JPH099649A - 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置 - Google Patents
静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置Info
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- JPH099649A JPH099649A JP17279795A JP17279795A JPH099649A JP H099649 A JPH099649 A JP H099649A JP 17279795 A JP17279795 A JP 17279795A JP 17279795 A JP17279795 A JP 17279795A JP H099649 A JPH099649 A JP H099649A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ディスク等における光学レンズの駆動に静
電アクチュエータを用いることで、構成の簡単化と小型
軽量化を図る。 【構成】 導体からなる固定子１と、誘電体からなる可
動子２を設ける。可動子２の端部を固定子１により支持
し、他端を被駆動部材５で支持する。そして電圧印加手
段３により固定子１と可動子２との間に電圧を印加すれ
ば、被駆動部材５を駆動することができる。
電アクチュエータを用いることで、構成の簡単化と小型
軽量化を図る。 【構成】 導体からなる固定子１と、誘電体からなる可
動子２を設ける。可動子２の端部を固定子１により支持
し、他端を被駆動部材５で支持する。そして電圧印加手
段３により固定子１と可動子２との間に電圧を印加すれ
ば、被駆動部材５を駆動することができる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電荷間に働く静電力（ク
ーロン力）を利用して物体を駆動する静電アクチュエー
タ及び光ディスクあるいはビデオカメラ等に用いられる
光学レンズ駆動装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】現在、物体を駆動する際に最も多く用い
られているのが磁界を利用した磁界型アクチュエータで
あり、光ディスク等の光学レンズを駆動する場合にも磁
界型アクチュエータが用いられている。光ディスクで
は、ディスクへのアクセス時間を短縮するために、光学
ヘッド等からなるピックアップ部の小型軽量化が試みら
れている。今後更に小型軽量化を図るためには、光学レ
ンズを駆動するアクチュエータ部の小型軽量化が大きな
問題となっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁界型
アクチュエータでは、永久磁石やコイル等の磁界発生部
材が必要であり、小型で軽量のアクチュエータを構成し
ようとする場合、この磁界発生部材が占める体積によ
り、小型軽量化できる大きさや重量が制限されるという
欠点があった。 【０００４】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、磁界を利用しない小型軽量のアクチュエ
ータ及びこのアクチュエータを用いた光学レンズ駆動装
置を提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、導体からなる固定子と、固定子と対向する位置に配
置された導体からなる可動子と、固定子と可動子との間
に電圧を印加する電圧印加手段と、固定子と可動子の少
なくとも一方の、少なくとも一部の表面に設けられた絶
縁部材と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支
持する第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材と
を支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴と
するものである。 【０００６】本願の請求項２の発明は、誘電絶縁体から
なる固定子と、固定子と対向する位置に配置された導体
からなる可動子と、固定子と可動子との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の
一端とを支持する第１の支持部材と、可動子の他端と被
駆動部材とを支持する第２の支持部材と、を具備するこ
とを特徴とするものである。 【０００７】本願の請求項３の発明は、導体からなる固
定子と、固定子と対向する位置に配置された誘電絶縁体
からなる可動子と、固定子と可動子との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の
一端とを支持する第１の支持部材と、可動子の他端と被
駆動部材とを支持する第２の支持部材と、を具備するこ
とを特徴とするものである。 【０００８】本願の請求項４の発明は、誘電体からなる
固定子と、導体からなる電極及び該電極の少なくとも一
部の表面に設けられた絶縁部材からなり、該絶縁部材を
介して固定子と対向する位置に配置された可動子と、電
極と固定子との間に電圧を印加するための電圧印加手段
と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材とを支持
する第２の支持部材と、を具備することを特徴とするも
のである。 【０００９】本願の請求項５の発明は、導体からなる電
極及び該電極の少なくとも一部の表面に設けられた絶縁
部材からなる固定子と、誘電体からなり、固定子の絶縁
部材を介して固定子と対向する位置に配置された可動子
と、電極と可動子との間に電圧を印加するための電圧印
加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支
持する第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材と
を支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴と
するものである。 【００１０】本願の請求項６の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置された誘電体からなる可動子
と、固定子と可動子との間に電圧を印加する電圧印加手
段と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持す
る第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支
持する第２の支持部材と、を具備することを特徴とする
ものである。 【００１１】本願の請求項８の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置され、光学レンズと一体成形さ
れた誘電体からなる可動子と、固定子と可動子の一端と
を支持する支持部材と、固定子と可動子との間に電圧を
印加する電圧印加手段と、を具備することを特徴とする
ものである。 【００１２】本願の請求項９の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置された誘電体からなる可動子
と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支持
する第２の支持部材と、少なくとも固定子と可動子と光
学レンズと第１の支持部材と第２の支持部材の一部を収
納する密閉ケースと、固定子と可動子との間に電圧を印
加する電圧印加手段と、を具備することを特徴とするも
のである。 【００１３】本願の請求項１０の発明は、少なくとも一
部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状
に配置した固定子と、固定子と対向する位置に配置され
少なくとも一部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる
電極を放射状に配置した環形状からなる可動子と、固定
子と可動子との間に電圧を印加するための電圧印加手段
と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支持
する第２の支持部材と、を具備することを特徴とするも
のである。 【００１４】本願の請求項１１の発明は、少なくとも一
部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状
に配置した固定子と、固定子と対向する位置に配置され
少なくとも一部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる
電極を放射状に配置した複数の扇形状からなる可動子
と、固定子と可動子との間に電圧を印加するための電圧
印加手段と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを
支持する第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端
とを支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴
とするものである。 【００１５】 【作用】このような特徴を有する本願の請求項１〜５の
静電アクチュエータ及び請求項６〜１３による光学レン
ズ駆動装置では、固定子と可動子の間に電圧を印加する
と、固定子と可動子との間の静電力により互いに引き付
けあう。可動子の一端が固定子により支持されており、
他端が被駆動部材を支持しているので、固定子と可動子
の間隔は、被駆動部材が支持されている側ほど大きく、
固定子に支持されている側ほど小さくなる。間隔が小さ
なところほど大きな力を発生できるため、確実に可動子
を固定子に吸引することができる。 【００１６】又請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置で
は、電圧印加手段に印加する電圧を変化させることによ
って可動子に保持した光学レンズの位置や光軸が変化で
きることとなる。 【００１７】 【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。 （実施例１）図１は本発明の第１の実施例の主要構成部
品を示す図である。図１（ａ）は主要構成部品の正面図
であり、図１（ｂ）は主要構成部品の斜視図である。本
図において、固定子１と可動子２はいずれも銅等の導体
からなり、絶縁部材４を介して対向する位置に配置され
ている。可動子２はその一端が第１の支持部材６により
固定子１に、他端が第２の支持部材７によりレンズ等の
被駆動部材５に支持されている。支持位置は必ずしも端
とは限らず、前記の一端あるいは他端とは、可動子２の
ある一部分を示すものとする。又固定子１と可動子２は
絶縁部材４や支持部材６を介して接合されるが、これら
の部材は固定子１あるいは可動子２と一体をなすもので
あるので、固定子と可動子が支持されると表記する場合
は、直接接触している場合と、何らかの部材を介して接
合している場合の両方を意味するものとする。第１の支
持部材６は例えば固定子１と可動子２の一端とを支持固
定する接着剤等であり、又第２の支持部材７も同様に可
動子２と被駆動部材５とを支持固定する接着剤等からな
るものである。 【００１８】固定子１と可動子２に電圧印加手段３によ
り高電圧が加えられると、例えば固定子１がプラスに、
可動子２がマイナスに帯電する。これにより固定子１と
可動子２との間に静電力が発生し、可動子２は固定子１
の方へ引っ張られる力を受ける。支持部材６は固定子１
と可動子２が接合している側ほど間隔が狭いため、発生
する静電力が大きく、固定子と可動子が完全に分離して
いる場合に比べると低い電圧で駆動が可能である。 【００１９】静電力により可動子２が固定子１側に吸引
されるのに伴って、被駆動部材５も固定子１側に移動す
る。被駆動部材５として、例えば光ディスクの対物レン
ズとすれば、この対物レンズを上下に駆動することが可
能となり、ディスク面上の焦点制御を行うことができ
る。あるいは図２に示すように、鏡等の反射板２１を用
いて入射光を反射させるようにすれば光の反対方向を制
御できる。更に図３に示すように流体管路３１中の弁３
２として用いたり、図４に示すように電気回路４１のス
イッチ４２として用いたり、図５に示すように流体５１
を撹拌する攪拌部材５２として用いて、撹拌装置を構成
することも可能である。 【００２０】尚、絶縁部材４は固定子１と可動子２との
間の短絡を防ぐ形状ならばどのような配置でもよい。例
えば図６（ａ）に示すように、導体からなる固定子１の
一部表面に絶縁部材６１を設けて可動子２を絶縁しても
よく、図６（ｂ）に示すように可動子２側に絶縁部材６
２を設けたものでもよい。 【００２１】固定子と可動子との間に静電力が発生する
のは、例えば、図６（ｃ）に示すように電圧印加手段３
を接続すると、固定子１には正電荷が、可動子２には負
電荷が誘導され、互いに引き付け合うためである。この
力は極板間の距離の２乗に反比例するため、絶縁部材６
２の厚さは絶縁破壊しない範囲で薄い方が望ましい。 【００２２】固定子と可動子との間に静電力を発生させ
るには、図７（ａ）に示すように誘電絶縁体からなる固
定子６３と導体からなる可動子６４から構成してもよ
く、この場合、図１のような絶縁部材４を設ける必要が
ないので、構成が簡単化される。又一般に誘電絶縁体の
方が導体よりも弾性に富む場合が多いので、固定子６３
を導体から構成し、可動子６４を誘電絶縁体から構成す
ることでより良い制御が可能になる。 【００２３】更に図７（ｂ）に示すように、誘電体から
なる固定子６５と、導体からなる電極６６ａの両面に絶
縁部材６６ｂを設けた可動子６６から構成した場合も、
静電力を得ることができる。この場合には導体の電極６
６ａを絶縁部材６６ｂにより保護することができる。又
可動部に電極を設けると重くなるため、上記とは逆に可
動子を誘電体から構成し、固定子を導体電極と絶縁部材
から構成してもよい。 【００２４】（実施例２）図８は本願の光ディスクのレ
ンズ等の傾きを制御するための光学レンズ駆動装置を示
す第２の実施例の主要構成部品を示す斜視図である。本
実施例は３つの固定子７１と可動子７２を有しており、
各可動子の一端は光学レンズ７３の対称な位置に接続さ
れている。ここでは固定子７１は少なくとも一部の表面
に絶縁部材を設けた導体とし、可動子を誘電体から構成
する。そして固定子７１と可動子７２との間に電圧印加
手段７４ａ〜７４ｃと、スイッチ７５ａ〜７５ｃを夫々
接続する。こうすれば各固定子と各可動子間に働く静電
力を制御することによって光学レンズ７３の傾きを自由
に制御できる。尚本実施例は固定子７１を絶縁部材を有
する導体、可動子を誘電体としているが、第１実施例と
同様に固定子を誘電体や誘電絶縁体から構成してもよ
く、又可動子を導体又は誘電絶縁体によって構成するこ
もとできる。 【００２５】（実施例３）図９は本発明の第３の実施例
による光学レンズ駆動装置の加工状態を示す正面図であ
る。光ディスクに用いられるレンズ等は非常に小さく、
これに可動子や固定子を組み付けていくのは手間のかか
る細かい作業である。そこで固定子，可動子，レンズを
以下に示すように一体成形することで、容易に大量生産
が可能になる。 【００２６】まず図９（ａ）のように、導体層８１と透
明な誘電絶縁体層８２を接着するため、これらを支持層
８３を介して接着する。そして図９（ｂ）のように誘電
絶縁体層８２の中央部をプレス等によりレンズ形状８４
を形成する。その後図９（ｃ）のように、導体層８１及
びその面に接着している誘電絶縁体層８２の部分が固定
子となるように折り曲げる。こうすることで一体成形が
可能になる。又金型により図９（ｂ）に示した形状を作
成し、その後図９（ｃ）のように折り曲げてもよい。あ
るいは、プレス又は金型により図９（ｄ）に示す形状を
作成してから、図９（ｃ）のように折り曲げてもよく、
この場合上記の２つの方法よりもひずみを抑えることが
できる。 【００２７】（実施例４）図１０は本発明の第４の実施
例の主要構成部品を示す図である。本実施例は静電力を
利用する際、電荷を生じた固定子や可動子に埃や塵が吸
着するので、これを避けるため、前述した構成要素を密
閉ケースに収めたものである。尚、内部をわかりやすく
するため図１０は密閉ケース９４の上面を取り除いて示
している。本図において、３つの固定子９１と可動子９
２とは夫々図示しない第１の支持部材で支持されてお
り、可動子９２と光学レンズ９３とは図示しない第２の
支持部材で支持されている。又固定子９１の一端は密閉
ケース９４の内部壁面に固定されている。固定子９１及
び可動子９２は第１実施例と同様に種々の材料を用いて
構成される。 【００２８】密閉ケース９４内は真空が望ましいが、無
塵状態を保持するか、固定子９１や可動子９２や光学レ
ンズ９３に物質が吸着せず、アクチュエータの機能に支
障が生じなければ、どのような液体や気体が封入されて
いても構わない。又密閉ケース９４の形状は、固定子９
１と可動子９２と光学レンズ９３を外部と遮断できる形
状であればいかなる形状でも構わない。 【００２９】（実施例５）次に本願の第５実施例による
光学レンズ駆動装置について、図１１〜図１４を用いて
説明する。図１１（ａ）は固定子１０１の平面透視図
を、図１１（ｂ）は固定子１０１の正面透視図を、図１
１（ｃ）は固定子１０１の斜視図を示しており、図１２
（ａ）は可動子１１１の平面透視図を、図１２（ｂ）は
可動子１１１の正面透視図を、図１２（ｃ）は可動子１
１１の斜視図を示している。図１１において、固定子１
０１は、放射状に配置された導体電極１０２を絶縁部材
１０３で覆った環形状をしている。又可動子１１１は図
１２に示すように、放射状に配置された導体電極１１２
を絶縁部材１１３で覆った略環形状をしている。尚図１
１，図１２では、その一部分のみの電極に電圧を印加す
る電圧印加手段１０４を示しているが、全ての各電極は
独立に電圧を印加できるように接続されている。この固
定子１０１と可動子１１１を図１３（ａ），（ｂ）に示
すように同軸に接続し、可動子１１１の中心の穴部に、
例えば光学レンズ１２１を組み付ける。こうすれば電圧
を印加する位置を変化させることにより、光学レンズの
傾きを自由に制御することができ、光学レンズの姿勢を
制御する光学レンズ駆動装置を実現できる。更に固定子
１１０と可動子１１１で電圧を印加する位置をずらせ
ば、ねじり駆動も可能であり、複雑な姿勢制御も可能で
ある。 【００３０】又図１４（ａ）に固定子を１３１、図１４
（ｂ）に可動子１３２を示すように夫々を扇形状とし、
固定子用電極１３３と可動子用電極１３４も同様な扇形
状として夫々固定子１３１，可動子１３２中に設け、図
１４（ｃ）のように構成してもよい。こうすれば可動子
１３２が容易に固定子１３１側に変形できるような光学
レンズ駆動装置が実現できる。図１４では５つの扇形状
に分割したが、分割数はいくつでもよい。 【００３１】（実施例６）図１５及び図１６を用いて第
６の実施例を説明する。図１５のように微小に加工した
上記の光学レンズ駆動装置１４１を複数個配列すること
によりマイクロレンズアレイを構成する。マイクロレン
ズアレイは、例えば撮像装置のＣＣＤの感度を上げるこ
とに利用できる。図１６はマイクロレンズアレイをＣＣ
Ｄ撮像装置の前面に取付けた状態を示す拡大断面図であ
る。本図に示すようにＣＣＤ素子１５１の前面に各レン
ズ１５２との位置を合わせるようにしてマイクロレンズ
アレイ１５３を配置する。こうすればレンズのないとき
にＣＣＤ素子１５１に入力されない部分の光を集光する
ことができ、感度を上げることができる。この際、光学
レンズ１５２とＣＣＤ素子１５１との相対位置により感
度が変化するため、すべての光学レンズについて最適な
位置を保持しなければならない。しかし組立時に最適な
相対位置を精度よく固定するのは困難である。本発明の
光学レンズ駆動装置１４１を用いて図１５のように構成
すれば、各レンズを個々に制御することが可能であり、
最適な相対位置関係を常に保持することができる。 【００３２】又マイクロレンズアレイは個々の光学レン
ズが小型であり、より小さな静電力で駆動できるため電
圧印加手段の低電圧化が可能となる。 【００３３】 【発明の効果】以上詳細に説明したように、本願の請求
項１〜５の静電アクチュエータによれば、以下のような
効果が得られる。導体同士でも、導体と誘電絶縁体又は
誘電体間でも静電力が発生するため、必要となる仕様に
合わせて適する構成が選択でき、設計の幅が広がる。又
固定子と可動子からなる簡単な構成で静電力が発生する
ため、磁界型アクチュエータに比べて小型軽量化するこ
とが可能である。 【００３４】又請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置に
よれば、光学レンズを微小駆動できるため、光ディスク
において精度の良いフォーカス制御あるいはトラッキン
グ制御が可能である。 【００３５】請求項８の光学レンズ駆動装置ではこれに
加えて、光学レンズと可動子とを一体成形することによ
り、低コストで大量に生産できる。 【００３６】請求項９の光学レンズ駆動装置ではこれに
加えて、光学レンズと可動子とを密閉ケース内に収納す
ることにより、埃や塵の影響を受けることがない。 【００３７】又請求項１〜５の静電アクチュエータ及び
請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置は、いずれも固定
子と可動子間の間隔が短いため、静電力を発生させる印
加電圧を抑えることが可能である。電圧による駆動のた
め、消費電力を低減することが可能である。マイクロレ
ンズアレイ等の微小な構成を容易に実現することができ
る。 【００３８】更に請求項１２，１３による光学レンズ駆
動装置は、光学レンズ駆動装置自体を平面的又は立体的
に複数配列しているため、マイクロレンズアレイ等の微
小な光学系において光学レンズを駆動することができ、
このような構成を容易に実現することができる。
ーロン力）を利用して物体を駆動する静電アクチュエー
タ及び光ディスクあるいはビデオカメラ等に用いられる
光学レンズ駆動装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】現在、物体を駆動する際に最も多く用い
られているのが磁界を利用した磁界型アクチュエータで
あり、光ディスク等の光学レンズを駆動する場合にも磁
界型アクチュエータが用いられている。光ディスクで
は、ディスクへのアクセス時間を短縮するために、光学
ヘッド等からなるピックアップ部の小型軽量化が試みら
れている。今後更に小型軽量化を図るためには、光学レ
ンズを駆動するアクチュエータ部の小型軽量化が大きな
問題となっている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁界型
アクチュエータでは、永久磁石やコイル等の磁界発生部
材が必要であり、小型で軽量のアクチュエータを構成し
ようとする場合、この磁界発生部材が占める体積によ
り、小型軽量化できる大きさや重量が制限されるという
欠点があった。 【０００４】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、磁界を利用しない小型軽量のアクチュエ
ータ及びこのアクチュエータを用いた光学レンズ駆動装
置を提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、導体からなる固定子と、固定子と対向する位置に配
置された導体からなる可動子と、固定子と可動子との間
に電圧を印加する電圧印加手段と、固定子と可動子の少
なくとも一方の、少なくとも一部の表面に設けられた絶
縁部材と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支
持する第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材と
を支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴と
するものである。 【０００６】本願の請求項２の発明は、誘電絶縁体から
なる固定子と、固定子と対向する位置に配置された導体
からなる可動子と、固定子と可動子との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の
一端とを支持する第１の支持部材と、可動子の他端と被
駆動部材とを支持する第２の支持部材と、を具備するこ
とを特徴とするものである。 【０００７】本願の請求項３の発明は、導体からなる固
定子と、固定子と対向する位置に配置された誘電絶縁体
からなる可動子と、固定子と可動子との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の
一端とを支持する第１の支持部材と、可動子の他端と被
駆動部材とを支持する第２の支持部材と、を具備するこ
とを特徴とするものである。 【０００８】本願の請求項４の発明は、誘電体からなる
固定子と、導体からなる電極及び該電極の少なくとも一
部の表面に設けられた絶縁部材からなり、該絶縁部材を
介して固定子と対向する位置に配置された可動子と、電
極と固定子との間に電圧を印加するための電圧印加手段
と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材とを支持
する第２の支持部材と、を具備することを特徴とするも
のである。 【０００９】本願の請求項５の発明は、導体からなる電
極及び該電極の少なくとも一部の表面に設けられた絶縁
部材からなる固定子と、誘電体からなり、固定子の絶縁
部材を介して固定子と対向する位置に配置された可動子
と、電極と可動子との間に電圧を印加するための電圧印
加手段と、被駆動部材と、固定子と可動子の一端とを支
持する第１の支持部材と、可動子の他端と被駆動部材と
を支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴と
するものである。 【００１０】本願の請求項６の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置された誘電体からなる可動子
と、固定子と可動子との間に電圧を印加する電圧印加手
段と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持す
る第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支
持する第２の支持部材と、を具備することを特徴とする
ものである。 【００１１】本願の請求項８の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置され、光学レンズと一体成形さ
れた誘電体からなる可動子と、固定子と可動子の一端と
を支持する支持部材と、固定子と可動子との間に電圧を
印加する電圧印加手段と、を具備することを特徴とする
ものである。 【００１２】本願の請求項９の発明は、少なくとも一部
の表面に絶縁部材を設けた導体からなる固定子と、固定
子と対向する位置に配置された誘電体からなる可動子
と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支持
する第２の支持部材と、少なくとも固定子と可動子と光
学レンズと第１の支持部材と第２の支持部材の一部を収
納する密閉ケースと、固定子と可動子との間に電圧を印
加する電圧印加手段と、を具備することを特徴とするも
のである。 【００１３】本願の請求項１０の発明は、少なくとも一
部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状
に配置した固定子と、固定子と対向する位置に配置され
少なくとも一部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる
電極を放射状に配置した環形状からなる可動子と、固定
子と可動子との間に電圧を印加するための電圧印加手段
と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを支持する
第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端とを支持
する第２の支持部材と、を具備することを特徴とするも
のである。 【００１４】本願の請求項１１の発明は、少なくとも一
部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状
に配置した固定子と、固定子と対向する位置に配置され
少なくとも一部の表面に絶縁部材を設けた導体からなる
電極を放射状に配置した複数の扇形状からなる可動子
と、固定子と可動子との間に電圧を印加するための電圧
印加手段と、光学レンズと、固定子と可動子の一端とを
支持する第１の支持部材と、光学レンズと可動子の他端
とを支持する第２の支持部材と、を具備することを特徴
とするものである。 【００１５】 【作用】このような特徴を有する本願の請求項１〜５の
静電アクチュエータ及び請求項６〜１３による光学レン
ズ駆動装置では、固定子と可動子の間に電圧を印加する
と、固定子と可動子との間の静電力により互いに引き付
けあう。可動子の一端が固定子により支持されており、
他端が被駆動部材を支持しているので、固定子と可動子
の間隔は、被駆動部材が支持されている側ほど大きく、
固定子に支持されている側ほど小さくなる。間隔が小さ
なところほど大きな力を発生できるため、確実に可動子
を固定子に吸引することができる。 【００１６】又請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置で
は、電圧印加手段に印加する電圧を変化させることによ
って可動子に保持した光学レンズの位置や光軸が変化で
きることとなる。 【００１７】 【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら説明する。 （実施例１）図１は本発明の第１の実施例の主要構成部
品を示す図である。図１（ａ）は主要構成部品の正面図
であり、図１（ｂ）は主要構成部品の斜視図である。本
図において、固定子１と可動子２はいずれも銅等の導体
からなり、絶縁部材４を介して対向する位置に配置され
ている。可動子２はその一端が第１の支持部材６により
固定子１に、他端が第２の支持部材７によりレンズ等の
被駆動部材５に支持されている。支持位置は必ずしも端
とは限らず、前記の一端あるいは他端とは、可動子２の
ある一部分を示すものとする。又固定子１と可動子２は
絶縁部材４や支持部材６を介して接合されるが、これら
の部材は固定子１あるいは可動子２と一体をなすもので
あるので、固定子と可動子が支持されると表記する場合
は、直接接触している場合と、何らかの部材を介して接
合している場合の両方を意味するものとする。第１の支
持部材６は例えば固定子１と可動子２の一端とを支持固
定する接着剤等であり、又第２の支持部材７も同様に可
動子２と被駆動部材５とを支持固定する接着剤等からな
るものである。 【００１８】固定子１と可動子２に電圧印加手段３によ
り高電圧が加えられると、例えば固定子１がプラスに、
可動子２がマイナスに帯電する。これにより固定子１と
可動子２との間に静電力が発生し、可動子２は固定子１
の方へ引っ張られる力を受ける。支持部材６は固定子１
と可動子２が接合している側ほど間隔が狭いため、発生
する静電力が大きく、固定子と可動子が完全に分離して
いる場合に比べると低い電圧で駆動が可能である。 【００１９】静電力により可動子２が固定子１側に吸引
されるのに伴って、被駆動部材５も固定子１側に移動す
る。被駆動部材５として、例えば光ディスクの対物レン
ズとすれば、この対物レンズを上下に駆動することが可
能となり、ディスク面上の焦点制御を行うことができ
る。あるいは図２に示すように、鏡等の反射板２１を用
いて入射光を反射させるようにすれば光の反対方向を制
御できる。更に図３に示すように流体管路３１中の弁３
２として用いたり、図４に示すように電気回路４１のス
イッチ４２として用いたり、図５に示すように流体５１
を撹拌する攪拌部材５２として用いて、撹拌装置を構成
することも可能である。 【００２０】尚、絶縁部材４は固定子１と可動子２との
間の短絡を防ぐ形状ならばどのような配置でもよい。例
えば図６（ａ）に示すように、導体からなる固定子１の
一部表面に絶縁部材６１を設けて可動子２を絶縁しても
よく、図６（ｂ）に示すように可動子２側に絶縁部材６
２を設けたものでもよい。 【００２１】固定子と可動子との間に静電力が発生する
のは、例えば、図６（ｃ）に示すように電圧印加手段３
を接続すると、固定子１には正電荷が、可動子２には負
電荷が誘導され、互いに引き付け合うためである。この
力は極板間の距離の２乗に反比例するため、絶縁部材６
２の厚さは絶縁破壊しない範囲で薄い方が望ましい。 【００２２】固定子と可動子との間に静電力を発生させ
るには、図７（ａ）に示すように誘電絶縁体からなる固
定子６３と導体からなる可動子６４から構成してもよ
く、この場合、図１のような絶縁部材４を設ける必要が
ないので、構成が簡単化される。又一般に誘電絶縁体の
方が導体よりも弾性に富む場合が多いので、固定子６３
を導体から構成し、可動子６４を誘電絶縁体から構成す
ることでより良い制御が可能になる。 【００２３】更に図７（ｂ）に示すように、誘電体から
なる固定子６５と、導体からなる電極６６ａの両面に絶
縁部材６６ｂを設けた可動子６６から構成した場合も、
静電力を得ることができる。この場合には導体の電極６
６ａを絶縁部材６６ｂにより保護することができる。又
可動部に電極を設けると重くなるため、上記とは逆に可
動子を誘電体から構成し、固定子を導体電極と絶縁部材
から構成してもよい。 【００２４】（実施例２）図８は本願の光ディスクのレ
ンズ等の傾きを制御するための光学レンズ駆動装置を示
す第２の実施例の主要構成部品を示す斜視図である。本
実施例は３つの固定子７１と可動子７２を有しており、
各可動子の一端は光学レンズ７３の対称な位置に接続さ
れている。ここでは固定子７１は少なくとも一部の表面
に絶縁部材を設けた導体とし、可動子を誘電体から構成
する。そして固定子７１と可動子７２との間に電圧印加
手段７４ａ〜７４ｃと、スイッチ７５ａ〜７５ｃを夫々
接続する。こうすれば各固定子と各可動子間に働く静電
力を制御することによって光学レンズ７３の傾きを自由
に制御できる。尚本実施例は固定子７１を絶縁部材を有
する導体、可動子を誘電体としているが、第１実施例と
同様に固定子を誘電体や誘電絶縁体から構成してもよ
く、又可動子を導体又は誘電絶縁体によって構成するこ
もとできる。 【００２５】（実施例３）図９は本発明の第３の実施例
による光学レンズ駆動装置の加工状態を示す正面図であ
る。光ディスクに用いられるレンズ等は非常に小さく、
これに可動子や固定子を組み付けていくのは手間のかか
る細かい作業である。そこで固定子，可動子，レンズを
以下に示すように一体成形することで、容易に大量生産
が可能になる。 【００２６】まず図９（ａ）のように、導体層８１と透
明な誘電絶縁体層８２を接着するため、これらを支持層
８３を介して接着する。そして図９（ｂ）のように誘電
絶縁体層８２の中央部をプレス等によりレンズ形状８４
を形成する。その後図９（ｃ）のように、導体層８１及
びその面に接着している誘電絶縁体層８２の部分が固定
子となるように折り曲げる。こうすることで一体成形が
可能になる。又金型により図９（ｂ）に示した形状を作
成し、その後図９（ｃ）のように折り曲げてもよい。あ
るいは、プレス又は金型により図９（ｄ）に示す形状を
作成してから、図９（ｃ）のように折り曲げてもよく、
この場合上記の２つの方法よりもひずみを抑えることが
できる。 【００２７】（実施例４）図１０は本発明の第４の実施
例の主要構成部品を示す図である。本実施例は静電力を
利用する際、電荷を生じた固定子や可動子に埃や塵が吸
着するので、これを避けるため、前述した構成要素を密
閉ケースに収めたものである。尚、内部をわかりやすく
するため図１０は密閉ケース９４の上面を取り除いて示
している。本図において、３つの固定子９１と可動子９
２とは夫々図示しない第１の支持部材で支持されてお
り、可動子９２と光学レンズ９３とは図示しない第２の
支持部材で支持されている。又固定子９１の一端は密閉
ケース９４の内部壁面に固定されている。固定子９１及
び可動子９２は第１実施例と同様に種々の材料を用いて
構成される。 【００２８】密閉ケース９４内は真空が望ましいが、無
塵状態を保持するか、固定子９１や可動子９２や光学レ
ンズ９３に物質が吸着せず、アクチュエータの機能に支
障が生じなければ、どのような液体や気体が封入されて
いても構わない。又密閉ケース９４の形状は、固定子９
１と可動子９２と光学レンズ９３を外部と遮断できる形
状であればいかなる形状でも構わない。 【００２９】（実施例５）次に本願の第５実施例による
光学レンズ駆動装置について、図１１〜図１４を用いて
説明する。図１１（ａ）は固定子１０１の平面透視図
を、図１１（ｂ）は固定子１０１の正面透視図を、図１
１（ｃ）は固定子１０１の斜視図を示しており、図１２
（ａ）は可動子１１１の平面透視図を、図１２（ｂ）は
可動子１１１の正面透視図を、図１２（ｃ）は可動子１
１１の斜視図を示している。図１１において、固定子１
０１は、放射状に配置された導体電極１０２を絶縁部材
１０３で覆った環形状をしている。又可動子１１１は図
１２に示すように、放射状に配置された導体電極１１２
を絶縁部材１１３で覆った略環形状をしている。尚図１
１，図１２では、その一部分のみの電極に電圧を印加す
る電圧印加手段１０４を示しているが、全ての各電極は
独立に電圧を印加できるように接続されている。この固
定子１０１と可動子１１１を図１３（ａ），（ｂ）に示
すように同軸に接続し、可動子１１１の中心の穴部に、
例えば光学レンズ１２１を組み付ける。こうすれば電圧
を印加する位置を変化させることにより、光学レンズの
傾きを自由に制御することができ、光学レンズの姿勢を
制御する光学レンズ駆動装置を実現できる。更に固定子
１１０と可動子１１１で電圧を印加する位置をずらせ
ば、ねじり駆動も可能であり、複雑な姿勢制御も可能で
ある。 【００３０】又図１４（ａ）に固定子を１３１、図１４
（ｂ）に可動子１３２を示すように夫々を扇形状とし、
固定子用電極１３３と可動子用電極１３４も同様な扇形
状として夫々固定子１３１，可動子１３２中に設け、図
１４（ｃ）のように構成してもよい。こうすれば可動子
１３２が容易に固定子１３１側に変形できるような光学
レンズ駆動装置が実現できる。図１４では５つの扇形状
に分割したが、分割数はいくつでもよい。 【００３１】（実施例６）図１５及び図１６を用いて第
６の実施例を説明する。図１５のように微小に加工した
上記の光学レンズ駆動装置１４１を複数個配列すること
によりマイクロレンズアレイを構成する。マイクロレン
ズアレイは、例えば撮像装置のＣＣＤの感度を上げるこ
とに利用できる。図１６はマイクロレンズアレイをＣＣ
Ｄ撮像装置の前面に取付けた状態を示す拡大断面図であ
る。本図に示すようにＣＣＤ素子１５１の前面に各レン
ズ１５２との位置を合わせるようにしてマイクロレンズ
アレイ１５３を配置する。こうすればレンズのないとき
にＣＣＤ素子１５１に入力されない部分の光を集光する
ことができ、感度を上げることができる。この際、光学
レンズ１５２とＣＣＤ素子１５１との相対位置により感
度が変化するため、すべての光学レンズについて最適な
位置を保持しなければならない。しかし組立時に最適な
相対位置を精度よく固定するのは困難である。本発明の
光学レンズ駆動装置１４１を用いて図１５のように構成
すれば、各レンズを個々に制御することが可能であり、
最適な相対位置関係を常に保持することができる。 【００３２】又マイクロレンズアレイは個々の光学レン
ズが小型であり、より小さな静電力で駆動できるため電
圧印加手段の低電圧化が可能となる。 【００３３】 【発明の効果】以上詳細に説明したように、本願の請求
項１〜５の静電アクチュエータによれば、以下のような
効果が得られる。導体同士でも、導体と誘電絶縁体又は
誘電体間でも静電力が発生するため、必要となる仕様に
合わせて適する構成が選択でき、設計の幅が広がる。又
固定子と可動子からなる簡単な構成で静電力が発生する
ため、磁界型アクチュエータに比べて小型軽量化するこ
とが可能である。 【００３４】又請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置に
よれば、光学レンズを微小駆動できるため、光ディスク
において精度の良いフォーカス制御あるいはトラッキン
グ制御が可能である。 【００３５】請求項８の光学レンズ駆動装置ではこれに
加えて、光学レンズと可動子とを一体成形することによ
り、低コストで大量に生産できる。 【００３６】請求項９の光学レンズ駆動装置ではこれに
加えて、光学レンズと可動子とを密閉ケース内に収納す
ることにより、埃や塵の影響を受けることがない。 【００３７】又請求項１〜５の静電アクチュエータ及び
請求項６〜１３の光学レンズ駆動装置は、いずれも固定
子と可動子間の間隔が短いため、静電力を発生させる印
加電圧を抑えることが可能である。電圧による駆動のた
め、消費電力を低減することが可能である。マイクロレ
ンズアレイ等の微小な構成を容易に実現することができ
る。 【００３８】更に請求項１２，１３による光学レンズ駆
動装置は、光学レンズ駆動装置自体を平面的又は立体的
に複数配列しているため、マイクロレンズアレイ等の微
小な光学系において光学レンズを駆動することができ、
このような構成を容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施例における主要構
成を示す正面図、（ｂ）は第１の実施例における主要構
成を示す斜視図である。 【図２】本発明の第１の実施例において、被駆動部材に
反射板を用いた例を示した正面図である。 【図３】本発明の第１の実施例において被駆動部材に管
路中の弁を用いた例を示した正面図である。 【図４】本発明の第１の実施例において被駆動部材に回
路中のスイッチを用いた例を示した図である。 【図５】本発明の第１の実施例において被駆動部材に撹
拌器を用いた例を示した図である。 【図６】（ａ），（ｂ）は第１の実施例における固定子
上の絶縁部材のその他の配置例を示す正面図、（ｃ）は
第１の実施例における固定子と可動子の帯電例を示す図
である。 【図７】第１の実施例における誘電体と導体による構成
例を示す正面図、（ｂ）は第１の実施例における誘電体
と導体による構成のその他の例を示す正面図である。 【図８】本発明の第２の実施例における主要構成を示す
斜視図である。 【図９】（ａ）は本発明の第３の実施例における加工前
の状態を示す正面図、（ｂ）は第３の実施例における加
工後の状態を示す正面図、（ｃ）は第３の実施例におけ
る完成状態を示す正面図、（ｄ）は第３の実施例におけ
る加工後のその他の状態を示す正面図である。 【図１０】本発明の第４の実施例における主要部品の構
成を示す斜視透視図である。 【図１１】（ａ）は本発明の第５の実施例における固定
子の平面透視図、（ｂ）は第５の実施例における固定子
の正面断面図、（ｃ）は第５の実施例における固定子の
斜視図である。 【図１２】（ａ）は本発明の第５の実施例における可動
子の平面透視図、（ｂ）は第５の実施例における可動子
の正面断面図、（ｃ）は第５の実施例における可動子の
斜視図である。 【図１３】（ａ）は第５の実施例における主要部品の構
成を示す斜視図、（ｂ）はその正面断面図である。 【図１４】（ａ）は本発明の第５の実施例における扇形
状の固定子の斜視図、（ｂ）は第５の実施例における扇
形状の可動子の斜視図、（ｃ）は第５の実施例における
扇形状の固定子と可動子を用いた光学レンズ駆動装置の
斜視図である。 【図１５】第６の実施例におけるマイクロレンズアレイ
を示す斜視図である。 【図１６】第６の実施例におけるマイクロレンズアレイ
の応用例を示す図である。 【符号の説明】 １，６３，６５，７１，９１，１０１，１３１ 固定子 ２，６４，６６，７２，９２，１１１，１３２ 可動子 ３，７４ａ〜７４ｃ，１０４ 電圧印加手段 ４，６１，６２，１６１ 絶縁部材 ５ 被駆動部材 ６ 第１の支持部材 ７ 第２の支持部材 ２１ 反射板 ３１ 流体管路 ４１ 電気回路 ４２，７５ａ〜７５ｃ スイッチ ５１ 流体 ５２ 攪拌部材 ７３，９３，１２１，１５２ 光学レンズ ８１ 導体層 ８２ 誘電絶縁体層 ８３ 支持層 ８４ レンズ形状 ９３ 光学レンズ ９４ 密閉ケース １４１ 光学レンズ駆動装置 １５１ ＣＣＤ素子
成を示す正面図、（ｂ）は第１の実施例における主要構
成を示す斜視図である。 【図２】本発明の第１の実施例において、被駆動部材に
反射板を用いた例を示した正面図である。 【図３】本発明の第１の実施例において被駆動部材に管
路中の弁を用いた例を示した正面図である。 【図４】本発明の第１の実施例において被駆動部材に回
路中のスイッチを用いた例を示した図である。 【図５】本発明の第１の実施例において被駆動部材に撹
拌器を用いた例を示した図である。 【図６】（ａ），（ｂ）は第１の実施例における固定子
上の絶縁部材のその他の配置例を示す正面図、（ｃ）は
第１の実施例における固定子と可動子の帯電例を示す図
である。 【図７】第１の実施例における誘電体と導体による構成
例を示す正面図、（ｂ）は第１の実施例における誘電体
と導体による構成のその他の例を示す正面図である。 【図８】本発明の第２の実施例における主要構成を示す
斜視図である。 【図９】（ａ）は本発明の第３の実施例における加工前
の状態を示す正面図、（ｂ）は第３の実施例における加
工後の状態を示す正面図、（ｃ）は第３の実施例におけ
る完成状態を示す正面図、（ｄ）は第３の実施例におけ
る加工後のその他の状態を示す正面図である。 【図１０】本発明の第４の実施例における主要部品の構
成を示す斜視透視図である。 【図１１】（ａ）は本発明の第５の実施例における固定
子の平面透視図、（ｂ）は第５の実施例における固定子
の正面断面図、（ｃ）は第５の実施例における固定子の
斜視図である。 【図１２】（ａ）は本発明の第５の実施例における可動
子の平面透視図、（ｂ）は第５の実施例における可動子
の正面断面図、（ｃ）は第５の実施例における可動子の
斜視図である。 【図１３】（ａ）は第５の実施例における主要部品の構
成を示す斜視図、（ｂ）はその正面断面図である。 【図１４】（ａ）は本発明の第５の実施例における扇形
状の固定子の斜視図、（ｂ）は第５の実施例における扇
形状の可動子の斜視図、（ｃ）は第５の実施例における
扇形状の固定子と可動子を用いた光学レンズ駆動装置の
斜視図である。 【図１５】第６の実施例におけるマイクロレンズアレイ
を示す斜視図である。 【図１６】第６の実施例におけるマイクロレンズアレイ
の応用例を示す図である。 【符号の説明】 １，６３，６５，７１，９１，１０１，１３１ 固定子 ２，６４，６６，７２，９２，１１１，１３２ 可動子 ３，７４ａ〜７４ｃ，１０４ 電圧印加手段 ４，６１，６２，１６１ 絶縁部材 ５ 被駆動部材 ６ 第１の支持部材 ７ 第２の支持部材 ２１ 反射板 ３１ 流体管路 ４１ 電気回路 ４２，７５ａ〜７５ｃ スイッチ ５１ 流体 ５２ 攪拌部材 ７３，９３，１２１，１５２ 光学レンズ ８１ 導体層 ８２ 誘電絶縁体層 ８３ 支持層 ８４ レンズ形状 ９３ 光学レンズ ９４ 密閉ケース １４１ 光学レンズ駆動装置 １５１ ＣＣＤ素子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 導体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置された導体からなる可
動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、 前記固定子と前記可動子の少なくとも一方の、少なくと
も一部の表面に設けられた絶縁部材と、 被駆動部材と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記可動子の他端と前記被駆動部材とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする静電アクチュ
エータ。 【請求項２】 誘電絶縁体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置された導体からなる可
動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、 被駆動部材と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記可動子の他端と前記被駆動部材とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする静電アクチュ
エータ。 【請求項２】 導体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置された誘電絶縁体から
なる可動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、 被駆動部材と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記可動子の他端と前記被駆動部材とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする静電アクチュ
エータ。 【請求項４】 誘電体からなる固定子と、 導体からなる電極及び該電極の少なくとも一部の表面に
設けられた絶縁部材からなり、該絶縁部材を介して前記
固定子と対向する位置に配置された可動子と、 前記電極と前記固定子との間に電圧を印加するための電
圧印加手段と、 被駆動部材と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記可動子の他端と前記被駆動部材とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする静電アクチュ
エータ。 【請求項５】 導体からなる電極及び該電極の少なくと
も一部の表面に設けられた絶縁部材からなる固定子と、 誘電体からなり、前記固定子の絶縁部材を介して前記固
定子と対向する位置に配置された可動子と、 前記電極と前記可動子との間に電圧を印加するための電
圧印加手段と、 被駆動部材と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記可動子の他端と前記被駆動部材とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする静電アクチュ
エータ。 【請求項６】 少なくとも一部の表面に絶縁部材を設け
た導体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置された誘電体からなる
可動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、 光学レンズと、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記光学レンズと前記可動子の他端とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする光学レンズ駆
動装置。 【請求項７】 第２の支持部材は、光学レンズの少なく
とも異なる３点で光学レンズと可動子とを支持すること
を特徴とする請求項６記載の光学レンズ駆動装置。 【請求項８】 少なくとも一部の表面に絶縁部材を設け
た導体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置され、光学レンズと一
体成形された誘電体からなる可動子と、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する支持部材
と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、を具備することを特徴とする光学レンズ駆動
装置。 【請求項９】 少なくとも一部の表面に絶縁部材を設け
た導体からなる固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置された誘電体からなる
可動子と、 光学レンズと、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記光学レンズと前記可動子の他端とを支持する第２の
支持部材と、 少なくとも前記固定子と前記可動子と前記光学レンズと
前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の一部を収納
する密閉ケースと、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加する電圧印
加手段と、を具備することを特徴とする光学レンズ駆動
装置。 【請求項１０】 少なくとも一部の表面に絶縁部材を設
けた導体からなる電極を放射状に配置した固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置され少なくとも一部の
表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状に配
置した環形状からなる可動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加するための
電圧印加手段と、 光学レンズと、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記光学レンズと前記可動子の他端とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする光学レンズ駆
動装置。 【請求項１１】 少なくとも一部の表面に絶縁部材を設
けた導体からなる電極を放射状に配置した固定子と、 前記固定子と対向する位置に配置され少なくとも一部の
表面に絶縁部材を設けた導体からなる電極を放射状に配
置した複数の扇形状からなる可動子と、 前記固定子と前記可動子との間に電圧を印加するための
電圧印加手段と、 光学レンズと、 前記固定子と前記可動子の一端とを支持する第１の支持
部材と、 前記光学レンズと前記可動子の他端とを支持する第２の
支持部材と、を具備することを特徴とする光学レンズ駆
動装置。 【請求項１２】 請求項１０又は１１記載の光学レンズ
駆動装置を平面的に複数配列した光学レンズ駆動装置。 【請求項１３】 請求項１０又は１１記載の光学レンズ
駆動装置を立体的に複数配列した光学レンズ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17279795A JPH099649A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17279795A JPH099649A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH099649A true JPH099649A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15948548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17279795A Pending JPH099649A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 静電アクチュエータ及び光学レンズ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH099649A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999019978A1 (fr) * | 1997-10-14 | 1999-04-22 | Seiko Epson Corporation | Excitateur electrostatique |
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-
1995
- 1995-06-14 JP JP17279795A patent/JPH099649A/ja active Pending
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| US10429607B2 (en) | 2013-05-27 | 2019-10-01 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same |
| US11009673B2 (en) | 2013-05-27 | 2021-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same |
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