JP2003043373A5 - - Google Patents

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  1. 光軸に重量、形状とも対称型につくられた光学系部と試料位置決め機構を有す周辺部とからなる光学機械において、それぞれのコンポーネントを温度依存性がゼロに近いものを組み合わせて構成したことを特徴とする顕微鏡等のフォーカス安定性機構。
  2. 固定基盤上中央部に光軸に重量、形状とも対称型中空Ｚ軸ステージまたは中空筒を用い対物レンズを固定する光学系部と、固定基盤上に光軸に重量、形状とも対称型試料位置決め中空駆動ステージ部から構成する顕微鏡とし、それぞれのコンポーネントの温度依存性を零に近いものを組み合わせたことを特徴とする顕微鏡等のフォーカス安定性機構。
  3. 光軸に重量、形状とも対称型につくられた光学系部と試料位置決め機構を有す周辺部とからなる光学機械において、それぞれのコンポーネントを温度依存性の総和が等しくなるように構成したことを特徴とする顕微鏡等のフォーカス安定性機構。
  4. 固定基盤上中央部に光軸に重量、形状とも対称型中空Ｚ軸ステージまたは中空筒を用い対物レンズを固定する光学系部と、固定基盤上に光軸に重量、形状とも対称型試料位置決め中空駆動ステージ部から構成する顕微鏡とし、前記光学系部と中空ステージ部の温度依存性料の総和が等しくなるように構成したことを特徴とする顕微鏡等のフォーカス安定性機構。
  5. 光学系部と試料位置決め装置の双方の物理的高さを揃え、かつ温度依存量の総和が等しく構成するために、いずれかのコンポーネントには線膨張係数が３×１０-6以下であるインバーを使用して双方の条件を満たすように構成したことを特徴とする顕微鏡等のフォーカス安定性機構。
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