JP2003067906A - 薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置及び薄膜磁気ヘッドスライダーバーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 液状フォトレジストを用いた場合においても
気泡を発生させることなく、薄膜磁気ヘッドスライダー
バーの上に所望のマスクパターンを生成可能にする。 【解決手段】 スライダーバー保持板１は、磁気記録媒
体との対向面に設けられた複数個の薄膜磁気ヘッド素子
を有する複数本のスライダーバー３を、対向面をフォト
リソグラフィー技術で任意のエアーベアリング形状に形
成する際に、所定の同一の面上に並置して保持するため
の保持装置である。複数本のスライダーバー３を当該ス
ライダバー保持板１の同一の面上に並置して保持したと
きに、各スライダーバー３間の位置の直下に位置する同
一の面において所定幅の溝２を形成する。ここで、各溝
２を、各スライダーバー３の長手方向が溝２の長手方向
と実質的に平行となるように、また各スライダーバー３
間の接触面が溝２の幅方向の中心線に実質的に一致する
ように形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ハードデ
ィスクドライブなどに搭載する薄膜磁気ヘッドスライダ
ーを多数有する薄膜磁気ヘッドスライダーバーを製造す
るときに複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを保持す
るための薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置と、上
記薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置を用いた薄膜
磁気ヘッドスライダーバーの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録装置においては、情報量
の増大と共に、高記録密度化の要求が急速に高まり、こ
の傾向は将来的にはさらに高まっていくことは確実であ
る。これに伴い、薄膜磁気ヘッドスライダーは、磁気記
録媒体上において非常に低い浮上量や磁気記録媒体の周
速によって変化することのない安定した浮上特性を有す
ることが求められるようになり、その要求を満足するに
は、磁気記録媒体との対向面であるエアーベアリング面
の形状を高精度で形成する技術が不可欠となっている。
また、この形成技術に関し、従来の機械加工では直線的
な加工は可能であるが、浮上特性を向上させるために設
計された近年の幾何学的なエアーベアリング面形状の加
工には対応できず、現在は、機械加工に替わる方法とし
て、フォトリソグラフィ技術を用いる方法が提案されて
いる。

【０００３】すなわち、所望のエアーベアリング形成面
に対応するマスク材料を作成し、イオンビームエッチン
グなどのドライエッチングによってエアーベアリング形
状を形成する方法である。さらに、ドライエッチング加
工のマスク材料には、半導体プロセスや薄膜磁気ヘッド
素子形成プロセスで一般的な液状フォトレジストとプリ
ント基板の配線形成プロセスなどに利用されるドライフ
ィルムレジストがあり、一般的には、ドライフィルムレ
ジストをマスク材料としたドライエッチングが主として
なされている。なお、加工精度の点でも、機械加工では
達成し得ないエアーベアリング面形状と精度が確保でき
ることから、マスク形成方法はドライエッチングプロセ
スでの必須技術となっている。

【０００４】しかしながら、図５に図示されたように、
薄膜磁気ヘッドスライダーにおけるエアーベアリング面
の形成は半導体プロセスや薄膜磁気ヘッド素子形成プロ
セスなど平坦なウエハ表面が加工対象となる場合と異な
り、複数個の薄膜磁気ヘッド素子１０を有する短冊状の
ブロックの薄膜磁気ヘッドスライダーバー（以下、スラ
イダーバー３という。）は機械加工（切断、研削、研
磨）によって作製されるため、スライダーバー３には公
差分の形状誤差（特に厚さのバラツキ）が発生し、数μ
ｍ厚の均一なマスク層を複数本のスライダーバー３に同
時に形成する際の障害となる。ここで、一度に複数本の
スライダーバー３を同時に処理する目的は、１本のスラ
イダーバー３中の薄膜磁気ヘッド素子１０は４０〜６０
個が限界で、取り扱いを一本毎にしていたのでは生産性
が著しく低くなり工業化できないためである。

【０００５】以下、図５を参照して、数十μｍ厚のドラ
イフィルムフォトレジスト１１をマスク材料として用い
て、複数本のスライダーバー３上にエアーベアリング面
１２を形成するための従来技術に係るプロセスについて
詳細を説明する。

【０００６】図５（ａ）に示すように、熱溶融型の接着
剤４をスライダーバー保持板２０上に載置し、次いで、
接着剤４を加熱して、その後冷却することによって、接
着剤４をスライダーバー保持板２０上に定着させる。次
いで、接着剤４が定着されたスライダーバー保持板２０
上に、処理単位である複数本のスライダーバー３を一定
の方向に整列させて配置した後に、接着剤４を再度所定
の温度で加熱して溶融するとともにスライダーバー３を
密着させ、室温程度まで冷却することでスライダーバー
３をスライダー保持板２０に固定させる。ここで、各ス
ライダーバー３の整列は、通常、スライダーバー３に予
め形成された薄膜磁気ヘッド素子１０の位置を基準に揃
える場合が多い。その後、図５（ｂ）に示すように、数
十μｍ厚のフォトレジスト１１を複数本のスライダーバ
ー３上に載置し、次いで、フォトレジスト１１を加熱し
て接着することによりスライダーバー３上にフォトレジ
スト１１を定着させる。その後、図５（ｃ）に示すよう
に、露光、現像などの工程を経てスライダーバー３の表
面に所定デザインのマスクを形成し、マスキングされて
いない部分をエッチングすることによってエアーベアリ
ング面１２を形成する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法で、エアーベアリング形状の更なる高精度化を考え
た場合、現在市販されている感光方式がネガ型のドライ
フィルムレジストは、機械強度等には優れるが、実用上
数十μｍの厚さを有するものが用いられており、非常に
微細かつ複雑なエアーベアリング形状を形成するには解
像性の点で限界がある。つまり、露光工程においてレジ
スト表面と下面で膜厚に起因した架橋反応の差異が生
じ、レジスト下面においては露光光が減衰するため架橋
反応が十分に進行せず、レジスト表面よりも現像液に溶
解しやすくなる。このため得られるパターンは逆テーパ
形状（断面が逆台形となる）になりやすく、その後のド
ライエッチングプロセスにおいて、エッチングされた被
加工物がマスクパターンの側壁に再付着するため、加工
精度を劣化させる場合が多い。

【０００８】これらの問題を解決するため、レジストの
薄膜化を行うが、数μｍの厚さのドライフィルムレジス
トは製造上の限界から市販されておらず、レジストの薄
膜化に対しては、液状のフォトレジストで対応する検討
がされている。ただし、液状フォトレジストの問題とし
て、次のような問題がある。

【０００９】図６は、図５（ａ）及び図５（ｂ）のプロ
セスを詳細に図示する断面図であって、図５のスライダ
ーバー保持板２０上に固定された複数のスライダーバー
３上に液状フォトレジスト１１を塗布するプロセスを表
す。

【００１０】まず、図６（ａ）のステップにおいて、ス
ライダーバー保持板２０上に接着剤４を載置し、接着剤
４を加熱してその後に冷却することによって、接着剤４
をスライダーバー保持板２０に定着させる。次いで、図
６（ｂ）のステップにおいて、定着された接着剤４の上
に多数のスライダーバー３を並置し、接着剤４を加熱し
て、その後に冷却することによって各スライダーバー３
をスライダーバー保持板２０上に固定する。しかしなが
ら、このとき、スライダーバー３の加工精度の限界のた
めに、各スライダーバー３の間に数十μｍの幅の隙間１
３が存在することがある。続いて、図６（ｃ）のステッ
プにおいて、隙間１３を有するように配置されたスライ
ダーバー３の上から液状フォトレジスト１１を塗布する
と、隙間１３の奥に残存する空気２１が閉じ込められる
可能性があり、この残存する空気２１はフォトレジスト
１１が硬化される間にフォトレジスト１１の表面に浮き
上がり、図６（ｄ）のステップに図示されたように、浮
き上がった空気が、フォトレジスト１１の硬化後に破裂
しないで気泡２２としてそこに残存する場合には、異形
状のマスクパターンを生成するためプロセス上の大きな
障害となっている。

【００１１】一般に、複数本のスライダーバー３を同時
に処理する場合が多いパターニングプロセスでは、フォ
トレジスト１１はスライダーバー３表面に一旦滴下しス
ピンコータなどを用いて引き延ばし塗布するが、短冊状
のスライダーバー３を隙間無しに密着させるのは困難で
あり、ある程度の隙間１３がスライダーバー３間には生
じる。従来技術の方法では、この隙間１３に沿って、液
体であるフォトレジスト１１の一部は流れるとともに空
気を閉じ込め、閉じ込められた空気２１は気泡２２とな
って表面に浮上し完全に抜けきらず硬化する。

【００１２】以上説明したように、多数のスライダーバ
ー３を並置した場合に、そのスライダーバー３の間の隙
間１３から発生しフォトレジスト１１の表面に破裂せず
に残存する気泡２２は、異形状のマスクパターンとなる
ためプロセス上の大きな障害となるという問題点があっ
た。

【００１３】本発明の目的は上述の問題点を解決するた
めに、液状フォトレジストを用いた場合においても気泡
を発生させることなく、薄膜磁気ヘッドスライダーバー
の上に所望のマスクパターンを生成可能な、薄膜磁気ヘ
ッドスライダーバー保持装置及び薄膜磁気ヘッドスライ
ダーバーの製造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る薄膜磁気ヘ
ッドスライダーバー保持装置は、磁気記録媒体との対向
面に設けられた複数個の薄膜磁気ヘッド素子を有する複
数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを、上記対向面をフ
ォトリソグラフィー技術で任意のエアーベアリング形状
に形成する際に、所定の同一の面上に並置して保持する
ための薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置におい
て、上記複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを上記薄
膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置の同一の面上に並
置して保持したときに、上記各薄膜磁気ヘッドスライダ
ーバー間の位置の直下に位置する上記同一の面において
所定幅の溝を形成したことを特徴とする。

【００１５】また、上記薄膜磁気ヘッドスライダーバー
保持装置において、好ましくは、上記溝を、上記各薄膜
磁気ヘッドスライダーバーの長手方向が上記溝の長手方
向と実質的に平行となるように形成したことを特徴とす
る。

【００１６】さらに、上記薄膜磁気ヘッドスライダーバ
ー保持装置において、好ましくは、上記溝を、上記各薄
膜磁気ヘッドスライダーバー間の接触面が上記溝の幅方
向の中心線に実質的に一致するように形成したことを特
徴とする。

【００１７】本発明に係る薄膜磁気ヘッドスライダーバ
ーの製造方法は、磁気記録媒体との対向面に設けられた
複数個の薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜磁気ヘッドス
ライダーバーの製造方法において、複数の薄膜磁気ヘッ
ドスライダーバーを上記薄膜磁気ヘッドスライダーバー
保持装置の同一の面上に並置して保持したときに、上記
各薄膜磁気ヘッドスライダーバー間の位置の直下に位置
する上記同一の面において所定幅の溝を形成してなる薄
膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置を用いて、上記複
数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを並置して保持し、
上記対向面をフォトリソグラフィー技術で任意のエアー
ベアリング形状に形成するステップを含むことを特徴と
する。

【００１８】

【発明の実施形態】以下図面を参照して本発明の実施形
態について説明する。

【００１９】図１（ａ）は本発明の実施形態に係るスラ
イダーバー保持板１の上面図を示し、図１（ｂ）は図１
（ａ）のスライダーバー保持板１の側面図を示す。この
実施形態に係るスライダーバー保持板１は、磁気記録媒
体との対向面に設けられた複数個の薄膜磁気ヘッド素子
を有する複数本のスライダーバー３を、上記対向面をフ
ォトリソグラフィー技術で任意のエアーベアリング形状
に形成する際に、所定の同一の面上に並置して保持する
ための保持装置であり、複数本のスライダーバー３を当
該スライダバー保持板１の同一の面上に並置して保持し
たときに、各スライダーバー３間の位置の直下に位置す
る同一の面において所定幅の溝２を形成したことを特徴
としている。ここで、好ましくは、各溝２を、各スライ
ダーバー３の長手方向が溝２の長手方向と実質的に平行
となるように、また、各スライダーバー３間の接触面が
溝２の幅方向の中心線に実質的に一致するように形成し
たことを特徴としている。

【００２０】本実施形態で用いるスライダーバー保持板
１は、溝加工と鏡面加工が容易な材料から成り、その寸
法を限定するものではないが、規定された所定数のスラ
イダーバー３を処理し得る任意の長さＬ１、幅Ｌ２及び
厚さＬ３を有する直方体であって、上記直方体の少なく
とも１つの面において、長さＬ１を有する辺に平行であ
って、その幅及び深さと方向がそれぞれほぼ同一である
直線状の複数の溝２が、所定間隔Ｌ４で形成されてい
る。本実施形態では、スライダーバー保持板１の材料と
してセラミックスを使用した。なお、互いに隣接する溝
２の間の形成間隔Ｌ４は、後のステップで接着して保持
するスライダーバー３の形状によって決定され、スライ
ダーバー３の幅Ｌ５（図２を参照）とほぼ同一の間隔に
形成される。

【００２１】図３を参照すると、この実施形態において
加工するスライダーバー３は、約１ｍｍの幅Ｌ５と、７
０ｍｍの長さＬ６と、０．３ｍｍの厚さＬ７とを有する
直方体の形状（短冊状）に形成され、その中に、４０個
乃至６０個の薄膜磁気ヘッド素子１０を一直線上に配置
して含んでいる。従って、本実施形態では、スライダー
バー保持板１上に接着しかつ固定するスライダーバー３
の本数ｎを、ｎ＝６０本として、図１のスライダーバー
保持板１の長さＬ１を７０ｍｍとし、幅Ｌ２を７０ｍｍ
とし、厚さＬ３を２ｍｍとした。また、溝２は、図１
（ｂ）に示されたように、幅Ｗが０．５ｍｍであり、か
つ深さＤが０．５ｍｍの正方形の断面形状を有するよう
に構成される。ただし、図１乃至図３では、図示の簡単
化のため、１本のスライダーバー３に含まれる薄膜磁気
ヘッド素子１０の個数を９個とし、スライダーバー保持
板１上に固定されるスライダーバー３の本数ｎを、ｎ＝
１０本で図示した。

【００２２】また、図２は、実際に、図１のスライダー
バー保持板１に複数のスライダーバー３を固定している
ときの断面図を図示している。詳しくは、図２では、図
１（ａ）のスライダーバー保持板１に接着剤４を塗布し
て複数本のスライダーバー３を並置し、上記スライダー
バー３を基準面用あて板５を用いて位置決めして配置し
たときの、図１（ａ）のＡ−Ａ’面における断面図が図
示されている。上述した溝２は、所定数ｎのスライダー
バー３をその側面において互いに密着させ、スライダー
バー保持板１上に接着して固定するときに、各スライダ
ーバー３の密着された接触面６が溝２の幅方向の中心線
７と同じ位置に位置するように形成した。

【００２３】なお、スライダーバー保持板１はその材料
及び面粗度を限定するものではなく、目的を達成できる
すべての材料について適用することができる。例えば、
スライダーバー保持板１の材料として、本実施形態で用
いたセラミックスのほかに、ステンレス等の金属を含
む、必要とされる平面加工と溝加工が可能な全ての材料
を用いてもよい。また、溝２の形成数は一度に取り扱う
スライダーバー３数によって変化するものとし、全ての
スライダーバー３間の接触面６に沿って溝２を形成し
た。

【００２４】図３は、図１で説明したスライダーバー保
持板１を用い、スライダーバー３のエアーベアリング面
１２を形成する際のプロセス図である。図３（ａ）の第
１のステップにおいて、好ましくはフィルム状である熱
溶融型の接着剤４を、スライダーバー保持板１のほぼ全
面に載置し、次いで、接着剤４をいったん加熱（本実施
形態では１００〜１２０°Ｃで加熱した）した後で冷却
することで、接着剤４をスライダーバー保持板１に固着
させる。次いで、各スライダーバー３の密着された接触
面６が各溝２の幅方向の中心線７上にそれぞれ位置する
ように、所定数ｎのスライダーバー３（本実施形態では
ｎ＝６０としたが、図中ではｎ＝１０で記す。）を、溝
２の長手方向と平行な同一の方向に揃えて接着剤４の上
に並置し、接着剤４を再度加熱して、その後冷却するこ
とでスライダーバー３をスライダーバー保持板１に接着
する。なお、熱溶融型の接着剤４は、取り扱いの便利さ
のために、本実施形態ではフィルム状の接着剤４を用い
たが、液状の接着剤をスピンコータ等によって塗布して
用いてもよい。

【００２５】その後、図３（ｂ）の第２のステップにお
いて、液状フォトレジスト（又は、使用可能ならば、ド
ライフィルムフォトレジストなど）のマスク材料１１を
スライダーバー３の上に所定の厚さで形成する。さら
に、図３（ｃ）の第３のステップにおいて、フォトレジ
スト１１が形成されたスライダーバー３に対して露光し
て現像することによって、所望のエアーベアリング形状
に対応したマスクパターンを形成し、ドライエッチング
などの手法でマスキングされていない部分をエッチング
することで所定形状のエアーベアリング面１２を形成し
た。

【００２６】次に、図４は、気泡２２の発生抑制を説明
するために、図３（ａ）及び図３（ｂ）のプロセスを詳
細に図示する断面図であって、本実施形態のスライダー
バー保持板１上に固定された複数のスライダーバー３上
に液状フォトレジスト１１を塗布するプロセスを表す図
である。

【００２７】まず、図４（ａ）のステップにおいて、熱
溶融型の接着剤４をスライダーバー保持板１のほぼ全面
に載置し、次いで、図４（ｂ）のステップにおいて、接
着剤４をいったん加熱し、その後冷却することで接着剤
４をスライダーバー保持板１に固着させる。このとき、
フィルム状接着剤４を加熱して溶融することによって、
スライダーバー３の固定に寄与しない余分な接着剤４は
溝２の底部に落下し、後のステップでフォトレジスト１
１を排出するための空間が溝２において確保される。次
に、図４（ｃ）のステップにおいて、溝２の長手方向と
平行な一定の方向に揃えた所定数のスライダーバー３を
接着剤４上に並置し、接着剤４を再度加熱し、その後冷
却することでスライダーバー３をスライダーバー保持板
１に接着する。このとき、従来技術に係る図６（ｂ）と
同様に、互いに隣接するスライダーバー３間に隙間１３
が存在することがあるが、続く図４（ｄ）のステップ
で、スライダーバー３の上から液状フォトレジスト１１
を塗布しても、フォトレジスト１１は、硬化するまでの
間に隙間１３を通って直下の溝２に排出されるので、隙
間１３に空気が残存することはない。従って、図６
（ｄ）のように気泡２２がフォトレジスト１１の表面に
浮き上がって残存することがないので、スライダーバー
３上に、気泡２２を含まずに均一に塗布されたフォトレ
ジスト１１を得ることができる。

【００２８】以上説明したように、本実施形態のスライ
ダーバー保持板１はスライダーバー３間の密着された接
触面６の直下の位置に溝２を設けることで、通常は閉じ
込められる空気に対して、溝２によって空気の抜け道を
確保することで閉じ込められる空気を低減し、気泡２２
の発生を実用レベルまで抑制することができる。

【００２９】本実施形態に係るスライダーバー保持板１
によれば、液状フォトレジスト１１を塗布し、熱硬化さ
せる際にスライダーバー３間の隙間１３から発生する気
泡２２を抑制できるため、気泡２２の影響を受けない均
一な厚さのフォトレジスト１１を得ることができる。以
上のことから、パターニングの際に気泡２２を主因とし
たパターン形状の不良が発生せず、露光及び現像にて所
望のパターニングをした場合でも、微細で複雑な任意の
パターン形状が形成できるため高精度でかつ生産性の高
い、薄膜磁気ヘッドスライダーバーの製造方法を得るこ
とができる。

【００３０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係る薄膜
磁気ヘッドスライダーバー保持装置によれば、磁気記録
媒体との対向面に設けられた複数個の薄膜磁気ヘッド素
子を有する複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを、上
記対向面をフォトリソグラフィー技術で任意のエアーベ
アリング形状に形成する際に、所定の同一の面上に並置
して保持するための薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持
装置において、上記複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバ
ーを上記薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置の同一
の面上に並置して保持したときに、上記各薄膜磁気ヘッ
ドスライダーバー間の位置の直下に位置する上記同一の
面において所定幅の溝を形成される。ここで、上記溝
は、好ましくは、上記各薄膜磁気ヘッドスライダーバー
の長手方向が上記溝の長手方向と実質的に平行となるよ
うに形成され、また、上記溝は、好ましくは、上記各薄
膜磁気ヘッドスライダーバー間の接触面が上記溝の幅方
向の中心線に実質的に一致するように形成される。

【００３１】従って、薄膜磁気ヘッドスライダーバー保
持装置において、薄膜磁気ヘッドスライダーバーの密着
された接触面の直下の位置に溝を設けることで、通常は
閉じ込められる空気に対して、溝によって空気の抜け道
を確保することで閉じ込められる空気を低減し気泡の発
生を抑制することができる。

【００３２】また、本発明に係る薄膜磁気ヘッドスライ
ダーバーの製造方法によれば、磁気記録媒体との対向面
に設けられた複数個の薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜
磁気ヘッドスライダーバーの製造方法において、複数の
薄膜磁気ヘッドスライダーバーを上記薄膜磁気ヘッドス
ライダーバー保持装置の同一の面上に並置して保持した
ときに、上記各薄膜磁気ヘッドスライダーバー間の位置
の直下に位置する上記同一の面において所定幅の溝を形
成してなる薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置を用
いて、上記複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを並置
して保持し、上記対向面をフォトリソグラフィー技術で
任意のエアーベアリング形状に形成するステップを含
む。

【００３３】従って、上記薄膜磁気ヘッドスライダーバ
ー保持装置を用いれば、液状フォトレジストを塗布し、
熱硬化させる際にスライダーバーの密着された接触面か
ら発生する気泡を抑制できるため、気泡の影響を受けな
い均一な厚さのフォトレジストを得ることができる。そ
れ故、パターニングの際に気泡を主因としたパターン形
状の不良が発生せず、露光及び現像にて所望のパターニ
ングをした場合でも、微細で複雑な任意のパターン形状
が形成できるため高精度でかつ生産性の高い、薄膜磁気
ヘッドスライダーバーの製造方法を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ）は本発明の実施形態に係るスライダー
バー保持板１の構成を示す上面図であり、（ｂ）は
（ａ）のスライダーバー保持板１の構成を示す側面図で
ある。

【図２】 図１（ａ）のスライダーバー保持板１に複数
のスライダーバー３を固定したときの、図１（ａ）のＡ
−Ａ’面における断面図である。

【図３】 図１のスライダーバー保持板１を用いて複数
のスライダーバー３上にエアーベアリング面１２を形成
するプロセスを表す斜視図であり、（ａ）は複数本のス
ライダーバー３をスライダーバー保持板１上に配置する
ステップを表し、（ｂ）はスライダーバー３上にフォト
レジスト１１を塗布するステップを表し、（ｃ）はスラ
イダーバー３上にエアーベアリング面１２を形成するス
テップを表す。

【図４】 図１のスライダーバー保持板１に固定された
スライダーバー３上に液状フォトレジスト１１を塗布す
るプロセスを説明する図であって、（ａ）はスライダー
バー保持板１上にフィルム状の接着剤４を配置するステ
ップを表し、（ｂ）は熱溶融によって接着剤４をスライ
ダーバー保持板１上に固着するステップを表し、（ｃ）
はスライダーバー３をスライダーバー保持板１上に配置
しかつ固定するステップを表し、（ｄ）はスライダーバ
ー３上にフォトレジスト１１を塗布するステップを表す
図である。

【図５】 従来技術に係るスライダーバー保持板２０を
用いて複数本のスライダーバー３上にエアーベアリング
面１２を形成するプロセスを表す斜視図であり、（ａ）
はスライダーバー保持板２０上に複数本のスライダーバ
ー３を配置するステップを表し、（ｂ）はスライダーバ
ー３上にフォトレジスト１１を配置するステップを表
し、（ｃ）はスライダーバー３上にエアーベアリング面
１２を形成するステップを表す。

【図６】 図５のスライダーバー保持板２０に固定され
たスライダーバー３上に液状フォトレジスト１１を塗布
するプロセスを説明する図であって、（ａ）はスライダ
ーバー保持板２０上にフィルム状の接着剤４を配置しか
つ固着するステップを表し、（ｂ）はスライダーバー保
持板２０上にスライダーバー３を配置しかつ固定するス
テップを表し、（ｃ）はスライダーバー３上にフォトレ
ジスト１１を塗布するステップを表し、（ｄ）はフォト
レジスト１１の表面に気泡２２が発生するステップを表
す図である。

【符号の説明】

１…スライダーバー保持板、 ２…溝、 ３…スライダーバー、 ４…接着剤、 ５…基準面用あて板、 ６…スライダーバー３の密着された接触面、 ７…溝２の幅方向の中心線、 １０…薄膜磁気ヘッド素子、 １１…フォトレジスト、 １２…エアーベアリング面。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 貞芳 香川県高松市古新町８番地の１ 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 仲神 竜一 香川県高松市古新町８番地の１ 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 田頭 幸造 香川県高松市古新町８番地の１ 松下寿電 子工業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D033 BB14 DA07 DA22 5D042 NA02 PA09 RA04 RA10

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録媒体との対向面に設けられた複
   数個の薄膜磁気ヘッド素子を有する複数の薄膜磁気ヘッ
   ドスライダーバーを、上記対向面をフォトリソグラフィ
   ー技術で任意のエアーベアリング形状に形成する際に、
   所定の同一の面上に並置して保持するための薄膜磁気ヘ
   ッドスライダーバー保持装置において、 上記複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを上記薄膜磁
   気ヘッドスライダーバー保持装置の同一の面上に並置し
   て保持したときに、上記各薄膜磁気ヘッドスライダーバ
   ー間の位置の直下に位置する上記同一の面において所定
   幅の溝を形成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスラ
   イダーバー保持装置。
2. 【請求項２】 上記溝を、上記各薄膜磁気ヘッドスライ
   ダーバーの長手方向が上記溝の長手方向と実質的に平行
   となるように形成したことを特徴とする請求項１記載の
   薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置。
3. 【請求項３】 上記溝を、上記各薄膜磁気ヘッドスライ
   ダーバー間の接触面が上記溝の幅方向の中心線に実質的
   に一致するように形成したことを特徴とする請求項１又
   は２記載の薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装置。
4. 【請求項４】 磁気記録媒体との対向面に設けられた複
   数個の薄膜磁気ヘッド素子を有する薄膜磁気ヘッドスラ
   イダーバーの製造方法において、 複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバーを上記薄膜磁気ヘ
   ッドスライダーバー保持装置の同一の面上に並置して保
   持したときに、上記各薄膜磁気ヘッドスライダーバー間
   の位置の直下に位置する上記同一の面において所定幅の
   溝を形成してなる薄膜磁気ヘッドスライダーバー保持装
   置を用いて、上記複数の薄膜磁気ヘッドスライダーバー
   を並置して保持し、上記対向面をフォトリソグラフィー
   技術で任意のエアーベアリング形状に形成するステップ
   を含むことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダーバー
   の製造方法。