JP2003009549A - パルス電源 - Google Patents

パルス電源

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JP2003009549A JP2001191062A JP2001191062A JP2003009549A JP 2003009549 A JP2003009549 A JP 2003009549A JP 2001191062 A JP2001191062 A JP 2001191062A JP 2001191062 A JP2001191062 A JP 2001191062A JP 2003009549 A JP2003009549 A JP 2003009549A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 エネルギー回生ダイオードDrと共振リアク
トルLrの直列回路によらないエネルギー回生を行い、
エネルギーの回生効率を改善する。 【解決手段】 初期充電された充放電用コンデンサC
から半導体スイッチSWのオン制御によりパルスを発生
するパルス電源において、上記半導体スイッチが複数の
半導体素子SW〜SWのタスキがけ回路で構成さ
れ、負荷からのキックバックエネルギーを上記タスキが
け回路を介して、上記充放電用コンデンサC に回生す
ることを特徴とし、上記のタスキがけ回路で構成された
半導体スイッチSWと負荷Lとの間にリアクトル
、および可飽和リアクトルとコンデンサとを接続し
た磁気圧縮回路2を設けたことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はコンデンサ放電を用
いたパルス電源に関わり、主にエネルギーの回生効率を
改善したパルス電源に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、パルス電源はパルスレーザ装置や
粒子ビーム装置などの電源に用いられ、研究設備や産業
上の需要が高まっている。このような短パルスを発生さ
せる一手法として、初期充電されたコンデンサから、半
導体スイッチをオンすることによって、初期パルスを発
生させ次段のコンデンサを充電し、更に可飽和リアクト
ルの飽和特性を利用してパルス幅の圧縮を行う、いわゆ
る磁気圧縮回路がよく用いられる。この種のパルスレー
ザ装置用のパルス電源の従来例を図2に示す。
【0003】図2において、共振リアクトルLとエネ
ルギー回生ダイオードDを直列に接続したエネルギー
回生回路を充放電用コンデンサCと並列に接続する。
エネルギー回生ダイオードDの極性は充放電用コンデ
ンサCの初期充電電圧を阻止する方向とする。充放電
用コンデンサCの出力には半導体スイッチSWとリア
クトルLを直列に接続してパルス発生回路1を構成
し、次段の磁気圧縮回路2と接続する。磁気圧縮回路2
はコンデンサCと可飽和リアクトルLとを組み合わ
せたもので、複数段用いることが多くその一般例を示し
た。コンデンサをC〜C、可飽和リアクトルをL
〜Lとする。接続はコンデンサCと可飽和リアク
トルLとコンデンサCが櫛形となるようにする。最
終段は可飽和リアクトルLによって出力し次段の負荷
部3に接続される。負荷部3はピーキングコンデンサC
と負荷Lとが並列に接続されている。なお、リアク
トルLは半導体スイッチSWの保護用として設けたイ
ンピーダンスである。
【0004】次に動作を説明する。パルス発生回路1は
図示しない高電圧直流電源により充放電用コンデンサC
を初期充電しておき、半導体スイッチSWのオン制御
で充放電用コンデンサCからリアクトルLを介して
コンデンサCに電荷を供給する。
【0005】磁気圧縮回路2において、コンデンサC
に電荷が供給されると電圧が上昇して可飽和リアクトル
が励磁されて、所定の磁気容量(電圧×時間)に達
すると可飽和リアクトルLが磁気飽和をしてインダク
タンス値が激減する。すなわち、磁気スイッチが動作し
たことになり次段のコンデンサCに電荷が移動する。
以下同じ動作が繰り返されて行くが、後段のリアクトル
ほど飽和後のインダクタンスが小さく設計されているた
めに充電時間が短くなり、パルス圧縮されることにな
る。このようにして負荷部3に電荷が供給されると、ピ
ーキングコンデンサCは極めて狭幅にパルス充電され
負荷Lのレーザ極間ギャップの電圧が上昇し、絶縁破
壊されてコンデンサCに蓄積された電荷はレーザ触媒
中に注入されレーザが励起される。
【0006】このようにして移動してきたエネルギーに
比べると、レーザ電極に注入されるエネルギーは大変少
なく、レーザ電極間ギャップに到達したエネルギーがこ
こで全て消費されずに、一部のエネルギーが充放電用コ
ンデンサCまで戻ってくることがある。これをキック
バックエネルギーと呼ぶ。例えばピーキングコンデンサ
に充電される電圧が最大値に到達する以前に負荷L
のレーザ電極間ギャップが放電すると、コンデンサC
に電荷が残った状態でピーキングコンデンサCの両
端がレーザ電極間ギャップを通して短絡状態となるた
め、コンデンサC とリアクトルLと負荷Lの閉回
路を介してコンデンサCの極性は反転し逆極性に充電
される。そして同様の作用によりこの反転したキックバ
ックエネルギーは前段へと移動して行き、最終的には充
放電用コンデンサCを逆極性に充電する。そして、そ
の後充放電用コンデンサCと並列に接続されたエネル
ギー回生ダイオードDと共振リアクトルLを介し
て、再度充放電用コンデンサC を逆充電させて当初の
極性に戻す。すなわち、当初の電荷の一部が充放電用コ
ンデンサCに回生されたことになる。
【0007】このようにしてエネルギーを回生しない
と、キックバックエネルギーは再度レーザ発生部へと向
かい、不安定なレーザ発振を繰り返し、また、レーザ極
間電極を著しく消耗させ、かつ、回路構成素子の寿命を
低下させることになる。よって、エネルギーの回生は長
寿命化の達成、長期的な信頼性の向上、およびエネルギ
ーの効率的活用のために有効な手段となる。
【0008】上記したように、図2の従来の回路構成で
は、キックバックエネルギーを充放電用コンデンサC
に一旦逆極性に充電し、その後エネルギー回生ダイオー
ドD と共振リアクトルLの直列回路を介して当初の
極性に回生していた。この方法によると大きな共振リア
クトルLが必要であり、共振周波数が高いこともあっ
て巻線や鉄芯による損失が大きくなるという問題があ
る。また、負荷Lが電磁石のようにインダクタンス負
荷である場合には、その供給したエネルギーのほとんど
がキックバックして来るため、エネルギー回生効率の向
上が重要な課題であった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記のような問題があ
ったため、大きな共振リアクトルを使用せず、巻線や磁
芯による損失をなくし、かつインダクタンス負荷を接続
した場合でも、キックバックエネルギーの回生効率を十
分に向上させることができる回路構成が要求されてい
た。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、初期充電され
た充放電用コンデンサCから半導体スイッチSWのオ
ン制御によりパルスを発生するパルス電源において、上
記半導体スイッチSWが複数の半導体素子SW〜SW
のタスキがけ回路で構成され、負荷からのキックバッ
クエネルギーを上記タスキがけ回路を介して、上記充放
電用コンデンサCに回生することを特徴とするパルス
電源である。
【0011】また、上記のタスキがけ回路で構成された
半導体スイッチSWと負荷Lとの間に、リアクトルL
および可飽和リアクトルL〜Lと、コンデンサC
〜Cとを接続した磁気圧縮回路2を設けたことを特
徴とするパルス電源である。
【0012】そして、上記のタスキがけ回路が、充放電
用コンデンサCの一端とリアクトルLとの間に第1
の半導体素子SWを順方向接続し、充放電用コンデン
サC の他端と上記磁気圧縮回路2との間に第2の半導
体素子SWを逆方向接続し、第1の半導体素子SW
のアノードと第2の半導体素子SWのアノードとの間
に第3の半導体素子SWを逆方向接続し、第1の半導
体素子SWのカソードと第2の半導体素子SWのカ
ソードとの間に第4の半導体素子SWを逆方向接続し
てなることを特徴とするパルス電源である。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本発明の実施例である。図2と同一
回路を構成する素子については同一記号を付記したので
その説明を省略する。
【0014】図1において、パルス発生回路1は充放電
コンデンサCと半導体スイッチSWを接続し、その出
力はリアクトルLと接続する。半導体スイッチSWは
半導体素子SW〜SWによって構成され、充放電用
コンデンサCの一端とリアクトルLとの間に第1の
半導体素子を順方向接続し、充放電用コンデンサC
他端と上記磁気圧縮回路2との間に第2の半導体素子S
を逆方向接続し、第1の半導体素子SWのアノー
ドと第2の半導体素子SWのアノードとの間に第3の
半導体素子SWを逆方向接続し、第1の半導体素子S
のカソードと第2の半導体素子SWのカソードと
の間に第4の半導体素子SWを逆方向接続してなる。
この半導体素子SW〜SWの接続方法を「タスキが
け回路」と呼ぶ。その他の回路、すなわち、磁気圧縮回
路2および負荷部3については、図2をそのまま引用し
たので説明を省略する。
【0015】次に動作を説明する。パルス発生回路1
は、図示しない高電圧直流電源により充放電用コンデン
サCを初期充電しておき、半導体スイッチSWの半導
体素子SWと半導体素子SWをオン制御し、充放電
用コンデンサCからリアクトルLを介してコンデン
サCに電荷を供給する。以降は図2と同一であるので
その説明を省略するが、タスキがけ回路を介したキック
バックエネルギーの回生方法が異なるのでその動作につ
いて説明する。キックバックエネルギーによってコンデ
ンサCが逆極性に充電されると、半導体素子SW
充放電用コンデンサC、半導体素子SW、およびリ
アクトルLの共振回路で充放電用コンデンサCを逆
極性に充電し始める段階で半導体素子SWおよびSW
をオン動作させて半導体素子SWおよびSWをオ
フ動作させる。そうするとコンデンサC、半導体素子
SW、充放電用コンデンサC、半導体素子SW
よびリアクトルLの共振回路へと転流して、充放電用
コンデンサCは初期の極性に充電され、エネルギーは
回生される。本発明によれば充放電用コンデンサC
コンデンサCから直接エネルギーが回生されるため、
回生効率はきわめて良くなる。
【0016】図1の磁気圧縮回路2は基本的な回路を記
したが、用途によって色々な変形回路が用いられる。例
えば、より高い電圧を必要とする場合には、パルス発生
回路1と磁気圧縮回路2の間にパルス変圧器を接続し、
昇圧した電圧をコンデンサC に供給したり、またはコ
ンデンサC〜Cの任意のコンデンサと並列にパルス
変圧器を接続し、昇圧して使用することもある。他の例
として可飽和リアクトルL〜Lにバイアス回路を設
けた回路や、その他にも変形した回路があるが、キック
バックエネルギーが存在し、これを前段のパルス発生回
路1に伝送する回路構成であれば、本発明は有効であ
る。
【0017】また、半導体スイッチSWを構成する半導
体素子SW〜SWは、電圧電流の大きさやパルス
幅、そして放電頻度などによって仕様が決められる。主
にIGBT、GTO、サイリスタやFETなどが用途に
よって選定される。
【0018】さて、前記実施例では磁気圧縮回路2を用
いてパルス電圧を発生する放電回路を説明したが、必ず
しも本発明はこれに限定するものではない。例えば、充
放電用コンデンサCから放電される電荷を直接、電磁
石負荷のようにほとんどのエネルギーを消費しないイン
ダクタンス成分に供給しても同様の効果がある。すなわ
ち、負荷で消費されずにその一部または大部分がもとの
充放電用コンデンサC にキックバックするような回路
であればすべて有効に働く。
【0019】
【発明の効果】上記したように、本発明は充放電用コン
デンサCに充電された逆極性の電荷を、エネルギー回
生ダイオードDと共振リアクトルLとからなるエネ
ルギー回生回路によらず、半導体スイッチSWの半導体
素子SW〜SWのタスキがけ回路によって直接、エ
ネルギーを回生するもので、エネルギー回生ダイオード
Drや共振リアクトルLrが不要となる。したがって、
共振リアクトルLのエネルギー回生時の銅損、鉄損が
なくなり、回生効率が大幅に改善されるために充放電用
コンデンサCを充電する高電圧直流電源(図示せず)
の容量を低減することができ、大幅なコストダウンを図
ることができた。よって、数kV〜数十kVの電圧、数
Jから数百kJのエネルギーを扱い、かつ放電回数が1
秒間に数千回の電源にも十分に対応することができ、工
業的価値大なるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるパルス電源の回路図であ
る。
【図2】従来例によるパルス電源の回路図である。
【符号の説明】
1 パルス発生回路 2 磁気圧縮回路 3 負荷部 SW 半導体スイッチ SW〜SW 半導体素子 L 共振リアクトル D エネルギー回生ダイオード C 充放電用コンデンサ C〜C コンデンサ C ピーキングコンデンサ L リアクトル L〜L 可飽和リアクトル L 負荷
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古矢 勝彦 京都府京都市中京区御池通烏丸東入一筋目 仲保利町191番地の4 上原ビル3階 ニ チコン株式会社内 Fターム(参考) 5F071 AA00 GG03 GG05 HH05 HH07 JJ02 JJ03 JJ05 JJ07 JJ09 5H790 BA02 BB03 CC01 DD06 EA01 EA03 EA13

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 初期充電された充放電用コンデンサから
    半導体スイッチのオン制御によりパルスを発生するパル
    ス電源において、 上記半導体スイッチが複数の半導体素子のタスキがけ回
    路で構成され、負荷からのキックバックエネルギーを上
    記タスキがけ回路を介して、上記充放電用コンデンサに
    回生することを特徴とするパルス電源。
  2. 【請求項2】 上記のタスキがけ回路で構成された半導
    体スイッチと負荷との間に、リアクトルおよび可飽和リ
    アクトルと、コンデンサとを接続した磁気圧縮回路を設
    けたことを特徴とする請求項1記載のパルス電源。
  3. 【請求項3】 上記のタスキがけ回路が、充放電用コン
    デンサの一端とリアクトルとの間に第1の半導体素子を
    順方向接続し、充放電用コンデンサの他端と上記磁気圧
    縮回路との間に第2の半導体素子を逆方向接続し、第1
    の半導体素子のアノードと第2の半導体素子のアノード
    との間に第3の半導体素子を逆方向接続し、第1の半導
    体素子のカソードと第2の半導体素子のカソードとの間
    に第4の半導体素子を逆方向接続してなることを特徴と
    する請求項2記載のパルス電源。
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