JP2002342955A - 光ディスク装置 - Google Patents

光ディスク装置

Info

Publication number
JP2002342955A
JP2002342955A JP2001147616A JP2001147616A JP2002342955A JP 2002342955 A JP2002342955 A JP 2002342955A JP 2001147616 A JP2001147616 A JP 2001147616A JP 2001147616 A JP2001147616 A JP 2001147616A JP 2002342955 A JP2002342955 A JP 2002342955A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
optical disk
slider
comb
disk device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001147616A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Tezuka
耕一 手塚
Hitoshi Komoriya
均 小森谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2001147616A priority Critical patent/JP2002342955A/ja
Priority to US10/136,988 priority patent/US7039926B2/en
Publication of JP2002342955A publication Critical patent/JP2002342955A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B7/1374—Objective lenses
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0929—Electromechanical actuators for lens positioning for tracking only
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10552—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base
    • G11B11/10554—Arrangements of transducers relative to each other, e.g. coupled heads, optical and magnetic head on the same base the transducers being disposed on the same side of the carrier
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10556—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving or switching or masking the transducers in or out of their operative position
    • G11B11/10567—Mechanically moving the transducers
    • G11B11/10571—Sled type positioners
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/10576—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers with provision for moving the transducers for maintaining alignment or spacing relative to the carrier
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
    • G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
    • G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
    • G11B11/1055—Disposition or mounting of transducers relative to record carriers
    • G11B11/1058—Flying heads
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1372—Lenses
    • G11B2007/13727—Compound lenses, i.e. two or more lenses co-operating to perform a function, e.g. compound objective lens including a solid immersion lens, positive and negative lenses either bonded together or with adjustable spacing
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
    • G11B7/0857—Arrangements for mechanically moving the whole head
    • G11B7/08582—Sled-type positioners
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/09—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam or focus plane for the purpose of maintaining alignment of the light beam relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
    • G11B7/0937—Piezoelectric actuators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動電力が小さくて済む簡易な構成により応
答性良く微小トラッキング制御を行い、製造コストおよ
びランニングコストを低減することができる光ディスク
装置を提供する。 【解決手段】 光源からの光を収束して光ディスクＤの
表面にビームスポットＢｓを形成する対物レンズ系４
１，５５と、光ディスクＤの表面に倣って光ディスクＤ
に対して相対的に移動するスライダ３と、ビームスポッ
トＢｓを光ディスクＤの半径方向（ＡＢ方向）に微小変
位させる微小トラッキング制御機構５と、を備えた光デ
ィスク装置１において、対物レンズ系４１，５５を、第
１レンズ４１および第２レンズ５５を有するものとし、
第２レンズ５５をスライダ３に保持させて第１レンズ４
１よりも光ディスクＤに近い側に配置し、第２レンズ５
５を光ディスクＤの半径方向に微小動させるように微小
トラッキング機構５を構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、光源からの光を
対物レンズ系により収束して光ディスクの表面にビーム
スポット形成するとともに、このビームスポットを光デ
ィスクの半径方向に微小トラッキング制御するように構
成された光ディスク装置に関する。なお、本明細書にお
いては、光ディスク装置なる用語は、特段の限定がない
限り、光ディスクなどの記録媒体に対する情報の読み取
り専用装置のみならず、磁界変調方式や光強度変調方式
によって光磁気ディスクや相変化ディスクなどの記録媒
体に情報を記録し、あるいは記録された情報を再生する
装置をも含むものとして使用している。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】光デ
ィスク装置としては、光ディスクの高密度記録化に伴っ
て、本願の図１１および図１２に示したように浮上スラ
イダ８０，９０を導入したものがある。図１１に示した
光ディスク装置８は直進式として構成されたものであ
り、図１２に示した光ディスク装置９は揺動式として構
成されたものである。これらの光ディスク装置８，９
は、スライダ８０，９０を支持するキャリッジ８１，９
１、対物レンズ系８２，９２、および微小トラッキング
機構８３，９３をさらに有している。
【０００３】対物レンズ系８２，９２は、高ＮＡ化を達
成すべく第１および第２レンズ８２ａ，８２ｂ，９２
ａ，９２ｂからなっている。微小トラッキング機構８
３，９３は、ビームスポットの位置を光ディスクＤの半
径方向（図中の矢印Ａ方向およびＢ方向）に変位させて
所望のトラック上にビームスポットを形成するためのも
のである。
【０００４】図１１に示した光ディスク装置８では、第
１レンズ８２ａが微小トラッキング機構８３を介してキ
ャリッジ８１に保持されており、第２レンズ８２ｂがス
ライダ８０に保持されている。この光ディスク装置８で
は、微小トラッキング機構８３により第１レンズ８２ａ
を光ディスクＤの半径方向に移動させれば、ビームスポ
ットも光ディスクＤの半径方向に変位し、これにより微
小トラッキング制御が行われる。
【０００５】光源からの光は、第１レンズ８２ａにより
収束された後さらに、第２レンズ８２ｂにより収束され
るため、第２レンズ８２ｂに入射する光束の径よりも、
第１レンズ８２ａに入射する光束の径のほうが大きい。
そのため、第１レンズ８２ａのほうが第２レンズ８２ｂ
よりも大きく形成され、その分だけ第１レンズ８２ｂの
ほうが重量が大きなものとなっている。
【０００６】そのため、図１１に示した光ディスク装置
８では、相対的に大きな第１レンズ８２ａをトラッキン
グ方向に移動させる必要がある。また、必要に応じて２
次元アクチュエータを採用して相対的な大きな第１レン
ズ８２ｂをフォーカッシング方向にも移動させなければ
ならない。したがって、大型で構造が複雑であり、しか
も製造コストの高い微小トラッキング機構８３をキャリ
ッジ８１に設ける必要があるばかりか、第１レンズ８２
ａの移動に対して比較的に大きな動力（電力）を必要と
してランニングコストが大きくなるといった不具合もあ
る。その上、相対的に大きな第１レンズ８２ａを微小動
させる構成では、トラッキング応答特性が悪く、高速記
録化の妨げともなりかねない。また、キャリッジ８１に
第１レンズ８２ａおよび微小トラッキング機構８３を設
ける場合には、キャリッジ８２ａの厚み寸法が大きくな
って装置厚みが大きくなってしまうといった問題も生じ
かねない。
【０００７】一方、図１２に示した光ディスク装置９で
は、対物レンズ系９２を構成する第１および第２レンズ
９２ａ，９２ｂのそれぞれは、スライダ９０に保持され
ている。トラッキング機構９３は、スイングアーム９１
に設けられたガルバノミラーにより構成されている。光
学ユニット９４の光源９４ａからの光は、ガルバノミラ
ー９３で反射してから反射ミラー９５および対物レンズ
系９２を介して光ディスクＤの表面に照射される。した
がって、ガルバノミラー９３の偏向面を微小動させて、
偏向面に対する光の入射角度および反射角度を変えるこ
とにより、ビームスポットの位置が光ディスクＤの半径
方向に変位させられ、トラッキング制御が行われる。
【０００８】この構成では、第１レンズ９２ａおよび第
２レンズ９２ｂがスライダ９０に保持され、相対的に大
きな第１レンズ９２ａを移動させる必要がないため、ス
イングアーム９１の厚みを大きくする必要がなく、しか
もトラッキング制御に必要な駆動電力が小さく、トラッ
キング応答特性もよい。その反面、ガルバノミラー９３
は、複雑な構成を有するために製造コストが高く、高価
であるといった問題がある。したがって、図１２に示し
た光ディスク装置９においても、製造コストの面の問題
は十分に改善されているとはいえない。
【０００９】本願発明は、このような事情のもとに考え
だされたものであって、駆動電力が小さくて済む簡易な
構成により応答性良く微小トラッキング制御を行い、製
造コストおよびランニングコストを低減することができ
る光ディスク装置を提供することを課題としている。
【００１０】
【発明の開示】すなわち、本願発明により提供される光
学式情報記録再生装置は、光源からの光を収束して光デ
ィスクの表面にビームスポットを形成する対物レンズ系
と、上記光ディスクの表面に倣って上記光ディスクに対
して相対的に移動するスライダと、上記ビームスポット
を上記光ディスクの半径方向に微小変位させる微小トラ
ッキング制御機構と、を備えた光学式情報再生装置であ
って、上記対物レンズ系は、第１レンズおよび第２レン
ズを有しているとともに、上記第２レンズは上記スライ
ダに保持され、かつ上記第１レンズよりも上記光ディス
クに近い側に配置されており、上記微小トラッキング機
構は、上記第２レンズを上記光ディスクの半径方向に微
小動させるように構成されていることを特徴としてい
る。
【００１１】この光ディスク装置では、第１レンズより
も相対的に小さい第２レンズを微小動させることにより
トラッキング制御を行うように構成されている。したが
って、第１レンズを微小動させる構成に比べて駆動電力
が小さくて済み、ランニングコストの低減を図ることが
できる。その上、トラッキング信号に即時に対応して応
答性良く微小トラッキング制御を行うことができるた
め、微小トラッキング制御を行うことに伴って高速記録
化が妨げられることもない。
【００１２】第１レンズは、スライダに保持させるのが
好ましく、その場合には、装置の厚みを小さくすること
が可能となる。相対的に小さな第２レンズをトラッキン
グ駆動させる場合には、相対的に大きな第１レンズをト
ラッキング駆動させる場合のように、大きな駆動機構は
必要とされない。そのため、微小トラッキング機構を問
題なくスライダに組み込むことができ、また１つの部材
（スライダ）に第１レンズおよび第２レンズの双方を保
持させれば、対物レンズ系および微小トラッキング機構
の全体のコンパクト化を図ることが可能となる。その結
果、スライダの厚み寸法をさほど大きくすることなくス
ライダを支持するキャリッジの厚み寸法を小さくできる
ようになり、装置の厚み寸法をも小さくすることができ
るようになる。
【００１３】また、第２レンズは第１レンズに比べて相
対的に小さなものであるため、相対的に大きな第１レン
ズを微小動させる場合に比べて、微小トラッキング機構
を簡易な構成により達成することが可能となり、製造コ
ストの低減を図ることができるようになる。微小トラッ
キング機構は、たとえば静電アクチュエータにより構成
することができる。静電アクチュエータとしては、たと
えば第２レンズが保持され、かつ複数の第１櫛歯電極を
有する可動部と、隣接する第１櫛歯電極の間に位置する
第２櫛歯部電極を複数有する固定部と、を備え、複数の
第１櫛歯電極と複数の第２櫛歯電極との間に電圧を印加
することにより可動部を光ディスクの半径方向に微小動
させるように構成されたものを採用することができる。
【００１４】このような微小トラッキング機構は、半導
体製造プロセスを採用することにより形成することがで
きる。たとえば、シリコンウエハに対する成膜およびエ
ッチング処理により固定部および可動部となるべき部分
を形成した後、シリコンウエハをダイシングすることに
より形成することができる。したがって、微小トラッキ
ング機構は、半導体製造プロセスを応用し、１つのウエ
ハから複数のものを簡易に形成することができるため、
量産性に優れ、製造コスト的にも有利である。
【００１５】好ましい実施の形態においては、上記スラ
イダにおける上記光ディスクと対向する面には、コイル
が埋設された透明基板が設けられており、上記第２レン
ズは、上記透明基板との間に空気層を介在させた状態で
上記スライダに保持されている。
【００１６】この光ディスク装置は、スライダにおける
光ディスクと対面する部分にコイルが設けられており、
光磁気記録が可能なように構成されている。光磁気記録
方式を採用して高速記録を行う場合、コイルへの通電に
伴う発熱より第２レンズが昇温し、第２レンズの屈性率
が変化して収差が生じることが懸念される。これに対し
て、コイルを埋設した基板と第２レンズとの間に空気層
を介在させておけば、コイルから熱が空気層で吸収され
るため、第２レンズに伝達される熱エネルギ量が低減さ
れる。その結果、コイルの発熱に起因した収差の発生を
抑制することができるようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【００１８】図１および図２に示した光ディスク装置１
は、スピンドルＳｐに装着された光ディスクＤを回転さ
せた状態において、光ディスクＤに対して磁界変調方式
により情報を記録し、光を利用して情報を再生する。こ
の光ディスクＤの第１面ｄ側には、ガイドロッド２０に
よって光ディスクＤの半径方向（図１および図２の矢印
Ａ方向またはＢ方向：トラッキング方向）に移動可能に
キャリッジ２が支持されている。このようなキャリッジ
２の移動は、たとえば直進型ボイスコイルモータなどの
直進駆動機構２１によって行われる。
【００１９】キャリッジ２には、後述するスライダ３の
下方に位置するように反射ミラー２２が配置されてお
り、レーザ光源（図示略）からの光が反射ミラー２２で
反射してから、スライダ３の第１レンズ４１に入射する
ように構成されている。
【００２０】スライダ３は、サスペンション部材３０を
介してキャリッジ２に支持されている。このスライダ３
は、サスペンション部材３０の先端部に対し、たとえば
ジンバルバネ（図示略）を介して所定のピボットを中心
として揺動可能に支持されるのが通常である。
【００２１】スライダ３は、図２および図３に示したよ
うに第１レンズホルダ４および静電アクチュエータ５を
有しており、光ディスクＤと対向する対向面３ａに透明
基板６が密着して設けられている。
【００２２】第１レンズホルダ４には、中央部に貫通孔
４０が形成されている。貫通孔４０には、第１レンズ４
１が嵌合されている。第１レンズ４１は、たとえばガラ
ス製であり、横断面の直径が２〜４ｍｍ、重量が５〜１
０ｍｍｇとされている。
【００２３】静電アクチュエータ５は、図３ないし図６
に示したようにシリコン基板５０上に可動部５１、支持
部５２、バネ部５３および固定部５４からなる導体層５
Ａを形成したものである。
【００２４】シリコン基板５０は、図５および図６に良
く表れているように矩形枠状の凸部５０ａおよび一対の
支持凸部５０ｂを有している。支持凸部５０ｂは、可動
部５１の両サイドに設けられた支持部５２の下方に設け
られている。
【００２５】可動部５１は、図４においてクロスハッチ
ングを施した部分であり、可動部本体５１Ａおよび互い
に反対方向に延びる一対のフィン５１Ｂを有している。
可動部本体５１Ａの中央部には、貫通孔５１ａが形成さ
れている。この貫通孔５１ａには第２レンズ５５が嵌合
されており、第２レンズ５５は可動部５１と一体動可能
とされている。第２レンズ５５は、たとえば球を赤道面
でカットした形状を有するソリッドイマージョンレンズ
（ＳＩＬ）であり、半球面５５ａおよび平坦面５５ｂを
有している。第２レンズ５５は、たとえば平坦面５５ｂ
の直径が０．７〜１．５ｍｍ、重量が０．３〜１ｍｇで
ある。
【００２６】各フィン５１Ｂの両長手縁からは、フィン
５１Ｂの幅方向に延びる複数の第１櫛歯電極５１ｂが形
成されている。フィン５１Ｂの同一縁から延びる複数の
第１櫛歯電極５１ｂは、一定間隔隔てて互いに平行に延
びている。
【００２７】支持部５２は、図４および図５に示したよ
うにシリコン基板５０の支持凸部５０ｂ上に、合計２つ
設けられている。各支持部５２は、その両端部において
２つのバネ部５３を介して可動部５１と一体化されてい
る。したがって、可動部５１は、図５および図６に良く
表れているようにシリコン基板５０の内底面５０ｄから
離間した状態で支持部５２およびバネ部５３を介して支
持されている。このため、可動部５１に保持された第２
レンズ５５もまた、図５に良く表れているようにシリコ
ン基板５０の内底面５０ｄから離間している。その上、
シリコン基板５０の中央部、つまり第２レンズ５５の同
軸上に貫通孔５０ｃが設けられており、シリコン基板５
０には透明基板６が密着して設けられている。このた
め、第２レンズ５５は、図２および図５に示したように
基板６との間に空気層６１を介して可動部５１、つまり
スライダ３に保持されている。図３および図４に示した
ように、一方の支持部５２は、リード部５６を介してシ
リコン基板５０の矩形状の凸部５０ａに繋がっている。
リード部５６は、可動部５１と固定部５４の間に電位を
与える際に利用するものである。
【００２８】固定部５４は、図４において右下がりのシ
ングルハッチングを施した部分であり、シリコン基板５
０の矩形枠状の凸部５０ａに沿って形成された矩形枠部
５４Ａを有している。矩形枠部５４Ａにおける２つの長
辺からは、他方の長辺に向けて突出するように複数の第
２櫛歯電極５４ａが形成されている。同一の長辺から延
びる複数の第２櫛歯電極５４ａは、可動部本体５１Ａを
挟む２つのグループからなり、各グループを構成する第
２櫛歯電極５４ａは、一定間隔隔てて互いに平行に延び
ている。最端に位置する１つの第２櫛歯電極５４ａを除
く他の第２櫛歯電極５４ａは、その先端部ないし中央部
が隣接する２つの第１櫛歯電極５１ｂの間において、こ
れらの第１櫛歯電極５１ｂの中間から偏位した部位に位
置している。
【００２９】このような静電アクチュエータ５は、図７
および図８を参照して説明するようにシリコンウエハを
用いて、半導体プロセスを応用して形成することができ
る。なお、図７および図８には、シリコンウエハにおけ
る図６に相当する部分の断面を示している。
【００３０】図７（ａ）に示したように、まず、両面７
ａ，７ｂが（１００）カット面とされたシリコンウエハ
７に熱酸化膜（ＳｉＯ2）７０，７１を形成する。熱酸
化膜７０，７１は、シリコンウエハ７を１０５０〜１１
５０℃で６〜１０時間ウエット酸化し、シリコンウエハ
７の表面７ａ，７ｂを酸化シリコンとすることにより形
成される。
【００３１】次に、図７（ｂ）に示したように、シリコ
ンウエハ７の一面７ａに形成された熱酸化膜７０の一部
を、イオントリミングなどの手法により除去する。熱酸
化膜７０の除去領域は、可動部５１、バネ部５３および
固定部５４の第２櫛歯電極５４ａ（図３および図４など
参照）を形成すべき領域である。
【００３２】続いて、図７（ｃ）に示したように、シリ
コンウエハの一面７ａの全体にアルミニウム膜７２を形
成する。アルミニウム膜７２は、蒸着やスパッタリング
などの公知の手法により形成することができる。
【００３３】次いで、図７（ｄ）に示したように熱酸化
膜７０上にあるアルミニウム膜７２をイオントリミング
などの手法により除去した後、図７（ｅ）に示したよう
に熱酸化膜７０およびアルミニウム膜７１上にニッケル
下地層７３を形成する。ニッケル下地層７３は、蒸着や
スパッタリングなどの公知の手法により形成することが
できる。
【００３４】続いて、図８（ａ）に示したように、ニッ
ケル下地層７３上にマスク７４を形成する。マスク７４
は、可動部５１、支持部５２、バネ部５３および固定部
５４（図３および図４など参照）を形成すべき領域が露
出する開口部７５を有している。このようなマスク７４
は、感光性樹脂を用いたフォトリソグラフィにより、フ
ォトレジストとして形成することができる。
【００３５】次いで、図８（ｂ）に示したように、メッ
キなどの手法によりマスク７４の開口部７５にニッケル
を充填してニッケル導体層７６を形成する。その後、図
８（ｃ）に示したようにマスク７４を除去した後に、マ
スク７４の除去後にニッケル導体層７６の隙間から露出
するニッケル下地層７３を除去する。マスク７４の除去
は有機溶剤によるウエットエッチングにより行うことが
でき、ニッケル下地層７３の除去はイオントリミングな
どの手法により行うことができる。
【００３６】続いて、図８（ｄ）に示したように、ニッ
ケル導体層７６の隙間から露出するアルミニウム膜７２
をウエットエッチングにより除去する。エッチング液と
してＫＯＨ溶液などを用いた場合には、シリコンウエハ
７の表面も同時にエッチング処理され、可動部５１など
がシリコンウエハ７から分離して浮いた状態とされる。
最後に、可動部５１などが形成されたシリコンウエハ７
をダイシングすることにより、図３および図４などに示
したような個々の静電アクチュエータ５が製造される。
【００３７】このように、静電アクチュエータ５は、半
導体プロセスを応用し、１つのシリコンウエハ７から複
数のものを簡易に形成することができるため、量産性に
優れ、製造コスト的にも有利である。
【００３８】一方、透明基板６には、図３に良く表れて
いるようにコイル６０が埋設されている。コイル６０
は、通電時の発生磁界により光ディスクにおける磁気記
録層の磁気向きを規定し、磁界変調方式による情報の記
録を可能にするものである。このようなコイル６０は、
たとえば銅などの金属膜をパターニングすることにより
渦巻き状に形成されており、電気絶縁性を有する透明な
材料、たとえば酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、
ダイヤモンドライクカーボン、酸化珪素、または窒化珪
素などにより覆うことにより透明基板６内に埋設されて
いる。
【００３９】光磁気記録方式を採用して高速記録を行う
場合、コイル６０への通電に伴う発熱より第２レンズ５
５が昇温し、第２レンズ５５の屈性率が変化して収差が
生じることが懸念される。これに対して、図２および図
５を参照して説明したように、コイル６０（透明基板
６）と第２レンズ５５との間には空気層６１が介在して
いる。このようにして空気層６１を介在させれば、コイ
ル６０から熱が空気層６１で吸収されるため、第２レン
ズ５５に伝達される熱エネルギ量が低減される。その結
果、コイル６０の発熱に起因した収差の発生を抑制する
ことができるようになる。
【００４０】以上に説明した構成を有するスライダ３で
は、図４に示したように可動部５１と固定部５４の間に
電圧を印加することにより、固定部５４に対して可動部
５１を矢印Ａ方向またはＢ方向に微小動させることがで
きる。大部分の第１櫛歯電極５１ｂは、第２櫛歯電極５
４ａに間に位置しているが、その位置がこれらの第２櫛
歯電極５４ａの中間位置から偏位している。一方、可動
部５１と固定部５４との間に電圧を印加すれば、第１櫛
歯電極５１ｂと第２櫛歯電極５４ａとの間に静電気力が
作用する。
【００４１】ここで、静電気力は、電圧の２乗に比例
し、極性とは無関係であり、また第１櫛歯電極５１ｂと
第２櫛歯電極５４ａとの間の距離の２乗に反比例する。
したがって、電圧印加時には、第１櫛歯電極５１ｂは、
これを挟み込む２つの第２櫛歯電極５４ａのうち、近い
側の第２櫛歯電極５４ａ側に引き寄せられる。その結
果、図４においては第１櫛歯電極５１ｂひいては可動部
５１の全体が図中の矢印Ａ方向に移動する。このとき、
可動部５１に第２レンズ５５を保持しておけば、第２レ
ンズ５５もまた矢印Ａ方向に移動する。
【００４２】このように、可動部５１と固定部５４との
間に電圧を印加すれば可動部５１が矢印Ａ方向に移動す
るが、その移動距離は静電気力の大きさ、つまり印加電
圧値に比例する。ここで留意すべき点は、可動部５１と
固定部５４との間に全く電圧を印加していない状態を基
準とし、印加電圧値の大小によりトラッキング制御を行
うとすれば、可動部５１は矢印のＡ方向にしかトラッキ
ング制御できないことである。そのため、図４に示した
静電アクチュエータ５を用いて第２レンズ５５を矢印Ａ
方向およびＢ方向のいずれにも移動させる場合には、０
よりも大きい基準電圧を印加した状態を原点とし、この
基準電圧よりも大きな電圧を印加することにより可動部
５１ないし第２レンズ５５を原点よりも矢印Ａ方向に偏
位した部位に微小動させる一方、基準電圧よりも小さな
電圧を印加することにより可動部５１ないし第２レンズ
５５を原点よりも矢印Ｂ方向に偏位した部位に微小動さ
せるように構成される。
【００４３】たとえば、図９（ａ）に示したように、ビ
ームスポットＢｓが所望位置から矢印のＢ方向にずれて
いた場合には、基準電圧よりも大きな電圧を可動部５１
と固定部５４との間に印加すればよい。これに対して、
図９（ｂ）に示したように、ビームスポットＢｓが所望
位置から矢印のＡ方向にずれていた場合には、基準電圧
よりも小さな電圧を可動部５１と固定部５４との間に印
加すればよい。
【００４４】第２レンズ５５をどの程度微小動させる
か、つまりどの程度の電圧を印加するかは、トラッキン
グ信号に基づいて決定される。トラッキング信号は、ビ
ームスポットＢｓが所望のトラックからどの程度ずれた
部位に形成されているを示すものであり、たとえば光デ
ィスクＤからの反射光を光電変換素子などの光検出器に
検出し、そのときの電気的な出力に対してプッシュプル
法を適用することにより検出することができる。
【００４５】光ディスク装置１では、第２レンズ５５を
微小動させることにより微小トラッキング制御が行われ
る。第２レンズ５５は、第１レンズ４１よりも小さくて
軽い。先に例示した寸法や重量を参酌すれば分かるよう
に、第２レンズ５５の直径は、たとえば第１レンズの１
／５〜１／２に、第２レンズ５５の重量は、たとえば第
１レンズ４１の１／２０〜１／１０に設定される。この
ため、第１レンズ４１よりも小型かつ軽量の第２レンズ
５５を微小動させてトラッキング制御を行うようにすれ
ば、トラッキング制御に必要な駆動電力が小さくて済
み、ランニングコストの低減を図ることができる。その
上、トラッキング信号に即時に対応して応答性良く微小
トラッキング制御を行うことができるため、微小トラッ
キング制御を行うことに伴って高速記録化が妨げられる
こともない。また、重量の小さな第２レンズ５５を微小
動させる構成を採用することにより、静電アクチュエー
タ５を採用しても問題なく微小トラッキング制御を行う
ことができる。
【００４６】静電アクチュエータとしては、図１０に示
したものを採用することもできる。
【００４７】同図に示した静電アクチュエータ５′は、
図４などを参照して説明した静電アクチュエータ５と同
様に第１櫛歯電極５１ｂ′を有する可動部５１′および
第２櫛歯電極５４ａ′を有する固定部５４′を具備して
いる。
【００４８】第１櫛歯電極５１ｂ′は、図４に示した静
電アクチュエータ５の第１櫛歯電極５１ｂとは異なり、
可動部本体５１Ａから直接延出している。
【００４９】固定部５４′は、第１および第２部位５４
Ａ′，５４Ｂ′に分断されており、スイッチＳを切り替
えることにより可動部５１′との間で電圧が印加される
部位５４Ａ′，５４Ｂ′が選択される。第１および第２
部位５４Ａ′，５４Ｂ′には、複数の第２櫛歯電極５４
ａ′が設けられており、第２櫛歯電極５４ａ′の先端部
は隣り合う第１櫛歯電極５１ａ′の中間位置に配置され
ている。
【００５０】この構成では、第１部位５４Ａ′と可動部
５１′との間に電圧を印加することにより、第１部位５
４Ａ′側に向けて延びる第１櫛歯電極５１ｂ′、ひいて
は可動部５１′が静電気力により固定部５４′側に引き
込まれ、可動部５１′ひいては第２レンズ５５が図中の
矢印Ａ方向に微小動する。一方、スイッチＳを切り替え
て第２部位５４Ｂ′と可動部５１′との間に電圧を印加
すれば、第２レンズ５５が矢印Ｂ方向に微小動する。し
たがって、図１０に示した静電アクチュエータ５′を用
いても矢印Ａ方向およびＢ方向のいずれにも可動部５
１′（第２レンズ５５）を微小動させることができるた
め、トラッキング制御を行うことができる。
【００５１】以上においては、キャリッジが光ディスク
の半径方向に直進するように構成された光ディスク装置
について説明したが、スイングアームが光ディスクの半
径方向に揺動するように構成された光ディスク装置（図
１２参照）にも本願発明を適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】以上に説明したように、本願発明では、
駆動電力が小さくて済む簡易な構成により微小トラッキ
ング制御を行い、製造コストおよびランニングコストを
低減することができる光ディスク装置を提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係る光ディスク装置の一例を示す光
学ヘッド周りの全体斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】スライダの分解斜視図である。
【図４】静電アクチュエータの平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図４のVI−VI線に沿う断面図である。
【図７】静電アクチュエータの製造工程図である。
【図８】静電アクチュエータの製造工程図である。
【図９】微小トラッキング制御を説明するためのスライ
ダ周りの断面図である。
【図１０】静電アクチュエータの他の例を示す平面図で
ある。
【図１１】従来の光ディスク装置の一例を示す光学ヘッ
ド周りの斜視図および要部拡大断面図である。
【図１２】従来の光ディスク装置の他の例を示す光学ヘ
ッド周りの斜視図および要部拡大断面図である。
【符号の説明】
１ 光ディスク装置 ３ スライダ ４１ 第１レンズ ５ 静電アクチュエータ（微小トラッキング機構） ５５ 第２レンズ ５１ 可動部 ５１ｂ 第１櫛歯電極 ５４ 固定部 ５４ａ 第２櫛歯電極 ６ 透明基板 ６０ コイル Ｄ 光ディスク
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 11/105 Ｇ１１Ｂ 11/105 ５６６Ｆ Ｆターム(参考） 5D075 AA03 CC04 CF03 CF08 5D118 AA03 AA13 BA01 DC02 EA00 EA08 5D119 AA01 AA37 AA40 CA06 JA49 JA51 MA06

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光源からの光を収束して光ディスクの表
    面にビームスポットを形成する対物レンズ系と、上記光
    ディスクの表面に倣って上記光ディスクに対して相対的
    に移動するスライダと、上記ビームスポットを上記光デ
    ィスクの半径方向に微小変位させる微小トラッキング機
    構と、を備えた光ディスク装置であって、 上記対物レンズ系は、第１レンズおよび第２レンズを有
    しているとともに、上記第２レンズは上記スライダに保
    持され、かつ上記第１レンズよりも上記光ディスクに近
    い側に配置されており、 上記微小トラッキング機構は、上記第２レンズを上記光
    ディスクの半径方向に微小動させるように構成されてい
    ることを特徴とする、光ディスク装置。
  2. 【請求項２】 上記第１レンズは、上記スライダに保持
    されている、請求項１に記載の光ディスク装置。
  3. 【請求項３】 上記微小トラッキング機構は、静電アク
    チュエータにより構成されている、請求項１または２に
    記載の光ディスク装置。
  4. 【請求項４】 上記静電アクチュエータは、上記第２レ
    ンズが保持され、かつ複数の第１櫛歯電極を有する可動
    部と、隣接する第１櫛歯電極の間に位置する第２櫛歯電
    極を複数有する固定部と、を備えており、上記複数の第
    １櫛歯電極と上記複数の第２櫛歯電極との間に電圧を印
    加することにより上記可動部を上記光ディスクの半径方
    向に微小動させるように構成されている、請求項３に記
    載の光学ディスク装置。
  5. 【請求項５】 上記スライダにおける上記光ディスクと
    対向する面には、コイルが埋設された透明基板が設けら
    れており、 上記第２レンズは、上記透明基板との間に空気層を介在
    させた状態で上記スライダに保持されている、請求項１
    ないし４のいずれかに記載の光ディスク装置。
JP2001147616A 2001-05-17 2001-05-17 光ディスク装置 Withdrawn JP2002342955A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001147616A JP2002342955A (ja) 2001-05-17 2001-05-17 光ディスク装置
US10/136,988 US7039926B2 (en) 2001-05-17 2002-05-02 Optical disk apparatus with fine tracking mechanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001147616A JP2002342955A (ja) 2001-05-17 2001-05-17 光ディスク装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002342955A true JP2002342955A (ja) 2002-11-29

Family

ID=18993069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001147616A Withdrawn JP2002342955A (ja) 2001-05-17 2001-05-17 光ディスク装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7039926B2 (ja)
JP (1) JP2002342955A (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050078564A1 (en) * 2002-01-22 2005-04-14 Goro Kawasaki Floating slider, and magneto-optical storage device comprising it
US7289421B2 (en) * 2002-10-30 2007-10-30 Lg Electronics Inc. Optical pickup head of optical recording reproducing apparatus, fabrication method thereof, lubricant-coated optical pickup head of optical recording reproducing apparatus and lubricant coating method thereof
EP1743328B1 (en) * 2004-04-23 2008-05-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magneto optical device
CN100419873C (zh) * 2004-12-15 2008-09-17 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 物镜致动装置及光学拾取单元
DE602006005828D1 (de) * 2005-10-13 2009-04-30 Thomson Licensing Vorrichtungen zum zugreifen auf speichermedien
KR20130065003A (ko) * 2011-12-09 2013-06-19 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈
KR20160034080A (ko) * 2014-09-19 2016-03-29 삼성전기주식회사 액추에이터 유닛 및 카메라 모듈

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3006178B2 (ja) 1991-06-21 2000-02-07 富士電機株式会社 静電式アクチュエータ
JP3052469B2 (ja) 1991-09-12 2000-06-12 富士電機株式会社 静電アクチュエータ
US5536988A (en) * 1993-06-01 1996-07-16 Cornell Research Foundation, Inc. Compound stage MEM actuator suspended for multidimensional motion
US5920978A (en) 1995-03-01 1999-07-13 Fujitsu Limited Method of making a thin film magnetic slider
JPH099649A (ja) * 1995-06-14 1997-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置
US5936928A (en) * 1996-10-01 1999-08-10 Terastor Corporation Multilayer media and use with flying head having solid immersion lens
US6270696B1 (en) * 1996-06-03 2001-08-07 Terastor Corporation Method of fabricating and integrating an optical assembly into a flying head
ID16848A (id) * 1996-05-01 1997-11-13 Terastor Corp Kepala layang dengan lensa padat yang terbenam
US5828644A (en) * 1997-04-08 1998-10-27 Seagate Technology, Inc. Microactuator for fine focusing a slider-mounted lens of an optical disc drive
US6084846A (en) * 1998-06-03 2000-07-04 Seagate Technology, Inc. Liquid immersion lens for optical data storage
KR100595146B1 (ko) * 1998-12-05 2006-08-30 엘지전자 주식회사 근접장광기록/재생장치

Also Published As

Publication number Publication date
US7039926B2 (en) 2006-05-02
US20020172136A1 (en) 2002-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7366060B2 (en) Method for forming optical aperture, near-field optical head, method for fabricating near-field optical head, and information recording/reading apparatus
CN1050433C (zh) 光头装置和光盘存储系统
US6996033B2 (en) Optical path for a thermal-assisted magnetic recording head
US7688689B2 (en) Head with optical bench for use in data storage devices
KR20060065430A (ko) 광섬유 조명계, 광섬유 조명계의 제작 방법, 광섬유조명계를 구비하는 광 기록 헤드, 및 광 기록 및 재생 장치
JPH07176070A (ja) 浮上式光ヘッド及び光記録再生装置
JP2003006912A (ja) 光情報記録再生装置
US6657927B1 (en) Optical head and apparatus provided therewith
EP1233410B1 (en) Information recording/reproduction apparatus
JP2002342955A (ja) 光ディスク装置
JPH11119145A (ja) ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置
US8323518B2 (en) Fabrication method and fabrication apparatus of head using near field light
JPH08211320A (ja) ガルバノミラー及びそれを用いた光ディスク装置
JP2000339725A (ja) マイクロミラー・デバイス及びそれを用いた光ピックアップ装置
JP4443024B2 (ja) 近視野光ヘッド及びその製造方法。
KR100357103B1 (ko) 광 픽업 장치 및 그 제조방법
JP2000113499A (ja) 光ヘッド及びそれを備えた装置
JP3785087B2 (ja) 光ディスク装置
JP2000021010A (ja) 光記録用フライングヘッド
JPH0512686A (ja) 光学的情報記録再生装置
JP2002116362A (ja) あおり機構を有する光学素子とその製造方法及び光学装置
JP2003022560A (ja) 情報記録再生装置
JP4482254B2 (ja) 光ヘッド
JP4286473B2 (ja) 近視野光ヘッド
JPH01220235A (ja) 光ピックアップ

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080805