ス費またはランニングコストを低減できるものである。

【００４３】なお、上記第１，２実施形態または変形例
において、２枚のダイヤフラム１５，１５′（または１
７，１７）、３０，３０′の間に生じる空気溜まりが、
ダイヤフラム体Ｂ，Ｇの往復動等にとって支障になるの
を避ける必要がある場合は、当該２枚のダイヤフラム
を、例えば、通気孔付き相フランジを介して重合し、そ
れを、ダイヤフラムケースと同カバーの各フランジ間に
挟持することにより、上記空気溜まりを大気開放状態に
なる構成にするとよいものである。

【００４４】

【発明の効果】以上詳述したところから明らかなよう
に、本発明によれば、ダイヤフラムを伸縮性と強靱性に
富むエラストマー製としたので、従来のカンバスで補強
した合成ゴム製のものとは相違し、劣化が起こりにく
く、該ダイヤフラムの交換の必要性が、事実上皆無であ
るか、少なくとも従来に比べ極端に少なくなる。したが
ってまた、メンテナンス費またはランニングコストを低
減することができる。

【００４５】上記エラストマーとしては、ポリウレタン
エラストマーが、伸縮性と強靱性等の諸点において、特
に好適であると認められる。

【００４６】さらにまた、ダイヤフラム体は、ダイヤフ
ラム固定板の両面に、エラストマー製のダイヤフラムを
同心にして重合し、そのダイヤフラムが、ダイヤフラム
ケーシングを形成するダイヤフラムケースと同カバーの
フランジによる挟持部分とダイヤフラム押さえ板との間
に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、そのダイヤフ
ラム体の往復動時における、上記ダイヤフラムの伸縮
が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板
の外周縁とダイヤフラムケーシングの内壁面との間の隙
間ｃを通じて行われるようにしてなるから、従来公知の
シリンダ弁におけるように、シリンダに往復自在に組み
込んだ弁体の外周に嵌着しているＯリングを、該シリン
ダの内壁面に圧迫摺動させながら当該流体の漏洩を防止
しているものと相違し、ダイヤフラムケーシングの内壁
面の精密加工や給油を不要にでき、その製造コストはも
ちろんメンテナンス費またはランニングコストを低減で
きるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るダイヤフラムアク
チュエーターの断面図である。

【図２】同上のアクチュエーターのダイヤフラム体が一
側に移動した状態の断面図である。

【図３】同上のアクチュエーターのダイヤフラム体が他
側に移動した状態の断面図である。

【図４】同上のアクチュエーターのダイヤフラムの平面
図である。

【図５】ダイヤフラムの他の例の平面図である。

【図６】同上のダイヤフラムの断面図である。

【図７】本発明の上記第１実施形態の変形例に係るダイ
ヤフラムアクチュエーターの断面図である。

【図８】本発明の上記第１実施形態に係るダイヤフラム
アクチュエーターを応用した玉形弁の断面図である。

【図９】本発明の第２実施形態に係るダイヤフラムアク
チュエーターを応用したシリンダ弁の断面図である。

【図１０】従来公知のダイヤフラム弁の要部の断面図で
ある。

【符号の説明】

Ａ，Ｆ ダイヤフラムケーシング Ｃ，Ｈ ダイヤフラムステム Ｂ，Ｇ ダイヤフラム体 Ｂ′，Ｇ′ 貫通孔 Ｄ 玉形弁 Ｅ シリンダ弁 ｃ 隙間 ｔ 領域 １０ ダイヤフラムケース １１ ダイヤフラムカバー １０′，１１′フランジ １２，１３ 気室 １４ ダイヤフラム固定板 １５，１５′ ダイヤフラム １６，１６ ダイヤフラム押さえ板 １７ ダイヤフラム １８ 波状部 １９ 本体 ２０ 弁口 ２１ 弁体 ２２ 弁本体 ２３ 弁座 ２４ キャップケース ２５ ダイヤフラムケース ２６ ダイヤフラムカバー ２５′，２６′フランジ ２７，２８ 気室 ２９ ダイヤフラム固定板 ３０，３０′ ダイヤフラム ３１，３１ ダイヤフラム押さえ板

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年９月３日（２００１．９．３）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】請求項４記載の本発明ダイヤフラムアクチ
ュエーターは、上記ダイヤフラム体Ｂが、ダイヤフラム
１５，１５′の両側に気室１２，１３を気密に区画して
なる請求項１，２または３記載のダイヤフラムアクチュ
エーターである。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】上記ダイヤフラム体Ｇは、円形のダイヤフ
ラム固定板２９の両面に、伸縮性と強靱性に富むエラス
トマー製、例えばポリウレタンエラストマー製の円形の
ダイヤフラム３０，３０′を同心にして重合し、さら
に、その両側に、同じく円形のダイヤフラム押さえ板３
１，３１を重合し、これらをボルト締めしてなるもので
あり、中央に上記ダイヤフラムステムＨを嵌着する貫通
孔Ｇ′を設けている。したがって、ダイヤフラム体Ｇ
は、中央に貫通孔Ｇ′を有する円環状体をなしていると
いうこともできる。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイヤフラムケースと同カバーとからなる
   ダイヤフラムケーシング内に、ダイヤフラムステムを備
   えたダイヤフラム体を、その外周縁部を、上記ケースと
   カバーのフランジ間に挟持することによって内装してな
   るダイヤフラムアクチュエーターにおいて、 上記ダイヤフラム体が、ダイヤフラム固定板の両面に、
   伸縮性と強靱性に富むエラストマー製のダイヤフラムを
   同心にして重合し、かつ、そのダイヤフラムが、ダイヤ
   フラムケーシングを形成するダイヤフラムケースと同カ
   バーのフランジによる挟持部分とダイヤフラム押さえ板
   との間に展延する領域ｔを伸縮できる範囲とし、ダイヤ
   フラム体の往復動時における、上記ダイヤフラムの伸縮
   が、上記領域ｔの範囲で、しかも、ダイヤフラム固定板
   の外周縁とダイヤフラムケーシングの内壁面との間の隙
   間ｃを通じて行われるようにしてなることを特徴とする
   ダイヤフラムアクチュエーター。
2. 【請求項２】上記ダイヤフラム体のダイヤフラムが、ポ
   リウレタンエラストマー製であることを特徴とする請求
   項１記載のダイヤフラムアクチュエーター。
3. 【請求項３】上記ダイヤフラム体は、上記ダイヤフラム
   固定板の直径を、上記ダイヤフラムケーシングの内径よ
   り略上記ダイヤフラム２枚の厚さを引いた寸法にして、
   上記隙間ｃを形成してなることを特徴とする請求項１ま
   たは２記載のダイヤフラムアクチュエーター。
4. 【請求項４】上記ダイヤフラム体は、ダイヤフラムの両
   側に気室を気密に区画していることを特徴とする請求項
   １，２または３記載のダイヤフラムアクチュエーター。
5. 【請求項５】上記ダイヤフラム体は、そのダイヤフラム
   の上記の伸縮する領域ｔ内であって、かつ、ダイヤフラ
   ム固定板の側面すなわち平坦面に対応する部分に、波状
   部を成型してなることを特徴とする請求項１，２，３ま
   たは４記載のダイヤフラムアクチュエーター。
6. 【請求項６】請求項１，２，３，４または５記載のダイ
   ヤフラムアクチュエーターを備えたことを特徴とする玉
   形弁。
7. 【請求項７】請求項１，２，３，４または５記載のダイ
   ヤフラムアクチュエーターを備えたことを特徴とするシ
   リンダ弁。