JP2002299714A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2002299714A5 JP2002299714A5 JP2001101286A JP2001101286A JP2002299714A5 JP 2002299714 A5 JP2002299714 A5 JP 2002299714A5 JP 2001101286 A JP2001101286 A JP 2001101286A JP 2001101286 A JP2001101286 A JP 2001101286A JP 2002299714 A5 JP2002299714 A5 JP 2002299714A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric film
- piezoelectric element
- plane
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
Claims (4)
- 圧電体膜と、この圧電体膜の両面を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、菱面体晶系で、かつ（００１）面優先配向であり、電界方向の格子定数が面内の格子定数より大きいことを特徴とする圧電体素子。
- 圧電体膜と、この圧電体膜の両面を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、菱面体晶系で、かつ（００１）面優先配向であり、前記圧電体膜は、面方向に圧縮応力を有することを特徴とする圧電体素子。
- 請求項１又は２において、電歪領域で駆動されることを特徴とする圧電体素子。
- 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の圧電体素子を駆動素子として備えた電気機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001101286A JP4629896B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 圧電体素子及びこれを用いた電気機器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001101286A JP4629896B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 圧電体素子及びこれを用いた電気機器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002299714A JP2002299714A (ja) | 2002-10-11 |
| JP2002299714A5 true JP2002299714A5 (ja) | 2005-04-28 |
| JP4629896B2 JP4629896B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=18954625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001101286A Expired - Fee Related JP4629896B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 圧電体素子及びこれを用いた電気機器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4629896B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4513252B2 (ja) * | 2002-10-25 | 2010-07-28 | パナソニック株式会社 | 圧電体薄膜素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置 |
| JP2005340428A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Seiko Epson Corp | 圧電体素子及びその製造方法 |
| JP5201304B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2013-06-05 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| CA2654688C (en) * | 2006-12-09 | 2011-07-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric pump |
| WO2008129829A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-30 | Daikin Industries, Ltd. | 送風ファン |
| WO2008126377A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Daikin Industries, Ltd. | 空気熱交換ユニット及び熱交換モジュール |
| JP2010241021A (ja) | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター |
| EP3346131B1 (en) * | 2011-10-11 | 2022-04-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluid control apparatus and method for adjusting fluid control apparatus |
| CN105201796A (zh) * | 2015-10-29 | 2015-12-30 | 宁波大学 | 一种压电蠕动微泵 |
| JP6904101B2 (ja) | 2017-06-26 | 2021-07-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および圧電デバイス |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3398962B2 (ja) * | 1991-05-09 | 2003-04-21 | 東陶機器株式会社 | 強誘電体磁器組成物 |
| JPH08268756A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-15 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 強誘電性セラミックスの製造方法 |
| JPH09321361A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Tdk Corp | 圧電振動部品及びその製造方法 |
| JP3755283B2 (ja) * | 1998-02-13 | 2006-03-15 | オムロン株式会社 | 圧電素子及びその製造方法、圧電素子を用いた振動センサ、圧電アクチュエータ、光スキャナ、歪みセンサ、圧電式振動ジャイロ |
| JP2000158648A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット式記録ヘッド |
-
2001
- 2001-03-30 JP JP2001101286A patent/JP4629896B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20130033967A1 (en) | Transducer module | |
| JP2002299714A5 (ja) | ||
| TW201813273A (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
| JPH04190684A (ja) | 超音波駆動装置及びその方法 | |
| EP0993055A3 (en) | Piezoelectric actuator and electronic apparatus with piezoelectric actuator | |
| EP2571071A2 (en) | Transducer and transducer module | |
| JPH09321360A (ja) | 圧電ファン | |
| JP2007198175A (ja) | 風力発電装置 | |
| ATE295626T1 (de) | Piezomotor mit führung | |
| JP2010028536A5 (ja) | ||
| JP2011004035A5 (ja) | ||
| JP2010029759A (ja) | 圧電ファン装置 | |
| EP1453116A3 (en) | Ultrasonic motor and apparatus using the same | |
| JPH07508148A (ja) | 低周波水中音波プロジエクタ構成 | |
| JP2006179578A5 (ja) | ||
| JP2017022814A5 (ja) | ||
| JP2008284532A (ja) | 圧電シート発電用バイモルフ振動子 | |
| EP2555175A1 (en) | Transducer module | |
| JPS62298189A (ja) | 圧電アクチユエ−タ | |
| JP2009112173A (ja) | 圧電ファン装置 | |
| KR20170040616A (ko) | 전자 기기용 압전 액추에이터 | |
| JP2005094895A5 (ja) | ||
| JPH0447556B2 (ja) | ||
| RU2001130659A (ru) | Пьезоэлектрический преобразователь | |
| JPH06292374A (ja) | 圧電アクチュエータ |