JP2003036620A - 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ - Google Patents
振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリInfo
- Publication number
- JP2003036620A JP2003036620A JP2001203277A JP2001203277A JP2003036620A JP 2003036620 A JP2003036620 A JP 2003036620A JP 2001203277 A JP2001203277 A JP 2001203277A JP 2001203277 A JP2001203277 A JP 2001203277A JP 2003036620 A JP2003036620 A JP 2003036620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- vibrating member
- head
- head slider
- suspension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/02—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon
- G11B33/08—Insulation or absorption of undesired vibrations or sounds
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の構造をさほど変更することなくかつよ
り効率良く振動を抑制することができ、さらにトーショ
ンモードの共振に対してもその横方向成分の振幅を効率
良く抑制させることができる振動抑制機構及び振動抑制
機構を備えたＨＧＡを提供する。 【解決手段】 加振系の１つの共振周波数に等しいかそ
の近傍である共振周波数を有すると共にこの加振系及び
振動を抑制すべき対象物間に挿入された平板状の振動部
材を備えており、この振動部材の一方の端部及び他方の
端部の中央が１つのアーム部材で連結されており、この
一方の端部が加振系に固着されかつ他方の端部が対象物
に固着されており、振動部材の共振により対象物の見か
け上の共振振幅を減少させるように構成されている。
り効率良く振動を抑制することができ、さらにトーショ
ンモードの共振に対してもその横方向成分の振幅を効率
良く抑制させることができる振動抑制機構及び振動抑制
機構を備えたＨＧＡを提供する。 【解決手段】 加振系の１つの共振周波数に等しいかそ
の近傍である共振周波数を有すると共にこの加振系及び
振動を抑制すべき対象物間に挿入された平板状の振動部
材を備えており、この振動部材の一方の端部及び他方の
端部の中央が１つのアーム部材で連結されており、この
一方の端部が加振系に固着されかつ他方の端部が対象物
に固着されており、振動部材の共振により対象物の見か
け上の共振振幅を減少させるように構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動を受ける対象
物の振動抑制機構、及びこの振動抑制機構を備えたヘッ
ドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）に関する。
物の振動抑制機構、及びこの振動抑制機構を備えたヘッ
ドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。
【０００３】磁気ヘッドスライダは、ボイスコイルモー
タ（ＶＣＭ）と称されるアクチュエータによって、ＨＧ
Ａが揺動駆動されることにより磁気ディスク半径方向
（トラック幅方向）に駆動され、これによって磁気ヘッ
ドの磁気ディスクに対する位置が制御される。
タ（ＶＣＭ）と称されるアクチュエータによって、ＨＧ
Ａが揺動駆動されることにより磁気ディスク半径方向
（トラック幅方向）に駆動され、これによって磁気ヘッ
ドの磁気ディスクに対する位置が制御される。
【０００４】アクチュエータ、このアクチュエータに連
結されている駆動アーム、及びサスペンションは、それ
ぞれが固有の共振特性、従って異なる共振周波数を有し
ており、サスペンションの先端部に取り付けられた磁気
ヘッドスライダにはこれらを複合した共振特性に基づく
振幅が伝達される。
結されている駆動アーム、及びサスペンションは、それ
ぞれが固有の共振特性、従って異なる共振周波数を有し
ており、サスペンションの先端部に取り付けられた磁気
ヘッドスライダにはこれらを複合した共振特性に基づく
振幅が伝達される。
【０００５】このような複合した共振特性による振動を
抑圧するため、従来は、アクチュエータのサーボ回路内
に多段フィルタを組み込み、電気的信号の共振ピークを
抑え込むことが行われていた。
抑圧するため、従来は、アクチュエータのサーボ回路内
に多段フィルタを組み込み、電気的信号の共振ピークを
抑え込むことが行われていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな電気的な振動抑圧方法は、多段フィルタを組み込む
必要があることから、サーボ回路の構成を複雑化し製造
コストを増大させるという問題点を有しており、さら
に、機械的振動を直接的に抑圧するものではないため、
効率が非常に悪いという問題点をも有している。
うな電気的な振動抑圧方法は、多段フィルタを組み込む
必要があることから、サーボ回路の構成を複雑化し製造
コストを増大させるという問題点を有しており、さら
に、機械的振動を直接的に抑圧するものではないため、
効率が非常に悪いという問題点をも有している。
【０００７】また、サスペンションは、その横方向（そ
の面内において軸方向と垂直な方向）の共振の他にねじ
れモードの共振（トーションモード）を有しており、こ
のトーションモードの横方向成分が磁気ヘッド素子にオ
フトラックを与えてしまう。このため、サスペンション
においては、横方向の振動の振幅に規格が与えられてお
り、製造する上でその形状に厳しい管理が必要となって
いる。即ち、トーションモードの振幅をいかに小さく押
さえ込むかがサスペンションの設計において大きな課題
となっている。
の面内において軸方向と垂直な方向）の共振の他にねじ
れモードの共振（トーションモード）を有しており、こ
のトーションモードの横方向成分が磁気ヘッド素子にオ
フトラックを与えてしまう。このため、サスペンション
においては、横方向の振動の振幅に規格が与えられてお
り、製造する上でその形状に厳しい管理が必要となって
いる。即ち、トーションモードの振幅をいかに小さく押
さえ込むかがサスペンションの設計において大きな課題
となっている。
【０００８】従って本発明の目的は、従来の構造をさほ
ど変更することなくかつより効率良く振動を抑制するこ
とができる振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたＨＧ
Ａを提供することにある。
ど変更することなくかつより効率良く振動を抑制するこ
とができる振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたＨＧ
Ａを提供することにある。
【０００９】本発明の他の目的は、トーションモードの
共振に対してもその横方向成分の振幅を効率良く抑制さ
せることができる振動抑制機構及び振動抑制機構を備え
たＨＧＡを提供することにある。
共振に対してもその横方向成分の振幅を効率良く抑制さ
せることができる振動抑制機構及び振動抑制機構を備え
たＨＧＡを提供することにある。
【００１０】本発明のさらに他の目的は、サーボ回路の
構成を簡略化することができる振動抑制機構及び振動抑
制機構を備えたＨＧＡを提供することにある。
構成を簡略化することができる振動抑制機構及び振動抑
制機構を備えたＨＧＡを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、加振系
の１つの共振周波数に等しいかその近傍である共振周波
数を有すると共にこの加振系及び振動を抑制すべき対象
物間に挿入された平板状の振動部材を備えており、この
振動部材の一方の端部及び他方の端部の中央が１つのア
ーム部材で連結されており、この一方の端部が加振系に
固着されかつ他方の端部が対象物に固着されており、振
動部材の共振により対象物の見かけ上の共振振幅を減少
させるように構成されている振動抑制機構が提供され
る。
の１つの共振周波数に等しいかその近傍である共振周波
数を有すると共にこの加振系及び振動を抑制すべき対象
物間に挿入された平板状の振動部材を備えており、この
振動部材の一方の端部及び他方の端部の中央が１つのア
ーム部材で連結されており、この一方の端部が加振系に
固着されかつ他方の端部が対象物に固着されており、振
動部材の共振により対象物の見かけ上の共振振幅を減少
させるように構成されている振動抑制機構が提供され
る。
【００１２】共振周波数が加振系の１つの共振周波数に
等しいかその近傍である振動部材が対象物と加振系との
間にその少なくとも一部が挿入されており、この振動部
材の一方の端部が加振系に固着され、他方の端部が対象
物に固着されている。加振系が共振すると、この振動部
材も共振するが、振動部材の一方の端部は加振系と同位
相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ずれ
して共振し、これによって、共振部材は、対象物の位置
を共振がなければ本来あるべき位置に引き戻すように働
き、対象物の見かけ上の共振振幅を減少させる。このよ
うに、本発明によれば、従来の構造をさほど変更するこ
となく簡易な機械的構造を設けるのみで非常に効果的に
振動抑制を行うことができる。また、サーボ回路の構成
を簡略化できるので製造コストを低減化することが可能
である。さらに、振動部材を平板状に構成することによ
り、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチング
のみで形状を整えてその特性を調整できる。その結果、
製造が非常に容易となり、しかも特性のばらつきも最小
限に抑えることができる。特に本発明のように、振動部
材を、その一方の端部の中央と他方の端部の中央とが１
つのアーム部材で連結される構造とすることにより、対
象物を横方向に振動させる横方向の共振モードのみなら
ず、トーションモードの共振に対してもその横方向成分
の振幅を効率良く抑制させることが可能となる。
等しいかその近傍である振動部材が対象物と加振系との
間にその少なくとも一部が挿入されており、この振動部
材の一方の端部が加振系に固着され、他方の端部が対象
物に固着されている。加振系が共振すると、この振動部
材も共振するが、振動部材の一方の端部は加振系と同位
相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ずれ
して共振し、これによって、共振部材は、対象物の位置
を共振がなければ本来あるべき位置に引き戻すように働
き、対象物の見かけ上の共振振幅を減少させる。このよ
うに、本発明によれば、従来の構造をさほど変更するこ
となく簡易な機械的構造を設けるのみで非常に効果的に
振動抑制を行うことができる。また、サーボ回路の構成
を簡略化できるので製造コストを低減化することが可能
である。さらに、振動部材を平板状に構成することによ
り、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチング
のみで形状を整えてその特性を調整できる。その結果、
製造が非常に容易となり、しかも特性のばらつきも最小
限に抑えることができる。特に本発明のように、振動部
材を、その一方の端部の中央と他方の端部の中央とが１
つのアーム部材で連結される構造とすることにより、対
象物を横方向に振動させる横方向の共振モードのみなら
ず、トーションモードの共振に対してもその横方向成分
の振幅を効率良く抑制させることが可能となる。
【００１３】振動部材の他方の端部と加振系との間に対
象物の振動を減衰するためのダンピング層を設けること
が好ましい。前述したように、加振系が共振すると、こ
の振動部材も共振するが、振動部材の一方の端部は加振
系と同位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は
位相ずれして共振するので、ダンピング層にはその両面
に加振系及び振動部材から互いに逆の位相であるか又は
位相ずれした振動がそれぞれ印加されることとなる。そ
の結果、互いに抗力を受けて上述した引き戻しの過剰を
抑制して振動を減衰させるから、振動部材の他方の端部
に固着された対象物の振動が減衰する。
象物の振動を減衰するためのダンピング層を設けること
が好ましい。前述したように、加振系が共振すると、こ
の振動部材も共振するが、振動部材の一方の端部は加振
系と同位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は
位相ずれして共振するので、ダンピング層にはその両面
に加振系及び振動部材から互いに逆の位相であるか又は
位相ずれした振動がそれぞれ印加されることとなる。そ
の結果、互いに抗力を受けて上述した引き戻しの過剰を
抑制して振動を減衰させるから、振動部材の他方の端部
に固着された対象物の振動が減衰する。
【００１４】振動部材の上述の一方の端部と対象物との
間に対象物の振動を減衰するためのダンピング層が設け
られていることが好ましい。
間に対象物の振動を減衰するためのダンピング層が設け
られていることが好ましい。
【００１５】ダンピング層が、振動部材と加振系又は対
象物とに接着された可撓性の樹脂接着剤による層である
ことが好ましい。
象物とに接着された可撓性の樹脂接着剤による層である
ことが好ましい。
【００１６】ダンピング層に対して、上下方向から荷重
が印加されるように構成されていることが好ましい。こ
のように荷重が印加されることによって、ダンピング層
のダンピング効果が大きくなる。なお、印加される荷重
の大小により、振動部材とダンピング層からなる系の共
振周波数が変化する。
が印加されるように構成されていることが好ましい。こ
のように荷重が印加されることによって、ダンピング層
のダンピング効果が大きくなる。なお、印加される荷重
の大小により、振動部材とダンピング層からなる系の共
振周波数が変化する。
【００１７】加振系がサスペンションを含む支持部材で
あり、対象物がこのサスペンションの先端部に取り付け
られた、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドス
ライダであることも好ましい。
あり、対象物がこのサスペンションの先端部に取り付け
られた、少なくとも１つのヘッド素子を有するヘッドス
ライダであることも好ましい。
【００１８】振動部材の一方の面にヘッドスライダが取
り付けられており、振動部材の他方の面がサスペンショ
ンに取り付けられていることが好ましい。振動部材とサ
スペンションとの間において、振動部材の他方の端部上
にダンピング層が設けられているため、振動部材とサス
ペンションとをその振動部材の一方の端部で固着する際
に、両者間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られるこ
ととなり、製造が非常に容易となる。また、振動部材の
一方の端部とヘッドスライダとの間にもダンピング層を
設ければ、振動部材とヘッドスライダとの間に接着剤挿
入用の間隙が自動的に得られることとなり、製造がさら
に非常に容易となる。
り付けられており、振動部材の他方の面がサスペンショ
ンに取り付けられていることが好ましい。振動部材とサ
スペンションとの間において、振動部材の他方の端部上
にダンピング層が設けられているため、振動部材とサス
ペンションとをその振動部材の一方の端部で固着する際
に、両者間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られるこ
ととなり、製造が非常に容易となる。また、振動部材の
一方の端部とヘッドスライダとの間にもダンピング層を
設ければ、振動部材とヘッドスライダとの間に接着剤挿
入用の間隙が自動的に得られることとなり、製造がさら
に非常に容易となる。
【００１９】振動部材が、ヘッドスライダの浮上面（Ａ
ＢＳ）と反対側の面に略平行な金属板部材で形成されて
いることが好ましい。また、振動部材が、１つのアーム
部材と、この１つのアーム部材の両端に連結された一方
の端部及び他方の端部とを備えていることも好ましい。
ＢＳ）と反対側の面に略平行な金属板部材で形成されて
いることが好ましい。また、振動部材が、１つのアーム
部材と、この１つのアーム部材の両端に連結された一方
の端部及び他方の端部とを備えていることも好ましい。
【００２０】ヘッド素子が、薄膜磁気ヘッド素子である
ことも好ましい。
ことも好ましい。
【００２１】本発明によれば、さらに、少なくとも１つ
のヘッド素子を有するヘッドスライダと、サスペンショ
ンと、サスペンションを含む支持部材の１つの共振周波
数に等しいかその近傍である共振周波数を有すると共に
サスペンション及びヘッドスライダ間に挿入された平板
状の振動部材とを備えており、振動部材の後端部及び先
端部の中央が１つのアーム部材で連結されており、この
後端部がサスペンションに固着されかつ先端部がヘッド
スライダに固着されており、振動部材の共振によりヘッ
ドスライダの見かけ上の共振振幅を減少させるように構
成されている、振動抑制機構を備えたＨＧＡが提供され
る。
のヘッド素子を有するヘッドスライダと、サスペンショ
ンと、サスペンションを含む支持部材の１つの共振周波
数に等しいかその近傍である共振周波数を有すると共に
サスペンション及びヘッドスライダ間に挿入された平板
状の振動部材とを備えており、振動部材の後端部及び先
端部の中央が１つのアーム部材で連結されており、この
後端部がサスペンションに固着されかつ先端部がヘッド
スライダに固着されており、振動部材の共振によりヘッ
ドスライダの見かけ上の共振振幅を減少させるように構
成されている、振動抑制機構を備えたＨＧＡが提供され
る。
【００２２】共振周波数がサスペンションを含む支持部
材の１つの共振周波数に等しいかその近傍である振動部
材がヘッドスライダとサスペンションとの間にその少な
くとも一部が挿入されており、この振動部材の一方の端
部がサスペンションに固着され、他方の端部がヘッドス
ライダに固着されている。サスペンション（ロードビー
ム）が共振してフレクシャが振動すると、この振動部材
も共振するが、振動部材の一方の端部はフレクシャと同
位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ず
れして共振し、これによって、共振部材は、ヘッドスラ
イダの位置を共振がなければ本来あるべき位置に引き戻
すように働き、ヘッドスライダの見かけ上の共振振幅を
減少させる。このように、本発明によれば、従来の構造
をさほど変更することなく簡易な機械的構造を設けるの
みで非常に効果的に振動抑制を行うことができる。ま
た、サーボ回路の構成を簡略化できるので製造コストを
低減化することが可能である。さらに、振動部材を平板
状に構成することにより、折り曲げ等の加工が不要とな
り、フォトエッチングのみで形状を整えてその特性を調
整できる。その結果、製造が非常に容易となり、しかも
特性のばらつきも最小限に抑えることができる。特に本
発明のように、振動部材を、その先端部の中央と後端部
の中央とが１つのアーム部材で連結される構造とするこ
とにより、ヘッドスライダを横方向に振動させる横方向
の共振モードのみならず、トーションモードの共振に対
してもその横方向成分の振幅を効率良く減衰させること
が可能となる。
材の１つの共振周波数に等しいかその近傍である振動部
材がヘッドスライダとサスペンションとの間にその少な
くとも一部が挿入されており、この振動部材の一方の端
部がサスペンションに固着され、他方の端部がヘッドス
ライダに固着されている。サスペンション（ロードビー
ム）が共振してフレクシャが振動すると、この振動部材
も共振するが、振動部材の一方の端部はフレクシャと同
位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ず
れして共振し、これによって、共振部材は、ヘッドスラ
イダの位置を共振がなければ本来あるべき位置に引き戻
すように働き、ヘッドスライダの見かけ上の共振振幅を
減少させる。このように、本発明によれば、従来の構造
をさほど変更することなく簡易な機械的構造を設けるの
みで非常に効果的に振動抑制を行うことができる。ま
た、サーボ回路の構成を簡略化できるので製造コストを
低減化することが可能である。さらに、振動部材を平板
状に構成することにより、折り曲げ等の加工が不要とな
り、フォトエッチングのみで形状を整えてその特性を調
整できる。その結果、製造が非常に容易となり、しかも
特性のばらつきも最小限に抑えることができる。特に本
発明のように、振動部材を、その先端部の中央と後端部
の中央とが１つのアーム部材で連結される構造とするこ
とにより、ヘッドスライダを横方向に振動させる横方向
の共振モードのみならず、トーションモードの共振に対
してもその横方向成分の振幅を効率良く減衰させること
が可能となる。
【００２３】振動部材の先端部とサスペンションとの間
にヘッドスライダの振動を減衰するためのダンピング層
が設けられていることが好ましい。前述したように、ロ
ードビームが共振してフレクシャが振動すると、この振
動部材も共振するが、振動部材の一方の端部はフレクシ
ャと同位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は
位相ずれして共振するので、ダンピング層にはその両面
にフレクシャ及び振動部材から互いに逆の位相であるか
又は位相ずれした振動がそれぞれ印加されることとな
る。その結果、互いに抗力を受けて上述した引き戻しの
過剰を抑制して振動を減衰させるから、振動部材の他方
の端部に固着されたヘッドスライダの振動が減衰する。
にヘッドスライダの振動を減衰するためのダンピング層
が設けられていることが好ましい。前述したように、ロ
ードビームが共振してフレクシャが振動すると、この振
動部材も共振するが、振動部材の一方の端部はフレクシ
ャと同位相で振動し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は
位相ずれして共振するので、ダンピング層にはその両面
にフレクシャ及び振動部材から互いに逆の位相であるか
又は位相ずれした振動がそれぞれ印加されることとな
る。その結果、互いに抗力を受けて上述した引き戻しの
過剰を抑制して振動を減衰させるから、振動部材の他方
の端部に固着されたヘッドスライダの振動が減衰する。
【００２４】振動部材の後端部とヘッドスライダとの間
にヘッドスライダの振動を減衰するためのダンピング層
が設けられていることが好ましい。
にヘッドスライダの振動を減衰するためのダンピング層
が設けられていることが好ましい。
【００２５】ダンピング層が、振動部材とサスペンショ
ン又はヘッドスライダとに接着された可撓性の樹脂接着
剤による層であることも好ましい。
ン又はヘッドスライダとに接着された可撓性の樹脂接着
剤による層であることも好ましい。
【００２６】ダンピング層に対して、上下方向から荷重
が印加されるように構成されていることが好ましい。実
際のＨＧＡにおいては、サスペンションからの荷重とヘ
ッドスライダが媒体から受ける抗力とにより、振動抑制
機構に上下方向から荷重が印加される。このように荷重
が印加されることによって、ダンピング層のダンピング
効果が大きくなる。なお、印加される荷重の大小によ
り、振動部材とダンピング層からなる系の共振周波数が
変化する。
が印加されるように構成されていることが好ましい。実
際のＨＧＡにおいては、サスペンションからの荷重とヘ
ッドスライダが媒体から受ける抗力とにより、振動抑制
機構に上下方向から荷重が印加される。このように荷重
が印加されることによって、ダンピング層のダンピング
効果が大きくなる。なお、印加される荷重の大小によ
り、振動部材とダンピング層からなる系の共振周波数が
変化する。
【００２７】振動部材の一方の面にヘッドスライダが取
り付けられており、振動部材の他方の面がサスペンショ
ンに取り付けられていることも好ましい。振動部材とサ
スペンションとの間において、振動部材の先端部上にダ
ンピング層が設けられているため、振動部材とサスペン
ションとをその振動部材の後端部で固着する際に、両者
間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られることとな
り、製造が非常に容易となる。また、振動部材の後端部
とヘッドスライダとの間にもダンピング層を設ければ、
振動部材とヘッドスライダとの間に接着剤挿入用の間隙
が自動的に得られることとなり、製造がさらに非常に容
易となる。
り付けられており、振動部材の他方の面がサスペンショ
ンに取り付けられていることも好ましい。振動部材とサ
スペンションとの間において、振動部材の先端部上にダ
ンピング層が設けられているため、振動部材とサスペン
ションとをその振動部材の後端部で固着する際に、両者
間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られることとな
り、製造が非常に容易となる。また、振動部材の後端部
とヘッドスライダとの間にもダンピング層を設ければ、
振動部材とヘッドスライダとの間に接着剤挿入用の間隙
が自動的に得られることとなり、製造がさらに非常に容
易となる。
【００２８】振動部材が、ヘッドスライダのＡＢＳと反
対側の面に略平行な金属板部材で形成されていることが
好ましい。また、振動部材が、１つのアーム部材と、こ
の１つのアーム部材の両端に連結された先端部及び後端
部とを備えていることも好ましい。
対側の面に略平行な金属板部材で形成されていることが
好ましい。また、振動部材が、１つのアーム部材と、こ
の１つのアーム部材の両端に連結された先端部及び後端
部とを備えていることも好ましい。
【００２９】ヘッド素子が、薄膜磁気ヘッド素子である
ことも好ましい。
ことも好ましい。
【００３０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態とし
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２は本実施形態におけるＨＧＡ全体を概略
的に表す斜視図であり、図３は本実施形態におけるＨＧ
Ａの先端部、即ちフレクシャ、振動部材及び磁気ヘッド
スライダの部分、を拡大した分解斜視図であり、図４は
図３とは異なる方向から本実施形態におけるＨＧＡの先
端部を拡大して見た分解斜視図であり、図５は図３とは
異なる方向から本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡
大して見た分解斜視図であり、図６は本実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大した分解側面図であり、図７は
本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大した斜視図で
あり、図８は図７とは異なる方向から本実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大して見た斜視図であり、図９は
本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大した側面図で
ある。
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２は本実施形態におけるＨＧＡ全体を概略
的に表す斜視図であり、図３は本実施形態におけるＨＧ
Ａの先端部、即ちフレクシャ、振動部材及び磁気ヘッド
スライダの部分、を拡大した分解斜視図であり、図４は
図３とは異なる方向から本実施形態におけるＨＧＡの先
端部を拡大して見た分解斜視図であり、図５は図３とは
異なる方向から本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡
大して見た分解斜視図であり、図６は本実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大した分解側面図であり、図７は
本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大した斜視図で
あり、図８は図７とは異なる方向から本実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大して見た斜視図であり、図９は
本実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大した側面図で
ある。
【００３１】図１において、１０は軸１１の回りを回転
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばＶＣ
Ｍからなるアクチュエータ１５とから主として構成され
ている。
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばＶＣ
Ｍからなるアクチュエータ１５とから主として構成され
ている。
【００３２】キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタ
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。
【００３３】図２に示すように、ＨＧＡは、サスペンシ
ョン２０の先端部に、振動部材２１を介して、磁気ヘッ
ド素子を有する磁気ヘッドスライダ２２を固着して構成
される。即ち、磁気ヘッドスライダ２２は、振動部材２
１によってサスペンション２０から離隔して取り付けら
れている。
ョン２０の先端部に、振動部材２１を介して、磁気ヘッ
ド素子を有する磁気ヘッドスライダ２２を固着して構成
される。即ち、磁気ヘッドスライダ２２は、振動部材２
１によってサスペンション２０から離隔して取り付けら
れている。
【００３４】サスペンション２０は、弾性を有するフレ
クシャ２３と、このフレクシャ２３の後端部を支持する
ロードビーム２４と、このロードビーム２４に固着され
たベースプレート２５とから主として構成されている。
クシャ２３と、このフレクシャ２３の後端部を支持する
ロードビーム２４と、このロードビーム２４に固着され
たベースプレート２５とから主として構成されている。
【００３５】フレクシャ２３は、ロードビーム２４に設
けられたディンプル（図示なし）に押圧される適切なス
ティフネスを有する舌部２３ａ（図３〜図９）を先端部
に有しており、この舌部２３ａには、振動部材２１の後
端部２１ａが固着されている。フレクシャ２３は、この
舌部２３ａで振動部材２１を介して磁気ヘッドスライダ
２２を柔軟に支えるような弾性を持っている。フレクシ
ャ２３は、本実施形態では、厚さ約２０μｍのステンレ
ス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されて
いる。なお、フレクシャ２３とロードビーム２４との固
着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってな
されている。
けられたディンプル（図示なし）に押圧される適切なス
ティフネスを有する舌部２３ａ（図３〜図９）を先端部
に有しており、この舌部２３ａには、振動部材２１の後
端部２１ａが固着されている。フレクシャ２３は、この
舌部２３ａで振動部材２１を介して磁気ヘッドスライダ
２２を柔軟に支えるような弾性を持っている。フレクシ
ャ２３は、本実施形態では、厚さ約２０μｍのステンレ
ス鋼板（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されて
いる。なお、フレクシャ２３とロードビーム２４との固
着は、複数の溶接点によるピンポイント固着によってな
されている。
【００３６】ロードビーム２４は、本実施形態では、約
６０μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、フレク
シャ２３の後端部を支持している。ただし、ロードビー
ム２４とフレクシャ２３との固着は、複数の溶接点によ
るピンポイント固着によってなされている。
６０μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、フレク
シャ２３の後端部を支持している。ただし、ロードビー
ム２４とフレクシャ２３との固着は、複数の溶接点によ
るピンポイント固着によってなされている。
【００３７】ベースプレート２５は、本実施形態では、
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、ロードビーム２４の基部に溶接によって固着されて
いる。このベースプレート２５が駆動アーム１６（図
１）に取り付けられる。
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、ロードビーム２４の基部に溶接によって固着されて
いる。このベースプレート２５が駆動アーム１６（図
１）に取り付けられる。
【００３８】フレクシャ２３及びベースプレート２４上
には、複数のリード導体を含む可撓性のトレースが形成
又は載置されているが、本発明にはこれらが直接的に関
係しないため、図示が省略されている。
には、複数のリード導体を含む可撓性のトレースが形成
又は載置されているが、本発明にはこれらが直接的に関
係しないため、図示が省略されている。
【００３９】本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。
【００４０】磁気ヘッドスライダ２２は、その先端面が
磁気ヘッド素子等の素子形成面２２ａとなっており、そ
のＡＢＳ２２ｂとは反対側の面２２ｃが振動部材２１に
固着されるように構成されている。
磁気ヘッド素子等の素子形成面２２ａとなっており、そ
のＡＢＳ２２ｂとは反対側の面２２ｃが振動部材２１に
固着されるように構成されている。
【００４１】振動部材２１は、図３〜図９に示すよう
に、１枚の平板状の金属板部材を切り抜き、パターニン
グすることによって形成されている。即ち、金属板部材
を、例えばフォトエッチング等でパターニングすること
により、矩形の後端部２１ａ及び矩形の先端部２１ｂ
と、これら後端部２１ａ及び先端部２１ｂの中央を連結
する１つのアーム部材２１ｃとを有する平板状に形成さ
れている。
に、１枚の平板状の金属板部材を切り抜き、パターニン
グすることによって形成されている。即ち、金属板部材
を、例えばフォトエッチング等でパターニングすること
により、矩形の後端部２１ａ及び矩形の先端部２１ｂ
と、これら後端部２１ａ及び先端部２１ｂの中央を連結
する１つのアーム部材２１ｃとを有する平板状に形成さ
れている。
【００４２】アーム部材２１ｃは、磁気ヘッドスライダ
２２にもフレクシャ２３にも接触せず、横方向の運動の
みならずねじれ運動も自由にできるように構成されてい
る。
２２にもフレクシャ２３にも接触せず、横方向の運動の
みならずねじれ運動も自由にできるように構成されてい
る。
【００４３】振動部材２１用の金属板部材としては、ス
テンレススチールの他に、ジルコニア、ベリリウム銅、
アルミニウム、チタン又はその他の金属による板部材が
用いられる。その厚さは、１０〜１００μｍ程度であ
る。
テンレススチールの他に、ジルコニア、ベリリウム銅、
アルミニウム、チタン又はその他の金属による板部材が
用いられる。その厚さは、１０〜１００μｍ程度であ
る。
【００４４】振動部材２１の後端部２１ａの上面はフレ
クシャ２３の舌部２３ａに接着剤２６によって堅固に固
着され、先端部２１ｂの下面は磁気ヘッドスライダ２２
のＡＢＳ２２ｂとは反対側の面２２ｃの先端部に接着剤
２７によって堅固に固着されている。これによって磁気
ヘッドスライダ２２は、振動部材２１を介してフレクシ
ャ２３に固着されることとなる。接着剤２６及び２７と
しては、例えばエポキシ系やＵＶ系の硬化接着剤が用い
られる。
クシャ２３の舌部２３ａに接着剤２６によって堅固に固
着され、先端部２１ｂの下面は磁気ヘッドスライダ２２
のＡＢＳ２２ｂとは反対側の面２２ｃの先端部に接着剤
２７によって堅固に固着されている。これによって磁気
ヘッドスライダ２２は、振動部材２１を介してフレクシ
ャ２３に固着されることとなる。接着剤２６及び２７と
しては、例えばエポキシ系やＵＶ系の硬化接着剤が用い
られる。
【００４５】一方、先端部２１ｂの上面はダンピング層
２８を構成する可撓性を有する接着剤、例えばウレタン
ゴム系やアクリル系の感圧接着剤等の樹脂系接着剤によ
ってフレクシャ２３の先端部（舌部２３ａの基部）に接
着されている。ダンピング層２８をこのように設けるこ
とにより、磁気ヘッドスライダ２２の横方向の振動を減
衰させることができる。
２８を構成する可撓性を有する接着剤、例えばウレタン
ゴム系やアクリル系の感圧接着剤等の樹脂系接着剤によ
ってフレクシャ２３の先端部（舌部２３ａの基部）に接
着されている。ダンピング層２８をこのように設けるこ
とにより、磁気ヘッドスライダ２２の横方向の振動を減
衰させることができる。
【００４６】図１０及び図１１はその理由を説明するた
めの図である。図１１は図１０の系１０２の部分を詳細
に表している。
めの図である。図１１は図１０の系１０２の部分を詳細
に表している。
【００４７】図１０に示すように、アクチュエータ及び
これに接続された支持アーム１６が周波数ｆで振動する
と、ロードビーム２４が共振周波数ｆで共振し、その先
端の振動（トラック方向の振動１０１）がこの加振系１
００に接続された系１０２に印加される。図１１におい
て、系１０２では、フレクシャ２３がまず加振される
が、フレクシャ２３は、その共振周波数が周波数ｆに比
して充分に高いところにあるため、この周波数ｆでは共
振しない。このため、フレクシャ２３の領域１１０及び
領域１１１は同一の位相で振動する。ただし、領域１１
０は振動部材２１の先端部側に位置しており、領域１１
１は振動部材２１の後端部側に位置している。
これに接続された支持アーム１６が周波数ｆで振動する
と、ロードビーム２４が共振周波数ｆで共振し、その先
端の振動（トラック方向の振動１０１）がこの加振系１
００に接続された系１０２に印加される。図１１におい
て、系１０２では、フレクシャ２３がまず加振される
が、フレクシャ２３は、その共振周波数が周波数ｆに比
して充分に高いところにあるため、この周波数ｆでは共
振しない。このため、フレクシャ２３の領域１１０及び
領域１１１は同一の位相で振動する。ただし、領域１１
０は振動部材２１の先端部側に位置しており、領域１１
１は振動部材２１の後端部側に位置している。
【００４８】一方、領域１１１内においてフレクシャ２
３と接続された振動部材２１は、フレクシャ２３から加
振を受けこのフレクシャ２３と同位相で振動する。この
振動部材２１自体の共振周波数が周波数ｆに設定されて
いるので、この振動部材２１は共振する。その結果、振
動部材２１の先端部側の領域１１２における振動は、フ
レクシャ２３の領域１１０における振動と逆位相とな
る。これによって、共振部材２１は、磁気ヘッドスライ
ダ２２の位置を共振がなければ本来あるべき位置に引き
戻すように働き、磁気ヘッドスライダ２２の見かけ上の
共振振幅を減少させる。
３と接続された振動部材２１は、フレクシャ２３から加
振を受けこのフレクシャ２３と同位相で振動する。この
振動部材２１自体の共振周波数が周波数ｆに設定されて
いるので、この振動部材２１は共振する。その結果、振
動部材２１の先端部側の領域１１２における振動は、フ
レクシャ２３の領域１１０における振動と逆位相とな
る。これによって、共振部材２１は、磁気ヘッドスライ
ダ２２の位置を共振がなければ本来あるべき位置に引き
戻すように働き、磁気ヘッドスライダ２２の見かけ上の
共振振幅を減少させる。
【００４９】さらに、ダンピング層２８を上下から挟む
領域１１０及び１１２は互いに逆の抗力を受けるため、
振動部材２１、従って磁気ヘッドスライダ２２の振幅が
減衰する。これは、共振周波数近傍の位相が逆又はずれ
る周波数範囲において成立する。
領域１１０及び１１２は互いに逆の抗力を受けるため、
振動部材２１、従って磁気ヘッドスライダ２２の振幅が
減衰する。これは、共振周波数近傍の位相が逆又はずれ
る周波数範囲において成立する。
【００５０】また、ダンピング層２８の上下方向に荷重
が印加されるとダンピング効果が大きくなる。
が印加されるとダンピング効果が大きくなる。
【００５１】ステンレススチールによって振動部材２１
を形成した場合にも、振動方向と直交する前後方向にこ
の振動部材２１を配置し、その長さ及び厚みを適宜調整
することによって、比較的低い、ＨＧＡのスウェイモー
ドに等しい共振周波数を与えることが可能である。
を形成した場合にも、振動方向と直交する前後方向にこ
の振動部材２１を配置し、その長さ及び厚みを適宜調整
することによって、比較的低い、ＨＧＡのスウェイモー
ドに等しい共振周波数を与えることが可能である。
【００５２】以上述べたように、本実施形態によれば、
振動部材２１を設け、フレクシャ２３の舌部２３ａと磁
気ヘッドスライダ２２との間に振動伝達ループを形成す
るという簡単な構成を付加するのみで、従来の構造をさ
ほど変更することなく、非常に効果的に機械的な振動抑
制を行うことができる。また、サーボ回路の構成を簡略
化できるので製造コストを低減化することが可能であ
る。なお、本実施形態では、ダンピング層２８を設けて
いるが、これは振動部材２１による引き戻しの過剰を抑
制して振動を減衰させるためのものであり、本発明で
は、ダンピング層を必ずしも設けなくとも良い。ただ
し、ダンピング層２８を設けることにより、磁気ヘッド
スライダ２２の振幅を減衰させることができる。
振動部材２１を設け、フレクシャ２３の舌部２３ａと磁
気ヘッドスライダ２２との間に振動伝達ループを形成す
るという簡単な構成を付加するのみで、従来の構造をさ
ほど変更することなく、非常に効果的に機械的な振動抑
制を行うことができる。また、サーボ回路の構成を簡略
化できるので製造コストを低減化することが可能であ
る。なお、本実施形態では、ダンピング層２８を設けて
いるが、これは振動部材２１による引き戻しの過剰を抑
制して振動を減衰させるためのものであり、本発明で
は、ダンピング層を必ずしも設けなくとも良い。ただ
し、ダンピング層２８を設けることにより、磁気ヘッド
スライダ２２の振幅を減衰させることができる。
【００５３】振動部材２１を平板形状に構成することに
より、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチン
グのみで形状を整えてその特性を調整できる。その結
果、製造が非常に容易となり、しかも非常に精度が高く
なるため寸法誤差による特性のばらつきも最小限に抑え
ることができる。また、振動部材２１は、その前後が接
着剤で固定されるので、耐衝撃性がその縦方向及び横方
向に共に強くなるから、板ばねを縦に配置したような薄
い幅の狭い形状とすることができる。特に、振動部材２
１を、その先端部２１ｂの中央と後端部２１ａの中央と
が１つのアーム部材２１ｃで連結される構造とすること
により、磁気ヘッドスライダを横方向に振動させる横方
向の共振モードのみならず、トーションモードの共振に
対してもその横方向成分の振幅を効率良く抑制させるこ
とが可能となる。
より、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチン
グのみで形状を整えてその特性を調整できる。その結
果、製造が非常に容易となり、しかも非常に精度が高く
なるため寸法誤差による特性のばらつきも最小限に抑え
ることができる。また、振動部材２１は、その前後が接
着剤で固定されるので、耐衝撃性がその縦方向及び横方
向に共に強くなるから、板ばねを縦に配置したような薄
い幅の狭い形状とすることができる。特に、振動部材２
１を、その先端部２１ｂの中央と後端部２１ａの中央と
が１つのアーム部材２１ｃで連結される構造とすること
により、磁気ヘッドスライダを横方向に振動させる横方
向の共振モードのみならず、トーションモードの共振に
対してもその横方向成分の振幅を効率良く抑制させるこ
とが可能となる。
【００５４】さらに、振動部材２１とフレクシャ２３と
の間において、振動部材２１の先端部上にダンピング層
２８が配置されているため、振動部材２１とフレクシャ
２３とをその振動部材２１の後端部で固着する際に、両
者間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られることとな
り、製造が非常に容易となる。
の間において、振動部材２１の先端部上にダンピング層
２８が配置されているため、振動部材２１とフレクシャ
２３とをその振動部材２１の後端部で固着する際に、両
者間に接着剤挿入用の間隙が自動的に得られることとな
り、製造が非常に容易となる。
【００５５】図１２は、本発明の他の実施形態における
ＨＧＡの先端部の分解斜視図である。
ＨＧＡの先端部の分解斜視図である。
【００５６】本実施形態においては、振動部材２１の後
端部２１ａの下面がダンピング層２９を構成する可撓性
を有する接着剤、例えばウレタンゴム系やアクリル系の
感圧接着剤等の樹脂系接着剤によって磁気ヘッドスライ
ダ２２のＡＢＳとは反対側の面２２ｃに接着されてい
る。磁気ヘッドスライダ２２は振動部材２１の先端部の
振動に追随して振動するので、ダンピング層２９をこの
ように設けることにより、互いに逆の位相であるか又は
位相ずれした振動である、振動部材２１の後端部におけ
る領域１１１の共振振動と振動部材２１の先端部におけ
る領域１１３の共振振動とがこのダンピング層２９に印
加される。その結果、互いに抗力を受けて振動の減衰が
発生し、磁気ヘッドスライダ２２の移動方向の振動を減
衰させることができる。
端部２１ａの下面がダンピング層２９を構成する可撓性
を有する接着剤、例えばウレタンゴム系やアクリル系の
感圧接着剤等の樹脂系接着剤によって磁気ヘッドスライ
ダ２２のＡＢＳとは反対側の面２２ｃに接着されてい
る。磁気ヘッドスライダ２２は振動部材２１の先端部の
振動に追随して振動するので、ダンピング層２９をこの
ように設けることにより、互いに逆の位相であるか又は
位相ずれした振動である、振動部材２１の後端部におけ
る領域１１１の共振振動と振動部材２１の先端部におけ
る領域１１３の共振振動とがこのダンピング層２９に印
加される。その結果、互いに抗力を受けて振動の減衰が
発生し、磁気ヘッドスライダ２２の移動方向の振動を減
衰させることができる。
【００５７】また、振動部材２１の後端部と磁気ヘッド
スライダ２２との間にもダンピング層２９を設ければ、
振動部材２１と磁気ヘッドスライダ２２との間に接着剤
挿入用の間隙が自動的に得られることとなり、製造が非
常に容易となる。
スライダ２２との間にもダンピング層２９を設ければ、
振動部材２１と磁気ヘッドスライダ２２との間に接着剤
挿入用の間隙が自動的に得られることとなり、製造が非
常に容易となる。
【００５８】本実施形態におけるその他の構成、作用効
果及び変更態様等は前述した図１の実施形態の場合とほ
ぼ同様である。従って、図１の実施形態と同様の構成要
素については同じ参照番号を用いている。
果及び変更態様等は前述した図１の実施形態の場合とほ
ぼ同様である。従って、図１の実施形態と同様の構成要
素については同じ参照番号を用いている。
【００５９】振動部材の構造は、上述した実施形態の構
造に限定されるものではなく、トーションモードの共振
にも対応する平板状の構造であればいかなるものであっ
ても良い。
造に限定されるものではなく、トーションモードの共振
にも対応する平板状の構造であればいかなるものであっ
ても良い。
【００６０】以上、薄膜磁気ヘッド素子を有する磁気ヘ
ッドスライダを備えたＨＧＡを用いて本発明を説明した
が、本発明は、このようなＨＧＡにのみ限定されるもの
ではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素
子等のヘッド素子のヘッドスライダを備えたＨＧＡにも
適用可能である。
ッドスライダを備えたＨＧＡを用いて本発明を説明した
が、本発明は、このようなＨＧＡにのみ限定されるもの
ではなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素
子等のヘッド素子のヘッドスライダを備えたＨＧＡにも
適用可能である。
【００６１】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【００６２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、共振周波数が加振系の１つの共振周波数に等しいか
その近傍である振動部材が対象物と加振系との間にその
少なくとも一部が挿入されており、この振動部材の一方
の端部が加振系に固着され、他方の端部が対象物に固着
されている。加振系が共振すると、この振動部材も共振
するが、振動部材の一方の端部は加振系と同位相で振動
し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ずれして共振
し、これによって、共振部材は、対象物の位置を共振が
なければ本来あるべき位置に引き戻すように働き、対象
物の見かけ上の共振振幅を減少させる。
ば、共振周波数が加振系の１つの共振周波数に等しいか
その近傍である振動部材が対象物と加振系との間にその
少なくとも一部が挿入されており、この振動部材の一方
の端部が加振系に固着され、他方の端部が対象物に固着
されている。加振系が共振すると、この振動部材も共振
するが、振動部材の一方の端部は加振系と同位相で振動
し、他方の端部はほぼ逆の位相で又は位相ずれして共振
し、これによって、共振部材は、対象物の位置を共振が
なければ本来あるべき位置に引き戻すように働き、対象
物の見かけ上の共振振幅を減少させる。
【００６３】このように、本発明によれば、従来の構造
をさほど変更することなく簡易な機械的構造を設けるの
みで非常に効果的に振動抑制を行うことができる。ま
た、サーボ回路の構成を簡略化できるので製造コストを
低減化することが可能である。
をさほど変更することなく簡易な機械的構造を設けるの
みで非常に効果的に振動抑制を行うことができる。ま
た、サーボ回路の構成を簡略化できるので製造コストを
低減化することが可能である。
【００６４】さらに、振動部材を平板状に構成すること
により、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチ
ングのみで形状を整えてその特性を調整できる。その結
果、製造が非常に容易となり、しかも特性のばらつきも
最小限に抑えることができる。
により、折り曲げ等の加工が不要となり、フォトエッチ
ングのみで形状を整えてその特性を調整できる。その結
果、製造が非常に容易となり、しかも特性のばらつきも
最小限に抑えることができる。
【００６５】特に本発明のように、振動部材を、その一
方の端部の中央と他方の端部の中央とが１つのアーム部
材で連結される構造とすることにより、対象物を横方向
に振動させる横方向の共振モードのみならず、トーショ
ンモードの共振に対してもその横方向成分の振幅を効率
良く抑制させることが可能となる。
方の端部の中央と他方の端部の中央とが１つのアーム部
材で連結される構造とすることにより、対象物を横方向
に振動させる横方向の共振モードのみならず、トーショ
ンモードの共振に対してもその横方向成分の振幅を効率
良く抑制させることが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を概略的に
表す斜視図である。
表す斜視図である。
【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部、即ち
フレクシャ、振動部材及び磁気ヘッドスライダの部分、
を拡大した分解斜視図である。
フレクシャ、振動部材及び磁気ヘッドスライダの部分、
を拡大した分解斜視図である。
【図４】図３とは異なる方向から図１の実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大して見た分解斜視図である。
るＨＧＡの先端部を拡大して見た分解斜視図である。
【図５】図３とは異なる方向から図１の実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大して見た分解斜視図である。
るＨＧＡの先端部を拡大して見た分解斜視図である。
【図６】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大
した分解側面図である。
した分解側面図である。
【図７】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大
した斜視図である。
した斜視図である。
【図８】図７とは異なる方向から図１の実施形態におけ
るＨＧＡの先端部を拡大して見た斜視図である。
るＨＧＡの先端部を拡大して見た斜視図である。
【図９】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を拡大
した側面図である。
した側面図である。
【図１０】図１の実施形態において振動が減衰する理由
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図１１】図１の実施形態において振動が減衰する理由
を説明するための図である。
を説明するための図である。
【図１２】本発明の他の実施形態におけるＨＧＡの先端
部の分解斜視図である。
部の分解斜視図である。
１０ 磁気ディスク
１１、１３ 軸
１２ アセンブリキャリッジ装置
１４ キャリッジ
１５ アクチュエータ
１６ 駆動アーム
１７ ＨＧＡ
２０ サスペンション
２１ 振動部材
２１ａ 後端部
２１ｂ 先端部
２１ｃ アーム部材
２２ 磁気ヘッドスライダ
２２ａ 素子形成面
２２ｂ ＡＢＳ
２２ｃ 反対側の面
２３ フレクシャ
２３ａ 舌部
２４ ロードビーム
２５ ベースプレート
２６、２７ 接着剤
２８、２９ ダンピング層
１００ 加振系
１０２ 系
１１０、１１１、１１２ 領域
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA08 SA10 TA01
5D059 AA01 BA01 CA21 DA26 DA28
EA02 EA03
Claims (19)
- 【請求項１】 加振系の１つの共振周波数に等しいかそ
の近傍である共振周波数を有すると共に該加振系及び振
動を抑制すべき対象物間に挿入された平板状の振動部材
を備えており、該振動部材の一方の端部及び他方の端部
の中央が１つのアーム部材で連結されており、前記一方
の端部が前記加振系に固着されかつ前記他方の端部が前
記対象物に固着されており、該振動部材の共振により前
記対象物の見かけ上の共振振幅を減少させるように構成
されていることを特徴とする振動抑制機構。 - 【請求項２】 前記振動部材の前記他方の端部と前記加
振系との間に前記対象物の振動を減衰するためのダンピ
ング層が設けられていることを特徴とする請求項１に記
載の振動抑制機構。 - 【請求項３】 前記振動部材の前記一方の端部と前記対
象物との間に前記対象物の振動を減衰するためのダンピ
ング層が設けられていることを特徴とする請求項１又は
２に記載の振動抑制機構。 - 【請求項４】 前記ダンピング層が、前記振動部材と前
記加振系又は前記対象物とに接着された可撓性の樹脂接
着剤による層であることを特徴とする請求項２又は３に
記載の振動抑制機構。 - 【請求項５】 前記ダンピング層に対して、上下方向か
ら荷重が印加されるように構成されていることを特徴と
する請求項２から４のいずれか１項に記載の振動抑制機
構。 - 【請求項６】 前記加振系がサスペンションを含む支持
部材であり、前記対象物が該サスペンションの先端部に
取り付けられた、少なくとも１つのヘッド素子を有する
ヘッドスライダであることを特徴とする請求項１から５
のいずれか１項に記載の振動抑制機構。 - 【請求項７】 前記振動部材の一方の面に前記ヘッドス
ライダが取り付けられており、該振動部材の他方の面が
前記サスペンションに取り付けられていることを特徴と
する請求項６に記載の振動抑制機構。 - 【請求項８】 前記振動部材が、前記ヘッドスライダの
浮上面と反対側の面に略平行な金属板部材で形成されて
いることを特徴とする請求項６又は７に記載の振動抑制
機構。 - 【請求項９】 前記振動部材が、前記１つのアーム部材
と、該１つのアーム部材の両端に連結された前記一方の
端部及び前記他方の端部とを備えていることを特徴とす
る請求項６から８のいずれか１項に記載の振動抑制機
構。 - 【請求項１０】 前記ヘッド素子が、薄膜磁気ヘッド素
子であることを特徴とする請求項６から９のいずれか１
項に記載の振動抑制機構。 - 【請求項１１】 少なくとも１つのヘッド素子を有する
ヘッドスライダと、サスペンションと、該サスペンショ
ンを含む支持部材の１つの共振周波数に等しいかその近
傍である共振周波数を有すると共に該サスペンション及
び前記ヘッドスライダ間に挿入された平板状の振動部材
とを備えており、該振動部材の後端部及び先端部の中央
が１つのアーム部材で連結されており、前記後端部が前
記サスペンションに固着されかつ前記先端部が前記ヘッ
ドスライダに固着されており、該振動部材の共振により
前記ヘッドスライダの見かけ上の共振振幅を減少させる
ように構成されていることを特徴とする振動抑制機構を
備えたヘッドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１２】 前記振動部材の前記先端部と前記サス
ペンションとの間に前記ヘッドスライダの振動を減衰す
るためのダンピング層が設けられていることを特徴とす
る請求項１１に記載のヘッドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１３】 前記振動部材の前記後端部と前記ヘッ
ドスライダとの間に前記ヘッドスライダの振動を減衰す
るためのダンピング層が設けられていることを特徴とす
る請求項１１又は１２に記載のヘッドジンバルアセンブ
リ。 - 【請求項１４】 前記ダンピング層が、前記振動部材と
前記サスペンション又は前記ヘッドスライダとに接着さ
れた可撓性の樹脂接着剤による層であることを特徴とす
る請求項１２又は１３に記載のヘッドジンバルアセンブ
リ。 - 【請求項１５】 前記ダンピング層に対して、上下方向
から荷重が印加されるように構成されていることを特徴
とする請求項１２から１４のいずれか１項に記載のヘッ
ドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１６】 前記振動部材の一方の面に前記ヘッド
スライダが取り付けられており、該振動部材の他方の面
が前記サスペンションに取り付けられていることを特徴
とする請求項１１から１５のいずれか１項に記載のヘッ
ドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１７】 前記振動部材が、前記ヘッドスライダ
の浮上面と反対側の面に略平行な金属板部材で形成され
ていることを特徴とする請求項１１から１６のいずれか
１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。 - 【請求項１８】 前記振動部材が、前記１つのアーム部
材と、該１つのアーム部材の両端に連結された前記先端
部及び前記後端部とを備えていることを特徴とする請求
項１１から１７のいずれか１項に記載のヘッドジンバル
アセンブリ。 - 【請求項１９】 前記ヘッド素子が、薄膜磁気ヘッド素
子であることを特徴とする請求項１１から１８のいずれ
か１項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001203277A JP4144197B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
| US10/179,209 US6751062B2 (en) | 2001-07-04 | 2002-06-26 | Vibration-canceling mechanism and head gimbal assembly with the vibration-canceling mechanism |
| US10/842,555 US7016155B2 (en) | 2001-07-04 | 2004-05-11 | Vibration-canceling mechanism and head gimbal assembly with the vibration-canceling mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001203277A JP4144197B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003036620A true JP2003036620A (ja) | 2003-02-07 |
| JP4144197B2 JP4144197B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=19039943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001203277A Expired - Fee Related JP4144197B2 (ja) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6751062B2 (ja) |
| JP (1) | JP4144197B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006190456A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Shinka Jitsugyo Kk | 減振装置を備えているマイクロアクチュエーターユニット、ヘッドジンバルアセンブリ、及びディスクドライブユニット |
| JP2006190452A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Shinka Jitsugyo Kk | マイクロアクチュエータ、制振器、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4144198B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2008-09-03 | 新科實業有限公司 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
| JP4144196B2 (ja) * | 2001-07-04 | 2008-09-03 | 新科實業有限公司 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
| JP4144199B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2008-09-03 | 新科實業有限公司 | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ |
| KR100528333B1 (ko) * | 2003-03-27 | 2005-11-16 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 헤드-김발 조립체 |
| JP2004310943A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Nitto Denko Corp | 摺動部材 |
| US7236330B2 (en) * | 2004-02-11 | 2007-06-26 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Disk head stability system |
| US7688553B1 (en) * | 2004-08-05 | 2010-03-30 | Seagate Technology Llc | Thermally-compensating attachment of disk drive slider to flexure |
| US7480120B2 (en) * | 2005-04-12 | 2009-01-20 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Apparatus and method for damping slider-gimbal coupled vibration of a hard disk drive |
| US20080024920A1 (en) * | 2006-07-28 | 2008-01-31 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with micro-actuator and manufacturing method thereof, and disk drive unit with the same |
| JP2008159197A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | ディスク・ドライブ装置及びそれに使用されるアクチュエータのキャリッジ |
| FR2914304B1 (fr) * | 2007-03-28 | 2012-11-16 | Guerbet Sa | Composes pour le diagnostic de maladies liees a l'expression de vcam. |
| US8259416B1 (en) | 2008-05-09 | 2012-09-04 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension having viscoelastic load point |
| US8125735B2 (en) * | 2009-04-14 | 2012-02-28 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Vibration sensor, suspension, head gimbal assembly and manufacturing method thereof, and disk drive unit including the same |
| US8885299B1 (en) | 2010-05-24 | 2014-11-11 | Hutchinson Technology Incorporated | Low resistance ground joints for dual stage actuation disk drive suspensions |
| WO2013138619A1 (en) | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Hutchinson Technology Incorporated | Mid-loadbeam dual stage actuated (dsa) disk drive head suspension |
| WO2014035591A1 (en) | 2012-08-31 | 2014-03-06 | Hutchinson Technology Incorporated | Damped dual stage actuation disk drive suspensions |
| US8681456B1 (en) | 2012-09-14 | 2014-03-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions |
| US8896968B2 (en) * | 2012-10-10 | 2014-11-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with dampers |
| US8941951B2 (en) | 2012-11-28 | 2015-01-27 | Hutchinson Technology Incorporated | Head suspension flexure with integrated strain sensor and sputtered traces |
| US8891206B2 (en) | 2012-12-17 | 2014-11-18 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffener |
| US8896969B1 (en) | 2013-05-23 | 2014-11-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Two-motor co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with motor stiffeners |
| US8717712B1 (en) | 2013-07-15 | 2014-05-06 | Hutchinson Technology Incorporated | Disk drive suspension assembly having a partially flangeless load point dimple |
| TWI544162B (zh) * | 2013-08-05 | 2016-08-01 | 緯創資通股份有限公司 | 電子裝置的制振裝置及其制振方法 |
| US8675314B1 (en) | 2013-08-21 | 2014-03-18 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions with offset motors |
| US8896970B1 (en) | 2013-12-31 | 2014-11-25 | Hutchinson Technology Incorporated | Balanced co-located gimbal-based dual stage actuation disk drive suspensions |
| US8867173B1 (en) | 2014-01-03 | 2014-10-21 | Hutchinson Technology Incorporated | Balanced multi-trace transmission in a hard disk drive flexure |
| US9070392B1 (en) | 2014-12-16 | 2015-06-30 | Hutchinson Technology Incorporated | Piezoelectric disk drive suspension motors having plated stiffeners |
| US9318136B1 (en) | 2014-12-22 | 2016-04-19 | Hutchinson Technology Incorporated | Multilayer disk drive motors having out-of-plane bending |
| US9296188B1 (en) | 2015-02-17 | 2016-03-29 | Hutchinson Technology Incorporated | Partial curing of a microactuator mounting adhesive in a disk drive suspension |
| WO2017003782A1 (en) | 2015-06-30 | 2017-01-05 | Hutchinson Technology Incorporated | Disk drive head suspension structures having improved gold-dielectric joint reliability |
| US9646638B1 (en) | 2016-05-12 | 2017-05-09 | Hutchinson Technology Incorporated | Co-located gimbal-based DSA disk drive suspension with traces routed around slider pad |
| US10827001B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-11-03 | International Business Machines Corporation | Managing connections for data communications |
| US10742747B2 (en) | 2017-07-06 | 2020-08-11 | International Business Machines Corporation | Managing connections for data communications following socket failure |
| JP7183076B2 (ja) * | 2019-02-28 | 2022-12-05 | 日本発條株式会社 | ディスク装置用サスペンション |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04295679A (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-20 | Sony Corp | 浮動型磁気ヘッド装置 |
| DE4419085C2 (de) * | 1993-05-31 | 1999-09-02 | Murata Manufacturing Co | Chipförmiger Baustein mit piezoelektrischer Resonanz |
| US6003373A (en) * | 1995-06-07 | 1999-12-21 | Bei Sensors & Systems Company, Inc. | Closed loop resonant rotation rate sensor |
| US6065742A (en) * | 1996-09-13 | 2000-05-23 | Lord Corporation | Multi-directional tuned vibration absorber |
| US5855260A (en) * | 1996-12-13 | 1999-01-05 | The Aerospace Corporation | Tuned broadband particulate vibration absorber |
| FI104302B1 (fi) * | 1997-11-12 | 1999-12-15 | Genelec Oy | Menetelmä ja laitteisto kaiuttimen mekaanisten resonanssien vaimentamiseksi |
| US6381104B1 (en) * | 1998-11-13 | 2002-04-30 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| JP3565741B2 (ja) * | 1999-06-07 | 2004-09-15 | ヒタチグローバルストレージテクノロジーズネザーランドビーブイ | ヘッド支持アーム、その製造方法及びデータ記録装置 |
| JP2001211668A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Tdk Corp | 微小位置決めアクチュエータ、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及び該アクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリ |
| US6618220B2 (en) * | 2000-07-04 | 2003-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Head actuator and hard disc drive including the same |
| EP1304717A4 (en) * | 2000-07-27 | 2009-12-09 | Ebara Corp | FLOOR BEAM ANALYSIS APPARATUS |
-
2001
- 2001-07-04 JP JP2001203277A patent/JP4144197B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-06-26 US US10/179,209 patent/US6751062B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-11 US US10/842,555 patent/US7016155B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006190456A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Shinka Jitsugyo Kk | 減振装置を備えているマイクロアクチュエーターユニット、ヘッドジンバルアセンブリ、及びディスクドライブユニット |
| JP2006190452A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Shinka Jitsugyo Kk | マイクロアクチュエータ、制振器、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4144197B2 (ja) | 2008-09-03 |
| US20040207957A1 (en) | 2004-10-21 |
| US20030007288A1 (en) | 2003-01-09 |
| US7016155B2 (en) | 2006-03-21 |
| US6751062B2 (en) | 2004-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4144197B2 (ja) | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ | |
| JP4144198B2 (ja) | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ | |
| JP4144199B2 (ja) | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ | |
| JP2003036619A (ja) | 振動抑制機構及び振動抑制機構を備えたヘッドジンバルアセンブリ | |
| JP4790410B2 (ja) | マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアッセンブリ、及びこれを用いたディスクドライブ | |
| JP3333367B2 (ja) | ヘッドアクチュエータ | |
| JP2002050140A (ja) | ディスク装置用サスペンション | |
| JP2006244691A (ja) | マイクロアクチュエータ、これを用いたヘッドジンバルアセンブリ及びディスクドライブ | |
| US6157521A (en) | Recording/reproducing head positioning mechanism | |
| US5943191A (en) | Head suspension with resonance damping extension | |
| US11348608B2 (en) | Tri-stage design for actuator attachment on flexure | |
| US7327536B2 (en) | Suspension with integrally formed load beam load-generation member | |
| JP2006134563A (ja) | マイクロアクチュエータ、ヘッドジンバルアセンブリ、及びディスクドライブユニット | |
| JPH11260011A (ja) | ヘッド支持機構 | |
| KR100624850B1 (ko) | 광 픽업 장치 | |
| JP4232040B2 (ja) | 磁気ヘッドアクチュエータ及びこれを用いた磁気ディスク装置 | |
| JP4583714B2 (ja) | 磁気ヘッドアクチュエータ | |
| JP3317931B2 (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP2001307443A (ja) | 磁気ディスク装置 | |
| JPH10255413A (ja) | ディスク記録再生装置に適用するヘッドアクチュエータ装置 | |
| JP4806667B2 (ja) | ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びディスク・ドライブ装置 | |
| JPH11120721A (ja) | 磁気ヘッドアクチュエータ | |
| JPH11259879A (ja) | 光学式ピックアップ | |
| JPH07220293A (ja) | 光学ピックアップ用二軸アクチュエータ | |
| JPH1196711A (ja) | 微動位置決め機構付きサスペンションの信号伝達手段 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060125 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070723 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070807 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071101 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080317 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080527 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080609 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |