JP2001015674A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2001015674A JP18391399A JP18391399A JP2001015674A JP 2001015674 A JP2001015674 A JP 2001015674A JP 18391399 A JP18391399 A JP 18391399A JP 18391399 A JP18391399 A JP 18391399A JP 2001015674 A JP2001015674 A JP 2001015674A
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Kiyoharu Oikawa
清春 笈川
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Kioxia Systems Co Ltd
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Toshiba Corp
Toshiba Memory Systems Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、MCP基板の片面に複数のチップを
実装してなる平面MCPにおいて、配線の長短差を小さ
くして、配線容量・配線抵抗を最適化できるようにする
ことを最も主要な特徴とする。 【解決手段】たとえば、MCP基板11上の高速信号端
子11aを、該基板11の左寄りに、低速信号端子11
bを右寄りに分離して配置する。一方、MCP基板11
上に実装されるメインチップ21の高速信号端子21a
を、該チップ21の左辺側に、低速信号端子21bを上
下辺側に、I/F端子22を右辺側に、それぞれ配置す
る。また、MCP基板11上に実装されるIPチップ3
1の高速信号端子31aを、該チップ31の左辺側に、
低速信号端子31bを右辺側に、それぞれ配置する。こ
うすることで、端子間をそれぞれつなぐ、各配線12
a,12b,13a,13bを設計し易くする構成とな
っている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に関
するもので、特に、実装基板の片面に複数のチップを実
装してなる、いわゆる平面マルチチップパッケージ(M
CP)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の平面MCPの概略構成を
示すものである。
【0003】従来の平面MCP100は、たとえば、矩
形状の実装基板101上に、IPチップ用インターフェ
イス回路を内蔵する、ほぼ正方形に近いメインチップ1
02と、IPチップ103とが並べて配置されて実装さ
れている。そして、実装基板101上の各MCP端子
(群)101aとメインチップ102上の各チップ端子
(群)102aとの間が端子間配線(群)101bを個
々に介して、また、メインチップ102上の各I/F端
子(群)102bとIPチップ103上の各チップ端子
(群)103aとの間がチップ間配線(群)101cを
個々に介して、それぞれ電気的に接続されてなる構成と
されている。
【0004】しかしながら、このような構成の平面MC
P100においては、メインチップ102とIPチップ
103とを単に実装基板101上に並べて配置したもの
であったため、メインチップ102およびIPチップ1
03のサイズに応じて基板サイズが大きくなるという問
題があった。
【0005】特に、MCP端子101aの近くに配置さ
れたチップ端子102aとの間を接続する端子間配線1
01bと、MCP端子101aから遠く離れているI/
F端子102bの近傍に配置されたチップ端子102a
との間を接続する端子間配線101bとで、端子間配線
101bの距離(配線長)の長短差が顕著となり、配線
容量・配線抵抗の最適化が難しく、基板設計が複雑化す
るという問題があった。
【0006】同様に、メインチップ102上のI/F端
子102bとIPチップ103上のチップ端子103a
との間を接続するチップ間配線101cにおいても、I
/F端子102bに近くに配置されたチップ端子103
aとの間を接続するチップ間配線101cと、I/F端
子102bから遠く離れているチップ端子103aとの
間を接続するチップ間配線101cとで、チップ間配線
101cの距離(配線長)の長短差が顕著となるため、
配線容量・配線抵抗の最適化を難しくし、基板設計を複
雑化させているという問題があった。
【0007】このように、従来は、配線の引き回しが配
線容量・配線抵抗の最適化の妨げとなり、基板設計を複
雑化させるとともに、基板サイズの大型化を招いて、基
板コストを高くしたり、信頼性を悪化させる要因にもつ
ながるものとなっていた。
【0008】特に、端子の位置による配線の長短差のバ
ラツキは、配線容量のバランスを悪化させ、平面MCP
としての動作スピードを大幅に劣化させるという問題を
生じ、高速動作システムでの使用は困難であった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
においては、端子の位置によって配線の長短差が顕著と
なり、これが、配線容量・配線抵抗の最適化を難しく
し、基板設計を複雑化させるなどの問題があった。
【0010】そこで、この発明は、配線容量・配線抵抗
を容易に最適化でき、基板設計がし易くなるとともに、
基板サイズの大型化、基板コストの高騰、信頼性の悪
化、および、動作スピードの劣化を改善することが可能
な半導体装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の半導体装置にあっては、複数の半導体
素子を実装するための実装基板と、この実装基板上に実
装される、少なくとも第1の半導体素子および第2の半
導体素子とを具備し、前記実装基板は、前記第1の半導
体素子上の信号端子のそれぞれにつながる、複数の高速
信号端子と複数の低速信号端子とがそれぞれに分離され
て配置され、前記第1の半導体素子は、主に、第1の側
辺に、前記実装基板上の高速信号端子のそれぞれにつな
がる複数の高速信号端子が、第2,第3の側辺に、前記
実装基板上の低速信号端子のそれぞれにつながる複数の
低速信号端子が、第4の側辺に、前記第2の半導体素子
上の信号端子のそれぞれつながる複数の接続用端子が配
置され、前記第2の半導体素子は、前記第1の半導体素
子上の接続用端子のそれぞれにつながる、複数の高速信
号端子と複数の低速信号端子とがそれぞれに分離されて
配置されてなる構成とされている。
【0012】この発明の半導体装置によれば、端子の位
置による配線の長短差を小さくできるようになる。これ
により、配線容量・配線抵抗の最適化が容易に可能とな
るものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0014】図1は、本発明の一実施形態にかかる半導
体装置の概略構成を、平面MCPを例に示すものであ
る。
【0015】この平面MCP10は、たとえば、ほぼ方
形状のMCP基板(実装基板)11上に、矩形状のメイ
ンチップ(第1の半導体素子)21と、IPチップ(第
2の半導体素子)31とが並べて配置されて実装されて
いる。
【0016】そして、MCP基板11上の全MCP端子
のうちの各高速信号端子(群)11aと、メインチップ
21上の全チップ端子のうちの各高速信号端子(群)2
1aとの間が、高速信号配線(群)12aを個々に介し
て電気的に接続されている。
【0017】また、MCP基板11上の全MCP端子の
うちの各低速信号端子(群)11bと、メインチップ2
1上の全チップ端子のうちの各低速信号端子(群)21
bとの間が、低速信号配線(群)12bを個々に介して
電気的に接続されている。
【0018】さらに、メインチップ21上の、接続用端
子としての全I/F端子(群)22のうちの各高速I/
F端子(群)22aと、IPチップ31上の全チップ端
子のうちの各高速信号端子(群)31aとの間が、高速
信号配線(群)13aを個々に介して、それぞれ電気的
に接続されている。
【0019】また、メインチップ21上の全I/F端子
(群)22のうちの各低速I/F端子(群)22bと、
IPチップ31上の全チップ端子のうちの各低速信号端
子(群)31bとの間が、低速信号配線(群)13bを
個々に介して、それぞれ電気的に接続されてなる構成と
されている。
【0020】なお、上記I/F端子22は、各高速I/
F端子22aを中心に、その両サイドに、それぞれ、各
低速I/F端子22bが配置されている。
【0021】図2は、上記した平面MCP10の、MC
P基板11におけるMCP端子の配置例を概略的に示す
ものである。なお、ここでは、総端子数が100ピンと
されている場合を例に説明する。
【0022】たとえば、このMCP基板11は、全10
0ピン(ピン番号1〜100)が、高速信号端子11a
(ピン番号1〜35および89〜100の47ピン)
と、低速信号端子11b(ピン番号36〜61の26ピ
ン),11b(ピン番号62〜88の27ピン)とに分
離され、メインチップ21およびIPチップ31を並べ
て配置する本実施形態の場合には、主として、高速信号
端子11aのそれぞれがMCP基板11上のメインチッ
プ21側に、低速信号端子11b,11bのそれぞれが
MCP基板11のIPチップ31側に配置されている。
【0023】図3は、上記した平面MCP10の、メイ
ンチップ21におけるチップ端子の配置例を概略的に示
すものである。なお、ここでは、総端子数が144ピン
とされている場合を例に説明する。
【0024】たとえば、このメインチップ21は、IP
チップ用インターフェイス回路を内蔵し、チップサイズ
(IPチップ31に対向する辺Yと対向しない辺Xとの
比)がほぼ2:1とされている。そして、メインチップ
21およびIPチップ31を並べて配置する本実施形態
の場合には、主として、全144ピン(ピン番号1〜1
44)のうち、高速信号端子21a(ピン番号1〜47
の47ピン)のそれぞれが該チップ21の左辺(第1の
側辺)に、低速信号端子21b(ピン番号118〜14
4の27ピン),21b(ピン番号48〜73の26ピ
ン)のそれぞれが該チップ21の上下の各辺(IPチッ
プ31に対向しない、第2,第3の側辺)に、I/F端
子22(ピン番号74〜117の44ピン)のそれぞれ
が該チップ21の右辺(IPチップ31に対向する、第
4の側辺)に、それぞれ配置されている。
【0025】また、上記I/F端子22は、たとえば、
右辺のほぼ中央に、高速I/F端子(ピン番号87〜1
08の22ピン)22aが配置され、その上下(両側)
に、低速I/F端子(ピン番号109〜117の9ピ
ン)22b,低速I/F端子(ピン番号74〜86の1
3ピン)22bが、それぞれ配置されている。
【0026】図4は、上記した平面MCP10の、IP
チップ31におけるチップ端子の配置例を概略的に示す
ものである。なお、ここでは、総端子数が44ピンとさ
れている、フラッシュメモリを例に説明する。
【0027】たとえば、このIPチップ31は、全44
ピン(ピン番号1〜44)が、高速信号端子31a(ピ
ン番号1〜20および43,44の22ピン)と、低速
信号端子31b(ピン番号21〜33の13ピン),3
1b(ピン番号34〜42の9ピン)とに分離され、メ
インチップ21およびIPチップ31を並べて配置する
本実施形態の場合には、主として、高速信号端子31a
のそれぞれがIPチップ31の左側(メインチップ21
側)に、低速信号端子31b,31bのそれぞれがIP
チップ31の右側(反メインチップ21側)に配置され
ている。
【0028】このような構成においては、たとえば、M
CP基板11上にメインチップ21とIPチップ31と
を並べて配置した後、MCP基板11上の各高速信号端
子11aと、メインチップ21上の各高速信号端子21
aとの間を、それぞれ、高速信号配線12aを介して接
続するとともに、MCP基板11上の各低速信号端子1
1bと、メインチップ21上の各低速信号端子21bと
の間を、それぞれ、低速信号配線12bを介して接続す
る。
【0029】また、メインチップ21上の各高速I/F
端子22aと、IPチップ31上の各高速信号端子31
aとの間を、それぞれ、高速信号配線13aを介して接
続するとともに、メインチップ21上の各低速I/F端
子22bと、IPチップ31上の各低速信号端子31b
との間を、それぞれ、低速信号配線13bを介して接続
することで、図1に示した構成の平面MCP10を簡単
に得ることができる。
【0030】このような構成によれば、端子の位置によ
る配線の長短差を小さくできるようになる。
【0031】すなわち、MCP基板11上の各高速信号
端子11aとメインチップ21上の各高速信号端子21
aとの間をそれぞれ接続するための高速信号配線12
a、MCP基板11上の各低速信号端子11bとメイン
チップ21上の各低速信号端子21bとの間をそれぞれ
接続するための低速信号配線12b、メインチップ21
上の各高速I/F端子22aとIPチップ31上の各高
速信号端子31aとの間をそれぞれ接続するための高速
信号配線13a、および、メインチップ21上の各低速
I/F端子22bとIPチップ31上の各低速信号端子
31bとの間をそれぞれ接続するための低速信号配線1
3bを、いずれも必要以上に引き回すことなく、MCP
基板11上の各高速信号端子11aとメインチップ21
上の各高速信号端子21aとの間、MCP基板11上の
各低速信号端子11bとメインチップ21上の各低速信
号端子21bとの間、メインチップ21上の各高速I/
F端子22aとIPチップ31上の各高速信号端子31
aとの間、メインチップ21上の各低速I/F端子22
bとIPチップ31上の各低速信号端子31bとの間
を、それぞれ接続できるようになる。
【0032】これにより、端子の位置によらず、配線の
長短差をできるだけ小さくすることができる結果、配線
容量・配線抵抗の最適化が容易に可能となるとともに、
基板設計がし易くなるものである。
【0033】しかも、配線容量・配線抵抗を小さくでき
るため、基板サイズの大型化、基板コストの高騰、信頼
性の悪化の改善のみでなく、動作スピードの高速な平面
MCPを実現することが可能である。
【0034】特に、MCP基板11上の高速信号端子1
1aおよびメインチップ21上の高速信号端子21aと
して、たとえば、アナログ入力兼用端子(AIN)、ア
ナログ電源端子(VREFH/VREFL/AVCC/
AVSS)、発振回路入出力端子(X1/X2/XT1
/XT2)、主要電源端子(DVCC/DVSS)、タ
イマー回路およびSIO回路高速入出力・クロック端子
(TnOUT/TXDn/RXDn/SCLKn)など
を割り付けた場合には、ADC精度の劣化、発振特性の
劣化、ノイズの発生、および、動作スピードの劣化を防
止できる。
【0035】また、MCP基板11上の低速信号端子1
1bおよびメインチップ21上の低速信号端子21bと
しては、たとえば、入出力ポート端子(PTn)や入力
端子(〜NMI)を割り付けるのが良い。
【0036】また、メインチップ21上の高速I/F端
子22aおよびIPチップ31上の高速信号端子31a
として、たとえば、制御端子(CEB/OEB/WEB
/RDY)やデータ端子(IOn)を割り付けるように
した場合には、動作スピードの劣化を防止できる。
【0037】さらには、メインチップ21上の低速I/
F端子22bおよびI/Pチップ31の低速信号端子3
1bとしては、たとえば、アドレス端子(An)を割り
付けるのが良い。
【0038】また、本実施形態の平面MCP10におい
ては、MCP基板11上の低速信号端子11bとメイン
チップ21上の低速信号端子21bとの間を接続する、
低速信号配線12bを形成するための領域を広く取るこ
とができる。そのため、配線の設計がし易くなるだけで
なく、該領域内に電源間コンデンサの付加が可能となる
など、MCPシステムとしてノイズの低減が図れる。
【0039】なお、上記した本発明の一実施形態におい
ては、各配線が単一層からなる場合を例に説明したが、
これに限らず、たとえば多層配線構造を用いて各配線を
形成することも可能である。
【0040】その他、この発明の要旨を変えない範囲に
おいて、種々変形実施可能なことは勿論である。
【0041】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、配線容量・配線抵抗を容易に最適化でき、基板設計
がし易くなるとともに、基板サイズの大型化、基板コス
トの高騰、信頼性の悪化、および、動作スピードの劣化
を改善することが可能な半導体装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態にかかる半導体装置の構
成を、平面MCPを例に示す概略図。
【図2】同じく、MCP端子の配置例を示すMCP基板
の概略平面図。
【図3】同じく、チップ端子の配置例を示すメインチッ
プの概略平面図。
【図4】同じく、チップ端子の配置例を示すIPチップ
の概略平面図。
【図5】従来技術とその問題点を説明するために示す、
平面MCPの概略構成図。
【符号の説明】
10…平面MCP 11…MCP基板 11a…高速信号端子(群) 11b…低速信号端子(群) 12a…高速信号配線(群) 12b…低速信号配線(群) 13a…高速信号配線(群) 13b…低速信号配線(群) 21…メインチップ 21a…高速信号端子(群) 21b…低速信号端子(群) 22…I/F端子(群) 22a…高速I/F端子(群) 22b…低速I/F端子(群) 31…IPチップ 31a…高速信号端子(群) 31b…低速信号端子(群)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の半導体素子を実装するための実装
    基板と、 この実装基板上に実装される、少なくとも第1の半導体
    素子および第2の半導体素子とを具備し、 前記実装基板は、前記第1の半導体素子上の信号端子の
    それぞれにつながる、複数の高速信号端子と複数の低速
    信号端子とがそれぞれに分離されて配置され、 前記第1の半導体素子は、主に、第1の側辺に、前記実
    装基板上の高速信号端子のそれぞれにつながる複数の高
    速信号端子が、第2,第3の側辺に、前記実装基板上の
    低速信号端子のそれぞれにつながる複数の低速信号端子
    が、第4の側辺に、前記第2の半導体素子上の信号端子
    のそれぞれつながる複数の接続用端子が配置され、 前記第2の半導体素子は、前記第1の半導体素子上の接
    続用端子のそれぞれにつながる、複数の高速信号端子と
    複数の低速信号端子とがそれぞれに分離されて配置され
    てなることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記実装基板には、該実装基板上の各高
    速信号端子と前記第1の半導体素子上の各高速信号端子
    との間をそれぞれ接続する複数の第1の高速信号配線、
    該実装基板上の各低速信号端子と前記第1の半導体素子
    上の各低速信号端子との間をそれぞれ接続する複数の第
    1の低速信号配線、前記第1の半導体素子上の各接続用
    端子と前記第2の半導体素子上の各高速信号端子との間
    をそれぞれ接続する複数の第2の高速信号配線、およ
    び、前記第1の半導体素子上の各接続用端子と前記第2
    の半導体素子上の各低速信号端子との間をそれぞれ接続
    する複数の第2の低速信号配線が、それぞれ設けられて
    なることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記第1の半導体素子は、前記第1,第
    4の側辺と前記第2,第3の側辺との比がほぼ2対1で
    あることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の半導体素子における、前記接
    続用端子は複数の高速信号端子と複数の低速信号端子と
    からなり、高速信号端子群の両側に低速信号端子群がそ
    れぞれ配置されていることを特徴とする請求項1に記載
    の半導体装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007266402A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Fujitsu Ltd 半導体装置
CN113312302A (zh) * 2020-02-27 2021-08-27 精工爱普生株式会社 半导体装置
DE102021125278A1 (de) 2020-10-05 2022-04-07 Denso Corporation Multichipmodul und elektronische Steuereinheit

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007266402A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Fujitsu Ltd 半導体装置
CN113312302A (zh) * 2020-02-27 2021-08-27 精工爱普生株式会社 半导体装置
CN113312302B (zh) * 2020-02-27 2023-11-14 精工爱普生株式会社 半导体装置
DE102021125278A1 (de) 2020-10-05 2022-04-07 Denso Corporation Multichipmodul und elektronische Steuereinheit
DE102021125278B4 (de) 2020-10-05 2023-12-07 Denso Corporation Multichipmodule und elektronische Steuereinheiten

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