JP2001006142A - 薄膜磁気ヘッドスライダ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法におい
て、複数のスライダーバーのエアーベアリング形成面を
凹凸のない平面状態にして、液状フォトレジストを均一
に塗布し、良好なエアーベアリング形状を形成すること
ができる方法を提供する。 【解決手段】 多数のスライダーバーのエアーベアリン
グ形成面を、高精度の平面度を有した平滑な固定治具に
真空吸着した状態で（ＵＶ硬化性）接着剤を塗布した
（透明）プレート上に接触させ、接着剤を硬化すること
により段差のないエアーベアリング形成面を形成し、そ
の上面に液状フォトレジストを均一な厚みで塗布し、良
好な精度でエアーベアリング形状を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
（ＨＤＤ）等の磁気記録媒体に対して記録・再生を行う
装置に適用される薄膜磁気ヘッドスライダ−の製造方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録装置に対する高記録密度
化の要求が急速に高まり、この傾向は将来的にはさらに
高まっていくことは確実である。

【０００３】この要求に対し、磁気ヘッドスライダ−は
０．１μｍ以下の非常に低い浮上高さや、記録媒体の周
速によって変化することのない安定した浮上特性を有す
ることが求められるようになり、その要求を満足するに
は微細かつ複雑で幾何学的なエア−ベアリング面形状を
高精度で形成する技術が不可欠となっている。

【０００４】従来の磁気ヘッドスライダーのエアーベア
リング形成面は曲線を含む複雑な形状の加工をするた
め、フォトリソグラフィ技術を用いる方法、即ちエアー
ベアリング形成面に対応するフォトマスクを作成し、イ
オンビームエッチングなどのドライエッチングによりエ
アーベアリング形状を形成する方法が提案されている。

【０００５】ドライエッチングは半導体プロセスや薄膜
磁気ヘッド素子形成プロセスで盛んに用いられ、その加
工精度は上記の加工精度を充分に満足する方法であるこ
とは確かであるが、半導体プロセスや薄膜磁気ヘッド素
子形成プロセスがウエハの表面を対象にするのに対し、
薄膜磁気ヘッドスライダーは、薄膜磁気ヘッド素子を形
成したウエハから機械加工により切り出した薄膜磁気ヘ
ッド素子を複数個有する短冊状のブロック（以下スライ
ダーバーという）の表面を対象にしているという相違が
あり、この点が大きな問題となっている。

【０００６】即ち、ドライエッチングなどを用いたフォ
トリソグラフィ技術で微細かつ高精度に加工するために
は、良好なレジストパターンを形成することが重要とな
るが、スライダーバーのように小さな面積の部分には均
一にフォトレジスト膜を形成するのは非常に難しい。例
えば、フォトレジストを塗布する面の形状が丸形の場合
にはスピンコート法により液状フォトレジストを塗布し
てレジスト被膜を形成すると、均一な厚みを得ることが
できるが、一方その形状が角形になる場合、中心部の厚
みは均一であるが端部は中心部と比較して非常に厚みが
厚くなるため、端部には良好なレジストパターン形状を
形成することはできない。従って、ウエハは丸形の形状
を使用する場合が多く、また角形のウエハを使用した場
合には、端部にレジストの厚みが不均一であっても端部
を除いて中心部だけを使用することが可能である。しか
し、スライダーバーの場合は全面が加工対象であるため
端部を使用しないという訳にはいかず、従って均一なレ
ジスト被膜を全面に形成しなければならない。

【０００７】また、半導体プロセスや薄膜磁気ヘッド素
子形成プロセスではウエハの中に数百から数千個のデバ
イスを形成することができ、ウエハを大口径化すること
により比較的簡単に生産性を向上できるのに対し、スラ
イダーバーの中の磁気ヘッド素子は多くても４０〜６０
個が限界で、スライダーバーの取り扱いを１本毎にして
いたのでは生産性が著しく低く工業化できない。

【０００８】以上の理由より、必然的にスライダーバー
を多数並べて、ウエハのような大面積として取り扱う方
が有利であることは明白である。しかし、このとき次の
ような問題が生じる。

【０００９】以下、図８を用いて従来の薄膜磁気ヘッド
スライダーの製造方法を説明する。

【００１０】プレート９１上に複数のスライダーバー９
２を並べる場合、スライダーバー９２の間に隙間９３が
生じたり、或いはスライダーバー９２の作製時の機械加
工及びラッピング加工の加工公差による厚みのバラツキ
やプレート９１への接着時の接着剤の厚みのバラツキに
よって、プレート９１上に接着されたスライダーバー９
２のエアーベアリング形成面９４は凹凸状態となる。

【００１１】スライダーバー９２の間に隙間９３がな
く、しかもエアーベアリング形成面９４が段差９５のな
い平面即ち各スライダーバー９２のエアーベアリング形
成面９４が同一平面上にあればウエハと同じ扱いがで
き、エアーベアリング形成面９４に塗布したフォトレジ
スト被膜の厚みも均一となり良好なフォトレジストパタ
ーンを形成することが可能となる。しかし実際には、ス
ライダーバー９２は機械加工及びラッピング工程を施す
ため、厚みには公差分のバラツキが生じ、更に接着材の
厚みバラツキも加わり、エアーベアリング形成面９４は
凹凸状態となり、エアーベアリング形成面９４上に良好
なフォトレジストパターンを形成することができない。

【００１２】また、エアーベアリング形成面９４に溝９
６が機械加工により施されている場合があり、その場合
には、必然的にフォトレジスト塗布面は凹凸を持つこと
になる。

【００１３】また、スライダーバー９２間に隙間なく多
数並べて、ウエハのような大面積として取り扱う場合で
も、短冊状のスライダーバー９２の集合体であるから、
全体の形状として角形になる。この場合には、中心部の
フォトレジストの厚みは均一であるが、端部は中心部と
比較して厚くなるため、良好なフォトレジストパターン
が形成できない。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来方法では、短冊状のスライダーバーを集合させて、一
度に多数のスライダーバーのエアーベアリング形成面に
フォトレジストを塗布しようとしても、エアーベアリン
グ形成面のフォトレジスト塗布面が凹凸状態になるとい
う課題があった、本発明は、上記の課題を解決し、複数
のスライダーバーのエアーベアリング形成面である液状
フォトレジスト塗布面が凹凸状態のない平坦な面を形成
し、均一な厚みでフォトレジスト被膜を塗布して、スラ
イダーバーに微細かつ複雑なエアーベアリング形状をド
ライプロセスにより高精度に形成することができ、しか
も多数のスライダーバーを同時に取り扱うことにより安
価で大量生産に適した薄膜磁気ヘッドスライダーの製造
方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法は、Ｕ
Ｖ硬化性接着剤が上面に塗布され且つ光透過性を有する
透明プレートに複数のスライダーバーを隙間なく配列し
て接着し、スライダーバーのエアーベアリング形成面に
液状フォトレジストを塗布してエアーベアリング形状を
形成するようにしたものである。

【００１６】この方法によって、熱或いは加圧等により
変形のし易いスライダーバーを変形させることなく多数
個並べてプレートに接着することができ、精度の高いエ
アーベアリング形状の形成ができる。

【００１７】また、本発明の薄膜磁気ヘッドスライダー
の製造方法は、スライダーバーのエアーベアリング形成
面に形成されている溝に、液状フォトレジストを充填
し、更にエアーベアリング形成面と溝に充填された液状
フォトレジストの上に所望の厚みになるよう溝に充填し
た液状フォトレジストと粘度の異なる液状フォトレジス
トを塗布してエアーベアリング形状を形成するようにし
たものである。

【００１８】この方法によって、スライダーバーから個
々の薄膜磁気ヘッドスライダーを作成するための切断時
の加工等でエアーベアリング形成面上に発生するチッピ
ング等の傷を防止するために機械加工により施された溝
に対し、液状のフォトレジストを充填し硬化させること
で溝部に凹みのないエアーベアリング形成面を得ること
ができる。

【００１９】また、本発明の薄膜磁気ヘッドスライダー
の製造方法は、複数のスライダーバーが隙間なく配列さ
れた四方に、スライダーバーと厚みが略同じであるブロ
ックをスライダーバーに隙間なく配置し、接着剤が上面
に塗布されたプレートにスライダーバーとブロックとを
接着し、スライダーバーのエアーベアリング形成面と、
エアーベアリング形成面と同じ側にあるブロックの面と
に液状フォトレジストを塗布してエアーベアリング形状
を形成するようにしたものである。

【００２０】この方法によって、多数のスライダーバー
のエアーベアリング形成面に塗布された液状フォトレジ
ストは均一な厚みを有し、スライダーバーの端部まで均
一な厚みのフォトレジストを得ることができる。

【００２１】また、本発明の薄膜磁気ヘッドスライダー
は、高さ調整機能を有する治具ブロックに接着された複
数のスライドバーのエアーベアリング形成面となる液状
フォトレジスト塗布面を、高精度の平面度を有し且つ平
滑な平面プレートに押し当て、治具ブロックによりスラ
イダーバー間の段差を制御して液状フォトレジスト塗布
面が一平面上にあるようにして、液状フォトレジスト塗
布面に液状フォトレジストを塗布してエアーベアリング
形状を形成するようにしたものである。

【００２２】この方法によって、スライダーバーの厚み
公差或いはプレートとの接着の際の接着厚みのバラツキ
により生ずるエアーベアリング形成面の段差を解消する
ことができ、精度の良いエアーベアリング形状を形成す
ることができる。

【００２３】

【発明実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明は、
薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数のスライダーバ
ーをプレート上に配列し、所定厚の液状フォトレジスト
を塗布しフォトリソグラフィ技術によってエアーベアリ
ング形状を形成する製造法において、ＵＶ硬化性接着剤
が上面に塗布され且つ光透過性を有する透明プレートに
複数のスライダーバーを隙間なく配列して接着し、スラ
イダーバーのエアーベアリング形成面に液状フォトレジ
ストを塗布してエアーベアリング形状を形成することを
特徴としたものであり、熱或いは加圧等により変形のし
易いスライダーバーを変形させることなく多数個並べて
プレートに接着することができ、精度の高いエアーベア
リング形状の形成ができるという作用を有している。

【００２４】また、本発明の請求項２に記載の発明は、
薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数のスライダーバ
ーをプレート上に配列し、所定厚の液状フォトレジスト
を塗布しフォトリソグラフィ技術によってエアーベアリ
ング形状を形成する製造法において、スライダーバーの
エアーベアリング形成面に形成されている溝に、液状フ
ォトレジストを充填し、更にエアーベアリング形成面と
溝に充填された液状フォトレジストの上に所望の厚みに
なるよう溝に充填した液状フォトレジストと粘度の異な
る液状フォトレジストを塗布してエアーベアリング形状
を形成することを特徴としたものであり、スライダーバ
ーから個々の薄膜磁気ヘッドスライダーを作成するため
の切断時の加工等でスライダーバーのエアーベアリング
形成面に発生するチッピング等の傷を防止するために機
械加工により施された溝に対し、液状フォトレジストを
充填し硬化させることで溝部に凹みのないエアーベアリ
ング形成面を得ることができ、粘度の異なる液状フォト
レジストを凹凸のないエアーベアリング形成面に塗布す
ることによって精度の良いエアーベアリング形状を形成
することができるという作用を有している。

【００２５】また、本発明の請求項３に記載の発明は、
薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数のスライダーバ
ーをプレート上に配列し、所定厚の液状フォトレジスト
を塗布しフォトリソグラフィ技術によってエアーベアリ
ング形状を形成する製造法において、複数のスライダー
バーが隙間なく配列された四方に、スライダーバーと厚
みが略同じであるブロックをスライダーバーに隙間なく
配置し、接着剤が上面に塗布されたプレートにスライダ
ーバーとブロックとを接着し、スライダーバーのエアー
ベアリング形成面と、エアーベアリング形成面と同じ側
にあるブロックの面とに液状フォトレジストを塗布して
エアーベアリング形状を形成することを特徴としたもの
であり、多数のスライダーバーのエアーベアリング形成
面に塗布された液状フォトレジストは均一な厚みを有
し、スライダーバーの端部まで均一な厚みのフォトレジ
ストを得ることができるという作用を有している。

【００２６】また、本発明の請求項４に記載の発明は、
薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数のスライダーバ
ーをプレート上に配列し、所定厚の液状フォトレジスト
を塗布しフォトリソグラフィ技術によってエアーベアリ
ング形状を形成する製造法において、高さ調整機能を有
する治具ブロックに接着された複数のスライドバーのエ
アーベアリング形成面となる液状フォトレジスト塗布面
を、高精度の平面度を有し且つ平滑な平面プレートに押
し当て、治具ブロックによりスライダーバー間の段差を
制御して液状フォトレジスト塗布面が一平面上にあるよ
うにして、液状フォトレジスト塗布面に液状フォトレジ
ストを塗布してエアーベアリング形状を形成することを
特徴としたものであり、スライダーバーの厚み公差或い
はプレートとの接着の際の接着厚みのバラツキにより生
ずるエアーベアリング形成面の段差を解消することがで
き、精度の良いエアーベアリング形状を形成することが
できるという作用を有している。

【００２７】また、本発明の請求項５に記載の発明は、
請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法によって作製
されたことを特徴とするものであり、エアーベアリング
形成面に均一に液状フォトレジストを塗布することがで
き、加工精度の良好なエアーベアリング形状を有する薄
膜磁気ヘッドスライダーを作製することができるという
作用を有している。以下、本発明の実施形態について、
図面を用いて説明する。

【００２８】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１を示す液状フォトレジスト塗布面形成法について
の工程説明概要図である。

【００２９】図１−１において、薄膜磁気ヘッド素子を
形成したウェハから機械加工及びラッピングを施された
複数の薄膜磁気ヘッド素子１を有する短冊状のスライダ
ーバー２のエア−ベアリング形成面３を、高精度な平面
度で平滑な平面を有し且つスライダーバー２を吸着する
ための吸着穴４を所定サイズ及び所定箇所に有した吸着
固定治具５に、複数個隙間なく密着する形でスライダー
バー２のエア−ベアリング形成面３を真空吸着させる。

【００３０】次ぎに、図１−２に示すように、予め光透
過性を有する、ＵＶ硬化性接着剤７が予め塗布された例
えばガラスの如き透明プレート６上面に、エアーベアリ
ング形成面３の対面となるスライダーバー２の裏面８側
を、スライダーバー２を吸着固定治具５に真空吸着した
状態のまま接触させる。

【００３１】図１−３に示すように、スライダーバー２
の裏面８をＵＶ硬化性接着剤７を介して透明プレート６
に接触させた状態で、ＵＶ硬化性接着剤７が塗布された
透明プレート６の接着面の対面となる裏面９側から所定
の条件にて矢印で示す如くＵＶ光照射を行い、ＵＶ硬化
性接着剤７を硬化させる。

【００３２】ＵＶ硬化性接着剤７の硬化後、吸着固定治
具５の真空吸着面を解放することで、図１−４に示すよ
うに、複数のスライダーバー２間で段差のないエアーベ
アリング形成面３である液状フォトレジスト塗布面を得
ることができる。

【００３３】その後、スピンコーター等により所定の液
状フォトレジストをエアーベアリング形成面３に所定厚
塗布し硬化させることで、均一なフォトレジスト厚を得
ることができ、ドライエッチング等の工程を経てスライ
ダーバーにエアーベアリングを形成する。（図示せず）
以上のように本実施の形態によれば、ＵＶ硬化性接着剤
にてスライダーバーを透明プレートに接着するため、熱
或いは加圧による接着とは異なり接着による変形を起こ
さず、接着後のスライダーバーのエアーベアリング形成
面は吸着固定治具の高精度な平面度を有する平面に倣っ
て平面性の良好な状態が得られ、スピンコーター等によ
り所定の液状フォトレジストをエアーベアリング形成面
に所定厚塗布して硬化させて、均一なフォトレジスト厚
を得ることができ、ドライエッチング等の工程を経てス
ライダーバーに良好なエアーベアリングを形成すること
ができるという効果がある。

【００３４】（実施の形態２）図２は、本発明の実施の
形態２を示す液状フォトレジスト塗布面形成法について
の工程説明概要図である。

【００３５】図２−１において、複数の薄膜磁気ヘッド
素子２２を有する短冊状のスライダーバー２３を種々の
加工処理の後、スライダーバー２３から個々の薄膜磁気
ヘッドスライダーを切り出す際にフォトレジスト塗布面
であるエアーベアリング形成面２０にチッピング等の傷
の発生を防止するために設けられた溝２１がエアーベア
リング形成面２０に機械加工により施されたスライダー
バー２３のエア−ベアリング形成面２０を、高精度な平
面度で平滑な平面を有し、且つスライダーバー２３を吸
着するための吸着穴２４を所定サイズ及び所定箇所に有
した吸着固定治具２５に、複数個のスライダーバー２３
を隙間なく密着する形で真空吸着させる。真空吸着した
状態のまま、予め接着剤２７を塗布しておいたプレート
２６の上面に、エアーベアリング形成面２０の対面とな
るスライダーバー２３の裏面２９側を接触させる。次
に、スライダーバー２３の裏面２９とプレート２６を接
着剤２７を介して接触させた状態で、接着剤２７を硬化
させる。

【００３６】図２−２に示すように、接着剤２７の硬化
後、吸着固定治具２５の真空吸着面を解放すると、複数
のスライダーバー２３のエアーベアリング形成面２０が
同一平面上にあるように形成される。

【００３７】次に、図２−３に示すように、所定の液状
フォトレジスト２８を溝２１部にディスペンサーにより
所定量を滴下して、溝２１を液状フォトレジスト２８で
充填し、充填した液状フォトレジスト２８を硬化させ
る。これによりスライダーバー２３のエアーベアリング
形成面２０に形成された溝２１に凹みがなく、凹凸のな
い平坦な液状フォトレジスト塗布面となるエアーベアリ
ング形成面２０を得ることができる。

【００３８】その後、スピンコーター等により、溝２１
に充填された液状フォトレジスト２８とは異なる粘度を
有する所定の液状フォトレジストを所定厚塗布し硬化さ
せることで、スライダーバーのエアーベアリング形成面
である液状フォトレジスト塗布面に均一な厚みを有する
フォトレジスト層を得ることができ、ドライエッチング
等の工程を経てスライダーバーにエアーベアリング形状
を形成する。（図示せず） 尚、スライダーバーから個々の薄膜磁気ヘッドスライダ
ーを作成するために、溝２１の部分で切断することによ
り、切断によるチッピングがエアーベアリング形成面に
発生しないようにするために溝２１が形成されている。

【００３９】また、ＵＶ硬化性接着剤と透明プレートを
使って前述の実施の形態１と同様に接着することもでき
ることは言うまでもない。

【００４０】以上のように本実施の形態によれば、加工
によるチッピング等の傷がエアーベアリング形成面に発
生しないようにエアーベアリング形成面に溝が設けられ
たスライダーバーに関しても、平坦な平面を有するエア
ーベアリング形成面である液状フォトレジスト塗布面が
得られ、従って、精度の高いエアーベアリング形状を形
成することができる。

【００４１】（実施の形態３）図３は、本発明の実施の
形態３を示す液状フォトレジスト塗布面形成法について
の概要説明図である。

【００４２】図３−１において、薄膜磁気ヘッド素子を
形成したウェハから機械加工及びラッピングを施されて
作成された複数個の薄膜磁気ヘッド素子（図示せず）を
有する短冊状のスライダーバー３１のエア−ベアリング
形成面３２を、前述の実施の形態２と同様にして、吸着
穴２４を有する吸着固定治具２５に真空吸着させる。同
時にスライダーバー３１とほぼ同じ厚みを有するブロッ
ク３３を複数個のスライダーバー３１全体の外周である
四方の側面に密着させ、スライダーバー３１と同じよう
に吸着固定治具２５に真空吸着させる。このブロック３
３の材質は、スライダーバー３１と同じ材質であること
が望ましいが、これに限るものではない。次ぎに、プレ
ート３４上に接着剤３５を予め塗布しておいた面に、ス
ライダーバー３１及びブロック３３の吸着固定治具２５
に吸着された面の対面となる裏面側を、真空吸着した状
態のまま接触させる。スライダーバー３１及びブロック
３３の裏面側を接着剤３５を介して接触させた状態で、
接着剤３５を硬化させる。

【００４３】接着剤３５の硬化後、吸着固定治具２５の
真空吸着面を解放することで、図３−２に示すように複
数のスライダーバー３１とその外周四方に配置されたブ
ロック３３間で段差のない液状フォトレジスト塗布面と
なるエアーベアリング形成面３２を得ることができ、エ
アーベアリング形成面３２の上面に所定の液状フォトレ
ジストを塗布し、ドライエッチング等の工程を経て所定
のエアーベアリング形状を形成する。（図示せず） 尚、ここで、図４に示すように複数のスライダーバー３
１とそれらの周囲四方に配置されたブロック３３とで形
成される直方体のエアーベアリング形成面側の平面の形
状が長方形或いは正方形となり、その長方形の短い方の
対辺距離Ｌ１（＜Ｌ２）或いは正方形の対辺距離Ｌ１
（＝Ｌ２）が複数のスライダーバー３１を隙間なく配列
して形成される直方体のエアーベアリング形成面の集合
面の長方形の対角線の長さＬ３よりも大きくする。或い
は、図５に示すように四方に配置されたブロック５１の
外周形状が前述のエアーベアリング形成面の集合面の長
方形の対角線の長さＬ３よりも大きな直径Ｒを有する円
形状にすることにより、その効果が顕著になり、塗布厚
みの均一な液状フォトレジスト膜が形成される。

【００４４】また、ＵＶ硬化性接着剤と透明プレートを
使って、スライダーバーとブロックを前述の実施の形態
１と同様に接着することもできることは言うまでもな
い。

【００４５】また、スライダーバーのエアーベアリング
形成面に前述の実施の形態２と同様の溝を有するスライ
ダーバーにも適用でき、前述の実施の形態２と同様の溝
に対する処理をして平坦なエアーベアリング形成面が得
られることは言うまでもないことである。

【００４６】以上のように本実施の形態によれば、複数
のスライダーバーのエアーベアリング形成面の外側にス
ライダーバーのエアーベアリング形成面が形成する平面
と同じ平面上にブロックの上面があり、スピンコーター
により所定の液状フォトレジストを所定厚塗布し、硬化
させた時、塗布ムラが発生する部分がブロックの上面に
なるようにすれば、複数のスライダーバー３１の全体に
亘って均一な厚みのフォトレジスト層が得られ、スライ
ダーバー３１の端部にも均一なフォトレジスト厚を得る
ことができるという効果があり、良好なエアーベアリン
グ形状を形成することができる。

【００４７】（実施の形態４）図６〜図８は、本発明の
実施の形態４を示すための概略説明図であり、図６は高
さ調整機構を有する治具ブロックの一例を示す概要図、
図７は液状フォトレジスト塗布面形成法についての工程
概要説明図、図８は治具ブロックの他の一例を示す図で
ある。

【００４８】図６において、治具ブロック６０は、雌ネ
ジ穴６２と６３及び切り溝６４と６５が形成されたスラ
イダーバー接着台６１と、複数のスライダーバー接着台
６１を囲う枠型を有する固定治具６８と、雌ネジ穴６２
と６３に螺合された調整ネジ６６及び６７によって構成
された高さを調整する機構を有した治具である。

【００４９】図７−１に示すように、薄膜磁気ヘッド素
子を形成したウエハから機械加工及びラッピングが施さ
れて作製された短冊状のスライダーバー７１を接着剤が
その上面に塗布されたスライダーバー接着台６１の上に
載置し、スライダーバー７１が載置された複数のスライ
ダーバー接着台６１を囲う枠型を有する固定治具６８の
枠の中に固定する。尚、固定治具６８には高さ調整のた
めの調整ネジ６６及び６７を回動させるためのドライバ
ー等のネジ回動器具が通る穴６９が設けられている。

【００５０】次ぎに、図７−２に示すように、夫々のス
ライダーバー７１のエアーベアリング形成面７３が高精
度の平面度を有する平滑な平面プレート７２に夫々接触
するように各々のスライダーバー接着台６１の高さを固
定治具６８の穴６９を通じて調整ネジ６６及び６７にて
調整し、接着剤７４を硬化させる。

【００５１】上記の如く、高さ調整後、平面プレート７
２を取り除くと、図７−３に示すように複数のスライダ
ーバー７１間で段差のないエアーベアリング形成面７３
である液状フォトレジスト塗布面を得ることができる。

【００５２】また、治具ブロックの他の一例として、図
８に示すように、スライダーバー８１が塗布された接着
剤８４を介して載置された複数のスライダーバー接着台
８７を、高さ調整のための調整ネジ８６を回動させるた
めのドライバー等のネジ回動器具が通る穴８５が設けら
れている固定治具８８の枠の中に固定する。夫々のスラ
イダーバー８１のエアーベアリング形成面８３が高精度
の平面度を有する平滑な平面プレート８２に夫々接触す
るように、各々のスライダーバー接着台８７の高さを固
定治具８８に設けられた雌ネジ８５に螺合した調整ネジ
８６にて調整し、接着剤８４を硬化させると複数のスラ
イダーバー７１間で段差のないエアーベアリング形成面
７３である液状フォトレジスト塗布面を得ることができ
る。尚、接着剤８４はスライダーバー８１をスライダー
バー接着台８７に載置する時に硬化させても良いという
ことは言うに及ばない。

【００５３】その後、スピンコーター等により段差のな
いエアーベアリング形成面７３或いは８３に所定の液状
フォトレジストを所定厚塗布し硬化させ、エッチング等
の工程を経てエアーベアリング形状を形成する。（図示
せず） 以上のように本実施の形態によれば、複数のスライダー
バー７１或いは８１間で段差のないエアーベアリング形
成面７３或いは８３である液状フォトレジスト塗布面が
得られ、所定の液状フォトレジストを塗布し、硬化させ
ることで、均一なフォトレジスト厚を得ることができ、
良好な精度のエアーベアリング形状を形成することがで
きるという効果がある。

【００５４】

【発明の効果】以上のように本発明は、一度に複数のス
ライダーバーのエアーベアリング形成面を同一面上に配
置して液状フォトレジスト膜を形成する場合に障害とな
るスライダーバー間のエアーベアリング形成面の段差
を、吸着固定治具にスライダーバーのエアーベアリング
形成面を真空吸着させ、ガラス材のような光透過性のあ
る透明プレートとＵＶ硬化性接着剤を用いることで解消
することができる。

【００５５】また、液状フォトレジストを用い、スライ
ダーバーのエアベアリング形成面に施されている溝を充
填することにより、全体として凹凸のないエアーベアリ
ング形成面を有するスライダーバーとなり、エアベアリ
ング形成面に良好なフォトレジスト膜を形成することが
できる。

【００５６】さらに、スライダーバーとほぼ同じ厚さを
有するブロックをスライダーバーの四方に配置すること
により、スライダーバー端部のフォトレジスト厚みをス
ライダーバー中心部のフォトレジスト厚みと同じ厚みに
し、全体を均一な厚みにすることができる。

【００５７】また、高さ調整機能を有する治具ブロック
により各々のスライダーバーのエアーベアリング形成面
の高さを調整することにより、スライダーバーのエアー
ベアリング形成面の段差を解消することができる。

【００５８】以上のように、複数のスライダーバーのエ
アーベアリング形成面に段差のない液状フォトレジスト
塗布面を形成するため、エアーベアリング形成面に良好
な分布の均一な厚みのフォトレジスト被膜を形成できる
ため、微細かつ高精度に任意の形状のエアーベアリング
面を形成することが可能であり、またウエハと同様の状
態で取り扱うことができるため生産性が非常に向上し、
工程の簡素化及び歩留まりの向上も期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における工程説明概要図

【図２】本発明の実施の形態２における工程説明概要図

【図３】本発明の実施の形態３における概要説明図

【図４】本発明の実施の形態３における一例を示す上面
図

【図５】本発明の実施の形態３における他の一例を示す
上面図

【図６】本発明の実施の形態４における治具ブロックの
一例を示す概略説明図

【図７】本発明の実施の形態４における工程概要説明図

【図８】本発明の実施の形態４における治具ブロックの
他の一例を示す概略説明図

【図９】従来例を示す概略説明斜視図

【符号の説明】

１、２２ 薄膜磁気ヘッド素子 ２、２３、３１、７１、８１、９２ スライダーバー ３、２０、３２、７３、８３、９４ エアーベアリング
形成面 ４、２４ 吸着穴 ５、２５ 吸着固定治具 ６ 透明プレート ７ ＵＶ硬化性接着剤 ８、９、２９ 裏面 ２１、９６ 溝 ２６、３４、７２、９１ プレート ２７、３５、７４、８４ 接着剤 ２８ 液状フォトレジスト ３３ ブロック ６０ 治具ブロック ６１、８７ スライダーバー接着台 ６２、６３、８５ 雌ネジ ６４、６５ 切り溝 ６６、６７、８６ 調整ネジ ６８、８８ 固定治具 ６９ 穴 ７２、８２ 平面プレート ９３ 隙間 ９５ 段差

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 那須 昌吾 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA08 RA02 RA04

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数
   のスライダーバーをプレート上に配列し、所定厚の液状
   フォトレジストを塗布しフォトリソグラフィ技術によっ
   てエアーベアリング形状を形成する製造法において、 ＵＶ硬化性接着剤が上面に塗布され且つ光透過性を有す
   る透明プレートに複数の前記スライダーバーを隙間なく
   配列して接着し、前記スライダーバーのエアーベアリン
   グ形成面に液状フォトレジストを塗布してエアーベアリ
   ング形状を形成することを特徴とする薄膜磁気ヘッドス
   ライダーの製造方法。
2. 【請求項２】 薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数
   のスライダーバーをプレート上に配列し、所定厚の液状
   フォトレジストを塗布しフォトリソグラフィ技術によっ
   てエアーベアリング形状を形成する製造法において、 前記スライダーバーのエアーベアリング形成面に形成さ
   れている溝に、液状フォトレジストを充填し、更に前記
   エアーベアリング形成面と前記溝に充填された前記液状
   フォトレジストの上に所望の厚みになるよう前記溝に充
   填した前記液状フォトレジストと粘度の異なる液状フォ
   トレジストを塗布してエアーベアリング形状を形成する
   ことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ−の製造方
   法。
3. 【請求項３】 薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数
   のスライダーバーをプレート上に配列し、所定厚の液状
   フォトレジストを塗布しフォトリソグラフィ技術によっ
   てエアーベアリング形状を形成する製造法において、 複数の前記スライダーバーが隙間なく配列された四方
   に、前記スライダーバーと厚みが略同じであるブロック
   を前記スライダーバーに隙間なく配置し、接着剤が上面
   に塗布されたプレートに前記スライダーバーと前記ブロ
   ックとを接着し、前記スライダーバーのエアーベアリン
   グ形成面と、前記エアーベアリング形成面と同じ側にあ
   る前記ブロックの面とに液状フォトレジストを塗布して
   エアーベアリング形状を形成することを特徴とする薄膜
   磁気ヘッドスライダ−の製造方法。
4. 【請求項４】 薄膜磁気ヘッド素子を複数個有する複数
   のスライダーバーをプレート上に配列し、所定厚の液状
   フォトレジストを塗布しフォトリソグラフィ技術によっ
   てエアーベアリング形状を形成する製造法において、 高さ調整機能を有する治具ブロックに接着された複数の
   前記スライドバーのエアーベアリング形成面となる液状
   フォトレジスト塗布面を、高精度の平面度を有し且つ平
   滑な平面プレートに押し当て、前記治具ブロックにより
   前記スライダーバー間の段差を制御して前記液状フォト
   レジスト塗布面が一平面上にあるようにして、前記液状
   フォトレジスト塗布面に液状フォトレジストを塗布して
   エアーベアリング形状を形成することを特徴とする薄膜
   磁気ヘッドスライダーの製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の製造方
   法によって作製された薄膜磁気ヘッドスライダー。