JPH1183725A - 光散乱式塵粒子検出器 - Google Patents
光散乱式塵粒子検出器Info
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- JPH1183725A JPH1183725A JP9257811A JP25781197A JPH1183725A JP H1183725 A JPH1183725 A JP H1183725A JP 9257811 A JP9257811 A JP 9257811A JP 25781197 A JP25781197 A JP 25781197A JP H1183725 A JPH1183725 A JP H1183725A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 より微弱なレーザ光散乱光信号、すなわちよ
り小さな粒子径の塵粒子を検出できる光散乱式塵粒子検
出器を提供する。 【解決手段】 レーザ光12の集束領域を塵粒子17が通過
するときに発生する光散乱光21を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、散乱光を光電流に
変換する光電変換素子18の受光面の前にレーザ光の波長
と同じ波長の光を透過する光学フィルタ19を配置し、こ
の光学フィルタの前面には鏡面反射となる角度で上記レ
ーザ光が照射されるように構成される。
り小さな粒子径の塵粒子を検出できる光散乱式塵粒子検
出器を提供する。 【解決手段】 レーザ光12の集束領域を塵粒子17が通過
するときに発生する光散乱光21を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、散乱光を光電流に
変換する光電変換素子18の受光面の前にレーザ光の波長
と同じ波長の光を透過する光学フィルタ19を配置し、こ
の光学フィルタの前面には鏡面反射となる角度で上記レ
ーザ光が照射されるように構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光散乱式塵粒子検出
器に関し、特に、例えば真空装置内に発生する微小な塵
粒子の大きさと数を検出する光散乱式塵粒子検出器に関
する。
器に関し、特に、例えば真空装置内に発生する微小な塵
粒子の大きさと数を検出する光散乱式塵粒子検出器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光散乱式塵粒子検出器の代表例を
図２に示す。レーザ光源（レーザダイオード等）３１よ
り出射されたレーザ光３２はレンズ３３およびスリット
３４を通過し、細く絞られ、その後、ビーム吸収器３５
に入射する。レーザ光３２は、ビーム吸収器３５で吸収
され、外部に洩れない。レンズ３３はレーザ光３２を細
く絞る働きを有する。スリット３４は、レンズ３３から
発生する散乱光の広がりを防ぐ働きを有する。スリット
３４とビーム吸収器３５の間で、レーザ光３２は細く絞
られ（集束され）、集束領域が形成される。この集束領
域のレーザ光３２の両側には、レーザ光３２から所要距
離だけ離した位置で、光学フィルタ３６とフォトダイオ
ード３７からなる検出板ユニットが平行に配置される。
各検出板ユニットで、板状の光学フィルタ３６とフォト
ダイオード３７は重ね合わせて配置される。塵粒子３８
が、集束領域のレーザ光３２へ飛来し、ここを通過する
とき、レーザ光に基づく光散乱光３９が発生する。この
光散乱光３９は、光学フィルタ３６を通過した後、フォ
トダイオード３７の受光面に入射し、光電流信号に変換
される。光電流信号が発生すると、塵粒子３８がレーザ
光３２を横切ったものとして１回カウントされる。カウ
ントされる塵粒子３８の大きさは、大きな塵粒子ほど強
い光散乱光３９を発生するので、フォトダイオード３７
により変換された光電流信号の強度で識別することがで
きる。光学フィルタ３６は、レーザ光３２の波長の光の
みを選択的に通過させるバンドパスフィルタであり、外
部からの他の波長の光がフォダイオード３７で検出され
ることを防止している。
図２に示す。レーザ光源（レーザダイオード等）３１よ
り出射されたレーザ光３２はレンズ３３およびスリット
３４を通過し、細く絞られ、その後、ビーム吸収器３５
に入射する。レーザ光３２は、ビーム吸収器３５で吸収
され、外部に洩れない。レンズ３３はレーザ光３２を細
く絞る働きを有する。スリット３４は、レンズ３３から
発生する散乱光の広がりを防ぐ働きを有する。スリット
３４とビーム吸収器３５の間で、レーザ光３２は細く絞
られ（集束され）、集束領域が形成される。この集束領
域のレーザ光３２の両側には、レーザ光３２から所要距
離だけ離した位置で、光学フィルタ３６とフォトダイオ
ード３７からなる検出板ユニットが平行に配置される。
各検出板ユニットで、板状の光学フィルタ３６とフォト
ダイオード３７は重ね合わせて配置される。塵粒子３８
が、集束領域のレーザ光３２へ飛来し、ここを通過する
とき、レーザ光に基づく光散乱光３９が発生する。この
光散乱光３９は、光学フィルタ３６を通過した後、フォ
トダイオード３７の受光面に入射し、光電流信号に変換
される。光電流信号が発生すると、塵粒子３８がレーザ
光３２を横切ったものとして１回カウントされる。カウ
ントされる塵粒子３８の大きさは、大きな塵粒子ほど強
い光散乱光３９を発生するので、フォトダイオード３７
により変換された光電流信号の強度で識別することがで
きる。光学フィルタ３６は、レーザ光３２の波長の光の
みを選択的に通過させるバンドパスフィルタであり、外
部からの他の波長の光がフォダイオード３７で検出され
ることを防止している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の光散乱式
塵粒子検出器では、検出対象の塵粒子が通過するように
設計された空間に対し、細く絞り込まれた（集束され
た）レーザ光３２を照射して集束領域を形成し、かつこ
の集束領域を挟み込むような配置で２枚のフォトダイオ
ード３７を設けた構造を採用していた。２枚のフォトダ
イオード３７は、塵粒子の通過空間とレーザ光３２の集
束領域とを挟み込むように配置される必要があるため、
塵粒子の通過空間を確保する上で集束領域から離れた位
置に配置されなければならないという制約があった。さ
らにフォトダイオード３７が集束領域から離れた位置に
配置されることから、適切な検出感度を得るためには大
きな受光面積を持つフォトダイオードを使用しなければ
ならないという必要が生じた。大きな受光面積のフォト
ダイオードを使用する結果、光や電界変動、フォトダイ
オード自体の暗電流等のノイズが大きくなり、微弱な光
散乱光信号を検出することが困難となるという問題が生
じた。
塵粒子検出器では、検出対象の塵粒子が通過するように
設計された空間に対し、細く絞り込まれた（集束され
た）レーザ光３２を照射して集束領域を形成し、かつこ
の集束領域を挟み込むような配置で２枚のフォトダイオ
ード３７を設けた構造を採用していた。２枚のフォトダ
イオード３７は、塵粒子の通過空間とレーザ光３２の集
束領域とを挟み込むように配置される必要があるため、
塵粒子の通過空間を確保する上で集束領域から離れた位
置に配置されなければならないという制約があった。さ
らにフォトダイオード３７が集束領域から離れた位置に
配置されることから、適切な検出感度を得るためには大
きな受光面積を持つフォトダイオードを使用しなければ
ならないという必要が生じた。大きな受光面積のフォト
ダイオードを使用する結果、光や電界変動、フォトダイ
オード自体の暗電流等のノイズが大きくなり、微弱な光
散乱光信号を検出することが困難となるという問題が生
じた。
【０００４】本発明の目的は、上記の問題を解決するこ
とにあり、より微弱な光散乱光信号、すなわちより小さ
な粒子径の塵粒子を検出できるように改善された光散乱
式塵粒子検出器を提供することにある。
とにあり、より微弱な光散乱光信号、すなわちより小さ
な粒子径の塵粒子を検出できるように改善された光散乱
式塵粒子検出器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】本発明に係る
光散乱式塵粒子検出器は、上記目的を達成するため、次
のように構成される。
光散乱式塵粒子検出器は、上記目的を達成するため、次
のように構成される。
【０００６】第１の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項１に対応）は、レーザ光の集束領域を塵粒子が
通過するときに発生する散乱光を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、散乱光を光電流に
変換する光電変換素子の受光面の前にレーザ光の波長と
同じ波長の光を透過する光学フィルタを配置し、この光
学フィルタの前面には鏡面反射となる角度でレーザ光が
照射されるように構成される。
（請求項１に対応）は、レーザ光の集束領域を塵粒子が
通過するときに発生する散乱光を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、散乱光を光電流に
変換する光電変換素子の受光面の前にレーザ光の波長と
同じ波長の光を透過する光学フィルタを配置し、この光
学フィルタの前面には鏡面反射となる角度でレーザ光が
照射されるように構成される。
【０００７】第２の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項２に対応）は、第１の構成において、好ましく
は、光電変換素子と光学フィルタは、透過レーザ光が光
電変換素子に入射しないように距離をあけて配置される
ことを特徴とする。
（請求項２に対応）は、第１の構成において、好ましく
は、光電変換素子と光学フィルタは、透過レーザ光が光
電変換素子に入射しないように距離をあけて配置される
ことを特徴とする。
【０００８】第３の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項３に対応）は、レーザ光の集束領域を塵粒子が
通過するときに発生する散乱光を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、集束領域に対応す
る小面積の受光面を有する光電変換素子を、受光面の前
に光学フィルタを設けて、集束領域の近傍に配置するよ
うに構成される。
（請求項３に対応）は、レーザ光の集束領域を塵粒子が
通過するときに発生する散乱光を測定することにより塵
粒子を検出する塵粒子検出器であり、集束領域に対応す
る小面積の受光面を有する光電変換素子を、受光面の前
に光学フィルタを設けて、集束領域の近傍に配置するよ
うに構成される。
【０００９】第４の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項４に対応）は、第３の構成において、光学フィ
ルタの前面はレーザ光の光軸に実質的に平行である。
（請求項４に対応）は、第３の構成において、光学フィ
ルタの前面はレーザ光の光軸に実質的に平行である。
【００１０】第５の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項５に対応）は、第３または第４の構成におい
て、光学フィルタの前面には、鏡面反射となる角度で、
レーザ光が照射されることを特徴とする。
（請求項５に対応）は、第３または第４の構成におい
て、光学フィルタの前面には、鏡面反射となる角度で、
レーザ光が照射されることを特徴とする。
【００１１】第６の本発明に係る光散乱式塵粒子検出器
（請求項６に対応）は、上記のいずれかの構成におい
て、少なくとも光学フィルタの側面には光シールドが設
けられることを特徴とする。
（請求項６に対応）は、上記のいずれかの構成におい
て、少なくとも光学フィルタの側面には光シールドが設
けられることを特徴とする。
【００１２】本発明による光散乱式塵粒子検出器では、
塵粒子の飛来により散乱光が発生する場所が光学フィル
タの前側表面上に設定されており、かつ光学フィルタの
背面側に配置される光電変換素子の受光面との距離が非
常に近接させている。この構成を可能するために、レー
ザ光を、光学フィルタの前面に対して、鏡面反射が生じ
る程度の入射角度にて照射させている。これにより、同
じ検出感度を得るために必要とされる立体角に対応する
光電変換素子の受光面の面積を小さくすることができ
る。従って、同じ信号強度に対する外乱光、電界変動、
暗電流等のノイズを小さくすることができ、より微弱な
散乱光信号が検出でき、従来より小さな粒子径サイズの
塵粒子の検出が可能となる
塵粒子の飛来により散乱光が発生する場所が光学フィル
タの前側表面上に設定されており、かつ光学フィルタの
背面側に配置される光電変換素子の受光面との距離が非
常に近接させている。この構成を可能するために、レー
ザ光を、光学フィルタの前面に対して、鏡面反射が生じ
る程度の入射角度にて照射させている。これにより、同
じ検出感度を得るために必要とされる立体角に対応する
光電変換素子の受光面の面積を小さくすることができ
る。従って、同じ信号強度に対する外乱光、電界変動、
暗電流等のノイズを小さくすることができ、より微弱な
散乱光信号が検出でき、従来より小さな粒子径サイズの
塵粒子の検出が可能となる
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の好適な実施形態
を添付図面に基づいて説明する。
を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】図１において、レーザダイオード１１から
出射されたレーザ光１２は、レンズ１３とスリット１４
を通過して特定空間を通過するように設定される。この
特定空間は、図示しない真空容器から塵粒子を取り出し
て通過させる観察空間である。特定空間において、レー
ザ光１２は、レンズ１３によってそのビーム径が細く絞
られており、好ましくは集束点（焦点またはフォーカス
点）が形成されるように絞られている。集束点の近くに
は集束領域が形成される。レーザ光１２は集束領域を通
過したのち、再びビーム径が拡大してビーム吸収器１５
に入射される。上記スリット１４は、レンズ１３から出
た散乱光の広がりを阻止するための手段である。
出射されたレーザ光１２は、レンズ１３とスリット１４
を通過して特定空間を通過するように設定される。この
特定空間は、図示しない真空容器から塵粒子を取り出し
て通過させる観察空間である。特定空間において、レー
ザ光１２は、レンズ１３によってそのビーム径が細く絞
られており、好ましくは集束点（焦点またはフォーカス
点）が形成されるように絞られている。集束点の近くに
は集束領域が形成される。レーザ光１２は集束領域を通
過したのち、再びビーム径が拡大してビーム吸収器１５
に入射される。上記スリット１４は、レンズ１３から出
た散乱光の広がりを阻止するための手段である。
【００１５】上記レーザ光１２の集束点の近傍に光散乱
光検出ユニット１６が設置される。この光散乱光検出ユ
ニット１６は、塵粒子１７がレーザ光１２の集束領域に
飛来したときにレーザ光１２と塵粒子１７の間の作用で
生じる散乱光を検出するユニットである。光散乱光検出
ユニット１６は、フォトダイオード１８と、フォトダイ
オード１８の受光面の前方近傍に配置された光学フィル
タ１９と、光シールド２０とから構成される。光学フィ
ルタ１９は、集束点の近傍であって、その前面（図１中
上面）がレーザ光１２の光軸（または進行方向）とほぼ
平行になるように配置され、かつ光学フィルタ１９の前
面には、レーザ光１２が、後述する鏡面反射を生じるよ
うな入射角度で照射されている。フォトダイオード１８
は、光学フィルタ１９の背後の位置に配置され、光学フ
ィルタ１９の背面（図１中下面）より少し離れた位置に
配置されている。また上記光シールド２０は、少なくと
も光学フィルタ１９の周囲側面部分を被うごとく配置さ
れている。この光シールド２０は、レーザ光１２および
外乱光が、光学フィルタ１９とフォトダイオード１８の
側面より侵入することを防ぐ役割を果たしている。
光検出ユニット１６が設置される。この光散乱光検出ユ
ニット１６は、塵粒子１７がレーザ光１２の集束領域に
飛来したときにレーザ光１２と塵粒子１７の間の作用で
生じる散乱光を検出するユニットである。光散乱光検出
ユニット１６は、フォトダイオード１８と、フォトダイ
オード１８の受光面の前方近傍に配置された光学フィル
タ１９と、光シールド２０とから構成される。光学フィ
ルタ１９は、集束点の近傍であって、その前面（図１中
上面）がレーザ光１２の光軸（または進行方向）とほぼ
平行になるように配置され、かつ光学フィルタ１９の前
面には、レーザ光１２が、後述する鏡面反射を生じるよ
うな入射角度で照射されている。フォトダイオード１８
は、光学フィルタ１９の背後の位置に配置され、光学フ
ィルタ１９の背面（図１中下面）より少し離れた位置に
配置されている。また上記光シールド２０は、少なくと
も光学フィルタ１９の周囲側面部分を被うごとく配置さ
れている。この光シールド２０は、レーザ光１２および
外乱光が、光学フィルタ１９とフォトダイオード１８の
側面より侵入することを防ぐ役割を果たしている。
【００１６】上記光散乱光検出ユニット１６の構造およ
び設置位置によれば、スリット１４から出たレーザ光１
２は、その集束領域で、光学フィルタ１９の前面に沿っ
て進み、当該前面で鏡面反射されて若干進路を変更さ
れ、ビーム吸収器１５に入射される。レーザ光１２の集
束領域に塵粒子１７が飛来すると、微弱な光散乱光２１
が発生するが、当該光散乱光２１は、入射角度が小さい
ので、光学フィルタ１９を通過して、背後に位置するフ
ォトダイオード１８の受光面に入射される。
び設置位置によれば、スリット１４から出たレーザ光１
２は、その集束領域で、光学フィルタ１９の前面に沿っ
て進み、当該前面で鏡面反射されて若干進路を変更さ
れ、ビーム吸収器１５に入射される。レーザ光１２の集
束領域に塵粒子１７が飛来すると、微弱な光散乱光２１
が発生するが、当該光散乱光２１は、入射角度が小さい
ので、光学フィルタ１９を通過して、背後に位置するフ
ォトダイオード１８の受光面に入射される。
【００１７】上記光学フィルタ１９は、その前面に対し
て実質的に垂直となる入射角（小さな入射角）で入射す
る光であってレーザ光１２と同一波長の当該光を通過さ
せるバンドパスフィルタとして働く機能と、上記前面に
対して実質的に平行となる入射角（大きな入射角）で入
射するレーザ光１２に対しては鏡面として働く機能とを
有している。光学フィルタ１９の「鏡面」としての機能
は、光学フィルタ１９の前面に対してほぼ平行となって
照射されたレーザ光１２は光学フィルタ１９の表面でほ
とんど反射され、また反射されずに光学フィルタ１９を
透過した一部の透過レーザ光２２は、フィルタ透過後、
その背面に対してほぼ平行な大きな出射角で出射される
という特性を発揮する機能である。光学フィルタ１９の
鏡面としての機能のため、光電変換素子であるフォトダ
イオード１８は、光学フィルタ１９の背面からわずかに
離すだけで、レーザ光１２の集束領域の近傍に配置する
ことができる。フォトダイオード１８をこのように配置
しても、透過レーザ光２２がフォトダイオード１８の受
光面に入射されることはない。換言すれば、透過レーザ
光２２が入射されない限り、フォトダイオード１８を光
学フィルタ１９に接近させて配置することが可能であ
る。
て実質的に垂直となる入射角（小さな入射角）で入射す
る光であってレーザ光１２と同一波長の当該光を通過さ
せるバンドパスフィルタとして働く機能と、上記前面に
対して実質的に平行となる入射角（大きな入射角）で入
射するレーザ光１２に対しては鏡面として働く機能とを
有している。光学フィルタ１９の「鏡面」としての機能
は、光学フィルタ１９の前面に対してほぼ平行となって
照射されたレーザ光１２は光学フィルタ１９の表面でほ
とんど反射され、また反射されずに光学フィルタ１９を
透過した一部の透過レーザ光２２は、フィルタ透過後、
その背面に対してほぼ平行な大きな出射角で出射される
という特性を発揮する機能である。光学フィルタ１９の
鏡面としての機能のため、光電変換素子であるフォトダ
イオード１８は、光学フィルタ１９の背面からわずかに
離すだけで、レーザ光１２の集束領域の近傍に配置する
ことができる。フォトダイオード１８をこのように配置
しても、透過レーザ光２２がフォトダイオード１８の受
光面に入射されることはない。換言すれば、透過レーザ
光２２が入射されない限り、フォトダイオード１８を光
学フィルタ１９に接近させて配置することが可能であ
る。
【００１８】上記の光散乱光検出ユニット１６によれ
ば、光学フィルタ１９の上記機能と、構造的なレイアウ
トとに基づいて、フォトダイオード１８を、光散乱光が
発生する領域に対して極めて接近させることができ、こ
のため、その受光面を小さくしても微弱な光散乱光を検
出することができる。
ば、光学フィルタ１９の上記機能と、構造的なレイアウ
トとに基づいて、フォトダイオード１８を、光散乱光が
発生する領域に対して極めて接近させることができ、こ
のため、その受光面を小さくしても微弱な光散乱光を検
出することができる。
【００１９】レーザダイオード１１から出射されたレー
ザ光１２はレンズ１３により細く絞られ、レンズ１３か
らの散乱光を遮るスリット１４を通過した後、光学フィ
ルタ１９の前面で集束点（焦点）を結ぶ。光学フィルタ
１９の前面に対して平行に近い大きな入射角度で入射し
たレーザ光１２は光学フィルタ１９の前面でほとんど鏡
面反射した後、ビーム吸収器１５に入射し、吸収され
る。
ザ光１２はレンズ１３により細く絞られ、レンズ１３か
らの散乱光を遮るスリット１４を通過した後、光学フィ
ルタ１９の前面で集束点（焦点）を結ぶ。光学フィルタ
１９の前面に対して平行に近い大きな入射角度で入射し
たレーザ光１２は光学フィルタ１９の前面でほとんど鏡
面反射した後、ビーム吸収器１５に入射し、吸収され
る。
【００２０】塵粒子１７が、矢印で示すように光学フィ
ルタ１９上のレーザ光１２の集束点の近くに飛来し飛び
去る場合に、光散乱光２１が発生する。発生した光散乱
光２１の内で垂直入射に近い入射角が小さい光は光学フ
ィルタ１９を透過する。透過した光散乱光は、光学フィ
ルタ１９の背面側に近接して配置されたフォトダイオー
ド１８の受光面に入射し、光電流に変換される。この光
電流を検出することにより、塵粒子１７の個数と大きさ
を検出することができる。フォトダイオード１８は、光
学フィルタ１９を介在させて、光散乱光２１の発生場所
に極めて近接して配置することができるので、光散乱光
２１を従来と同じ立体角で捉えるために必要な光電変換
素子面の表面積を小さくすることができる。
ルタ１９上のレーザ光１２の集束点の近くに飛来し飛び
去る場合に、光散乱光２１が発生する。発生した光散乱
光２１の内で垂直入射に近い入射角が小さい光は光学フ
ィルタ１９を透過する。透過した光散乱光は、光学フィ
ルタ１９の背面側に近接して配置されたフォトダイオー
ド１８の受光面に入射し、光電流に変換される。この光
電流を検出することにより、塵粒子１７の個数と大きさ
を検出することができる。フォトダイオード１８は、光
学フィルタ１９を介在させて、光散乱光２１の発生場所
に極めて近接して配置することができるので、光散乱光
２１を従来と同じ立体角で捉えるために必要な光電変換
素子面の表面積を小さくすることができる。
【００２１】上記の構成によれば、外乱光、電磁波、フ
ォトダイオード自体の暗電流等のノイズの影響を低減で
きる。散乱光信号検出感度が変化することなく、ノイズ
の影響を小さくできるため、従来と比較し、より微弱な
散乱光を検出できる。その結果として、より小さな粒子
径の塵粒子を検出することができる。
ォトダイオード自体の暗電流等のノイズの影響を低減で
きる。散乱光信号検出感度が変化することなく、ノイズ
の影響を小さくできるため、従来と比較し、より微弱な
散乱光を検出できる。その結果として、より小さな粒子
径の塵粒子を検出することができる。
【００２２】なお上記実施形態では、レーザダイオード
の代わりに単芯光ファイバの出射部を設けても、フォト
ダイオードの代わりに光ファイババンドルによる光検出
部を設けても同じ効果が得られる。
の代わりに単芯光ファイバの出射部を設けても、フォト
ダイオードの代わりに光ファイババンドルによる光検出
部を設けても同じ効果が得られる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、散乱光信号検出感度を変えることなく、ノイズの
影響を小さくすることができるため、微弱な散乱光が検
出でき、結果としてより小さな粒子径の塵粒子の検出で
きる。光散乱光検出ユニットを小型にして、レーザ光の
集束領域の近くに配置することができ、光フィルタやフ
ォトダイオードも小型に作ることができ、フォトダイオ
ードの受光面積を小さくすることができる。光シールド
を設けることによって外乱光等の側面からの侵入を阻止
できる。
れば、散乱光信号検出感度を変えることなく、ノイズの
影響を小さくすることができるため、微弱な散乱光が検
出でき、結果としてより小さな粒子径の塵粒子の検出で
きる。光散乱光検出ユニットを小型にして、レーザ光の
集束領域の近くに配置することができ、光フィルタやフ
ォトダイオードも小型に作ることができ、フォトダイオ
ードの受光面積を小さくすることができる。光シールド
を設けることによって外乱光等の側面からの侵入を阻止
できる。
【図１】本発明に係る光散乱式塵粒子検出器の代表的実
施形態を示す構成図である。
施形態を示す構成図である。
【図２】従来の光散乱式塵粒子検出器の一例を示す構成
図である。
図である。
１１ レーザダイオード １２ レーザ光 １３ レンズ １４ スリット １５ レーザ吸収器 １７ 塵粒子 １８ フォトダイオード １９ 光フィルタ ２０ 光シールド ２１ 光散乱光 ２２ 透過レーザ光
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光の集束領域を塵粒子が通過する
ときに発生する散乱光を測定することにより前記塵粒子
を検出する塵粒子検出器において、 前記散乱光を光電流に変換する光電変換素子の受光面の
前に前記レーザ光の波長と同じ波長の光を透過する光学
フィルタを配置し、この光学フィルタの前面には鏡面反
射となる角度で前記レーザ光が照射されることを特徴と
する光散乱式塵粒子検出器。 - 【請求項２】 前記光電変換素子と前記光学フィルタ
は、透過レーザ光が前記光電変換素子に入射しないよう
に、距離をあけて配置されることを特徴とする請求項１
記載の光散乱式塵粒子検出器。 - 【請求項３】 レーザ光の集束領域を塵粒子が通過する
ときに発生する散乱光を測定することにより前記塵粒子
を検出する塵粒子検出器において、 前記集束領域に対応する小面積の受光面を有する光電変
換素子を、前記受光面の前に光学フィルタを設けて、前
記集束領域の近傍に配置したことを特徴とする光散乱式
塵粒子検出器。 - 【請求項４】 前記光学フィルタの前面は前記レーザ光
の光軸に実質的に平行であることを特徴とする請求項３
記載の光散乱式塵検出器。 - 【請求項５】 前記光学フィルタの前面には、鏡面反射
となる角度で、前記レーザ光が照射されることを特徴と
する請求項３または４記載の光散乱式塵粒子検出器。 - 【請求項６】 少なくとも前記光学フィルタの側面には
光シールドが設けられることを特徴とする請求項１〜５
のいずれか１項に記載の光散乱式塵粒子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9257811A JPH1183725A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 光散乱式塵粒子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9257811A JPH1183725A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 光散乱式塵粒子検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1183725A true JPH1183725A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17311457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9257811A Pending JPH1183725A (ja) | 1997-09-05 | 1997-09-05 | 光散乱式塵粒子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1183725A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031594A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Rion Co Ltd | 光散乱式粒子検出器 |
| CN107167416A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-09-15 | 中国科学院微生物研究所 | 一种分选型流式细胞仪 |
-
1997
- 1997-09-05 JP JP9257811A patent/JPH1183725A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002031594A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Rion Co Ltd | 光散乱式粒子検出器 |
| CN107167416A (zh) * | 2017-05-15 | 2017-09-15 | 中国科学院微生物研究所 | 一种分选型流式细胞仪 |
| CN107167416B (zh) * | 2017-05-15 | 2023-07-07 | 中国科学院微生物研究所 | 一种分选型流式细胞仪 |
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