JP2005094895A5 - - Google Patents
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- 圧電素子を含む板状の振動体を励振させて、前記振動体の当接部を被駆動体に当接させて前記被駆動体を所定方向に駆動可能に設けられている圧電アクチュエータであって、
前記圧電素子には、縦振動を誘起する複数の電極からなる縦振動電極部および屈曲振動を誘起する複数の電極からなる屈曲振動電極部とが形成され、
前記複数の電極は、その各々が電気的に短絡もしくは開放され、駆動電圧が印加される縦振動電極部領域および屈曲振動電極部領域を可変可能に構成されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記屈曲振動電極部と前記縦振動電極部へ印加される電夏の周波数が前記縦振動の共振周波数と前記屈曲振動の共振周波数との間の周波数となるように制御される制御手段を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1または請求項2のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えた機器。
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JP2003323762A JP4374959B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを用いた機器 |
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JP2003323762A JP4374959B2 (ja) | 2003-09-16 | 2003-09-16 | 圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを用いた機器 |
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JP2005094895A JP2005094895A (ja) | 2005-04-07 |
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