JP2002532716A - 測定液中のイオン濃度を測定する装置 - Google Patents
測定液中のイオン濃度を測定する装置Info
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- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/414—Ion-sensitive or chemical field-effect transistors, i.e. ISFETS or CHEMFETS
- G01N27/4148—Integrated circuits therefor, e.g. fabricated by CMOS processing
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、測定液(12)中のイオン、特に水素(H+)イオンの濃度を、少なくとも1つのイオンセンシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)(2)によって測定する装置(1)であって、トランジスターは、この装置(1)の内部で、電気回路に組み込まれていて、この電気回路は測定液中のイオン濃度の尺度である出力信号(UpH)を送出してなる装置(1)に関する。
【解決手段】出来る限り簡単に、特に、僅かな構成要素によって回路を設計するために、少なくとも1つpH−ISFET(2)が、少なくとも3つの抵抗(R 1,R2,R3)と共に、ブリッジ回路に接続されていること、が提案される。
Description
【0001】
本発明は、測定液中のイオン、特に水素H+イオンの濃度を、少なくとも1つ
のイオンセンシティブ電界効果トランジスター(ISFET)によって測定する
装置であって、トランジスターは、この装置の内部で、電気回路に組み込まれて
いて、この電気回路は測定液中のイオン濃度用の尺度を示す出力信号を送出して
なる装置に関する。
のイオンセンシティブ電界効果トランジスター(ISFET)によって測定する
装置であって、トランジスターは、この装置の内部で、電気回路に組み込まれて
いて、この電気回路は測定液中のイオン濃度用の尺度を示す出力信号を送出して
なる装置に関する。
【0002】
このタイプの装置は、通常、測定液のpH値を測定するために用いられる。p
H値は、測定液中に溶けた多数の内容物質から、例えばH+イオン又はOH−イ
オンの濃度から測定される。
H値は、測定液中に溶けた多数の内容物質から、例えばH+イオン又はOH−イ
オンの濃度から測定される。
【0003】 商業及び産業の排水浄化の際には、所定の内容物質を沈殿させ、水を中和しか
つ解毒するために、化学反応が用いられる。pH値は、これらの反応の正しい進
行のために、重要な役割を演じる。濾過装置における機械的な沈殿工程は、酸性
又はアルカリ性の排水によって悪影響を受けることがある。水の自己浄化の際の
、又は濾過装置の好気性及び嫌気性の生物学的段階における、生物学的工程は、
同様に、所定のpH値に結びついており、このようなpH値からの逸れの際に、
工程の進行は妨げられる。このような操作工程を自動化するために、pH値の連
続的な測定が不可欠である。
つ解毒するために、化学反応が用いられる。pH値は、これらの反応の正しい進
行のために、重要な役割を演じる。濾過装置における機械的な沈殿工程は、酸性
又はアルカリ性の排水によって悪影響を受けることがある。水の自己浄化の際の
、又は濾過装置の好気性及び嫌気性の生物学的段階における、生物学的工程は、
同様に、所定のpH値に結びついており、このようなpH値からの逸れの際に、
工程の進行は妨げられる。このような操作工程を自動化するために、pH値の連
続的な測定が不可欠である。
【0004】 測定液中のH+イオンの濃度を、例えばイオンセンシティブ電界効果トランジ
スター(pH−ISFET)によって、特に、水素ISFETによって測定する
ことができる。複数のpH−ISFETは、従来のガラス電極用測定ユニットに
比べて、pH−ISFETが老化し難く、従って、著しく長い耐用機関を有する
という利点を有する。pH−ISFETのチャネルの抵抗によってゲート電位は
、測定液中のH+イオンの濃度に対しリニアに変化する。それと同時に、pH−
ISFETは、入力電圧に比例した出力信号を送出する。なお、pH−ISFE
Tには、一定のドレイン電流が流れる。また、出力信号は、測定液中に設けられ
、かつH+イオン濃度によって影響を受けない基準電極を基準としたpH−IS
FETの出力電圧として測定される。
スター(pH−ISFET)によって、特に、水素ISFETによって測定する
ことができる。複数のpH−ISFETは、従来のガラス電極用測定ユニットに
比べて、pH−ISFETが老化し難く、従って、著しく長い耐用機関を有する
という利点を有する。pH−ISFETのチャネルの抵抗によってゲート電位は
、測定液中のH+イオンの濃度に対しリニアに変化する。それと同時に、pH−
ISFETは、入力電圧に比例した出力信号を送出する。なお、pH−ISFE
Tには、一定のドレイン電流が流れる。また、出力信号は、測定液中に設けられ
、かつH+イオン濃度によって影響を受けない基準電極を基準としたpH−IS
FETの出力電圧として測定される。
【0005】 明細書導入部に記載のタイプの装置は、種々の実施の形態において、従来の技
術から知られている。これらの知られた装置は、特に、pH−ISFETが装置
の電気回路に組み込まれている方法において、互いに異なっている。『イオンセ
ンシティブ電界効果トランジスターの分析的及び生物医学的適用』(P・ベルク
フェルト、A・シバルト著、エルゼフィーア・サイエンス・パブリッシャーズB
.V、アムステルダム、1988、第8章、『ISFET計測』、101乃至1
07頁)には、明細書導入部に記載のタイプの装置におけるpH−ISFETの
配線の種々の方法が開示されている。
術から知られている。これらの知られた装置は、特に、pH−ISFETが装置
の電気回路に組み込まれている方法において、互いに異なっている。『イオンセ
ンシティブ電界効果トランジスターの分析的及び生物医学的適用』(P・ベルク
フェルト、A・シバルト著、エルゼフィーア・サイエンス・パブリッシャーズB
.V、アムステルダム、1988、第8章、『ISFET計測』、101乃至1
07頁)には、明細書導入部に記載のタイプの装置におけるpH−ISFETの
配線の種々の方法が開示されている。
【0006】 そこでは、図8.3に、8.5章(前掲書104頁以下)に詳述される配線図
が示されており、pH−ISFETは、(演算増幅器A1,A2,A3を有する
)電位計用減算器に組み込まれる。しかも、pH−ISFETは、電位計用減算
器の増幅率を調整可能な抵抗として設けられている。電位計用減算器は、一定の
電流Iを供給する電源と、調整可能な基準電圧Vrefとを有する給電装置を具
備する。電位計用減算器の入力端には、抵抗R1に、一定の電圧I・R1が加え
られる。電位計用減算器は、pH−ISFETのチャンネルの抵抗に逆比例して
いる出力電圧を、出力信号として送出する。この出力電圧はインバーター(A4 )によって変換される。最後に、反転された出力電圧と、基準電圧Vrefとの
差分が演算増幅器(A5)によって増幅される。終端の演算増幅器(A5)の出
力は、演算増幅器の入力端に帰還されるので、帰還電流は抵抗(R2)を通って
流れる。このことによって、pH−ISFETのソース・ドレイン電圧を制御す
ることができ、この制御によって、ドレイン電流(ID)及びドレイン・ソース
電圧(VDS)を一定に保つことができる。
が示されており、pH−ISFETは、(演算増幅器A1,A2,A3を有する
)電位計用減算器に組み込まれる。しかも、pH−ISFETは、電位計用減算
器の増幅率を調整可能な抵抗として設けられている。電位計用減算器は、一定の
電流Iを供給する電源と、調整可能な基準電圧Vrefとを有する給電装置を具
備する。電位計用減算器の入力端には、抵抗R1に、一定の電圧I・R1が加え
られる。電位計用減算器は、pH−ISFETのチャンネルの抵抗に逆比例して
いる出力電圧を、出力信号として送出する。この出力電圧はインバーター(A4 )によって変換される。最後に、反転された出力電圧と、基準電圧Vrefとの
差分が演算増幅器(A5)によって増幅される。終端の演算増幅器(A5)の出
力は、演算増幅器の入力端に帰還されるので、帰還電流は抵抗(R2)を通って
流れる。このことによって、pH−ISFETのソース・ドレイン電圧を制御す
ることができ、この制御によって、ドレイン電流(ID)及びドレイン・ソース
電圧(VDS)を一定に保つことができる。
【0007】 しかし乍ら、電位計用減算器におけるpH−ISFETの配線は、上記電気回
路を非常にコストをかけて実現しなければならないという欠点を有する。特に、
この回路は、非常に多くの構成要素、例えば演算増幅器(A1,A2,A3)及
び6つのオーム抵抗(R3,R4,R5,R6,R7,R8)を必要とする。非
常に多くの構成要素の故に、回路の製造に時間がかかり、複雑な構成となる。p
H−ISFETの知られた配線は、更に、温度のドリフトに対し極めて作用を受
け易い。
路を非常にコストをかけて実現しなければならないという欠点を有する。特に、
この回路は、非常に多くの構成要素、例えば演算増幅器(A1,A2,A3)及
び6つのオーム抵抗(R3,R4,R5,R6,R7,R8)を必要とする。非
常に多くの構成要素の故に、回路の製造に時間がかかり、複雑な構成となる。p
H−ISFETの知られた配線は、更に、温度のドリフトに対し極めて作用を受
け易い。
【0008】
従って、本発明の課題は、明細書導入部に記載されたタイプの装置において、
pH−ISFETを、出来る限り簡単な回路で、しかも僅かな構成要素で、更に
、温度のドリフトに対し余り作用を受けない回路に組み込めるように、構成し改
善することにある。
pH−ISFETを、出来る限り簡単な回路で、しかも僅かな構成要素で、更に
、温度のドリフトに対し余り作用を受けない回路に組み込めるように、構成し改
善することにある。
【0009】
この課題を解決するために、本発明は、少なくとも1つのpH−ISFETが
、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路に接続されていること、を提案す
る。
、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路に接続されていること、を提案す
る。
【0010】 かくて、pH−ISFETは、特に簡単に構成された回路に組み込まれている
。回路は極少数の構成要素からなり、従って、安価に製造することができる。本
発明に係わる装置は、回路の構造が簡単であるのに、pH−ISFETの申し分
のない機能を保証するために、すべての必要な特徴を有する。かくて、回路内で
作動されるpH−ISFETは、例えば、pH−ISFETにある入力電圧に比
例している出力信号を送出する。更に、出力信号は、測定液中のイオン濃度及び
測定液のpH値のための確かな尺度である。測定液中のH+イオン濃度の常用対
数と、装置の出力信号との間にリニアな関係があるのは好ましい。
。回路は極少数の構成要素からなり、従って、安価に製造することができる。本
発明に係わる装置は、回路の構造が簡単であるのに、pH−ISFETの申し分
のない機能を保証するために、すべての必要な特徴を有する。かくて、回路内で
作動されるpH−ISFETは、例えば、pH−ISFETにある入力電圧に比
例している出力信号を送出する。更に、出力信号は、測定液中のイオン濃度及び
測定液のpH値のための確かな尺度である。測定液中のH+イオン濃度の常用対
数と、装置の出力信号との間にリニアな関係があるのは好ましい。
【0011】 本発明の好都合な実施の形態により、ブリッジ回路の給電点にはブリッジ電源
電圧が加えられること、及び、ブリッジ回路のダイアゴナル電圧は、第1の演算
増幅器のプラスの入力端とマイナスの入力端との間に加えられており、演算増幅
器の出力はブリッジ回路の2つの抵抗によって第1の演算増幅器の入力端に帰還
されていることが提案される。
電圧が加えられること、及び、ブリッジ回路のダイアゴナル電圧は、第1の演算
増幅器のプラスの入力端とマイナスの入力端との間に加えられており、演算増幅
器の出力はブリッジ回路の2つの抵抗によって第1の演算増幅器の入力端に帰還
されていることが提案される。
【0012】 pH−ISFETにあるドレイン・ソース電圧UDSはブリッジ電源電圧UB SS 及び抵抗R2及びR3によって調整される。これらの抵抗によって、第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
【数1】 が成り立つ。このとき、ドレイン・ソース電流IDSを、ドレイン・ソース電圧
UDS及び抵抗R1によって調整することができる。この抵抗によって,第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
UDS及び抵抗R1によって調整することができる。この抵抗によって,第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
【数2】 が成り立つ。これらの関係によって、pH−ISFETの動作点を、容易な方法
で、ブリッジ電源電圧UBSSの変化なしに,調整することができる。
で、ブリッジ電源電圧UBSSの変化なしに,調整することができる。
【0013】 第1の演算増幅器の出力が、コンデンサーによって、第1の演算増幅器のマイ
ナスの入力端に帰還されていることは好ましい。このことによって、装置の振動
を抑えることができる。
ナスの入力端に帰還されていることは好ましい。このことによって、装置の振動
を抑えることができる。
【0014】 本発明の好ましい実施の形態によれば、抵抗にオーム抵抗を使用している。し
かし、演算増幅器の出力を第1の演算増幅器の入力端に帰還するのに用いる抵抗
を、電源と取り替えることも考えられる。電源を、飽和で作動される電界効果ト
ランジスターによって実現化することができる。
かし、演算増幅器の出力を第1の演算増幅器の入力端に帰還するのに用いる抵抗
を、電源と取り替えることも考えられる。電源を、飽和で作動される電界効果ト
ランジスターによって実現化することができる。
【0015】 出力信号がpH−ISFETのドレイン電位であることは好ましい。ドレイン
電位は、pH値の変化によって引き起こされるゲート電位の変化に応じて、リニ
アに変化する。何故ならば、演算増幅器はプラスの制御装置として作動している
からである。調整回路は伝達関数
電位は、pH値の変化によって引き起こされるゲート電位の変化に応じて、リニ
アに変化する。何故ならば、演算増幅器はプラスの制御装置として作動している
からである。調整回路は伝達関数
【数3】 を有する。回路が調整された状態では、ブリッジ回路は補償される。すなわち、
ダイアゴナル電圧Ud=0である。ブリッジ回路が調整された状態では、ブリッ
ジの一方側で直列接続された2つの抵抗の間と、ブリッジの他方側にあるpH−
ISFETのドレインと抵抗との間とに同一の電位が加えられる。従って、ブリ
ッジ回路の調整された状態では、出力信号は、ブリッジの一方の側にある2つの
直列接続された抵抗の間でもピックアップすることができる。
ダイアゴナル電圧Ud=0である。ブリッジ回路が調整された状態では、ブリッ
ジの一方側で直列接続された2つの抵抗の間と、ブリッジの他方側にあるpH−
ISFETのドレインと抵抗との間とに同一の電位が加えられる。従って、ブリ
ッジ回路の調整された状態では、出力信号は、ブリッジの一方の側にある2つの
直列接続された抵抗の間でもピックアップすることができる。
【0016】 ブリッジ回路の3つの抵抗の各々を、当然ながら、多数の直列又は並列接続さ
れた抵抗と取り替えることもできる。出力信号を、これらの抵抗の間の任意の箇
所でピックアップすることができる。個々の抵抗の大きさに従って、かようにピ
ックアップされた出力信号を、ブリッジの一方の側にある2つの直列接続された
抵抗の間で、あるいは、ブリッジ回路の他方の側のpH−ISFETのドレイン
と抵抗との間でピックアップされた出力信号に対して、オフセット電圧だけ、シ
フトすることができる。かくて、(通常のpH7の場合の)回路の零点を、pH
−ISFETの他の操作レベル(特にドレイン・ソース電圧UDS及びドレイン
・ソース電流IDS)に無関係に調整することができる。
れた抵抗と取り替えることもできる。出力信号を、これらの抵抗の間の任意の箇
所でピックアップすることができる。個々の抵抗の大きさに従って、かようにピ
ックアップされた出力信号を、ブリッジの一方の側にある2つの直列接続された
抵抗の間で、あるいは、ブリッジ回路の他方の側のpH−ISFETのドレイン
と抵抗との間でピックアップされた出力信号に対して、オフセット電圧だけ、シ
フトすることができる。かくて、(通常のpH7の場合の)回路の零点を、pH
−ISFETの他の操作レベル(特にドレイン・ソース電圧UDS及びドレイン
・ソース電流IDS)に無関係に調整することができる。
【0017】 装置の出力信号が温度の影響に左右されないことは好ましい。このためには、
本発明の好ましい実施の形態により、装置は、同様に測定液に設けられている基
準電極を有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイン電位と、基準電極の基
準電位との差に相当する出力電圧であること、が提案される。
本発明の好ましい実施の形態により、装置は、同様に測定液に設けられている基
準電極を有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイン電位と、基準電極の基
準電位との差に相当する出力電圧であること、が提案される。
【0018】 本発明に係わる装置の好ましい実施の形態によれば、装置は、同様に測定液に
設けられている基準ISFETを有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイ
ン電位と、基準ISFETのドレイン電位との差に相当する出力電圧であること
が提案される。基準ISFETが、本発明に係わる装置のpH−ISFETのよ
うに、ブリッジ回路に配線されているのは好ましい。この実施の形態によれば、
イオン濃度を測定するための従来のガラス電極のみを、pH−ISFETと取り
替えるのではない。むしろ、従来のガラス電極として形成された基準電極をもI
SFETと取り替える。
設けられている基準ISFETを有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイ
ン電位と、基準ISFETのドレイン電位との差に相当する出力電圧であること
が提案される。基準ISFETが、本発明に係わる装置のpH−ISFETのよ
うに、ブリッジ回路に配線されているのは好ましい。この実施の形態によれば、
イオン濃度を測定するための従来のガラス電極のみを、pH−ISFETと取り
替えるのではない。むしろ、従来のガラス電極として形成された基準電極をもI
SFETと取り替える。
【0019】 装置が、出来る限り低い光感度を有する出力信号を送出するように、本発明の
好都合な実施の形態によれば、pH−ISFETのドレイン電位及び電位シフト
電極の擬似基準電位は第1の差分信号となり、基準ISFETのドレイン電位及
び擬似基準電位は第2の差分信号となり、出力信号は第1の差分信号と第2の差
分信号との差に相当しており、pH−ISFETと基準ISFETとのゲート領
域には同一の照明状況が支配していること、が提案される。電位シフト電極は、
銀層又は塩化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準
ISFETは一定のpH値(例えばpH=7)を有する測定チャンバーに設けら
れている。測定チャンバーはダイヤフラムによって測定液とつながっている。
好都合な実施の形態によれば、pH−ISFETのドレイン電位及び電位シフト
電極の擬似基準電位は第1の差分信号となり、基準ISFETのドレイン電位及
び擬似基準電位は第2の差分信号となり、出力信号は第1の差分信号と第2の差
分信号との差に相当しており、pH−ISFETと基準ISFETとのゲート領
域には同一の照明状況が支配していること、が提案される。電位シフト電極は、
銀層又は塩化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準
ISFETは一定のpH値(例えばpH=7)を有する測定チャンバーに設けら
れている。測定チャンバーはダイヤフラムによって測定液とつながっている。
【0020】 この装置では、pH−ISFET及び基準ISFETは、電位シフト電極の擬
似基準電位に関していわゆる差分モードで作動される。差分の形成の故に、pH
−ISFET及び基準ISFETの、2つの差分信号における、光に左右される
信号成分は、ほぼ完全に補償される。かくて、出力信号も、照明状況に最も大幅
に左右されず、pH−ISFET及び基準ISFETのゲート領域における同一
の照明状況では、完全に左右されない。
似基準電位に関していわゆる差分モードで作動される。差分の形成の故に、pH
−ISFET及び基準ISFETの、2つの差分信号における、光に左右される
信号成分は、ほぼ完全に補償される。かくて、出力信号も、照明状況に最も大幅
に左右されず、pH−ISFET及び基準ISFETのゲート領域における同一
の照明状況では、完全に左右されない。
【0021】 電位シフト電極の擬似基準電位に関し差分モードで作動されるこの装置の場合
でも、pH−ISFETが、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路内に接
続されているのは好ましい。電位シフト電極の擬似基準電位に関する装置の作動
は、前記利点を有するが、請求項1の特徴部分のこれらの特徴を有するわけでは
ない。従って、この特許の保護は、請求項1の特徴部分に記載された特徴を有し
ない、最後に記述されたタイプの装置にも及ぶ。
でも、pH−ISFETが、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路内に接
続されているのは好ましい。電位シフト電極の擬似基準電位に関する装置の作動
は、前記利点を有するが、請求項1の特徴部分のこれらの特徴を有するわけでは
ない。従って、この特許の保護は、請求項1の特徴部分に記載された特徴を有し
ない、最後に記述されたタイプの装置にも及ぶ。
【0022】 ブリッジ電源電圧が一定であるのは好ましい。一定のブリッジ電源電圧は、出
来る限り安定的な出力電圧を発生させるために、本発明に係わる装置の回路の演
算増幅器に用いられる。出力電圧の安定性はブリッジ電源電圧のそれよりも良い
わけではない。従って、ブリッジ電源電圧を出来る限り安定的に保つためには、
出来る限り安定的な電圧源が重要である。
来る限り安定的な出力電圧を発生させるために、本発明に係わる装置の回路の演
算増幅器に用いられる。出力電圧の安定性はブリッジ電源電圧のそれよりも良い
わけではない。従って、ブリッジ電源電圧を出来る限り安定的に保つためには、
出来る限り安定的な電圧源が重要である。
【0023】 一定の電圧を発生させる種々の可能性が知られている。特に好ましい実施の形
態によれば、ブリッジ電源電圧はいわゆるバンドギャップダイオードのバンドス
ペース基準電圧であることが提案される。
態によれば、ブリッジ電源電圧はいわゆるバンドギャップダイオードのバンドス
ペース基準電圧であることが提案される。
【0024】 pH−ISFETのドレイン・ソース電圧が測定工程中一定であることは好ま
しい。これに加えて又は他に、pH−ISFETのドレイン・ソース電流は測定
工程中一定である。ドレイン・ソース電圧及びドレイン・ソース電流が一定であ
る動作状態は、定電荷モード(CCM)とも呼ばれる。ISFETのゲートはコ
ンデンサーである。CCMでのISFETの作動によって、コンデンサーの電荷
は一定であり、これによって、再電荷工程は生じない。このことによって、IS
FETは従来技術よりも速く応答し、より正確な測定値をもたらす。何故ならば
、ヒステリシス効果も生じることがないからである。
しい。これに加えて又は他に、pH−ISFETのドレイン・ソース電流は測定
工程中一定である。ドレイン・ソース電圧及びドレイン・ソース電流が一定であ
る動作状態は、定電荷モード(CCM)とも呼ばれる。ISFETのゲートはコ
ンデンサーである。CCMでのISFETの作動によって、コンデンサーの電荷
は一定であり、これによって、再電荷工程は生じない。このことによって、IS
FETは従来技術よりも速く応答し、より正確な測定値をもたらす。何故ならば
、ヒステリシス効果も生じることがないからである。
【0025】
【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して、本発明の2つの好ましい実施の形態を詳述する。図1
では、本発明に係わる装置の全体に参照符号1が付されている。装置1はイオン
センシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)2が組み込まれてい
る電子回路を有する。pH−ISFET2によって、測定液中のイオン濃度を測
定することができる。そのとき、イオン濃度から、測定液のpH値を算出するこ
とができる。
では、本発明に係わる装置の全体に参照符号1が付されている。装置1はイオン
センシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)2が組み込まれてい
る電子回路を有する。pH−ISFET2によって、測定液中のイオン濃度を測
定することができる。そのとき、イオン濃度から、測定液のpH値を算出するこ
とができる。
【0026】 pH−ISFET2は、3つの抵抗(R1,R2,R3)と共に、ブリッジ回
路に接続されている。2つの給電点3を介して、一定のブリッジ電源電圧UBS S がブリッジ回路に加えられる。ブリッジ回路のダイアゴナル電圧UDは第1の
演算増幅器OPのプラス入力端4とマイナス入力端5との間に加えられる。演算
増幅器OPの出力は、ブリッジ回路の3つの抵抗のうちの2個(R1,R2)に
よって、演算増幅器OPの入力端4,5へ帰還される。演算増幅器OPのマイナ
スの入力端5にはpH−ISFET2のドレイン電位FDが加えられる。演算増
幅器OPは回路内でプラスの調整器として作動する。この理由から、ドレイン電
位FDはゲート電位FGに応動する。第1の演算増幅器OPは対称的に配線され
ている。すなわち、演算増幅器の入力端4,5には、アースに関してほぼ同一の
インピーダンスがある。このことは、入力端4,5でのコモンモード干渉が、温
度による抵抗の変化によっても、より良く補償され、このことが演算増幅器OP
のより良好な直線性をもたらす、という利点を有する。
路に接続されている。2つの給電点3を介して、一定のブリッジ電源電圧UBS S がブリッジ回路に加えられる。ブリッジ回路のダイアゴナル電圧UDは第1の
演算増幅器OPのプラス入力端4とマイナス入力端5との間に加えられる。演算
増幅器OPの出力は、ブリッジ回路の3つの抵抗のうちの2個(R1,R2)に
よって、演算増幅器OPの入力端4,5へ帰還される。演算増幅器OPのマイナ
スの入力端5にはpH−ISFET2のドレイン電位FDが加えられる。演算増
幅器OPは回路内でプラスの調整器として作動する。この理由から、ドレイン電
位FDはゲート電位FGに応動する。第1の演算増幅器OPは対称的に配線され
ている。すなわち、演算増幅器の入力端4,5には、アースに関してほぼ同一の
インピーダンスがある。このことは、入力端4,5でのコモンモード干渉が、温
度による抵抗の変化によっても、より良く補償され、このことが演算増幅器OP
のより良好な直線性をもたらす、という利点を有する。
【0027】 測定液のpH値の変化によって、pH−ISFET2のゲート電位FGが変化
する。このことはチャネル抵抗の変化、つまりドレイン電位FDの変化をもたら
す。演算増幅器OPのマイナスの入力端5に加えられるドレイン電位FDは、さ
らに装置1から取り出される。ドレイン電位FDと基準電位FREFとの差は、
出力電圧UpHと呼ばれる。出力電圧UpHは装置1の出力信号であり、測定液
のpH値に比例している。回路の出力電圧UpHは、回路の対称的な構造に基づ
き、温度に大幅に左右されない。図1に示した装置1では、基準電位FREFは
、同様に測定液中に設けられている基準電極6によって、発生される。しかし、
基準電極6を、本発明に係わる他の装置(図2を参照)と取り替えることも考え
られる。この場合、本発明に係わる装置のドレイン電位を基準電位FREFとし
て用いることも考えられる。
する。このことはチャネル抵抗の変化、つまりドレイン電位FDの変化をもたら
す。演算増幅器OPのマイナスの入力端5に加えられるドレイン電位FDは、さ
らに装置1から取り出される。ドレイン電位FDと基準電位FREFとの差は、
出力電圧UpHと呼ばれる。出力電圧UpHは装置1の出力信号であり、測定液
のpH値に比例している。回路の出力電圧UpHは、回路の対称的な構造に基づ
き、温度に大幅に左右されない。図1に示した装置1では、基準電位FREFは
、同様に測定液中に設けられている基準電極6によって、発生される。しかし、
基準電極6を、本発明に係わる他の装置(図2を参照)と取り替えることも考え
られる。この場合、本発明に係わる装置のドレイン電位を基準電位FREFとし
て用いることも考えられる。
【0028】 装置1の抵抗R4,R5及び他の回路7は分圧器として作用する。かくて、給
電点3同士の間には、動作電圧+UB,−UBとは異なる電圧(ブリッジ電源電
圧UBSS)が調整可能に加えられる。ブリッジ電源電圧UBSSは、固定の基
準電位のない、いわゆる浮動する電圧基準である。他の回路7の上の給電点3で
は、+UB−UR4と−UB+UBSS+UR5との間の電位が調整可能に加え
られる。他の回路7の下の給電点3には、+UB−UBSS−UR4と−UB+
UR5との間の電位が調整可能に加えられる。しかし乍ら、2つの給電点3の間
には、常に、ブリッジ電源電圧UBSSが加えられる。
電点3同士の間には、動作電圧+UB,−UBとは異なる電圧(ブリッジ電源電
圧UBSS)が調整可能に加えられる。ブリッジ電源電圧UBSSは、固定の基
準電位のない、いわゆる浮動する電圧基準である。他の回路7の上の給電点3で
は、+UB−UR4と−UB+UBSS+UR5との間の電位が調整可能に加え
られる。他の回路7の下の給電点3には、+UB−UBSS−UR4と−UB+
UR5との間の電位が調整可能に加えられる。しかし乍ら、2つの給電点3の間
には、常に、ブリッジ電源電圧UBSSが加えられる。
【0029】 図2には、基準電極6に代わって基準ISFET8が用いられる、本発明に係
わる装置1が示されている。図2の装置1が、出来る限り低い光感度を有する出
力信号UpHを送出するように、pH−ISFET2のドレイン電位FD及び電
位シフト電極9の擬似基準電位は第1の差分信号Udff1となり、基準ISF
ET8のドレイン電位FREF及び擬似基準電位は第2の差分信号Udff2と
なる。出力信号UpHは第1の差分信号Udff1と第2差分信号Udff2と
の差に相当する。pH−ISFET2と基準ISFET8とのゲート領域には同
一の照明状況が支配していることが好ましい。電位シフト電極9は、銀層又は塩
化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準ISFET
8は一定のpH値(例えばpH=7)を有する基準溶液13が入っている測定チ
ャンバー10に設けられている。測定チャンバー10はダイヤフラム11によっ
て測定液12とつながっている。
わる装置1が示されている。図2の装置1が、出来る限り低い光感度を有する出
力信号UpHを送出するように、pH−ISFET2のドレイン電位FD及び電
位シフト電極9の擬似基準電位は第1の差分信号Udff1となり、基準ISF
ET8のドレイン電位FREF及び擬似基準電位は第2の差分信号Udff2と
なる。出力信号UpHは第1の差分信号Udff1と第2差分信号Udff2と
の差に相当する。pH−ISFET2と基準ISFET8とのゲート領域には同
一の照明状況が支配していることが好ましい。電位シフト電極9は、銀層又は塩
化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準ISFET
8は一定のpH値(例えばpH=7)を有する基準溶液13が入っている測定チ
ャンバー10に設けられている。測定チャンバー10はダイヤフラム11によっ
て測定液12とつながっている。
【0030】
以上詳述したように本発明によれば、pH−ISFETを、出来る限り簡単な
回路で、しかも僅かな構成要素で、更に、温度のドリフトに対し余り作用を受け
ず、高い測定精度を有する回路に組み込めるように、構成し改善することができ
る。
回路で、しかも僅かな構成要素で、更に、温度のドリフトに対し余り作用を受け
ず、高い測定精度を有する回路に組み込めるように、構成し改善することができ
る。
【図1】 第1の実施の形態に記載された、本発明に係わる装置の配線図を示している。
【図2】 第2の実施の形態に記載された、本発明に係わる装置の略図を示している。
1…装置、 2…イオンセンシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)、 3…給電点、 4、5…入力端、 6…基準電極、 8…基準ISFET、 9…電位シフト電極、 10…測定チャンバー、 11…ダイヤフラム、 12…測定液、 OP…演算増幅器、 R1,R2,R3…抵抗。
【手続補正書】
【提出日】平成13年9月28日(2001.9.28)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】 測定液中のイオン濃度を測定する装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、測定液中のイオン、特に水素(H+)イオンの濃度を測定する装置 に関する。この測定は、測定液に設けられた少なくとも1つのイオンセンシティ ブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)によってなされる。このトラン ジスターは複数の抵抗と共にブリッジ回路に接続されている。ブリッジ回路の給 電点にはブリッジ電源電圧がある。装置は測定液中のイオン濃度の尺度を示す出 力信号を送出する。装置は、同様に測定液に設けられている基準電極を有する。
【0002】
【従来の技術】 このタイプの装置は、通常、測定液のpH値を測定するために用いられる。p
H値は、測定液中に溶けた多数の内容物質から、例えばH+イオン又はOH−イ
オンの濃度から測定される。
H値は、測定液中に溶けた多数の内容物質から、例えばH+イオン又はOH−イ
オンの濃度から測定される。
【0003】 商業及び産業の排水浄化の際には、所定の内容物質を沈殿させ、水を中和しか
つ解毒するために、化学反応が用いられる。pH値は、これらの反応の正しい進
行のために、重要な役割を演じる。濾過装置における機械的な沈殿工程は、酸性
又はアルカリ性の排水によって悪影響を受けることがある。水の自己浄化の際の
、又は濾過装置の好気性及び嫌気性の生物学的段階における、生物学的工程は、
同様に、所定のpH値に結びついており、このようなpH値からの逸れの際に、
工程の進行は妨げられる。このような操作工程を自動化するために、pH値の連
続的な測定が不可欠である。
つ解毒するために、化学反応が用いられる。pH値は、これらの反応の正しい進
行のために、重要な役割を演じる。濾過装置における機械的な沈殿工程は、酸性
又はアルカリ性の排水によって悪影響を受けることがある。水の自己浄化の際の
、又は濾過装置の好気性及び嫌気性の生物学的段階における、生物学的工程は、
同様に、所定のpH値に結びついており、このようなpH値からの逸れの際に、
工程の進行は妨げられる。このような操作工程を自動化するために、pH値の連
続的な測定が不可欠である。
【0004】 測定液中のH+イオンの濃度を、例えばイオンセンシティブ電界効果トランジ
スター(pH−ISFET)によって、特に、水素ISFETによって測定する
ことができる。複数のpH−ISFETは、従来のガラス電極用測定ユニットに
比べて、老化し難く、従って、著しく長い耐用機関を有するという利点を有する
。pH−ISFETのチャネルの抵抗によってゲート電位は、測定液中のH+イ
オンの濃度に対しリニアに変化する。それと同時に、pH−ISFETは、入力
電圧に比例した出力信号を送出する。なお、pH−ISFETには、一定のドレ
イン電流が流れる。また、出力信号は、測定液中に設けられ、かつH+イオン濃
度によって影響を受けない基準電極を基準としたpH−ISFETの出力電圧と
して測定される。
スター(pH−ISFET)によって、特に、水素ISFETによって測定する
ことができる。複数のpH−ISFETは、従来のガラス電極用測定ユニットに
比べて、老化し難く、従って、著しく長い耐用機関を有するという利点を有する
。pH−ISFETのチャネルの抵抗によってゲート電位は、測定液中のH+イ
オンの濃度に対しリニアに変化する。それと同時に、pH−ISFETは、入力
電圧に比例した出力信号を送出する。なお、pH−ISFETには、一定のドレ
イン電流が流れる。また、出力信号は、測定液中に設けられ、かつH+イオン濃
度によって影響を受けない基準電極を基準としたpH−ISFETの出力電圧と
して測定される。
【0005】 公知文献EP 0 155 725 A1には、pH−ISFET及び基準ISFETが2つ
の抵抗と共にブリッジ回路に接続された、明細書導入部に記載されたタイプの装 置が記載されている。公知文献US 4,334,880には、明細書導入部に記載されたタ イプで、但し基準電極を有しない他の装置が記載されている。この他の装置にお いて、pH−ISFETは3つの抵抗と共にブロック回路に接続されている。2 つの装置の出力信号としては、ブリッジ回路のダイアゴナル電圧が取り出される 。測定工程中に、pH−ISFETの伝導度は測定液中のイオン濃度に従って変 化する。このことによって、測定用ブリッジは不平衡にされ、ダイアゴナル電圧 が生じる。
の抵抗と共にブリッジ回路に接続された、明細書導入部に記載されたタイプの装 置が記載されている。公知文献US 4,334,880には、明細書導入部に記載されたタ イプで、但し基準電極を有しない他の装置が記載されている。この他の装置にお いて、pH−ISFETは3つの抵抗と共にブロック回路に接続されている。2 つの装置の出力信号としては、ブリッジ回路のダイアゴナル電圧が取り出される 。測定工程中に、pH−ISFETの伝導度は測定液中のイオン濃度に従って変 化する。このことによって、測定用ブリッジは不平衡にされ、ダイアゴナル電圧 が生じる。
【0006】 従来の技術から知られた装置は、特に、pH−ISFETが装置の回路に組み
込まれている方法において、互いに異なっている。また、『イオンセンシティブ
電界効果トランジスターの分析的及び生物医学的適用』(P・ベルクフェルト、
A・シバルト著、エルゼフィーア・サイエンス・パブリッシャーズB.V、アム
ステルダム、1988、第8章、『ISFET計測』、101乃至107頁)に
は、明細書導入部に記載のタイプの装置におけるpH−ISFETの配線の種々
の方法が開示されている。
込まれている方法において、互いに異なっている。また、『イオンセンシティブ
電界効果トランジスターの分析的及び生物医学的適用』(P・ベルクフェルト、
A・シバルト著、エルゼフィーア・サイエンス・パブリッシャーズB.V、アム
ステルダム、1988、第8章、『ISFET計測』、101乃至107頁)に
は、明細書導入部に記載のタイプの装置におけるpH−ISFETの配線の種々
の方法が開示されている。
【0007】 そこには、図8.3に、8.5章(前掲書104頁以下)に詳述される配線図
が示されている。すなわち、pH−ISFETは、(演算増幅器A1,A2,A 3 を有する)電位計用減算器に組み込まれている。しかも、pH−ISFETは
、電位計用減算器の増幅率を調整可能な抵抗として設けられている。電位計用減
算器は、一定の電流Iを供給する電源と、調整可能な基準電圧Vrefとを有す
る給電装置を具備する。電位計用減算器の入力端には、抵抗R1に、一定の電圧
I・R1が加えられる。電位計用減算器は、pH−ISFETのチャンネルの抵
抗に逆比例している出力電圧を、出力信号として送出する。この出力電圧はイン
バーター(A4)によって変換される。最後に、反転された出力電圧と、基準電
圧Vrefとの差分が演算増幅器(A5)によって増幅される。終端の演算増幅
器(A5)の出力は、演算増幅器の入力端に帰還されるので、帰還電流は抵抗(
R2)を通って流れる。このことによって、pH−ISFETのソース・ドレイ
ン電圧を制御することができ、この制御によって、ドレイン電流(ID)及びド
レイン・ソース電圧(VDS)を一定に保つことができる。
が示されている。すなわち、pH−ISFETは、(演算増幅器A1,A2,A 3 を有する)電位計用減算器に組み込まれている。しかも、pH−ISFETは
、電位計用減算器の増幅率を調整可能な抵抗として設けられている。電位計用減
算器は、一定の電流Iを供給する電源と、調整可能な基準電圧Vrefとを有す
る給電装置を具備する。電位計用減算器の入力端には、抵抗R1に、一定の電圧
I・R1が加えられる。電位計用減算器は、pH−ISFETのチャンネルの抵
抗に逆比例している出力電圧を、出力信号として送出する。この出力電圧はイン
バーター(A4)によって変換される。最後に、反転された出力電圧と、基準電
圧Vrefとの差分が演算増幅器(A5)によって増幅される。終端の演算増幅
器(A5)の出力は、演算増幅器の入力端に帰還されるので、帰還電流は抵抗(
R2)を通って流れる。このことによって、pH−ISFETのソース・ドレイ
ン電圧を制御することができ、この制御によって、ドレイン電流(ID)及びド
レイン・ソース電圧(VDS)を一定に保つことができる。
【0008】 しかし乍ら、電位計用減算器におけるpH−ISFETの配線は、上記電気回
路を非常にコストをかけて実現しなければならないという欠点を有する。特に、
この回路は、非常に多くの構成要素、例えば演算増幅器(A1,A2,A3)及
び6つのオーム抵抗(R3,R4,R5,R6,R7,R8)を必要とする。非
常に多くの構成要素の故に、回路の製造に時間がかかり、複雑な構成となる。p
H−ISFETの知られた配線は、更に、温度のドリフトに対し極めて作用を受
け易い。
路を非常にコストをかけて実現しなければならないという欠点を有する。特に、
この回路は、非常に多くの構成要素、例えば演算増幅器(A1,A2,A3)及
び6つのオーム抵抗(R3,R4,R5,R6,R7,R8)を必要とする。非
常に多くの構成要素の故に、回路の製造に時間がかかり、複雑な構成となる。p
H−ISFETの知られた配線は、更に、温度のドリフトに対し極めて作用を受
け易い。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】 従って、本発明の課題は、明細書導入部に記載されたタイプの装置において、
pH−ISFETを、出来る限り簡単な回路で、しかも僅かな構成要素で、更に
、温度のドリフトに対し余り作用を受けることなく、高い測定精度を有する回路
に組み込めるように、構成し改善することにある。
pH−ISFETを、出来る限り簡単な回路で、しかも僅かな構成要素で、更に
、温度のドリフトに対し余り作用を受けることなく、高い測定精度を有する回路
に組み込めるように、構成し改善することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】 この課題を解決するために、本発明は、pH−ISFETが、少なくとも3つ の抵抗と共に、ブリッジ回路に接続されており、ブリッジ回路のダイアゴナル電 圧は、第1の演算増幅器のプラスの入力端とマイナスの入力端との間にかけられ ており、演算増幅器の出力はブリッジ回路の2つの抵抗によって第1の演算増幅 器の入力端に帰還されており、装置の出力信号は、pH−ISFETのドレイン 電位と、基準電極の基準電位との差に相当する出力電圧であること、を提案する 。
【0011】 かくて、pH−ISFETは、特に簡単に構成された回路に組み込まれている
。回路は極少数の構成要素からなり、従って、安価に製造することができる。本
発明に係わる装置は、回路の構造が簡単であるのに、pH−ISFETの申し分
のない機能を保証するために、すべての必要な特徴を有する。かくて、回路内で
作動されるpH−ISFETは、例えば、pH−ISFETにある入力電圧に比
例している出力信号を送出する。更に、出力信号は、測定液中のイオン濃度及び
測定液のpH値のための確かな尺度を示す。測定液中のH+イオン濃度の常用対
数と、装置の出力信号との間にリニアな関係があるのは好ましい。
。回路は極少数の構成要素からなり、従って、安価に製造することができる。本
発明に係わる装置は、回路の構造が簡単であるのに、pH−ISFETの申し分
のない機能を保証するために、すべての必要な特徴を有する。かくて、回路内で
作動されるpH−ISFETは、例えば、pH−ISFETにある入力電圧に比
例している出力信号を送出する。更に、出力信号は、測定液中のイオン濃度及び
測定液のpH値のための確かな尺度を示す。測定液中のH+イオン濃度の常用対
数と、装置の出力信号との間にリニアな関係があるのは好ましい。
【0012】 pH−ISFETにあるドレイン・ソース電圧UDSはブリッジ電源電圧UB SS 及び抵抗R2及びR3によって調整される。これらの抵抗によって、第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
【数1】 が成り立つ。このとき、ドレイン・ソース電流IDSを、ドレイン・ソース電圧
UDS及び抵抗R1によって調整することができる。この抵抗によって,第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
UDS及び抵抗R1によって調整することができる。この抵抗によって,第1の
演算増幅器の出力は、第1の演算増幅器の入力端に帰還されている。この場合、
以下の関係
【数2】 が成り立つ。これらの関係によって、pH−ISFETの動作点を、容易な方法
で、ブリッジ電源電圧UBSSの変化なしに,調整することができる。
で、ブリッジ電源電圧UBSSの変化なしに,調整することができる。
【0013】 ドレイン電位は、pH値の変化によって引き起こされる、ゲート電位の変化に 応じて、 リニアに変化する。何故ならば、演算増幅器はプラスの制御装置として
作動しているからである。調整回路は伝達関数
作動しているからである。調整回路は伝達関数
【数3】 を有する。回路が調整された状態では、ブリッジ回路は補償される。すなわち、
ダイアゴナル電圧Ud=0である。ブリッジ回路が調整された状態では、ブリッ
ジ回路の一方側で直列接続された2つの抵抗の間と、ブリッジ回路の他方側にあ
るpH−ISFETのドレインと抵抗との間とに同一の電位が加えられる。従っ
て、ブリッジ回路が調整された状態では、出力信号は、ブリッジ回路の一方の側
にある2つの直列接続された抵抗の間でもピックアップすることができる。
ダイアゴナル電圧Ud=0である。ブリッジ回路が調整された状態では、ブリッ
ジ回路の一方側で直列接続された2つの抵抗の間と、ブリッジ回路の他方側にあ
るpH−ISFETのドレインと抵抗との間とに同一の電位が加えられる。従っ
て、ブリッジ回路が調整された状態では、出力信号は、ブリッジ回路の一方の側
にある2つの直列接続された抵抗の間でもピックアップすることができる。
【0014】 ブリッジ回路の3つの抵抗の各々を、当然ながら、多数の直列又は並列接続さ
れた抵抗と取り替えることもできる。出力信号を、これらの抵抗の間の任意の箇
所でピックアップすることができる。個々の抵抗の大きさに従って、かようにピ
ックアップされた出力信号を、ブリッジ回路の一方の側にある2つの直列接続さ
れた抵抗の間で、あるいは、ブリッジ回路の他方の側のpH−ISFETのドレ
インと抵抗との間でピックアップされた出力信号に対して、オフセット電圧だけ
、シフトすることができる。かくて、(通常のpH7の場合の)回路の零点を、
pH−ISFETの他の操作レベル(特にドレイン・ソース電圧UDS及びドレ
イン・ソース電流IDS)に無関係に調整することができる。
れた抵抗と取り替えることもできる。出力信号を、これらの抵抗の間の任意の箇
所でピックアップすることができる。個々の抵抗の大きさに従って、かようにピ
ックアップされた出力信号を、ブリッジ回路の一方の側にある2つの直列接続さ
れた抵抗の間で、あるいは、ブリッジ回路の他方の側のpH−ISFETのドレ
インと抵抗との間でピックアップされた出力信号に対して、オフセット電圧だけ
、シフトすることができる。かくて、(通常のpH7の場合の)回路の零点を、
pH−ISFETの他の操作レベル(特にドレイン・ソース電圧UDS及びドレ
イン・ソース電流IDS)に無関係に調整することができる。
【0015】 装置の出力信号は温度の影響に左右されない。何故ならば、装置は、同様に測 定液に設けられている基準電極を有しているからである。出力信号は、pH−I SFETのドレイン電位と、基準電極の基準電位との差に相当する出力電圧であ る。
【0016】 本発明に係わる装置の好ましい実施の形態によれば、装置は、同様に測定液に
設けられている基準ISFETを有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイ
ン電位と、基準ISFETのドレイン電位との差に相当する出力電圧であること
が提案される。基準ISFETが、本発明に係わる装置のpH−ISFETのよ
うに、ブリッジ回路に配線されているのは好ましい。この実施の形態によれば、
イオン濃度を測定するための従来のガラス電極のみを、pH−ISFETと取り
替えるのではない。むしろ、従来のガラス電極として形成された基準電極をもI
SFETと取り替える。
設けられている基準ISFETを有し、出力信号は、pH−ISFETのドレイ
ン電位と、基準ISFETのドレイン電位との差に相当する出力電圧であること
が提案される。基準ISFETが、本発明に係わる装置のpH−ISFETのよ
うに、ブリッジ回路に配線されているのは好ましい。この実施の形態によれば、
イオン濃度を測定するための従来のガラス電極のみを、pH−ISFETと取り
替えるのではない。むしろ、従来のガラス電極として形成された基準電極をもI
SFETと取り替える。
【0017】 第1の演算増幅器の出力が、コンデンサーによって、第1の演算増幅器のマイ ナスの入力端に帰還されていることは好ましい。このことによって、装置の振動 を抑えることができる。
【0018】 本発明の好ましい実施の形態によれば、抵抗にオーム抵抗を使用している。し かし、演算増幅器の出力を第1の演算増幅器の入力端に帰還するのに用いる抵抗 を、電源と取り替えることも考えられる。なお、この電源は、飽和で作動される 電界効果トランジスターによって実現できる。
【0019】 装置が、出来る限り低い光感度を有する出力信号を送出するように、本発明の
好都合な実施の形態によれば、pH−ISFETのドレイン電位及び電位シフト
電極の擬似基準電位は第1の差分信号となり、基準ISFETのドレイン電位及
び擬似基準電位は第2の差分信号となり、出力信号は第1の差分信号と第2の差
分信号との差に相当しており、pH−ISFETと基準ISFETとのゲート領
域には同一の照明状況が支配していること、が提案される。電位シフト電極は、
銀層又は塩化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準
ISFETは一定のpH値(例えばpH=7)を有する測定チャンバーに設けら
れている。測定チャンバーはダイヤフラムによって測定液とつながっている。
好都合な実施の形態によれば、pH−ISFETのドレイン電位及び電位シフト
電極の擬似基準電位は第1の差分信号となり、基準ISFETのドレイン電位及
び擬似基準電位は第2の差分信号となり、出力信号は第1の差分信号と第2の差
分信号との差に相当しており、pH−ISFETと基準ISFETとのゲート領
域には同一の照明状況が支配していること、が提案される。電位シフト電極は、
銀層又は塩化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準
ISFETは一定のpH値(例えばpH=7)を有する測定チャンバーに設けら
れている。測定チャンバーはダイヤフラムによって測定液とつながっている。
【0020】 この装置では、pH−ISFET及び基準ISFETは、電位シフト電極の擬
似基準電位に関していわゆる差分モードで作動される。差分の形成の故に、pH
−ISFET及び基準ISFETの、2つの差分信号における、光に左右される
信号成分は、ほぼ完全に補償される。かくて、出力信号も、照明状況に最も大幅
に左右されず、pH−ISFET及び基準ISFETのゲート領域における同一
の照明状況では、完全に左右されない。
似基準電位に関していわゆる差分モードで作動される。差分の形成の故に、pH
−ISFET及び基準ISFETの、2つの差分信号における、光に左右される
信号成分は、ほぼ完全に補償される。かくて、出力信号も、照明状況に最も大幅
に左右されず、pH−ISFET及び基準ISFETのゲート領域における同一
の照明状況では、完全に左右されない。
【0021】 電位シフト電極の擬似基準電位に関し差分モードで作動されるこの装置の場合
でも、pH−ISFETが、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路内に接
続されているのは好ましい。電位シフト電極の擬似基準電位に関する装置の作動
は、前記利点を有するが、請求項1の特徴部分のこれらの特徴を有するわけでは
ない。従って、この特許の保護は、請求項1の特徴部分に記載された特徴を有し
ない、最後に記述されたタイプの装置にも及ぶ。
でも、pH−ISFETが、少なくとも3つの抵抗と共に、ブリッジ回路内に接
続されているのは好ましい。電位シフト電極の擬似基準電位に関する装置の作動
は、前記利点を有するが、請求項1の特徴部分のこれらの特徴を有するわけでは
ない。従って、この特許の保護は、請求項1の特徴部分に記載された特徴を有し
ない、最後に記述されたタイプの装置にも及ぶ。
【0022】 ブリッジ電源電圧が一定であるのは好ましい。一定のブリッジ電源電圧は、出
来る限り安定的な出力電圧を発生させるために、本発明に係わる装置の回路の演
算増幅器に用いられる。出力電圧の安定性はブリッジ電源電圧のそれよりも良い
わけではない。従って、ブリッジ電源電圧を出来る限り安定的に保つためには、
出来る限り安定的な電圧源が重要である。
来る限り安定的な出力電圧を発生させるために、本発明に係わる装置の回路の演
算増幅器に用いられる。出力電圧の安定性はブリッジ電源電圧のそれよりも良い
わけではない。従って、ブリッジ電源電圧を出来る限り安定的に保つためには、
出来る限り安定的な電圧源が重要である。
【0023】 一定の電圧を発生させる種々の可能性が知られている。特に好ましい実施の形
態によれば、ブリッジ電源電圧はいわゆるバンドギャップダイオードのバンドス
ペース基準電圧として形成されていることが提案される。
態によれば、ブリッジ電源電圧はいわゆるバンドギャップダイオードのバンドス
ペース基準電圧として形成されていることが提案される。
【0024】 pH−ISFETのドレイン・ソース電圧が測定工程中一定であることは好ま
しい。これに加えて又は他に、pH−ISFETのドレイン・ソース電流は測定
工程中一定である。ドレイン・ソース電圧及びドレイン・ソース電流が一定であ
る動作状態は、定電荷モード(CCM)とも呼ばれる。ISFETのゲートはコ
ンデンサーである。CCMでのISFETの作動によって、コンデンサーの電荷
は一定であり、これによって、再電荷工程は生じない。このことによって、IS
FETは従来技術よりも速く応答し、より正確な測定値をもたらす。何故ならば
、ヒステリシス効果も生じることがないからである。
しい。これに加えて又は他に、pH−ISFETのドレイン・ソース電流は測定
工程中一定である。ドレイン・ソース電圧及びドレイン・ソース電流が一定であ
る動作状態は、定電荷モード(CCM)とも呼ばれる。ISFETのゲートはコ
ンデンサーである。CCMでのISFETの作動によって、コンデンサーの電荷
は一定であり、これによって、再電荷工程は生じない。このことによって、IS
FETは従来技術よりも速く応答し、より正確な測定値をもたらす。何故ならば
、ヒステリシス効果も生じることがないからである。
【0025】
【発明の実施の形態】 以下、図面を参照して、本発明の2つの好ましい実施の形態を詳述する。図1
では、本発明に係わる装置の全体に参照符号1が付されている。装置1はイオン
センシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)2が組み込まれてい
る電子回路を有する。pH−ISFET2によって、測定液中のイオン濃度を測
定することができる。そのとき、イオン濃度から、測定液のpH値を算出するこ
とができる。
では、本発明に係わる装置の全体に参照符号1が付されている。装置1はイオン
センシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)2が組み込まれてい
る電子回路を有する。pH−ISFET2によって、測定液中のイオン濃度を測
定することができる。そのとき、イオン濃度から、測定液のpH値を算出するこ
とができる。
【0026】 pH−ISFET2は、3つの抵抗(R1,R2,R3)と共に、ブリッジ回
路に接続されている。また、2つの給電点3介して、一定のブリッジ電源電圧U BSS がブリッジ回路に加えられる。ブリッジ回路のダイアゴナル電圧UDは第
1の演算増幅器OPのプラス入力端4とマイナス入力端5との間に加えられる。
演算増幅器OPの出力は、ブリッジ回路の3つの抵抗のうちの2個(R1,R2 )によって、演算増幅器OPの入力端4,5へ帰還される。演算増幅器OPのマ
イナスの入力端5にはpH−ISFET2のドレイン電位FDが加えられる。演
算増幅器OPは回路内でプラスの調整器として作動する。この理由から、ドレイ
ン電位FDはゲート電位FGに応動する。第1の演算増幅器OPは対称的に配線
されている。すなわち、演算増幅器の入力端4,5には、アースに関してほぼ同
一のインピーダンスがある。このことは、入力端4,5でのコモンモード干渉が
、温度による抵抗の変化によっても、より良く補償され、このことが演算増幅器
OPのより良好な直線性をもたらす、という利点を有する。
路に接続されている。また、2つの給電点3介して、一定のブリッジ電源電圧U BSS がブリッジ回路に加えられる。ブリッジ回路のダイアゴナル電圧UDは第
1の演算増幅器OPのプラス入力端4とマイナス入力端5との間に加えられる。
演算増幅器OPの出力は、ブリッジ回路の3つの抵抗のうちの2個(R1,R2 )によって、演算増幅器OPの入力端4,5へ帰還される。演算増幅器OPのマ
イナスの入力端5にはpH−ISFET2のドレイン電位FDが加えられる。演
算増幅器OPは回路内でプラスの調整器として作動する。この理由から、ドレイ
ン電位FDはゲート電位FGに応動する。第1の演算増幅器OPは対称的に配線
されている。すなわち、演算増幅器の入力端4,5には、アースに関してほぼ同
一のインピーダンスがある。このことは、入力端4,5でのコモンモード干渉が
、温度による抵抗の変化によっても、より良く補償され、このことが演算増幅器
OPのより良好な直線性をもたらす、という利点を有する。
【0027】 測定液のpH値の変化によって、pH−ISFET2のゲート電位FGが変化
する。このことはチャネル抵抗の変化、つまりドレイン電位FDの変化をもたら
す。演算増幅器OPのマイナスの入力端5に加えられるドレイン電位FDは、さ
らに装置1から取り出される。ドレイン電位FDと基準電位FREFとの差は、
出力電圧UpHと呼ばれる。出力電圧UpHは装置1の出力信号であり、測定液
のpH値に比例している。回路の出力電圧UpHは、回路の対称的な構造に基づ
き、温度に大幅に左右されない。図1に示した装置1では、基準電位FREFは
、同様に測定液中に設けられている基準電極6によって、発生される。しかし、
基準電極6を、本発明に係わる他の装置(図2を参照)と取り替えることも考え
られる。この場合、本発明に係わる装置のドレイン電位を基準電位FREFとし
て用いることも考えられる。
する。このことはチャネル抵抗の変化、つまりドレイン電位FDの変化をもたら
す。演算増幅器OPのマイナスの入力端5に加えられるドレイン電位FDは、さ
らに装置1から取り出される。ドレイン電位FDと基準電位FREFとの差は、
出力電圧UpHと呼ばれる。出力電圧UpHは装置1の出力信号であり、測定液
のpH値に比例している。回路の出力電圧UpHは、回路の対称的な構造に基づ
き、温度に大幅に左右されない。図1に示した装置1では、基準電位FREFは
、同様に測定液中に設けられている基準電極6によって、発生される。しかし、
基準電極6を、本発明に係わる他の装置(図2を参照)と取り替えることも考え
られる。この場合、本発明に係わる装置のドレイン電位を基準電位FREFとし
て用いることも考えられる。
【0028】 装置1の抵抗R4,R5及び他の回路7は分圧器として作用する。かくて、給
電点3同士の間には、動作電圧+UB,−UBとは異なる電圧(ブリッジ電源電
圧UBSS)が調整可能に加えられる。ブリッジ電源電圧UBSSは、固定の基
準電位のない、いわゆる浮動する電圧基準である。他の回路7の、上の給電点3
では、+UB−UR4と−UB+UBSS+UR5との電位が調整可能に加えら
れる。他の回路7の、下の給電点3には、+UB−UBSS−UR4と−UB+
UR5との電位が調整可能に加えられる。しかし乍ら、2つの給電点3の間には
、常に、ブリッジ電源電圧UBSSが加えられる。
電点3同士の間には、動作電圧+UB,−UBとは異なる電圧(ブリッジ電源電
圧UBSS)が調整可能に加えられる。ブリッジ電源電圧UBSSは、固定の基
準電位のない、いわゆる浮動する電圧基準である。他の回路7の、上の給電点3
では、+UB−UR4と−UB+UBSS+UR5との電位が調整可能に加えら
れる。他の回路7の、下の給電点3には、+UB−UBSS−UR4と−UB+
UR5との電位が調整可能に加えられる。しかし乍ら、2つの給電点3の間には
、常に、ブリッジ電源電圧UBSSが加えられる。
【0029】 図2には、基準電極6に代わって基準ISFET8が用いられる、本発明に係
わる装置1が示されている。図2の装置1が、出来る限り低い光感度を有する出
力信号UpHを送出するように、pH−ISFET2のドレイン電位FD及び電
位シフト電極9の擬似基準電位は第1の差分信号Udff1となり、基準ISF
ET8のドレイン電位FREF及び擬似基準電位は第2の差分信号Udff2と
なる。出力信号UpHは第1の差分信号Udff1と第2差分信号Udff2と
の差に相当する。pH−ISFET2と基準ISFET8とのゲート領域には同
一の照明状況が支配していることが好ましい。電位シフト電極9は、銀層又は塩
化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準ISFET
8は、一定のpH値(例えばpH=7)を有する基準溶液13が入っている測定
チャンバー10に設けられている。測定チャンバー10は、ダイヤフラム11に
よって測定液12とつながっている。
わる装置1が示されている。図2の装置1が、出来る限り低い光感度を有する出
力信号UpHを送出するように、pH−ISFET2のドレイン電位FD及び電
位シフト電極9の擬似基準電位は第1の差分信号Udff1となり、基準ISF
ET8のドレイン電位FREF及び擬似基準電位は第2の差分信号Udff2と
なる。出力信号UpHは第1の差分信号Udff1と第2差分信号Udff2と
の差に相当する。pH−ISFET2と基準ISFET8とのゲート領域には同
一の照明状況が支配していることが好ましい。電位シフト電極9は、銀層又は塩
化銀層を有する金属ピンとして形成されていることは好ましい。基準ISFET
8は、一定のpH値(例えばpH=7)を有する基準溶液13が入っている測定
チャンバー10に設けられている。測定チャンバー10は、ダイヤフラム11に
よって測定液12とつながっている。
【0030】
【発明の効果】 以上詳述したように本発明によれば、pH−ISFETを、出来る限り簡単な
回路で、しかも僅かな構成要素で、更に、温度のドリフトに対し余り作用を受け
ず、高い測定精度を有する回路に組み込めるように、構成し改善することができ
る。
回路で、しかも僅かな構成要素で、更に、温度のドリフトに対し余り作用を受け
ず、高い測定精度を有する回路に組み込めるように、構成し改善することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態に記載された、本発明に係わる装置の配線図を示している。
【図2】 第2の実施の形態に記載された、本発明に係わる装置の略図を示している。
【符号の説明】 1…装置、 2…イオンセンシティブ電界効果トランジスター(pH−ISFET)、 3…給電点、 4、5…入力端、 6…基準電極、 8…基準ISFET、 9…電位シフト電極、 10…測定チャンバー、 11…ダイヤフラム、 12…測定液、 OP…演算増幅器、 R1,R2,R3…抵抗。
Claims (12)
- 【請求項1】 測定液(12)中のイオン、特に水素(H+)イオンの濃度
を、少なくとも1つのイオンセンシティブ電界効果トランジスター(pH−IS
FET)(2)によって測定する装置であって、前記トランジスターは、この装
置(1)の内部で、電気回路に組み込まれていて、この電気回路は前記測定液(
12)中のイオン濃度の尺度を示す出力信号を送出してなる装置(1)において
、 少なくとも1つのpH−ISFET(2)は、少なくとも3つの抵抗(R1,
R2,R3)と共に、ブリッジ回路に接続されていること、を特徴とする装置(
1)。 - 【請求項2】 前記ブリッジ回路の給電点(3)にはブリッジ電源電圧(U BSS )が加えられ、及び、前記ブリッジ回路のダイアゴナル電圧(UD)は、
第1の演算増幅器(OP)のプラスの入力端(4)とマイナスの入力端(5)と
の間に加えられ、前記演算増幅器の出力は前記ブリッジ回路の2つの抵抗(R1 ,R2)によって前記第1の演算増幅器(OP)の前記入力端(4,5)に帰還
されていること、を特徴とする請求項1に記載の装置(1)。 - 【請求項3】 前記第1の演算増幅器(OP)の出力は、コンデンサーによ
って、前記第1の演算増幅器(OP)の前記マイナスの入力端(5)に帰還され
ていること、を特徴とする請求項2に記載の装置(1)。 - 【請求項4】 前記抵抗(R1,R2,R3)はオーム抵抗であること、を
特徴とする請求項1乃至3のいずれか1に記載の装置(1)。 - 【請求項5】 出力信号は前記pH−ISFET(2)のドレイン電位(F D )であること、を特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載の装置(1)
。 - 【請求項6】 前記装置(1)の出力信号は温度の影響に左右されないこと
、を特徴とする請求項1乃至5のいずれか1に記載の装置(1)。 - 【請求項7】 前記装置(1)は、同様に前記測定液(12)に設けられて
いる基準電極(6)を有し、出力信号は、前記pH−ISFET(2)の前記ド
レイン電位(FD)と、前記基準電極(6)の基準電位(FREF)との差に相
当する出力電圧(UpH)であること、を特徴とする請求項6に記載の装置(1
)。 - 【請求項8】 前記装置(1)は、同様に前記測定液(12)に設けられて
いる基準ISFET(8)を有し、出力信号は、前記pH−ISFET(2)の
前記ドレイン電位(FD)と、前記基準ISFET(8)の基準電位(FREF )との差に相当する出力電圧(UpH)であること、を特徴とする請求項6に記
載の装置(1)。 - 【請求項9】 前記pH−ISFET(2)の前記ドレイン電位(FD)及
び電位シフト電極(9)の擬似基準電位は第1の差分信号(Udff1)であり
、前記基準ISFET(8)のドレイン電位(FD)及び擬似基準電位は第2の
差分信号(Udff2)であり、出力信号(UpH)は第1の差分信号(Udf f1 )と第2の差分信号(Udff2)との差に相当し、前記pH−ISFET
(2)と前記基準ISFET(8)とのゲート領域には同一の照明状況が支配し
ていること、を特徴とする請求項8に記載の装置(1)。 - 【請求項10】 前記ブリッジ電源電圧(UBSS)はバンドギャップダイ
オードのバンドスペース基準電圧であること、を特徴とする請求項1乃至9のい
ずれか1に記載の装置(1)。 - 【請求項11】 前記pH−ISFET(2)のドレイン・ソース電圧(U DS )は測定工程中一定であること、を特徴とする請求項1乃至10のいずれか
1に記載の装置(1)。 - 【請求項12】 前記pH−ISFET(2)のドレイン・ソース電流(I DS )は測定工程中一定であること、を特徴とする請求項1乃至11のいずれか
1に記載の装置(1)。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19857953.5 | 1998-12-16 | ||
DE19857953A DE19857953C2 (de) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | Vorrichtung zum Messen der Konzentration von Ionen in einer Meßflüssigkeit |
PCT/EP1999/009804 WO2000036408A1 (de) | 1998-12-16 | 1999-12-11 | Vorrichtung zum messen der konzentration von ionen in einer messflüssigkeit |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002532716A true JP2002532716A (ja) | 2002-10-02 |
Family
ID=7891228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000588597A Pending JP2002532716A (ja) | 1998-12-16 | 1999-12-11 | 測定液中のイオン濃度を測定する装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
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EP (1) | EP1153286B1 (ja) |
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CA (1) | CA2354424A1 (ja) |
DE (2) | DE19857953C2 (ja) |
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