JP2704341B2 - 光波長変換装置 - Google Patents

光波長変換装置

Info

Publication number
JP2704341B2
JP2704341B2 JP4067050A JP6705092A JP2704341B2 JP 2704341 B2 JP2704341 B2 JP 2704341B2 JP 4067050 A JP4067050 A JP 4067050A JP 6705092 A JP6705092 A JP 6705092A JP 2704341 B2 JP2704341 B2 JP 2704341B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
harmonic
laser beam
nonlinear optical
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4067050A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05210135A (ja
Inventor
洋二 岡崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP4067050A priority Critical patent/JP2704341B2/ja
Priority to US07/984,354 priority patent/US5253102A/en
Publication of JPH05210135A publication Critical patent/JPH05210135A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2704341B2 publication Critical patent/JP2704341B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/108Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
    • H01S3/109Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35Non-linear optics
    • G02F1/353Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
    • G02F1/3534Three-wave interaction, e.g. sum-difference frequency generation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35Non-linear optics
    • G02F1/37Non-linear optics for second-harmonic generation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザービームを短波長
化する光波長変換装置に関し、特に詳細には、レーザー
ビームをまず第1の非線形光学材料の結晶に入射させて
第2高調波を発生させ、さらにこの第2高調波と上記レ
ーザービームを第2の非線形光学材料の結晶に入射させ
てそれらの和周波を発生させる光波長変換装置に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】例えば特開昭62-189783 号公報に示され
るように、ネオジウム等の希土類がドーピングされた固
体レーザーロッドを半導体レーザー(レーザーダイオー
ド)によってポンピングするレーザーダイオードポンピ
ング固体レーザーが公知となっている。この種の固体レ
ーザーにおいては、より短波長のレーザー光を得るため
に、その共振器内に非線形光学材料のバルク単結晶を配
設して、固体レーザー発振ビームを第2高調波に波長変
換することも行なわれている。
【0003】また、さらに短波長の例えば紫外域のレー
ザービームを得ることを目的として、Technical Dig
est of Conference on Lasers and Electro−Opt
ics,1991.p218 に示されるように、固体レーザー発
振ビームとその第2高調波とを第2の非線形光学材料の
結晶に入射させて、それらの和周波を発生させる試みも
なされている。この光波長変換装置は、より詳しくは、
固体レーザー媒質であるYAG結晶をランプ光でポンピ
ングして波長1064nmの固体レーザービームを得、この
固体レーザービームを第1の非線形光学材料結晶である
KTP結晶に入射させて波長532 nmの第2高調波を
得、この第2高調波と上記固体レーザービームとを第2
の非線形光学材料結晶としてのBBO結晶に入射させて
波長355 nmの和周波を得るものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この光波長変換装置
は、極めて短波長のレーザービームを得ることができる
が、その半面、非常に波長変換効率が低いものとなって
いた。そのため、内部パワーを高くできるパルス動作の
レーザービームしか得られず、内部パワーの低い連続動
作のレーザービームは得られていなかった。具体例を挙
げると、ポンピング用ランプの出力を5kWとして固体
レーザーをQスイッチ発振させ、その内部パワーを高く
し、そして2つの基本波と和周波との間でタイプIの位
相整合を取った場合において、和周波出力は100 mWで
あると報告されている。
【0005】本発明は上記のような事情に鑑みてなされ
たものであり、第2高調波発生と和周波発生とにより極
めて短波長の連続動作のレーザービームを得ることがで
き、そして高い波長変換効率を実現できる光波長変換装
置を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による第1の光波
長変換装置は、請求項1に記載のように、直線偏光した
レーザービームを第1の非線形光学材料の結晶に入射さ
せて第2高調波を発生させ、この第2高調波と上記レー
ザービームを第2の非線形光学材料の結晶に入射させ
て、それらの和周波を発生させる光波長変換装置におい
て、第2の非線形光学材料の結晶に入射する上記レーザ
ービームおよび第2高調波の光路に、それらの直線偏光
方向をほぼ互いに等しく揃える位相補償板が挿入された
ことを特徴とするものである。
【0007】本発明による第2の光波長変換装置は、請
求項2に記載のように、基本波としての直線偏光したレ
ーザービームを第1の非線形光学材料の結晶に入射させ
て第2高調波を発生させ、この第2高調波と上記レーザ
ービームを第2の非線形光学材料の結晶に入射させて、
それらの和周波を発生させる光波長変換装置において、
第1の非線形光学材料の結晶として、上記レーザービー
ムと第2高調波とを位相整合させる周期ドメイン反転構
造を有するものが用いられたことを特徴とするものであ
る。
【0008】また本発明による第3の光波長変換装置
は、請求項3に記載のように、基本波としての直線偏光
したレーザービームを第1の非線形光学材料の結晶に入
射させて第2高調波を発生させ、この第2高調波と上記
レーザービームを第2の非線形光学材料の結晶に入射さ
せて、それらの和周波を発生させる光波長変換装置にお
いて、第1および第2の非線形光学材料の結晶として共
通のものが用いられ、この共通の結晶に、上記レーザー
ビームと第2高調波とを位相整合させる第1の周期ドメ
イン反転構造と、上記レーザービームおよび第2高調波
と和周波とを位相整合させる第2の周期ドメイン反転構
造とが形成されていることを特徴とするものである。
【0009】上記第2および第3の光波長変換装置にお
ける周期ドメイン反転構造とは、非線形光学効果を有す
る強誘電体の自発分極(ドメイン)を周期的に反転させ
た構造である。このような周期ドメイン反転構造を有す
る非線形光学材料の結晶を用いて、基本波を第2高調波
に波長変換する方法が既にBleombergenらによって提案
されている(Phys.Rev.,vol.127,No.6,1918(196
2)参照)。この方法においては、ドメイン反転部の周
期Λを、 Λc=2π/{β(2ω)−2β(ω)} ……(1) ただしβ(2ω)は第2高調波の伝搬定数 2β(ω)は基本波の伝搬定数 で与えられるコヒーレント長Λcの整数倍になるように
設定することで、基本波と第2高調波との位相整合を取
ることができる。周期ドメイン反転構造を備えない非線
形光学材料のバルク結晶を用いて波長変換する場合は、
位相整合する波長が結晶固有の特定波長に限られるが、
上記の方法によれば、任意の波長に対して(1) を満足す
る周期Λを選択することにより、効率良く位相整合を取
ることが可能となる。
【0010】なお、基本波と第2高調波とから和周波を
発生させる場合は、ドメイン反転部の周期Λを、 Λc=2π/[β(ω3 )−{β(ω1 )+β(ω2 )}] ただしβ(ω3 )は和周波の伝搬定数 β(ω1 )は基本波の伝搬定数 β(ω2 )は第2高調波の伝搬定数 で与えられるコヒーレント長Λcの整数倍になるように
設定すれば、基本波および第2高調波と和周波との間で
良好に位相整合が取られる。
【0011】
【作用および発明の効果】前述した固体レーザー発振ビ
ーム等の直線偏光したレーザービーム(基本波)を第1
の非線形光学材料の結晶に入射させて第2高調波を発生
させると、多くの場合、この第2高調波の直線偏光方向
は基本波のそれに対して回転してしまう。例えば前述し
たKTP結晶を用いてタイプIIの位相整合を取る場合
で、この回転角はほぼ45°となる。
【0012】他方、第2の非線形光学材料としてBBO
結晶を用い、そこにおいて2つの基本波と和周波との間
でタイプIの位相整合を取る場合、2つの基本波の偏光
方向が互いに一致した状態のときに波長変換効率が最大
となる。しかし従来装置においては、上記のように偏光
方向が回転した第2高調波をそのまま1つの基本波とし
て第2の非線形光学材料の結晶に入射させていたので、
この結晶に入射する2つの基本波の偏光方向が互いに異
なってしまい、そのために波長変換効率が低くなってい
たものと考えられる。
【0013】そこで本発明の第1の光波長変換装置にお
けるように位相補償板を設けて、第2の非線形光学材料
の結晶に入射する2つの基本波の直線偏光方向をほぼ等
しく揃えておけば、高い波長変換効率が実現されるよう
になる。
【0014】他方、本発明の第2および第3の光波長変
換装置におけるように、非線形光学材料の周期ドメイン
反転構造に基本波を入射させて第2高調波に変換する際
には、必ず非線形光学定数の対角項が利用されるので、
第2高調波の直線偏光方向が基本波のそれに対して回転
してしまうことがない。したがってこれらの装置におい
ても、和周波を発生させる部分(第2の装置にあっては
第2の非線形光学材料の結晶であり、第3の装置にあっ
ては第2の周期ドメイン反転構造)に入射する第2高調
波の偏光方向と基本波の偏光方向とが一致することにな
り、高い波長変換効率が実現される。
【0015】そしてこれら第2および第3の光波長変換
装置においては、第1の光波長変換装置で用いられる位
相補償板が挿入されないので、この位相補償板における
損失も無くなり、より高い波長変換効率が実現される。
特に第3の光波長変換装置においては、第2高調波発生
用の非線形光学材料結晶と和周波発生用の非線形光学材
料結晶とが共通であるので、第1および第2の光波長変
換装置と比べると結晶端面数が2つ少なくなり、この点
からも低損失化、高効率化が達成される。
【0016】また、これら第2および第3の光波長変換
装置においては、上述の通り必ず非線形光学定数の対角
項が利用され、それは一般に非対角項よりもかなり大き
い値となるので、さらに高い波長変換効率が得られるよ
うになる。
【0017】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例による光
波長変換装置を示すものである。この光波長変換装置は
一例として、レーザーダイオードポンピング固体レーザ
ーに組み込まれたものである。このレーザーダイオード
ポンピング固体レーザーは、ポンピング光としてのレー
ザービーム10を発する半導体レーザー(フェーズドアレ
イレーザー)11と、発散光である上記レーザービーム10
を集束させる例えばロッドレンズからなる集光レンズ12
と、ネオジウム(Nd)がドーピングされた固体レーザ
ーロッドであるYVO4 ロッド(以下、Nd:YVO4
ロッドと称する)13と、このNd:YVO4 ロッド13の
前方側(図中右方側)に配された共振器ミラー14とから
なる。そして上記Nd:YVO4 ロッド13と共振器ミラ
ー14との間には、第1の非線形光学材料の結晶としての
KTP結晶15と、第2の非線形光学材料の結晶としての
BBO結晶16とが、Nd:YVO4 ロッド13側からこの
順に配されている。そしてこれら両結晶15、16の間に
は、後述するように作用する位相補償板17が配されてい
る。またKTP結晶15は、ペルチェ素子18と、結晶温度
を検出する温度センサー19と、この温度センサー19の出
力を受ける温調回路20とにより、所望温度に制御され得
る。
【0018】以上述べた各要素は、共通の筐体(図示せ
ず)にマウントされて一体化されている。なおフェーズ
ドアレイレーザー11は、図示しないペルチェ素子と温調
回路により、所定温度に温調される。
【0019】フェーズドアレイレーザー11としては、波
長λ1 =809 nmのレーザービーム10を発するものが用
いられている。一方Nd:YVO4 ロッド13は、上記レ
ーザービーム10によってネオジウム原子が励起されるこ
とにより、波長λ2 =1064nmの直線偏光したレーザー
ビーム21を発する。このレーザービーム21はKTP結晶
15に入射して、波長λ3 =λ2 /2=532 nmの第2高
調波22に変換される。そしてこの第2高調波22およびレ
ーザービーム21はBBO結晶16に入射して、波長λ4
355 nmの和周波23に波長変換される。なお1/λ2
1/λ3 =1/λ4 である。
【0020】ここで、Nd:YVO4 ロッド13の後側端
面13aおよび前側端面13bにはそれぞれコーティング3
0、31が、KTP結晶15の後側端面15aにはコーティン
グ32が、位相補償板17の後側端面17aおよび前側端面17
bにはそれぞれコーティング33、34が、BBO結晶16の
後側端面16aおよび前側端面16bにはそれぞれコーティ
ング35、36が、そして共振器ミラー14の凹面とされたミ
ラー面14aにはコーティング37が施されている。これら
のコーティング30〜37の波長λ1 =809 nm、λ2 =10
64nm、λ3 =532 nmおよびλ4 =355 nmに対する
特性は、下記の通りである。なおARは無反射(透過率
99%以上)、HRは高反射(反射率99.9%以上)を示
す。
【0021】 λ1 λ2 λ3 λ4 コーティング30 AR HR AR − 〃 31 − AR HR − 〃 32 − AR AR − 〃 33 − AR AR − 〃 34 − AR AR − 〃 35 − AR AR HR 〃 36 − AR AR AR 〃 37 − HR HR AR 上記のようなコーティング30および37が施されているた
めに、レーザービーム21はNd:YVO4 ロッド13の端
面13aとミラー面14aとの間で共振する。このようにレ
ーザービーム21は共振している状態でKTP結晶15に入
射するので、そこに高出力で入射し、それにより効率良
く第2高調波22が発生する。またこの第2高調波22も、
それぞれコーティング31、37が施されたNd:YVO4
ロッド13の端面13bとミラー面14aとの間で共振し、同
じく上記のように共振しているレーザービーム21ととも
にBBO結晶16に入射する。それによりこれらのレーザ
ービーム21および第2高調波22も高出力でBBO結晶16
に入射し得る。そして和周波23は直接的に、あるいはコ
ーティング35が施されたBBO結晶16の端面16aで反射
して、共振器ミラー14を透過する。
【0022】ここでKTP結晶15においてレーザービー
ム21と第2高調波22との間では、タイプIIの位相整合が
取られる。そこで第2高調波22の偏光方向は、レーザー
ビーム21のそれに対して約45°回転する。またBBO結
晶16において、基本波であるレーザービーム21および第
2高調波22と和周波23との間では、タイプIの位相整合
が取られる。位相補償板17はこれらレーザービーム21お
よび第2高調波22の位相を調整して、そこに入射する前
は上述のように約45°ずれていたそれらの偏光方向を、
ほぼ等しい向きに揃える。こうしてレーザービーム21お
よび第2高調波22が、偏光方向がほぼ一致した状態でB
BO結晶16に入射すれば、タイプIの位相整合が良好に
取られるようになり、よってそれらが効率良く和周波23
に変換される。本実施例では、フェーズドアレイレーザ
ー11の出力が500 mWのときに、1mWの和周波23が得
られる。
【0023】なお、第2高調波22のレーザービーム21に
対する偏光方向のずれは上述のように約45°であり、そ
の値はKTP結晶15の温度に応じて変化する。そこで、
前述した温調手段によりKTP結晶15の温度を調節する
ことにより、上記偏光方向のずれを位相補償板17による
補償分と正確に合致させれば、BBO結晶16に入射する
レーザービーム21および第2高調波22は正確に偏光方向
が揃った状態となり、タイプIの位相整合が極めて良好
に取られるようになる。
【0024】次に図2を参照して、本発明の第2実施例
について説明する。なおこの図2において、図1中のも
のと同じ要素については同番号を付してあり、それらに
ついての重複した説明は省略する(以下、同様)。
【0025】この第2実施例の装置においては、第1実
施例の装置で用いられたKTP結晶15に代えてBBO結
晶40が、また位相補償板17に代えて位相補償板41が用い
られている。BBO結晶40の前側端面40a、位相補償板
41の両端面41a、41bにはそれぞれ、第1実施例装置に
おけるのと同様のコーティング32、33、34が施されてい
る。第1の非線形光学材料の結晶としてのBBO結晶40
においては、レーザービーム21と第2高調波22との間で
タイプIIの位相整合が取られ、第2高調波22の偏光方向
はレーザービーム21のそれに対して約45°回転する。そ
して位相補償板41は、この45°の偏光方向のずれを解消
するように、レーザービーム21および第2高調波22の位
相を調整する。それによりこの場合も、BBO結晶16に
おいて、レーザービーム21および第2高調波22と和周波
23との間で良好にタイプIの位相整合が取られ、効率良
く和周波23が得られるようになる。
【0026】またこの場合もBBO結晶40の温度を調節
することにより、BBO結晶16に入射するレーザービー
ム21および第2高調波22の偏光方向を正確に一致させる
ことが可能となる。
【0027】なおこのようにBBO結晶40あるいは第1
実施例のKTP結晶15を温度調節する手段は必ずしも必
要ではないが、それを設けておけば、既述の通り高い変
換効率を実現する上でより有利となる。
【0028】またBBO結晶の代わりに、LBO結晶等
を用いてもよい。さらにレーザー媒質としては、Nd:
YVO4 の代わりにNd:YLF、Nd:YAG、NA
B、Nd:LiNbO3 、NYAB、LNP等を用いる
ことができる。
【0029】次に図3を参照して、本発明の第3実施例
について説明する。この第3実施例装置は第1実施例装
置と比べると、KTP結晶15に代えてLT(LiTaO
3 )結晶50が用いられ、そして位相補償板17が除かれて
いる点が異なる。
【0030】非線形光学材料である上記LT結晶50は、
その最も大きい非線形光学定数d33が有効に利用できる
ように、z軸と平行な面が光通過面となるように研磨さ
れている。そしてこのLT結晶50には、ドメイン反転部
が光通過方向に周期的に並んだ周期ドメイン反転構造51
が形成されている。この周期ドメイン反転構造51は、単
分極化されたLT結晶50に一例として電子ビーム描画装
置により電子線を照射して、所定周期パターンを描画す
る等により作成することができる。本例においてこの周
期ドメイン反転構造51の周期Λは、8μmとされてい
る。なおこのLT結晶50の後側端面50aには、第1実施
例装置のKTP結晶15に施されたものと同様のコーティ
ング32が施されている。
【0031】波長が1064nmの基本波としてのレーザー
ビーム21は上記LT結晶50により、波長が532 nmの第
2高調波22に変換される。そしてこの第2高調波22およ
びレーザービーム21はBBO結晶16に入射して、波長が
355 nmの和周波23に変換される。なおLT結晶50にお
いては、上述の通りの周期ドメイン反転構造51が形成さ
れているので、レーザービーム21と第2高調波22との間
で良好に位相整合が取られる。
【0032】また、直線偏光したレーザービーム21は、
その偏光方向がLT結晶50のz軸と一致する状態でLT
結晶50に入射される。そこで、LT結晶50の非線形光学
定数d33が有効に利用され、このLT結晶50から出射す
る第2高調波22は、LT結晶50のz軸方向に直線偏光し
たものとなる。したがって、BBO結晶16に入射するレ
ーザービーム21と第2高調波22の直線偏光方向は互いに
一致するので、それらと和周波23との間でタイプIの位
相整合が良好に取られ、効率良く波長変換がなされる。
これは、タイプIIの位相整合が取られる場合も同様であ
る。
【0033】さらに、周期ドメイン反転構造51を有する
LT結晶50の実効的非線形光学定数d33は16pm/V
で、KTP結晶の非線形光学定数7pm/Vと比べると
極めて大きい。この差により波長変換効率は約4倍向上
する。また本装置では、第1実施例や第2実施例の装置
で設けられた位相補償板17、41が無い分、光損失が少な
くなり、この点からも波長変換効率の向上が実現され
る。本実施例では、フェーズドアレイレーザー11の出力
が500 mWのときに、5mWの和周波23が得られる。そ
れに対して、第1実施例の構成から位相補償板17を除い
た従来装置においては、フェーズドアレイレーザー11の
出力が同じく500 mWのとき、0.2 mW程度の和周波23
しか得られない。
【0034】次に図4を参照して、本発明の第4実施例
について説明する。この第4実施例の装置は第1実施例
の装置と比べると、KTP結晶15およびBBO結晶16に
代えて1つのLT(LiTaO3 )結晶60が用いられ、
そして位相補償板17が除かれている点が異なる。
【0035】LT結晶60は、その最も大きい非線形光学
定数d33が有効に利用できるように、z軸と平行な面が
光通過面となるように研磨されている。そしてこのLT
結晶60には、ドメイン反転部が光通過方向に周期的に並
んだ第1の周期ドメイン反転構造61、および第2の周期
ドメイン反転構造62が形成されている。第1の周期ドメ
イン反転構造61および第2の周期ドメイン反転構造62の
周期Λはそれぞれ、8μm、2μmである。
【0036】基本波としてのレーザービーム21は、LT
結晶60の第1の周期ドメイン反転構造61が形成された領
域において、波長が532 nmの第2高調波22に変換され
る。そしてこの第2高調波22およびレーザービーム21
は、LT結晶60の第2の周期ドメイン反転構造62が形成
された領域に入射し、この領域により、波長が355 nm
の和周波23に変換される。なおLT結晶60の後側端面60
aには、第2高調波22およびレーザービーム21を良好に
透過させる一方、和周波23を良好に反射させるコーティ
ング63が施されている。
【0037】LT結晶60においては、上述した第1の周
期ドメイン反転構造61が形成されているので、レーザー
ビーム21と第2高調波22との間で良好に位相整合が取ら
れる。また、第2の周期ドメイン反転構造62が形成され
ているので、レーザービーム21および第2高調波22と和
周波23との間でも良好に位相整合が取られる。
【0038】この場合も第3実施例と同様に、第2の周
期ドメイン反転構造62に入射するレーザービーム21と第
2高調波22の直線偏光方向は互いに一致するので、それ
らと和周波23との間で位相整合が良好に取られ、効率良
く波長変換がなされる。
【0039】また、LT結晶60の大きな非線形光学定数
33が利用され、かつ位相補償板挿入による光損失が無
いために、高い波長変換効率が得られる。また本装置に
おいては、第2高調波発生用の非線形光学材料結晶と和
周波発生用の非線形光学材料結晶とが共通であるので、
既述の各実施例と比べれば、光波長変換素子の端面数が
2つ少なくなり、この点からより一層の低損失化、高効
率化が達成される。本実施例では、フェーズドアレイレ
ーザー11の出力が500 mWのときに、10mWの和周波23
が得られる。
【0040】なお周期ドメイン反転構造を形成する非線
形光学材料としては、以上説明したLiTaO3 の他
に、MgO−LiNbO3 等を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す概略側面図
【図2】本発明の第2実施例を示す概略側面図
【図3】本発明の第3実施例を示す概略側面図
【図4】本発明の第4実施例を示す概略側面図
【符号の説明】
10 レーザービーム(ポンピング光) 11 半導体レーザー 13 Nd:YVO4 ロッド 14 共振器ミラー 15 KTP結晶 16、40 BBO結晶 17、41 位相補償板 18 ペルチェ素子 19 温度センサー 20 温調回路 21 レーザービーム(固体レーザー発振ビーム) 22 第2高調波 23 和周波 50、60 LiTaO3 結晶 51 周期ドメイン反転構造 61 第1の周期ドメイン反転構造 62 第2の周期ドメイン反転構造

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直線偏光したレーザービームを第1の非
    線形光学材料の結晶に入射させて第2高調波を発生さ
    せ、 この第2高調波と前記レーザービームを第2の非線形光
    学材料の結晶に入射させて、それらの和周波を発生させ
    る光波長変換装置において、 第2の非線形光学材料の結晶に入射する前記レーザービ
    ームおよび第2高調波の光路に、それらの直線偏光方向
    をほぼ互いに等しく揃える位相補償板が挿入されたこと
    を特徴とする光波長変換装置。
  2. 【請求項2】 直線偏光したレーザービームを第1の非
    線形光学材料の結晶に入射させて第2高調波を発生さ
    せ、 この第2高調波と前記レーザービームを第2の非線形光
    学材料の結晶に入射させて、それらの和周波を発生させ
    る光波長変換装置において、 前記第1の非線形光学材料の結晶として、前記レーザー
    ビームと第2高調波とを位相整合させる周期ドメイン反
    転構造を有するものが用いられたことを特徴とする光波
    長変換装置。
  3. 【請求項3】 直線偏光したレーザービームを第1の非
    線形光学材料の結晶に入射させて第2高調波を発生さ
    せ、 この第2高調波と前記レーザービームを第2の非線形光
    学材料の結晶に入射させて、それらの和周波を発生させ
    る光波長変換装置において、 前記第1および第2の非線形光学材料の結晶として共通
    のものが用いられ、 この共通の結晶に、前記レーザービームと第2高調波と
    を位相整合させる第1の周期ドメイン反転構造と、前記
    レーザービームおよび第2高調波と和周波とを位相整合
    させる第2の周期ドメイン反転構造とが形成されている
    ことを特徴とする光波長変換装置。
JP4067050A 1991-12-02 1992-03-25 光波長変換装置 Expired - Fee Related JP2704341B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4067050A JP2704341B2 (ja) 1991-12-02 1992-03-25 光波長変換装置
US07/984,354 US5253102A (en) 1991-12-02 1992-12-02 Optical wavelength converter system

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3-317883 1991-12-02
JP31788391 1991-12-02
JP4067050A JP2704341B2 (ja) 1991-12-02 1992-03-25 光波長変換装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05210135A JPH05210135A (ja) 1993-08-20
JP2704341B2 true JP2704341B2 (ja) 1998-01-26

Family

ID=26408254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4067050A Expired - Fee Related JP2704341B2 (ja) 1991-12-02 1992-03-25 光波長変換装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5253102A (ja)
JP (1) JP2704341B2 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05333395A (ja) * 1992-04-03 1993-12-17 Fuji Photo Film Co Ltd 光波長変換装置
JP3211448B2 (ja) * 1993-01-27 2001-09-25 ソニー株式会社 レーザー光源装置
US5467214A (en) * 1993-11-12 1995-11-14 Trw Inc. Birefringence-compensated alignment-insensitive frequency doubler
JPH07142803A (ja) * 1993-11-12 1995-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd レーザーダイオードポンピング固体レーザー
US6287298B1 (en) * 1994-02-04 2001-09-11 Spectra-Physics Lasers, Inc. Diode pumped, multi axial mode intracavity doubled laser
US6241720B1 (en) * 1995-02-04 2001-06-05 Spectra Physics, Inc. Diode pumped, multi axial mode intracavity doubled laser
US5394413A (en) * 1994-02-08 1995-02-28 Massachusetts Institute Of Technology Passively Q-switched picosecond microlaser
JP3614474B2 (ja) * 1994-10-14 2005-01-26 富士写真フイルム株式会社 波長変換レーザー
US6931037B2 (en) 1995-05-19 2005-08-16 Spectra Physics Lasers, Inc. Diode pumped, multi axial mode intracavity doubled laser
US5644422A (en) * 1996-01-16 1997-07-01 New Focus, Inc. Techniques of radiation phase matching within optical crystals
DE69816516D1 (de) * 1997-04-23 2003-08-28 Mitsubishi Cable Ind Ltd Laservorrichtung und Verfahren für Laseremission unter Verwendung desselben
US5867303A (en) * 1997-05-19 1999-02-02 Altos Inc. Method and apparatus for optimizing the output of a harmonic generator
JP2002372506A (ja) * 2001-06-13 2002-12-26 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光熱変換分光分析方法、及びその方法を実行する光熱変換分光分析装置
US7173955B2 (en) * 2001-08-31 2007-02-06 Balobeck Joseph J Laser stimulated sympathetic vibration of molecular structure of a body
WO2005050307A1 (ja) * 2003-11-20 2005-06-02 National Institute For Materials Science マルチグレ-テイングを有する波長変換素子とそれを用いた光発生装置、および、円柱状強誘電体単結晶を有する波長変換素子とそれを用いた光発生装置
JP2006310743A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Topcon Corp レーザ発振装置
JP5047887B2 (ja) * 2007-06-21 2012-10-10 パナソニック株式会社 短波長光源
US20090083679A1 (en) * 2007-09-24 2009-03-26 Martin Achtenhagen Efficient Second Harmonic Generation (SHG) Laser Design
JP5793308B2 (ja) * 2011-01-14 2015-10-14 株式会社Screenホールディングス 光学デバイス、レーザ装置および露光装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4701929A (en) * 1985-12-19 1987-10-20 Spectra-Physics, Inc. Laser diode pumped solid state laser
US4865406A (en) * 1988-11-09 1989-09-12 Hoechst Celanese Corp. Frequency doubling polymeric waveguide
EP0478548B1 (en) * 1989-02-01 1998-03-18 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method of controlling regions of ferroelectric polarization domains in solid state bodies
US5028107A (en) * 1989-12-12 1991-07-02 E. I. Du Pont De Nemours And Company Optical articles for wavelength conversion and their manufacture and use
JPH03251826A (ja) * 1990-01-25 1991-11-11 Oki Electric Ind Co Ltd 第2高調波発生素子
DE69126155T2 (de) * 1990-03-02 1997-12-18 Toshiba Kawasaki Kk Optische Wellenlängenwandlervorrichtung zur Erzeugung der zweiten Harmonischen mit Cerenkovstrahlung in einem Wellenleiter
FR2660493A1 (fr) * 1990-03-30 1991-10-04 Thomson Csf Dispositif laser a changeur de frequence integre de facon monolithique.
US5157754A (en) * 1990-04-25 1992-10-20 E. I. Du Pont De Nemours Wavelength conversion by quasi phase matching and the manufacture and use of optical articles therefor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05210135A (ja) 1993-08-20
US5253102A (en) 1993-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2704341B2 (ja) 光波長変換装置
US5291503A (en) Internally stimulated optical parametric oscillator/laser
JP3997450B2 (ja) 波長変換装置
US5278852A (en) Intra-cavity high order harmonic laser
JP4489440B2 (ja) 非被覆ブリュースタ表面を用いてキャビティ内共振を増強した第4高調波の生成
JPH07507882A (ja) 広い位相整合領域を有する空洞内高調波副共振器
JPH06283794A (ja) レーザーダイオードポンピング固体レーザー
JPH08125254A (ja) 波長変換固体レーザー
JP3683360B2 (ja) 偏光制御素子および固体レーザー
KR100863199B1 (ko) 고조파 빔 발생용 레이저 장치 및 방법
JPH06130328A (ja) 偏光制御素子および固体レーザー装置
JPH08116121A (ja) 波長変換レーザー
JP3300429B2 (ja) 第2次高調波光発生装置
JPH1041573A (ja) レーザー発振装置
JPH0688979A (ja) Qスイッチ・第2高調波発生複合素子
JP4446300B2 (ja) 第5高調波発生装置
JPH05299751A (ja) レーザーダイオードポンピング固体レーザー
JP3421067B2 (ja) 固体レーザ装置
Biaggio et al. Intracavity frequency doubling of a diode pumped nd: Yag laser using a knbo3 crystal
JP3282221B2 (ja) レーザ光発生装置
JP2654728B2 (ja) 光波長変換装置
JP7504310B1 (ja) テラヘルツ波発生装置
JP2005123226A (ja) 内部共振器型の和周波混合レーザ
JP2000114633A (ja) 波長変換固体レーザ装置
JP2000068574A (ja) 周波数倍増型のダイオ―ド励起式固体レ―ザ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970826

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071009

Year of fee payment: 10

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071009

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081009

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees