JP2003023121A - 半導体集積回路装置、実装基板および実装体 - Google Patents
半導体集積回路装置、実装基板および実装体Info
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Abstract
される半導体集積回路装置を提供する。 【解決手段】 実装基板100の上にIC装置400を
実装した実装体600では、電極331〜346のそれ
ぞれと電極131〜146のそれぞれ、電極351と1
51、電極352aと152a、電極352bと152
b、電極353aと153a、電極354aと154
a、電極354bと154b、電極361と161、電
極362aと162a、電極362bと162b、電極
363aと163a、電極364aと164a、電極3
64bと164b、電極371と171、電極372a
と172a、電極372bと172b、電極373aと
173a、電極374aと174a、電極374bと1
74b、電極381と181、電極382aと182
a、電極382bと182、電極383aと183a、
電極384aと184a、電極384bと184b、が
それぞれ接続されている。
Description
置および実装基板に関し、特に、半導体集積回路装置の
信頼性向上に関する。
する半導体集積回路装置を実装する実装基板は、半導体
集積回路装置への電源電圧の供給と、半導体集積回路装
置と外部と間で信号の入出力を行なうために利用され
る。以下、複数の電源端子と複数の信号端子とを有する
半導体集積回路装置を実装する従来の実装基板につい
て、図面を参照しながら説明する。
来の実装基板の構成を示す図である。
半導体集積回路装置2400が搭載されている。実装基
板2000は、第1層目のサブ基板2100と、第2層
目のサブ基板2600とからなり、第2層目のサブ基板
2600上に第1層目の実装基板2100が設けられて
いる。
積回路装置に形成された信号端子セル2431〜244
6と、半導体集積回路装置の各辺に形成された電源端子
セル2451〜2453、2461〜2463、247
1〜2473および2481〜2483とを備える。
導体集積回路装置2400と外部との間で信号の入出力
を行なうための信号端子電極2331〜2346がそれ
ぞれ形成されている。
1〜2463、2471〜2473および2481〜2
483には、電源電圧を半導体集積回路装置2400内
部に供給するための電源電極2351〜2353、23
61〜2363、2371〜2373および2381〜
2383がそれぞれ形成されている。
めの入出力端子2101〜2116、および電源端子2
121〜2123と、信号配線2201〜2216と、
電源配線2251〜2253と、電源配線2261〜2
263、2271〜2273および2281〜2283
と、が設けられている。各入出力端子2101〜211
6と半導体集積回路装置2400に設置された信号端子
電極2331〜2346とは、信号配線2201〜22
16によってそれぞれ接続されている。
積回路装置2400に設けられた電源電極2351〜2
353とは、電源配線2251〜2253によってそれ
ぞれ接続されている。電源配線2261〜2263のう
ち、各電源端子2121〜2123と電源電極2351
〜2353との間では、コンタクト配線2651〜26
53にも分岐して接続されている。
極2361〜2363、2371〜2373および23
81〜2383は、それぞれ電源配線2261〜226
3、2271〜2273および2281〜2283によ
ってコンタクト配線2661〜2663、2671〜2
673および2681〜2683に接続されている。
2603を備える。電源配線2601は、サブ基板21
00上の電源配線2251、2261、2271および
2281に、それぞれコンタクト配線2651、266
1、2671および2681を介して接続されている。
100上の電源配線2252、2262、2272およ
び2282に、それぞれコンタクト配線2652、26
62、2672および2682を介して接続されてい
る。
0上の電源配線2253、2263、2273および2
283に、それぞれコンタクト配線2653、266
3、2673および2683を介して接続されている。
の動作について以下に説明する。
力されると、この信号は、それぞれサブ基板2100上
に形成された信号配線2201〜2216を通じて半導
体集積回路装置2400の電極2331〜2346のそ
れぞれに入力される。逆に、半導体集積回路装置240
0から出力される信号は、電極2331〜2346から
信号配線2201〜2216を通じて信号端子2101
〜2116に出力される。つまり、入力信号と全く逆の
経路で出力される。
は、サブ基板2100上に形成された配線2251を通
じて、半導体集積回路装置2400の電極2351に供
給される。続いて、電源電圧は、電源端子セル2451
を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給され
る。またそれと同時に、電源端子2121から供給され
た電源電圧は、順にサブ基板2100上に形成された電
源配線2251、コンタクト配線2651、サブ基板2
600に形成された電源配線2601、コンタクト配線
2661、2671および2681を通じて、電源電極
2361、2371、2381に供給される。続いて、
電源電圧は、電源端子セル2461、2471および2
481を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給
される。
は、サブ基板2100上に形成された配線2252を通
じて、半導体集積回路装置2400の電極2352に供
給される。続いて、電源電圧は、電源端子セル2452
を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給され
る。またそれと同時に、電源端子2122から供給され
た電源電圧は、順にサブ基板2100上に形成された電
源配線2252、コンタクト配線2652、サブ基板2
600に形成された電源配線2602、コンタクト配線
2662、2672および2682を通じて、電源電極
2362、2372、2382に供給される。続いて、
電源電圧は、電源端子セル2462、2472および2
482を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給
される。
は、サブ基板2100上に形成された配線2253を通
じて、半導体集積回路装置2400の電極2353に供
給される。続いて、電源電圧は、電源端子セル2453
を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給され
る。またそれと同時に、電源端子2123から供給され
た電源電圧は、順にサブ基板2100上に形成された電
源配線2253、コンタクト配線2653、サブ基板2
600に形成された電源配線2603、コンタクト配線
2663、2673および2683を通じて、電源電極
2363、2373、2383に供給される。続いて、
電源電圧は、電源端子セル2463、2473および2
483を通じて半導体集積回路装置2400内部へ供給
される。
実装基板として2層のサブ基板を用いており、実装基板
の製造コストが増大するという課題がある。
体集積回路装置2400の4辺にそれぞれ設けられてい
る電源端子セルのうち、電源端子セル2451〜245
3のみを設ける構成とし、半導体集積回路装置2400
内部で全体へ電源電圧を供給する方法が考えられる。し
かしながら、半導体集積回路装置2400内部で全体へ
電源電圧を供給する場合、電圧降下などによって回路の
末端にまで十分な電流が供給されず、半導体集積回路装
置2400が正常に動作しないことがある。つまり、上
記の方法では、電流供給能力が不足しやすいので、半導
体集積回路装置2400が動作不良を起こすおそれがあ
り、実用的ではない。
なされたものであり、製造コストの低い実装基板および
それに実装される半導体集積回路装置を提供することを
目的とする。
装置は、半導体集積回路が形成された半導体チップと、
上記半導体チップに設けられ、電源ラインに接続される
少なくとも1つの前段電源端子対と、上記少なくとも1
つの前段電源端子対とは共通の電源ラインに接続される
上記半導体チップに設けられた複数の後段電源端子対
と、上記少なくとも1つの前段電源端子対の間を互いに
接続する少なくとも1つの前段配線と、上記複数の後段
電源端子対の間を互いに接続する上記後段電源端子対と
同数の後段配線とを備え、上記少なくとも1つの前段電
源端子対と上記複数の後段電源端子対とは、実装基板上
に実装された状態で互いに閉回路を構成するように接続
されている。
源端子対と複数の後段電源端子対とは、実装基板上に実
装された状態で互いに閉回路を構成する。このため、半
導体集積回路装置の各電源端子対は等電位となる。従っ
て、各電源端子対から半導体集積回路装置全体に十分な
電源電圧が供給される。
前段電源端子対および上記後段電源端子対を形成する材
料よりも電気抵抗の低い材料で形成されていることが好
ましい。
線における電圧降下を最小限に抑えることができる。
に設けられ、上記電源ラインとは別の電源ラインに接続
される中央の前段電源端子と、上記中央の前段電源端子
とは共通の電源ラインに接続される上記複数の後段電源
端子対のそれぞれの間に設けられた複数の中央の後段電
源端子とをさらに備え、上記中央の前段電源端子と上記
複数の中央の後段電源端子とは、実装基板上に実装され
た状態で互いに接続されている構成としてもよい。
源端子対の間の距離がそれぞれ最短になるように配置さ
れていることが好ましい。
たときに、前段電源端子対の間および後段電源端子対の
間を接続する配線における電圧降下を最小限に抑えるこ
とができる。
インに接続され、上記前段電源端子対は、第2から第N
の電源ラインに接続される第2から第Nの複数の対から
構成され、上記後段電源端子対は、第2から第Nの電源
ラインに接続される第2から第Nの複数の対から構成さ
れていてもよい。
子対の外方に設けられた少なくとも1つの信号端子をさ
らに備える構成としてもよい。
の信号配線の配線領域と電源ラインの配線領域が分離で
きるので、ノイズによる信号品質および電源品質の低下
を抑制することができる。
を実装するための実装領域を有する基板と、上記実装領
域内に設けられ、電源ラインに接続される少なくとも1
つの前段側電源入力電極対と、上記少なくとも1つの前
段側電源入力電極対とは共通の電源ラインに接続される
上記実装領域内に設けられた複数の後段側電源入力電極
対と、上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対と上
記複数の後段側電源入力電極対とを接続するための配線
とを備え、上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対
と上記複数の後段電源端子対とは、上記実装領域上に半
導体集積回路装置が実装された状態で互いに閉回路を構
成するように接続されている。
電源入力電極対と複数の後段電源端子対とは、上記実装
領域上に半導体集積回路装置が実装された状態で互いに
閉回路を構成する。このため、少なくとも1つの前段側
電源入力電極対と複数の後段電源端子対に接続される半
導体集積回路装置の各電源端子対は等電位となる。従っ
て、半導体集積回路装置全体に十分な電源電圧を供給す
ることが可能な単層の実装基板が得られる。
対の間に設けられ、上記電源ラインとは別の電源ライン
に接続される中央の前段側電源入力電極と、上記中央の
前段側電源入力電極とは共通の電源ラインに接続される
上記複数の後段側電源入力電極対のそれぞれの間に設け
られた複数の中央の後段側電源入力電極と、上記中央の
前段側電源入力電極と上記複数の中央の後段側電源入力
電極とを互いに接続する配線とをさらに備えている構成
としてもよい。
電源ラインに接続され、上記前段側電源入力電極対は、
第2から第Nの電源ラインに接続される第2から第Nの
複数の対から構成され、上記後段側電源入力電極対は、
第2から第Nの電源ラインに接続される第2から第Nの
複数の対から構成されていてもよい。
された半導体チップと、上記半導体チップに設けられ、
電源ラインに接続される少なくとも1つの前段電源端子
対と、 上記少なくとも1つの前段電源端子対とは共通
の電源ラインに接続される上記半導体チップに設けられ
た複数の後段電源端子対と、上記少なくとも1つの前段
電源端子対の間を互いに接続する少なくとも1つの前段
配線と、上記複数の後段電源端子対の間を互いに接続す
る上記後段電源端子対と同数の後段配線とを備える半導
体集積回路装置と、上記半導体集積回路装置を実装する
ための実装領域を有する基板と、上記実装領域内に設け
られ、上記少なくとも1つの前段電源端子対に接続され
る少なくとも1つの前段側電源入力電極対と、上記複数
の後段電源端子対にそれぞれ接続される上記実装領域内
に設けられた複数の後段側電源入力電極対と、上記少な
くとも1つの前段側電源入力電極対と上記複数の後段側
電源入力電極対とを接続するための配線とを備える実装
基板とからなり、上記実装領域上に上記半導体集積回路
装置が実装されている。
電源入力電極対と複数の後段電源端子対とは、上記実装
領域上に半導体集積回路装置が実装された状態で互いに
閉回路を構成する。このため、少なくとも1つの前段側
電源入力電極対と複数の後段電源端子対に接続される半
導体集積回路装置の各電源端子対は等電位となる。
を参照しながら説明する。
を示す図である。図2は、本発明の実施形態に係る半導
体集積回路装置を示す図である。図3は、本発明の実施
形態において、図2の半導体集積回路装置を図1の実装
基板に実装したときの構造を示す図である。
C装置を実装するための矩形の実装領域Mを有する基板
100aと、実装領域M内の各端辺に設けられた信号端
子101〜116と、電源端子121〜124と、実装
領域M内の各端辺に設けられたIC装置と接続するため
の電極131〜146、151、152a、152b、
153a、153b、154a、154b、161、1
62a、162b、163a、163b、164a、1
64b、171、172a、172b、173a、17
3b、174a、174b、181、182a、182
b、183a、183b、184aおよび184bと、
信号配線201〜216と、電源配線221〜224、
251〜254、262〜264、272〜274およ
び282〜284とを備える。
子121〜124と、半導体集積回路装置と接続するた
めの電極131〜146、151、152a、152
b、153a、153b、154a、154b、16
1、162a、162b、163a、163b、164
a、164b、171、172a、172b、173
a、173b、174a、174b、181、182
a、182b、183a、183b、184aおよび1
84bと、信号配線201〜216と、電源配線221
〜224、251〜254、262〜264、272〜
274および282〜284とは、全て基板100a上
に設けられている。
46とは、それぞれ信号配線201〜216によって互
いに接続されている。
配線221〜224によって電極151、152b、1
53bおよび154bに接続されている。
って電極161、電極171および電極181と接続さ
れている。
極182bに、電極153aは、電源配線253によっ
て電極183bに、電極154aは、電源配線254に
よって電極184bに、それぞれ接続されている。
電極162aに、電極153bは、電源配線263によ
って電極163aに、電極154bは、電源配線264
によって電極164aに、それぞれ接続されている。
電極172aに、電極163bは、電源配線273によ
って電極173aに、電極164bは、電源配線274
によって電極174aに、それぞれ接続されている。
電極182aに、電極173bは、電源配線283によ
って電極183aに、電極174bは、電源配線284
によって電極184aに、それぞれ接続されている。
装置(以下、IC装置と称す)400について説明す
る。
端辺に設けられた信号端子セル431〜446と、各端
辺に設けられた電源端子セル451、452a、452
b、453a、453b、454a、454b、46
1、462a、462b、463a、463b、464
a、464b、471、472a、472b、473
a、473b、474a、474b、481、482
a、482b、483a、483b、484aおよび4
84bと、金属配線552〜554、562〜564、
572〜574および582〜584とを備える。
置400内部と外部とを接続するための電極331〜3
46がそれぞれ設けられている。
b、453a、453b、454a、454b、46
1、462a、462b、463a、463b、464
a、464b、471、472a、472b、473
a、473b、474a、474b、481、482
a、482b、483a、483b、484aおよび4
84bには、IC装置400の内部と外部とを接続する
ための電極351、352a、352b、353a、3
53b、354a、354b、361、362a、36
2b、363a、363b、364a、364b、37
1、372a、372b、373a、373b、374
a、374b、381、382a、382b、383
a、383b、384aおよび384bがそれぞれ設け
られている。
352aと352b、353aと353b、354aと
354bをそれぞれ接続する。
362aと362b、363aと363b、364aと
364bをそれぞれ接続する。
372aと372b、373aと373b、374aと
374bをそれぞれ接続する。
382aと382b、383aと383b、384aと
384bをそれぞれ接続する。
C装置400を実装した実装体600について、図3を
参照しながら説明する。
IC装置400を実装した実装体600では、電極33
1は、実装基板100上の電極131と接続されてい
る。同様に、電極332は電極132と、電極333は
電極133と、電極334は電極134と、電極335
は電極135と、電極336は電極136と、電極33
7は電極137と、電極338は電極138と、電極3
39は電極139と、電極340は電極140と、電極
341は電極141と、電極342は電極142と、電
極343は電極143と、電極344は電極144と、
電極345は電極145と、電極346は電極146
と、電極351は電極151と、電極352aは電極1
52aと、電極352bは電極152bと、電極353
aは電極153aと、電極354aは電極154aと、
電極354bは電極154bと、電極361は電極16
1と、電極362aは電極162aと、電極362bは
電極162bと、電極363aは電極163aと、電極
364aは電極164aと、電極364bは電極164
bと、電極371は電極171と、電極372aは電極
172aと、電極372bは電極172bと、電極37
3aは電極173aと、電極374aは電極174a
と、電極374bは電極174bと、電極381は電極
181と、電極382aは電極182aと、電極382
bは電極182bと、電極383aは電極183aと、
電極384aは電極184aと、電極384bは電極1
84bと、それぞれ接続されている。
体600の動作を、図1〜3を参照しながら以下に説明
する。
21に電源電圧が印加されると、電源電圧は実装基板1
00上に形成された電源配線221を通じて、実装基板
100上に設置された電極151、161、171およ
び181に供給される。続いて電源電圧は、電極15
1、161、171および181から、IC装置400
の電源端子セル451、461、471および481に
設けられた電極351、361、371および381に
それぞれ供給され、IC装置400の内部に電源電圧が
供給される。
加される電源電圧は、それぞれ電源配線222、223
および224を通じて、実装基板100上に設置された
電極152b、153bおよび154bと、電極162
a、163aおよび164aとにそれぞれ供給される。
3bおよび154bから、IC装置400の電源端子セ
ル452b、453aおよび454aに設けられた電極
352b、353bおよび354bにそれぞれ供給さ
れ、IC装置400の内部に電源電圧が供給される。
2b、453bおよび454bに設けられた電極352
b、353bおよび354bにそれぞれ供給された電源
電圧は、金属配線552、553および554を通じ
て、電源端子セル451を挟んで設けられた電源端子セ
ル452a、453aおよび454aに供給される。次
に、電源端子セル452a、453aおよび454aに
供給された電源電圧は、電源端子セル452a、453
aおよび454a上に形成された電極352a、353
aおよび354aを通じて、実装基板100上に設けら
れた電極152a、153aおよび154aに供給され
る。
4aにそれぞれ供給された電源電圧は、それぞれ電源配
線252、253および254を通じて、電極182
b、183bおよび184bにそれぞれ供給される。続
いて、電源電圧は、電極182b、183bおよび18
4bを通じて、IC装置400の電源端子セル482
b、483bおよび484bに設けられた電極382
b、383bおよび384bにそれぞれ供給され、IC
装置400の内部に電源電圧が供給される。
4bにそれぞれ供給された電源電圧は、金属配線58
2、583および584を通じて、電源端子セル481
を挟んで設けられた電源端子セル482a、483aお
よび484aに供給される。次に、電源端子セル482
a、483aおよび484aに供給された電源電圧は、
電源端子セル482a、483aおよび484a上に形
成された電極382a、383aおよび384aを通じ
て、実装基板100上に設けられた電極182a、18
3aおよび184aに供給される。
4aにそれぞれ供給された電源電圧は、それぞれ電源配
線282、283および284を通じて、電極172
b、173bおよび174bにそれぞれ供給される。続
いて、電源電圧は、電極172b、173bおよび17
4bを通じて、IC装置400の電源端子セル472
b、473bおよび474bに設けられた電極372
b、373bおよび374bにそれぞれ供給され、IC
装置400の内部に電源電圧が供給される。
4bにそれぞれ供給された電源電圧は、金属配線57
2、573および574を通じて、電源端子セル471
を挟んで設けられた電源端子セル472a、473aお
よび474aに供給される。次に、電源端子セル472
a、473aおよび474aに供給された電源電圧は、
電源端子セル472a、473aおよび474a上に形
成された電極372a、373aおよび374aを通じ
て、実装基板100上に設けられた電極172a、17
3aおよび174aに供給される。
4aにそれぞれ供給された電源電圧は、それぞれ電源配
線272、273および274を通じて、電極162
b、163bおよび164bにそれぞれ供給される。続
いて、電源電圧は、電極162b、163bおよび16
4bを通じて、IC装置400の電源端子セル462
b、463bおよび464bに設けられた電極362
b、363bおよび364bにそれぞれ供給され、IC
装置400の内部に電源電圧が供給される。
4bにそれぞれ供給された電源電圧は、金属配線56
2、563および564を通じて、電源端子セル461
を挟んで設けられた電源端子セル462a、463aお
よび464aに供給される。次に、電源端子セル462
a、463aおよび464aに供給された電源電圧は、
電源端子セル462a、463aおよび464a上に形
成された電極362a、363aおよび364aを通じ
て、実装基板100上に設けられた電極162a、16
3aおよび164aに供給される。
電源端子セルは電源電圧に等しい電位となる。
部に、各電源端子セルを等電位にする配線、すなわちI
C装置400の内部で2つの電源端子セルを互いに接続
する配線(配線552〜554、562〜564、57
2〜574、583〜584)を設けることによって、
複数の異なる種類の電源を持ち、且つ、複数の辺に同一
種類の電源を供給しなければならないIC装置400を
単層の実装基板100に実装することができる。
ルを互いに接続する配線(配線552〜554、562
〜564、572〜574、583〜584)を、IC
装置400を構成する物質の中で最も抵抗値の低い物質
を使用することが好ましい。このことによって、IC装
置400の内部の配線における電圧降下を最小限に抑え
ることができる。
0の内部で配線によって互いに接続される2つの電源端
子セルの間の距離を、IC装置400を作製するデザイ
ンルールに基づいて、最も短くすることによって、配線
長を短くすることが好ましい。このことによって、IC
装置400の内部の配線における電圧降下を最小限に抑
えることができる。
4種類の電源端子セルを設けているが、これに限定され
ない。IC装置400の各端辺の長さが許す限り、各端
辺に電源端子セルを配置することができる。つまり、I
C装置400の各端辺の長さを大きくすれば、ほぼ無制
限に電源の種類を増設することができるため、回路設計
の自由度が非常に高い。
うに、IC装置400の内部で配線によって互いに接続
される電源端子セルの対の外方に、信号端子セルをさら
に備える構成とすることによって、IC装置400の内
部の信号配線の配線領域と電源ラインの配線領域が分離
できるので、ノイズによる信号品質および電源品質の低
下を抑制することができる。
号配線の配線領域と電源配線の領域が分離できるため、
ノイズによる信号品質、電源品質の低下を抑制すること
ができる。
4種類の電源配線を設けているが、これに限定されな
い。IC装置400の実装面の面積が許す限り、電源配
線数を増設することも可能である。つまり、実装基板の
設計上の制限を大幅に緩和することができる。
けられた電源端子セルを、バッファ動作をする端子や基
準電源から所望の電圧を生成するレギュレータ等の端子
としてもよい。
極間を接続する手段として金属配線を用いたが、金属以
外の導電性材料でもよい。
に形成される電源端子セルと電源端子セル間を接続する
手段として金属配線を用いているが、金属以外の導電性
材料でもよい。
各辺から電源電圧を供給する方法を説明したが、電源電
圧の代わりに任意の信号を入出力してもよい。
基板およびそれに実装される半導体集積回路装置が得ら
れる。
す図である。
路装置を示す図である。
導体集積回路装置を図1の実装基板に実装したときの構
造を示す図である。
実装基板の構成を示す図である。
a、153b、154a、154b、161、162
a、162b、163a、163b、164a、164
b、171、172a、172b、173a、173
b、174a、174b、181、182a、182
b、183a、183b、184a、184b電極 201〜216 信号配線 221〜224、251〜254、262〜264、2
72〜274、282〜284 電源配線 351、352a、352b、353a、353b、3
54a、354b、361、362a、362b、36
3a、363b、364a、364b、371、372
a、372b、373a、373b、374a、374
b、381、382a、382b、383a、383
b、384a、384b 電極 400 半導体集積回路装置(IC装置) 431〜446信号端子セル 451、452a、452b、453a、453b、4
54a、454b、461、462a、462b、46
3a、463b、464a、464b、471、472
a、472b、473a、473b、474a、474
b、481、482a、482b、483a、483
b、484a、484b電源端子セル 552〜554、562〜564、572〜574、5
82〜584 金属配線 600 実装体
Claims (10)
- 【請求項1】 半導体集積回路が形成された半導体チッ
プと、 上記半導体チップに設けられ、電源ラインに接続される
少なくとも1つの前段電源端子対と、 上記少なくとも1つの前段電源端子対とは共通の電源ラ
インに接続される上記半導体チップに設けられた複数の
後段電源端子対と、 上記少なくとも1つの前段電源端子対の間を互いに接続
する少なくとも1つの前段配線と、 上記複数の後段電源端子対の間を互いに接続する上記後
段電源端子対と同数の後段配線とを備え、 上記少なくとも1つの前段電源端子対と上記複数の後段
電源端子対とは、実装基板上に実装された状態で互いに
閉回路を構成するように接続されている半導体集積回路
装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の半導体集積回路装置に
おいて、 上記前段配線および上記後段配線は、上記前段電源端子
対および上記後段電源端子対を形成する材料よりも電気
抵抗の低い材料で形成されていることを特徴とする半導
体集積回路装置。 - 【請求項3】 請求項1に記載の半導体回路装置におい
て、 上記少なくとも1つの前段電源端子対の間に設けられ、
上記電源ラインとは別の電源ラインに接続される中央の
前段電源端子と、 上記中央の前段電源端子とは共通の電源ラインに接続さ
れる上記複数の後段電源端子対のそれぞれの間に設けら
れた複数の中央の後段電源端子とをさらに備え、 上記中央の前段電源端子と上記複数の中央の後段電源端
子とは、実装基板上に実装された状態で互いに接続され
ていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項4】 請求項3に記載の半導体集積回路装置に
おいて、 上記前段電源端子対の間および上記後段電源端子対の間
の距離がそれぞれ最短になるように配置されていること
を特徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項5】 請求項3に記載の半導体集積回路装置に
おいて、 上記中央の前段電源端子は、第1の電源ラインに接続さ
れ、 上記前段電源端子対は、第2から第Nの電源ラインに接
続される第2から第Nの複数の対から構成され、 上記後段電源端子対は、第2から第Nの電源ラインに接
続される第2から第Nの複数の対から構成されているこ
とを特徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項6】 請求項5に記載の半導体集積回路装置に
おいて、 上記前段電源端子対または上記後段電源端子対の外方に
設けられた少なくとも1つの信号端子をさらに備えるこ
とを特徴とする半導体集積回路装置。 - 【請求項7】 半導体集積回路装置を実装するための実
装領域を有する基板と、 上記実装領域内に設けられ、電源ラインに接続される少
なくとも1つの前段側電源入力電極対と、 上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対とは共通の
電源ラインに接続される上記実装領域内に設けられた複
数の後段側電源入力電極対と、 上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対と上記複数
の後段側電源入力電極対とを接続するための配線とを備
え、 上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対と上記複数
の後段電源端子対とは、上記実装領域上に半導体集積回
路装置が実装された状態で互いに閉回路を構成するよう
に接続されている実装基板。 - 【請求項8】 請求項7に記載の実装基板において、 上記少なくとも1つの前段側電源入力電極対の間に設け
られ、上記電源ラインとは別の電源ラインに接続される
中央の前段側電源入力電極と、 上記中央の前段側電源入力電極とは共通の電源ラインに
接続される上記複数の後段側電源入力電極対のそれぞれ
の間に設けられた複数の中央の後段側電源入力電極と、 上記中央の前段側電源入力電極と上記複数の中央の後段
側電源入力電極とを互いに接続する配線とをさらに備え
ていることを特徴とする実装基板。 - 【請求項9】 請求項8に記載の実装基板において、 上記中央の前段側電源入力電極は、第1の電源ラインに
接続され、 上記前段側電源入力電極対は、第2から第Nの電源ライ
ンに接続される第2から第Nの複数の対から構成され、 上記後段側電源入力電極対は、第2から第Nの電源ライ
ンに接続される第2から第Nの複数の対から構成されて
いることを特徴とする実装基板。 - 【請求項10】 半導体集積回路が形成された半導体チ
ップと、上記半導体チップに設けられ、電源ラインに接
続される少なくとも1つの前段電源端子対と、 上記少
なくとも1つの前段電源端子対とは共通の電源ラインに
接続される上記半導体チップに設けられた複数の後段電
源端子対と、上記少なくとも1つの前段電源端子対の間
を互いに接続する少なくとも1つの前段配線と、上記複
数の後段電源端子対の間を互いに接続する上記後段電源
端子対と同数の後段配線とを備える半導体集積回路装置
と、 上記半導体集積回路装置を実装するための実装領域を有
する基板と、上記実装領域内に設けられ、上記少なくと
も1つの前段電源端子対に接続される少なくとも1つの
前段側電源入力電極対と、上記複数の後段電源端子対に
それぞれ接続される上記実装領域内に設けられた複数の
後段側電源入力電極対と、上記少なくとも1つの前段側
電源入力電極対と上記複数の後段側電源入力電極対とを
接続するための配線とを備える実装基板とから構成さ
れ、 上記実装領域上に上記半導体集積回路装置が実装されて
いる実装体。
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