JP2002372506A - 光熱変換分光分析方法、及びその方法を実行する光熱変換分光分析装置 - Google Patents

光熱変換分光分析方法、及びその方法を実行する光熱変換分光分析装置

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JP2002372506A
JP2002372506A JP2001178819A JP2001178819A JP2002372506A JP 2002372506 A JP2002372506 A JP 2002372506A JP 2001178819 A JP2001178819 A JP 2001178819A JP 2001178819 A JP2001178819 A JP 2001178819A JP 2002372506 A JP2002372506 A JP 2002372506A
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lens
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detection light
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Atsushi Yamaguchi
山口  淳
Akihiko Hattori
明彦 服部
Takehiko Kitamori
武彦 北森
Manabu Tokeshi
学 渡慶次
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Kanagawa Academy of Science and Technology
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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    • G01N21/171Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection
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    • G01N2021/1712Thermal lens, mirage effect

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度な測定ができる光熱変換分光分析方
法、及び該方法を実行する光熱変換分光分析装置を提供
する。 【解決手段】 光熱変換分光分析装置は、励起光用光源
111から出射される励起光の光路上で励起光用光源1
11の近傍に配置されたチョッパー112、励起光の進
行方向を変えるミラー114、検出光用光源120から
の検出光が入射して、励起光と検出光とが同軸にされる
ダイクロイックミラー113、適切な色収差を有するレ
ンズ10、このレンズ10を3軸に調整可能に保持する
保持具15から成る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、集光レンズによっ
て励起光と検出光とを試料に集光照射し、前記励起光の
集光照射によって生成された熱レンズを透過した検出光
の偏向にともなう強度の変化を測定する光熱変換分光分
析方法及び装置に関し、特に微小空間において精度の高
い超微量分析が可能であると共に、任意の場所で簡便な
測定が可能な光熱変換分光分析方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体や生体試料、あるいは各種
の液体試料等の分析や測定を行う方法として分光分析方
法が広く利用されてきている。しかし、従来の分光分析
方法では、微小空間での微量な物質あるいは微小な物質
を分析する場合には、測定条件として真空が必要であっ
た。また、電子ビームやイオンビームの利用にともなっ
て、試料が破壊されたり、損傷されたりする等の問題が
あった。
【0003】また、溶液あるいは生体組織中等の超微量
の試料を扱う場合には、高精度で高い空間分解能での分
析ができる、光学領域の顕微鏡の使用が必須である。こ
のような顕微鏡として実際に使用されているのはレーザ
ー蛍光顕微鏡に限られている。したがって、分析の対象
もおのずとレーザー蛍光顕微鏡蛍光分子に限られてい
る。
【0004】このような事情から、真空場を必要とする
ことがなく、非接触、非損傷での分析が可能であって、
しかも分析対象が蛍光分子に限られることなく、高精度
で、高い空間分解能での分析が可能な分析方法が求めら
れてきた。
【0005】これらの要求を満たす分析方法として、光
熱変換現象による熱レンズ効果を利用した光熱変換分光
分析法が注目されている。
【0006】この光熱変換分光分析法は、試料に光を集
光照射したときに試料中の溶質の光吸収に起因してその
後放出される熱エネルギーによって溶媒が局所的に温度
上昇して屈折率が変化し、その結果、熱レンズが形成さ
れるという光熱変換効果を利用するものである。
【0007】図3は、熱レンズの原理の説明図である。
【0008】図3において、対物レンズを介して励起光
を極微小試料に集光照射すると光熱変換効果が誘起され
る。多くの物質では温度上昇に伴い屈折率が小さくなる
ので、励起光が集光照射された試料は、集光中心ほど温
度上昇により屈折率が低下し、熱拡散により周囲に近付
くほど温度上昇しないので屈折率の低下が少ない。光学
的にはこの屈折率の分布はちょうど凹レンズと同じ効果
を持つので、この効果を熱レンズ効果と呼ぶ。この熱レ
ンズ効果の大きさ、即ち凹レンズの度数は試料の光吸収
度に比例する。また、屈折率が温度に比例して大きくな
る場合は、凸レンズが形成される。
【0009】このように、上記光熱変換分光分析法は、
熱の拡散、即ち屈折率の変化を観察するものであるの
で、極微小試料の濃度を検出するのに適している。
【0010】上記光熱変換分光分析法を実行する光熱変
換分光分析装置としては、例えば特開平10−2322
10号公報に記載されたものが提案されている。
【0011】このような光熱変換分光分析装置において
は、試料は顕微鏡の対物レンズの下方に配置され、励起
光用光源から出力された所定波長の励起光は、顕微鏡に
入射し、この顕微鏡の対物レンズによって試料中の極微
量領域に集光照射される。この集光照射位置を中心に熱
レンズが形成される。
【0012】一方、検出光用光源から出力され、波長が
励起光と異なる検出光は、顕微鏡に入射し、顕微鏡から
出射される検出光は、励起光により試料に形成された熱
レンズに集光照射され、試料を透過して発散又は集光す
る。この試料から発散又は集光して出射された光は信号
光となり、その信号光は、集光レンズ及びフィルタ又は
フィルタを経て検出器によって検出される。検出された
信号光の強度は、試料において形成された熱レンズに応
じたものである。
【0013】上記検出光に関しては、励起光と同じ周波
数でもよく、また、励起光が検出光を兼ねることもでき
る。一般的には励起光と検出光との周波数を異なるもの
とした場合に良い感度が得られる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光熱変換分光分析装置は、光源や、測定部や検出部
(光電変換部)の光学系等が複雑にシステムアップされ
ており、大型で可搬性に欠けていた。このため、この熱
レンズ顕微鏡システムを利用した分析や化学反応を行う
際には、その場所や操作が限定される要因になってい
た。
【0015】多くの場合、熱レンズを用いた光熱変換分
光分析法を用いる場合には、励起光の焦点位置と検出光
の焦点位置とが異なっていることが必要となる。図4
は。励起光の光軸方向(Z方向)に関する熱レンズの形
成位置と検出光の焦点位置との説明図であり、(a)は
対物レンズが色収差をもつ場合を示し、(b)は対物レ
ンズが色収差をもたない場合を示す。
【0016】対物レンズ130が色収差をもつ場合は、
図4(a)に示すように、熱レンズ131は、励起光の
焦点位置132に形成されると共に、検出光の焦点位置
133はΔLだけ励起光の焦点位置132からずれるの
で、この検出光により熱レンズ131の屈折率の変化を
検出光の焦点距離の変化として検出できる。一方、対物
レンズ130が色収差をもたない場合は、図4(b)に
示すように、検出光の焦点位置133は、励起光の焦点
位置132に形成される熱レンズ131の位置とほぼ一
致する。このため、検出光は熱レンズ131によって偏
向しないので熱レンズ131の屈折率の変化を検出でき
ない。
【0017】しかしながら、顕微鏡の対物レンズは、通
常、色収差をもたないように製造されている。したがっ
て、上記の理由により、検出光の焦点位置133は、励
起光の焦点位置132に形成される熱レンズ131の位
置とほぼ一致し(図4(b))、熱レンズ131の屈折
率の変化を検出することができない。このため、測定の
度に、熱レンズが形成される試料の位置を、図5(a)
及び図5(b)に示すように、検出光の焦点位置133
からずらしたり、図6に示すように、不図示のレンズを
用いて検出光を若干発散又は集光させて対物レンズに入
射させることにより検出光の焦点位置133を熱レンズ
131からずらしたりしなければならず、手間が掛かる
という問題もある。
【0018】本発明の目的は、高感度な測定ができる光
熱変換分光分析方法、及び該方法を実行する小型の光熱
変換分光分析装置を提供することにあり、さらには、測
定を行うたびに励起光及び検出光双方の焦点位置を調整
する必要がない光熱変換分光分析方法、及び該方法を実
施する小型の光熱変換分光分析装置を提供することにあ
る。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の光熱変換分光分析方法は、集光レン
ズによって励起光と検出光とを試料に集光照射する集光
照射工程と、前記励起光の集光照射によって生成された
熱レンズを透過した検出光の偏向にともなう強度の変化
を測定する測定工程とを有する光熱変換分光分析方法に
おいて、前記励起光と前記検出光との周波数が異なり、
前記集光レンズは、励起光の焦点位置に対する検出光の
焦点位置のずれが、励起光の周波数における共焦点長の
2倍以上かつ30倍以下であることを特徴とする。
【0020】上記目的を達成するために、請求項2記載
の光熱変換分光分析方法は、集光レンズによって励起光
と検出光とを試料に集光照射する集光照射工程と、前記
励起光の集光照射によって生成された熱レンズを透過し
た検出光の偏向にともなう強度の変化を測定する測定工
程とを有する光熱変換分光分析方法において、前記励起
光と前記検出光との周波数が異なり、前記集光レンズ
は、励起光の焦点位置に対する検出光の焦点位置のずれ
が、励起光の周波数における共焦点長の2倍以上かつ2
5倍以下であることを特徴とする。
【0021】請求項3記載の光熱変換分光分析方法は、
請求項1又は2記載の光熱変換分光分析方法において、
前記集光レンズはロッドレンズであることを特徴とす
る。
【0022】上記目的を達成するために、請求項4記載
の光熱変換分光分析装置は、集光レンズによって励起光
と検出光とを試料に集光照射し、前記励起光の集光照射
によって生成された熱レンズを透過した検出光の偏向に
ともなう強度の変化を測定する光熱変換分光分析装置に
おいて、前記励起光と前記検出光との周波数が異なり、
前記集光レンズは、励起光の焦点位置に対する検出光の
焦点位置のずれが、励起光の周波数における共焦点長の
2倍以上かつ30倍以下であることを特徴とする。
【0023】上記目的を達成するために、請求項5記載
の光熱変換分光分析装置は、集光レンズによって励起光
と検出光とを試料に集光照射し、前記励起光の集光照射
によって生成された熱レンズを透過した検出光の偏向に
ともなう強度の変化を測定する光熱変換分光分析装置に
おいて、前記励起光と前記検出光との周波数が異なり、
前記集光レンズは、励起光の焦点位置に対する検出光の
焦点位置のずれが、励起光の周波数における共焦点長の
2倍以上かつ25倍以下であることを特徴とする。
【0024】請求項6記載の光熱変換分光分析装置は、
請求項4又は5記載の光熱変換分光分析装置において、
前記集光レンズはロッドレンズであることを特徴とす
る。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
光熱変換分光分析方法及びその方法を実行する光熱変換
分光分析装置を図面を参照しながら詳細に説明する。
【0026】図1は、本発明の実施の形態に係る光熱変
換分光分析装置の概略構成を示す模式図である。
【0027】図1において、励起光用光源111から出
射される励起光の光路上で励起光用光源111の近傍に
は、励起光を変調して熱レンズ信号のS/N比を向上さ
せるためのチョッパー112が配置されている。変調さ
れた励起光はミラー114によって進行方向を変えられ
た後に、ダイクロイックミラー113を通過する。この
ダイクロイックミラー113には検出光用光源120か
らの検出光が入射する。ダイクロイックミラー113に
よって励起光と検出光とが同軸になり、適切な色収差を
有するレンズ10に導かれる。レンズ10は、3軸に調
整可能な保持具15によって保持されている。本実施の
形態においては、レンズ10は屈折率分布型のロッドレ
ンズである。なお、レンズ10は所定の色収差を有する
ものならば屈折率分布型のロッドレンズに限られるもの
ではない。
【0028】このロッドレンズ10は、中心から周辺に
向かって屈折率が連続的に変化する、例えばガラス又は
プラスチック製の円柱状透明体から成る(例えば、特公
昭63−63502号公報)。
【0029】ロッドレンズ10は、中心から周辺に向か
って屈折率が連続的に変化しており、中心軸から半径方
向でrの距離の位置における屈折率n(r)が、軸上屈
折率をn0、2乗分布定数をgとして、近似的にrに関
する2次方程式 n(r)=n0{1−(g2/2)・r2} で表される集束性光伝送体として知られている。
【0030】ロッドレンズ10は、その長さz0を0<
0<π/2gの範囲内で選ぶとき、その結像特性は、
両端面が平坦でありながら通常の凸レンズと同じであ
り、平行入射光線によって出射端より、 s0=cot(gz0)/n0g の位置に焦点が作られる。
【0031】また、ロッドレンズ10は、例えば、以下
の方法で製造される。
【0032】即ち、モル百分率でSiO2:57〜63
%、B23:17〜23%、Na2O:5〜17%、T
2O:3〜15%を主成分とするガラスでロッドを成
形した後、このガラスロッドを硝酸カリウム塩等のイオ
ン交換媒体中で処理してガラス中のタリウムイオン及び
ナトリウムイオンと媒体中のカリウムイオンとのイオン
交換を行ってガラスロッド内に中心から周辺に向けて連
続的に低減する屈折率分布を与える。
【0033】ロッドレンズ10は円柱状であるので、保
持具15による保持が容易である。ロッドレンズ10の
端面がロッドレンズ10の光軸に対して垂直平面である
ので、励起光及び検出光双方の光軸をロッドレンズ10
の光軸に容易に合わせることができる。さらに、このロ
ッドレンズ10は、顕微鏡用対物レンズと比較してかな
り小さいので、装置全体を小型化できる。
【0034】ロッドレンズ10の下方には、検出するた
めの試料を流す流路付き板状部材20がX−Y試料ステ
ージ125上に配設されている。
【0035】流路付き板状部材20は、3層に重ねられ
ると共に互いに接着されたガラス基板201,202,
203から成り、混合、攪拌、合成、分離、抽出、検出
等に用いられる流路204が形成されている。
【0036】この流路付き板状部材20の材料は耐久
性、耐薬品性の面からガラスが望ましく、細胞等の生体
試料、例えばDNA解析用としての用途を考慮すると、
耐酸性、耐アルカリ性の高いガラス、具体的には、硼珪
酸ガラス、ソーダライムガラス、アルミノ硼珪酸ガラ
ス、石英ガラス等が好ましい。しかし、用途を限定する
ことによってプラスチック等の有機物を用いることがで
きる。ロッドレンズ10の励起光の焦点位置は、流路付
き板状部材20の流路204の中に位置する必要があ
る。しかし、ロッドレンズ10は流路付き板状部材20
に接触している必要はなく、接触させる場合は板状部材
20の上部ガラス板201の厚みでロッドレンズ10の
焦点距離を調整できる。上部ガラス板201の厚みが足
りない場合は、ロッドレンズ10と上部ガラス板201
との間に焦点距離を調整するためのスペーサーを入れて
もよい。これらの場合は、焦点距離の調整も不要になる
ので、装置をさらに小型化できる。
【0037】励起光の焦点位置と検出光の焦点位置との
ずれ(ΔL)がどの程度であればよいかについて説明す
る。測定対象物が非常に薄い薄膜の場合には、励起光を
集光照射するのに用いた対物レンズの共焦点長の√3倍
が最適であるという結果が得られている(Analyst, Aug
ust 1995, Vol.120,2053)。共焦点長(Ic:nm)
は、Ic=π・(d/2)2/λ1で計算される。ここ
で、dはd=1.22×λ 1/NAで計算されるエアリ
ーディスクであり、λ1は励起光の波長(nm)、NA
は用いられた対物レンズの開口数である。このΔLの値
は、励起光の焦点位置と検出光の焦点位置との差を表わ
しているので、検出光の焦点距離が励起光の焦点距離よ
りも長い場合も短い場合も同じ結果になる。
【0038】しかしながら、上記ΔLの最適値は励起光
と検出光とが同一の周波数であり、試料が対物レンズの
共焦点長に対して厚くない場合に得られたものである。
【0039】現在、化学反応を微小空間で行うための集
積化技術が、化学反応の高速性や微少量での反応、オン
サイト分析等の観点から注目され、世界的に精力的に研
究が進められている。
【0040】上記の集積化技術の1つとして、小さなガ
ラス基板等に作製した微細な流路の中で試料の混合、反
応、分離、抽出、検出の全てを行うことを目指したもの
がある。これらは、分離だけを目的としたような単一の
機能のみで用いられてもよく、また、複合して用いられ
てもよい。
【0041】分離のみを目的としたものとして、極微量
のタンパクや核酸等を分析する電気泳動装置が提案され
ている。これは互いに接合された2枚のガラス基板から
なる流路付き板状部材を備えている(例えば、特開平8
−178897号公報)。
【0042】これらに用いられる板状部材に作製された
流路は、溶液を液体の特性を維持して流す必要があるこ
とから、深さは通常50〜100μm程度である。この
流路を測定対象物が流れている状態で光熱変換分光分析
を実施することは、測定対象の厚みが励起光の共焦点長
に対して非常に厚いことを意味する。例えば、波長53
2nmの励起光をNA(開口数)0.4の対物レンズで
集光した場合の共焦点長は、3.9μmであるが、流路
の厚みはその10倍以上あることになる。このように測
定対象物が共焦点長に対して厚い場合は、前記の薄膜の
場合と比較すると、熱レンズを形成する薄膜が厚み方向
に数多く積層した状態と同じになり、最終的にはその積
分値になるので、薄膜の場合よりも励起光と検出光との
焦点位置のずれの最適値は大きなものとなることが予想
される。但し、励起光と検出光との焦点位置のずれがあ
まりに大きくなると、励起光によって生成される熱レン
ズを透過する検出光の量が少なくなりすぎて検出感度が
低下するので、光熱変換分光分析方法に使用する対物レ
ンズが有する色収差、すなわち、励起光の焦点位置と検
出光の焦点位置との差(ΔL)は、励起光の共焦点長の
2倍〜30倍までが望ましく、より望ましくは2倍〜2
5倍である。より一層望ましいのは3倍〜25倍であ
る。
【0043】光熱変換分光分析方法に用いる励起光強度
が小さい場合、測定対象物の濃度が低い場合等は、励起
光の焦点位置から離れた部分にできる熱レンズの度数が
小さくなるため、測定対象物の厚み全体を積分した熱レ
ンズ効果が小さくなることが予想される。このような場
合は、ΔLを上記の値よりも小さくすることが望まし
い。よって、ΔLは2倍〜25倍が望ましく、より望ま
しいのは3倍〜25倍であり、さらに望ましいのは3倍
〜20倍である。
【0044】屈折率分布型のロッドレンズを使用してど
の程度の色収差が得られるかを例示する。用いる屈折率
分布型ロッドレンズには、日本板硝子株式会社のSEL
FOCレンズカタログに記載されているSLHレンズを
用いる。このカタログには直径1.8mmでの特性が記
載されているので、それを直径1mmに換算して使用す
る。
【0045】流路付き板状部材の材質がパイレックス
(登録商標)ガラス、流路上の厚み(上部ガラス201
の厚み)が0.18mm、流路の深さ0.1mm、屈折
率分布ロッドレンズSLHの直径1mm、実際にレンズ
中を光が透過する有効径0.7mm、ロッド長1.7m
m、励起光波長488nm、検出光波長633nm、励
起光の焦点位置が流路の真中とした場合に得られる励起
光と検出光との焦点位置差(ΔL)は45μmである。
このときの焦点位置でのNAは0.46で、励起光での
共焦点長は2.7μmである(ΔLは共焦点長の17
倍)。
【0046】図2に、ΔLと光熱変換分光分析方法での
信号強度の関係の一例を示す。これは、下記の条件で測
定した場合のものである。
【0047】対物レンズとして色収差のないNA0.4
の顕微鏡対物レンズを用い、励起光はそのまま対物レン
ズに導き、検出光は対物レンズに入射する以前に発散又
は集光させることによって焦点位置を変化させている。
試料にはサンセットイエローを10-4モルの濃度で溶解
した水溶液を0.1mm厚みの溝に入れたものを使用
し、励起光の波長は532nm、検出光の波長は633
nmである。励起光の焦点位置を溝の中心に固定し、検
出光の焦点位置をその位置から光軸方向にずらしながら
光熱変換分光分析方法で得られる信号強度を測定してプ
ロットした。
【0048】図2においては、信号強度が最高になるの
はΔLが約60μmとなった場合で、これは励起光にお
ける共焦点長の約15倍である(励起光に対する共焦点
長3.9μm)。得られた信号強度が最高強度の1/2
以上となる領域は、ΔLが励起光における共焦点長の4
倍から27倍までであった。
【0049】上述の流路付き板状部材20の流路204
に面する位置であって、図1に示したロッドレンズ10
に対向する位置には、励起光と検出光とを分離し、検出
光のみを選択的に透過させる波長フィルタ116及び該
波長フィルタ116を透過した検出光を検出する光電変
換器117が配置されている。光電変換器117の手前
には、検出光の一部のみを透過させるためのピンホール
を挿入してもよい。光電変換器117によって得られ、
プリアンプ121によって増幅された信号は、チョッパ
ー112と同期させるために、ロックインアンプ122
に送られ、その後、コンピュータ123で解析される。
【0050】本発明の実施の形態によれば、ロッドレン
ズ10は、用いる励起光及び検出光の波長並びに測定に
用いる流路付き板状部材20内の流路204のディメン
ジョン他に適した色収差量を有しているため、高感度の
測定ができると共に、外部に励起光又は検出光の焦点位
置を調整するための光学系を設置する必要がなくなるこ
とによって装置を小型化できる。
【0051】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1記
載の光熱変換分光分析方法、及び請求項4記載の光熱変
換分光分析装置によれば、励起光と検出光との周波数が
異なり、集光レンズは、励起光の焦点位置に対する検出
光の焦点位置のずれが、励起光の周波数における共焦点
長の2倍以上かつ30倍以下であるので、十分な信号強
度がえられ、この結果、高感度な測定ができる。
【0052】請求項2記載の光熱変換分光分析方法、及
び請求項5記載の光熱変換分光分析装置によれば、励起
光と検出光との周波数が異なり、集光レンズは、励起光
の焦点位置に対する検出光の焦点位置のずれが、励起光
の周波数における共焦点長の2倍以上かつ25倍以下で
あるので、信号強度はより大きく、この結果、より高感
度な測定ができる。
【0053】請求項3記載の光熱変換分光分析方法及び
請求項6の光熱変換分光分析装置によれば、集光レンズ
はロッドレンズであるので、励起光及び検出光の焦点位
置の調整をするための光学系を省略でき、また、これに
よって装置の小型化ができることとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る光熱変換分光分析装
置の概略構成を示す模式図である。
【図2】ΔLと光熱変換分光分析方法での信号強度の関
係の一例を示す図である。
【図3】熱レンズの原理の説明図である。
【図4】検出光の光軸方向(Z方向)に関する熱レンズ
の形成位置と検出光の焦点位置との説明図であり、
(a)は対物レンズが色収差をもつ場合を示し、(b)
は対物レンズが色収差をもたない場合を示す。
【図5】光の光軸方向(Z方向)に関する熱レンズの形
成位置と検出光の焦点位置の説明図であり、(a)は、
熱レンズが検出光の焦点位置に関してレンズ側に形成さ
れた場合、(b)は、熱レンズが検出光の焦点位置に関
してレンズの反対側に形成された場合を示す。
【図6】従来の光熱変換分光分析装置における熱レンズ
の屈折率の変化を検出する方法の説明図である。
【符号の説明】
10 ロッドレンズ 20 流路付き板状部材 111 励起光用光源 112 チョッパー 113 ダイクロイックミラー 116 波長フィルタ 117 光電変換器 120 検出光用光源 121 プリアンプ 122 ロックインアンプ 123 コンピューター 201,202,203 ガラス基板 204 流路
フロントページの続き (72)発明者 服部 明彦 大阪府大阪市中央区北浜4丁目7番28号 日本板硝子株式会社内 (72)発明者 北森 武彦 東京都文京区本郷2丁目32番地2−304 (72)発明者 渡慶次 学 神奈川県川崎市高津区坂戸3−2−1 Fターム(参考) 2G040 AA02 AB07 AB08 BA24 CA12 CA23 EA06 EA11 EB02 EC04

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 集光レンズによって励起光と検出光とを
    試料に集光照射する集光照射工程と、前記励起光の集光
    照射によって生成された熱レンズを透過した検出光の偏
    向にともなう強度の変化を測定する測定工程とを有する
    光熱変換分光分析方法において、前記励起光と前記検出
    光との周波数が異なり、前記集光レンズは、励起光の焦
    点位置に対する検出光の焦点位置のずれが、励起光の周
    波数における共焦点長の2倍以上かつ30倍以下である
    ことを特徴とする光熱変換分光分析方法。
  2. 【請求項2】 集光レンズによって励起光と検出光とを
    試料に集光照射する集光照射工程と、前記励起光の集光
    照射によって生成された熱レンズを透過した検出光の偏
    向にともなう強度の変化を測定する測定工程とを有する
    光熱変換分光分析方法において、前記励起光と前記検出
    光との周波数が異なり、前記集光レンズは、励起光の焦
    点位置に対する検出光の焦点位置のずれが、励起光の周
    波数における共焦点長の2倍以上かつ25倍以下である
    ことを特徴とする光熱変換分光分析方法。
  3. 【請求項3】 前記集光レンズはロッドレンズであるこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載の光熱変換分光分析
    方法。
  4. 【請求項4】 集光レンズによって励起光と検出光とを
    試料に集光照射し、前記励起光の集光照射によって生成
    された熱レンズを透過した検出光の偏向にともなう強度
    の変化を測定する光熱変換分光分析装置において、前記
    励起光と前記検出光との周波数が異なり、前記集光レン
    ズは、励起光の焦点位置に対する検出光の焦点位置のず
    れが、励起光の周波数における共焦点長の2倍以上かつ
    30倍以下であることを特徴とする光熱変換分光分析装
    置。
  5. 【請求項5】 集光レンズによって励起光と検出光とを
    試料に集光照射し、前記励起光の集光照射によって生成
    された熱レンズを透過した検出光の偏向にともなう強度
    の変化を測定する光熱変換分光分析装置において、前記
    励起光と前記検出光との周波数が異なり、前記集光レン
    ズは、励起光の焦点位置に対する検出光の焦点位置のず
    れが、励起光の周波数における共焦点長の2倍以上かつ
    25倍以下であることを特徴とする光熱変換分光分析装
    置。
  6. 【請求項6】 前記集光レンズはロッドレンズであるこ
    とを特徴とする請求項4又は5記載の光熱変換分光分析
    装置。
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