JP2002365228A - ピンホール検出器 - Google Patents
ピンホール検出器Info
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/894—Pinholes
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検出の容易性を向上可能なピンホール検出器
を提供する。 【解決手段】 ピンホールＰをＺ軸方向に沿って通過し
た光Ｌは、光検出素子４に結合することとなるが、ピン
ホールＰの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対
して傾いているため、このノイズ光の光検出素子４への
結合は、入射角を制限する第1及び第2光学手段１，２に
よって制限される。したがって、本検出器は、検出の際
に必ずしも閉塞空間を必要とせず、ピンホールＰを容易
に検出することができる。
を提供する。 【解決手段】 ピンホールＰをＺ軸方向に沿って通過し
た光Ｌは、光検出素子４に結合することとなるが、ピン
ホールＰの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対
して傾いているため、このノイズ光の光検出素子４への
結合は、入射角を制限する第1及び第2光学手段１，２に
よって制限される。したがって、本検出器は、検出の際
に必ずしも閉塞空間を必要とせず、ピンホールＰを容易
に検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ピンホール検出器
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属又は樹脂等のフィルムに形成
されたピンホールの有無の検出が行われている。ゴム状
のフィルムに形成されたピンホールを検出するために
は、当該フィルムで密閉容器の一部分を構成し、この容
器内に液体を充填し、容器からの液漏れの有無を検出す
ればよい。また、金属フィルムに形成されたピンホール
を検出するためには、密閉された暗箱の一部分を当該フ
ィルムで構成し、ピンホールを透過する光の有無を暗箱
の内側で検出すればよい。すなわち、いずれの検出も、
閉塞した空間が必要である。
されたピンホールの有無の検出が行われている。ゴム状
のフィルムに形成されたピンホールを検出するために
は、当該フィルムで密閉容器の一部分を構成し、この容
器内に液体を充填し、容器からの液漏れの有無を検出す
ればよい。また、金属フィルムに形成されたピンホール
を検出するためには、密閉された暗箱の一部分を当該フ
ィルムで構成し、ピンホールを透過する光の有無を暗箱
の内側で検出すればよい。すなわち、いずれの検出も、
閉塞した空間が必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、閉塞し
た空間を利用した検出は容易性が低く、また、閉塞した
空間では不可能な検出も多い。例えば、工場内で圧延さ
れたばかりのアルミフィルムが移動している場合、製造
直後のラテックスフィルムが移動している場合等であ
る。本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので
あり、検出の容易性を向上可能なピンホール検出器を提
供することを目的とする。
た空間を利用した検出は容易性が低く、また、閉塞した
空間では不可能な検出も多い。例えば、工場内で圧延さ
れたばかりのアルミフィルムが移動している場合、製造
直後のラテックスフィルムが移動している場合等であ
る。本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので
あり、検出の容易性を向上可能なピンホール検出器を提
供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係るピンホール検出器は、被測定物のピン
ホールを透過した光を検出する光検出素子を備えたピン
ホール検出器において、ＸＹＺ直交座標系を設定した場
合、透過可能なＸＺ平面内における光の入射角を制限す
る第1光学手段と、前記光検出素子に光学的に結合可能
なＹＺ平面内における光の入射角を制限する第2光学手
段とを、前記被測定物と前記光検出素子との間の光路間
に、Ｚ軸に沿って順次配置したことを特徴とする。
め、本発明に係るピンホール検出器は、被測定物のピン
ホールを透過した光を検出する光検出素子を備えたピン
ホール検出器において、ＸＹＺ直交座標系を設定した場
合、透過可能なＸＺ平面内における光の入射角を制限す
る第1光学手段と、前記光検出素子に光学的に結合可能
なＹＺ平面内における光の入射角を制限する第2光学手
段とを、前記被測定物と前記光検出素子との間の光路間
に、Ｚ軸に沿って順次配置したことを特徴とする。
【０００５】この場合、ピンホールをＺ軸方向に沿って
通過した光は、光検出素子に結合することとなるが、ピ
ンホールの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対
して傾いているため、このノイズ光の光検出素子への結
合は第1及び第2光学手段によって制限される。したがっ
て、本検出器は、検出の際に必ずしも被測定物と検出器
との間に厳密な閉塞空間を必要とせず、ピンホールを容
易に検出することができる。
通過した光は、光検出素子に結合することとなるが、ピ
ンホールの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対
して傾いているため、このノイズ光の光検出素子への結
合は第1及び第2光学手段によって制限される。したがっ
て、本検出器は、検出の際に必ずしも被測定物と検出器
との間に厳密な閉塞空間を必要とせず、ピンホールを容
易に検出することができる。
【０００６】また、第1光学手段は、ライトコントロー
ルフィルムから構成することができる。ライトコントロ
ールフィルムにおけるルーバーの長手方向はＹ軸方向と
すればよい。この場合、Ｘ方向の入射角が制限される。
ルフィルムから構成することができる。ライトコントロ
ールフィルムにおけるルーバーの長手方向はＹ軸方向と
すればよい。この場合、Ｘ方向の入射角が制限される。
【０００７】更に、この第1光学手段は、２以上のライ
トコントロールフィルムをＺ軸に沿って離隔配置してな
ることとしてもよい。この場合も、ルーバーの長手方向
はＹ軸方向とすればよく、この場合、前段のフィルム及
び後段のフィルムを共に透過可能な光の入射角は離隔距
離に応じて小さくなるため、当該離隔によって入射角の
制限性能を著しく向上させることができる。
トコントロールフィルムをＺ軸に沿って離隔配置してな
ることとしてもよい。この場合も、ルーバーの長手方向
はＹ軸方向とすればよく、この場合、前段のフィルム及
び後段のフィルムを共に透過可能な光の入射角は離隔距
離に応じて小さくなるため、当該離隔によって入射角の
制限性能を著しく向上させることができる。
【０００８】また、前記1光学手段又は前記ライトコン
トロールフィルムは、透明樹脂内に複数の不透明ルーバ
ーを平行に組込んだルーバーフィルムから構成すること
ができる。
トロールフィルムは、透明樹脂内に複数の不透明ルーバ
ーを平行に組込んだルーバーフィルムから構成すること
ができる。
【０００９】第2光学手段は、Ｙ軸方向にのみ集光を行
う集光レンズと、前記集光レンズの集光位置に配置され
入射光束径を制限する受光領域から構成することができ
る。ＹＺ平面内において、Ｚ軸に沿って入射した光は集
光レンズによって受光領域上に集光するが、Ｚ軸から大
きく傾いて第2光学手段に入射した光は、受光領域上に
は集光しないため、光検出素子に結合可能なＹＺ平面内
の光の入射角を制限することができる。
う集光レンズと、前記集光レンズの集光位置に配置され
入射光束径を制限する受光領域から構成することができ
る。ＹＺ平面内において、Ｚ軸に沿って入射した光は集
光レンズによって受光領域上に集光するが、Ｚ軸から大
きく傾いて第2光学手段に入射した光は、受光領域上に
は集光しないため、光検出素子に結合可能なＹＺ平面内
の光の入射角を制限することができる。
【００１０】受光領域は例えばホトダイオードからな
る。被測定物が大きい場合には、複数のホトダイオード
をＸ軸に沿って配置すればよい。すなわち、受光領域を
Ｘ軸に沿って複数配置すれば、被測定物がＸ軸方向に幅
を有する場合においても、幅内の領域に形成されたピン
ホールの検出を行うことができる。
る。被測定物が大きい場合には、複数のホトダイオード
をＸ軸に沿って配置すればよい。すなわち、受光領域を
Ｘ軸に沿って複数配置すれば、被測定物がＸ軸方向に幅
を有する場合においても、幅内の領域に形成されたピン
ホールの検出を行うことができる。
【００１１】また、前記受光領域を光ファイバの一端と
し、前記光ファイバの他端を前記光検出素子に光学的に
結合させることもできる。光ファイバは入射光束径を制
限することができると共に任意の位置に光を伝達するこ
とができるので、これを用いた場合には、光検出素子を
適当な位置に配置することができると共に、光ファイバ
は束ねることができるため、これに結合させる光検出素
子の数を減少させることができる。
し、前記光ファイバの他端を前記光検出素子に光学的に
結合させることもできる。光ファイバは入射光束径を制
限することができると共に任意の位置に光を伝達するこ
とができるので、これを用いた場合には、光検出素子を
適当な位置に配置することができると共に、光ファイバ
は束ねることができるため、これに結合させる光検出素
子の数を減少させることができる。
【００１２】上述のピンホール検出器は、検出に寄与す
る光の立体角を著しく制限することにより、閉塞空間を
不要としたものであるため、ピンホール透過光の強度が
高くなければ、光検出素子は高感度のものが要求され
る。このような高感度の光検出素子としては光電子増倍
管を挙げることができ、これを用いれば実際にピンホー
ルを検出することができた。
る光の立体角を著しく制限することにより、閉塞空間を
不要としたものであるため、ピンホール透過光の強度が
高くなければ、光検出素子は高感度のものが要求され
る。このような高感度の光検出素子としては光電子増倍
管を挙げることができ、これを用いれば実際にピンホー
ルを検出することができた。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態に係るピンホー
ル検出器について説明する。同一要素には、同一符号を
用い、重複する説明は省略する。
ル検出器について説明する。同一要素には、同一符号を
用い、重複する説明は省略する。
【００１４】図１は実施の形態に係るピンホール検出器
の縦断面図、図２はピンホール検出器を一部破断して示
す当該ピンホール検出器の斜視図である。
の縦断面図、図２はピンホール検出器を一部破断して示
す当該ピンホール検出器の斜視図である。
【００１５】このピンホール検出器は、一側面（上面）
が開口した暗箱１０を有している。暗箱１０の開口端面
上には開口ＯＰを覆うように被測定物２０が配置され、
被測定物２０上には光源３０が位置する。
が開口した暗箱１０を有している。暗箱１０の開口端面
上には開口ＯＰを覆うように被測定物２０が配置され、
被測定物２０上には光源３０が位置する。
【００１６】なお、本例の被測定物２０は、圧延後のア
ルミニウムのフィルムであることとし、このフィルムは
Ｙ軸方向に沿って移動させられるものとする。
ルミニウムのフィルムであることとし、このフィルムは
Ｙ軸方向に沿って移動させられるものとする。
【００１７】光源３０から出射された光Ｌは、被測定物
２０に形成されたピンホールＰ、暗箱１０の開口端より
も内側に配置された第1光学手段１、暗箱１０内であっ
て第1光学手段１の後段に配置された第２光学手段２を
介して、ライトガイド３に入射する。ライトガイド３
は、入射光を光検出素子４に結合させる。
２０に形成されたピンホールＰ、暗箱１０の開口端より
も内側に配置された第1光学手段１、暗箱１０内であっ
て第1光学手段１の後段に配置された第２光学手段２を
介して、ライトガイド３に入射する。ライトガイド３
は、入射光を光検出素子４に結合させる。
【００１８】ピンホールＰが存在する場合、光検出素子
４には光源３０からの光Ｌが入射することとなるので、
光検出素子４の出力の大きさに基づいて、ピンホールＰ
の有無や大きさを検出することができる。すなわち、こ
のピンホール検出器は、被測定物２０のピンホールＰを
透過した光Ｌを検出する光検出素子４を備えたピンホー
ル検出器である。
４には光源３０からの光Ｌが入射することとなるので、
光検出素子４の出力の大きさに基づいて、ピンホールＰ
の有無や大きさを検出することができる。すなわち、こ
のピンホール検出器は、被測定物２０のピンホールＰを
透過した光Ｌを検出する光検出素子４を備えたピンホー
ル検出器である。
【００１９】なお、図示の如くＸＹＺ直交座標系を設定
する。
する。
【００２０】このピンホール検出器は、透過可能なＸＺ
平面内における光の入射角を制限する第1光学手段１
と、光検出素子４に光学的に結合可能なＹＺ平面内にお
ける光の入射角を制限する第2光学手段２とを、被測定
物２０と光検出素子４との間の光路間に、Ｚ軸に沿って
順次配置したものである。
平面内における光の入射角を制限する第1光学手段１
と、光検出素子４に光学的に結合可能なＹＺ平面内にお
ける光の入射角を制限する第2光学手段２とを、被測定
物２０と光検出素子４との間の光路間に、Ｚ軸に沿って
順次配置したものである。
【００２１】ピンホールＰをＺ軸方向に沿って通過した
光Ｌは、光検出素子４に結合することとなるが、ピンホ
ールＰの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対し
て傾いているため、このノイズ光の光検出素子４への結
合は第1及び第2光学手段１，２によって制限される。し
たがって、本検出器は、検出の際に必ずしも閉塞空間を
必要とせず、暗箱１０と被測定物２０との間に若干の隙
間が存在しても、ピンホールＰを容易に検出することが
できるものである。
光Ｌは、光検出素子４に結合することとなるが、ピンホ
ールＰの透過光以外のノイズ光の進行方向はＺ軸に対し
て傾いているため、このノイズ光の光検出素子４への結
合は第1及び第2光学手段１，２によって制限される。し
たがって、本検出器は、検出の際に必ずしも閉塞空間を
必要とせず、暗箱１０と被測定物２０との間に若干の隙
間が存在しても、ピンホールＰを容易に検出することが
できるものである。
【００２２】本例の第1光学手段１は、ライトコントロ
ールフィルム１ｂ，１ｃから構成されている。ライトコ
ントロールフィルム１ｂ，１ｃにおけるルーバーの長手
方向はＹ軸方向である。この場合、Ｘ方向の入射角が制
限される。また、各ライトコントロールフィルム１ｂ，
１ｃは、保護ガラス１ａ及びフィルター１ｄによってそ
れぞれ支持されている。なお、保護ガラス１ａは、暗箱
１０の開口ＯＰを封止し、粉塵の暗箱１０内部への導入
を抑制している。また、フィルター１ｄはガラス板とす
ることもできるが、ここでは光源３０の出射光を選択的
に透過させるバンドパスフィルターであることとする。
ールフィルム１ｂ，１ｃから構成されている。ライトコ
ントロールフィルム１ｂ，１ｃにおけるルーバーの長手
方向はＹ軸方向である。この場合、Ｘ方向の入射角が制
限される。また、各ライトコントロールフィルム１ｂ，
１ｃは、保護ガラス１ａ及びフィルター１ｄによってそ
れぞれ支持されている。なお、保護ガラス１ａは、暗箱
１０の開口ＯＰを封止し、粉塵の暗箱１０内部への導入
を抑制している。また、フィルター１ｄはガラス板とす
ることもできるが、ここでは光源３０の出射光を選択的
に透過させるバンドパスフィルターであることとする。
【００２３】ここで、第1光学手段１の機能について補
足説明する。
足説明する。
【００２４】図３はＸＺ平面内における開口ＯＰ近傍の
断面図である。同図は、ＸＺ平面で切って示される。図
示の如く、ピンホールＰに垂直に入射した光源３０から
の光Ｌは、ピンホールＰを通過してＺ軸方向に沿って進
行するが、暗箱１０と被測定物２０との間から入射する
ノイズ光ＬＮは、Ｚ軸に対して入射角θｘ’を有して暗
箱１０内部へと進行する。
断面図である。同図は、ＸＺ平面で切って示される。図
示の如く、ピンホールＰに垂直に入射した光源３０から
の光Ｌは、ピンホールＰを通過してＺ軸方向に沿って進
行するが、暗箱１０と被測定物２０との間から入射する
ノイズ光ＬＮは、Ｚ軸に対して入射角θｘ’を有して暗
箱１０内部へと進行する。
【００２５】図４はライトコントロールフィルム１ｂの
斜視図である。ライトコントロールフィルム１ｂは、ポ
リエチレンテレフタレートからなる２つの透明樹脂膜１
ｂ1，１ｂ2と、これらの間に平行配置された複数のルー
バー１ｂ3からなる。要するに、ライトコントロールフ
ィルム１ｂは、透明樹脂１ｂ1，１ｂ2内に複数の不透明
ルーバー１ｂ3を平行に組込んだルーバーフィルムであ
る。このようなフィルムは、住友スリーエム株式会社に
おいて販売されており、また、他のものとしては、例え
ば、特開平05-215908号公報等に記載されているものが
ある。
斜視図である。ライトコントロールフィルム１ｂは、ポ
リエチレンテレフタレートからなる２つの透明樹脂膜１
ｂ1，１ｂ2と、これらの間に平行配置された複数のルー
バー１ｂ3からなる。要するに、ライトコントロールフ
ィルム１ｂは、透明樹脂１ｂ1，１ｂ2内に複数の不透明
ルーバー１ｂ3を平行に組込んだルーバーフィルムであ
る。このようなフィルムは、住友スリーエム株式会社に
おいて販売されており、また、他のものとしては、例え
ば、特開平05-215908号公報等に記載されているものが
ある。
【００２６】図５は、入射角θｘと透過率の関係を示す
グラフである。同グラフに示されるように、ＸＺ平面内
におけるライトコントロールフィルム１ｂへの光の入射
角θｘが０度を基準として所定範囲内にある場合、入射
光は当該フィルム１ｂを透過するが、所定範囲外の場
合、これを透過しない。すなわち、光源３０からライト
コントロールフィルム１ｂに入射した光Ｌは、これを透
過するが、上述のノイズ光ＬＮは不透過となる。以上の
構成により、ライトコントロールフィルム１ｂは、ＸＺ
平面内における入射角制限機能を有することとなる。
グラフである。同グラフに示されるように、ＸＺ平面内
におけるライトコントロールフィルム１ｂへの光の入射
角θｘが０度を基準として所定範囲内にある場合、入射
光は当該フィルム１ｂを透過するが、所定範囲外の場
合、これを透過しない。すなわち、光源３０からライト
コントロールフィルム１ｂに入射した光Ｌは、これを透
過するが、上述のノイズ光ＬＮは不透過となる。以上の
構成により、ライトコントロールフィルム１ｂは、ＸＺ
平面内における入射角制限機能を有することとなる。
【００２７】なお、ライトコントロールフィルム１ｃの
構成及び機能はライトコントロールフィルム１ｂのもの
と同一であり、ポリエチレンテレフタレートからなる２
つの透明樹脂膜１ｃ1，１ｃ2と、これらの間に平行配置
された複数のルーバー１ｃ3からなる（図６参照）。
構成及び機能はライトコントロールフィルム１ｂのもの
と同一であり、ポリエチレンテレフタレートからなる２
つの透明樹脂膜１ｃ1，１ｃ2と、これらの間に平行配置
された複数のルーバー１ｃ3からなる（図６参照）。
【００２８】本例では、ライトコントロールフィルムを
２枚用いている。すなわち、 第1光学手段１は、２以
上のライトコントロールフィルム１ｂ，１ｃをＺ軸に沿
って離隔配置してなる。
２枚用いている。すなわち、 第1光学手段１は、２以
上のライトコントロールフィルム１ｂ，１ｃをＺ軸に沿
って離隔配置してなる。
【００２９】図６は、離隔配置されたライトコントロー
ルフィルム１ｂ，１ｃの縦断面図である。ルーバー１ｂ
3，１ｃ3の長手方向は共にＹ軸方向である。このように
配置した場合、前段のフィルム１ｂ及び後段のフィルム
１ｃを共に透過可能な光の入射角は離隔距離Ｄに応じて
小さくなる。前段のフィルム１ｂのみの場合の入射角は
最大でθ1まで許容されるが、これを後段のフィルム１
ｃと組み合わせた場合には、その入射角はθ2（＜θ1）
までしか許容されない。このように、フィルムの離隔に
よって入射角の制限性能を著しく向上させることができ
る。
ルフィルム１ｂ，１ｃの縦断面図である。ルーバー１ｂ
3，１ｃ3の長手方向は共にＹ軸方向である。このように
配置した場合、前段のフィルム１ｂ及び後段のフィルム
１ｃを共に透過可能な光の入射角は離隔距離Ｄに応じて
小さくなる。前段のフィルム１ｂのみの場合の入射角は
最大でθ1まで許容されるが、これを後段のフィルム１
ｃと組み合わせた場合には、その入射角はθ2（＜θ1）
までしか許容されない。このように、フィルムの離隔に
よって入射角の制限性能を著しく向上させることができ
る。
【００３０】次に、図１に戻って、第２光学手段につい
て説明する。第2光学手段２は、Ｙ軸方向にのみ集光を
行う集光レンズ（シリンドリカルレンズ）２ａと、集光
レンズ２ａの集光位置に配置され入射光束径を制限する
受光領域（入射開口）２ｂから構成されている。ＹＺ平
面内において、Ｚ軸に沿って入射した光は集光レンズ２
ａによって受光領域２ｂ上に集光するが、Ｚ軸から大き
く傾いて第2光学手段２に入射した光は、受光領域２ｂ
上には集光しないため、光検出素子４に結合可能なＹＺ
平面内の光の入射角を制限することができる。
て説明する。第2光学手段２は、Ｙ軸方向にのみ集光を
行う集光レンズ（シリンドリカルレンズ）２ａと、集光
レンズ２ａの集光位置に配置され入射光束径を制限する
受光領域（入射開口）２ｂから構成されている。ＹＺ平
面内において、Ｚ軸に沿って入射した光は集光レンズ２
ａによって受光領域２ｂ上に集光するが、Ｚ軸から大き
く傾いて第2光学手段２に入射した光は、受光領域２ｂ
上には集光しないため、光検出素子４に結合可能なＹＺ
平面内の光の入射角を制限することができる。
【００３１】なお、受光領域２ｂはホトダイオードとす
ることもできる。被測定物２０が大きい場合には、複数
のホトダイオードをＸ軸に沿って配置すればよい。すな
わち、受光領域２ｂをＸ軸に沿って複数配置すれば、被
測定物２０がＸ軸方向に幅を有する場合においても、幅
内の領域に形成されたピンホールの検出を行うことがで
きる。
ることもできる。被測定物２０が大きい場合には、複数
のホトダイオードをＸ軸に沿って配置すればよい。すな
わち、受光領域２ｂをＸ軸に沿って複数配置すれば、被
測定物２０がＸ軸方向に幅を有する場合においても、幅
内の領域に形成されたピンホールの検出を行うことがで
きる。
【００３２】本例においては、受光領域２ｂをライトガ
イド３を構成する光ファイバＦの一端とする。この光フ
ァイバＦの他端は光検出素子４に光学的に結合してい
る。光ファイバＦは入射光束径を制限することができる
と共に任意の位置に光を伝達することができるので、光
検出素子４を適当な位置に配置することができる。光フ
ァイバＦは束ねられているので、これに結合させる光検
出素子４の数はホトダイオードを直接配置する場合より
も減少させることができる。
イド３を構成する光ファイバＦの一端とする。この光フ
ァイバＦの他端は光検出素子４に光学的に結合してい
る。光ファイバＦは入射光束径を制限することができる
と共に任意の位置に光を伝達することができるので、光
検出素子４を適当な位置に配置することができる。光フ
ァイバＦは束ねられているので、これに結合させる光検
出素子４の数はホトダイオードを直接配置する場合より
も減少させることができる。
【００３３】上述のピンホール検出器は、検出に寄与す
る光の立体角を著しく制限することにより、閉塞空間を
不要としたものであるため、ピンホール透過光の強度が
高くなければ、光検出素子４は高感度のものが要求され
る。高感度の光検出素子４として、本例では光電子増倍
管（ＰＭＴ）を用いている。
る光の立体角を著しく制限することにより、閉塞空間を
不要としたものであるため、ピンホール透過光の強度が
高くなければ、光検出素子４は高感度のものが要求され
る。高感度の光検出素子４として、本例では光電子増倍
管（ＰＭＴ）を用いている。
【００３４】ここで、第２光学手段２の機能について補
足説明する。
足説明する。
【００３５】図７はＹＺ平面内における開口ＯＰ近傍の
断面図である。同図は、ＹＺ平面で切って示される。図
示の如く、ピンホールＰに垂直に入射した光源３０から
の光Ｌは、ピンホールＰを通過してＺ軸方向に沿って進
行するが、暗箱１０と被測定物２０との間から入射する
ノイズ光ＬＮは、Ｚ軸に対して入射角θｙ’を有して暗
箱１０内部へと進行する。
断面図である。同図は、ＹＺ平面で切って示される。図
示の如く、ピンホールＰに垂直に入射した光源３０から
の光Ｌは、ピンホールＰを通過してＺ軸方向に沿って進
行するが、暗箱１０と被測定物２０との間から入射する
ノイズ光ＬＮは、Ｚ軸に対して入射角θｙ’を有して暗
箱１０内部へと進行する。
【００３６】図８は集光レンズ２ａ及び受光領域２ｂを
含む光ファイバＦの斜視図である。受光領域２ｂは、集
光レンズ２ａの集光位置、より詳細には、集光レンズ２
ａの焦点位置に配置されている。受光領域２ｂはＸ軸に
沿って複数配列している。光源３０から集光レンズ２ａ
に垂直に入射した光Ｌは、受光領域２ｂ上に集光する
が、上述のノイズ光ＬＮは受光領域２ｂから外れた位置
に入射する。以上の構成により、集光レンズ２ａ及び受
光領域２ｂは、ＹＺ平面内における入射角制限機能を有
することとなる。
含む光ファイバＦの斜視図である。受光領域２ｂは、集
光レンズ２ａの集光位置、より詳細には、集光レンズ２
ａの焦点位置に配置されている。受光領域２ｂはＸ軸に
沿って複数配列している。光源３０から集光レンズ２ａ
に垂直に入射した光Ｌは、受光領域２ｂ上に集光する
が、上述のノイズ光ＬＮは受光領域２ｂから外れた位置
に入射する。以上の構成により、集光レンズ２ａ及び受
光領域２ｂは、ＹＺ平面内における入射角制限機能を有
することとなる。
【００３７】図９は、Ｚ軸に対する集光レンズ２ａへの
入射角θｙと受光領域２ｂへの光の入射率の関係を示す
グラフである。同グラフに示されるように、ＹＺ平面内
における入射角θｙが０度を基準として所定範囲内にあ
る場合、受光領域２ｂに光は入射するが、所定範囲外の
場合、これを入射しない。
入射角θｙと受光領域２ｂへの光の入射率の関係を示す
グラフである。同グラフに示されるように、ＹＺ平面内
における入射角θｙが０度を基準として所定範囲内にあ
る場合、受光領域２ｂに光は入射するが、所定範囲外の
場合、これを入射しない。
【００３８】以上説明したように、上述のピンホール検
出器は、検出の際に必ずしも閉塞空間を必要とせず、ピ
ンホールＰを容易に検出することができ、被測定物２０
が工場等で生産されつつ高速で移動している場合におい
ても、そのピンホールを検出することが可能となる。
出器は、検出の際に必ずしも閉塞空間を必要とせず、ピ
ンホールＰを容易に検出することができ、被測定物２０
が工場等で生産されつつ高速で移動している場合におい
ても、そのピンホールを検出することが可能となる。
【００３９】
【発明の効果】本発明のピンホール検出器によれば、ピ
ンホールＰを容易に検出することができる。
ンホールＰを容易に検出することができる。
【図１】実施の形態に係るピンホール検出器の縦断面図
である。
である。
【図２】ピンホール検出器を一部破断して示す当該ピン
ホール検出器の斜視図である。
ホール検出器の斜視図である。
【図３】ＸＺ平面内における開口ＯＰ近傍の断面図であ
る。
る。
【図４】ライトコントロールフィルム１ｂの斜視図であ
る。
る。
【図５】入射角θｘと透過率の関係を示すグラフであ
る。
る。
【図６】離隔配置されたライトコントロールフィルム１
ｂ，１ｃの縦断面図である。
ｂ，１ｃの縦断面図である。
【図７】ＹＺ平面内における開口ＯＰ近傍の断面図であ
る。
る。
【図８】集光レンズ２ａ及び受光領域２ｂを含む光ファ
イバＦの斜視図である。
イバＦの斜視図である。
【図９】Ｚ軸に対する集光レンズ２ａへの入射角θｙと
受光領域２ｂへの光の入射率の関係を示すグラフであ
る。
受光領域２ｂへの光の入射率の関係を示すグラフであ
る。
【符号の説明】 １ｄ…フィルター、１ｂ…ライトコントロールフィル
ム、１ｃ…ライトコントロールフィルム、１ｂ…ライト
コントロールフィルム、１ｂ3…ルーバー、１ｃ3…ルー
バー、１…第１光学手段、１ａ…保護ガラス、２…第２
光学手段、２ｂ…受光領域、２ａ…集光レンズ、１
ｂ1，１ｂ2…透明樹脂、３…ライトガイド、４…光検出
素子、１０…暗箱、２０…被測定物、３０…光源、Ｆ…
光ファイバ、Ｌ…光、ＬＮ…ノイズ光、ＯＰ…開口、Ｐ
…ピンホール。
ム、１ｃ…ライトコントロールフィルム、１ｂ…ライト
コントロールフィルム、１ｂ3…ルーバー、１ｃ3…ルー
バー、１…第１光学手段、１ａ…保護ガラス、２…第２
光学手段、２ｂ…受光領域、２ａ…集光レンズ、１
ｂ1，１ｂ2…透明樹脂、３…ライトガイド、４…光検出
素子、１０…暗箱、２０…被測定物、３０…光源、Ｆ…
光ファイバ、Ｌ…光、ＬＮ…ノイズ光、ＯＰ…開口、Ｐ
…ピンホール。
Claims (8)
- 【請求項１】 被測定物のピンホールを透過した光を検
出する光検出素子を備えたピンホール検出器において、
ＸＹＺ直交座標系を設定した場合、透過可能なＸＺ平面
内における光の入射角を制限する第1光学手段と、前記
光検出素子に光学的に結合可能なＹＺ平面内における光
の入射角を制限する第2光学手段とを、前記被測定物と
前記光検出素子との間の光路間に、Ｚ軸に沿って順次配
置したことを特徴とするピンホール検出器。 - 【請求項２】 前記第1光学手段は、ライトコントロー
ルフィルムからなることを特徴とする請求項１に記載の
ピンホール検出器。 - 【請求項３】 前記第1光学手段は、２以上のライトコ
ントロールフィルムをＺ軸に沿って離隔配置してなるこ
とを特徴とする請求項１に記載のピンホール検出器。 - 【請求項４】 前記第1光学手段又は前記ライトコント
ロールフィルムは、透明樹脂内に複数の不透明ルーバー
を平行に組込んだルーバーフィルムであることを特徴と
する請求項２又は３に記載のピンホール検出器。 - 【請求項５】 前記第2光学手段は、Ｙ軸方向にのみ集
光を行う集光レンズと、前記集光レンズの集光位置に配
置され入射光束径を制限する受光領域からなることを特
徴とする請求項１に記載のピンホール検出器。 - 【請求項６】 前記受光領域は光ファイバの一端であ
り、前記光ファイバの他端は前記光検出素子に光学的に
結合していることを特徴とする請求項５に記載のピンホ
ール検出器。 - 【請求項７】 前記受光領域はＸ軸に沿って複数配置さ
れていることを特徴とする請求項５に記載のピンホール
検出器。 - 【請求項８】 前記光検出素子は、光電子増倍管である
ことを特徴とする請求項１に記載のピンホール検出器。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP2001168437A JP3806616B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | ピンホール検出器 |
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|---|---|---|---|
| JP2001168437A JP3806616B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | ピンホール検出器 |
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|---|---|
| JP2002365228A true JP2002365228A (ja) | 2002-12-18 |
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Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001168437A Expired - Fee Related JP3806616B2 (ja) | 2001-06-04 | 2001-06-04 | ピンホール検出器 |
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| WO (1) | WO2002099401A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101167361B1 (ko) | 2009-08-25 | 2012-07-19 | 삼성전기주식회사 | 마이크로 렌즈를 내장한 실리콘 광전자 증배관 |
| CN103185843A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-03 | 宝山钢铁股份有限公司 | 用于针孔检测设备的电磁干扰探测装置和方法 |
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| CN103623708B (zh) * | 2013-12-12 | 2015-05-20 | 天津理工大学 | 一种大气颗粒物采集滤膜针孔的检测装置及其检测方法 |
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| JPH0814547B2 (ja) * | 1987-09-30 | 1996-02-14 | 株式会社東芝 | 表面検査装置 |
| JPH0651863U (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-15 | 株式会社松本電子工業 | ピンホール検出器 |
| JPH09166702A (ja) * | 1995-12-15 | 1997-06-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 光制御フィルム及びその製造方法 |
| JPH09257720A (ja) * | 1996-03-27 | 1997-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検査方法とその装置 |
| JPH1172603A (ja) * | 1997-06-30 | 1999-03-16 | Konica Corp | ライトコントロールフィルム及びその製造方法 |
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2001
- 2001-06-04 JP JP2001168437A patent/JP3806616B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
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- 2002-06-04 KR KR1020037015823A patent/KR100878400B1/ko active IP Right Grant
- 2002-06-04 WO PCT/JP2002/005505 patent/WO2002099401A1/ja active Application Filing
- 2002-06-04 CN CN02811194XA patent/CN1217183C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101167361B1 (ko) | 2009-08-25 | 2012-07-19 | 삼성전기주식회사 | 마이크로 렌즈를 내장한 실리콘 광전자 증배관 |
| CN103185843A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-03 | 宝山钢铁股份有限公司 | 用于针孔检测设备的电磁干扰探测装置和方法 |
| CN103185843B (zh) * | 2011-12-30 | 2015-07-22 | 宝山钢铁股份有限公司 | 用于针孔检测设备的电磁干扰探测装置和方法 |
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| CN1217183C (zh) | 2005-08-31 |
| KR20040012891A (ko) | 2004-02-11 |
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