JP2006190456A - 減振装置を備えているマイクロアクチュエーターユニット、ヘッドジンバルアセンブリ、及びディスクドライブユニット - Google Patents

Abstract

【課題】 減振装置を持っているディスクドライブを提供する。
【解決手段】 本発明のヘッドジンバルアセンブリは、磁気ヘッドと、該磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、前記マイクロアクチュエーターを支持するサスペンション（suspension）と、前記マイクロアクチュエーターとサスペンションとの間に配置された減振装置とを含む。ここで、前記マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、ここで、少なくとも１つのアクチュエーター側肢は圧電素子を有する。前記減振装置は、マイクロアクチュエーターとサスペンションに連結されている第二基部片と、該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する。
【選択図】 図３

Description

本発明は、ディスクドライブユニットにかかり、特に、減振装置を備えているマイクロアクチュエーターユニット、ヘッドジンバルアセンブリに関する。

ディスクドライブとは、磁気媒体を用いてデータを記憶する情報記憶装置である。図１ａに示したように、従来のディスクドライブ（Disk Drive）は、磁気ディスクと、ヘッドジンバルアセンブリ２７７（Head Gimbal Assembly，HGA）を駆動するに使える駆動アーム（ヘッドジンバルアセンブリ２７７には磁気ヘッド２０３を含むサスペンションが設置されている）とを含む（図示しない）。ここで、磁気ディスクはその磁気ディスクを駆動回転するスピンドルモーターに装着され、ボイスコイルモーター（Voice-Coil Motor，VCM）は駆動アームの動作を制御する、従って、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面で一つのトラックから後一つのトラックへ移動するように制御する、即ち、磁気ディスクに対する情報の記録再生を行う。

しかし、磁気ヘッド２０３の動作過程で、ボイスコイルモーター（VCM）とサスペンションの固有許容誤差（Tolerance）によって磁気ヘッド２０３がトラックから離れる、即ち、磁気ヘッド２０３が確かに位置制御を行わなくなり、磁気ディスクに対する磁気ヘッド２０３の情報の記録再生に影響を与える。

従来技術の前記問題点を解決するため、圧電マイクロアクチュエーター（piezoelectric (PZT) micro-actuator）を使って磁気ヘッド２０３の位置変化（displacement）を調整する。即ち、圧電マイクロアクチュエーターは使って極めて小さい幅方向で磁気ヘッド２０３の位置変化（displacement）を調整すると共に、ボイスコイルモーター（VCM）とサスペンションの許容誤差を補償する。これにより、トラック幅がさらに小さくなり、ディスクドライブのTPI値（‘tracks per inch’ value）を５０％以上増加すると共に、磁気ヘッドのトラック探し時間を短くする（即ち、面記録密度を向上させる）。

図１ｂを参考すると、典型的な圧電マイクロアクチュエーター２０５にはＵ字形セラミックフレーム２９７が設置されている。該Ｕ字形セラミックフレーム２９７は２つのセラミックアーム２０７を含み、毎セラミックアーム２０７の一側には圧電片が設置されている（図示しない）。図１ａと図１ｂに示したように、圧電マイクロアクチュエーター２０５とサスペンション２１３が物理的に連結されており、ここで、毎セラミックアーム２０７の一側で、圧電マイクロアクチュエーター２０５は３つの電性連結ボール２０９（金ボール接合（gold ball bonding，GBB）若しくは半田ボール接合（solder bump bonding，SBB））によってサスペンションケーブル２１０に接続される。また、４つの電性連結ボール２０８（GBB若しくはSBB）によって磁気ヘッド２０３とサスペンションケーブル２１０が電性連結される。マイクロアクチュエーター２０５への磁気ヘッド２０３の装着方法は、図１ｃの通りである。ここで、磁気ヘッド２０３と２つのセラミックアーム２０７の上の両点２０６はエポキシ接着剤２１２で粘着されることによって、磁気ヘッド２０３はマイクロアクチュエーター２０５のセラミックアーム２０７に依頼して動作する。

電流がサスペンションケーブル２１０を通してマイクロアクチュエーター２０５に加わられると、マイクロアクチュエーター２０５の圧電片が膨張若しくは収縮され、従って、Ｕ字形セラミックフレーム２９７の２つのセラミックアーム２０７を変形させて、磁気ヘッド２０３を磁気ディスクのトラックの上で移動させる。これによって、優れた磁気ヘッドの位置調整動作（head position adjustment）が行われる。

しかし、前記マイクロアクチュエーター２０５と磁気ヘッド２０３がサスペンション舌部（図示しない）に装着されているため、マイクロアクチュエーター２０５を激発する時、該マイクロアクチュエーター２０５は簡単な平行移動をして、磁気ヘッド２０３を磁気ディスクの上で揺動させ、前記揺動動作によってサスペンション舌部に作用する反作用力が発生する、従って、サスペンション基板の揺動による共振と同じサスペンションの共振を発生させる。従って、ヘッドジンバルアセンブリの動態性能に影響を与えるし、ディスクドライブのサーボシステム帯幅及び保存容量を向上させることができる。図２を参考すると、標号２０１はサスペンション基板を揺動する時の共振曲線を示し、標号２０２はマイクロアクチュエーター２０５を激発する時の共振曲線を示す、周波数が２０Ｋ以内範囲で、該曲線のプラス側とマイナス側に多くのサスペンションの周波数と応じる増益ピークが存在し、該増益曲線は悪い共振特性を示す。該図では前記問題点をはっきり示した。

よって、マイクロアクチュエーターユニット、ヘッドジンバルアセンブリ、及びディスクドライブを提供して従来技術の欠点を解消するのが望まれる。

そこで、本発明の第１の目的は、マイクロアクチュエーターユニットを激発する時に優れた共振特性を持っているヘッドジンバルアセンブリを提供することにある。
本発明の第２の目的は、減振装置を持っているマイクロアクチュエーターユニットを提供することにある。
本発明の第３の目的は、大きいサーボシステム帯幅及び保存容量を持っているディスクドライブユニットを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のヘッドジンバルアセンブリは、磁気ヘッドと、該磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、前記マイクロアクチュエーターを支持するサスペンション（suspension）と、前記マイクロアクチュエーターとサスペンションとの間に配置された減振装置とを含む。ここで、該マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、ここで、少なくとも１つのアクチュエーター側肢は圧電素子を有する。

本発明の一つの実施形態の中で、前記減振装置は、マイクロアクチュエーターとサスペンションに連結されている第二基部片と、該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する。ここで、前記第一方向と第二方向は前記第二基部片と垂直する。本発明の他の実施例において、前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した２つの減振アームとを備え、前記２つの減振アームの自由端がお互いに連結されている。本発明のもう１つの実施例において、前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した１つの減振アームとを備え、前記１つの減振アームは、前記第二基部片の中部若しくは側部から延伸されている。

本発明において、マイクロアクチュエーターと減振装置の間に第一平行間隙が形成されており；サスペンションと前記少なくとも１つの減振アームの間に第二平行間隙が形成されてある。前記少なくとも１つの圧電素子は、薄膜圧電素子若しくはセラミック圧電素子である。前記毎圧電素子は、単層若しくは多層構成を備えていることができる。
本発明のマイクロアクチュエーターユニットは、磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと圧電素子と減振装置とを含み、ここで、該マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、前記圧電素子は、少なくとも１つのアクチュエーター側肢に設置しており、前記減振装置はマイクロアクチュエーターに連結されている。

本発明において、前記減振装置は、マイクロアクチュエーターに連結されている第二基部片と、該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する。
本発明のディスクドライブユニットは、ヘッドジンバルアセンブリと、該ヘッドジンバルアセンブリに連結されているドライブアームと、磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転させるに使えるスピンドルモーターとを備えている。ここで、前記ヘッドジンバルアセンブリは、磁気ヘッドと、該磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、前記マイクロアクチュエーターを支持するサスペンションと、前記マイクロアクチュエーターとサスペンションとの間に配置された減振装置を備える；前記マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢と、少なくとも１つのアクチュエーター側肢に設置されている圧電素子とを備える；前記減振装置は、マイクロアクチュエーターとサスペンションに連結されている第二基部片と、該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する。

従来技術と比較して、本発明では、マイクロアクチュエーターとサスペンションの間に減振装置を設置させており、これによって、マイクロアクチュエーターが激発された時に発生した第一反作用力が減振装置に伝送されると共に、該減振装置も激発されてもう１つの前記第一反作用力と相消する反作用力を発生する。これによって、サスペンションには力を加えなくなり、従って、マイクロアクチュエーターの動作によるサスペンションの共振を除去することができる。また、低い波段でのサスペンションの共振を除去して、高い波段でのマイクロアクチュエーターの共振ばかり発生させたため、ディスクドライブのサーボシステム帯幅及び保存容量を向上させることができる。

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図３に示したように、本発明のヘッドジンバルアセンブリ３は、磁気ヘッド３１、マイクロアクチュエーター３２、及び前記磁気ヘッド３１とマイクロアクチュエーター３２を支持するサスペンション８を備えている。前記ヘッドジンバルアセンブリ３は、マイクロアクチュエーター３２とサスペンション８の間に設置させてある減振装置３３をさらに含む。
図３に示したように、サスペンション８は、ロードビーム（load beam）１７、フレキシ（flexure）１３、ヒンジ（hinge）１５、及び基板（base plate）１１を含む。フレキシ１３の上には複数の電極パッド３０８を設置し、該複数の電極パッド３０８の一端と制御システムが連結されており（図示しない）、その他端部は複数のケーブル３０９，３１１と接続する。図４（ａ）と図５に示したように、前記フレキシ１３は、前記減振装置３３とマイクロアクチュエーター３２と磁気ヘッド３１とを支持するサスペンション舌部（suspension tongue）３２８をさらに含む。図６に示したように、ロードビーム１７の上には、サスペンション舌部３２８を支持するに使えられる突起部３２９が設置されている。
図３乃至図５に示したように、前記ロードビーム１７には位置限定装置２０７が形成されており、該位置限定装置２０７はサスペンション舌部３２８を通じて該サスペンション舌部３２８がディスクドライブの上で動作する時の震動とか衝突による過度な湾曲を阻止する。前記サスペンション舌部３２８には、複数の電極パッド１１３と３１０が設置されている。磁気ヘッド３１の一端の前記サスペンション舌部３２８の電極パッド１１３と対応する位置には複数の電極パッド２０４が設置されている。

本発明において、図３至図５に示したように、前記マイクロアクチュエーター３２は、Ｕ字形フレームを含み、前記Ｕ字形フレームは、２つの側肢３２１，３２３と、該側肢と連結する１つの底肢３２０を含む。毎側肢３２１，３２３には少なくとも１つの圧電片（例えば、圧電片３２１a,３２３a）が設置されてある。図５に示したように、前記毎側肢３２１，３２３は、前記複数の電極パッド３１０と対応するように設置した電極パッド３２７をさらに含む。１つの実施例において、圧電片３２１aと側肢３２１の外壁、圧電片３２３aと側肢３２３の外壁がお互いに連結されてある。

本発明において、前記減振装置３３は、１つのフレームと該フレームに連結される少なくとも１つの圧電片とを含む。前記フレームとマイクロアクチュエーター３２とサスペンション８がお互いに連結されている。
図５に示したように、本発明の第一実施例として、前記フレームも１つのＵ字形フレームであり、前記Ｕ字形フレームは、２つの側肢３３１，３３３と、該側肢と連結する１つの底肢３３０を含む。前記フレームとマイクロアクチュエーター３２が連結される時、前記側肢３２１，３２３が底肢３２０から第一方向に延伸すると共に、側肢３３１，３３３もそれぞれ底肢３３０から第一方向と同じ方向に沿って延伸する。前記毎側肢３３１，３３３は、電極パッド３１０と対応する複数の電極パッド３３７をさらに含む。前記Ｕ字形フレームは、金属（例えば、ステンレス等）、セラミック、シリコン（例えば、単結晶シリコン）若しくは重合体からなることができる。２つの圧電片３３１a,３３３aは、それぞれ典型的な連結方式（例えば、エポキシによる連結方式、若しくは異方性伝導膜（anisotropic conductive film、ACF）による連結方式）によって側肢３３１，３３３と連結する。一実施例として、圧電片３３１aと側肢３３１の内壁、圧電片３３３aと側肢３３３の内壁がお互いに連結されてある。

前記圧電片３２１a，３２３a，３３１a，３３３aは、薄膜圧電材料によって作られるのが好ましい，該圧電片は単層若しくは多層構成をしていることができる。同様に、圧電片３２１a，３２３a，３３１a，３３３aは、セラミック圧電材料によって作られるのが好ましい，該圧電片は単層若しくは多層構成をしていることができる。

図４（ｂ）に示したように、本発明の一実施例として、圧電片３２１aは、二種類の電極３５２，３５８が交互に重ね合って設けられた多層構成をしている。圧電片３２１aの一端では、二種類の電極３５２，３５８がそれぞれ２つの電極パッド３５５と連結する。本発明の一実施例として、前記圧電片３２１a，３２３a，３３１a，３３３aは単段階若しくは多段階構造を持っている。

図３乃至図５に示したように、本発明の一実施例として、磁気ヘッド３１は２つのエポキシ接着剤３２４によって、２つの側肢３２１，３２３の両点部分（図示しない）に連結される。前記マイクロアクチュエーター３２の底肢３２０と減振装置３３の底肢３３０は、エポキシ接着剤４０４によって連結され、前記減振装置３３の底肢３３０は、ＡＣＦ、粘着剤、若しくはエポキシ接着剤によって、フレキシ１３のサスペンション舌部３２８に連結られている。

続いて、複数の金属ボール３０５（GBB、SBB、若しくは導電接着剤）を使って前記マイクロアクチュエーター３２の電性接続パッド３２７と減振装置３３の電性接続パッド３３７とを電気的に連結する。また、複数の金属ボール３８０（GBB、SBB、若しくは導電接着剤）を使って減振装置３３の電性接続パッド３３７とサスペンション舌部３２８の電性接続パッド３１０とを連結する。これによって、マイクロアクチュエーター３２と減振装置３３とサスペンション８の２つのケーブル３１１が電気的に連結される。また、複数の金属ボール４０５を使って磁気ヘッド３１の電性接続パッド１１３とサスペンション舌部３２８の動く片部の上の電極パッド１１３と電気的に連結されることによって、磁気ヘッド３１とケーブル３０９とが電気的に連結される。ケーブル３０９，３１１、及び接続パッド３０８によって、磁気ヘッド３１とマイクロアクチュエーター３２と制御システムとが電気的に連結される（図示しない）。

本発明において、図６に示したように、減振装置３３とサスペンション舌部３２８の間には、減振装置３３の自由移動を確保する１つの平行間隙５０５が形成されている。また、マイクロアクチュエーター３２と減振装置３３の間にも１つの平行間隙５０３が形成されている。ここでは、磁気ヘッド３１と２つの側肢３２１，３２３が部分的に連結され、また、マイクロアクチュエーター３２と減振装置３３の間に１つの平行間隙５０３が形成されているので、マイクロアクチュエーター３２が駆動された時、磁気ヘッド３１が自由移動することができる。

続いて、図７（ａ）乃至（ｅ）を参考して減振装置の動作原理について説明する。
図７（ａ）は、２つの圧電片３２３a 、３３３aの間の電性連結関係を示し、前記圧電片３２３a 、３３３aはサスペンション舌部３２８の同じ側に近寄る位置に設置されている。本実施例において、図７（ａ）に示したように、前記圧電片３２３a 、３３３aは、同じ極化方向を持っているし、それらは一端４０４により共に接地され、他端部４０１aと４０１bには、同じサイン波形４０７（図７（ｄ）を参照）を有する２つの電圧が加える。前記圧電片３２３a 、３３３aにサイン波形４０７が加えた時、第一の半周期で前記圧電片３２３a 、３３３aは駆動電圧の増加によって収縮され、その後、駆動電圧の下降によってその原始位置へ次第に戻る。ここで、圧電片３２３aが側肢３２３の外側に接着されているので、該側肢３２３は外側へ湾曲され、それと対応して、底肢３２０には１つの反作用力Ｆ１が発生する。また、マイクロアクチュエーター３２の底肢３２０が減振装置３３の底肢３３０に接着されているので、前記反作用力Ｆ１は減振装置３３の底肢３３０へ伝送される。また、圧電片３３３aが側肢３３３に接着されているので、該側肢３３３は内側へ湾曲される。 減振装置３３の底肢３３０には、１つの反作用力Ｆ２が発生される。ここで、反作用力Ｆ１とＦ２の大きさを同じ、方向は相反するように制御することによって、底肢３３０に加える合力をゼロにする。即ち、サスペンション８は側肢３２３の動作による影響を受けない。サイン波形４０７が第二の半周期になった時（第一の半周期と相反する状態）、圧電片３２３a 、３３３aは駆動電圧の増加によって膨張され、その後、駆動電圧の下降によってその原始位置へ次第に戻る。それと対応して、反作用力Ｆ１とＦ２はその方向を変化し、底肢３３０に加える合力をゼロにする。圧電片３２１a 、３３１aの動作原理も圧電片３２３a 、３３３aと似ていて、ここで詳しい説明は省略する。

本発明の他の実施例において、前記２つの圧電片は相反する極化方向を持っている、図７（ｂ）に示したように、その一端４０４は共に接地され、他端部４０１aと４０１bには、違う位相を持つ波形４０６，４０８（図７（ｃ）を参照）を有する２つの電圧が加える。前記電圧の駆動によって、圧電片３２１a 、３３１aは同じ半周期で次第に収縮され、その後、また該原始位置に戻る；後の半周期になった時、圧電片３２１a 、３３１aは次第に収縮され、その後、また該原始位置に戻る。それと対応して、反作用力Ｆ１とＦ２が発生し、底肢３３０に加える合力はまたゼロになる。

図８（ａ）（ｂ）では、本発明のヘッドジンバルアセンブリの共振性能の試験結果を示す。ここで、標号８０２は、マイクロアクチュエーターの動作による共振曲線（micro-actuator operation resonance curve）を示す。該曲線は位相曲線８０６を含む；標号８０３は、減振装置の動作による共振曲線を示す。該曲線は相反する位相８０４を含む。 減振装置３３の作用によって、サスペンション８の振動が除去される。標号８０５は、本発明のヘッドジンバルアセンブリの共振増益曲線を示し、標号８０８は、前記曲線の位相曲線を示す。 同じに、前記図面では、サスペンションの共振が低い波段で発生しないことを示し、従って、サーボシステム帯幅及び保存容量を向上させると共に、トラック探し時間と位置確定時間を短縮した。

本発明の第二実施例において、図９ａに示したように、マイクロアクチュエーター３２と減振装置３３が後述状態でお互いに粘着される。即ち、側肢３２１，３２３が底肢３２０から第一方向に延伸し、側肢３３１，３３３は底肢３３０から前記第一方向と相反する方向に延伸する。

本発明の第三実施例において、図９ｂに示したように、マイクロアクチュエーター３２と減振装置３３のフレームは、１つのフレームは一体成型される。即ち、１つの底肢２３と２つの側肢２７，２９を含む。２つの間隙２５は、それぞれ２つの側肢２７，２９の上に形成され、従って、側肢２７を第一側肢３２１’と第二側肢３３１’に分けるし、側肢２９を第一側肢３２３’と第二側肢３３３’に分ける。

本発明の第四実施例において、図９ｃに示したように、減振装置３３のフレームは、２つの側肢３３１，３３３を連結する頂肢３３４をさらに含む。

本発明の第五実施例において、図９ｄに示したように、前記２つの圧電片３３３aは、側肢３３１，３３３の外側に連結されることができる。

本発明の第六実施例において、図９ｅに示したように、減振装置３３は、底肢３３０と１つの側肢３３７を含むフレームを備えることができるし、前記１つの側肢３３７は、底肢３３０の中部から延伸される。２つの圧電片３３７a、３３７bは側肢３３７の両側に粘着されることができる。

本発明の第七実施例において、図９ｆに示したように、減振装置３３は、底肢３３０と１つの側肢３３８を含むフレームを備えることができるし、前記１つの側肢３３８は、底肢３３０の端部から延伸される。２つの圧電片３３８aは側肢３３８の両側に粘着されることができる。

本発明の第八実施例において、図９ｇに示したように、減振装置33は、底肢３３０と１つの側肢３３９を含むフレームを備えており、前記１つの側肢３３９は、底肢３３０の端部から延伸される。２つの圧電片３３９aは側肢３３９の両側に粘着されている。減振装置３３とマイクロアクチュエーター３２は、それらの底肢３２０と底肢３３０が粘着されることにより連結される。同時に、側肢３２１，３２３は底肢３２０から第一方向に延伸し、側肢３３９は底肢３３０から前記第一方向と相反する方向に延伸する。前記実施例と第一実施例の動作原理と似ているので、ここでは詳しい説明を略する。

従来技術と比較して、本発明では、マイクロアクチュエーターとサスペンションの間に減振装置を設置せており、これによって、マイクロアクチュエーターが激発された時に発生した第一反作用力が減振装置に伝送されると共に、該減振装置も激発されてもう１つの前記第一反作用力と相消する反作用力を発生する。これによって、サスペンションには力を加えなくなり、従って、マイクロアクチュエーターの動作によるサスペンションの共振を除去することができる。また、低い波段でのサスペンションの共振を除去して、高い波段でのマイクロアクチュエーターの共振ばかり発生させたため、ディスクドライブのサーボシステム帯幅及び保存容量を向上させることができる。

本発明において、図１０に示したように、本発明の減振特性を持っているディスクドライブユニットは、本体１０８、磁気ディスク１０１、スピンドルモーター１０２、及び本発明で開発したマイクロアクチュエーターが位置調整する時に優れた共振特性を持っているヘッドジンバルアセンブリ３のボイスコイルモーター１０７等を装着することによりなる。ディスクドライブユニットのこのような構造、動作方式、装着プロセスは当業者が周知しているから詳細な説明は省略する。

本発明は、マイクロアクチュエーターユニットを激発する時に優れた共振特性を持っているヘッドジンバルアセンブリを提供するので、産業上の利用可能性を有する。

従来例におけるヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。 図１ａの一部を拡大して示す図である。 図１ａに示すヘッドジンバルアセンブリのマイクロアクチュエーターの中に磁気ヘッドを挿入する一般的な過程を示す。 図１aのヘッドジンバルアセンブリの共振曲線（resonance curve）を示す。 本発明のヘッドジンバルアセンブリの第一実施例における斜視図である。 （ａ）は図３のヘッドジンバルアセンブリの一部を示す拡大斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示すヘッドジンバルアセンブリの圧電片の一部を示す拡大斜視図である。 図４（ａ）の展開斜視図である。 図３のヘッドジンバルアセンブリがマイクロアクチュエーターに配置されて時の一部を示す側面視図である。 （ａ）は図３のヘッドジンバルアセンブリの２つの圧電片の電性連結関係を示す本発明の一実施例で、前記２つの圧電片は同じ極化方向を持っている。（ｂ）は図３のヘッドジンバルアセンブリの２つの圧電片の電性連結関係を示す本発明の一実施例で、前記２つの圧電片は相反する極化方向を持っている。（ｃ）は（ｂ）に示す２つの圧電片にそれぞれ加えた２つの電圧の波形図である。（ｄ）は（ａ）に示す２つの圧電片にそれぞれ加えた２つの電圧の波形図である。（ｅ）は図３のヘッドジンバルアセンブリの減振装置の動作原理を示す。 （ａ）（ｂ）はそれぞれ図３のヘッドジンバルアセンブリの比較共振曲線図である。 本発明の減振装置の第二実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第三実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第四実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第五実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第六実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第七実施例を示す斜視図である。 本発明の減振装置の第八実施例を示す斜視図である。 本発明の一実施形態としてのディスクドライブユニットの斜視図である。

符号の説明

３ ヘッドジンバルアセンブリ
８ サスペンション
１１ 基板（base plate）
１３ フレキシ（flexure）
１５ ヒンジ（hinge）
１７ ロードビーム（load beam）
３１ 磁気ヘッド
３２ マイクロアクチュエーター
３３ 減振装置
２０４ 電極パッド
２０７ 位置限定装置
３０５ 金属ボール
３０８ 電極パッド
３０９，３１１ ケーブル
２７，２９，３２１，３２３，３３１，３３３ 側肢（side arms）
３２０，３３０ 底肢
３２１a，３２３a，３３１a，３３３a 圧電片
３２８ サスペンション舌部（suspension tongue）

Claims (18)

1. 磁気ヘッドと、
   該磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、該マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、ここで、少なくとも１つのアクチュエーター側肢は圧電素子を有する、
   前記マイクロアクチュエーターを支持するサスペンション（suspension）と、
   前記マイクロアクチュエーターとサスペンションとの間に配置された減振装置と
   を備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
2. 前記減振装置は、
   マイクロアクチュエーターとサスペンションに連結する第二基部片と、
   該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、
   前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する
   ことを特徴とする請求項１記載のヘッドジンバルアセンブリ。
3. 前記第一方向と第二方向は、第二基部片と垂直する
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
4. 前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した２つの減振アームとを備え、
   前記２つの減振アームの自由端がお互いに連結されている
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
5. 前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した１つの減振アームとを備え、
   前記減振アームは、前記第二基部片の中部若しくは側部から延伸されている
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
6. 前記マイクロアクチュエーターと前記減振装置の間には、第一平行間隙が形成されており、前記サスペンションと前記少なくとも１つの減振アームの間には、第二平行間隙が形成されている
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
7. 前記少なくとも１つの圧電素子は、薄膜圧電素子若しくはセラミック圧電素子である
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
8. 前記毎の圧電素子は、単層若しくは多層構造をしている
   ことを特徴とする請求項２記載のヘッドジンバルアセンブリ。
9. 磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、該マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、ここで、少なくとも１つのアクチュエーター側肢は圧電素子を有する、
   前記マイクロアクチュエーターに連結する減振装置と
   を備えたことを特徴とするマイクロアクチュエーターユニット。
10. 前記減振装置は、
    マイクロアクチュエーターに連結する第二基部片と、
    該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、
    前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する
    ことを特徴とする請求項９記載のマイクロアクチュエーターユニット。
11. 前記第一方向と第二方向は、第二基部片と垂直する
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
12. 前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した２つの減振アームとを備え、
    前記２つの減振アームの自由端がお互いに連結されている
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
13. 前記減振装置は、第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した１つの減振アームとを備え、
    前記減振アームは、前記第二基部片の中部若しくは側部から延伸されている
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
14. 前記マイクロアクチュエーターと前記減振装置の間には一平行間隙が形成されている
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
15. 前記少なくとも１つの圧電素子は、薄膜圧電素子若しくはセラミック圧電素子である
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
16. 前記毎の圧電素子は、単層若しくは多層構成を備えている
    ことを特徴とする請求項１０記載のマイクロアクチュエーターユニット。
17. ヘッドジンバルアセンブリと、該ヘッドジンバルアセンブリに連結されているドライブアームと、磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転するに使えるスピンドルモーターとを備えているディスクドライブユニットであって、
    磁気ヘッドと、
    該磁気ヘッドの位置を調整するマイクロアクチュエーターと、該マイクロアクチュエーターは、第一基部片と、前記第一基部片から第一方向へ延伸した一対のアクチュエーター側肢（side arms）を含み、ここで、少なくとも１つのアクチュエーター側肢は圧電素子を有する、
    前記マイクロアクチュエーターを支持するサスペンション（suspension）と、
    前記マイクロアクチュエーターとサスペンションとの間に配置された減振装置
    を備えたことを特徴とするディスクドライブユニット。
18. 前記減振装置は、
    マイクロアクチュエーターとサスペンションに連結する第二基部片と、
    該第二基部片から第一方向若しくは第二方向へ延伸した少なくとも１つの減振アームとを備え、
    前記少なくとも１つの減振アームは少なくとも１つの圧電素子を有する
    ことを特徴とする請求項１７記載のディスクドライブユニット。
    

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