JP2002319705A - Led装置 - Google Patents

Led装置

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JP2002319705A
JP2002319705A JP2001124556A JP2001124556A JP2002319705A JP 2002319705 A JP2002319705 A JP 2002319705A JP 2001124556 A JP2001124556 A JP 2001124556A JP 2001124556 A JP2001124556 A JP 2001124556A JP 2002319705 A JP2002319705 A JP 2002319705A
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electrode
chip
led
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led device
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JP2001124556A
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Takuma Hashimoto
拓磨 橋本
Masaru Sugimoto
勝 杉本
Hideyoshi Kimura
秀吉 木村
Eiji Shiohama
英二 塩浜
Kazunari Kuzuhara
一功 葛原
Shigenari Takami
茂成 高見
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector

Abstract

(57)【要約】 【課題】発光面の輝度の均一化と内部量子効率の向上を
図り、更にLEDチップからの光取り出し効率を向上さ
せたLED装置を提供することにある。 【解決手段】p側電極7、n側電極6はLEDチップ1
の半導体層形成側チップ面内において交互に略等間隔に
配列した並行な直線部を有した電極6,7で並行電極部
を構成し、同じ半導体層側に属する電極6,6同士及び
7,7同士は、LEDチップ1上に設けた導電部13,
14によりそれぞれ電気的に接続され、LEDチップ1
上の対向する1組の隅部に位置する電極6,7の端部に
形成した給電部15,16により給電するされるように
なっており、各電極6,7及び給電部15,16を例え
ばAl蒸着により形成している。そして幅広な電極6,
7を形成することで各電極6,7が半導体層形成側チッ
プ面から放射される光の光反射部として機能することに
なる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透光性基板の結晶
上にp型半導体層、n型半導体層及び発光層を形成し、
フェースダウン状態で実装基板に実装するLEDチップ
を用いたLED装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば窒化ガリウム系(InGa
Nなど)の化合物半導体LEDチップは一般的に次のよ
うな構造をしている。つまり透光性サファイア基板上に
窒化ガリウムのバッファ層を形成し、その上にn型窒化
ガリウム層(以下n型半導体層と言う)、更にその上に
多層の量子井戸構造層(発光層を含む)を順次形成し、
また更にその上にp型窒化ガリウム層(p型半導体層と
言う)を形成してLEDチップを構成してある。場合に
よっては更にまたその上に光取り出し率向上のためのキ
ャップ層が形成されることがある。
【0003】基板として用いるサファイアは導電性がな
いため、p型半導体層と発光層の一部をエッチング除去
し、n型半導体層を露出させてその上にn型半導体層に
対応するn側の電極を形成している。従って、窒化ガリ
ウム系LEDチップは半導体層形成面側にn,pの二種
類の電極が存在している構造が一般的である。
【0004】電極としては、ワイヤボンディングに適し
た面積を持った丸若しくは四角の形状で、p,nの各側
に電極をそれぞれ1つずつ形成するのが通常である。
【0005】また、一般的な窒化ガリウム系LEDチッ
プは一辺が300μmで、厚さが70μmのチップサイ
ズに形成されており、チップ自身の面積は従来のLED
チップと同様に小型である。
【0006】上述のように構成された窒化ガリウム系L
EDチップを光源装置に実装する場合は、LEDチップ
の半導体層形成面を光源装置の実装基板とは逆の方向に
向けて、フェースアップでダイボンディングを行った後
にワイヤボンディングによってp,n、それぞれの電極
と光源装置の実装基板に接続している。
【0007】この実装形態において、LEDチップの発
熱部は窒化ガリウム層からなる半導体層であり、熱はサ
ファイヤからなる基板を通じて外部へと放出される。
【0008】一方LEDチップ製造工程においては強度
の関係からより厚いサファイア基板を用いて窒化ガリウ
ム層(半導体層)を形成しているが、放熱を良くするた
めにLEDチップを個々に切り出す前の段階において、
サファイヤ基板のバックポリッシュ(裏面研磨)を行
い、70μmの厚さにまで削っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来のLED
チップ電極構造では、p側、n側の電極が1組のみであ
るため、LEDチップ面内において十分に電流が流れて
発光するのはp側,n側の電極の間にある範囲のみであ
った。
【0010】これらの電極の間より外れた部分では電流
量が少なく、その分発光輝度も小さくなっていた。
【0011】従来のように300μm角の小型LEDチ
ップの場合は、電極面積に対する発光部面積比が小さい
ため、このLEDチップの面内発光輝度むら(電流む
ら)は、さほど大きな問題とはならなかった。
【0012】しかしながら、光源装置の大出力化の方法
の一つとして、LEDチップの面積を大きくし、チップ
面積に相当した大電流(電流密度は従来と同じ)での発
光駆動を検討する場合、電極面積に対して発光部面積比
が大きくなるため、LEDチップ面内の電流むらが大き
くなり、ひいては面内発光輝度むらが著しくなると言う
問題が生じる。
【0013】更に、面内電流むらが生じている状態で大
電流を流した場合、電流量が大きい部分では劣化が早く
進んでいく。そしてチップ面内で最も発光に寄与してい
る部分がより早く劣化するため、すなわちLEDチップ
全体の劣化が進むということになる。逆に劣化を抑える
ためには、電流量が大きい部分の電流密度が定格値を超
えないようにトータルの電流量を抑えれば良い。しかし
ながら、LEDチップのその他の部分の電流量は定格以
下となり発光量が低くなる。その結果LEDチップ全体
としての出力が低くなるという問題があった。
【0014】本発明は上記問題を鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、発光面の輝度の均一化
を図るとともに内部量子効率の向上を図り、更にLED
チップからの光取り出し効率(外部量子効率)を向上さ
せたLED装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明では、透光性基板上に形成されたp
形半導体層とn形半導体層の各々に接続する電極を半導
体層側のチップ面に設け、フェースダウンの状態で実装
基板に対して実装される1つのLEDチップの発光面全
体を略均一に点灯させるように発光部位を形成するとと
もに、上記チップ面若しくは実装状態のLEDチップに
近接する領域に、発光による光を光取り出し方向に反射
する光反射部を設けたことを特徴とする。
【0016】請求項2の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記チップ面に設けた少なくとも片方側の電極
で、上記光反射部を構成したことを特徴とする。
【0017】請求項3の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記チップ面に上記光反射部として機能する薄膜
を形成したことを特徴とする。
【0018】請求項4の発明では、請求項3の発明にお
いて、上記薄膜として、金属膜を用いたことを特徴とす
る。
【0019】請求項5の発明では、請求項3の発明にお
いて、上記薄膜として、多層膜を用いたことを特徴とす
る。
【0020】請求項6の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップと上記実装基板との間に上記光
反射部として機能する充填材を充填したことを特徴とす
る。
【0021】請求項7の発明では、請求項6の発明にお
いて、上記充填材として、銀ペースト若しくは半田を用
いたことを特徴とする。
【0022】請求項8の発明では、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップに近接する上記実装基板の部位
に上記光反射部を設けたことを特徴とする。
【0023】請求項9の発明では、請求項8の発明にお
いて、上記LEDチップに近接する上記実装基板表面を
鏡面に形成して上記光反射部としたことを特徴とする。
【0024】請求項10の発明では、請求項8の発明に
おいて、上記実装基板を、上記光反射部として機能する
金属で形成したことを特徴とする。
【0025】請求項11の発明では、請求項8の発明に
おいて、上記LEDチップに近接する上記実装基板上の
導電部を上記光反射部として用いたことを特徴とする。
【0026】請求項12の発明では、請求項1の発明に
おいて、上記LEDチップでは、半導体層形成側チップ
面内において、p側電極と、n側電極とを並行配列して
形成した並行電極部をp側電極とn極側電極とが交互と
なるように複数並行配置したことを特徴とする。
【0027】請求項13の発明では、請求項12の発明
において、上記LEDチップでは、各上記並行電極部が
略等間隔に配置されていることを特徴とする。
【0028】請求項14の発明では、請求項12の発明
において、上記各並行電極部を構成する一方側の電極
が、上記並行電極部同士間においてチップ面上で電気的
に接続されていないことを特徴とする。
【0029】請求項15の発明では、請求項12の発明
において、並行に相隣接する2つの電極の主幹部の対向
縁より対向方向に且つ互いに並行となるように枝部を延
出形成したことを特徴とする。
【0030】請求項16の発明では、請求項12の発明
において、n側、p側の2つの電極を、上記LEDチッ
プの中心から周縁部に向かう方向で渦巻き状に配列する
ことで、中心から周縁方向に並行電極部を複数形成した
ことを特徴とする。
【0031】請求項17の発明では、請求項1の発明に
おいて、上記LEDチップでは、p型半導体層及びn型
半導体層の各々に電極を複数個設置したことを特徴とす
る。
【0032】請求項18の発明では、請求項17の発明
において、異なる半導体層に対応する電極に対する距離
を、同じ半導体層に対応する電極に対する距離よりも近
距離に配置したことを特徴とする。
【0033】請求項19の発明では、請求項18の発明
において、上記両極の電極を略同一距離で交互に配置し
たことを特徴とする。
【0034】請求項20の発明では、請求項1の発明に
おいて、上記LEDチップでは、半導体層形成側のチッ
プ面を一方側の電極によって複数の領域に分けるととも
に、各領域内に他方側の電極を各別に配置したことを特
徴とする。
【0035】請求項21の発明では、請求項20の発明
において、上記一方側の電極が、複数個ある上記他方側
の電極を取り囲んでいることを特徴とする。
【0036】請求項22の発明では、請求項20の発明
において、上記複数個ある一方側の電極が、それらの周
囲に存在する他方側の電極の直線部位の何れかに並行な
電極部分を有することを特徴とする。
【0037】請求項23の発明では、請求項1の発明に
おいて、上記LEDチップでは、一方側の電極を半導体
層形成側のチップ面の略中心に配置し、該一方側の電極
の周囲に他方側の電極を配置したことを特徴とする。
【0038】請求項24の発明では、請求項23の発明
において、一方側の電極と、他方側の電極とが交互に取
り囲むようにn側の電極とp側の電極とを配置したこと
を特徴とする。
【0039】請求項25の発明では、請求項24の発明
において、交互に取り囲む上記電極間の距離を略等間隔
としたことを特徴とする。
【0040】請求項26の発明では、請求項24又は2
5の発明において、上記異なる極の電極が交互に取リ囲
む電極の配置構成が同心円状であることを特徴とする。
【0041】請求項27の発明では、請求項24又は2
5の発明において、上記異なる電極を、半導体層形成側
のチップ面の外周形状と略相似形状にて形成したことを
特徴とする。
【0042】請求項28の発明では、請求項12又は請
求項17又は請求項20又は請求項23の発明におい
て、n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上
記LEDチップの半導体層形成側のチップ面から見て略
線対称軸を持つことを特徴とする。
【0043】請求項29の発明では、請求項12又は請
求項17又は請求項20又は請求項23の発明におい
て、n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上
記LEDチップの半導体層形成側のチップ面に垂直な2
以上の整数倍回の回転対称軸を持つことを特徴とする。
【0044】請求項30の発明では、請求項12又は請
求項17又は請求項20又は請求項23の発明におい
て、n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上
記LEDチップの半導体層形成側のチップ面に垂直な2
以上の整数倍回の回転対称軸を持つ且つ、2以上の整数
倍個の異なる略線対称軸を持つことを特徴とする。
【0045】請求項31の発明では、請求項12又は請
求項17又は請求項20又は請求項23の発明におい
て、上記各電極を個別に制御するための給電部を上記L
EDチップに設けたことを特徴とする。
【0046】
【発明の実施の形態】まず本発明のLED装置を構成す
るフェースダウン構成のLEDチップについて図34に
より説明する。
【0047】この図34(a)(b)に示すようにLE
Dチップ1は、サファイヤからなる透光性基板2上にバ
ッファ層(図示せず)を介してn型GaN層からなるn
型半導体層3、クラッド層(図示せず)、発光層4、ク
ラッド層(図示せず)、p型GaN層からp型半導体層
5の順に層を形成した窒化ガリウム系化合物半導体によ
り構成される。
【0048】但し、半導体の種類としては、特に上記の
窒化ガリウム系化合物半導体に限定するものではなく、
基板結晶が透光性のものであれば、他の半導体であって
も良い。そして各半導体層3,5上にn側電極6,p側
電極7を形成して、図34(c)に示すように半導体層
3,5形成側チップ面を実装基板8側に向けて配置する
とともに実装基板8とp型半導体層5との間に充填材1
1を充填し、各電極6,7を半田からなるバンプ9、9
により実装基板8側の導電部たる導電体10に半田付け
し、透光性基板2側を発光面側とした所謂フェースダウ
ンによる実装構成を採用したものであり、例えば図35
に示すように近紫外線により励起されて黄色を発光する
蛍光体層12内にLEDチップ1を配置することでLE
Dチップ1から発光する青色の光と、蛍光体層12から
の黄色光とで白色の光源装置を構成する。
【0049】本発明のLED装置はこのようなフェース
ダウン構成を採用したLEDチップ1を用いたことを前
提とするもので、以下本発明を実施形態により説明す
る。 (実施形態1)本実施形態は、本発明の請求項1又は請
求項2又は請求項12又は請求項13に対応する実施形
態であって、図1に本実施形態の要部の断面図を、図2
に電極配置例を示している。尚図1では図34における
構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付している。
【0050】本実施形態のp側電極7、n側電極6はL
EDチップ1の半導体層形成側チップ面(半導体活性
面)内において交互に略等間隔に配列した並行な直線部
を有した電極6,7で並行電極部を構成し、同じ半導体
層側に属する電極6,6同士及び7,7同士は、LED
チップ1上に設けた導電部13,14によりそれぞれ電
気的に接続され、LEDチップ1上の対向する1組の隅
部に位置する電極6,7の端部に形成した給電部15,
16により給電するされるようになっており、各電極
6,7及び給電部15,16を例えばAl蒸着により形
成している。
【0051】そしてLEDチップ1の半導体層形成側の
チップ面の全領域に亘るように幅広な電極6,7を形成
することで各電極6,7が半導体層形成側チップ面から
放射される光の光反射部として機能することになる。
【0052】而して給電部15,16に通電してLED
チップ1を点灯させると、平行に対向する直線状の各電
極6,7間の領域で発光する発光部位が形成されること
になり、その結果1チップ内に複数の発光部位からなる
多点灯部が形成され、LEDチップ1の発光面をほぼ均
一な輝度で発光することが確認できた。
【0053】そして実装基板10側に放射される光は、
電極6,7により透光性基板1側、つまり光取り出し方
向に反射されることになって光取り出し効率が向上し、
LEDチップ1としての発光効率が高くなる。
【0054】なお、上述の光反射部の有無による発光効
率を確認するために、一方の電極を同じ形状の透明電極
により形成し、この透明電極の端部にAl蒸着により給
電部を形成して同様に点灯させてみたところ、透明電極
でない電極を用いた本実施形態のLEDチップ1の発光
効率の方が高いことが確認できた。
【0055】図2の例では直線的な電極6,7を平行配
置して並行電極部を構成しているが、電極6,7の形状
及び配置構成は図2の例に限定されるものではない。
【0056】以下に電極構成のその他の実施例について
説明する。
【0057】図3で示す実施例は、並行電極部を波状の
曲線形状の電極6,7により構成しており、本実施例で
も上述のような多点灯部が形成されるのを確認すること
ができた。
【0058】図4で示す実施例は、L字型に屈曲した電
極6,7を平行配置して並行電極部を構成しており、本
実施例でも上述のような多点灯部が形成されるのを確認
することができた。
【0059】図5で示す実施例は、図2の電極配置構成
と同様に直線的な電極6、7を等間隔で交互に並行配置
して構成しており、本実施例の場合、同じ半導体層側に
属する電極6,6同士、7,7同士を電気的に接続する
導電部をLEDチップ1上に設けておらず、各電極6,
7…に対応して個別に給電部15,16を設けてある。
【0060】この電極構成のLEDチップ1を点灯させ
た場合、電極同士を電気的に接続する導電部がLEDチ
ップ1上にないことにより、互いに平行(並行)でない
導電(電極)部分の割合が下がるために、各発光部位の
発光にむらがなくなり、実施形態1に比べてさらに発光
面全体を均一に発光を発光させることができることにな
る。
【0061】尚直線状の電極6,7を用いる代わりに、
曲線でもよく或いは図6に示すようなL字型に屈曲して
いる電極6,7を用いても同様の均一な発光が得られ
る。
【0062】図7で示し実施例は、図2の電極配置構成
に加えて、各電極6,7の主幹部たる部分から平行(並
行))する電極6,7に対して対向する方向に枝部を一
体形成するとともに、平行(並行))する電極6,7の
枝部同士が互いに平行(並行)となるように設置したも
のである。本実施例では、図2の電極配置の場合に比べ
て、対向する電極6,7間の距離が短かく、且つ、対向
して存在する電極6,7の、発光面全体に占める密度が
大きいために、LEDチップ1を点灯させた場合高い密
度で発光部位ができる多点灯部が形成され、その結果発
光面全体がさらに均一に発光することになる。
【0063】図8で示す実施例は、対の電極6,7をL
EDチップ1の中心から並行する状態で周縁部に向かう
ように渦巻き状に配置形成して中心から周縁部にかけて
並行電極部を複数形成したものであり、渦巻き状に配置
することで、互いに並行(並行)でない電極部分の割合
が小さいために、図2の例よりもさらに発光面全体が均
一に発光させることができる。渦巻きの形状は、特に曲
線に限定するものではなく、図9のような直線であって
もよい。
【0064】図10で示し実施例は、透光性基板1の結
晶上に形成されたp型半導体層3とn型半導体層5の各
々に接続する電極7,6の内、直線状の電極7を、四角
いチップ上面の対角部を結ぶように配置することによっ
てチップ面を2つの領域に分け、各領域内に2個あるn
側の電極6が、各別に配置してある。本実施例によるL
EDチップ1を点灯させたところ、図34に示す従来の
LEDチップ1に比べて、電極6,7が対向する部分が
多いため、発光面全体が均一に発光する。
【0065】図10の実施例では、p側の電極7が直線
状であったが、特に電極の形状は直線状に限定するもの
ではなく、例えばS字のような曲線形状であっても同様
の効果が得られる。
【0066】また、一方側電極によるチップ面の分割の
仕方は、特に図10のような対角部を結ぶような配置に
限定されるものではなく、例えば図11に示すように、
H型によって分割しても良い。
【0067】さらに、分割の仕方は2分割に限定される
ものではなく、例えばp側の電極7を十字状に形成し
て、チップ面を4つの領域に分割し、各々の領域の略中
央部に4個のn側の電極6を配置させる構造としてもよ
く、この場合、図10、図11の例に比べて、さらに発
光面全体の輝度の均一性が高められる。
【0068】なお図10,図11の例ではp側の電極7
によってチップ面を分割しているが、p側の電極7、n
側の電極6の関係を逆転し、n側の電極6によってチッ
プ面を同様に分割し、各領域にp側の電極7を個別配置
する構造のLEDチップ1でも、同様の効果が得られ
る。
【0069】図12の実施例は、図11の実施例におい
て、2個あるn側の電極6が、チップ中央部にあるp側
の電極7の直線部分に並行な電極部分を備えた構造とし
たもので、この電極構成のLEDチップ1を点灯させた
場合、図11の実施例に比べて電極6,7が等距離で対
向する部分が多いため、さらに発光面全体が均一に発光
する。
【0070】尚図12の実施例でもp側の電極7、n側
の電極6の関係を逆転させてもよく、この逆転構成のL
EDチップ1でも、同様の効果が得られる。
【0071】図13で示し実施例は、日字型のp側の電
極7によって、チップ面を、2つの略長方形枠の形状を
した領域に分け、2個のn側の電極6が、p側の電極7
によって取り囲まれた構成としたものであり、本実施例
によるLEDチップ1は図11に示す実施例によるのL
EDチップ1に比べて、さらに発光面における輝度の均
一性が向上する。
【0072】この図13の実施例では、p側の電極7に
よって発光面内が2つの領域に分けられているが、特に
領域の数は2つに限定されるものではなく、例えば図1
4のように、略田字型枠の形状をしたp側の電極7によ
って、チップ面を4領域に分け、各領域の略中央にそれ
ぞれn側の電極6を設置して、P型電極6によって取り
囲まれた構成しても良い。この図14の実施例のLED
チップ1では、図13の実施例のLEDチップ1に比べ
て、更に発光面における輝度の均一性が向上する。
【0073】この図13,図14の実施例もp側の電極
7、n側の電極6の関係を逆転させても図13,図14
の例と同様の効果が得られる。
【0074】図15で示し実施例は、チップ上面の略中
央部にp側の電極7を配置し、n側の電極6によって完
全に取り囲まれた構成としたものである。この図15の
電極配置構成のLEDチップ1は図24に示す従来例に
比べ、電極6,7が対向する部分が多いため、輝度の均
一性が向上する。またp側の電極7、n側の電極6の配
置関係を逆転させても同様の効果が得られる。
【0075】図16で示し実施例は、図15の実施例の
電極配置構成において、略中心のp側の電極7を中心と
して円環状のn側の電極6が取リ巻き、更にその外側に
円環状のp側電極7を同心状に配置してn側の電極6を
取り囲み、更に円環状のp側電極7の外側に別の円環状
のn側の電極6で取り囲み、近接する電極間の距離を等
間隔とした構成のものである。この図16の電極配置構
成のLEDチップ1は電極6,7が等距離で対向する部
分が多いため、図15の実施例によるLEDチップ1に
比べて、さらに発光の均一性が向上する。
【0076】また、図16の実施例では、同心円状の各
電極6,7が孤立しており、個々に給電部を備えている
構成であるが、図17或いは図18に示すように、同じ
極の電極同士を電気的に結合する導電部13,14を設
けても同程度の効果が得られる。
【0077】図16の実施例では、円環状の電極を同心
円状に配置した構成であるが、図19に示すように、チ
ップ面の外周形状と略相似の形状(本実施形態において
は角環状形)の電極6,7を同心状に配置しても良い。
【0078】この図19の電極配置構成のLEDチップ
1は図16の同心円状に配置した例に比べると、チップ
面の中心から等距離の点にける輝度の均一性では劣る
が、チップ面の極く外周縁部に至るまで、チップ面の中
心と同程度の輝度が得られる効果がある。
【0079】図20に示す実施例は、チップ面に例えば
p側電極7によって、最外周が略正6角形となるように
形作られ、内部を更に略正三角形の領域で分けるように
各対角間を結合するように電極部位を形成し、各略正三
角形の領域内の略重心位置にそれぞれn側電極6を配置
したものである。この図20の電極配置構成では、電極
6,7が形作るパターンが、チップ面に垂直な6回回転
対称軸と、6個の異なる線対称軸を持つ。この図20の
実施例によるLEDチップ1は図10〜図14に示す電
極配置構成のLEDチップ1に比べて発光面における輝
度の均一性に優れる。
【0080】以上のように本実施形態は電極5,6或い
はいずれか一方を光反射部として用いることで発光効率
を高め且つ上述のいずれかの電極配置構成を採用するこ
とで発光面での発光が均一となる。 (実施形態2)上記実施形態1では光反射部として電極
6,7を用いたが本実施形態では、LEDチップ1の半
導体層形成側チップ面に透光性の絶縁薄膜17を図21
に示すように形成し、この絶縁薄膜17の外側面に光反
射部として、Ag蒸着膜18を形成してある。そして実
装基板8に対して実装する際にはAg蒸着膜18と実装
基板8との間に充填材11を充填する。
【0081】尚比較のために、同じ電極構造のLEDチ
ップで、Ag蒸着膜18により光反射部を形成させない
ものも作成した。両者を共にフェースダウン状態で実装
基板8に実装し、点灯させたところ、Ag蒸着膜18を
形成した本実施形態の方が、発光効率に勝ることが確認
できた。
【0082】尚本実施形態では、電極6,7が光反射部
として機能しないため、図2乃至図20に示す電極配置
構成のいずれを採用してもよく、またそのほかの電極配
置例として、図22,図23、図24のような点状の電
極を用いた場合にも適用できる。
【0083】図22の電極配置で示し実施例は、p型半
導体層5及びn型半導体層3の各々に点状の電極7,6
を複数個(4隅で且つ対角位置に同じ極の電極を配置)
した例であり、この電極構成を用いたLEDチップ1を
点灯させた場合、図34に示すLEDチップ1に此べ
て、異なる極の電極6,7が等距離で対向する部分が多
く、対向する電極6,7間での発光面全体が均一に発光
する。
【0084】図23で示し実施例は、図22の配置構成
に加え、チップ中央部に一対の電極6,7を配置して電
極の総数を6個に増やし、対向する電極6,7間の距離
を変えて、中心部の対向電極6,7間距離を短くしたも
のである。このような電極配置とすることにより、発光
面全体としての輝度の均一性を保ったまま、より中心付
近を明るく発光するLEDチップ1が得られる。
【0085】図24で示し実施例は、n側の電極6とp
側の電極7とを横方向に交互に等距離に3つ、縦方向に
も交互に3つ等距離に配置してマトリクス状の電極配置
構成としたもので、電極6,7により形作られる配置パ
ターンは、チップ面に垂直な4回回転対称軸と、4個の
真なる線対称軸を持つ。図22、図23の電極配置構成
のLEDチップ1と比べて対称性に優れ、図22、図2
3の電極配置構成のLEDに比べて発光面における輝度
の均一性に優れる。 (実施形態3)本実施形態は実施形態2の構成に構成に
おいて絶縁薄膜17の外側面にAg蒸着膜18を形成す
る代わりに、図25に示すように絶縁薄膜17と実装基
板8との隙間にAgぺ一ストからなる充填材11’を充
填し、この充填材11’を光反射部として利用したもの
である。
【0086】而して同じLEDチップ1を用い、充填材
に透明樹脂を用いて実装基板8に実装したものと比較し
たところ、Agぺ一ストからなる充填材11’を用いた
本実施形態の方が、発光効率に勝ることが確認できた。
【0087】本実施形態も、電極が光反射部として機能
しないため、図2乃至図20及び図22乃至図24に示
す電極配置構成のいずれを採用してもよい。 (実施形態4)本実施形態は、図26に示すように、L
EDチップ1をフェースダウン状態で実装基板8に実装
する際に、LEDチップ1に近接する実装基板8の表面
に鏡面仕上げの金属膜19を形成し、これを光反射部と
して利用したものである。
【0088】而して同じLEDチップを、金属膜19を
作製していない実施基板8に実装した試料も作製し、両
者を比較したところ、実装基板8表面の金属膜19上に
実装した場合の方が、発光効率に勝ることが確認でき
た。
【0089】尚実装基板8上の光反射部としては、LE
Dチップ1に近接する実装基板8上の導電体10を光反
射一部として利用することも可能である。
【0090】本実施形態も、電極が光反射部として機能
しないため、図2乃至図23に示す電極配置構成のいず
れを採用してもよい。 (実施形態5)図27に示すように、LEDチップをフ
ェースダウン状態で回路基板に実装する際に、実装基板
8の導電部10をLEDチップ1の裏側にまで延長さ
せ、これを光反射部として利用したものである。導電部
10がLEDチップ1の裏側にまでは延長されていない
実装基板1に同じ構成のLEDチップ1を実装した試料
も作製し、両者を比較したところ、実装基板8の導電部
10をLEDチップ1の裏側にまで延長させた場合の方
が、発光効率に勝ることが確認できた。
【0091】本実施形態も、電極が光反射部として機能
しないため、図2乃至図20及び図21乃至図24に示
す電極配置構成のいずれを採用してもよい。 (実施形態6)本実施形態は図10の電極配置構成を採
用したものであった、図28に示すように一方の対角方
向に亘るようにチップ面をほぼ占有する大きさのp側電
極7を形成してこの電極7を覆うように形成している絶
縁薄膜20の対角方向の隅部にそれぞれ開口した窓孔2
1を介して半田、金、その他の金属によるバンプ22に
よって電極7を実装基板8の導電体10に接続固定して
いる。勿論導電性接着剤を用いて固定しても良い。また
他の対角位置にある隅部にはn側電極6,6が絶縁薄膜
20に形成した窓孔23より露出し、この露出部をn側
電極6に対応する給電部15とし、p側電極7の給電部
16と同様にバンプ22或いは導電性接着剤により実装
基板8の導電体10に接続固定している。
【0092】そして実装基板8は金属板80をベースと
し、この金属板80の上面に樹脂層81を形成し、この
樹脂層81の表面に上記導電体10を形成したものであ
って、LEDチップ1の中央部の絶縁薄膜20の部位に
対応する部分には金属板80の一部が外部に露出するよ
うに突出させ、この突出部82と絶縁薄膜20との間に
熱伝導性に優れた接着剤を充填材11として充填配置
し、LEDチップ1側の熱を金属板80に放熱させるよ
うに構成している。光反射部としては電極6,7を利用
している。
【0093】尚光反射部として電極6,7を用いる代わ
りに図29に示すように絶縁薄膜22の中央部の外側面
に光反射部用の金属薄膜24を形成しても良い。またn
側電極6又はp側電極7或いは両者の導電体10への接
合面に導電体10に対する接合を容易とするために金属
膜25を図30に示すように形成しても良い。この構成
は図25の構成と併用しても良い。
【0094】更に上記構造ではLEDチップ1の実装側
の周部には発光層4付近まで絶縁薄膜20が形成されて
いるため発光層4の端面から出る光がSiO2からなる
絶縁薄膜20により反射されて外部に出ない。そこで図
31(a)(b)に示すようにこの発光層4に至るまで
の周部を傾斜面となるように半導体層3,5及び発光素
4をエッチングしてこの傾斜面に沿って絶縁薄膜20が
形成されるようにすることで、発光層4の端面より出た
光が外部に放射され、図35に示すような光源装置を構
成する場合に、有効に使用できるようにしても良い。
【0095】尚、上記図31のような構成で外部に出る
光を有効に使用するための反射鏡を外部に形成する場
合、チップ面から発光層4までの厚さが極微小であるた
め、困難な場合がある。そこで図32に示すようこの傾
斜面に沿う絶縁薄膜20の外面に金属薄膜による反射膜
26を形成することで前方へ発光層4の端面から出る光
を透光性基板1側へ反射させるようにしても良い。
【0096】尚チップサイズが大きい場合には発光層4
の端面から出る光量の割合が少ないため、絶縁性を優先
させてダイヤモンド薄膜など無色透明でない材料を使用
することもできる。 (実施形態7)直線状の電極6,7を平行配設した場合
のパターンにおいて、本実施形態ではp側電極7の幅を
図33に示すようには幅広とするとともにそれぞれを独
立的に形成し、細い幅のn側電極6を各電極7,7間に
配置して電気的に接続し、p側電極7を光反射部として
機能させたものである。尚この場合p型半導体層5を各
電極7に対応させて分割しても良い。
【0097】
【発明の効果】請求項1の発明は、透光性基板上に形成
されたp形半導体層とn形半導体層の各々に接続する電
極を半導体層側のチップ面に設け、フェースダウンの状
態で実装基板に対して実装される1つのLEDチップの
発光面全体を略均一に点灯させるように発光部位を形成
するとともに、上記チップ面若しくは実装状態のLED
チップに近接する領域に、発光による光を光取り出し方
向に反射する光反射部を設けたので、発光面をほぼむら
無く均一に発光させることができるとともに内部量子効
率の向上を図れ、しかも光取出し効率に優れたLED装
置を実現できる。
【0098】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記チップ面に設けた少なくとも片方側の電極で、
上記光反射部を構成したので、光反射部を別途設ける事
無く、光取出し効率に優れたLED装置を実現できる。
【0099】請求項3の発明は、請求項1の発明におい
て、上記チップ面に上記光反射部として機能する薄膜を
形成したので、光取出し効率に優れたLED装置を実現
できる。
【0100】請求項4の発明は、請求項3の発明におい
て、上記薄膜として、金属膜を用いたので、光取出し効
率に優れたLED装置を実現できる。
【0101】請求項5の発明は、請求項3の発明におい
て、上記薄膜として、多層膜を用いたので、光取出し効
率に優れたLED装置を実現できる。
【0102】請求項6の発明は、請求項1の発明におい
て、上記LEDチップと上記実装基板との間に上記光反
射部として機能する充填材を充填しているので、充填材
を光反射部に兼用させて光取出し効率に優れたLED装
置を実現できる。ことを特徴とする。
【0103】請求項7の発明は、請求項6の発明におい
て、上記充填材として、銀ペースト若しくは半田を用い
るので、充填材を光反射部に兼用させて、光取出し効率
に優れたLED装置を実現できる。
【0104】請求項8の発明は、請求項1の発明におい
て、上記LEDチップに近接する上記実装基板の部位に
上記光反射部を設けたので、光取出し効率に優れたLE
D装置を実現できる。
【0105】請求項9の発明は、請求項8の発明におい
て、上記LEDチップに近接する上記実装基板表面を鏡
面に形成して上記光反射部としたので、光取出し効率に
優れたLED装置を実現できる。
【0106】請求項10の発明は、請求項8の発明にお
いて、上記実装基板を、上記光反射部として機能する金
属で形成したので、さらに光取出し効率に優れたLED
装置を供することができる。
【0107】請求項11の発明は、請求項8の発明にお
いて、上記LEDチップに近接する上記実装基板上の導
電部を上記光反射部として用いるので、光取出し効率に
優れたLED装置を供することができる。
【0108】請求項12の発明は、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップでは、半導体層形成側チップ面
内において、p側電極と、n側電極とを並行配列して形
成した並行電極部をp側電極とn極側電極とが交互とな
るように複数並行配置したので、従来例に比べ、発光面
内における輝度の均一性に優れたLED装置を実現でき
る。
【0109】請求項13の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記LEDチップでは、各上記並行電極部が略
等間隔に配置されているので、さらに発光面内における
輝度の均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0110】請求項14の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記各並行電極部を構成する一方側の電極が、
上記並行電極部同士間においてチップ面上で電気的に接
続されていないので、チップ面上において平行でない電
極部分の割合が下がるため、さらに発光面内における輝
度の均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0111】請求項15の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記各並行電極部の両側の電極の主幹部から対
向する方向且つ互いに並行に配列されるように枝部を延
出形成したので、両側電極が近距離で、且つ平行に対向
する領域が増えるため、さらに発光面内における輝度の
均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0112】請求項16の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記並行電極部の両側の電極を、上記LEDチ
ップの中心から周縁部に向かう方向で配列した渦巻き状
構造を持つので、さらに発光面内における輝度の均一性
に優れたLED装置を実現できる。
【0113】請求項17の発明は、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップでは、p型半導体層及びn型半
導体層の各々に電極を複数個設置したので、従来例に比
べ、発光面内において電極が対向する部分が多いため
に、発光面内における輝度の均一性に優れたLED装置
を実現できる。
【0114】請求項18の発明は、請求項17の発明に
おいて、他極の電極に対する距離を、同極の電極に対す
る距離よりも近距離に配置したので、同じ半導体層に対
応する電極間が近接する部分がないために、さらに発光
面内における輝度の均一性に優れたLED装置を実現で
きる。
【0115】請求項19の発明は、請求項18の発明に
おいて、上記両極の電極を略同一距離で交互に配置した
ので、さらに発光面内における輝度の均一性に優れたL
ED装置を実現できる。
【0116】請求項20の発明は、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップでは、半導体層形成側のチップ
面を一方側の電極によって複数の領域に分けるととも
に、各領域内に他方側の電極を各別に配置したので、従
来例に比べ、発光面内において電極が対向する部分が多
いために、発光面内における輝度の均一性に優れたLE
D装置を実現できる。
【0117】請求項21の発明は、請求項20の発明に
おいて、上記一方側の電極が、複数個ある上記他方側の
電極を取り囲んでいるので、さらに発光面内における輝
度の均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0118】請求項22の発明は、請求項20の発明に
おいて、上記複数個ある一方側の電極が、それらの周囲
に存在する他方側の電極の直線部位の何れかに並行な電
極部分を有するので、請求項18に係るLEDチップに
比べて、さらに発光面内における輝度の均一性に優れた
LED装置を実現できる。
【0119】請求項23の発明は、請求項1の発明にお
いて、上記LEDチップでは、一方側の電極を半導体層
形成側のチップ面の略中心に配置し、該一方側の電極の
周囲に他方側の電極を配置したので、従来のものに比
べ、発光面内において電極が対向する部分が多いため
に、発光面内における輝度の均一性に優れたLED装置
を実現できる。
【0120】請求項24の発明は、請求項23の発明に
おいて、一方側の電極と、他方側の電極とが交互に取り
囲むようにn側の電極とp側の電極とを配置したので、
さらに発光面内における輝度の均一性に優れたLED装
置を実現できる。
【0121】請求項25の発明は、請求項24の発明に
おいて、交互に取り囲む上記電極間の距離が等間隔であ
るので、さらに発光面内における輝度の均一性に優れた
LED装置を実現できる。
【0122】請求項26の発明は、請求項24又は25
の発明において、発光面内における輝度の均一性に優れ
たLED装置を実現できる。
【0123】請求項27の発明は、請求項24又は25
の発明において、上記異なる電極を半導体層形成側のチ
ップ面の外周形状と略相似形状にて形成したので、さら
にチップの極周辺部に至るまでチップ中心と同程度の輝
度を得ることのできるLED装置を実現できる。
【0124】請求項28の発明は、請求項12又は請求
項17又は請求項20又は請求項23の発明において、
n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上記L
EDチップの半導体層形成側のチップ面から見て略線対
称軸を持つので、さらに発光面内における輝度の均一性
に優れたLED装置を実現できる。
【0125】請求項29の発明は、請求項12又は請求
項17又は請求項20又は請求項23の発明において、
n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上記L
EDチップの半導体層形成側のチップ面に垂直な2以上
の整数倍回の回転対称軸を持つので、さらに発光面内に
おける輝度の均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0126】請求項30の発明は、請求項12又は請求
項17又は請求項20又は請求項23の発明において、
n側の電極とp側の電極とが形作るパターンが、上記L
EDチップの半導体層形成側のチップ面に垂直な2以上
の整数倍回の回転対称軸を持つ且つ、2以上の整数倍個
の異なる略線対称軸を持つので、さらに発光面内におけ
る輝度の均一性に優れたLED装置を実現できる。
【0127】請求項31の発明は、請求項12又は請求
項17又は請求項20又は請求項23の発明において、
上記各電極を個別に制御するための給電部を上記LED
チップに設けたので、個々の対向する電極間を、発光強
度が他の対向電極間と略均一になるように、個別に制御
しつつ点灯させることができる。従って、さらに発光面
内における輝度の均一性に優れたLED装置を供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1の要部の断面図である。
【図2】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図3】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図4】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図5】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図6】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図7】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図8】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図9】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施例
図である。
【図10】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図11】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図12】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図13】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図14】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図15】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図16】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図17】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図18】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図19】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図20】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図21】本発明の実施形態2の要部の断面図である。
【図22】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図23】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図24】同上のLEDチップ電極構造の概略配置実施
例図である。
【図25】本発明の実施形態3の要部断面図である。
【図26】本発明の実施形態4の要部断面図である。
【図27】本発明の実施形態5の要部断面図である。
【図28】(a)は本発明の実施形態6にかかるLED
チップの半導体層形成側チップ面の平面図である。
(b)は同上の要部断面図である。
【図29】同上の光反射部の別の例を示すLEDチップ
の断面図である。
【図30】同上の光反射部の別の例を示すLEDチップ
の断面図である。
【図31】(a)は同上にかかる絶縁薄膜の問題点の説
明図である。(b)は同上にかかる絶縁薄膜の問題点を
解消したLEDチップの断面図である。
【図32】同上にかかる絶縁薄膜の問題点を解消した他
の例のLEDチップの断面図である。
【図33】本発明の実施形態7に係るLEDチップの半
導体層形成側チップ面の概略平面図である。
【図34】(a)はフェースダウン実装型のLEDチッ
プの基本例の半導体層形成側チップ面の平面図である。
(b)は同上のLEDチップの側面断面図である。
(c)は同上の実装時の要部断面図である。
【図35】フェースダウン実装型のLEDチップを用い
た光源装置の断面図である。
【符号の説明】
1 LEDチップ 2 透光性基板 3 n型半導体層 4 発光層 5 p型半導体層 6,7 電極 13,14 導電部 15,16 給電部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 秀吉 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 塩浜 英二 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 葛原 一功 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 高見 茂成 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 5F041 AA03 AA05 AA43 AA44 CA13 CA40 CA93 CA94 DA02 DA03 DA04 DA09 DA19 DA35 DA36 FF11

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透光性基板上に形成されたp形半導体層と
    n形半導体層の各々に接続する電極を半導体層側のチッ
    プ面に設け、フェースダウンの状態で実装基板に対して
    実装される1つのLEDチップの発光面全体を略均一に
    点灯させるように発光部位が形成されるようにp側電極
    及びn側電極を形成配置するとともに、上記チップ面若
    しくは実装状態のLEDチップに近接する領域に、発光
    による光を光取り出し方向に反射する光反射部を設けた
    ことを特徴とするLED装置。
  2. 【請求項2】上記チップ面に設けた少なくとも一方側の
    電極で、上記光反射部を構成したことを特徴とする請求
    項1記載のLED装置。
  3. 【請求項3】上記チップ面に上記光反射部として機能す
    る薄膜を形成したことを特徴とする請求項1記載のLE
    D装置。
  4. 【請求項4】上記薄膜として、金属膜を用いたことを特
    徴とする請求項3記載のLED装置。
  5. 【請求項5】上記薄膜として、多層膜を用いたことを特
    徴とする請求項3記載のLED装置。
  6. 【請求項6】上記LEDチップと上記実装基板との間に
    上記光反射部として機能する充填材を充填したことを特
    徴とする請求項1記載のLED装置。
  7. 【請求項7】上記充填材として、銀ペースト若しくは半
    田を用いたことを特徴とする請求項6記載のLED装
    置。
  8. 【請求項8】上記LEDチップに近接する上記実装基板
    の部位に上記光反射部を設けたことを特徴とする請求項
    1記載のLED装置。
  9. 【請求項9】上記LEDチップに近接する上記実装基板
    表面を鏡面に形成して上記光反射部としたことを特徴と
    する請求項8記載のLED装置。
  10. 【請求項10】上記実装基板を、上記光反射部として機
    能する金属で形成したことを特徴とする請求項8記載の
    LED装置。
  11. 【請求項11】上記LEDチップに近接する上記実装基
    板上の導電部を上記光反射部として用いたことを特徴と
    する請求項8記載のLED装置。
  12. 【請求項12】上記LEDチップでは、半導体層形成側
    チップ面内において、p側電極と、n側電極とを並行配
    列して形成した並行電極部をp側電極とn極側電極とが
    交互となるように複数並行配置したことを特徴とする請
    求項1記載のLED装置。
  13. 【請求項13】上記LEDチップでは、並行配置される
    電極間の間隔を略等間隔としたことを特徴とする請求項
    12記載のLED装置。
  14. 【請求項14】上記各並行電極部を構成する少なくとも
    一方側の電極が、上記並行電極部同士間においてチップ
    面上で電気的に接続されていないことを特徴とする請求
    項12記載のLED装置。
  15. 【請求項15】並行に相隣接する2つの電極の主幹部の
    対向縁より対向方向に且つ互いに並行となるように枝部
    を延出形成したことを特徴とする請求項12記載のLE
    D装置。
  16. 【請求項16】n側、p側の2つの電極を、上記LED
    チップの中心から周縁部に向かう方向で渦巻き状に配列
    することで並行電極部を形成したことを特徴とする請求
    項1記載のLED装置。
  17. 【請求項17】上記LEDチップでは、p型半導体層及
    びn型半導体層の各々に電極を複数個設置したことを特
    徴とする請求項1記載のLED装置。
  18. 【請求項18】異なる半導体層に対応する電極に対する
    距離を、同じ半導体層に対応する電極に対する距離より
    も近距離に配置したことを特徴とする請求項17記載の
    LED装置。
  19. 【請求項19】上記n側、p側の電極を略同一距離で交
    互に配置したことを特徴とする請求項18記載のLED
    装置。
  20. 【請求項20】上記LEDチップでは、半導体層形成側
    のチップ面を一方側の電極によって複数の領域に分ける
    とともに、各領域内に他方側の電極を各別に配置したこ
    とを特徴とする請求項1記載のLED装置。
  21. 【請求項21】上記一方側の電極が、複数個ある上記他
    方側の電極を取り囲んでいることを特徴とする請求項2
    0記載のLED装置。
  22. 【請求項22】上記複数個ある一方側の電極が、それら
    の周囲に存在する他方側の電極の直線部位の何れかに並
    行な電極部分を有することを特徴とする請求項20記載
    のLED装置。
  23. 【請求項23】上記LEDチップでは、一方側の電極を
    半導体層形成側のチップ面の略中心に配置し、該一方側
    の電極の周囲に他方側の電極を配置したことを特徴とす
    る請求項1記載のLED装置。
  24. 【請求項24】一方側の電極と、他方側の電極とが交互
    に取り囲むようにn側の電極とp側の電極とを配置した
    ことを特徴とする請求項23記載のLED装置。
  25. 【請求項25】交互に取り囲む上記電極間の距離を略等
    間隔としたことを特徴とする請求項24記載のLED装
    置。
  26. 【請求項26】上記電極の配置構成が同心円状であるこ
    とを特徴とする請求項24又は請求項25記載のLED
    装置。
  27. 【請求項27】上記電極の形状を、半導体層形成側のチ
    ップ面の外周形状と略相似形状にて形成したことを特徴
    とする請求項24又は請求項25記載のLED装置。
  28. 【請求項28】n側の電極とp側の電極とが形作るパタ
    ーンが、上記LEDチップの半導体層形成側のチップ面
    から見て略線対称軸を持つことを特徴とする請求項12
    又は請求項17又は請求項20又は請求項23記載のL
    ED装置。
  29. 【請求項29】n側の電極とp側の電極とが形作るパタ
    ーンが、上記LEDチップの半導体層形成側のチップ面
    に垂直な2以上の整数倍回の回転対称軸を持つことを特
    徴とする請求項12又は請求項17又は請求項20又は
    請求項23記載のLED装置。
  30. 【請求項30】n側の電極とp側の電極とが形作るパタ
    ーンが、上記LEDチップの半導体層形成側のチップ面
    に垂直な2以上の整数倍回の回転対称軸を持つ且つ、2
    以上の整数倍個の異なる略線対称軸を持つことを特徴と
    する請求項12又は請求項17又は請求項20又は請求
    項23記載のLED装置。
  31. 【請求項31】上記各電極を個別に制御するための給電
    部を上記LEDチップに設けたことを特徴とする請求項
    12又は請求項17又は請求項20記載LED装置。
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