JP2003045089A - 平面保持装置ならびにそれを用いたディスク製造装置 - Google Patents
平面保持装置ならびにそれを用いたディスク製造装置Info
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- JP2003045089A JP2003045089A JP2001231612A JP2001231612A JP2003045089A JP 2003045089 A JP2003045089 A JP 2003045089A JP 2001231612 A JP2001231612 A JP 2001231612A JP 2001231612 A JP2001231612 A JP 2001231612A JP 2003045089 A JP2003045089 A JP 2003045089A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】平面保持ユニットの故障の有無を早期に発見
し、製品品質不良を最小限に抑える平面保持装置を提供
することを目的とする。 【解決手段】板状物体を平面状に保持する装置であっ
て、表面が平面状で該表面から裏面に貫通する貫通孔を
有する保持部材54と前記保持部材54の裏面側に前記
保持部材54の表面側から裏面側に向かう気流を発生さ
せる電動式ファン51からなる複数の平面保持ユニット
48と、前記複数の平面保持ユニット48が連なって巡
回移動する巡回移動路41,42,43を備えるもので
あって、前記巡回移動路41,42,43上のいずれか
の地点に前記平面保持ユニット48の電動式ファン51
の回転の有無を検出する検出手段47が備えられている
ことを特徴とした平面保持装置を用いる
し、製品品質不良を最小限に抑える平面保持装置を提供
することを目的とする。 【解決手段】板状物体を平面状に保持する装置であっ
て、表面が平面状で該表面から裏面に貫通する貫通孔を
有する保持部材54と前記保持部材54の裏面側に前記
保持部材54の表面側から裏面側に向かう気流を発生さ
せる電動式ファン51からなる複数の平面保持ユニット
48と、前記複数の平面保持ユニット48が連なって巡
回移動する巡回移動路41,42,43を備えるもので
あって、前記巡回移動路41,42,43上のいずれか
の地点に前記平面保持ユニット48の電動式ファン51
の回転の有無を検出する検出手段47が備えられている
ことを特徴とした平面保持装置を用いる
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばディスク基
板などの板状物体を平面状に保持する装置に関し、さら
には2枚のディスク基板を紫外線硬化性組成物を接着剤
として貼り合わせて1枚のディスクとするディスク製造
装置に関する。
板などの板状物体を平面状に保持する装置に関し、さら
には2枚のディスク基板を紫外線硬化性組成物を接着剤
として貼り合わせて1枚のディスクとするディスク製造
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】2枚のディスク基板を貼り合わせて製造
するデジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク、いわ
ゆるDVDでは、2枚のディスク基板を、紫外線硬化性
組成物等を接着剤として貼り合わせる手法が採用されて
いる。ここでいう紫外線硬化性組成物には、少なくと
も、紫外線照射後すぐには硬化せず、所定時間経過して
から硬化が起こる遅効性であるカチオン重合型紫外線硬
化性組成物と、紫外線照射後即硬化が起こる速効性であ
るラジカル重合型紫外線硬化性組成物とが含まれる。
するデジタル・ビデオ/バーサタイル・ディスク、いわ
ゆるDVDでは、2枚のディスク基板を、紫外線硬化性
組成物等を接着剤として貼り合わせる手法が採用されて
いる。ここでいう紫外線硬化性組成物には、少なくと
も、紫外線照射後すぐには硬化せず、所定時間経過して
から硬化が起こる遅効性であるカチオン重合型紫外線硬
化性組成物と、紫外線照射後即硬化が起こる速効性であ
るラジカル重合型紫外線硬化性組成物とが含まれる。
【0003】2枚のディスク基板を貼り合わせるには、
まず、ディスク基板の少なくとも一方に前記紫外線硬化
性組成物を塗布し、これを挟んで2枚のディスク基板を
重ね合わせる。そして、前記紫外線硬化性組成物に対し
て紫外線を照射し、該組成物を硬化させることによって
2枚のディスク基板を貼り合わせる。
まず、ディスク基板の少なくとも一方に前記紫外線硬化
性組成物を塗布し、これを挟んで2枚のディスク基板を
重ね合わせる。そして、前記紫外線硬化性組成物に対し
て紫外線を照射し、該組成物を硬化させることによって
2枚のディスク基板を貼り合わせる。
【0004】ところで、一般的にカチオン重合型紫外線
硬化性組成物は、紫外線が照射された直後に硬化が完了
するものではなく、徐々に硬化が進行して完全に硬化す
るまでには多少時間がかかる。このためディスク基板に
塗布された紫外線硬化組成物に対しては、光照射を行っ
た後で、貼り合わせや展延を行うことができ、この特性
は2枚のディスク基板がいずれも光透過性を有しない両
面記録DVD−RAM等の製造工程に好適に使用するこ
とができる。しかしながら一方で、カチオン重合型紫外
線硬化性組成物は、紫外線照射後の硬化までに時間がか
かるため、紫外線照射後、紫外線硬化性組成物の硬化が
ある程度進行するまでの間は、重ね合わされた2枚のデ
ィスク基板を正確に平面状に保っておかないと、ディス
クに反りや歪み等が発生するなどして形状精度が悪くな
るおそれがある。
硬化性組成物は、紫外線が照射された直後に硬化が完了
するものではなく、徐々に硬化が進行して完全に硬化す
るまでには多少時間がかかる。このためディスク基板に
塗布された紫外線硬化組成物に対しては、光照射を行っ
た後で、貼り合わせや展延を行うことができ、この特性
は2枚のディスク基板がいずれも光透過性を有しない両
面記録DVD−RAM等の製造工程に好適に使用するこ
とができる。しかしながら一方で、カチオン重合型紫外
線硬化性組成物は、紫外線照射後の硬化までに時間がか
かるため、紫外線照射後、紫外線硬化性組成物の硬化が
ある程度進行するまでの間は、重ね合わされた2枚のデ
ィスク基板を正確に平面状に保っておかないと、ディス
クに反りや歪み等が発生するなどして形状精度が悪くな
るおそれがある。
【0005】ディスク基板を正確に平面状に保持する方
法としては、例えば、重ね合わされた2枚のディスク基
板を比較的硬い平坦面の間に挟む方法などが考えられる
が、ディスク基板の表面に硬い物体を押しつけると、デ
ィスク基板の表面を傷つけるおそれがあり、また該硬い
物体を繰り返し使用するとディスク基板の表面に異物が
付着し易くなるという問題もある このような問題を克服するべく、改良された板状物体の
平面保持方法としては、以下の構成を有する装置を使用
した方法を用いることができる。
法としては、例えば、重ね合わされた2枚のディスク基
板を比較的硬い平坦面の間に挟む方法などが考えられる
が、ディスク基板の表面に硬い物体を押しつけると、デ
ィスク基板の表面を傷つけるおそれがあり、また該硬い
物体を繰り返し使用するとディスク基板の表面に異物が
付着し易くなるという問題もある このような問題を克服するべく、改良された板状物体の
平面保持方法としては、以下の構成を有する装置を使用
した方法を用いることができる。
【0006】それは、板状物体を平面状に保持する装置
であって、該装置が平面状の保持面に、表面側から裏面
側に貫通する貫通孔を有する保持部材と、前記保持部材
の裏面側に設置され、前記保持部材の表面側から裏面側
に向かう気流を発生させる電動式ファンとを有する複数
の平面保持ユニットと、前記複数の平面保持ユニットが
連なって巡回移動する巡回移動路と、前記移動路上の第
1の地点で前記平面保持ユニットの保持部材の表面上に
前記板状物体を載せる載置手段と、前記移動路上第2の
地点で前記平面保持ユニットの保持部材上にある前記板
状物体を排出する排出手段とを備えており、前記保持部
材の表面上に、前記板状物体を載せた状態で、前記電動
式ファンにより該保持部材の表面側から裏面側へ流れる
気流を発生させることによって、前記板状物体を前記保
持部材の表面上に保持することを特徴とする平面保持装
置を用いた方法である。
であって、該装置が平面状の保持面に、表面側から裏面
側に貫通する貫通孔を有する保持部材と、前記保持部材
の裏面側に設置され、前記保持部材の表面側から裏面側
に向かう気流を発生させる電動式ファンとを有する複数
の平面保持ユニットと、前記複数の平面保持ユニットが
連なって巡回移動する巡回移動路と、前記移動路上の第
1の地点で前記平面保持ユニットの保持部材の表面上に
前記板状物体を載せる載置手段と、前記移動路上第2の
地点で前記平面保持ユニットの保持部材上にある前記板
状物体を排出する排出手段とを備えており、前記保持部
材の表面上に、前記板状物体を載せた状態で、前記電動
式ファンにより該保持部材の表面側から裏面側へ流れる
気流を発生させることによって、前記板状物体を前記保
持部材の表面上に保持することを特徴とする平面保持装
置を用いた方法である。
【0007】この平面保持方法によれば、気流によって
受ける風圧で板状物体を保持部材に押しつけて保持する
ので、前記板状物体表面に物体を接触させず、ソフトな
力を作用させて平面状に保持することが可能である。し
たがって前記板状物体表面に傷や異物付着等の損傷を与
えることなく、正確に平面状に保持することができるま
た、前記保持部材の表面側から裏面側へ気流が流れてい
るので、この表面側と裏面側とで圧力差が生じない。し
たがって、前記板状物体に対して、撓みや反りなどの変
形が生じるほど強い吸引力が作用する心配はない。更に
保持部材の裏面側から吸気を行って気流を発生させるの
で、保持部材の表面側から送風する方法に比べて、板状
物体の表面に異物が付着し難い。上記平面保持方法は、
前記板状物体がディスク基板である場合に好適である。
受ける風圧で板状物体を保持部材に押しつけて保持する
ので、前記板状物体表面に物体を接触させず、ソフトな
力を作用させて平面状に保持することが可能である。し
たがって前記板状物体表面に傷や異物付着等の損傷を与
えることなく、正確に平面状に保持することができるま
た、前記保持部材の表面側から裏面側へ気流が流れてい
るので、この表面側と裏面側とで圧力差が生じない。し
たがって、前記板状物体に対して、撓みや反りなどの変
形が生じるほど強い吸引力が作用する心配はない。更に
保持部材の裏面側から吸気を行って気流を発生させるの
で、保持部材の表面側から送風する方法に比べて、板状
物体の表面に異物が付着し難い。上記平面保持方法は、
前記板状物体がディスク基板である場合に好適である。
【0008】しかし、本発明の発明者らは前記平面保持
装置において、まだ解決されるべき課題が残されている
ことを見いだした。つまり、前記平面保持装置におい
て、前記紫外線硬化性組成物によって貼り合わせられた
板状物体を保持する場合、前記紫外線硬化性組成物の硬
化が完了するまでには少なくとも2分から3分はかか
る。前記平面保持ユニットの保持部材はその間前記板状
物体を平面保持しなければならないため、前記平面保持
装置には複数個の平面保持ユニットが必須となる。前記
平面保持ユニットの必要個数は、例えば、前記板状物体
の生産タクトを1枚の生産当たり約4秒とすると45個
となり、前記板状物体の平面保持を遅滞なく行うには、
少なくとも前記個数の平面保持ユニットが前記平面保持
装置の前記巡回移動路上に配置する必要がある。
装置において、まだ解決されるべき課題が残されている
ことを見いだした。つまり、前記平面保持装置におい
て、前記紫外線硬化性組成物によって貼り合わせられた
板状物体を保持する場合、前記紫外線硬化性組成物の硬
化が完了するまでには少なくとも2分から3分はかか
る。前記平面保持ユニットの保持部材はその間前記板状
物体を平面保持しなければならないため、前記平面保持
装置には複数個の平面保持ユニットが必須となる。前記
平面保持ユニットの必要個数は、例えば、前記板状物体
の生産タクトを1枚の生産当たり約4秒とすると45個
となり、前記板状物体の平面保持を遅滞なく行うには、
少なくとも前記個数の平面保持ユニットが前記平面保持
装置の前記巡回移動路上に配置する必要がある。
【0009】前記巡回移動路上の複数個の平面保持ユニ
ットには各々電動式ファンが備えられているため、前記
電動式ファンの内の1つが何らかの原因により回転しな
くなった場合、前記回転しなくなった電動式ファンが備
えられた平面保持ユニットに載置された板状物体は正常
に平面保持されないため、撓みや反りといった品質不具
合が、前記平面保持ユニットに載置される度に発生する
ことになる。また、電動式ファンが回転しなくなること
は、装置を使用している最中に発生し得る任意のトラブ
ルであり、そうしたトラブルを早期に発見し、オペレー
ターに知らしめる手段の構築が望まれていた。
ットには各々電動式ファンが備えられているため、前記
電動式ファンの内の1つが何らかの原因により回転しな
くなった場合、前記回転しなくなった電動式ファンが備
えられた平面保持ユニットに載置された板状物体は正常
に平面保持されないため、撓みや反りといった品質不具
合が、前記平面保持ユニットに載置される度に発生する
ことになる。また、電動式ファンが回転しなくなること
は、装置を使用している最中に発生し得る任意のトラブ
ルであり、そうしたトラブルを早期に発見し、オペレー
ターに知らしめる手段の構築が望まれていた。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであり、平面保持ユニットの故障
の有無を早期に発見し、製品品質不良を最小限に抑える
平面保持装置を提供することを目的とする。
に鑑みてなされたものであり、平面保持ユニットの故障
の有無を早期に発見し、製品品質不良を最小限に抑える
平面保持装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の平面保持装置として、発明者らは以下の構成の平面保
持装置を好適に用いうることを見いだした。すなわち、
発明者らは、第1の発明として、板状物体を平面状に保
持する装置であって、該装置が平面状の保持面に、表面
側から裏面側に貫通する貫通孔を有する保持部材と、前
記保持部材の裏面側に設置され、前記保持部材の表面側
から裏面側に向かう気流を発生させる電動式ファンとを
有する複数の平面保持ユニットと、前記複数の平面保持
ユニットが連なって巡回移動する巡回移動路と、前記巡
回移動路上の第1の地点で前記平面保持ユニットの保持
部材の表面上に前記板状物体を載せる載置手段と、前記
巡回移動路上第2の地点で前記平面保持ユニットの保持
部材上にある前記板状物体を排出する排出手段とを備え
ており、前記巡回移動路上のいずれかの地点に前記平面
保持ユニットの電動式ファンの回転の有無を検出する検
出手段が備えられていることを特徴とする平面保持装置
を提供する。
の平面保持装置として、発明者らは以下の構成の平面保
持装置を好適に用いうることを見いだした。すなわち、
発明者らは、第1の発明として、板状物体を平面状に保
持する装置であって、該装置が平面状の保持面に、表面
側から裏面側に貫通する貫通孔を有する保持部材と、前
記保持部材の裏面側に設置され、前記保持部材の表面側
から裏面側に向かう気流を発生させる電動式ファンとを
有する複数の平面保持ユニットと、前記複数の平面保持
ユニットが連なって巡回移動する巡回移動路と、前記巡
回移動路上の第1の地点で前記平面保持ユニットの保持
部材の表面上に前記板状物体を載せる載置手段と、前記
巡回移動路上第2の地点で前記平面保持ユニットの保持
部材上にある前記板状物体を排出する排出手段とを備え
ており、前記巡回移動路上のいずれかの地点に前記平面
保持ユニットの電動式ファンの回転の有無を検出する検
出手段が備えられていることを特徴とする平面保持装置
を提供する。
【0012】前記検出手段を用いることにより、電動式
ファンの回転の有無を検出することが可能になり、巡回
移動路上に複数ある各平面保持ユニットの故障の有無を
判定することができる。
ファンの回転の有無を検出することが可能になり、巡回
移動路上に複数ある各平面保持ユニットの故障の有無を
判定することができる。
【0013】前記検出手段の個数は、前記巡回移動路上
に複数設置することにより、より確実な前記平面保持ユ
ニットの故障の検出が可能になるが、コスト増に繋がる
ため、少なくとも1つ以上を適宜選択して設置されるこ
とが望ましい。
に複数設置することにより、より確実な前記平面保持ユ
ニットの故障の検出が可能になるが、コスト増に繋がる
ため、少なくとも1つ以上を適宜選択して設置されるこ
とが望ましい。
【0014】さらに発明者らは、上記課題を解決するた
めの第2の発明として前記第1の発明の平面保持装置に
おいて、前記板状物体がディスク基板であって、前記保
持部材が、保持面の中心に前記ディスク基板の中心孔よ
り大きい第1の貫通孔を有するとともに、前記保持面上
に前記ディスク基板を前記第1の貫通孔と中心が一致す
るように載せたときに、前記ディスク基板の外周縁の少
なくとも一部が前記保持部材の端縁より外方に位置する
か、または保持面の該ディスク基板の外周縁と重なる円
上に貫通孔が設けられているかの、少なくともいずれか
の形状を備えるような構成とした平面保持装置を提供す
る。
めの第2の発明として前記第1の発明の平面保持装置に
おいて、前記板状物体がディスク基板であって、前記保
持部材が、保持面の中心に前記ディスク基板の中心孔よ
り大きい第1の貫通孔を有するとともに、前記保持面上
に前記ディスク基板を前記第1の貫通孔と中心が一致す
るように載せたときに、前記ディスク基板の外周縁の少
なくとも一部が前記保持部材の端縁より外方に位置する
か、または保持面の該ディスク基板の外周縁と重なる円
上に貫通孔が設けられているかの、少なくともいずれか
の形状を備えるような構成とした平面保持装置を提供す
る。
【0015】前記板状物体がディスク基板である場合、
少なくとも、ディスク基板の内周縁部と外周縁部の両方
において、前記気流を発生させることが好ましい。この
ようにすれば、ディスク基板の内周縁部と外周縁部の両
方に風圧を作用させることができ、ディスク基板を保持
部材の表面に押しつける力を、ディスク基板の半径方向
においてより均一化することができるので、ディスク基
板に撓みや反りが生じるのを防止するうえで好ましい。
また上記のようにディスク基板の中心孔や外周縁と貫通
孔の関係、もしくはディスクと保持部材の端縁の位置関
係を規定すること によって、内周縁部と外周縁部両方
にわたってディスク基板表面側から裏面側への気流の流
れを良好にすることができる。
少なくとも、ディスク基板の内周縁部と外周縁部の両方
において、前記気流を発生させることが好ましい。この
ようにすれば、ディスク基板の内周縁部と外周縁部の両
方に風圧を作用させることができ、ディスク基板を保持
部材の表面に押しつける力を、ディスク基板の半径方向
においてより均一化することができるので、ディスク基
板に撓みや反りが生じるのを防止するうえで好ましい。
また上記のようにディスク基板の中心孔や外周縁と貫通
孔の関係、もしくはディスクと保持部材の端縁の位置関
係を規定すること によって、内周縁部と外周縁部両方
にわたってディスク基板表面側から裏面側への気流の流
れを良好にすることができる。
【0016】さらに発明者らは上記課題を解決するため
の第3の発明として、前記第2の発明の平面保持装置に
おいて、前記第1の貫通孔の径は15mmより大きく、
該貫通孔と中心が同じで径が80mmの円上に第2の貫
通孔が設けられており、かつこれら貫通孔と中心が同じ
で径が120mmの円より内方に前記保持部材の端縁が
位置しているか、または前記径が120mmの円上に第
3の貫通孔が設けられているかの、少なくともいずれか
の形状を備えているような構成とした平面保持装置を提
供する。
の第3の発明として、前記第2の発明の平面保持装置に
おいて、前記第1の貫通孔の径は15mmより大きく、
該貫通孔と中心が同じで径が80mmの円上に第2の貫
通孔が設けられており、かつこれら貫通孔と中心が同じ
で径が120mmの円より内方に前記保持部材の端縁が
位置しているか、または前記径が120mmの円上に第
3の貫通孔が設けられているかの、少なくともいずれか
の形状を備えているような構成とした平面保持装置を提
供する。
【0017】前記保持部材を用いることにより、直径が
120mmのディスク基板を平面保持する場合と、直径
が80mmのディスク基板を平面保持する場合の、2つ
の異なった直径のディスク基板のどちらかを平面保持す
る場合であっても、前記保持部材の段取り替えを行わな
ずにディスク基板の内周縁部と外周縁部の両方に風圧を
作用させることができ、前記平面保持が可能となる。
120mmのディスク基板を平面保持する場合と、直径
が80mmのディスク基板を平面保持する場合の、2つ
の異なった直径のディスク基板のどちらかを平面保持す
る場合であっても、前記保持部材の段取り替えを行わな
ずにディスク基板の内周縁部と外周縁部の両方に風圧を
作用させることができ、前記平面保持が可能となる。
【0018】さらに発明者らは上記課題を解決するため
の第4の発明として、前記第1〜第3のいずれかの平面
保持装置について、前記巡回移動路上に前記電動式ファ
ンに電力を供給するための接触電極が設けられている平
面保持装置を提供する。
の第4の発明として、前記第1〜第3のいずれかの平面
保持装置について、前記巡回移動路上に前記電動式ファ
ンに電力を供給するための接触電極が設けられている平
面保持装置を提供する。
【0019】巡回移動路上を移動中の平面保持ユニット
の電動式ファンに対して電力を供給するための配線を行
うのは困難であるが、巡回移動路上に接触電極を設けれ
ば、移動中の前記電動式ファンに対して容易に電力を供
給することができる。また平面保持ユニットの電動式フ
ァンは、直流低電圧で駆動できるものが安全性が高く、
好ましい。
の電動式ファンに対して電力を供給するための配線を行
うのは困難であるが、巡回移動路上に接触電極を設けれ
ば、移動中の前記電動式ファンに対して容易に電力を供
給することができる。また平面保持ユニットの電動式フ
ァンは、直流低電圧で駆動できるものが安全性が高く、
好ましい。
【0020】さらにまた発明者らは、上記課題を解決す
るための第5の発明として、前記第1〜第4のいずれか
に記載の発明において、前記巡回移動路上において、前
記平面保持ユニットの移動が移動、停止を間欠的に繰り
返しながら行われるものであり、前記電動式ファンへの
電力供給が前記停止期間中のみ行われるための電力切替
手段を備えている平面保持装置を提供する。
るための第5の発明として、前記第1〜第4のいずれか
に記載の発明において、前記巡回移動路上において、前
記平面保持ユニットの移動が移動、停止を間欠的に繰り
返しながら行われるものであり、前記電動式ファンへの
電力供給が前記停止期間中のみ行われるための電力切替
手段を備えている平面保持装置を提供する。
【0021】電力供給が接触電極を通じ行われる場合で
は、接触移動時に通電がなされると、接触部の摩耗が激
しいものとなるが、前記切替手段を用いることにより、
前記平面保持ユニットが停止している間のみ通電実施す
るようにすれば、電極の摩耗を抑制でき、耐久性、信頼
性の高い装置を実現することができる。なお、上記平面
保持ユニットへの通電は移動期間中に停止されるが、前
記電動式ファン回転部の慣性モーメントが適切に選定さ
れることにより、通電停止中もある程度回転が継続さ
れ、前記板状物体の平面保持力が維持されるようなもの
であることが好ましい。
は、接触移動時に通電がなされると、接触部の摩耗が激
しいものとなるが、前記切替手段を用いることにより、
前記平面保持ユニットが停止している間のみ通電実施す
るようにすれば、電極の摩耗を抑制でき、耐久性、信頼
性の高い装置を実現することができる。なお、上記平面
保持ユニットへの通電は移動期間中に停止されるが、前
記電動式ファン回転部の慣性モーメントが適切に選定さ
れることにより、通電停止中もある程度回転が継続さ
れ、前記板状物体の平面保持力が維持されるようなもの
であることが好ましい。
【0022】さらにまた発明者らは、上記課題を解決す
るための第6の発明として、前記第1〜第5のいずれか
の発明において、前記平面保持装置は、前記保持部材裏
面が光反射手段を兼ねているものであって、かつ前記検
出手段が、前記巡回移動路上の前記平面保持ユニットが
停止するいずれかの位置に固定されており、さらに該検
出手段が、前記平面保持ユニットの下側から前記光反射
手段に向けて光を照射する光照射手段と、前記反射光が
前記電動式ファンの羽根によって間欠的に遮られること
により発生するパルス反射光を検出するパルス反射光検
出手段とを備えている構成である平面保持装置を提供す
る。
るための第6の発明として、前記第1〜第5のいずれか
の発明において、前記平面保持装置は、前記保持部材裏
面が光反射手段を兼ねているものであって、かつ前記検
出手段が、前記巡回移動路上の前記平面保持ユニットが
停止するいずれかの位置に固定されており、さらに該検
出手段が、前記平面保持ユニットの下側から前記光反射
手段に向けて光を照射する光照射手段と、前記反射光が
前記電動式ファンの羽根によって間欠的に遮られること
により発生するパルス反射光を検出するパルス反射光検
出手段とを備えている構成である平面保持装置を提供す
る。
【0023】本発明においては、前記電動式ファンの羽
根部は、公知慣用装置のほとんどがそうであるように、
前記羽根部を回転軸方向から見た場合に、1枚1枚の羽
根の間に隙間が存在するものであることを前提としてい
る。前記保持部材裏面は、光を効率よく反射する材質で
あることが好ましい。選定にあたっては、前記保持部材
自身を光反射性の材質で構成したり、前記保持部材裏面
に前記材質で構成されたシールを貼りつけることが好ま
しい。このようにすれば前記電動式ファンの羽根に向け
られて照射された照射光が、羽根によって遮られる状態
と、羽根と羽根の隙間を通過して前記光反射手段によっ
て反射光となって反射し、前記パルス反射光検出手段に
検出される状態の、前記2つの状態を繰り返すことによ
って前記照射光がパルス反射光となって、前記電動式フ
ァンが正常に回転していることが確認できる。前記光照
射手段、およびパルス反射光検出手段の選定にあたって
は、例えばキーエンス社製 FS−V10やFS−L4
0などの、公知慣用装置を用いることができる。
根部は、公知慣用装置のほとんどがそうであるように、
前記羽根部を回転軸方向から見た場合に、1枚1枚の羽
根の間に隙間が存在するものであることを前提としてい
る。前記保持部材裏面は、光を効率よく反射する材質で
あることが好ましい。選定にあたっては、前記保持部材
自身を光反射性の材質で構成したり、前記保持部材裏面
に前記材質で構成されたシールを貼りつけることが好ま
しい。このようにすれば前記電動式ファンの羽根に向け
られて照射された照射光が、羽根によって遮られる状態
と、羽根と羽根の隙間を通過して前記光反射手段によっ
て反射光となって反射し、前記パルス反射光検出手段に
検出される状態の、前記2つの状態を繰り返すことによ
って前記照射光がパルス反射光となって、前記電動式フ
ァンが正常に回転していることが確認できる。前記光照
射手段、およびパルス反射光検出手段の選定にあたって
は、例えばキーエンス社製 FS−V10やFS−L4
0などの、公知慣用装置を用いることができる。
【0024】さらにまた発明者らは、第7の発明として
前記平面保持装置がディスク製造装置に好適に適用しう
ることを見いだした。すなわち発明者らは2枚のディス
ク基板を、紫外線硬化性組成物を接着剤として貼り合わ
せて1枚のディスクとするディスク製造装置であって、
一方のディスク基板に対して貼り合わせ面の一部に前記
紫外線硬化性組成物を塗布する塗布手段と、塗布された
前記紫外線硬化性組成物に対し紫外線を照射する紫外線
照射手段と、紫外線を照射された前記紫外線硬化性組成
物を挟んで前記一方のディスク基板と他方のディスク基
板とを貼り合わせる貼り合わせ手段と、双方のディスク
基板間に介在する前記紫外線硬化性組成物を展延する展
延手段と、前記展延を終えた前記2枚の基板間および端
面近傍の前記紫外線硬化性組成物に対して少なくとも紫
外線と赤外線とを含む光を所定回数繰り返し閃光照射し
て前記紫外線硬化性組成物を硬化させる閃光照射手段
と、前記紫外線硬化性組成物を挟んで貼り合わせられた
前記2枚のディスク基板を保持する前記第1〜第6のい
ずれかの発明である平面保持手段とを備えることを特徴
としたディスク製造装置を提供する。
前記平面保持装置がディスク製造装置に好適に適用しう
ることを見いだした。すなわち発明者らは2枚のディス
ク基板を、紫外線硬化性組成物を接着剤として貼り合わ
せて1枚のディスクとするディスク製造装置であって、
一方のディスク基板に対して貼り合わせ面の一部に前記
紫外線硬化性組成物を塗布する塗布手段と、塗布された
前記紫外線硬化性組成物に対し紫外線を照射する紫外線
照射手段と、紫外線を照射された前記紫外線硬化性組成
物を挟んで前記一方のディスク基板と他方のディスク基
板とを貼り合わせる貼り合わせ手段と、双方のディスク
基板間に介在する前記紫外線硬化性組成物を展延する展
延手段と、前記展延を終えた前記2枚の基板間および端
面近傍の前記紫外線硬化性組成物に対して少なくとも紫
外線と赤外線とを含む光を所定回数繰り返し閃光照射し
て前記紫外線硬化性組成物を硬化させる閃光照射手段
と、前記紫外線硬化性組成物を挟んで貼り合わせられた
前記2枚のディスク基板を保持する前記第1〜第6のい
ずれかの発明である平面保持手段とを備えることを特徴
としたディスク製造装置を提供する。
【0025】前記塗布手段は、前記2枚のディスク基板
の一方の貼り合わせ面に対し、定位置から前記紫外線硬
化性組成物を吐出する吐出部と、前記貼り合わせ面を有
するディスク基板を周方向に回転させるディスク基板回
転駆動部を備えていることが好ましい。また塗布される
紫外線硬化性組成物としては、カチオン重合型紫外線硬
化性組成物のような、硬化速度の遅い紫外線硬化性組成
物を用いたときに、より本発明の効果が顕著である。ま
た前記紫外線照射手段としては連続発光タイプのもの、
フラッシュランプのように閃光照射タイプのもの何れも
採用することができ、何れも公知慣用装置を用いること
が好ましい。前記紫外線照射手段の光源と前記紫外線硬
化性組成物が塗布されたディスク基板の間には、紫外線
が前記紫外線硬化性組成物にのみ制限されて照射される
ような照射領域制限部が設けられることが好ましい。
の一方の貼り合わせ面に対し、定位置から前記紫外線硬
化性組成物を吐出する吐出部と、前記貼り合わせ面を有
するディスク基板を周方向に回転させるディスク基板回
転駆動部を備えていることが好ましい。また塗布される
紫外線硬化性組成物としては、カチオン重合型紫外線硬
化性組成物のような、硬化速度の遅い紫外線硬化性組成
物を用いたときに、より本発明の効果が顕著である。ま
た前記紫外線照射手段としては連続発光タイプのもの、
フラッシュランプのように閃光照射タイプのもの何れも
採用することができ、何れも公知慣用装置を用いること
が好ましい。前記紫外線照射手段の光源と前記紫外線硬
化性組成物が塗布されたディスク基板の間には、紫外線
が前記紫外線硬化性組成物にのみ制限されて照射される
ような照射領域制限部が設けられることが好ましい。
【0026】展延手段としては、前記紫外線硬化性組成
物を挟んで貼り合わされた2枚のディスク基板を把持し
て周方向に回転させるディスク回転駆動部を備えること
が好ましい。このような展延手段は一般にスピン装置と
呼ばれ、公知慣用装置を用いることができる。
物を挟んで貼り合わされた2枚のディスク基板を把持し
て周方向に回転させるディスク回転駆動部を備えること
が好ましい。このような展延手段は一般にスピン装置と
呼ばれ、公知慣用装置を用いることができる。
【0027】また公知慣用の閃光照射手段としてはウシ
オ電機製のSBC−13やSBC−15などがあり何れ
も好適に用いることができる。前記閃光照射において
は、ディスク端面への照射も同時に行われるように、デ
ィスクが載置位置の外縁には光反射板が設けられること
が好ましい。
オ電機製のSBC−13やSBC−15などがあり何れ
も好適に用いることができる。前記閃光照射において
は、ディスク端面への照射も同時に行われるように、デ
ィスクが載置位置の外縁には光反射板が設けられること
が好ましい。
【0028】前記の各手段と、本発明における平面保持
装置を組み合わせ、カチオン重合型紫外線硬化性組成物
により貼り合わせられた2枚のディスク基板を、前記カ
チオン型紫外線硬化性組成物の硬化が完了するまでの所
定時間平面保持することにより、平坦性の優れた貼り合
わせディスクが容易に得られるようになるとともに、複
数の前記平面保持ユニットの内、いずれかの前記電動式
ファンに前記故障が発生したとしても、早期に前記故障
を検出できるようになる。それにより製品品質不良を最
小限に抑えるディスク製造装置が実現されることにな
る。
装置を組み合わせ、カチオン重合型紫外線硬化性組成物
により貼り合わせられた2枚のディスク基板を、前記カ
チオン型紫外線硬化性組成物の硬化が完了するまでの所
定時間平面保持することにより、平坦性の優れた貼り合
わせディスクが容易に得られるようになるとともに、複
数の前記平面保持ユニットの内、いずれかの前記電動式
ファンに前記故障が発生したとしても、早期に前記故障
を検出できるようになる。それにより製品品質不良を最
小限に抑えるディスク製造装置が実現されることにな
る。
【0029】
【発明の実施形態】次に本発明に係る実施形態をDVD
の製造を例にして説明する。図1にはDVD製造装置の
概略構成を示す。図において符号R1は一方のディスク
基板取り出し部(貼り合わせディスクの下側にくるディ
スク基板1a)、R2は他方のディスク基板取り出し部
(貼り合わせ後上側にくるディスク基板1b)、R3は
ディスク作成部、R4はディスク検査部、R5はディス
ク払い出し部であり、いずれも図示しないケースの内部
に収納されている。
の製造を例にして説明する。図1にはDVD製造装置の
概略構成を示す。図において符号R1は一方のディスク
基板取り出し部(貼り合わせディスクの下側にくるディ
スク基板1a)、R2は他方のディスク基板取り出し部
(貼り合わせ後上側にくるディスク基板1b)、R3は
ディスク作成部、R4はディスク検査部、R5はディス
ク払い出し部であり、いずれも図示しないケースの内部
に収納されている。
【0030】ディスク基板取り出し部R1は、貼り合わ
されて1枚のディスク(DVD)をなす2枚のディスク
基板(第1のディスク基板)1aを複数のディスク保持
器2に積層した状態でストックしておくストック装置3
と、基板取り出し位置A1に移動したディスク保持器2
の最上層から1枚ずつディスク基板1aを取り出し、デ
ィスク作成部R3に供給する取り出し装置4とで構成さ
れる。
されて1枚のディスク(DVD)をなす2枚のディスク
基板(第1のディスク基板)1aを複数のディスク保持
器2に積層した状態でストックしておくストック装置3
と、基板取り出し位置A1に移動したディスク保持器2
の最上層から1枚ずつディスク基板1aを取り出し、デ
ィスク作成部R3に供給する取り出し装置4とで構成さ
れる。
【0031】ディスク基板取り出し部R2は前記R1と
同様に、貼り合わされて1枚のディスク(DVD)をな
す2枚のディスク基板(第2のディスク基板)1bをデ
ィスク保持器2に積層した状態でストックしておくスト
ック装置3と、基板取り出し位置A1に移動したディス
ク保持器2の最上層から1枚ずつディスク基板1aを取
り出し、ディスク作成部R3に供給する取り出し装置4
とで構成される。またディスク基板取り出し部R1、R
2はともにストックエリアAと、各ディスク保持器2に
保持されたディスク基板1aを1枚ずつ取り出す取り出
しエリアA1とで構成されている。
同様に、貼り合わされて1枚のディスク(DVD)をな
す2枚のディスク基板(第2のディスク基板)1bをデ
ィスク保持器2に積層した状態でストックしておくスト
ック装置3と、基板取り出し位置A1に移動したディス
ク保持器2の最上層から1枚ずつディスク基板1aを取
り出し、ディスク作成部R3に供給する取り出し装置4
とで構成される。またディスク基板取り出し部R1、R
2はともにストックエリアAと、各ディスク保持器2に
保持されたディスク基板1aを1枚ずつ取り出す取り出
しエリアA1とで構成されている。
【0032】ディスク作成部R3は、ディスク基板1a
の貼り合わせ面に向けて紫外線硬化性組成物を塗布する
塗布装置(塗布手段)5と、紫外線硬化性組成物を塗布
されたディスク基板1aに紫外線を照射する紫外線照射
装置(紫外線照射手段)6と、ディスク基板1aとディ
スク基板1bとを塗布された紫外線硬化性組成物Sを挟
んで貼り合わせて1枚のディスク1とする貼り合わせ装
置(貼り合わせ手段)7と、貼り合わせを終えたディス
ク1を展延する展延装置(展延手段)8(8A,8B)
と、展延を終えたディスク1に紫外線と赤外線とを含む
光を閃光的に照射して端面硬化処理を行う端面処理装置
(閃光照射手段)9と、端面処理を終えたディスク1を
所定時間だけ平面状に保持する平面保持装置(平面保持
手段)10とによって構成されている。
の貼り合わせ面に向けて紫外線硬化性組成物を塗布する
塗布装置(塗布手段)5と、紫外線硬化性組成物を塗布
されたディスク基板1aに紫外線を照射する紫外線照射
装置(紫外線照射手段)6と、ディスク基板1aとディ
スク基板1bとを塗布された紫外線硬化性組成物Sを挟
んで貼り合わせて1枚のディスク1とする貼り合わせ装
置(貼り合わせ手段)7と、貼り合わせを終えたディス
ク1を展延する展延装置(展延手段)8(8A,8B)
と、展延を終えたディスク1に紫外線と赤外線とを含む
光を閃光的に照射して端面硬化処理を行う端面処理装置
(閃光照射手段)9と、端面処理を終えたディスク1を
所定時間だけ平面状に保持する平面保持装置(平面保持
手段)10とによって構成されている。
【0033】ディスク基板1aの前記塗布装置5、紫外
線照射装置6、および貼り合わせ装置7への搬送は、塗
布・貼り合わせステージBの回転によって行われるよう
になっており塗布装置5、紫外線照射装置6、および貼
り合わせ装置7に対応し符号B2、B3、およびB4の
位置がそれぞれ対応するようになっている。
線照射装置6、および貼り合わせ装置7への搬送は、塗
布・貼り合わせステージBの回転によって行われるよう
になっており塗布装置5、紫外線照射装置6、および貼
り合わせ装置7に対応し符号B2、B3、およびB4の
位置がそれぞれ対応するようになっている。
【0034】塗布装置(塗布手段)5は、カチオン重合型
紫外線硬化性組成物を吐出するための何れも図示しない
ノズルと液輸送管および供給タンクなどで構成される。
紫外線硬化性組成物を吐出する前記ノズルは、図示しな
い揺動可能なアームの先端部に設けられており、アーム
の作動角を制御することで、ディスク基板1aに対する
塗布位置を内周付近から外周付近まであらゆる領域に変
更できるようになっている。
紫外線硬化性組成物を吐出するための何れも図示しない
ノズルと液輸送管および供給タンクなどで構成される。
紫外線硬化性組成物を吐出する前記ノズルは、図示しな
い揺動可能なアームの先端部に設けられており、アーム
の作動角を制御することで、ディスク基板1aに対する
塗布位置を内周付近から外周付近まであらゆる領域に変
更できるようになっている。
【0035】紫外線照射装置(紫外線照射手段)6は、
紫外線硬化性組成物が塗布されたディスク基板1aの上
方から紫外線照射できるように、光源ランプが配置され
ている。
紫外線硬化性組成物が塗布されたディスク基板1aの上
方から紫外線照射できるように、光源ランプが配置され
ている。
【0036】貼り合わせ装置(貼り合わせ手段)7は、
塗布・貼り合わせステージBの貼り合わせ位置B4に移
動された紫外線硬化性組成物Sを塗布されたディスク基
板1bを保持する保持手段(図示なし)と、把持しつつ
貼り合わせを実行する反転アーム22と、反転アームを
駆動させる駆動手段とで構成される。
塗布・貼り合わせステージBの貼り合わせ位置B4に移
動された紫外線硬化性組成物Sを塗布されたディスク基
板1bを保持する保持手段(図示なし)と、把持しつつ
貼り合わせを実行する反転アーム22と、反転アームを
駆動させる駆動手段とで構成される。
【0037】展延装置(展延手段)8は、展延工程での
スループット向上のために共に同じ構造を有する2つの
展延手段8Aと8Bで構成される。展延手段8A、8B
は何れも重ね合わされて1枚となったディスクの中心孔
部を把持し、円周方向に高速回転させる図示しない回転
駆動手段を有している。
スループット向上のために共に同じ構造を有する2つの
展延手段8Aと8Bで構成される。展延手段8A、8B
は何れも重ね合わされて1枚となったディスクの中心孔
部を把持し、円周方向に高速回転させる図示しない回転
駆動手段を有している。
【0038】端面処理装置(閃光照射手段)9は、ディ
スク1の表裏両面側から紫外線と赤外線を含んだ光線が
閃光的に照射されるようになっている。光線の閃光照射
は上下同時でも、一方のみからでも行える。
スク1の表裏両面側から紫外線と赤外線を含んだ光線が
閃光的に照射されるようになっている。光線の閃光照射
は上下同時でも、一方のみからでも行える。
【0039】平面保持装置10は、図2に示すように3
重の巡回移動路41,42,43と、上段の巡回移動路
41と中段の巡回移動路42との間を昇降する第1昇降
装置44と、中段の巡回移動路42と下段の巡回移動路
43との間を昇降する第2昇降装置45と、上段の巡回
移動路41と下段の巡回移動路43との間を昇降する第
3昇降装置46とを備えている。巡回移動路41,4
2,43には、複数台の平面保持ユニット48が走行可
能に設置されている。また上段の巡回移動路41上には
貫通孔が設けられており、巡回移動路41の路面裏側の
固定位置に、平面保持ユニット48の電動式ファン51
の回転を検出する検出装置47が備えてられている。
重の巡回移動路41,42,43と、上段の巡回移動路
41と中段の巡回移動路42との間を昇降する第1昇降
装置44と、中段の巡回移動路42と下段の巡回移動路
43との間を昇降する第2昇降装置45と、上段の巡回
移動路41と下段の巡回移動路43との間を昇降する第
3昇降装置46とを備えている。巡回移動路41,4
2,43には、複数台の平面保持ユニット48が走行可
能に設置されている。また上段の巡回移動路41上には
貫通孔が設けられており、巡回移動路41の路面裏側の
固定位置に、平面保持ユニット48の電動式ファン51
の回転を検出する検出装置47が備えてられている。
【0040】検出装置47の固定される位置は、平面保
持ユニット48が停止した時に、巡回移動路41に設け
られた前記貫通孔を通して平面保持ユニット48の電動
式ファン51の羽根部に、光照射部47aからの照射光
が照射されるように選定される。図3の(a)は平面保
持ユニット48を上方から見た平面図であり、(b)は
側面図である。平面保持ユニット48は、底面および上
面に開口を有する電動式ファン筐体49の底面に車輪5
0が固定されており、電動式ファン筐体49の内部には
電動式ファン51が収容されている。電動式ファン筐体
49の上面には、第1の貫通孔52および第2の貫通孔
53を有する平板状の保持部材54が取り付けられてい
る。また、保持部材54の中央には、ディスク1の中央
孔H1と嵌合する突起55が設けられている。
持ユニット48が停止した時に、巡回移動路41に設け
られた前記貫通孔を通して平面保持ユニット48の電動
式ファン51の羽根部に、光照射部47aからの照射光
が照射されるように選定される。図3の(a)は平面保
持ユニット48を上方から見た平面図であり、(b)は
側面図である。平面保持ユニット48は、底面および上
面に開口を有する電動式ファン筐体49の底面に車輪5
0が固定されており、電動式ファン筐体49の内部には
電動式ファン51が収容されている。電動式ファン筐体
49の上面には、第1の貫通孔52および第2の貫通孔
53を有する平板状の保持部材54が取り付けられてい
る。また、保持部材54の中央には、ディスク1の中央
孔H1と嵌合する突起55が設けられている。
【0041】平面保持ユニット48は、電動式ファン筐
体49内部に設けられた電動式ファン51が回転するこ
とにより、保持部材54の表面側から裏面側へ流れる気
流を発生させ、ディスク1を平坦な保持部材54上に平
面状に保持するものである。また電動式ファン51の羽
根部の羽根1枚1枚は、前記羽根部を回転軸方向から見
た場合に、1枚1枚の羽根の間に隙間がある構造になっ
ている。これら平面保持ユニット48は、貼り合わされ
たディスク1を載せて各巡回移動路を上段、中段、下段
の順に巡回し、最終的には再び上段の巡回移動路41に
戻るようになっている。
体49内部に設けられた電動式ファン51が回転するこ
とにより、保持部材54の表面側から裏面側へ流れる気
流を発生させ、ディスク1を平坦な保持部材54上に平
面状に保持するものである。また電動式ファン51の羽
根部の羽根1枚1枚は、前記羽根部を回転軸方向から見
た場合に、1枚1枚の羽根の間に隙間がある構造になっ
ている。これら平面保持ユニット48は、貼り合わされ
たディスク1を載せて各巡回移動路を上段、中段、下段
の順に巡回し、最終的には再び上段の巡回移動路41に
戻るようになっている。
【0042】ディスク検査部R4は、ディスク1を検査
し良/不良を判定するディスク検査装置11によって構
成されている。ディスク払い出し部R5は、良品と判定
されたディスク1を払い出す良品払い出し部12と、不
良品と判定されたディスク1を払い出す不良品払い出し
部13とによって構成されている。
し良/不良を判定するディスク検査装置11によって構
成されている。ディスク払い出し部R5は、良品と判定
されたディスク1を払い出す良品払い出し部12と、不
良品と判定されたディスク1を払い出す不良品払い出し
部13とによって構成されている。
【0043】次に、概ね上記のように構成されたDVD
製造装置により、カチオン重合型紫外線硬化性組成物を
接着剤として用い両面記録DVD−RAMを製造する工
程について説明する。
製造装置により、カチオン重合型紫外線硬化性組成物を
接着剤として用い両面記録DVD−RAMを製造する工
程について説明する。
【0044】まず、ディスク基板取り出し部R1におい
て、ストック装置3を構成するストックステージAが図
中矢印方向に回転し、ステージ上に設置された複数のデ
ィスク保持器2のひとつが基板取り出し位置A1に移動
して取り出し装置4による基板取り出しに備える。各デ
ィスク保持器2には、ディスク基板1aとスペーサ(図
示略)とが交互に積層されている。取り出し装置4に
は、同期して駆動する2本のアーム4a,4bが設けら
れており、基板取り出し位置A1のディスク保持器2に
保持されたディスク基板1aのうち最も上にある1枚が
アーム4aによって塗布・貼り合わせステージB上の基
板受取位置B1に搬送される。また、アーム4aの回帰
動作の際、基板取り出し位置A1のディスク保持器2に
保持されたスペーサは、アーム4bによってスペーサ回
収器14に搬送されて回収される。
て、ストック装置3を構成するストックステージAが図
中矢印方向に回転し、ステージ上に設置された複数のデ
ィスク保持器2のひとつが基板取り出し位置A1に移動
して取り出し装置4による基板取り出しに備える。各デ
ィスク保持器2には、ディスク基板1aとスペーサ(図
示略)とが交互に積層されている。取り出し装置4に
は、同期して駆動する2本のアーム4a,4bが設けら
れており、基板取り出し位置A1のディスク保持器2に
保持されたディスク基板1aのうち最も上にある1枚が
アーム4aによって塗布・貼り合わせステージB上の基
板受取位置B1に搬送される。また、アーム4aの回帰
動作の際、基板取り出し位置A1のディスク保持器2に
保持されたスペーサは、アーム4bによってスペーサ回
収器14に搬送されて回収される。
【0045】ディスク基板取り出し部R2においても同
様に、ストック装置3を構成するストックステージAが
図中矢印方向に回転し、ステージ上に設置された複数の
ディスク保持器2のひとつが基板取り出し位置A1に移
動する。続いて、基板取り出し位置A1のディスク保持
器2に保持されたディスク基板1bのうち最も上にある
1枚がアーム4aによって貼り合わせ装置7に搬送さ
れ、反転アーム22に受け渡される。また、アーム4a
の回帰動作の際、基板取り出し位置A1のディスク保持
器2に保持されたスペーサは、アーム4bによってスペ
ーサ回収器14に搬送されて回収される。
様に、ストック装置3を構成するストックステージAが
図中矢印方向に回転し、ステージ上に設置された複数の
ディスク保持器2のひとつが基板取り出し位置A1に移
動する。続いて、基板取り出し位置A1のディスク保持
器2に保持されたディスク基板1bのうち最も上にある
1枚がアーム4aによって貼り合わせ装置7に搬送さ
れ、反転アーム22に受け渡される。また、アーム4a
の回帰動作の際、基板取り出し位置A1のディスク保持
器2に保持されたスペーサは、アーム4bによってスペ
ーサ回収器14に搬送されて回収される。
【0046】塗布位置B2に移動したディスク基板1a
の貼り合わせ面には、カチオン重合型紫外線硬化性組成
物Sが、塗布装置5によってディスク基板1aのクラン
プエリアに同心円をなすリングを描くように線状に塗布
される。この際、塗布装置5では、カチオン重合型紫外
線硬化性組成物を塗布する図示しないノズルが作動して
ディスク基板1a上方の所定位置に移動されており、前
記ノズルが所定位置につくと、塗布装置5がカチオン型
紫外線硬化性組成物Sの吐出を開始すると同時に、塗布
位置B2においてディスク基板1aが周方向に回転する
ことによって塗布がなされるのである
の貼り合わせ面には、カチオン重合型紫外線硬化性組成
物Sが、塗布装置5によってディスク基板1aのクラン
プエリアに同心円をなすリングを描くように線状に塗布
される。この際、塗布装置5では、カチオン重合型紫外
線硬化性組成物を塗布する図示しないノズルが作動して
ディスク基板1a上方の所定位置に移動されており、前
記ノズルが所定位置につくと、塗布装置5がカチオン型
紫外線硬化性組成物Sの吐出を開始すると同時に、塗布
位置B2においてディスク基板1aが周方向に回転する
ことによって塗布がなされるのである
【0047】ここでの塗布は、周方向に対してはできる
だけ均一かつ定量的に、必要量のみ実施されることが望
ましい。それは以下の2つの理由による。ひとつは、必
要量以上に塗布された紫外線硬化性組成物Sは、既に述
べてきたように次工程以降、前記組成物に対する紫外線
照射、ディスク基板1bとの重ね合わせおよび回転展延
と続き、その回転展延の際に貼り合わせたディスク1の
端部から飛散し、その後はやがて硬化する。硬化した紫
外線硬化性組成物は、接着剤として再利用することがで
きないので廃棄処分されることになる。そのため、廃棄
量は極力少ない方が望ましく、したがってここでの塗布
量は予め必要量のみ行うことが望ましい。ふたつめの理
由は、紫外線硬化性組成物Sの塗布がディスク基板1a
のクランプエリア内に行われることに関連し、本発明者
らの検証によれば、使用する紫外線硬化性組成物の粘度
によって差異はあるものの、塗布量が約800mgを越
えると塗布後のリング状塗布物の線幅が広くなり、次工
程以降、ディスク基板1bとの重ね合わせが行われてか
ら回転展延工程に移されるまでの間に、貼り合わせたデ
ィスク1の内周部の孔から紫外線硬化性組成物がはみ出
してしまい、この時点ですでに仕上がり不良の原因をつ
くってしまうためである。
だけ均一かつ定量的に、必要量のみ実施されることが望
ましい。それは以下の2つの理由による。ひとつは、必
要量以上に塗布された紫外線硬化性組成物Sは、既に述
べてきたように次工程以降、前記組成物に対する紫外線
照射、ディスク基板1bとの重ね合わせおよび回転展延
と続き、その回転展延の際に貼り合わせたディスク1の
端部から飛散し、その後はやがて硬化する。硬化した紫
外線硬化性組成物は、接着剤として再利用することがで
きないので廃棄処分されることになる。そのため、廃棄
量は極力少ない方が望ましく、したがってここでの塗布
量は予め必要量のみ行うことが望ましい。ふたつめの理
由は、紫外線硬化性組成物Sの塗布がディスク基板1a
のクランプエリア内に行われることに関連し、本発明者
らの検証によれば、使用する紫外線硬化性組成物の粘度
によって差異はあるものの、塗布量が約800mgを越
えると塗布後のリング状塗布物の線幅が広くなり、次工
程以降、ディスク基板1bとの重ね合わせが行われてか
ら回転展延工程に移されるまでの間に、貼り合わせたデ
ィスク1の内周部の孔から紫外線硬化性組成物がはみ出
してしまい、この時点ですでに仕上がり不良の原因をつ
くってしまうためである。
【0048】なお、紫外線硬化性組成物Sには、波長領
域310〜340nmにおける光吸収係数が2×103
m−1以下の特性を有するカチオン重合型紫外線硬化性
組成物が使用される。このような紫外線硬化性組成物
は、光重合開始剤として、350nm以下の光吸収係数
が比較的小さい材料を選択的に使用することによって得
られるものである。
域310〜340nmにおける光吸収係数が2×103
m−1以下の特性を有するカチオン重合型紫外線硬化性
組成物が使用される。このような紫外線硬化性組成物
は、光重合開始剤として、350nm以下の光吸収係数
が比較的小さい材料を選択的に使用することによって得
られるものである。
【0049】カチオン型紫外線硬化性組成物Sを塗布さ
れたディスク基板1aは、塗布・貼り合わせステージB
の回転によって紫外線照射位置B3に移される。紫外線
照射位置B3に移されたディスク基板1aはここで一時
停止し、紫外線照射装置6からはカチオン型紫外線硬化
性組成物に対する紫外線照射がなされる。これによって
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sの硬化反応種が植
えつけられる。紫外線照射を受けたディスク基板1a
は、塗布・貼り合わせステージBの図中矢印方向への回
転に伴って貼り合わせ位置B4に移動される。
れたディスク基板1aは、塗布・貼り合わせステージB
の回転によって紫外線照射位置B3に移される。紫外線
照射位置B3に移されたディスク基板1aはここで一時
停止し、紫外線照射装置6からはカチオン型紫外線硬化
性組成物に対する紫外線照射がなされる。これによって
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sの硬化反応種が植
えつけられる。紫外線照射を受けたディスク基板1a
は、塗布・貼り合わせステージBの図中矢印方向への回
転に伴って貼り合わせ位置B4に移動される。
【0050】貼り合わせ位置B4で待機するカチオン重
合型紫外線硬化性組成物Sが塗布されたディスク基板1
aに対し、他方のディスク基板1bを把持した反転アー
ム22が動作することによって、双方のディスク基板は
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sを互いに挟むよう
に貼り合わされ、1枚の貼り合わせディスク1となる。
貼り合わせを終了した反転アーム22は、ディスク基板
1bの把持を開放し、再度反転してもとの位置に回帰す
る。
合型紫外線硬化性組成物Sが塗布されたディスク基板1
aに対し、他方のディスク基板1bを把持した反転アー
ム22が動作することによって、双方のディスク基板は
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sを互いに挟むよう
に貼り合わされ、1枚の貼り合わせディスク1となる。
貼り合わせを終了した反転アーム22は、ディスク基板
1bの把持を開放し、再度反転してもとの位置に回帰す
る。
【0051】貼り合わせを終えたディスク1は、搬送ア
ーム15によって展延装置8Aに搬送される。展延装置
8Aでは、ディスク1は中央の孔を利用して把持され、
自らの周方向に高速で回転され、遠心力を利用して紫外
線硬化性組成物の展延が行われる。これにより、ディス
ク基板1a,1b間のカチオン重合型紫外線硬化性組成
物は均一な厚さの層に展延される。さらにこのとき、デ
ィスク基板1a,1bの中央孔を一致させることで軸心
合わせが行われる。なお、展延装置8は2系統が設けら
れているが、これはディスク基板1a,1bの貼り合わ
せに比べて展延処理が時間を要するために連続的なディ
スク製造の生産性が損なわれることを解消するためであ
り、2つの展延装置8A,8Bにディスク1を交互に受
け渡して同時進行的に展延を実行することで実質的に展
延に要する時間の半減を可能にしている。
ーム15によって展延装置8Aに搬送される。展延装置
8Aでは、ディスク1は中央の孔を利用して把持され、
自らの周方向に高速で回転され、遠心力を利用して紫外
線硬化性組成物の展延が行われる。これにより、ディス
ク基板1a,1b間のカチオン重合型紫外線硬化性組成
物は均一な厚さの層に展延される。さらにこのとき、デ
ィスク基板1a,1bの中央孔を一致させることで軸心
合わせが行われる。なお、展延装置8は2系統が設けら
れているが、これはディスク基板1a,1bの貼り合わ
せに比べて展延処理が時間を要するために連続的なディ
スク製造の生産性が損なわれることを解消するためであ
り、2つの展延装置8A,8Bにディスク1を交互に受
け渡して同時進行的に展延を実行することで実質的に展
延に要する時間の半減を可能にしている。
【0052】塗布・貼り合わせステージBの回転に伴っ
てB3からB4に移動する過程で、何らかの工程トラブ
ルが発生し貼り合わせ装置全体が一次停止したことで所
定時間以上の停滞が生じてしまったディスク基板1a、
または貼り合わせ過程においても同様の停滞が生じたデ
ィスク1は、展延装置8には搬送されず、塗布・貼り合
わせステージBの回転に伴って不良品払い出し位置B5
に移動する。不良品払い出し位置B5は、仕掛かり状態
での不良を早期に工程から除外するために設けられてお
り、ここに移動してきたディスク基板1aまたはディス
ク1は、搬送アーム16によって不良品用シュータ17
に搬送されて排除される。前記停滞が仕掛かり不良とな
るのは次の理由による。紫外線照射によりカチオン重合
型紫外線硬化性組成物Sに硬化反応種が植え付けられる
と、その直後から硬化反応が起こり粘度上昇が始まるの
で、紫外線照射から展延が行われるまでの時間は、個々
の貼り合わせディスク1に対しては、常に一定に維持さ
れることが歩留まり向上の観点からは望ましい。一方、
何らかの工程トラブルで所定時間以上経過してしまった
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sでは高速回転によ
る展延がもはや困難となり、次工程に回すまでもなく明
らかな不良として判断できるのである。
てB3からB4に移動する過程で、何らかの工程トラブ
ルが発生し貼り合わせ装置全体が一次停止したことで所
定時間以上の停滞が生じてしまったディスク基板1a、
または貼り合わせ過程においても同様の停滞が生じたデ
ィスク1は、展延装置8には搬送されず、塗布・貼り合
わせステージBの回転に伴って不良品払い出し位置B5
に移動する。不良品払い出し位置B5は、仕掛かり状態
での不良を早期に工程から除外するために設けられてお
り、ここに移動してきたディスク基板1aまたはディス
ク1は、搬送アーム16によって不良品用シュータ17
に搬送されて排除される。前記停滞が仕掛かり不良とな
るのは次の理由による。紫外線照射によりカチオン重合
型紫外線硬化性組成物Sに硬化反応種が植え付けられる
と、その直後から硬化反応が起こり粘度上昇が始まるの
で、紫外線照射から展延が行われるまでの時間は、個々
の貼り合わせディスク1に対しては、常に一定に維持さ
れることが歩留まり向上の観点からは望ましい。一方、
何らかの工程トラブルで所定時間以上経過してしまった
カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sでは高速回転によ
る展延がもはや困難となり、次工程に回すまでもなく明
らかな不良として判断できるのである。
【0053】カチオン重合型紫外線硬化性組成物Sの展
延を終えたディスク1は、搬送アーム18によって端面
処理ステージC上のディスク受取り位置C1に搬送され
る。ディスク受取位置C1に搬送されたディスク1は、
端面処理ステージCの図中矢印方向への回転に伴って端
面処理位置C2に移される。端面処理位置C2では、デ
ィスク1の表裏両面に、端面処理装置9によって紫外線
と赤外線を含んだ光線が、ディスク1の外縁部に対する
照射のみ制限されつつ閃光照射される。これにより、端
面近傍のカチオン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が促
進されて端面からの組成物のはみ出しが防止されるとと
もに、熱線で加温されることにより、カチオン重合型紫
外線硬化性組成物全体の硬化時間が短縮される。
延を終えたディスク1は、搬送アーム18によって端面
処理ステージC上のディスク受取り位置C1に搬送され
る。ディスク受取位置C1に搬送されたディスク1は、
端面処理ステージCの図中矢印方向への回転に伴って端
面処理位置C2に移される。端面処理位置C2では、デ
ィスク1の表裏両面に、端面処理装置9によって紫外線
と赤外線を含んだ光線が、ディスク1の外縁部に対する
照射のみ制限されつつ閃光照射される。これにより、端
面近傍のカチオン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が促
進されて端面からの組成物のはみ出しが防止されるとと
もに、熱線で加温されることにより、カチオン重合型紫
外線硬化性組成物全体の硬化時間が短縮される。
【0054】端面処理を終えたディスク1は、端面処理
ステージCの図中矢印方向への回転によって移載位置C
3に移動し、載置装置19によって平面保持装置10に
搬送される。ディスク1は、図2に示すように、まず上
段の巡回移動路41の投入位置D1に位置する平面保持
ユニット48に載置される。ディスク1を載置した平面
保持ユニット48は巡回移動路41上を、平面保持ユニ
ット1つ分移動し、停止する。前記停止位置において、
平面保持ユニット48の電動式ファン51が図示しない
接触電極を通じて電力供給され回転し、ディスク1は平
面保持ユニット48の保持部材54上に平面保持され
る。所定時間経過後前記電力供給は停止され、平面保持
ユニット48は再び移動を開始する。以降平面保持ユニ
ット48は、他の複数の平面保持ユニットとともに上記
移動と停止を繰り返しながら、平面保持ユニット1つ分
づつ移動する。電力供給がなされない間も、平面保持ユ
ニット48の電動式ファン51は慣性力によって回転を
続け、ディスク1は保持部材54上に適切に平面保持さ
れる。
ステージCの図中矢印方向への回転によって移載位置C
3に移動し、載置装置19によって平面保持装置10に
搬送される。ディスク1は、図2に示すように、まず上
段の巡回移動路41の投入位置D1に位置する平面保持
ユニット48に載置される。ディスク1を載置した平面
保持ユニット48は巡回移動路41上を、平面保持ユニ
ット1つ分移動し、停止する。前記停止位置において、
平面保持ユニット48の電動式ファン51が図示しない
接触電極を通じて電力供給され回転し、ディスク1は平
面保持ユニット48の保持部材54上に平面保持され
る。所定時間経過後前記電力供給は停止され、平面保持
ユニット48は再び移動を開始する。以降平面保持ユニ
ット48は、他の複数の平面保持ユニットとともに上記
移動と停止を繰り返しながら、平面保持ユニット1つ分
づつ移動する。電力供給がなされない間も、平面保持ユ
ニット48の電動式ファン51は慣性力によって回転を
続け、ディスク1は保持部材54上に適切に平面保持さ
れる。
【0055】平面保持ユニット48が巡回移動路41上
を移動中、検出装置47上で停止すると、検出装置47
はディスク1を平面保持している平面保持ユニット48
の電動式ファン51の羽根部の回転を検出する。
を移動中、検出装置47上で停止すると、検出装置47
はディスク1を平面保持している平面保持ユニット48
の電動式ファン51の羽根部の回転を検出する。
【0056】検出装置47は、光照射部47aとパルス
反射光検出部47bによって構成されている。検出装置
47は、光照射部47aから巡回移動路41の貫通孔を
通過して電動式ファン51の羽根部に向けられて照射さ
れた照射光が、羽根によって遮られる状態と、羽根と羽
根の隙間を通過して前記光反射手段によって反射光とな
って反射し、パルス反射光検出手段47bに検出される
状態の、前記2つの状態を繰り返すことによって前記照
射光がパルス反射光となって、電動式ファン51が正常
に回転していることが確認される。
反射光検出部47bによって構成されている。検出装置
47は、光照射部47aから巡回移動路41の貫通孔を
通過して電動式ファン51の羽根部に向けられて照射さ
れた照射光が、羽根によって遮られる状態と、羽根と羽
根の隙間を通過して前記光反射手段によって反射光とな
って反射し、パルス反射光検出手段47bに検出される
状態の、前記2つの状態を繰り返すことによって前記照
射光がパルス反射光となって、電動式ファン51が正常
に回転していることが確認される。
【0057】ディスク1を載置された平面保持ユニット
48は、巡回移動路41を半周して第1昇降装置44に
載る。第1昇降装置44は、平面保持ユニット48を載
せて中段の巡回移動路42まで降下する。中段の巡回移
動路42に降下した平面保持ユニット48は、今度は巡
回移動路42を逆方向に1周して第2昇降装置45に載
る。第2昇降装置45は、平面保持ユニット48を載せ
て下段の巡回移動路43まで降下する。下段の巡回移動
路43に降下した平面保持ユニット48は、今度は巡回
移動路43を再び逆方向に1周して第3昇降装置46に
載る。第3昇降装置46は、平面保持ユニット48を載
せて上段の巡回移動路41まで上昇する。上段の巡回移
動路41に戻った平面保持ユニット48は、巡回移動路
41を残り半周して排出位置D2に至る。
48は、巡回移動路41を半周して第1昇降装置44に
載る。第1昇降装置44は、平面保持ユニット48を載
せて中段の巡回移動路42まで降下する。中段の巡回移
動路42に降下した平面保持ユニット48は、今度は巡
回移動路42を逆方向に1周して第2昇降装置45に載
る。第2昇降装置45は、平面保持ユニット48を載せ
て下段の巡回移動路43まで降下する。下段の巡回移動
路43に降下した平面保持ユニット48は、今度は巡回
移動路43を再び逆方向に1周して第3昇降装置46に
載る。第3昇降装置46は、平面保持ユニット48を載
せて上段の巡回移動路41まで上昇する。上段の巡回移
動路41に戻った平面保持ユニット48は、巡回移動路
41を残り半周して排出位置D2に至る。
【0058】平面保持ユニット48が投入位置D1から
排出位置D2に至るまで、平面保持ユニット48上のデ
ィスク1は平面状に保持されることになり、この間にカ
チオン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が進行し、貼り
合わせたディスク1の形状が固まる。平面保持装置10
において硬化を終えたディスク1は、排出位置D2に到
着した平面保持ユニット48から取り外され、ディスク
検査装置11に搬送される。保持部材54からディスク
1が取り外された平面保持ユニット48は、再びその保
持部材54の表面上に、閃光照射装置9での過程を終え
たディスク1が載置されて繰り返し使用され、上記と同
様にしてディスク1を平面状に保持する工程が繰り返さ
れる。
排出位置D2に至るまで、平面保持ユニット48上のデ
ィスク1は平面状に保持されることになり、この間にカ
チオン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が進行し、貼り
合わせたディスク1の形状が固まる。平面保持装置10
において硬化を終えたディスク1は、排出位置D2に到
着した平面保持ユニット48から取り外され、ディスク
検査装置11に搬送される。保持部材54からディスク
1が取り外された平面保持ユニット48は、再びその保
持部材54の表面上に、閃光照射装置9での過程を終え
たディスク1が載置されて繰り返し使用され、上記と同
様にしてディスク1を平面状に保持する工程が繰り返さ
れる。
【0059】ディスク検査装置11においては、不良品
と判定されたディスク1は正規のラインから外され、良
品と判定されたディスク1のみが良品払い出部12に設
けられたディスクストックテーブルE上のディスク保持
器2上に積層され、ディスク保持器2ごと後工程に搬送
される。
と判定されたディスク1は正規のラインから外され、良
品と判定されたディスク1のみが良品払い出部12に設
けられたディスクストックテーブルE上のディスク保持
器2上に積層され、ディスク保持器2ごと後工程に搬送
される。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように、本発明における平
面保持装置を用いて、カチオン重合型紫外線硬化性組成
物により貼り合わせられた2枚のディスク基板を、カチ
オン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が完了するまでの
所定時間平面保持することにより、平坦性の優れた貼り
合わせディスクが容易に得られるようになるとともに、
平面保持装置内の複数の平面保持ユニットの内、いずれ
かの電動式ファンに故障が発生したとしても、早期に故
障を発見できるようになる。それにより製品品質不良を
最小限に抑えるディスク製造装置が実現されることにな
る。
面保持装置を用いて、カチオン重合型紫外線硬化性組成
物により貼り合わせられた2枚のディスク基板を、カチ
オン重合型紫外線硬化性組成物の硬化が完了するまでの
所定時間平面保持することにより、平坦性の優れた貼り
合わせディスクが容易に得られるようになるとともに、
平面保持装置内の複数の平面保持ユニットの内、いずれ
かの電動式ファンに故障が発生したとしても、早期に故
障を発見できるようになる。それにより製品品質不良を
最小限に抑えるディスク製造装置が実現されることにな
る。
【図1】本発明に係る実施の形態を示す図であって、光
ディスク製造装置の概略構成を示す平面図である。
ディスク製造装置の概略構成を示す平面図である。
【図2】平面保持装置の側面図である。
【図3】平面保持ユニットを示したもので、(a)は平
面図、(b)は側面図である。
面図、(b)は側面図である。
1 ディスク(貼り合わせて1枚となったデ
ィスク) R1 ディスク基板取り出し部(下側) 2 ディスク保持器 3 ストック装置 4 取り出し装置 4aアーム 4bアーム A ストックエリア A1 取り出し位置 R2 ディスク基板取り出し部(上
側) R3 ディスク作成部 5 塗布装置(手段) 6 紫外線照射装置(手段) 7 貼り合わせ装置(手段) 8 展延装置(手段)(8A、8B) 9 閃光照射装置(手段) 10 平面保持装置(手段) D1載置位置 D2排出位置 19載置手段 23排出手段 41,42,43 三重巡回移動路 44第1昇降装置 45第2昇降装置 46第3昇降装置 47検出装置(手段) 47a 光照射装置(手段) 47b 反射パルス光検出装置(手段) 48平面保持ユニット 49電動式ファン筐体 50車輪 51電動式ファン 52第1の貫通孔 53第2の貫通孔 54保持部材 55突起 H1ディスクの中央孔 14 スペーサ回収器 18 搬送アーム 22 反転アーム B 塗布・貼り合わせステージ B1ディスク基板受け取り位置 B2塗布位置 B3紫外線照射位置 B4貼り合わせ位置 B5不良品払い出し位置 C 端面処理ステージ C1ディスク受け取り位置 C2端面処理位置 C3移載位置 R4 ディスク検査部 11 検査装置 R5 ディスク払い出し部 12 良品払い出し部 13 不良品払い出し部 E ディスクストックテーブル S カチオン重合型紫外線硬化性組成物
ィスク) R1 ディスク基板取り出し部(下側) 2 ディスク保持器 3 ストック装置 4 取り出し装置 4aアーム 4bアーム A ストックエリア A1 取り出し位置 R2 ディスク基板取り出し部(上
側) R3 ディスク作成部 5 塗布装置(手段) 6 紫外線照射装置(手段) 7 貼り合わせ装置(手段) 8 展延装置(手段)(8A、8B) 9 閃光照射装置(手段) 10 平面保持装置(手段) D1載置位置 D2排出位置 19載置手段 23排出手段 41,42,43 三重巡回移動路 44第1昇降装置 45第2昇降装置 46第3昇降装置 47検出装置(手段) 47a 光照射装置(手段) 47b 反射パルス光検出装置(手段) 48平面保持ユニット 49電動式ファン筐体 50車輪 51電動式ファン 52第1の貫通孔 53第2の貫通孔 54保持部材 55突起 H1ディスクの中央孔 14 スペーサ回収器 18 搬送アーム 22 反転アーム B 塗布・貼り合わせステージ B1ディスク基板受け取り位置 B2塗布位置 B3紫外線照射位置 B4貼り合わせ位置 B5不良品払い出し位置 C 端面処理ステージ C1ディスク受け取り位置 C2端面処理位置 C3移載位置 R4 ディスク検査部 11 検査装置 R5 ディスク払い出し部 12 良品払い出し部 13 不良品払い出し部 E ディスクストックテーブル S カチオン重合型紫外線硬化性組成物
Claims (7)
- 【請求項1】 板状物体を平面状に保持する装置であっ
て、該装置が平面状の保持面に、表面側から裏面側に貫
通する貫通孔を有する保持部材と、前記保持部材の裏面
側に設置され前記保持部材の表面側から裏面側に向かう
気流を発生させる電動式ファンとを有する複数の平面保
持ユニットと、前記複数の平面保持ユニットが連なって
巡回移動する巡回移動路と、前記巡回移動路上の第1の
地点で前記平面保持ユニットの保持部材の表面上に前記
板状物体を載せる載置手段と、前記巡回移動路上第2の
地点で前記平面保持ユニットの保持部材上にある前記板
状物体を排出する排出手段とを備えており、さらに前記
巡回移動路上のいずれかの地点に前記平面保持ユニット
の電動式ファンの回転の有無を検出する検出手段が備え
られていることを特徴とした平面保持装置。 - 【請求項2】 前記板状物体がディスク基板であって、
前記保持部材が、保持面の中心に前記ディスク基板の中
心孔より大きい第1の貫通孔を有するとともに、前記保
持面上に前記ディスク基板を前記第1の貫通孔と該基板
の中心が一致するように載せたときに、前記ディスク基
板の外周縁の少なくとも一部が前記保持部材の端縁より
外方に位置するか、または保持面のディスク基板の外周
縁と重なる円上に貫通孔が設けられているかの、少なく
ともいずれかの形状を備えている請求項1記載の平面保
持装置。 - 【請求項3】 前記第1の貫通孔の径は15mmより大
きく、該貫通孔と中心が同じで径が80mmの円上に第
2の貫通孔が設けられており、かつこれら貫通孔と中心
が同じで径が120mmの円より内方に前記保持部材の
端縁が位置しているか、または前記径が120mmの円
上に第3の貫通孔が設けられているかの、少なくともい
ずれかの形状を備えている請求項2記載の平面保持装
置。 - 【請求項4】 前記巡回移動路上に前記電動式ファンに
電力を供給するための接触電極が設けられている請求項
1ないし3のいずれかに記載の平面保持装置。 - 【請求項5】 前記巡回移動路上において、前記平面保
持ユニットの移動は移動、停止を間欠的に繰り返しなが
ら行われるものであり、前記電動式ファンへの電力供給
が前記停止期間中のみ行われるための電力切替手段を備
えている請求項1ないし4のいずれかに記載の平面保持
装置。 - 【請求項6】 前記保持部材裏面が光反射手段を兼ねて
おり、かつ前記検出手段が、前記巡回移動路上の前記平
面保持ユニットが停止するいずれかの位置に固定されて
おり、さらに該検出手段が前記平面保持ユニットの下側
から前記光反射手段に向けて光を照射する光照射手段
と、前記反射光が前記電動式ファンの羽根によって間欠
的に遮られることにより発生するパルス反射光を検出す
るパルス反射光検出手段とを備えている請求項1ないし
5のいずれかに記載の平面保持装置。 - 【請求項7】 2枚のディスク基板を、紫外線硬化性組
成物を接着剤として貼り合わせて1枚のディスクとする
ディスク製造装置であって、一方のディスク基板に対し
て貼り合わせ面の一部に前記紫外線硬化性組成物を塗布
する塗布手段と、塗布された前記紫外線硬化性組成物に
対し紫外線を照射する紫外線照射手段と、紫外線を照射
された前記紫外線硬化性組成物を挟んで前記一方のディ
スク基板と他方のディスク基板とを貼り合わせる貼り合
わせ手段と、双方のディスク基板間に介在する前記紫外
線硬化性組成物を展延する展延手段と、前記展延を終え
た前記2枚の基板間および端面近傍の前記紫外線硬化性
組成物に対して少なくとも紫外線と赤外線とを含む光を
所定回数繰り返し閃光照射して前記紫外線硬化性組成物
を硬化させる閃光照射手段と、前記紫外線硬化組成物を
挟んで貼り合わせられた前記2枚のディスク基板を、前
記請求項1ないし6のいずれかに記載の平面保持装置に
おいて保持する平面保持手段とを備えるディスク製造装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001231612A JP2003045089A (ja) | 2001-07-31 | 2001-07-31 | 平面保持装置ならびにそれを用いたディスク製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001231612A JP2003045089A (ja) | 2001-07-31 | 2001-07-31 | 平面保持装置ならびにそれを用いたディスク製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003045089A true JP2003045089A (ja) | 2003-02-14 |
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2001
- 2001-07-31 JP JP2001231612A patent/JP2003045089A/ja active Pending
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Date | Code | Title | Description |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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