JP2000295876A5 - - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、
前記楕円運動の軌跡における長径または短径を個別に制御するための楕円形状制御手段と、前記楕円運動の軌跡における軸の傾斜を制御するための楕円軸傾斜制御手段とのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、
前記第１の振動の振幅または前記第２の振動の振幅を個別に制御するための振幅制御手段と、前記第１の振動と前記第２の振動との間の時間的位相差を変更する位相差制御手段とのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
振動子と、
該振動子に、第１の交流電圧を印加するとともに、該第１の交流電圧または第２の交流電圧を切り換えることによって得られる第３の交流電圧を印加することにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記振動子に前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生させるための電力入力装置と、
前記振動子に印加される前記第３の交流電圧の電圧を変更する可変抵抗器と、前記第３の交流電圧に前記第１の交流電圧に対する時間的位相遅れを生成する可変コンデンサとのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
さらに、前記振動子の駆動状況に関する量に基づいて前記楕円運動を制御するためのフィードバック制御手段を備えること
を特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【請求項５】
前記振動子は、矩形平板状の本体を有し、該本体は４つの矩形平板状の電気機械変換領域に分割され、対角上に配置された該電気機械変換領域同士は結線されること
を特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１の振動および前記第２の振動のうちの一方は縦振動であるとともに、他方は屈曲振動であること
を特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【請求項１】
駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、
前記楕円運動の軌跡における長径または短径を個別に制御するための楕円形状制御手段と、前記楕円運動の軌跡における軸の傾斜を制御するための楕円軸傾斜制御手段とのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、
前記第１の振動の振幅または前記第２の振動の振幅を個別に制御するための振幅制御手段と、前記第１の振動と前記第２の振動との間の時間的位相差を変更する位相差制御手段とのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
振動子と、
該振動子に、第１の交流電圧を印加するとともに、該第１の交流電圧または第２の交流電圧を切り換えることによって得られる第３の交流電圧を印加することにより、第１の振動と、該第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、前記振動子に前記第１の振動と前記第２の振動との合成である楕円運動を発生させるための電力入力装置と、
前記振動子に印加される前記第３の交流電圧の電圧を変更する可変抵抗器と、前記第３の交流電圧に前記第１の交流電圧に対する時間的位相遅れを生成する可変コンデンサとのうちの少なくとも一方と
を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
さらに、前記振動子の駆動状況に関する量に基づいて前記楕円運動を制御するためのフィードバック制御手段を備えること
を特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【請求項５】
前記振動子は、矩形平板状の本体を有し、該本体は４つの矩形平板状の電気機械変換領域に分割され、対角上に配置された該電気機械変換領域同士は結線されること
を特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１の振動および前記第２の振動のうちの一方は縦振動であるとともに、他方は屈曲振動であること
を特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載された振動アクチュエータ。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明では、駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、この第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、第１の振動と第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、楕円運動の軌跡における長径または短径を個別に制御するための楕円形状制御手段と、楕円運動の軌跡における軸の傾斜を制御するための楕円軸傾斜制御手段とのうちの少なくとも一方とを備えることを特徴とする振動アクチュエータを提供する。
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明では、駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、この第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、第１の振動と第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、楕円運動の軌跡における長径または短径を個別に制御するための楕円形状制御手段と、楕円運動の軌跡における軸の傾斜を制御するための楕円軸傾斜制御手段とのうちの少なくとも一方とを備えることを特徴とする振動アクチュエータを提供する。
請求項２の発明では、駆動信号を入力されることにより、第１の振動と、この第１の振動の方向と交差する方向へ振動する第２の振動とを励振させて、第１の振動と第２の振動との合成である楕円運動を発生する振動子を有し、第１の振動の振幅または第２の振動の振幅を個別に制御するための振幅制御手段と、第１の振動と第２の振動との間の時間的位相差を変更する位相差制御手段とのうちの少なくとも一方とを備えることを特徴とする振動アクチュエータを提供する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10125499A JP4406952B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 振動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10125499A JP4406952B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 振動アクチュエータ |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000295876A JP2000295876A (ja) | 2000-10-20 |
| JP2000295876A5 true JP2000295876A5 (ja) | 2006-06-15 |
| JP4406952B2 JP4406952B2 (ja) | 2010-02-03 |
Family
ID=14295788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10125499A Expired - Lifetime JP4406952B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4406952B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US20050082950A1 (en) * | 2003-08-13 | 2005-04-21 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric actuator module, motor module and apparatus |
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| JP5601939B2 (ja) | 2010-09-02 | 2014-10-08 | 株式会社タムロン | 圧電アクチュエータ駆動回路、及びそれを備えた圧電アクチュエータ装置 |
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| JP7103019B2 (ja) * | 2018-07-25 | 2022-07-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター |
-
1999
- 1999-04-08 JP JP10125499A patent/JP4406952B2/ja not_active Expired - Lifetime
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