JP2008059744A - フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法 - Google Patents
フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008059744A JP2008059744A JP2007225345A JP2007225345A JP2008059744A JP 2008059744 A JP2008059744 A JP 2008059744A JP 2007225345 A JP2007225345 A JP 2007225345A JP 2007225345 A JP2007225345 A JP 2007225345A JP 2008059744 A JP2008059744 A JP 2008059744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- slider
- slider bar
- providing
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
【課題】フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法とスライダーの製造方法を提供する。
【解決手段】(1)粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と対向する第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、(3)封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、(5)前記保持装置を撤去するステップと、を含む。
【選択図】図8
【解決手段】(1)粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と対向する第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、(3)封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、(5)前記保持装置を撤去するステップと、を含む。
【選択図】図8
Description
本発明は、情報記憶用ディスクドライブに使われるスライダーの製造方法に係り、特に、フォトリソグラフィプロセス(photolithography process)においてそのスライダーを連結させる方法に関する。
ディスクドライブシステムは情報記録装置としてよく使われ、このような装置は磁気媒体を介してデータを記録し、また、その磁気媒体の上方に設けられた可動式読取り/書込みヘッドを用いて、選択的に磁気媒体からのデータの読取りまたは磁気媒体へのデータの書込みを行う。
図1aは従来のディスクドライブ200を示す図であり、ディスク101は、スピンドルモーター102に取付けられてそれの駆動により回転する。ボイスコイルモーター104にはヘッドジンバルアセンブリ100が搭載されている。該ヘッドジンバルアセンブリ100は、読取り/書込みヘッドが装着されたスライダー103を備えている。ボイスコイルモータは、前記ボイスコイルモータのアーム104の動作を制御し、更には、スライダー103がディスク101表面のトラック間で移動するように制御して、これで読取り/書込みヘッドのディスク101に対する情報の読取り/書込み操作を行う。運行中、読取り/書込みヘッドを備えたスライダー103は、ディスク101と空力的に接触して、揚力が発生される。この揚力は、ヘッドジンバルアセンブリ100のサスペンションにより印加された弾性力と大きさが同じ且つ方向が反対で、互いに平衡になり、これにより、モータアーム104のラジアルストロークの全過程において、回転するディスク101の表面上方で予定の浮上量を形成して維持する。
図1bは、図1aに示されたスライダーを底部から見上げた時の斜視図である。当図に示すように、前記スライダー103の一側辺には磁性の読取り/書込みヘッド116が形成されて、ディスク101に対するデータの読取り/書込み操作を行うために用いられる。このスライダー103は、ディスク101と対向するエアベアリング面(air bear surface、ABS)117を備える。ディスクドライブの運行時、前記スライダー103のエアベアリング面117と高速に回転するディスク101の間には空力的接触が発生され、これにより、前記スライダー103が前記ディスク101の上方に動態的に浮上されるようにして情報の読取り/書込み操作を完成する。
また、ディスクに相対するスライダーの読取り/書込み操作をさらに順調に行うために、このスライダーの良好な飛行安定性が必要で、即ち、ディスクの上方を飛行するスライダーの浮上高さを一定値に保持しなければならない。つまり、スライダーの飛行安定性が悪いと、浮上高さが安定できなくなって、高くなったり低くなったりする。例えば、浮上高さが高すぎると、スライダーは読取り/書込み操作を順調に行うことができなく、逆に、浮上高さが低すぎると、スライダーによりディスクに傷をつける可能性があって、ディスク及び/或いはスライダーを破損することができる。
勿論、スライダーのエアベアリング面の加工精度も前記飛行安定性に影響を与える要因である。以下、スライダーのエアベアリング面の形成プロセスについて簡単に説明する。通常、スライダーのエアベアリング面は、フォトリソグラフィプロセス及び真空エッチングプロセス(vacuum etching process)を順に行うことによって形成されるまず、エアベアリング面の形成面(ABS-forming surface)にフォトレジスト層を被覆し(photo-resist coating);次に、露光によってエアベアリング面のパターン(ABS pattern)を前記フォトレジスト層に伝送し;そして、現像(developing)工程を行って、フォトレジスト層の露光できなかった部位を撤去し;最後に、イオンビームで前記エアベアリング面の形成面のフォトレジスト層に被覆されなかった部位をエッチングして、エアベアリング面を形成する。
関連領域において、通常、スライダーの加工プロセスは一組のスライダーバーを対象として行い、各スライダーバーは複数のスライダー本体(slider bodies)から構成されている。製品タイプによって、1個のスライダーバーは30〜100個のスライダー本体を含むことができる。これらのスライダーバーは、接着剤により一緒に封入されてバーアセンブリを形成する。加工完了後、これらのバーアセンブリを相互分離させて、各々バーを切断して独立したスライダーを形成する。
図2a〜2bにはスライダー形成用のスライダーバーが示されている。図に示すように、スライダーバー2の幅をW、厚さをTとする。当該スライダーバー2はエアベアリング面の形成面3を有する。図2cには前記スライダーバー2を搭載するためのキャリア1が示されている。以下、従来のスライダーバーの連結方法に対して説明する。まず、図3に示すように、接着剤塗布機6を介して高速硬化接着剤(fast-curing glue)5を前記キャリア1に塗布する。次に、図4に示すように、真空ピックアップヘッド(vacuum pickup head)7を用いて前記スライダーバー2を前記キャリア1に移動し、且つ前記高速硬化接着剤5で該スライダーバー2を該キャリア1に粘着させる。ここで、前記スライダーバー2は前記高速硬化接着剤5と接触するスライダー取付面4を含み、当該スライダー取付面4は前記エアベアリング面の形成面3と対応している。そして、図5に示すように、上記両ステップを繰返し行って、前記スライダーバー2が前記キャリア1に付着されるようにする。また次に、前記高速硬化接着剤5が完全に硬化されるように、前記スライダーバーを1〜3時間維持して、これにより該スライダーバー2を前記キャリア1に固着させる。続いて、図6に示すように、接着剤塗布機8を介して、封入接着剤9を前記スライダーバー2の間のギャップに塗布する。最後に、前記封入接着剤9が次第に硬化されるように、紫外線で該封入接着剤9に対して露光を行い、これで、すべてのスライダーバー2を一緒に固定させてスライダーバーアセンブリを形成する。
図7aには、一緒に封入され且つ前記キャリア1に粘着された一組のスライダーバー2が示されている。図7bは図7aのZ−Z線に沿った断面図である。図7bを参照すると、前記スライダーバー2の間にあるギャップ(符号無し)には一組の接着剤の陥凹30形成されている。これらの陥凹30は、前記封入接着剤9が硬化プロセスにおいて自然に収縮されて形成されたものである。また、図7a〜7bを参照すると、前記スライダーバー2のエアベアリング面の形成面3と前記陥凹30は共にスライダーバーのアセンブリの基本表面を形成し、当該基本表面の上にフォトレジスト層を塗布する。
更に、図7bから、前記スライダーバーアセンブリ(slider row bar assembly)の基本表面の平面度は主に前記陥凹30及び前記スライダーバー2の厚さの一貫性によって決られることが容易に理解できる。まず、通常、前記スライダーバー2は数百マイクロメートルのようなとても小さい厚さを有するので、スライダーバー2の厚さの一貫性を向上させることが非常に難しくなる。一方、前記封入接着剤9の内部特性の原因で、前記陥凹30の形成は避けることができない。従来のスライダーバーの連結プロセスでは、各々のスライダーバー2及びその下面に位置した接着剤5の厚さ(即ち、スライダーバー及び接着剤5には厚さの差異がある)が異なっており、且つ陥凹30が存在するので、スライダーバーアセンブリの基本表面の平面度がひどく低下される。これに従って、スライダーバーアセンブリの基本表面に塗布されたフォトレジスト層の平面度も悪くなる。
但し、エアベアリング面を形成するフォトリソグラフィプロセスにおいて、エアベアリング面の製造精度に対するフォトレジスト層の平面度の影響がとても重要である。具体に言うと、例えばエアベアリング面の形成面を被覆したフォトレジスト層の平面度が悪い場合、所定のエアベアリング面のパターンに比べ、露光によりフォトレジスト層に伝送されるエアベアリング面のパターンには形状のひずみが発生される。従って、エッチング工法でスライダーバーに形成されたエアベアリング面のパターンと所定のエアベアリング面のパターンがマッチされない。これにより、このようなエアベアリング面のパターンを有するスライダーの飛行安定性を悪くさせ、且つディスクドライブの飛行性能を悪くさせて、ディスク及び/或いはスライダーの破損をもたらすことができる。
以上の問題点に鑑みて、改良されたスライダーバーの連結方法を提供して、従来の技術における欠点を克服することが必要である。
本発明の一つの目的は、フォトリソグラフィプロセスにおいてスライダーバーを連結する方法を提供することで、これによると連結されたスライダーバーのエアベアリング面の形成面の平面度を大幅に向上させることができる。
また、本発明の他の目的は、スライダーの製造方法を提供することで、これによるとスライダーの加工精度を向上させることができる。
以上目的を達成するために、本発明のフォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法は、(1)粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と反対の第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、(3)封入接着剤(encapsulating glue)で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、(5)前記保持装置を撤去するステップと、を含む。
本発明の実施例において、前記ステップ(1)は、(a)孔が形成されたフレームを1個提供するステップと、(b)前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、(c)基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具(vacuum transfer fixture)を提供するステップと、(d)前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着層と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップとを更に含むことが好ましい。また、本発明の実施例において、前記スライダーバーの連結方法は、前記ステップ(1)の後に、真空孔と非粘着層によって限定された空間を真空状態にさせて空気圧力を発生して、これで前記フィルムを前記突出部の上に押し重ねるステップを更に含むことが好ましい。
また、前記ステップ(3)は、(i)開口が形成された接着剤制限プレート(glue-restraining plate)を提供して、スライダーバーがその開口から露出するよう、当該接着剤制限プレートを前記フィルムの粘着層に固定するステップと、(ii)前記封入接着剤を前記接着剤制限プレートの開口の中に入れるステップと、(iii)前記接着剤制限プレートの開口内の封入接着剤を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー間の空間に流入されるようにするステップと、(iv)前記封入接着剤を固化して、すべてのスライダーバーが互いに連結されるようにするステップとを更に含むことが好ましい。
また、前記ステップ(4)は、高速固化接着剤(fast-curing glue)を提供して、それを前記スライダーバーの第2の表面に塗装するステップと、当該高速固化接着剤を用いて前記キャリアを前記スライダーバーの第2の表面に固定するステップとを含むことが好ましい。
また、前記ステップ(5)は、(A)前記真空転送器具を前記フレームから撤去するステップと、(B)前記フィルムを前記スライダーバーから取り外すステップを含むことが好ましい。また、前記封入接着剤として、例えばシアノアクリレート接着剤などの何れか適当な接着剤を採用することができる。
そして、上記他の目的を達成するために、本発明のスライダーの製造方法は、(1)粘着性表面を有する保持装置を形成するステップと、(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と反対の第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対抗するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、(3)封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、(5)前記保持装置を撤去するステップと、(6)前記スライダーバーの第1の表面をエッチングするステップと、(7)前記スライダーバーを切断して独立したスライダを形成するステップと、
を含む。
を含む。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
まず、本発明の第一実施例の、フォトリソグラフィプロセスにおいて一組のスライダーバーを連結する方法に対して詳細に説明する。図8に示すように、この連結方法は、粘着性表面を有する保持装置を形成するステップ101と、エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と反対の第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップ102と、封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップ103と、キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップ104と、前記保持装置を撤去するステップ105とを含む。
図9a〜9dは前記ステップ101を示す。図9aに示すように、まず、孔31が形成され且つ周辺に一組のネジ孔11が形成されたフレーム10を提供する。当該フレーム10は、例えば鋼或いはセラミックなどの材料から形成されることができて、十分な硬度を提供する。並びに、粘着層12b及び当該粘着層12bに積層された非粘着層12aを含むフィルム12を提供する。この粘着層12bをフレーム10に粘着させることを介して、フィルム12をフレーム10に付着し、これで、このフレーム10の孔31がフィルム12に完全に被覆されるようにする。次に、図9bに示すように、前記フィルム12の前記フレーム10の周辺を越えた部分を切除して、このフィルム12がフレーム10と一致した形状を持つようにする。
そして、図9c〜9dに示すように、真空転送器具13を提供する。当該真空転送器具13は、基板132と、当該基板132から延伸して形成された突出部15を含む。この基板132の周縁には、前記フレーム10のネジ孔11と対応する一組のネジ孔14が形成されている。また、前記突出部15には一組の真空孔16が形成されている。また次に、前記真空転送器具13を前記フレーム10に組立てて、前記突出部15が前記孔31に収容されるようにし(図9aを参照)、且つ前記フィルム12の非粘着層12aでその突出部15を被覆して(図9aを参照)、保持装置300を形成する。前記真空転送器具13は、一組のネジ(図示せず)を相応するネジ孔11及び14に挿通させることによって前記フレーム10に組立てられることができる。最後に、ポンプなどの適当なデバイスを用いて、前記真空転送器具13の真空孔16とフィルム12の間に形成された空間を真空化させ、従って、空気圧力を発生して、前記フィルム12を前記突出部15に押し重ねる。
図10a〜10dは前記ステップ102を示す。図面に示すように、一組のスライダーバー18を前記保持装置300に固定させる。各スライダーバー18は幅W1及び厚さT1を有する。また、各スライダーバー18は、エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面19(エアベアリング面の形成面、図13dを参照)及び当該第一の表面19と対向している第2の表面182(スライダー取付面)を有する。この第一の表面19は、例えばフォトリソグラフィプロセスの続行の製造プロセスで処理されて、その表面にエアベアリング面のパターンを形成する。このプロセスにおいて、真空ピックアップヘッド17を繰返し使用して、これにより、スライダーバー18を固定し且つそれを前記フィルム12の粘着層12bに移動する。そして、各スライダーバー18を前記粘着層12bに接着させ、且つ前記第一の表面19をこの粘着層12bに接着させる。
図11a〜11dは前記ステップ103を示す一連図である。まず、図11aに示すように、真空ピックアップヘッド20を用いて開口211が形成された接着剤制限プレート(glue-restraining plate)21を移動して、それを前記フィルム12の粘着層12bに接着させて、該粘着層12bに固持されたスライダーバー18が前記開口211から露出されるようにする。次に、図11bに示すように、接着剤塗布機22を用いて、例えばシアノアクリレート接着剤(cyanoacrylate)などの封入接着剤23を前記開口211の中に塗布せさせる。続いて、図11c〜11dに示すように、この開口211の中に収容された封入接着剤23を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー10間のギャップに均一に流入されるようにする。ここで、前記圧延プロセスをラミネーター(laminator)270で完成する。具体に言うと、このラミネーター270は一対のローラー27と、これらローラー27の間に位置するライナーフィルム(liner film)28を含む。もちろん、同じ機能が実現できる条件で、前記ラミネーター270はその他の適当な構造を有することもできる。圧延プロセスを行う場合、前記ライナーフィルム28は前記スライダーバー18の第二の表面182を被覆し、前記二つのローラー27は当該ライナーフィルム28を沿って回して、これにより前記封入接着剤23が押出されるようにする。最後に、この封入接着剤23を凝固させて、前記すべてのスライダーバー18が相互粘着されるようにする。
図12a〜12bは前記ステップ104を示す一連図である。まず、図12aに示すように、接着剤塗布機25を用いて高速硬化接着剤24を前記スライダーバー18の第二の表面182に塗布する。次に、図12bに示すように、真空ピックアップヘッド(vacuum pickup head)27を用いてキャリア26を移動し、且つ前記高速硬化接着剤24で当該キャリア26を前記スライダーバー18の第二の表面182に固着させて、スライダーバー18の全体がこのキャリア26に完全に被覆されるようにする。
なお、前記スライダーバー18と前記キャリア26の間には弾性層(elastic layer)29が設けられている(図13dを参照)。また、自体特性によって前記高速硬化接着剤24が収縮される時には収縮応力が発生される。この収縮応力の原因で、前記キャリア26及び当該キャリア26に搭載されたスライダーバー18には不利な変形が発生される。但し、前記弾性層29があるため、このような変形は減少されることができる。また、この弾性層29は前記高速硬化接着剤24の硬化剤(curing agent)としても用いられて、硬化プロセスに有利である。しかしながら、本実施例においては前記弾性層にて応力を吸収したが、この応力が非常に小さい時はこの弾性層を使用しないこともできる。
図13a〜13dは前記ステップ105を示す一連図である。まず、図13aに示すように、前記フレーム10から前記真空転送器具13を撤去して組合体(combination)800を形成する。ここで、フレーム10から真空転送器具13を撤去する前に、前記フィルム12に印加されてそれを前記真空転送器具13の突出部15に押し付ける空気圧力を排除することが好ましく、これによって、撤去プロセスがより簡単になる。次に、図13bに示すように、前記組合体800を逆転して、前記フィルムの非粘着層12aを上方に向けるようにする。続いて、図13cに示すように、前記フィルム12の非粘着層12aを粘着層12bから剥離し、更に、この粘着層12bを、溶解法などの適切な方式によって前記スライダーバー18から取り外す。また、前記フィルム12を取り外して組合体900を形成する。図13dは図13cに示された組合体900のB−B線に沿った断面図である。同図に示すように、前記スライダーバー18を封入接着剤23で互いに粘着させることによってスライダーバーのアセンブリ18を形成し、また接着剤制限プレート21にてこの封入接着剤23を抑制する。そして、前記キャリア26及び弾性層29は高速硬化接着剤24によって前記接着剤制限プレート21に固着される。特に、前記スライダーバー18の第一の表面19は、それぞれ完璧に位置合わせされて、比較的に高い平面度を持つ。
図14は、従来の方法及び本発明の実施例の方法によって形成されたスライダーバーアセンブリのエアベアリング面の形成面表面のスキャン特性をそれぞれ示す図である。同図に示すように、従来の方法によるスライダーバーアセンブリの表面のスキャン特性を表す曲線81に比べ、本発明の方法によるスライダーバーアセンブリの表面のスキャン特性を表す曲線80の方がさらに滑らかになっている。言葉を換えて言うと、本発明の方法によると従来の方法よりもさらに望ましいスライダーバーアセンブリの表面の平面度を得ることができる。
図16は、スライダーバーアセンブリのエアベアリング面の形成面に形成された接着剤陥凹400を示す図である。同図に示すように、この陥凹400の深さ(23Rで表示)はただ1マイクロメートルであるが、従来の方法により形成された陥凹30の深さ(9Rで表示、図15を参照)は20マイクロメートルにも達する。即ち、スライダーバーアセンブリは従来の方法によって形成された陥凹より浅くなっている。
従来の技術に比べ、本発明においては、スライダーの取付面ではなく、前記スライダーバー18のエアベアリング面の形成面19を基準面としたので、スライダーバーの厚さ差による影響を減少し、更に完全に避けることができる。なお、前記スライダーバー18のエアベリング面の形成面19が前記器具13の突出部15にしっかり押されて、この突出部により前記形成面の接着剤の収縮が阻止されるので、主には前記スライダーバーの第二の表面(スライダー取付面)182で接着剤陥凹が発生される;このため、エアベリング面の形成面の総合平面度に対する接着剤陥凹400の影響を大幅に減少することができる。つまり、前記スライダーバーアセンブリ(相互連結されたスライダーバー)のエアベリング面の形成面の平面度が大いに向上できて、本発明の方法によって製造されたスライダーは優良な飛行安定性を持ち、更にディスクドライブ装置も良好な飛行安定性を持って、ディスク及び/或いはスライダーの間には破損が発生できない。
図17に示すように、本発明のスライダーの製造方法は、粘着性表面を有する保持装置を形成するステップ201と、エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と対向の第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップ202と、封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップ203と、キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップ204と、前記保持装置を撤去するステップ205と、前記スライダーバーの第1の表面をエッチングするステップ206と、前記スライダーバーを切断して独立したスライダーを形成するステップ207と、を含む。
以上、最良の実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されなく、本発明の精神から逸脱せずに様々な変形、同等の結合が可能である。
Claims (10)
- (1)粘着表面を有する保持装置を形成するステップと、
(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と対向する第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、
(3)封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、
(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、
(5)前記保持装置を撤去するステップと、を含むことを特徴とするフォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法。 - 前記ステップ(1)は、
(a)孔が形成されたフレームを1個提供するステップと、
(b)前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、
(c)基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具を提供するステップと、
(d)前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着層と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップと、を更に含むことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記ステップ(1)の後に、真空孔と非粘着層によって限定された空間を真空状態にさせて空気圧力を発生し、これで前記フィルムを前記突出部の上に押し重ねるステップを更に含むことを特徴とする請求項2記載の方法。
- 前記ステップ(3)は、
(i)開口が形成された接着剤制限プレートを提供して、スライダーバーがその開口から露出するよう、当該接着剤制限プレートを前記フィルムの粘着層に固定するステップと、
(ii)前記封入接着剤を前記接着剤制限プレートの開口の中に注入するステップと、
(iii)前記接着剤制限プレートの開口内の封入接着剤を圧延して、この封入接着剤がスライダーバー間の空間に流入されるようにするステップと、
(iv)前記封入接着剤を固化して、すべてのスライダーバーが互いに連結されるようにするステップと、を更に含むことを特徴とする請求項3記載の方法。 - 前記ステップ(5)は、
(A)前記真空転送器具を前記フレームから撤去するステップと、
(B)前記フィルムを前記スライダーバーから取り外すステップと、を更に含むことを特徴とする請求項4記載の方法。 - 前記ステップ(4)は、高速固化接着剤を提供して、それを前記スライダーバーの第2の表面に塗装するステップと、当該高速固化接着剤を用いて前記キャリアを前記スライダーバーの第2の表面に固定するステップと、を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記キャリアと前記スライダーバーの第2の表面との間には、前記高速固化接着剤による収縮応力を吸収するための弾性層が設けられていることを特徴とする請求項6記載の方法。
- 前記封入接着剤として、シアノアクリレート接着剤が含まれることを特徴とする請求項1記載の方法。
- (1)粘着性表面を有する保持装置を形成するステップと、
(2)エアベアリング面を形成するために用いられる第1の表面及び当該第一の表面と対向の第2の表面を有する一組のスライダーバーを提供して、それらの第1の表面が前記粘着表面に対向するように、各スライダーバーを前記保持装置に固定するステップと、
(3)封入接着剤で前記スライダーバーを互いに連結するステップと、
(4)キャリアを提供して、それを前記スライダーバーに第2の表面に固定するステップと、
(5)前記保持装置を撤去するステップと、
(6)前記スライダーバーの第1の表面をエッチングするステップと、
(7)前記スライダーバーを切断して独立したスライダーを形成するステップと、を含むことを特徴とするスライダーの製造方法。 - 前記ステップ(1)は、
(a)孔が形成されたフレームを1個提供するステップと、
(b)前記粘着表面となる粘着層及び当該粘着層が一緒に積層されてなった非粘着層を含むフィルムを提供して、前記粘着層が前記フレームに対向するように、当該フィルムで前記フレームを被覆するステップと、
(c)基板と、当該基板の上に位置し且つ一組の真空孔が形成された突出部を含む真空転送器具を提供するステップと、
(d)前記真空転送器具を前記フレームに組み立てて、前記突出部が前記フレームの孔に収容され且つ前記フィルムの非粘着表面と接触するようにして、前記保持装置を形成するステップと、を含むことを特徴とする請求項9記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNA2006101260800A CN101136206A (zh) | 2006-08-31 | 2006-08-31 | 在光刻工艺中将磁头长形条连接起来的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008059744A true JP2008059744A (ja) | 2008-03-13 |
Family
ID=39160263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007225345A Pending JP2008059744A (ja) | 2006-08-31 | 2007-08-31 | フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008059744A (ja) |
CN (1) | CN101136206A (ja) |
-
2006
- 2006-08-31 CN CNA2006101260800A patent/CN101136206A/zh active Pending
-
2007
- 2007-08-31 JP JP2007225345A patent/JP2008059744A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101136206A (zh) | 2008-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8743665B2 (en) | Light source chip and a thermally assisted head with the same, and manufacturing methods thereof | |
KR100280040B1 (ko) | 자기헤드슬라이더 제조방법 | |
JP4118989B2 (ja) | 磁気転写装置 | |
JP2008059744A (ja) | フォトリソグラフィプロセスにおけるスライダーバーの連結方法 | |
US7549214B2 (en) | Method for bonding slider row bars for photolithography process | |
JP4250940B2 (ja) | 薄膜圧電体素子およびその製造方法並びにこれを用いたアクチュエータ装置 | |
US7540077B2 (en) | Method for bonding slider row bars for photolithography process | |
US20100000433A1 (en) | Method for bonding slider row bars for photolithography process and method for manufacturing sliders | |
JP4616341B2 (ja) | 多層記憶媒体を製造するための方法 | |
JP3958830B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダの製造方法 | |
JP2721297B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
US20030117735A1 (en) | Method of magnetic transfer to flexible medium | |
JP3514415B2 (ja) | レジストフィルム | |
JP4098292B2 (ja) | 磁気転写装置用保持ユニット、磁気転写装置、及び磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2504117B2 (ja) | 光ディスクの貼り合せ方法 | |
JP3058054B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JP2000339654A (ja) | 薄膜磁気ヘッドスライダーの製造方法 | |
JP2000132831A (ja) | 磁気転写装置 | |
JP2001297434A (ja) | 磁気転写方法 | |
JP2001184741A (ja) | 光学記憶媒体の製造方法 | |
JPH0416252Y2 (ja) | ||
JP2001006142A (ja) | 薄膜磁気ヘッドスライダ−の製造方法 | |
JP2962610B2 (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
CN101615398A (zh) | 光刻工艺中将磁头长形条连接起来的方法及磁头制造方法 | |
JP2501531Y2 (ja) | 光記録媒体 |